JP3624992B2 - 表示パネルの隔壁形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、PDP(プラズマディスプレイパネル)のように表示領域内に隔壁を有した表示パネルを製造するための隔壁形成方法に関する。
【0002】
PDP、LCD、FEDなどの表示パネル(薄型表示デバイス)は、各種の分野で使用されている。特に視認性に優れ且つ高速表示が可能という特徴をもつPDPは、ハイビジョンの表示に好適である。表示パネルに対する市場要求の1つに高精細化がある。
【0003】
【従来の技術】
PDPは、一対の基板(通常はガラス板)を微小間隙を設けて対向配置し、周囲を封止することによって内部に放電空間を形成した自己発光型の表示パネルである。
【0004】
一般に、マトリクス表示方式のPDPには、放電空間を仕切るように、100〜200μm程度の高さの隔壁が設けられている。例えば、蛍光体によるカラー表示に適した面放電型PDPには、平面視直線状の隔壁が表示のライン方向に沿って等間隔に設けられている。隔壁の配列間隔は例えば21インチサイズのカラーPDPで約200μmである。隔壁によってセル間の放電結合、色再現のクロストークが防止される。
【0005】
近年、このような隔壁の形成には、パターン印刷に代えてエッチング手法が用いられている。すなわち、基板の上に一様な隔壁材料層(いわゆるベタ膜)を設け、さらにその上にフォトリソグラフィ法によって所定パターンの切削マスクを設けた後、サンドブラストによって隔壁材料層をパターニングする。また、切削媒体として液体を吹きつける液体ホーニングが知られている。サンドブラスト及び液体ホーニングは、生産性の上で大画面化に適しており、ウェットエッチングに比べてパターニング精度が高い。
【0006】
従来、切削のマスキングパターンは、隔壁の配置パターンと実質的に同一であった。ただし、寸法については、切削後の焼成時の収縮などを見越して所定のマージンが設定されていた。すなわち、隔壁の平面視形状と同形(相似形)の切削マスクが用いられていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来では、高精細化を図るために隔壁構造を微細化を進めていったときに、隔壁の配列間隔を100μm程度まで縮小すると、サンドブラスト工程で隔壁の一部が消失してしまう状況が頻繁に発生するようになった。つまり、パターニング不良の発生頻度が大幅に上昇した。
【0008】
本発明は、隔壁の微細化に伴うパターニング不良の発生を防止し、高精細の表示パネルの製造の歩留りを高めることを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
パターニング不良の原因を調査した。それにより、サンドブラストのように切削媒体を吹きつけるパターニングにおいては、切削面(マスクの開口面)の大きさと切削レートとの関係が正比例ではなく、切削面がある程度より小さくなると切削レートが大幅に低下することが明らかになった。
【0010】
図14は隔壁間隔及びサイドカット量の定義を示す図、図15は隔壁間隔と切削レートとの関係を示すグラフ、図16は隔壁間隔とサイドカット量との関係を示すグラフである。図15及び図16のグラフはサンドブラスト(噴射圧力は2.0kg重/cm2 、平均切削粒子径は30μm)において測定されたものである。図15の縦軸のスケールは、マスキングを行わないときの切削レートを100とした相対スケールである。
【0011】
ここで、隔壁間隔とは、切削マスク60の開口部の隔壁配列方向の距離Dである。また、以下では、切削マスク60における1つの隔壁に対応した帯状部の幅Wを、便宜的に「隔壁幅」と呼称する。
【0012】
図15が示すとおり、隔壁間隔Dが150μm以上であれば、隔壁間隔Dが無限大であるときと比べて切削レートに大きな差はない。しかし、130μm程度を境界にそれ以下の範囲で急激に切削レートが低下している。これは、微細化をしたときに、隔壁形成領域の周縁(隔壁間隔Dが実質的に無限大)と他の部分との間で切削レートに大きな差が生じることを意味する。なお、ここで示した数値は切削条件に依存するが、切削条件に係わらず切削レートの急激な低下が見受けられる。
【0013】
従来では、隔壁形成に必要な深さまで切削を行う期間中に、長さ方向のサイドカット量sc1の増大に加えて、隔壁の先端付近において幅方向のサイドカット量sc2が隔壁幅Wに達することから、切削マスクが広範囲にわたって宙に浮いた状態になり、そのために切削マスクが剥がれてパターニング不良が生じていた。
【0014】
パターニング不良を防止する方法の1つに、隔壁端部の外側に保護用マスクを設け、切削加工時における隔壁の長さ方向の気流を塞き止めることによって、隔壁先端の過剰の切削を防ぐ方法がある(特開平7−45193号)。しかし、正規の隔壁の周囲に不要の隔壁が存在してはいけない構造の表示パネルの場合には、保護用マスクの寸法設定が難しい。例えば、PDPでは不要の隔壁が排気処理の障害となるので、切削終了時点でマスク下方の隔壁材料が無くなるように保護用マスクを設計しなければならない。加えて、隔壁の幅方向のサイドカットには効果がなく、パターニング不良を十分に防止することができない。
【0015】
そこで、隔壁の端部付近における隔壁間隔を狭め、部分的に切削を遅らせることによって上述の課題を解決した。隔壁間隔を狭めるために切削マスクを膨大化した。
【0016】
請求項1の発明の隔壁形成方法は、表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルを製造するために、隔壁材料層の上に前記隔壁に対応したマスキングパターンの切削マスクを設け、切削媒体の吹きつけによって前記隔壁材料層を部分的に除去する際に、前記マスキングパターンを、前記各隔壁に対応した帯状部分が前記表示領域の内外に跨がり、当該各帯状部分の長さ方向の端部とそれに隣接する他の帯状部分との距離が、前記表示領域の内側における当該各帯状部分どうしの間隔より狭く、かつ長さ方向の端部の幅が他の部分より大きい帯状部分と一定幅の帯状部分とが交互に並ぶストライプパターンとするものである。
【0017】
請求項2の発明の隔壁形成方法は、前記マスキングパターンを、前記各隔壁に対応した複数の帯状部分からなるストライプパターンであって、個々の帯状部分の長さ方向の端部の幅が他の部分より大きく、且つ隣接する当該帯状部分の間で前記端部の位置がずれたパターンとするものである。
【0018】
請求項3の発明の隔壁形成方法は、前記マスキングパターンを、前記各隔壁に対応した複数の帯状部分と、隣接する当該帯状部分の長さ方向の端部どうしを連結する円弧状部分とからなるミアンダパターンとするものである。
【0019】
請求項4の発明の隔壁形成方法は、前記マスキングパターンを、前記各隔壁に対応した複数の帯状部分と、隣接する当該帯状部分の長さ方向の端部どうしを連結する円弧状部分とからなるパターンとするものである。
【0020】
請求項5の発明の隔壁形成方法は、隔壁配列における両端の帯状部分の幅を、他の帯状部分の幅より大きくするものである。
【0021】
請求項6の発明の隔壁形成方法において、前記隔壁材料層は、低融点ガラスペーストを乾燥させた一様な層からなり、切削後に残された帯状部分を焼成することにより、帯状の隔壁に形成される。
【0022】
請求項7の発明の表示パネルは、表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有し、前記各隔壁の端部とそれに隣接する他の隔壁との距離が、前記表示領域の内側における隔壁どうしの間隔より狭く、かつ隣接する隔壁の片方の隔壁のみにおいてその長さ方向の端部の幅が他の部分の幅よりも大きいものである。
請求項8の発明の基板構造体は、表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルの構成要素であって、
基板とその上に配置された前記複数の隔壁とからなり、当該各隔壁の端部とそれに隣接する他の隔壁との距離が、前記表示領域に対応する領域の内側における隔壁どうしの間隔より狭く、かつ隣接する隔壁の片方の隔壁のみにおいてその長さ方向の端部の幅が他の部分の幅よりも大きいものである。
【0023】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係るPDP1の内部構造を示す斜視図、図2はPDP1の隔壁の配置パターンを示す平面図である。
【0024】
PDP1は、AC駆動形式の面放電型PDPである。前面側のガラス基板11の内面に、マトリクス表示のラインL毎に一対のサステイン電極X,Yが配列されている。サステイン電極X,Yは、それぞれが透明電極41と金属電極42とからなり、AC駆動のための誘電体層17で被覆されている。誘電体層17の表面にはMgOからなる保護膜18が蒸着されている。
【0025】
一方、背面側のガラス基板21の内面には、下地層22、アドレス電極A、絶縁層24、隔壁29、及び3色(R,G,B)の蛍光体層28R,28G,28Bが設けられている。各隔壁29の平面視形状は巨視的には直線状である。これらの隔壁29によって放電空間30がマトリクス表示のライン方向にサブピクセル毎に区画され、且つ放電空間30の間隙寸法が一定値に規定されている。表示の1ピクセル(画素)は、ライン方向に並ぶ3つのサブピクセルからなる。PDP1では、隔壁29の配置パターンがいわゆるストライプパターンであることから、放電空間30の内の各列に対応した部分は、全てのラインLに跨がって列方向に連続している。各列内のサブピクセルの発光色は同一である。
【0026】
図2のように、サステイン電極X,Yとアドレス電極Aとが交差する領域がマトリクス表示領域E1である。ガラス基板11,21を接合する枠状の封止材31とマトリクス表示領域E1との間に数mm幅の非発光領域E2が設けられている。隔壁29はアドレス電極Aと平行に配置され、マトリクス表示領域E1の外側に若干延長されている。
【0027】
図3は隔壁形成の手順を示す図である。
絶縁層24でアドレス電極Aを被覆した後の段階のガラス基板21のほぼ全面に、低融点ガラスペーストを塗布し、塗布層を乾燥させて200μm程度の厚さの隔壁材料層291を形成する。続いて、隔壁材料層291の表面に厚さが300〜50μmのドライフィルム状の感光性レジストを、ラミネータを用いて80〜100℃の温度で圧着する。そして、パターン露光及び現像を行って、隔壁29に対応したマスキングパターンの切削マスク61を形成する〔図3(A)〕。隔壁幅Wは50〜100μm程度、隔壁間隔Dは50〜150程度である。
【0028】
次に、隔壁材料層291をサンドブラストによって部分的に除去する〔図3(B),(C)〕。切削媒体として、例えば粒径が10〜30μm程度のガラス粉末を用い、噴射媒体としてドライエア又は窒素ガスを用いる。噴射圧力は1.0〜3kg/cm2 とする。噴射ノズルとガラス基板21とを相対的に平行移動させることによって、表示面全体の切削を行う。切削が終わると、切削マスク61を化学的に取り除き、パターニングされた隔壁材料層292を焼成して隔壁29を得る〔図3(D)〕。
【0029】
図4はマスキングパターンの一例を示す図、図5は図4に対応した隔壁形状を示す平面図である。
本実施形態のマスキングパターン(切削マスク61の全体の平面視形状)は、ストライプパターンであって、それぞれが1つの隔壁29に対応した複数の帯状部分610,611,612,613からなる。隔壁配列の両端(片側のみ図示)の帯状部分610はその全長にわたって幅W2が一定である。その幅W2は、隔壁配列方向(帯状部分の幅方向)のサイドカットによるマスク剥離を防止するため、隔壁幅Wより十分に大きい値(例えば5倍)に選定されている。他の帯状部分611〜613は、長さ方向の両側(図では片側)の端部611a,612a,613aが他の部分に対して幅方向に張り出したパターンである。つまり、ここでの「端部」は膨大部を意味する。
【0030】
表示領域E1の外側において、帯状部分611〜613の長さは互いに異なる(帯状部分611、帯状部分612、帯状部分613の順に長い)。最も短い帯状部分613の端部613aは、他の帯状部分611,612の端部611a,612aに対して表示領域E1に近い側にずれている。帯状部分611の端部611aは、帯状部分612の端部612aより長く、端部612aと端部611aとの長さの差の分だけ帯状部分611は帯状部分612より長い。端部611a,612aの幅W’は、これら端部どうしの距離dが、表示領域E1の内側での帯状部分どうしの間隔である隔壁間隔Dよりも小さくなるように選定されている(d<D)。また、端部613aの幅W”は、端部613aとそれに隣接する帯状部分612,611との距離が上述の距離dとほぼ等しくなるように選定されている。つまり、各帯状部分611〜613とそれに隣接する他の帯状部分との間隔は、長さ方向の両端で局部的に小さい。なお、当然のことながら幅W’,W”は隔壁幅Wよりも大きい。
【0031】
このように帯状部分611〜613の両端を膨大化することにより、長さ方向のサイドカットを低減することができる。すなわち、図15が示すように切削レートは隔壁間隔Dを小さくするほど小さくなるので、幅W’,W”を大きくして距離dを小さくすれば、帯状部分611〜613の端部におけるの切削が他の部分における切削よりも遅れる。また、膨大化によって、幅方向のサイドカット量sc2(図14参照)が幅W’,W”に達するのに要する時間が長くなる。これらの相乗作用によって、帯状部分611〜613の内で下方に隔壁材料の存在しない部分の長さ方向の拡がりが低減され、切削中におけるマスク剥離が防止される。帯状部分611〜613と隔壁材料層との接着面積が長さ方向の両端で大きいこともマスク剥離の防止に寄与する。
【0032】
加えて、切削マスク61を用いた場合には、帯状部分611〜613の長さが相違することによって生じる隔壁29の長さの差を、隔壁識別情報として利用することができる。例えば、3色の蛍光体層を形成した後、Rの蛍光体層の形成状態を検査するときに、3段階の長さの中で最も長い隔壁(図4の例では帯状部分610,611に対応した隔壁)を目印とすることができる。
【0033】
図6はマスキングパターンの第2の例を示す図、図7は図6のマスキングパターンの利点を説明するための図である。なお、図7(B)は図7(A)のb−b矢視断面である。
【0034】
図6のマスキングパターンは、それぞれが1つの隔壁29に対応した複数の帯状部分615,616と、隣接する帯状部分の長さ方向の端部どうしを連結する円弧状部分618とからなるミアンダパターン(蛇行パターン)である。隔壁配列の両端の帯状部分615は他の帯状部分616より太い。円弧状部分618は隣接する帯状部分に跨がっており、帯状部分616に対して隔壁配列方向に張り出している。したがって、上述の図4の例と同様に長さ方向のサイドカットが軽減され、マスク剥離が防止される。
【0035】
ミアンダパターンであれば、表示の各列の片側が開放されているので、各帯状部分615,616の長さ方向の両端を隣接する帯状部分と連結する梯子状パターンと違って、放電空間30が列毎に完全には分断されない。つまり、PDP1の製造における排気処理に支障がない。
【0036】
また、帯状部分615,616の連結部分を直線状ではなく、外側に突出した円弧状(楕円弧を含む)としたことにより、図7(A)のように切削終了時点で円弧状部分618の下方に隔壁材料層292が残ったとしても、その後の焼成に際して隔壁29の型崩れが生じにくい。焼成においては、対象物の形状が非対称であると収縮に偏りが生じる。そのため、隔壁形成の場合は図7(B)の鎖線が示すように隔壁が傾く。しかし、連結部分を円弧状とし、不要の隔壁材料層292が帯状部分616から緩やかな曲線を描きながら張り出すようにすると、収縮の偏りの影響が軽減され、隔壁の傾きが軽微となる。
【0037】
図8はマスキングパターンの第3の例を示す図、図9は図8に対応した隔壁形状を示す平面図である。
図8の例のマスキングパターン(切削マスク61Cの全体の平面視形状)は、ストライプパターンであって、それぞれが1つの隔壁29に対応した複数の帯状部分620,621,622からなる。図4の例と同様に、隔壁配列の両端の帯状部分620はその全長にわたって幅W2(W2≫W)が一定である。他の帯状部分621,622は、長さ方向の端部621a,622aを膨大化したパターンである。長さ方向の片側についてみると、帯状部分621は帯状部分622よりも短く、その端部621aは帯状部分622の端部622aに対して表示領域E1に近い側にずれている。なお、長さ方向における他方側(図示しない側)については、図示した側と同様に帯状部分621を帯状部分622よりも短くしてもよいし、逆に帯状部分622を帯状部分621よりも短くしてもよい。
【0038】
端部622aの幅W’は、隣接する他の端部622aとの距離dが、表示領域E1の内側での帯状部分どうしの間隔である隔壁間隔Dより小さくなるように選定されている。また、端部621aの幅W”は、端部621aと隣接する帯状部分622との距離が上述の距離dとほぼ等しくなるように選定されている。
【0039】
図8の例においても図4の例と同様に、帯状部分621,622の端部における切削が他の部分における切削よりも遅れるので、帯状部分621,622の内で下方に隔壁材料の存在しない部分の長さ方向の拡がりが低減され、切削中におけるマスク剥離が防止される。
【0040】
図10はマスキングパターンの第4の例を示す図、図11は図10に対応した隔壁形状を示す平面図である。
図10の例のマスキングパターン(切削マスク61Dの全体の平面視形状)もストライプパターンであって、それぞれが1つの隔壁29に対応した複数の帯状部分630,631,632からなる。隔壁配列の両端の帯状部分630の幅W2は隔壁幅Wより十分に大きい。帯状部分631,632は1つずつ交互に配列されており、一方の帯状部分631の端部631aは膨大化されている。他方の帯状部分632の幅(隔壁幅W)は一定である。端部631aの幅W’(W’>W)は、端部631aとそれに隣接する帯状部分632との距離dが隔壁間隔Dより小さい所定値になるように選定されている。
【0041】
図10の例においては、図4及び図8の例と同様に、帯状部分631,632の端部におけるの切削が他の部分における切削よりも遅れるので、帯状部分631,632の内で下方に隔壁材料の存在しない部分の長さ方向の拡がりが低減され、切削中におけるマスク剥離が防止される。帯状部分631,632の形状の差異を反映した隔壁形状を隔壁識別情報として利用することができる。隔壁長さの差を識別情報とする図4及び図8の例と比べると、図10の例は、表示領域E1の外側にはみ出る隔壁を短くすることができるので、非表示領域E2(図2参照)の縮小といった領域設定において有利である。
【0042】
図12はマスキングパターンの第5の例を示す図、図13は図12に対応した隔壁形状を示す平面図である。
図12の例のマスキングパターン(切削マスク61Dの全体の平面視形状)もストライプパターンであって、それぞれが1つの隔壁29に対応した複数の帯状部分640,641からなる。隔壁配列の両端の帯状部分640は、幅W2が隔壁幅Wより十分に大きい直線パターンである。他の帯状部分641は、端部641aを膨大化したパターンである。端部641aの幅W’(W’>W)は、端部641aどうしの距離dが隔壁間隔Dより小さい所定値になるように選定されている。図12の例においても上述の各例と同様に、帯状部分641の端部におけるの切削が他の部分における切削よりも遅れるので、切削中におけるマスク剥離が防止される。
【0043】
上述の実施形態では、サンドブラストを用いる例を挙げたが、切削手法として液体ホーニング法を用いる場合にも本発明を適用することができる。表示パネルの構造及び製造工程の上で許される場合には、表示に必要な隔壁に対応したマスキングパターンの局部的な膨大化に加えて、パターニング不良を防止するためのパターンを追加してもよい。帯状部分の端部の形状・寸法・配置は適宜変更することができる。
【0044】
【発明の効果】
請求項1乃至請求項6の発明によれば、隔壁の微細化に伴うパターニング不良の発生を防ぎ、高精細の表示パネルの製造の歩留りを高めることができる。
【0045】
請求項1の発明によれば、隔壁の配列間隔を縮小することができる。また、隔壁の先端の形状の差異を、隔壁の識別に利用することができる。
請求項2の発明によれば、隔壁の配列間隔を縮小することができる。また、隔壁の先端の位置ずれを、隔壁の識別に利用することができる。
請求項3又は請求項4の発明によれば、切削終了時点の隔壁パターンが表示領域の外側で繋がったものになったとしても、熱収縮による隔壁の型崩れを防ぐことができる。
【0046】
請求項5の発明によれば、隔壁配列方向の過剰切削によるパターニング不良を防止することができる。
請求項7又は請求項8の発明によれば、隔壁の微細化に伴うパターニング不良の発生を防ぐことができ、且つ隔壁の機械的強度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るPDPの内部構造を示す斜視図である。
【図2】PDPの隔壁の配置パターンを示す平面図である。
【図3】隔壁形成の手順を示す図である。
【図4】マスキングパターンの一例を示す図である。
【図5】図4に対応した隔壁形状を示す平面図である。
【図6】マスキングパターンの第2の例を示す図である。
【図7】図6のマスキングパターンの利点を説明するための図である。
【図8】マスキングパターンの第3の例を示す図である。
【図9】図8に対応した隔壁形状を示す平面図である。
【図10】マスキングパターンの第4の例を示す図である。
【図11】図10に対応した隔壁形状を示す平面図である。
【図12】マスキングパターンの第5の例を示す図である。
【図13】図12に対応した隔壁形状を示す平面図である。
【図14】隔壁間隔及びサイドカット量の定義を示す図である。
【図15】隔壁間隔と切削レートとの関係を示すグラフである。
【図16】隔壁間隔とサイドカット量との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1 PDP(表示パネル)
29 隔壁
291 隔壁材料層
61,61B〜E 切削マスク
610〜613 帯状部分
615,616 帯状部分
620〜622 帯状部分
630〜632 帯状部分
640,641 帯状部分
611a,612a,613a 端部
621a,622a 端部
631a,632a 端部
641a 端部
610,615,620,630,640 隔壁配列における両端の帯状部分
617,618 円弧状部分
W 隔壁幅(他の部分の幅)
W2 両端の帯状部分の幅
Claims (8)
- 表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルを製造するために、隔壁材料層の上に前記隔壁に対応したマスキングパターンの切削マスクを設け、切削媒体の吹きつけによって前記隔壁材料層を部分的に除去する際に、
前記マスキングパターンを、
前記各隔壁に対応した帯状部分が前記表示領域の内外に跨がり、当該各帯状部分の長さ方向の端部とそれに隣接する他の帯状部分との距離が、前記表示領域の内側における当該各帯状部分どうしの間隔より狭く、かつ長さ方向の端部の幅が他の部分より大きい帯状部分と一定幅の帯状部分とが交互に並ぶストライプパターンとする
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 - 同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルを製造するために、隔壁材料層の上に前記隔壁に対応したマスキングパターンの切削マスクを設け、切削媒体の吹きつけによって前記隔壁材料層を部分的に除去する際に、
前記マスキングパターンを、
前記各隔壁に対応した複数の帯状部分からなるストライプパターンであって、個々の帯状部分の長さ方向の端部の幅が他の部分より大きく、且つ隣接する当該帯状部分の間で前記端部の位置がずれたパターンとする
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 - 表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルを製造するために、隔壁材料層の上に前記隔壁に対応したマスキングパターンの切削マスクを設け、切削媒体の吹きつけによって前記隔壁材料層を部分的に除去する際に、
前記マスキングパターンを、
前記各隔壁に対応した複数の帯状部分と、隣接する当該帯状部分の長さ方向の端部どうしを連結する円弧状部分とからなるミアンダパターンとする
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 - 表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルを製造するために、隔壁材料層の上に前記隔壁に対応したマスキングパターンの切削マスクを設け、切削媒体の吹きつけによって前記隔壁材料層を部分的に除去する際に、
前記マスキングパターンを、
前記各隔壁に対応した複数の帯状部分と、隣接する当該帯状部分の長さ方向の端部どうしを連結する円弧状部分とからなるパターンとする
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 - 隔壁配列における両端の帯状部分の幅を、他の帯状部分の幅より大きくする
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の表示パネルの隔壁形成方法。 - 前記隔壁材料層は、低融点ガラスペーストを乾燥させた一様な層からなり、切削後に残された帯状部分を焼成することにより、帯状の隔壁に形成される
請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の表示パネルの隔壁形成方法。 - 表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルであって、
前記各隔壁の端部とそれに隣接する他の隔壁との距離が、前記表示領域の内側における隔壁どうしの間隔より狭く、かつ隣接する隔壁の片方の隔壁のみにおいてその長さ方向の端部の幅が他の部分の幅よりも大きい
ことを特徴とする表示パネル。 - 表示領域内に同一方向に延びる複数の帯状の隔壁を有した表示パネルを構成する基板構造体であって、
基板とその上に配置された前記複数の隔壁とからなり、当該各隔壁の端部とそれに隣接する他の隔壁との距離が、前記表示領域に対応する領域の内側における隔壁どうしの間隔より狭く、かつ隣接する隔壁の片方の隔壁のみにおいてその長さ方向の端部の幅が他の部分の幅よりも大きい
ことを特徴とする基板構造体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09994196A JP3624992B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 表示パネルの隔壁形成方法 |
TW085112993A TW340213B (en) | 1996-04-22 | 1996-10-23 | Method of forming barrier ribs of display panel and substrate for forming the barrier ribs |
US08/791,771 US6048243A (en) | 1996-04-22 | 1997-01-29 | Method of forming barrier ribs of display panel |
FR9701416A FR2747837B1 (fr) | 1996-04-22 | 1997-02-07 | Panneau d'affichage a plasma, procede de formation de nervures de barrage et structure de substrat |
KR1019970013803A KR100238361B1 (ko) | 1996-04-22 | 1997-04-15 | 표시판넬의 격벽형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09994196A JP3624992B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 表示パネルの隔壁形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09288966A JPH09288966A (ja) | 1997-11-04 |
JP3624992B2 true JP3624992B2 (ja) | 2005-03-02 |
Family
ID=14260749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09994196A Expired - Fee Related JP3624992B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 表示パネルの隔壁形成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6048243A (ja) |
JP (1) | JP3624992B2 (ja) |
KR (1) | KR100238361B1 (ja) |
FR (1) | FR2747837B1 (ja) |
TW (1) | TW340213B (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4036507B2 (ja) * | 1997-02-12 | 2008-01-23 | 大日本印刷株式会社 | プラズマディスプレイパネルの蛍光面形成方法 |
US6936965B1 (en) * | 1999-11-24 | 2005-08-30 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel |
KR100887040B1 (ko) * | 2001-04-09 | 2009-03-04 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 샌드블라스트를 이용하는 플라즈마 디스플레이 패널의격벽 형성 방법 |
KR100488449B1 (ko) * | 2002-09-12 | 2005-05-11 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
US7329990B2 (en) * | 2002-12-27 | 2008-02-12 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel having different sized electrodes and/or gaps between electrodes |
JP2005050559A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 表示装置の製造方法 |
US7125308B2 (en) * | 2003-12-18 | 2006-10-24 | Nano-Proprietary, Inc. | Bead blast activation of carbon nanotube cathode |
US7736209B2 (en) * | 2004-09-10 | 2010-06-15 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Enhanced electron field emission from carbon nanotubes without activation |
KR100692028B1 (ko) * | 2004-11-23 | 2007-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 |
TW200830931A (en) * | 2007-01-08 | 2008-07-16 | Tatung Co Ltd | Method for manufacturing the spacer for field emission device and base material utilized for the spacer |
KR100912804B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2009-08-18 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 및 플라즈마 디스플레이 패널의격벽 형성 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0668801A (ja) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Sony Corp | プラズマ放電パネル |
JP3229708B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2001-11-19 | 大日本印刷株式会社 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
JP3279754B2 (ja) * | 1993-07-30 | 2002-04-30 | 大日本印刷株式会社 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
JP3279753B2 (ja) * | 1993-07-30 | 2002-04-30 | 大日本印刷株式会社 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
BE1007714A3 (nl) * | 1993-11-09 | 1995-10-03 | Philips Electronics Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een plaat van elektrisch isolerend materiaal met een patroon van gaten en/of holtes. |
-
1996
- 1996-04-22 JP JP09994196A patent/JP3624992B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-10-23 TW TW085112993A patent/TW340213B/zh not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-01-29 US US08/791,771 patent/US6048243A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-07 FR FR9701416A patent/FR2747837B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1997-04-15 KR KR1019970013803A patent/KR100238361B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW340213B (en) | 1998-09-11 |
KR100238361B1 (ko) | 2000-01-15 |
KR970071919A (ko) | 1997-11-07 |
US6048243A (en) | 2000-04-11 |
FR2747837A1 (fr) | 1997-10-24 |
FR2747837B1 (fr) | 1999-10-22 |
JPH09288966A (ja) | 1997-11-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S131 | Request for trust registration of transfer of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313131 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071210 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081210 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081210 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091210 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101210 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101210 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111210 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111210 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121210 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 9 |
|
S131 | Request for trust registration of transfer of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313135 |
|
SZ03 | Written request for cancellation of trust registration |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 9 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |