JP2006148037A - フリップチップ・ボールグリッドパッケージ構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれにより応力が増大して、ソルダーボールに亀裂が発生する現象を防ぐことのできるフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造を提供する。
【解決手段】複数リードを具えるベースと、該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含んでなるパッケージ構造。
【選択図】図5
【解決手段】複数リードを具えるベースと、該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含んでなるパッケージ構造。
【選択図】図5
Description
この発明はウェハのパッケージ技術に関し、特にフリップチップ・ボールグリッドアレイ(FCBGA)パッケージ構造に関する。
初期のボンディング技術はターミナル密度が極端に高くなり、且つ技術的に更に進歩した半導体結晶には適さない。このため新規なボールグリッドアレイ(EGA)が既に開発され、進歩した半導体結晶のパッケージに係るニーズを満たしている。ボールグリッドアレイパッケージの特徴は、球形のターミナルを具えているという点にあり、球形のターミナルはボンディングによるパッケージに比してピッチが狭い。しかも、係るターミナルは損傷を受けにくく、変形しにくい。また、信号送信距離が短いため操作の頻度を高めることができ、より速く効率的な操作を求めるニーズに符合する。
パッケージ技術のほとんどは、ウェハ上のダイを分割して個別のダイとし、更にこれら個別のダイにパッケージとテストを行う。別途ウェハレベルパッケージ(WLP)と称するパッケージ技術は、個別のダイに分割する前にウェハ上のダイにパッケージを行う。係るウェハレベルパッケージは、例えば生産周期が短く低価格で、且つ充填物(under−fill)、もしくはモールディングを必要としない等といった特徴を有する。
目下、市場に見られるパッケージの部分の構造は、図1に開示するように絶縁層103と、集積回路素子100の保護層102とを含んでなる。絶縁層103の材質は厚さ約5μmのBCB、ポリイミド等の誘電材であって、保護層102はポリイミドか、もしくは窒化シリコン(SiN)等を材質とする。また、再配置する導電層(redistribution layer:RDL)104を、該絶縁層103、集積回路素子のアルミボンディングパッド101とを結合させる。該導電層104は、厚さ約15μmの銅、ニッケル、金(Cu/Ni/Au)合金を材質とする。また、絶縁層105によって導電層104を被覆し、絶縁層105には複数の開口を形成し、それぞれの開口にソルダーボール106を設け、プリント回路ボードか、もしくは外部接続装置と電気的に接続する。絶縁層105はBCB、エポキシ化物、樹脂、もしくはポリイミド等の誘電材を材質とする。
上述する従来のパッケージ構造は、最上層の材料によってソルダーボール106の固定を強める。但し、導電層104と、絶縁層103の結合の強度が強すぎると、かえってマイナスの効果が発生する。即ちソルダーボール106と、プリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって応力が発生すると負荷領域107においてソルダーボール106と、導電層104との接合部では温度の変化によって発生する位置のずれの力が大きくなり、ソルダーボール106とボンディングパッドとの間に亀裂が発生し、オープンサーキットが発生する。係るパッケージ構造の欠点について改善が望まれている。
この発明は、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれにより応力が増大して、ソルダーボールに亀裂が発生する現象を防ぐことのできるフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造を提供することを課題とする。
そこで本発明者は、従来の技術に鑑み鋭意研究を重ねた結果、複数リードを具えるベースと、該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、該第一性誘電層上に形成され、該第一電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一性誘電層上の一部に付着する導電層と、該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含んでなるパッケージ構造によって課題を解決できる点に着眼し、係る知見に基づき本発明を完成させた。
以下、この発明について具体的に説明する。
以下、この発明について具体的に説明する。
請求項1に記載するパッケージ構造は、複数リードを具えるベースと、
該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、
フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、
該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、
該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含む。
該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、
フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、
該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、
該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含む。
請求項2に記載するパッケージ構造は、請求項1におけるパッケージ構造が、さらに該複数のリードに電気的にカップリングするハンダボールを具えるプリント回路ボードを含む。
請求項3に記載するパッケージ構造は、請求項2におけるパッケージシステムが、該複数のソルダーバンプの間に形成される充填物を更に含む。
請求項4に記載するパッケージ構造は、請求項1におけるソルダーバンプを該ベースに設けた場合、該パッケージ構造の固定領域における該導電層が、該チップのボンディングパッド上の力を直接受けることないように、該屈折した導電パターンを該パッケージ構造の緩衝物として応力を吸収するように構成する。
請求項5に記載するパッケージ構造は、請求項1におけるパターン化された第一弾性誘電層と該導電層との間に、パターン化された第三絶縁層を形成し、該第三絶縁層の材質がBCBか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択される。
請求項6に記載するパッケージ構造は、請求項1における第一弾性誘電層と第二誘電層の材質が、BCBか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択される。
請求項7に記載するパッケージ構造は、請求項1における導電層の材質が金属の合金であって、該金属の合金がスパッタリングで形成されるチタン銅(Ti/Cu)合金か、もしくは電気メッキで形成される銅ニッケル金(Cu/Ni/Au)合金であり、且つ該金属合金の厚さが10μmから20μmである。
請求項8に記載するパッケージ構造は、請求項1におけるパッケージ構造がウェハレベルパッケージの構造であって、該屈折した導電層パターンが、該ボンディングパッドから該ソルダーバンプ下のソルダーパッドに延伸し、且つ線と半径方向との間に形成される夾角が45°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。
請求項9に記載するパッケージ構造は、請求項8における第一弾性誘電層自身の作用と、該第一弾性誘電層、該第二弾性誘電層と、該導電層との間の比較的弱い付着力によって、該ベースの熱膨張が該チップの熱膨張より高くなった場合、該ソルダーバンプが持ち上げられて亀裂が発生しないように構成する。
請求項10に記載するパッケージ構造はにおけるバンプの配置方法は、ダイ上に形成される複数のボンディングパッドと、
該ダイ上に設けられリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含むパッケージ構造における導電バンプの配置方法であって、
線と半径方向との間に形成される夾角が45°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。
該ダイ上に設けられリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含むパッケージ構造における導電バンプの配置方法であって、
線と半径方向との間に形成される夾角が45°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。
請求項11に記載するパッケージ構造における導電バンプの配置方法は、請求項10におけるリードが、該ボンディングパッドから該金属バンプ下のパッドに延伸する。
本発明のパッケージ構造は、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれにより応力が増大して、ソルダーボールに亀裂が発生する現象を防ぐことのでき、ソルダーボールの使用寿命を長くすることができるとともに、余剰の材料によってソルダーボールの固定を強める必要がないため、製造コストを節減し、且つ製造工程を簡易化できるという利点がある。
この発明は、フリップチップ・ボールグリッドアレイ(FCBGA)パッケージ構造を提供するものであって、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれによる応力(enforcing stress)が増強し、ハンダボールの亀裂を招き、オープンサーキットが発生することを防ぐという目的を、実現した。
この発明に開示するフリップチップ・ボールグリッドアレイパッケージの構造は、複数のソルダーバンプを具えるフリップチップソルダーボールの構造を含んでなり、ベースに複数のリードを具え、該複数のソルダーバンプと電気的にカップリングする。プリント回路ボードは複数のソルダーボールを具え、該複数のリードと電気的にカップリングする。
上述するフリップチップは集積回路であってもよい。
上述するフリップチップパッケージの構造は、ダイと、その上に形成されるソルダーバンプと、パターン化された第一弾性誘電層と、導電層と、及びパターン化された第二弾性導電層を含み、該パターン化された第一弾性誘電層は、集積回路の保護層上に形成される。該導電層は、該集積回路素子の保護層とボンディングパッド上に形成され、パターン化された第一弾性誘電層のパターンに基づき発生する湾曲、屈折した導電層パターンを具える。屈折した導電層パターンは、一部が保護層の上に付着し、また、一部が図案化した第一弾性誘電層上に付着する。該第二弾性誘電層は、該導電層上に形成され、該第二弾性誘電層は複数の開口を具える。該複数のソルダーバンプは該開口に形成され、複数のリードとカップリングする。
該ソルダーバンプをベース上に設けると、該導電層はチップのボンディングパッド上から直接力を受けない。該第一、第二弾性誘電層と導電層との間の比較的弱い付着力によって、該屈折した導電層パターンに緩衝パッドに類似する緩衝領域が発生して応力を吸収する。
該屈折した導電層パターンは、ボンディングパッドからソルダーバンプ下のソルダーパッドに至る。
上述する第一、第二弾性誘電層自身の作用、及び第一、第二誘電層、及び導電層との間の比較的弱い付着力によって、ベースの熱膨張がチップの熱膨張より高くなった場合、該ソルダーバンプは持ち上げられるため亀裂が発生しない。
また、この発明はパッケージ構造の導電バンプの配置方法を提供する。係る配置方法は、ダイ上に形成される複数のボンディングパッドと、該ダイ上に形成されリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含んでなり、且つ線と半径方向との間に形成される夾角が45°より大きく、該線は該チップの中心から該金属バンプの中心に至る線であって、該半径方向は該金属の中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。また、該リードは、該ボンディングパッドから該金属バンプ下のパッドに延伸する。
係る構成のパッケージ構造の構造と特徴を詳述するために具体的な実施例を挙げ、以下に説明する。
係る構成のパッケージ構造の構造と特徴を詳述するために具体的な実施例を挙げ、以下に説明する。
図2にこの発明によるパッケージ構造を開示する。図面においてはパッケージ構造について説明しているが、これは本発明の実施の範囲を限定するものではない。この発明は素子200の保護層202の一部領域を被覆する弾性誘電層203を含む。弾性誘電層203は、例えばBCB、シリカゲル、エポキシ化物、ポリイミド、もしくは樹脂等の誘電材質によって形成する。該パターン化した弾性誘電層203は、ベース層である保護層202を露出させる複数の開口を具える。該パターン化された弾性誘電層203と保護層202の領域に形成される荷重領域207は、図2に開示するように外部からの力の影響を受ける領域である。保護層202の材質はポリイミド、もしくは窒化珪素などの材質を含む。
再配置する導電層(redistribution layer:RDL)204は、パターン化された弾性誘電層203上に形成され、パターン化された弾性誘電層203に基づき少なくとも一以上の屈折、もしくは湾曲した導電層パターンを発生させる。実施例において導電層204は、厚さを10〜20μm、好ましくは15μmのチタン銅(Ti/Cu)合金か、もしくは銅ニッケル金(Cu/Ni/Au)合金等の導電材質によって形成される。チタン銅合金はスパッタリングで形成し、銅ニッケル金合金は電気メッキで形成する。ボンディングパッド201は、例えばアルミ(Al)、もしくは銅(Cu)等の導電材質で形成する。
また、パターン化された弾性誘電層205を導電層204上に形成する。パターン化された弾性誘電層205は複数の開口を具え、それぞれの開口にはコンタクト金属ボールを設け、該コンタクト金属ボールによってプリント回路ボード(PCB)、もしくは外部接続装置(図示しない)に電気的に接続する。コンタクト金属ボールは、例えば図面に開示するソルダーボール206である。パターン化された弾性誘電層205はBCB、シリカゲル、エポキシ化物、ポリイミド、もしくは樹脂等の誘電材質によって形成する。
この発明に開示するパッケージ構造のレイアウトは、上述する保護層202が導電層204を緊密に捕らえる。よって、隣接するパッケージ構造の固定領域210における導電層204は集積回路素子200のインターコネクターのボンディングパッド201からの力を直接受けることがない。ソルダーボール206がプリント回路ボードに付着すると、熱応力が発生する恐れがある。但し、上述する通り導電層204が保護層202に直接隣り合うため、温度の影響が低減する。
また、パッケージ構造の緩衝領域209において導電層204が、保護層202の上面と部分的に付着する弾性誘電層203上に部分的に付着する。このため導電層204は彎曲したパターンを形成する。導電層204のパターンと、彎曲した構造によって導電層204は熱応力を解放する緩衝物としての作用を有する。従って温度の変化によって発生する応力が分散される。導電層204と弾性誘電層203との間の結合性は好ましくない。外部からの力を受けると導電層204は弾性誘電層203の表面において軽微な剥離が発生する。但し、屈折したレイアウトの彎曲導電層パターンによって導電層の展開性が増加するため、軽微な剥離によって熱応力を吸収する。このため、上述する構造は特にボンディングパッドから離れたソルダーボール206使用寿命が長くなる。
上述する導電層204の屈折構造は、ボンディングパッド201からソルダーボール206下のソルダーパッドに延伸する。実施例において線と半径方向(radiusorientation)との間に形成される夾角φは45°より大きくなる。図3に開示するように該線はチップの中心CIからソルダーボール206の中心C2に至り、半径方向はソルダーボール206の中心C2から屈折構造の導電層204に至り、ソルダーボール206から離れる方向である。第一と第二の弾性誘電層である弾性誘電層203、205自身の作用、及び誘電層203、205と、導電層204との間の付着力が弱いことによってベースの熱膨張がフリップチップの熱膨張より高くなった場合、ソルダーボール206は持ち上げられてクラックが発生しない。ソルダーボール206からリードに至り延伸する角度と、その配置する形状によって充填物質(under−fullmaterial)を省くことができる。従って係るレイアウトによって製造コストを節減し、製造工程を簡略化することができる。
図3に開示する平面図によれば、ボンディングパッドはソルダーパッドのソルダーボールA13に延伸し、X/Y方向(紙面)のリードは既に修正されている。ベースの熱膨張がフリップチップの熱膨張より高くなると、弾性誘電層材料の弾性と、高い展開性の作用、及び金属とシリカゲルとの間の付着力の弱さによってソルダーボールA13が持ち上げられ、接合の個所にクラックが発生しない。
この発明はパターン化された弾性誘電層208を含む。該弾性誘電層208は弾性誘電層203と導電層204との間に形成され、ソルダーボール下の導電層の屈折の程度(即ち上述する屈折形状の数量を増加させる)を高める。弾性誘電層208はBCB、シリカゲル、エポキシ化物、ポリイミド、もしくは樹脂等の誘電材質によって形成する。
図4にこの発明によるフリップチップ・ボールグリッドアレイパッケージの他の形態による構造を開示する。図面によれば図2に開示するパッケージ構造に類似し、充填物質404をチップ400上の複数のソルダーバンプ402の間に充填する。再配置する導電層401は、彎曲、もしくは屈折した導電層パターンを具え、ソルダーバンプ402と電気的にカップリングする。弾性誘電層403は導電層401を隔離するために形成する。ベース405のリード408と、コンタクトパッド407は、ソルダーバンプ402とソルダーボール406とにそれぞれ電気的にカップリングする。また、ベース405上に形成されるソルダーボール406はプリント回路ボードか、もしくは外部接続装置に電気的にカップリングする。
図5に他の形態のフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造を開示する。図面に開示するフリップチップ・ボールグリッドアレイパッケージ構造は、図2に開示するパッケージ構造と同様に充填物質を省略する。即ち、チップ500上の複数のソルダーバンプ502の間を充填する必要がない。再配置する導電層501は、湾曲、もしくは屈折する導電層パターンを具え、ソルダーバンプ502と電気的にカップリングする。ベース503のコンタクト504、505はソルダーバンプ502とソルダーボール506とにそれぞれ電気的に接続する。ベース503上に形成するソルダーボール506は、ソルダーボール506とカップリングするコンタクト508を介してプリント回路ボード507に電気的に接続する。
この発明によるパッケージ構造は、フリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造であって、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれの応力が増大し、ソルダーボールに亀裂とオープンサーキットが発生する状況を改善することができる。また、余剰の材料によって、ソルダーボールの固定を増強する必要がない。
以上はこの発明の好ましい実施例であって、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれも本発明の特許請求の範囲に属するものとする。
500 チップ
501 誘電層
502 ソルダーバンプ
503 ベース
504、505、508 コンタクト
506 ソルダーボール
507 プリント回路ボード
501 誘電層
502 ソルダーバンプ
503 ベース
504、505、508 コンタクト
506 ソルダーボール
507 プリント回路ボード
Claims (11)
- 複数リードを具えるベースと、
該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、
フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、
該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、
該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含むことを特徴とするパッケージ構造。 - 前記パッケージ構造が、さらに該複数のリードに電気的にカップリングするハンダボールを具えるプリント回路ボードを含むことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造。
- 前記パッケージシステムが、該複数のソルダーバンプの間に形成される充填物を更に含むことを特徴とする請求項2に記載のパッケージ構造。
- 前記ソルダーバンプを該ベースに設けた場合、該パッケージ構造の固定領域における該導電層が、該チップのボンディングパッド上の力を直接受けることないように、該屈折した導電パターンを該パッケージ構造の緩衝物として応力を吸収するように構成することを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造。
- 前記パターン化された第一弾性誘電層と該導電層との間に、パターン化された第三絶縁層を形成し、該第三絶縁層の材質がBCBか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択されることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造。
- 前記第一弾性誘電層と、第二誘電層の材質がBCBか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択されることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造。
- 前記導電層の材質が金属の合金であって、該金属の合金がスパッタリングで形成されるチタン銅(Ti/Cu)合金か、もしくは電気メッキで形成される銅ニッケル金(Cu/Ni/Au)合金であり、且つ該金属合金の厚さが10μmから20μmであることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造。
- 前記パッケージ構造がウェハレベルパッケージの構造であって、該屈折した導電層パターンが、該ボンディングパッドから該ソルダーバンプ下のソルダーパッドに延伸し、且つ線と半径方向との間に形成される夾角が45°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向であることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造。
- 前記第一弾性誘電層自身の作用と、該第一弾性誘電層、該第二弾性誘電層と、該導電層との間の比較的弱い付着力によって、該ベースの熱膨張が該チップの熱膨張より高くなった場合、該ソルダーバンプが持ち上げられて亀裂が発生しないように構成することを特徴とする請求項8に記載のパッケージ構造。
- ダイ上に形成される複数のボンディングパッドと、
該ダイ上に設けられリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含むパッケージ構造における導電バンプの配置方法であって、
線と半径方向との間に形成される夾角が45°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向であることを特徴とするパッケージ構造における導電バンプの配置方法。 - 前記リードが、該ボンディングパッドから該金属バンプ下のパッドに延伸することを特徴とする請求項10に記載のパッケージ構造における導電バンプの配置方法。
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