JP3596864B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置に関し、特に、半導体基板を実装した後に半導体基板に加わる応力による配線の破断が防止された配線構造を有する半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話ならびに携帯情報機器に代表されるように、電子機器の小型化および軽量化の要望が高まっているため、それに伴って半導体装置の小型化および高密度化が急速に進んでいる。この目的を達成するために、LSI(Large Scale Integrated Circuit)チップを直接回路基板上に搭載するベアチップ実装、あるいは、半導体装置の形状をLSIチップの形状に極力近づけることによって小型化を図った、いわゆる、CSP(Chip Size Package)構造の半導体装置が提案されている。このCSP構造の半導体装置においては、LSIチップの電極配置において、従来から多く用いられているペリフェラル型電極配置を用いずに、再配線工程において多ピン化に有利なエリアアレイ型電極配置が採用されるようになってきている。
【0003】
図16には、従来のベアチップ実装に用いられる半導体装置の一例が示されている。図16に示すように、この半導体装置109は、樹脂部材にモールドされていない半導体基板であるベアチップ119と複数の接続部108とによって構成されている。図17に示すように、ベアチップ119は接続部108を介して実装基板121上の電極120に接続される。しかし、この構造においては、ベアチップ119と実装基板121との間の熱膨張係数の差によって生じる熱応力が過大であることにより、接続部108が損傷することがあるため、接続部108における信頼性が低いことが知られている。
【0004】
そのため、一般には、図18に示すように、半導体基板119の下面と実装基板121の上面との間の隙間に樹脂部材22を充填(アンダーフィル)し、接続部108に生じる熱応力を緩和する構造が採用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記図18を用いて説明した従来の半導体装置119は、ベアチップ並みの高密度化を実現し、かつ、ベアチップ119と実装基板121とを接続する接続部108に生じる熱応力を低減させて信頼性を向上させることを目的として提案された半導体装置であるが、以下のような問題点を有している。
【0006】
上記の半導体装置の構造においては、ベアチップ119の下面と実装基板121の上面との間の隙間に樹脂部材122を充填すると、ベアチップ119の修繕、すなわち、リペア作業が非常に困難になる。また、図18に示す半導体装置の構造は、樹脂の硬化工程の付加によるコストの上昇、および、ベアチップ119自体のハンドリング性の悪さ等の欠点も有している。そのため、図18に示す半導体装置の実装構造は、小型化および高密度実装化が可能な構造であるにもかかわらず、その普及が妨げられている。
【0007】
また、ベアチップ119を実装基板121に実装した後において、熱応力によって発生する歪みのために、外部接続電極となるはんだ接続部108と半導体基板上電極となるチップ電極とを接続する外部接続配線、および、実装基板121に設けられた実装基板電極120から引出される接続配線にクラックが生ずる不良例が報告されている。特に、半導体基板であるベアチップ119のはんだ接続部108(パッド)と外部接続配線との境界部分においてクラックが発生することに起因して半導体装置の外部接続配線が断線する頻度が高くなっている。
【0008】
また、上記図16に示す半導体装置109のような構造の場合、ベアチップ119上に外部接続電極をマトリックス状に配置させている。そのため、半導体基板上の電極であるチップ電極から実装基板に接続される部分である外部接続電極へ外部接続配線を引出す場合には、外部接続電極間の合間を縫って、高密度に外部接続配線を施さなければならない。したがって、外部接続配線の歪みに対する強度を確保するために、外部接続配線幅を大きくすると、回路間の信号漏れあるいはノイズが発生するというクロストーク等の問題が発生する。
【0009】
今後、半導体基板上の電極ピッチがますます狭くなり、多ピン化ならびにチップサイズの小型化が進む傾向にあるため、外部接続配線間隔および外部接続配線幅がさらに小さくなることが予測される。そのため、はんだ接続部108の応力緩和だけにとどまらず、はんだ接続部108に接続される外部接続配線にかかる応力をも配慮した配線構造を有する半導体装置が求められている。言い換えれば、ベアチップ並みに外部接続配線の高密度化が可能であり、かつ、極力低コストで製造可能であり、さらに、パッケージ単体のみならず半導体装置を実装基板に実装した後においても信頼性の高い実装構造となる半導体装置が求められている。
【0010】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、高密度な配線が可能であって、かつ、半導体装置を実装素基板に実装した後において、外部接続電極に接続する外部接続配線にクラックが発生することが防止された配線構造を有する半導体装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の1の局面による半導体装置は、基板と、この基板に設けられた外部接続電極と、基板の外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、外部接続電極と基板とが、基板の外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、外部接続配線が、傾斜面に沿うように配線され、絶縁性部材は外部接続電極ごとに独立して形成され、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置の近傍において、外部接続配線が配線された方向が、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置において基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有している。
【0012】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。基板の熱膨張係数と、この基板が外部接続電極を介して電気的に接続されるように設置される他の基板の熱膨張係数とが異なる場合、基板が他の基板に実装された後においては、外部接続電極の近傍の外部接続配線は、基板と他の基板との熱膨張の大きさの差に相当する歪み応力を受けることになる。本発明においては、外部接続電極の近傍においては、外部接続配線が配線された方向は熱応力によって伸縮する方向と交差角を有するため、すなわち、ずれているため、外部接続配線が配線された方向と基板が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、外部接続電極の近傍の外部接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、外部接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、外部接続配線の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の半導体装置とすることができる。また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成されているため、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、1回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【0013】
本発明の他の局面による半導体装置は、長方形からなる基板と、この基板に設けられた外部接続電極と、基板の外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、外部接続電極と基板とが、基板の外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、外部接続配線が、傾斜面に沿うように配線され、絶縁性部材は外部接続電極ごとに独立して形成され、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置の近傍において、外部接続配線が配線された方向が、長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有している。
【0014】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。1の局面の半導体装置の場合と同様に、基板の熱膨張係数と、この基板が外部接続電極を介して電気的に接続されるように設置される他の基板の熱膨張係数とが異なる場合、基板が他の基板に実装された後においては、外部接続電極の近傍の外部接続配線は、基板と他の基板との熱膨張の大きさの差に相当する歪み応力を受けることになる。本発明においては、外部接続電極の近傍においては、外部接続配線が配線された方向は、基板の外周の長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して交差角を有するため、すなわち、ずれているため、外部接続配線が配線された方向と基板の外周の長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向とが一致する場合に比較して、外部接続電極の近傍の外部接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、外部接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、外部接続配線の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の半導体装置とすることができる。また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成されているため、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、1回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【0015】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、また、少なくとも基板の4隅に位置する外部接続電極に接続する外部接続配線が、0°より大きく180°より小さい交差角を有していることが好ましい。このような構造にすることにより、実装後において熱応力による伸縮を最も受け易い4隅の外部接続電極と外部接続配線との間の接続の信頼性が向上する。
【0016】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、また、基板上に配線された外部接続配線の全てが、0°より大きく180°より小さい交差角を有していることが好ましい。このような構造にすることにより、外部接続電極と外部接続配線との接続部全てにおいて外部接続配線に生じる歪み応力が小さくなるため、外部接続配線全ての損傷の発生が低減されることにより、半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【0017】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、また、交差角が、45°〜135°であることが好ましい。このような構造にすることにより、外部接続配線の断線を防止することができるとともに、外部接続配線をできる限り短い距離で配線することも可能となる。
【0018】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、さらに、交差角が、60°〜120°であることが好ましい。このような構造にすることにより、外部接続電極をできる限り短い距離で配線することを可能にしつつ、外部接続配線が断線する可能性をさらに低減することができる。
【0019】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、また、外部接続電極は基板の外周近傍に配置されていてもよい。このような構造にすることにより、基板が他の基板に接続された後において、基板の中心近傍に接続電極が設けられた場合に比較して、基板の主表面の中心軸周りに加えられた捩じりに対する外部接続電極部の強度が大きくなる。
【0021】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、また、外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、他の接続電極が設けられた他の基板と、他の接続電極に一端が接続され、他の基板の他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とをさらに備えていてもよい。
【0022】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、また、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置の近傍において、他の接続配線が配線された方向が、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置において他の基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有していてもよい。
【0023】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。他の接続電極の近傍においては、他の接続配線が配線された方向は熱応力によって他の基板が伸縮する方向と交差角を有するため、すなわち、ずれているため、他の接続配線が配線された方向と他の基板が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、他の接続電極の近傍の他の接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、他の接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。
【0024】
本発明の1または他の局面の半導体装置は、他の基板は長方形に形成されており、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置の近傍において、他の接続配線が配線された方向が、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置において他の基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°小さい交差角を有していてもよい。
【0025】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。他の接続電極の近傍においては、他の接続配線が配線された方向は、他の基板の外周の長方形の対角線の交点と他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して交差角を有するため、すなわち、ずれているため、他の接続配線が配線された方向と他の基板の外周の長方形の対角線の交点と他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向とが一致する場合に比較して、他の接続電極の近傍の他の接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、他の接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。
【0026】
また、本発明の1または他の局面の半導体装置は、基板が半導体基板であってもよい。
【0027】
また、本発明の1または他の局面の半導体装置は、他の基板が半導体基板を実装する実装基板であってもよい。
【0028】
本発明のさらに他の局面の半導体装置は、半導体基板と、この半導体基板に設けられた外部接続電極と、半導体基板の外部接電極が設けられた面に沿うように配線され、外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線と、外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、他の接続電極が設けられた実装基板と、他の接続電極に一端が接続され、実装基板の他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とを備え、外部接続電極と基板とが、基板の外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、外部接続配線が、傾斜面に沿うように配線され、絶縁性部材は外部接続電極ごとに独立して形成され、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置の近傍において、外部接続配線が配線された方向が、長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有し、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置の近傍において、他の接続配線が配線された方向が、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置において実装基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有している。
【0029】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。他の接続電極の近傍においては、他の接続配線が配線された方向は熱応力によって実装基板が伸縮する方向と交差角を有するため、すなわち、ずれているため、他の接続配線が配線された方向と実装基板が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、他の接続電極の近傍の他の接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、他の接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、半導体基板を実装基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成されているため、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、1回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【0030】
本発明の1の局面、他の局面またはさらに他の局面の半導体装置は、実装基板が誘電体基板であってもよい。
【0031】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
【0032】
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1の半導体装置の構造およびその製造方法を図1〜図6を用いて説明する。まず、図1に示す半導体装置の平面図および図2に示す半導体装置の断面図を用いて、本実施の形態における半導体装置の構造を説明する。
【0033】
図1に示す個片化された半導体基板1の個片化前の断面構造を示す図2から分かるように、本実施の形態の半導体装置9は、複数の個片化される領域からなる半導体基板1と、半導体基板1上に形成された半導体基板上電極2と、半導体基板1上に形成された絶縁膜3と、外部接続電極が配置される位置に形成される樹脂部材5と、再配線パターン6と、再配線パターン6を保護する保護膜7と、外部接続電極8とから構成されている。なお、各半導体基板2の境界には、ダイシングライン4が記載されている。
【0034】
本実施の形態の半導体装置においては、図2に示すように、それぞれ独立して形成される低弾性の樹脂部材5を外部接続電極8の直下に配置することによって、半導体装置9が実装基板に実装された後に熱履歴が生じたときに、半導体装置9と実装基板との熱膨張率の相違により発生する熱応力が外部接続電極8に加わった場合にも、樹脂部材5によってその熱応力が緩和されるため、半導体装置9の実装の信頼性が向上している。
【0035】
次に、上記本実施の形態の半導体装置の構造をより具体的に説明する。本実施の形態の半導体装置においては、図1に示すように、長方形の半導体基板1の主表面上には半導体基板上電極2が設けられている。また、半導体基板1の上には、半導体基板上電極2に一端が接続され、かつ、半導体基板上電極2の上面から半導体基板1の主表面に沿うように形成された本発明の外部接続配線を構成する再配線パターン6が配線されている。再配線パターン6の他端は、外部接続電極8に電気的に接続されている。
【0036】
この外部接続電極8は、半導体基板1の外周近傍に配置され、半導体装置9が実装基板に実装された後においては、図15を用いて後述する実装基板21の実装基板電極88と接続されることになる。これにより、半導体装置9が実装基板21に実装された後において、半導体基板1の中心近傍に外部接続電極8が設けられた場合に比較して、半導体基板1の主表面の中心軸周りに加えられた捩じりに対する外部接続電極8部の強度が大きくなる。
【0037】
本実施の形態の半導体装置の配線構造においては、図1から分かるように、再配線パターン6と外部接続電極8とが接続される位置の近傍において再配線パターン6が配線された方向が、再配線パターン6と外部接続電極8とが接続される位置において半導体基板1が熱応力により伸縮する方向に対して交差角(略45°または略90°)を有するような構造となっている。
【0038】
言い換えれば、本実施の形態の半導体装置の配線構造においては、再配線パターン6と外部接続電極8とが接続される位置の近傍において再配線パターン6が配線された方向が、長方形の対角線の交点11と再配線パターン6と外部接続電極8とが接続される位置とを結ぶ方向、すなわち、図1において矢印12で示す方向に対して交差角(略45°または略90°)を有するような配線構造となっている。本実施の形態においては、交差角が略45°または略90°の場合を示したが、45°または90°に限らず、0°よりも大きく180°よりも小さい角度であれば、どのような交差角であってもよい。
【0039】
また、本実施の形態の半導体装置においては、半導体基板1上に配線された再配線パターン6の全てが上記した交差角を有する外部接続配線構造となっている。その交差角は、45°〜135°であることが好ましい。さらに、交差角は、60°〜120°であればより好ましい。これは、上記交差角が90°に近づくほど外部接続配線8が配線された方向と半導体基板1が歪む方向とがずれるためである。また、交差角に一定の範囲をもたせているのは、90°のみに限定すると再配線パターン6をできる限り短い距離で配線することができなくなるためである。
【0040】
また、外部接続電極8と再配線パターン6とは、外部接続電極8と再配線パターン6との間の相互拡散を抑制する導電性部材、たとえば、ニッケルからなるバリアメタル膜を介して電気的に接続されていてもよい。これにより、外部接続電極8と再配線パターン6との間の相互拡散が抑制されるため、外部接続電極8と外部接続配線を構成する再配線パターン6との間のコンタクト抵抗が小さくなることにより、外部接続電極8近傍での電気伝導性の向上が図られている。
【0041】
また、図2に示すように、半導体基板1上面には絶縁膜3が形成されている。この絶縁膜3の上面には半導体基板1の主表面に対して傾斜面を有する台状の樹脂部材5が形成されている。これにより、外部接続電極8と半導体基板1とは、樹脂部材5を介して設けられることになる。また、再配線パターン6は、樹脂5の傾斜面に沿うように配線されている。これにより、再配線パターン6と外部接続電極8との接続部近傍の再配線パターン6が比較的なめらかな状態となっている。
【0042】
また、この再配線パターン6の少なくとも一部においては、2種類以上の材質からなる多層構造の配線パターンとなっている。そのため、加工性が良好な配線と導電性が良好な配線とを組合わせた配線構造等とすることも可能となる。
【0043】
さらに、半導体基板1、絶縁膜3、樹脂部材5、再配線パターン6および外部接続電極8の表面の一部を覆う保護膜7が形成されている。これにより、半導体基板1、半導体基板上電極2、絶縁膜3、樹脂5、再配線パターン6および外部接続電極8の表面の一部が損傷することが防止されている。
【0044】
本実施の半導体装置の配線構造においては、上記のような配線構造にすることにより、以下のような効果がある。
【0045】
半導体基板1の熱膨張係数と、実装基板21の熱膨張係数とが異なる場合、半導体基板1が実装基板21に実装された後においては、外部接続電極8の近傍の再配線パターン6は、半導体基板1と実装基板21との熱膨張の大きさの差に相当する歪み応力を受けることになる。
【0046】
本実施の形態の再配線パターン6の構造は、外部接続電極8の近傍においては、外部接続配線8が配線された方向は熱応力によって伸縮する方向と交差角を有する、すなわち、長方形の対角線の交点と再配線パターン6と外部接続電極8とが接続される位置とを結ぶ方向とがずれている。そのため、再配線パターン6が配線された方向と半導体基板1が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、外部接続電極8の近傍の再配線パターン6に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、再配線パターン6は歪み応力による悪影響が緩和されるため、半導体基板1を実装基板21に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。
【0047】
また、外部接続電極8と再配線パターン6との接続部全ての近傍において、上記のような配線構造となっているため、全ての再続配線パターン6に生じる歪み応力が小さくなる。そのため、再配線パターン6全ての接続部近傍における歪みに起因した損傷の発生が低減される。それにより、半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【0048】
次に、上記の構造を有する本実施の形態の半導体装置の製造方法を説明する。図2〜図6においては、個片化前の半導体装置において、外部接続電極8を通る線で切ったときの部分断面図が示されている。本実施の半導体装置の製造方法においては、まず、図3に示すように、半導体基板1上にアルミニウムからなる半導体基板上電極2を形成する。その後、半導体基板電極2が形成されている領域以外の領域には絶縁膜3を形成する。この絶縁膜3は、いわゆる前半工程において形成されている場合と形成されていない場合とがあるが、たとえば、半導体基板1上の主表面の全面にポリイミド等の樹脂材料をスピンコート等で塗り付けて絶縁膜を半導体基板1の主表面の全面に形成した後、フォトリソグラフィなどの手段により半導体基板上電極2が形成される位置の絶縁膜に開口処理を施す方法によって形成される。
【0049】
次に、図4に示すように、半導体基板1上に形成された絶縁膜3の上の外部接続電極8を形成すべき位置に樹脂部材5を形成する。この樹脂部材5は、絶縁膜3および再配線パターン6との密着性に優れた材料が望ましい。一例として、エポキシ樹脂、シリコン系樹脂、ゴム系樹脂などが挙げられる。特に、これらの材料には限定されないが、実装後の応力緩和の効果に優れている弾性率の低い樹脂であればより好ましい。この樹脂部材5の形成方法としては、特に限定しないが、たとえば、外部接続電極8のピッチが0.8mmである場合、直径0.5mmφ程度の突起を0.1mm厚程度の金属製ステンシルを用いてスクリーン印刷により形成する方法が用いられる。
【0050】
上記の樹脂部材5は、上記スクリーン印刷法等によって、外部接続電極8が形成される位置にのみそれぞれ独立して形成されれば、半導体基板1を実施基板10に実装した後に生じる熱応力の緩和を効果的に実現することが可能となる。
【0051】
次に、図5に示すように、半導体基板上電極2の上面から外部接続電極8が形成される樹脂部材5の上面まで再配線パターン6を形成する。この再配線パターン6の形成方法は、めっき法が一般に用いられる。それは、再配線パターン6に、たとえば、銅(Cu)の電解めっきを施すと、配線パターン6の電気抵抗を小さくすることができ、再配線パターン6においての電圧降下、発熱または信号の遅延等を防ぐことができるという利点があるためである。
【0052】
さらに、本実施の形態の樹脂部材5は傾斜面を有する樹脂部材であるため、傾斜面に沿うように再配線パターン6を形成することができる。したがって、一度の工程で再配線パターン6を形成することができるため、製造工程が簡略化されることにより、生産性を向上させることができる。
【0053】
また、再配線パターン6の形成時には、半導体基板上電極2部において、銅(Cu)と外部接続電極8であるはんだ接続部との間の相互拡散を抑えるため、いわゆる、バリアメタル層を形成する。バリアメタル層を形成する材質として、たとえば、ニッケル(Ni)が用いられる。ニッケルを用いた場合は、はんだとの濡れ性が問題になるため、ニッケルの上に、たとえば、金(Au)めっきが施される。めっきの方法は、無電解めっき法を用いる。それは、ニッケルおよび金のめっき工程を1つの層で行なうことができるという利点があるためである。
【0054】
上記された再配線パターン6は、図1に示されるように、半導体基板1の主表面上に配線される。図1において、点線10は長方形の半導体基板1の対角線の交点11と外部接続電極8とを結ぶ線であり、矢印12は外部接続電極8それぞれの近傍で半導体基板1の主表面に生じる歪の方向を示している。半導体装置を実装基板に実装した後で熱サイクル履歴が加えられると、半導体基板1(熱膨張係数2ppm/℃〜4ppm/℃)と実装基板21(熱膨張係数10ppm/℃〜20ppm/℃)との間には熱膨張係数に差があるため、実装基板の熱膨張に対して半導体基板の熱膨張が小さく、外部接続電極8近傍において歪が生じる。この結果、熱膨張方向つまり矢印12で示す方向へ熱歪応力が発生する。
【0055】
この熱歪応力のために、後述する図13のシミュレーションモデルの結果を考慮すると、矢印12が示す歪が生じる方向へ再配線パターン6を配線する場合、再配線パターン6が受ける熱歪応力が大きくなるため、再配線パターン6が断線するという不都合な事態が生じると考えられる。そのため、再配線パターン6を矢印12が示す歪が生じる方向を避けて外部接続電極8から引出すように配線することが好ましいと推定される。最も効果的な配線方法は、歪方向、すなわち、図1において矢印12が示す方法と直角をなす方向に再配線パターン6を引出す配線方法である。これによれば、熱歪応力の悪影響を最も受けにくくなる。ただし、歪方向に対して直角の方向に再配線パターン6を引出すことだけに執着して、外部接続電極8と半導体基板上電極6との間の再配線パターン6を長くすると、再配線パターン6が冗長となった分だけ無駄な電気抵抗となってしまう。そこで、再配線パターン6を設計する際には、再配線パターン6を外部接続電極8から引出す側において、熱歪が生じる方向を避けた方向、好ましくは、図13のシュミレーションモデルの歪発生状況から考えて、歪が生じるX軸方向に対して45°〜135°までの交差角を有する方向の範囲で再配線パターン6を引出すことが好ましいと考えられる。
【0056】
次に、図6に示すように、再配線パターン6および半導体装置9の半導体基板上電極2がある面を保護する保護膜7を形成する。この保護膜7は、たとえば、印刷法や感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィ法によって形成される。フォトリソグラフィ法による場合には、感光性樹脂を用いてスピンコート等で保護膜を半導体基板1全面を覆うように形成した後、全面に形成された保護膜のうち外部接続電極8を形成する箇所のみに開口を形成するための処理が施される。
【0057】
次に、図2に示すように、樹脂部材5の上に外部接続電極8を形成する。この外部接続電極8は、たとえば、錫/鉛共性合金をベースとするボールがフラックスとともに樹脂部材5上の再配線パターン6に載せられた後、リフロー法を用いることにより形成される。ボールの材質としては錫/鉛に限定されず、錫/銀/銅などの、鉛のフリーはんだによるボールであってもよい。
【0058】
最後に、半導体基板1に設けられたダイシングライン4に沿って切断し、半導体基板1を個片化して、図2に示すような半導体装置9が完成する。なお、図2〜図6を用いて説明した製造工程においては、すべてウェハプロセスで行なうことができ、かつ、安価なプロセスである印刷法を極力用いているため、半導体装置を低いコストで製造でき、熱応力を十分に緩和する構造を提供することができる。
【0059】
以上説明したように、本実施の形態における半導体装置によれば、外部接続電極8が形成される位置に形成された樹脂部材5によって、半導体基板1を実装基板21に実装した後の熱応力を緩和することが可能になるだけでなく、外部接続電極8に電気的に接続される再配線パターン6を、歪が生じる方向を避けて引出すことにより、再配線パターン6にかかる応力を低減し、再配線パターン6の断線不良をなくすことが可能となる。
【0060】
上記本実施の形態の半導体装置を実装した後に熱応力が発生したときの外部接続電極近傍に生じる歪みの状態を、図12に示すはんだ接続部のモデルを用いて説明する。図12には、1つのはんだ接続部の半割り構造のモデルが示されている。特願平11−258460号に記載の半導体装置をもとに考えた、はんだ接続部16直下に応力緩和を目的とした樹脂層17が介在するモデルである。このモデルにおいては、特願平11−258460号に記載の実施の形態と同様に、印刷法を用いて樹脂層17を形成したときの状態を考慮して、樹脂層17は「液滴形状」であると設定した。
【0061】
上記のモデルで、はんだ接続部16の半導体基板15と接続される面、すなわち、樹脂層17の最上面をX方向に17.5μmだけ強制変位させた場合に相当する弾性歪みの分布を求めた。この17.5μmという値は、16mm角チップの中央、すなわち、対角線の交点から最も遠いはんだ接続部において、半導体基板1を実施基板10に実装した後に165℃(=125℃−(−40℃)の温度差が生じた場合に半導体基板1と実装基板21との間に生じる歪みの一方向の長さの差に該当する。また、−40℃から125℃までの165℃の温度差は、実装信頼性を保証するために行なう信頼性試験の温度サイクル条件である。
【0062】
また、図13には、モデルを強制変位させた場合に、はんだ接続部16の周辺の保護膜18に生じる相当弾性歪シミュレーションの結果が示されている。これによると、モデルの中立点から変位方向に歪が発生し、逆に変位方向と直角をなす方向には、歪がほとんど発生していない。この結果より、再配線を引出す方向としては、変位方向、すなわち、図12におけるX軸方向と90°の角度をなす方向が熱応力の影響を最も受けにくい最適方向であることが分かる。このことから、再配線パターン6を引出す方向と、半導体基板1および実装基板が熱膨張による伸縮に応じて変位する方向との交差角の角度が小さくなるほど、熱応力の影響をより大きく受けるといえる。したがって、再配線パターン6を引出す方向と、半導体基板1および実施基板10が歪む方向とがなす交差角の角度が0°〜45°までの範囲においては、接続部16は歪みによる大きな悪影響を受けると推定される。
【0063】
本実施の形態の半導体装置においては、半導体装置9を実装基板21に実装した後に熱が加えられると、実装基板21の熱膨張係数が10〜20ppm/℃であるのに対して、半導体基板1の熱膨張係数が2〜4ppm/℃であるため、半導体基板1の熱膨張は実装基板21の熱膨張に対して小さい。すなわち、外部接続接続電極8には外側へ向う熱応力がかかることになる。したがって、外部接続電極8近傍の再配線パターン6においては、図2に示す半導体基板1の中心11から外部接続電極8へ向う方向に歪が発生することになる。このことから、上記したように、交差角が、45°〜135°であることが好ましく、さらに、60°〜120°であればより好ましいと判断される。
【0064】
また、応力の影響を最も受ける位置である少なくとも4隅の外部接続電極8に接続する再配線パターン6を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましく、さらに、全ての外部接続電極8に接続する再配線パターン6を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましい。
【0065】
(実施の形態2)
次に、図7〜図11を用いて本発明の実施の形態2における半導体装置の構造および製造方法を説明する。まず、本実施の形態の半導体装置の構造を図7を用いて説明する。本実施の形態の半導体装置においては、長方形の半導体基板1の主表面上には絶縁膜3が形成され、この絶縁膜3が形成されている以外の領域には半導体基板上電極2が設けられている。半導体基板上電極2および絶縁膜3の上には、半導体基板上電極2の上面に一端が電気的に接続され、半導体基板上電極2から半導体基板1の主表面に沿うように形成された本発明の外部接続配線の一部を構成する再配線パターン6が設けられている。再配線パターン6の他端は、本発明の外部接続配線の一部を構成する導電性の埋込み部材14に接続されることによって外部接続電極8に電気的に接続されている。また、半導体基板1の主表面、半導体基板上電極2、絶縁膜3、再配線パターン6、埋込み部材14を覆うように樹脂層13bが形成されている。
【0066】
次に、本実施の形態の半導体装置の製造方法を図7〜図11を用いて説明する。図7〜図11には、本発明の実施の形態2における半導体装置の製造方法が示されている。本実施の形態の半導体装置の製造方法においては、実施の形態1において図2〜図6を用いて示した半導体装置の製造方法と比較して再配線パターン6の形成方法が異なる。
【0067】
本実施の形態の半導体装置の製造方法においては、まず、図8に示すように、実施の形態1において図3を用いて示した製造工程と同じ方法で半導体基板1上の絶縁膜3および半導体基板上電極2を形成する。その後、半導体基板電極2の上面から外部接続電極8が形成される位置の直下の絶縁膜3上の位置まで再配線パターン6を形成する。再配線パターン6は、実施の形態1において図5を用いて示した製造工程と同様の方法を用いて形成する。再配線パターン6を引出す方向については、実施の形態1において図1を用いて示した方向と同様である。
【0068】
次に、図9に示すように、半導体基板1上の全面に樹脂層を形成した後、再配線パターン6に接続するコンタクトホールを形成して、樹脂層13aを形成する。
【0069】
次に、図9に示した工程で形成した樹脂層13aのコンタクトホールの表面にめっき処理を施した後、コンタクトホールを埋込むように穴埋め部材14を形成する。穴埋め部材14の材質としては、たとえば、銅やニッケルなどの材料を用いる。その後、図10に示すように、樹脂層13aを除去する。
【0070】
次に、図11に示すように、半導体基板1上の再配線パターン6等の保護のための樹脂層13bを形成する。次に、図7に示すように、実施の形態1で図2を用いて示した製造工程と同様の方法で外部接続電極8の形成を行なう。その後、実施の形態1の半導体装置の製造方法と同様に、半導体基板1を個片化させるために、半導体基板1をダイシングライン4に沿って切断する。これにより、本実施の形態の半導体装置が完成する。
【0071】
本実施の形態の半導体装置の再配線パターン6の構造においても、平面構造においては、実施の形態1において図1を用いて示した配線構造と同様の配線構造であるため、半導体基板を実装基板に実装した後に生じる熱応力に起因する歪みによる再配線パターン6の断線が防止された配線構造を有する半導体装置となる。
【0072】
なお、上記実施の形態1、2に記載した半導体装置9および実装基板21は、半導体基板と半導体基板を実装したセラミックスなどの誘電体基板とから構成され、さらに、この誘電体基板を実装する第3の基板に設置されていてもよい。
【0073】
(実施の形態3)
次に、図14および図15を用いて本発明の実施の形態3における半導体装置を実装する実装基板21について説明する。なお、本実施の形態の半導体装置および実装基板は、図14に示すように、長方形の対角線の交点を共通とするように重ねて設置される。
【0074】
まず、本実施の形態の半導体装置を実装する実装基板の構造について説明する。実施の形態1および2に示した半導体装置9が実装された後においては、外部接続電極8が、図15に示す略長方形からなる実装基板21上に設けられた実施基板接続電極88に接続されることになる。この実装基板21の主表面にも、実装基板電極88に一端が接続され、実装基板21の主表面に沿うように形成された実装基板接続配線66が配線されている。
【0075】
本実施の形態の半導体装置の実装基板においては、実施の形態1および2で示した半導体装置と同様に、半導体基板1を実施基板10に実装した後の熱履歴によってはんだ接続部に熱応力が加わった場合には、半導体基板1側だけでなく、実装基板21側の実装基板電極部88にも歪応力が加わる。
【0076】
そのため、本実施の形態の実装基板接続配線66の構造においては、上記実施の形態1および2で示した半導体装置の外部接続配線の構造と同様に、実装基板接続配線66と実装基板接続電極88とが接続される位置の近傍において実装基板接続配線66が配線された方向が、実装基板接続配線66と実装基板接続電極88とが接続される位置において実装基板21が熱応力により伸縮する方向に対して交差角(略45°または略90°)を有するような配線構造となっている。
【0077】
言い換えれば、実装基板接続配線66と実装基板接続電極88とが接続される位置の近傍において実装基板接続配線66が配線された方向が、実装基板21の外周が形成する長方形の対角線の交点と実装基板接続配線66と実装基板接続電極88とが接続される位置とを結ぶ方向、すなわち、図15において矢印12で示す方向に対して交差角(略45°または略90°)を有するような配線構造となっている。
【0078】
本実施の形態においては、交差角が略45°または略90°の場合を示したが、45°または90°に限らず、0°よりも大きく180°よりも小さい角度であれば、どのような交差角であってもよい。
【0079】
このような構造にすることにより、上記半導体基板1を実装基板21に実装した場合には以下の効果がある。本実施の形態の実装基板においては、実装接続電極88の近傍においては、実装基板接続配線66が配線された方向は熱応力によって伸縮する方向と交差角を有する、すなわち、ずれている。そのため、上記のような実装基板接続配線66の構造においては、実装基板接続配線66が配線された方向と実装基板21が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、実装基板接続電極88の近傍の実装基板接続配線66に生じる歪み応力は小さくなる。
【0080】
言い換えれば、実装基板接続配線66が配線された方向と実装基板21の外周の長方形の対角線の交点と実装基板接続配線66と実装基板接続電極88とが接続される位置とを結ぶ方向とが一致する場合に比較して、実装基板接続電極88の近傍の実装基板接続配線66に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、実装基板接続配線66は歪み応力による悪影響が緩和されるため、実装基板21を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、実装基板接続配線66の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の実装基板となる。
【0081】
次に、半導体装置を実装する実装基板の製造方法について説明する。本発明の実装基板の接続配線としての実装基板接続配線66の形成方法は、実施の形態1および2で示した再配線パターン6の形成方法と同様に、めっき法により、銅またはニッケル等の材料を用いる方法で形成する。たとえば、銅(Cu)の電解めっきを施すと、実装基板接続配線66の電気抵抗を小さく抑えることかできるため、電圧降下、発熱、または、信号の遅延等を防ぐことができる。
【0082】
また、実装基板接続配線66を形成した後には、銅と実装基板接続電極88であるはんだとの間の相互拡散を抑えるための、いわゆる、バリアメタル層を形成する。このバリアメタル層の材質としては、たとえば、ニッケル(Ni)が用いられる。ニッケルとはんだとは濡れ性が問題になるため、ニッケルの上には、たとえば、金(Au)めっきが施される。
【0083】
なお、本実施の形態においても上記交差角は45°〜135°が望ましく、さらには、60°〜120°が望ましい。また、応力の影響を最も受ける位置である少なくとも4隅の実装基板接続電極88に接続する実装基板接続配線66を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましく、さらに、全て実装基板接続電極88に接続する実装基板接続配線66を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましい。また、本実施の形態では実装基板21に接続する場合について説明したが、本実施の形態は実装基板21に接続する実装基板接続電極88の配線方向に特徴があるものであり、実装する半導体装置は実施の形態1,2に記載の半導体装置9に限るものではない。
【0084】
また、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0085】
【発明の効果】
本発明の半導体装置によれば、上記した交差角を有するような構造であるため、半導体装置を実装基板に実装した後に熱履歴が加えられた場合において、たとえば、はんだ接続部により形成される外部接続電極近傍の外部接続配線に熱歪が生じた場合に、外部接続電極から引出される外部接続配線にかかる応力を低減することができるため、外部接続配線の断線を防止することができる。したがって、半導体装置を実装基板に実装した後の半導体装置の信頼性を向上させることができる。また、外部接続配線の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の半導体装置とすることができる。
【0086】
また、少なくとも基板の4隅に位置する外部接続電極に接続する外部接続配線が、0°より大きく180°より小さい交差角を有しているため、実装後において熱応力による伸縮を最も受け易い4隅の外部接続電極と外部接続配線との間の接続の信頼性が向上する。
【0087】
また、外部接続電極と外部接続配線との接続部全てが、上記のような構造であるため、外部接続電極と外部接続配線との接続部全てにおいて外部接続配線に生じる歪み応力が小さくなるため、外部接続配線全ての損傷の発生が低減されることにより、半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【0088】
また、上記した交差角が45°〜135°または60°〜120°であるため、外部接続電極をできる限り短い距離で配線することを可能にしつつ、外部接続配線が断線する可能性をさらに低減することができる。
【0089】
また、外部接続電極が基板の外周近傍に設けられているため、基板が他の基板に接続された後において、基板の中心近傍に接続電極が設けられた場合に比較して、基板の主表面の中心軸周りに加えられた捩じりに対する外部接続電極部の強度が大きくなる。
【0090】
また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成された場合、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、1回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【0091】
また、他の接続配線においても上記の交差角を有する配線構造となっているため、他の接続配線においても歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【0092】
また、実装基板に設けられる他の接続電極と他の接続配線との接続位置の近傍においても、上記の交差角を有する配線構造にすれば、他の接続配線の断線の可能性が低減されるため、半導体装置の実装後の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における半導体装置の外部接続配線の構造を説明するための図である。
【図2】本発明の実施の形態1における半導体装置の断面構造を示す図である。
【図3】本発明の実施の形態1における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図4】本発明の実施の形態1における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図5】本発明の実施の形態1における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図6】本発明の実施の形態1における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図7】本発明の実施の形態2における半導体装置の断面構造を示す図である。
【図8】本発明の実施の形態2における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図9】本発明の実施の形態2における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図10】本発明の実施の形態2における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図11】本発明の実施の形態2における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図12】外部接続電極付近を半割りにしたモデル図である。
【図13】図12において外部接続電極が接続される面に強制変位を与えたときのはんだ接続部周辺の相当弾性歪の分布図である。
【図14】本発明の実施の形態3の実装基板の構造を示す図である。
【図15】本発明の実施の形態3の実装基板側の再配線パターンを示す図である。
【図16】従来のモールドが施されていないベアチップの一例を示す図である。
【図17】従来のモールドが施されていないベアチップが実装基板に搭載された状態を示す図である。
【図18】従来の半導体装置の実装において、ベアチップがアンダーフィルを用いて実装された状態を示す図である。
【符号の説明】
1 半導体基板、2 半導体基板上電極、3 絶縁膜、4 ダイシングライン、5 樹脂部材、6 再配線パターン、7 保護膜、8 外部接続電極、9 半導体装置、10 半導体基板の主表面の中心と外部接続電極を結ぶ点線、11 半導体基板の主表面の中心、12 歪方向を示す矢印、13a 再配線パターンの形成のための樹脂層、13b 再配線パターン保護のための樹脂層、14 穴埋め部材、15 モデルにおける基板、16 モデルにおけるはんだ接続部、17 モデルにおける樹脂部、18 モデルにおける保護膜、21 実装基板、66 実装基板接続配線、88 実装基板接続電極、108 接続部、119 ベアチップ(半導体基板)、120 実装基板側電極、121 実装基板、122封止樹脂。
Claims (14)
- 基板と、
該基板に設けられた外部接続電極と、
前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、前記外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、
前記外部接続電極と前記基板とが、前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、
前記外部接続配線が、前記傾斜面に沿うように配線され、
前記絶縁性部材は前記外部接続電極ごとに独立して形成され、
前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置の近傍において、前記外部接続配線が配線された方向が、前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置において前記基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、半導体装置。 - 長方形からなる基板と、
該基板に設けられた外部接続電極と、
前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、前記外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、
前記外部接続電極と前記基板とが、前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、
前記外部接続配線が、前記傾斜面に沿うように配線され、
前記絶縁性部材は前記外部接続電極ごとに独立して形成され、
前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置の近傍において、前記外部接続配線が配線された方向が、前記長方形の対角線の交点と前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、半導体装置。 - 少なくとも前記基板の4隅に位置する外部接続電極に接続する外部接続配線が、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記基板上に配線された前記外部接続配線の全てが、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記交差角が、45°〜135°である、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記交差角が、60°〜120°である、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記外部接続電極は、前記基板の外周近傍に配置された、請求項1〜6のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、
前記他の接続電極が設けられた他の基板と、
前記他の接続電極に一端が接続され、前記他の基板の前記他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とをさらに備えた、請求項1〜7のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置の近傍において、前記他の接続配線が配線された方向が、前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置において前記他の基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、請求項1〜8のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記他の基板は長方形に形成されており、
前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置の近傍において、前記他の接続配線が配線された方向が、前記長方形の対角線の交点と前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、請求項1〜8のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記基板が半導体基板である、請求項1〜10のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記他の基板が半導体基板を実装する実装基板である、請求項8〜11のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体基板と、
該半導体基板に設けられた外部接続電極と、
前記半導体基板の前記外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、前記外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線と、
前記外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、
前記他の接続電極が設けられた実装基板と、
前記他の接続電極に一端が接続され、前記実装基板の前記他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とを備え、
前記外部接続電極と前記基板とが、前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、
前記外部接続配線が、前記傾斜面に沿うように配線され、
前記絶縁性部材は前記外部接続電極ごとに独立して形成され、
前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置の近傍において、前記外部接続配線が配線された方向が、前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置において前記基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有し、
前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置の近傍において、前記他の接続配線が配線された方向が、前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置において前記実装基板が熱応力により伸縮する方向に対して、0°より大きく180°より小さい交差角を有する、半導体装置。 - 前記実装基板が誘電体基板である、請求項12または13に記載の半導体装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000154788A JP3596864B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 半導体装置 |
DE10125035A DE10125035A1 (de) | 2000-05-25 | 2001-05-22 | Halbleiterbauteil |
KR10-2001-0028682A KR100368029B1 (ko) | 2000-05-25 | 2001-05-24 | 반도체장치 |
US09/864,172 US6587353B2 (en) | 2000-05-25 | 2001-05-25 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000154788A JP3596864B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001332653A JP2001332653A (ja) | 2001-11-30 |
JP3596864B2 true JP3596864B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=18659829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000154788A Expired - Fee Related JP3596864B2 (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6587353B2 (ja) |
JP (1) | JP3596864B2 (ja) |
KR (1) | KR100368029B1 (ja) |
DE (1) | DE10125035A1 (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003188313A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003332488A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品 |
JP3542350B2 (ja) | 2002-05-31 | 2004-07-14 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
DE10239080A1 (de) * | 2002-08-26 | 2004-03-11 | Infineon Technologies Ag | Integrierte Schaltung |
DE10255844B3 (de) * | 2002-11-29 | 2004-07-15 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung mit einer Umverdrahtungseinrichtung und entsprechende integrierte Schaltung |
JP4082220B2 (ja) * | 2003-01-16 | 2008-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 配線基板、半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法 |
JP3851320B2 (ja) | 2004-03-25 | 2006-11-29 | Tdk株式会社 | 回路装置及びその製造方法 |
DE102004028572B4 (de) * | 2004-06-15 | 2008-08-14 | Qimonda Ag | Umverdrahtungseinrichtung für elektronische Bauelemente |
TWI254428B (en) * | 2004-11-24 | 2006-05-01 | Advanced Chip Eng Tech Inc | FCBGA package structure |
KR101267651B1 (ko) | 2005-02-25 | 2013-05-23 | 테세라, 인코포레이티드 | 유연성을 갖는 마이크로 전자회로 조립체 |
JP5165190B2 (ja) * | 2005-06-15 | 2013-03-21 | オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4061506B2 (ja) | 2005-06-21 | 2008-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7749886B2 (en) | 2006-12-20 | 2010-07-06 | Tessera, Inc. | Microelectronic assemblies having compliancy and methods therefor |
JP4273356B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4572376B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2010-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法 |
JP4536757B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2010-09-01 | 株式会社フジクラ | 半導体パッケージおよび半導体パッケージの製造方法 |
JP4840601B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2011-12-21 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7868446B2 (en) * | 2007-09-06 | 2011-01-11 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor device and methods of manufacturing semiconductor devices |
JP4405562B2 (ja) | 2008-03-18 | 2010-01-27 | 株式会社東芝 | プリント配線板および電子機器 |
GB2464549B (en) * | 2008-10-22 | 2013-03-27 | Cambridge Silicon Radio Ltd | Improved wafer level chip scale packaging |
TWI429339B (zh) * | 2008-12-31 | 2014-03-01 | Taiwan Tft Lcd Ass | 電路板用之基材、電路板以及電路板的製造方法 |
US20110067910A1 (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | International Business Machines Corporation | Component securing system and associated method |
JP5879090B2 (ja) * | 2011-10-20 | 2016-03-08 | 株式会社ケーヒン | プリント配線板 |
US8815752B2 (en) | 2012-11-28 | 2014-08-26 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming features in semiconductor device structures |
JP2021150311A (ja) | 2020-03-16 | 2021-09-27 | キオクシア株式会社 | 半導体装置 |
JP7438905B2 (ja) * | 2020-09-17 | 2024-02-27 | 株式会社東芝 | ディスク装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4813129A (en) * | 1987-06-19 | 1989-03-21 | Hewlett-Packard Company | Interconnect structure for PC boards and integrated circuits |
US5345365A (en) * | 1992-05-05 | 1994-09-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Interconnection system for high performance electronic hybrids |
US6228686B1 (en) * | 1995-09-18 | 2001-05-08 | Tessera, Inc. | Method of fabricating a microelectronic assembly using sheets with gaps to define lead regions |
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US5598036A (en) * | 1995-06-15 | 1997-01-28 | Industrial Technology Research Institute | Ball grid array having reduced mechanical stress |
US6284563B1 (en) * | 1995-10-31 | 2001-09-04 | Tessera, Inc. | Method of making compliant microelectronic assemblies |
US6211572B1 (en) * | 1995-10-31 | 2001-04-03 | Tessera, Inc. | Semiconductor chip package with fan-in leads |
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JPH10163386A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Toshiba Corp | 半導体装置、半導体パッケージおよび実装回路装置 |
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-
2000
- 2000-05-25 JP JP2000154788A patent/JP3596864B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-22 DE DE10125035A patent/DE10125035A1/de not_active Ceased
- 2001-05-24 KR KR10-2001-0028682A patent/KR100368029B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-05-25 US US09/864,172 patent/US6587353B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6587353B2 (en) | 2003-07-01 |
US20010045649A1 (en) | 2001-11-29 |
KR20010107729A (ko) | 2001-12-07 |
KR100368029B1 (ko) | 2003-01-15 |
JP2001332653A (ja) | 2001-11-30 |
DE10125035A1 (de) | 2001-12-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040601 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040824 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090917 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090917 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100917 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110917 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120917 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130917 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |