JP3581250B2 - 二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法 - Google Patents

二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3581250B2
JP3581250B2 JP14879698A JP14879698A JP3581250B2 JP 3581250 B2 JP3581250 B2 JP 3581250B2 JP 14879698 A JP14879698 A JP 14879698A JP 14879698 A JP14879698 A JP 14879698A JP 3581250 B2 JP3581250 B2 JP 3581250B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
receiver tank
mixed gas
pressure
solenoid valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP14879698A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11333280A (ja
Inventor
英敏 椿山
正記 三上
憲昭 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Water Inc
Original Assignee
Air Water Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Water Inc filed Critical Air Water Inc
Priority to JP14879698A priority Critical patent/JP3581250B2/ja
Publication of JPH11333280A publication Critical patent/JPH11333280A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3581250B2 publication Critical patent/JP3581250B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Accessories For Mixers (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は酸素と窒素を所定量だけ混合し、目的濃度とした混合ガスである人工空気等を、病院などの負荷側に連続的に供給することができるといった二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法と、当該方法の実施に供して好適な供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来二種ガスによる目的濃度混合ガスの供給方法として第1に重量混合供給方法、第2に圧力混合供給方法、そして第3に流量混合供給方法なるものが知られている。
第1の重量混合供給方法は、図3(A)に略示する通り混合用ガスボンベaを重量計b上に載置しておき、当該混合用ガスボンベaの第1、第2供給管c1、c2より、酸素等の第1ガスd1と窒素等の第2ガスd2を、当該混合用ガスボンベaに注入するものである。この際混合ガスが人工空気eであれば、目的濃度として酸素濃度が21%となるように重量計bにより第1、第2ガスを計量することで、当該二種ガスの重量比を特定することになる。このようにして得られ混合用ガスボンベa内の混合ガスを、当然のことながら、バッチ式(回分式混合)で負荷側fへ供給する。
【0003】
2の圧力混合供給方法、図3(B)に略示するように、混合用ガスボンベaガス圧力計gを付設しておき、前記と同じく第1ガスd1と第2ガスd2とを、第1、第2供給管c1、c2から混合用ガスボンベaに注入し、ガス圧力計gにより第1、第2ガスd1、d2の分圧比が所定値となるようにして目的濃度の混合ガスを得ようとする方法であり、これまた混合ガスとしての人工空気eなどを負荷側fへバッチ式で供給する。
【0004】
3の流量混合供給方法は、バッチ式でなく連続的に混合ガス供給できる流通式混合法である点で、本願発明と相通ずるところがある。
しかし当該従来法の実施に供する装置は、第4図に示されている通り第1ガスd1の第1供給管c1順次第1圧力調整器h1、ニードル弁やオリフィス等による第1流量調整弁i1連結され、第2ガスd2の第2供給管c2に順次第2圧力調整器h2、ニードル弁やオリフィス等による第2流量調整弁i2が連結され、これ第1、第2供給管c1、c2混合器jを介して負荷側fへ連結するよう構成されている。
【0005】
上記の流量混合供給方法によるときは、第1ガスd1と第2ガスd2の二種ガスについて、ダイヤフラム等による第1、第2圧力調整器h1、h2により均圧制御を行うようにした後、次段の第1、第2流量調整器i1、i2によって、夫々第1、第2ガスd1、d2の流量を制御し、当該各ガスd1、d2が所定流量比となるよう混合することで、目的濃度の混合ガスである人工空気e等を混合器jにより得るようにし、当該人工空気eを負荷側fに対して連続的に供給できるようにしたものである。
【0006】
上記従来技術にあって、第1、第2の重量、圧力混合供給方法は、バッチ式であるため何れも連続的な供給ができないだけでなく、混合のためにかなりの時間を費やすことになる。
さらに混合ガスの濃度が、ガス拡散により安定するのを待って、負荷側fへ供給しなければならないことからもかなりの時間を要することになる。
上記した濃度安定化のためには、実際上回転により攪拌してガス拡散を促進した場合でも30分〜1時間を要し、混合用ボンベaの横置きまたは立置きの場合にあっては、夫々2日以上そして14日以上もかかるため、効率の悪いものとなっている。
【0007】
これに対、第3の前記流量混合供給方法によるときは一種の流通式混合によって負荷側fへ連続的な混合ガスの供給ができるという利点を有している。
しかし、図4について説示した通り、後段に配設した第1、第2流量調整器i1、i2に、手動ニードル弁を用いるようにした場合には、負荷側fへ供給される混合ガスとしての人工空気e等が、目的とする所定の混合濃度から外れてしまったような場合、全くフィードバック制御等による補正機能を有していないことから、自動運転を行うことができないことになる。
これについて、上記第1、第2流量調整器i1、i2にマスフローコントローラ等の自動ニードル弁を用いるようにすれば、自動運転は可能となるが、フィードバック制御は比率制御すなわち、第1、第2ガスd1、d2の流量間に、ある比例関係を保たせる制御が必要となり、この結果制御系がかなり複雑化してしまう欠陥がある。
【0008】
本発明は上記従来技術鑑み検討されたもので、それは前記第3の流量混合供給方法と同じく流通式である流量混合によるものであるが、酸素等の第1ガスと窒素等の第2ガスとをレシーバタンクに注入し、ここで得られた混合ガスを負荷側へ連続的に供給する際、レシーバタンクのガス内圧が、負荷側における混合ガスの消費によって変動しても、当該ガス内圧を測知する圧力スイッチの応動によって、第1、第2ガスのレシーバタンクへ注入する全流量をON−OFF制御方法により調整して、前記ガス内圧を一定化することにより、レシーバタンク内の混合ガス濃度に、ばらつきが生じないようにするのが、第1の目的である。
【0009】
2の目的は、上記のレシーバタンクから流出する混合ガスについて、第1、第2ガスの一方濃度をガス分析計により測知し、当該濃度目的濃度に対する上限値か下限値に達したとき、当該測知結果に基づいて、レシーバタンクに流入する第1、第2ガスの流量を、ON−OFF制御におけるONの時間を変更して、混合ガスの第1、第2ガスの濃度補正をも行うようにし、これにより常に目的濃度の保持された混合ガスの供給を高い信頼性をもって実現することである。
【0010】
第3の目的は、第1、第2ガス源、第1、第2減圧弁、第1、第2電磁弁、レシーバタンク、圧力スイッチ、シーケンサ、ガス分析計、負荷用減圧弁を適切に連結または電気的に接続して構成することにより、本発明方法が確実に実施できるものを提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係るものは、上記の目的を達成するため第1ガスと第2ガスとを均圧制御した後、当該第1、第2ガスを夫々第1、第2電磁弁を介してレシーバタンクに注入し、当該レシーバタンク内の第1、第2ガスによる混合ガスを、所定の供給圧に調整して負荷側へ連続的に供給すると共に、上記レシーバタンクのガス内圧が、負荷側の混合ガス消費により下限値に達すると、これを検知した圧力スイッチが、シーケンサを介して前記第1、第2電磁弁を開動することにより、第1、第2ガスのレシーバタンクへの注入を開始し、当該レシーバタンクのガス内圧が上昇して上限値に達すると、これを検知の圧力スイッチが、シーケンサを介して上記の第1、第2電磁弁を閉動することで、第1、第2ガスのレシーバタンクへの注入を停止するよう制御し、かつレシーバタンクから流出する前記混合ガス中における一方のガスにつき、ガス分析計によりその濃度を測知し、測知結果が所定濃度範囲以上に達すると、これにより当該ガス分析計がシーケンサを介して前記第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON−OFF制御による当該電磁弁開閉動作時間を変更するようにし、前記測知結果が所定濃度範囲以下に達すると、これにより前記ガス分析計が、シーケンサを介して前記第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON−OFF制御による当該電磁弁開閉動作時間を変更することにより、混合ガスの第1、第2ガスの濃度補正がなされるようにしたことを特徴とする二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法を提供しようとしている。
【0012】
本発明の請求項2に係るものは、上記の目的を達成するため、第1ガス源は順次第1減圧弁と第1電磁弁を介し、第2ガス源は順次第2減圧弁と第2電磁弁を介して夫々レシーバタンクに連結され、当該レシーバタンクのガス内圧につき、所定の下限値と上限値により応動する圧力スイッチをシーケンサに接続し、当該シーケンサには、上応動出力により開閉動作する前記第1、第2電磁弁接続されると共に、前記レシーバタンクから負荷用減圧弁を介して負荷側へ供給される前記混合ガス中における一方のガス濃度を測知するガス分析計連結され、当該測知結果が所定濃度範囲以下または以上に達すると、これにより当該ガス分析計がシーケンサに入力して前記第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON−OFF制御による当該電磁弁の開閉動作時間を変更することにより、混合ガスの濃度補正がなされることを特徴とする二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給装置を提供しようとしている。
【0013】
【発明の実施の形態】
はじめ、本発明流通式供給装置について説明する酸素などの第1ガスG1は、第1ガス源1Aから順次第1減圧弁1Bと第1電磁弁1Cを介して、第1ガス管1Dによりレシーバタンク3に注入自在であり、同様にして窒素などの第2ガスG2は、第2ガス源2Aから順次第2減圧弁2Bと第2電磁弁2Cを介して、第2ガス管2Dにより前同レシーバタンク3に注入自在なるよう連結構成されている。
【0014】
記レシーバタンク3にそのガス内圧を測知するための圧力スイッチ4が連結され、さらに当該ガス内圧が下限値と上限値に達したとき応動することとなる当該圧力スイッチ4は、次段のシーケンサ5に接続されており、このシーケンサ5には、上記圧力スイッチ4の応動出力により開閉動作する前記第1、第2電磁弁1C、2Cが、電気的に接続されている。
【0015】
上記レシーバタンク3の混合ガス供給路6には、負荷側Lに所定ガス圧で混合ガスMGを供給するため、これを所定ガス圧に調整するための負荷側減圧弁7が介設されていると共に、上記の混合ガス供給路6には、混合ガスMGに関し、その第1、第2ガスG1、G2における一方のガスにつき、その濃度を測知するガス分析計8が連結されている。
そして、上記シーケンサ5による第1、第2電磁弁1C、2Cの制御は、前記の如く圧力スイッチ4の応動によるON−OFF制御であり、また上記ガス分析計8からの入力を受けたシーケンサ5は、第1、第2電磁弁1C、2CのON−OFF制御にあって、その開閉動作時間を変更することができるよう構成されている。
【0016】
以下、上記流通式供給装置を用いて本発明の流通式供給方法を実施する例を説明する。第1ガス源1Aからの酸素等による第1ガスG1と、第2ガス源2Aからの窒素等による第2ガスG2とを夫々第1減圧弁1B、第2減圧弁2Bにより均圧制御(第1、第2ガス源からのガス圧を7kg/cmとして6kg/cm程度の均圧とする)し、当該第1、第2ガスG1、G2を、夫々第1、第2電磁弁1C、2Cを介して、第1、第2ガス管1D、2Dによりレシーバタンク3に注入する。
さらに、上記レシーバタンク3内で、第1、第2ガスG1、G2により得られた人工空気等の混合ガスMGを、混合ガス供給路6により、負荷側減圧弁7を介して所定の供給圧に調整した後、負荷側Lへ連続的に供給することになる。
【0017】
もちろん、混合ガスMGが人工空気であれば、レシーバタンク3による混合ガスMGの目的濃度は21%酸素濃度となるように、前記第1、第2ガスG1、G2の流量が、シーケンサ5によってON−OFFの時間的制御を受けるようにするのである。従って人工空気の場合であれば、酸素側である第1電磁弁の開閉動作時間は2100ms、そして窒素側である第2電磁弁の開閉動作時間は7900msとなるよう時間設定すればよい。
この場合、実際上当該電磁弁の開閉動作時間が長きに失すると、レシーバタンク3の下流にあって酸素濃度が不安定になり易いので、第1、第2電磁弁1C、2Cの切り替えは高頻度かつ高速にすることが望ましく、またレシーバタンク3の内容積は、酸素と窒素を安定的に混合し得るように1m以上とするのが好ましい。
【0018】
本発明、上述した混合ガスMGの連続的供給時、第1、第2電磁弁1C、2Cについて、圧力スイッチ4シーケンサ5第1、第2電磁弁1C、2Cの電気的な接続以下のようなON−OFF制御を行うと共に、当該第1、第2電磁弁1C、2Cについて、ガス分析計8・シーケンサ5・第1、第2電磁弁1C、2Cの電気的な接続以下のようなON−OFF制御による電磁弁の開通時間制御を行う。
【0019】
者の圧力スイッチ4によるON−OFF制御について詳記すると、もちろん混合ガスMGが人工空気であれば、レシーバタンク3による混合ガスMGの目的濃度は21%酸素濃度であり、前記の如く第1、第2ガスG1、G2の適量がレシーバタンク3に注入されるようON−OFF制御を行うのであるが、負荷側Lで混合ガスMGが消費されると、供給流量が負荷追従式であるため、供給流量の状況により、レシーバタンク3のガス圧が低下したり上昇して、第1、第2電磁弁1C、2Cと、レシーバタンク3との間の差圧が変化してしまい、このことで混合ガスMGの混合濃度にばらつきが生じる。
【0020】
それで本発明は、上記の差圧を一定の範囲内に維持するため、圧力スイッチ4が前記のように設けられる。一例を示せばレシーバタンク3のガス内圧が4.5kg/cmの下限値まで低下すると、レシーバタンク3に連続の圧力スイッチ4が動作し、制御系であるシーケンサ5介して第1、第2電磁弁1C、2Cが開動し、レシーバタンク3内第1、第2ガスG1、G2の混合が開始する。
次いで、レシーバタンク3のガス内圧が上昇して、5.0kg/cmの上限値に達した場合には、前記圧力スイッチ4が動作して制御系のシーケンサ5を介して、第1、第2電磁弁1C、2Cが閉動することで、レシーバタンク3内での第1、第2ガスG1、G2の混合を停止させるのであり、このようにして当該具体例では、レシーバタンク3のガス内圧が、4.5kg/cm〜5.0kg/cmの範囲に保持されることとなる。
【0021】
次に、前掲ガス分析計8を使用して混合ガスMGの濃度を目的濃度となるように濃度補正する方法につき、具体例を示した図2を参照して以下説示する。すなわちレシーバタンク3から流出する混合ガスMG中における酸素等一方のガスについて、ガス分析計8により、その濃度を測知し、当該測知結果が所定濃度範囲、すなわち酸素濃度が20.1〜21.9%の濃度範囲内を保持しているときは、前記のように酸素に係る第1電磁弁1CのON−OFF制御による電磁弁の開閉動作時間を2100ms、窒素に係る第2電磁弁2Cの開閉動作時間は7900msに保持するのである。
因みに、ガス分析計8としては、連続量としての自動計測が必要なため、ガスクロマトグラフィのような断続量の計測手段は不向きである。
【0022】
次にガス分析計8が、酸素の濃度22%以上の酸素リッチを検知したときは、例えば、シーケンサ5により酸素に係る第1電磁弁1Cの開閉動作時間は変更せずに2100msのままとし、窒素に係る第2電磁弁2Cの開閉動作時間のみを7900msから8100msに変更するようにし、酸素リッチを解消するのである。
もちろん、上記のように酸素について開閉動作時間を不変とし、窒素についてだけ開閉動作時間を長くするのではなく、窒素の開閉動作時間を不変として酸素について変更するようにしたり、双方のガスについて夫々の開閉動作時間を増減変更したりすることも可能である。
【0023】
さらに、上例にあって酸素濃度が20%以下となり窒素リッチの状態をガス分析計8が検知した際には、酸素に係る開閉動作時間を前記の如く不変とし、今度は窒素に係る開閉動作時間を7900msから7700msにすることで濃度補正が実施でき、この際にも前記と同じく、窒素不変で酸素変動とか双方ガスの変動による開閉動作時間の調整により濃度補正を行うことができる。
【0024】
【発明の効果】
本発明の請求項1に係る方法によるときは従来の流量混合と同じく連続的な混合ガスの供給ができることを前提としているだけでなく、混合すべき第1、第2ガスを、時間的コントロール方式であるON−OFF制御によってレシーバタンクへ注入し、ここで混合ガスを得るようにしているため、従来の流量混合方式にあって自動ニードル弁を用いるようにした場合の如く、フィードバック制御に比例制御を必要とせず、ON−OFF制御の採択が可能となり、制御系の大幅な簡素化を実現することができる。
【0025】
本発明の請求項1に係る方法によるときは、また、圧力スイッチとシーケンサを用いて第1、第2電磁弁のON−OFF制御を行うようにしたので、負荷側における混合ガスの消費量が変化しても、レシーバタンクのガス内圧を常に所定圧に保持でき、この結果不本意に第1、第2ガスの濃度が変動してしまうことがない。しかもガス分析計とシーケンサを用いることで、混合ガスの第1、第2ガス濃度に不本意な変動が生じても、ON−OFF制御による電磁弁の開閉動作時間を変更することで、簡易な制御系により迅速に目的濃度への補正がなされ、信頼性の高い混合ガスの連続供給を保証することができる。
【0026】
本発明の請求項2に係る装置によるときはその適切にして簡易な構成によって、請求項1に係る流通式供給方法を確実にして簡易に実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の請求項2に係る二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給装置を示した全体構成図である。
【図2】本発明の請求項1に係る二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法あって、混合ガスの目的濃度をON−OFF制御で補正する際のフローチャート例である。
【図3】従来二種ガスの混合方法に関し、(A)はその重合混合方法を実施するための装置略示図で(B)は圧力混合方法の実施に用いられている装置の略示図である。
【図4】従用いられている流量混合方法を実施するための装置例を示す全体構成図である。
【符号の説明】
1A 第1ガス源
1B 第1減圧弁
1C 第1電磁弁
2A 第2ガス源
2B 第2減圧弁
2C 第2電磁弁
3 レシーバタンク
4 圧力スイッチ
5 シーケンサ
7 負荷用減圧弁
8 ガス分析計
G1 第1ガス
G2 第2ガス
L 負荷側
MG 混合ガス

Claims (2)

  1. 第1ガスと第2ガスとを均圧制御した後、当該第1、第2ガスを夫々第1、第2電磁弁を介してレシーバタンクに注入し、当該レシーバタンク内の第1、第2ガスによる混合ガスを、所定の供給圧に調整して負荷側へ連続的に供給すると共に、上記レシーバタンクのガス内圧が、負荷側の混合ガス消費により下限値に達すると、これを検知した圧力スイッチが、シーケンサを介して前記第1、第2電磁弁を開動することにより、第1、第2ガスのレシーバタンクへの注入を開始し、当該レシーバタンクのガス内圧が上昇して上限値に達すると、これを検知した圧力スイッチが、シーケンサを介して上記の第1、第2電磁弁を閉動することで、第1、第2ガスのレシーバタンクへの注入を停止するよう制御し、かつレシーバタンクから流出する前記混合ガス中における一方のガスにつき、ガス分析計によりその濃度を測知し、測知結果が所定濃度範囲以上に達すると、これにより当該ガス分析計がシーケンサを介して前記第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON−OFF制御による当該電磁弁開閉動作時間を変更するようにし、前記測知結果が所定濃度範囲以下に達すると、これにより前記ガス分析計が、シーケンサを介して前記第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON−OFF制御による当該電磁弁開閉動作時間を変更することにより、混合ガスの第1、第2ガスの濃度補正がなされるようにしたことを特徴とする二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法。
  2. 第1ガス源は順次第1減圧弁と第1電磁弁を介し、第2ガス源は順次第2減圧弁と第2電磁弁を介して夫々レシーバタンクに連結され、当該レシーバタンクのガス内圧につき、所定の下限値と上限値により応動する圧力スイッチをシーケンサに接続し、当該シーケンサには、上応動出力により開閉動作する前記第1、第2電磁弁接続されると共に、前記レシーバタンクから負荷用減圧弁を介して負荷側へ供給される前記混合ガス中における一方のガス濃度を測知するガス分析計連結され、当該測知結果が所定濃度範囲以下または以上に達すると、これにより当該ガス分析計がシーケンサに入力して前記第1、第2電磁弁の一方または双方につき、ON−OFF制御による当該電磁弁の開閉動作時間を変更することにより、混合ガスの濃度補正がなされることを特徴とする二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給装置。
JP14879698A 1998-05-29 1998-05-29 二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法 Expired - Fee Related JP3581250B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14879698A JP3581250B2 (ja) 1998-05-29 1998-05-29 二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14879698A JP3581250B2 (ja) 1998-05-29 1998-05-29 二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11333280A JPH11333280A (ja) 1999-12-07
JP3581250B2 true JP3581250B2 (ja) 2004-10-27

Family

ID=15460905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14879698A Expired - Fee Related JP3581250B2 (ja) 1998-05-29 1998-05-29 二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3581250B2 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4868439B2 (ja) * 2005-03-04 2012-02-01 エイブル株式会社 ガス混合装置及びガス混合方法
JP2007058339A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 流体制御装置
JP2007058348A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 流体制御装置
JP2007058343A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 流体制御装置
JP2007190448A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Taiyo Nippon Sanso Corp 混合ガス製造装置及び方法
CN111694382B (zh) * 2019-03-15 2024-06-25 欧姆龙健康医疗(中国)有限公司 供气浓度调节方法、供气浓度调节***和制氧机
SG10202101459XA (en) * 2020-02-25 2021-09-29 Kc Co Ltd Gas mixing supply device, mixing system, and gas mixing supply method
SG10202101458WA (en) * 2020-02-25 2021-09-29 Kc Co Ltd Gas mixing supply device, supply system, and gas mixing supply method
CN117387000B (zh) * 2023-12-13 2024-04-09 抚顺抚运安仪救生装备有限公司 一种深潜呼吸器预混气瓶的气体浓度检测及补充***
CN117386994B (zh) * 2023-12-13 2024-03-12 抚顺抚运安仪救生装备有限公司 一种深潜呼吸器预混气瓶的混合气体配气方法
CN117404595B (zh) * 2023-12-13 2024-04-09 抚顺抚运安仪救生装备有限公司 一种深潜呼吸器气瓶的充配气***

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11333280A (ja) 1999-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3581250B2 (ja) 二種ガスによる目的濃度混合ガスの流通式供給方法
JP4698784B2 (ja) 液体混合物を製造する方法及び装置
JP3830670B2 (ja) 半導体製造装置
US4023587A (en) Method and apparatus for mixing two gases in a predetermined proportion
US7069944B2 (en) Flow rate control device
US6767877B2 (en) Method and system for chemical injection in silicon wafer processing
US8178070B2 (en) Air demand feedback control systems and methods for sulfur recovery units
JP2011520609A5 (ja)
US20050150552A1 (en) Device, method, and system for controlling fluid flow
US4031912A (en) Reactants addition and concentration control system
US4493635A (en) Oxygen-enriched air ratio control device for combustion apparatus
JPH0994451A (ja) ガス混合装置
US20110051546A1 (en) Fluid blending apparatus and process
US20030101795A1 (en) Method for analyzing the oxygen concentration it gas and an oxygen concentration analyzer
JP3962504B2 (ja) 粉粒体高圧輸送装置
JPH1043572A (ja) 原料混合装置および混合原料の製造方法
JPS645980B2 (ja)
US10283391B2 (en) Multiple gases providing method and multiple gases providing apparatus
JP2001208737A (ja) ガスクロマトグラフ装置
JP2000235952A (ja) ガス混合供給方法およびその装置
CN211586058U (zh) 一种混合气配制装置
CN215560801U (zh) 外延掺杂气体的稀释装置
CN1981968B (zh) 锡焊装置的气氛形成方法和气氛形成装置
JPH09168787A (ja) オゾン水生成装置
JPH0365297A (ja) エアレーションタンクの制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040413

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040614

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040713

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040722

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080730

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080730

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100730

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110730

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110730

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120730

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120730

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees