JP3548835B2 - 欠陥検査装置及び方法 - Google Patents

欠陥検査装置及び方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3548835B2
JP3548835B2 JP31352096A JP31352096A JP3548835B2 JP 3548835 B2 JP3548835 B2 JP 3548835B2 JP 31352096 A JP31352096 A JP 31352096A JP 31352096 A JP31352096 A JP 31352096A JP 3548835 B2 JP3548835 B2 JP 3548835B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
defect
inspection
input
position shift
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP31352096A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09277495A (ja
Inventor
剛 松波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Priority to JP31352096A priority Critical patent/JP3548835B2/ja
Publication of JPH09277495A publication Critical patent/JPH09277495A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3548835B2 publication Critical patent/JP3548835B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の検査対象物を順次撮像し、その撮像した検査画像と基準画像とを比較して、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば、同一の絵柄が繰り返し印刷された印刷物上の絵柄等の欠陥検査を行う欠陥検査装置では、基本的に、印刷物上の検査対象物であるその絵柄をカメラ等で取り込み、基準画像と画素毎に比較して欠陥検査をしていた。
【0003】
ここで、印刷物上に繰り返し印刷された絵柄等の検査対象物には、通常、印刷による位置ズレが発生している場合が多いので、同一の絵柄が繰り返し印刷された印刷物上の絵柄等を欠陥検査の対象とする場合には、位置ズレを補正した後、基準画像との比較による欠陥検査を行うようにしている。
【0004】
また、欠陥検査の際、欠陥検査処理を単純にするため、基準画像を予め設定して固定して、検査画像と順次比較するマスタ方式と、欠陥検査処理自体はマスタ方式より複雑になるが、照明等の入力画像に影響を与える外的要因による画像の変動に対して対応可能なように、基準画像を欠陥検査の結果正常な検査画像で更新していくスクロール方式とが採用されている。
【0005】
従って、従来の欠陥検査装置では、マスタ検査方式を採用して位置ズレ補正も行うようにする場合には、画像データの入力、位置ズレ補正、基準画像との比較という一連の処理を、各検査対象物である画像データを入力する毎に繰り返し行う一方、スクロール検査方式を採用して位置ズレ補正も行うようにする場合には、画像データの入力、位置ズレ補正、基準画像との比較、基準画像の更新、という処理を各検査対象物である画像データを入力する度に繰り返し行うようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の欠陥検査装置では、基準画像を更新しないマスタ検査方式を採用した場合でも、画像データの入力、位置ズレ補正、基準画像との比較、という一連の処理を、撮像した画像の画像データの入力毎に繰り返し行う必要があったため、膨大な処理時間がかかる、という問題があった。
【0007】
特に、同一の絵柄が繰り返し印刷された印刷シート上の当該絵柄を検査対象とし、その絵柄の画像データが連続して高速に入力する場合には、その高速に入力する検査画像に追従できない、という問題があった。
【0008】
そこで、本発明は、このような問題に着目してなされたもので、マスタ検査方式およびスクロール検査方式のいずれの方式においても、検査処理時間を短縮することができる欠陥検査装置及び方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明は、複数の検査対象物を順次撮像し、その撮像画像の位置ズレ量を補正した後、基準画像と比較して、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置において、複数の検査対象物を順次撮像して、撮像した画像の画像データを順次入力する画像入力手段と、上記撮像した画像を順次記憶する複数の画像記憶手段と上記撮像した画像と予め設定された位置ズレ演算用のテンプレート画像とを比較して位置ズレ量を演算し、該画像の位置ズレ量として画像データに付加して記憶させる位置ズレ量演算手段と、上記画像の位置ズレ量を、基準画像の位置ズレ量を基準として補正をした後、上記画像データと欠陥判定用の上記基準画像の基準画像データとを比較して、検査対象物の欠陥を判定する欠陥判定手段と、上記複数の画像記憶手段と上記画像入力手段、位置ズレ量演算手段および欠陥判定手段との接続を、上記画像入力手段が新たに画像を入力する毎に、切り替える画像切り替え制御手段とを具備し、画像切り替え制御手段により、複数の画像記憶手段のひとつが、画像入力手段に接続されて画像データを記憶する入力画像記憶手段となり、入力画像記憶手段となっていた画像記憶手段が、位置ズレ量演算手段に接続されて位置ズレ量演算用の画像データと演算された位置ズレ量とを記憶する位置ズレ量演算記憶手段となり、位置ズレ量演算記憶手段となっていた画像記憶手段が、欠陥判定手段に接続されて検査対象となる画像データと位置ズレ量とを記憶する検査画像記憶手段となって、新たな検査対象画像データが入力される毎に、検査対象画像の位置ズレ演算、検査対象画像の欠陥判定が同時並列処理されることを特徴とする。
【0010】
また、請求項2の発明は、請求項1の発明において、上記検査対象画像の欠陥判定が欠陥なしの判定となった場合に、画像入力手段の新たな画像入力のとき、更に、画像切り替え制御手段により、上記検査画像記憶手段となっていた画像記憶手段が、基準画像記憶手段となり、この基準画像記憶手段の画像が欠陥判定手段の基準画像として使用されることを特徴とする。
【0011】
また、請求項3の発明は、所定の同期信号に同期して複数の検査対象物を順次撮像し、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、複数の検査対象物を順次撮像して撮像した画像を順次入力し、入力した画像をメモリに記憶する第1のステップと、上記第1のステップで記憶された画像の位置ズレ量を、予め設定された位置ズレ演算用のテンプレート画像と比較して、演算する第2のステップと、上記第2のステップで演算された画像の位置ズレ量と基準画像の位置ズレ量とに基づいて画像の位置ズレ補正をし、欠陥判定用の基準画像と比較して検査対象物の欠陥を判定する第3のステップと、上記第3のステップで欠陥なしと判定された場合に、欠陥なしと判定された画像を次回判定時の基準画像として更新する第4のステップとを具備し、第1乃至第4の各ステップが、同期信号に同期して同時並列に実行されることを特徴とする。
【0012】
また、請求項4の発明は、請求項3の発明において、上記メモリとして4つのメモリを有し、第1乃至第4の各ステップでは、同期信号に同期して順次切り替えられた上記4つのメモリのうちのひとつを対象にして、第1のステップの画面入力、第2のステップの位置ズレ量演算、第3のステップの欠陥判定または第4のステップの基準画像更新が行われることを特徴とする。
【0013】
また、請求項5の発明は、所定の同期信号に同期して複数の検査対象物を順次撮像し、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、複数の検査対象物を順次撮像して撮像した画像を順次入力し、入力した画像をメモリに記憶する第1のステップと、上記第1のステップで記憶された画像の位置ズレ量を、予め設定された位置ズレ演算用のテンプレート画像と比較して、演算する第2のステップと、上記第2のステップで演算された画像の位置ズレ量に基づいて画像の位置ズレ補正をし、予め記憶された欠陥判定用の基準画像と比較して検査対象物の欠陥を判定する第3のステップとを具備し、第1乃至第3の各ステップが、同期信号に同期して同時並列に実行されることを特徴とする。
【0014】
また、請求項6の発明は、請求項5の発明において、上記メモリとして少なくとも3つのメモリを有し、第1乃至第3の各ステップでは、同期信号に同期して順次切り替えられた上記少なくとも3つのメモリのうちのひとつを対象にして、第1のステップの画面入力、第2のステップの位置ズレ量演算または第3のステップの欠陥判定が行われることを特徴とする。
【0020】
また、請求項の発明は、請求項1乃至請求項の発明において、複数の検査対象物は、印刷物上に繰り返し印刷された絵柄である、ことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る欠陥検査装置及び方法の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0022】
図1に、本発明に係る欠陥検査装置の外観構成を示す。
【0023】
この欠陥検査装置は、印刷版胴1によって同一絵柄が繰り返し印刷された印刷シートP上の当該絵柄を被検査対象とし、その印刷欠陥を検査するもので、ロータリエンコーダ2、光源3、ラインセンサ4、信号処理伝送部5、画像処理部6、検査結果をLEDやLCD等により表示する表示部7から構成されている。
【0024】
ここで、ロータリエンコーダ2は、印刷版胴1に連動しており、印刷版胴1が1回転する所要時間を、例えば210=1024で分周したパルス信号をラインセンサ4に対して出力するように構成されている。
【0025】
光源3は、印刷シートPを撮像するために、所定の明るさで印刷シートPを照射するものである。
【0026】
ラインセンサ4は、印刷シートPを撮像するCCDセンサ若しくはCCDカメラであって、ロータリエンコーダ2からのパルス信号に同期して印刷シートPを走査し、撮像した画像信号を信号処理伝送部5に対し送信するように構成されている。
【0027】
信号処理伝送部5は、ラインセンサ4から受信した撮像信号に対してA/D変換を行うことによって、1画素を8ビット階調の画像データに変換し、その変換した画像データを画像処理部6に送信するように構成されている。
【0028】
画像処理部6は、信号処理伝送部5からの信号に基づいて印刷シートPの欠陥を検査するもので、詳細な構成は次の図2、図3で説明することにする。
【0029】
表示部7は、LEDやLCD等により構成されたもので、画像処理部6における欠陥検査の結果を表示するように構成されている。
【0030】
図2に、第1実施形態に係る欠陥検査装置の印刷画像処理部6の構成を示す。
【0031】
なお、この第1実施形態では、基準画像を更新するスクロール検査方式を採用するものとして説明する。
【0032】
この画像処理部6は、図2に示すように構成されており、画像データ入力部61と、テンプレートメモリ62aを内蔵した位置ズレ量演算部(位置ズレ量演算手段)62と、欠陥判定部(欠陥判定手段)63と、画像切り替え制御部(画像切り替え手段)64と、4つの画像メモリ65(画像メモリ1),66(画像メモリ2),67(画像メモリ3),68(画像メモリ4)と、画像メモリ65,66,67,68内に設けられた位置ズレ量レジスタ65a(ズレ量レジスタ1),66a(ズレ量レジスタ2),67a(ズレ量レジスタ3),68a(ズレ量レジスタ4)とから構成されている。
【0033】
ここで、画像データ入力部61は、信号処理伝送部5から画像データを入力して、その画像データを画像切り替え制御部64を介して、4つの画像メモリ65,66,67,68に順次出力する。また、その画像データ出力毎に、画像同期信号を、位置ズレ演算部62、欠陥判定部63および画像切り替え制御部64に対し送信するように構成されている。
【0034】
位置ズレ量演算部62は、画像データ入力部61からの画像同期信号に基づいて、前回のサイクルで画像データ入力部61から入力され、4つの画像メモリ65,66,67,68のいずれかに格納された位置ズレ演算用の画像データを読出し、テンプレートメモリ62aに予め格納された位置ズレ演算用のテンプレート画像に基づき、テンプレート画像に対するその読出した画像データの位置ズレ量を演算し、再び画像切り替え制御部64を介して、同じ画像メモリの位置ズレ量レジスタに格納するように構成されている。例えば、画像メモリ66から画像データを読出した場合、位置ズレ量演算部62での演算結果は画像メモリ66内の位置ズレ量レジスタ66aに格納される。
【0035】
尚、テンプレート画像は、検査開始前に予めテンプレートメモリ62aにセットするようにしておく。
【0036】
欠陥判定部63は、検査画データが入力される検査画入力部63aと基準画データが入力される基準画入力部63bとを有し、画像データ入力部61からの画像同期信号に基づいて、4つの画像メモリ65,66,67,68のいずれかに格納された検査画像データおよびその画像メモリ内の位置ズレ量レジスタに格納された位置ズレ量を読出すと共に、同じく4つの画像メモリ65,66,67,68のいずれかに格納された基準画像データおよびその画像メモリ内の位置ズレ量レジスタに格納された位置ズレ量を読出して、検査画像と基準画像とを各々の位置ズレ量に基づき位置ズレ補正をしつつ比較し、その検査画像の欠陥の有無を判定して判定結果を表示部7に出力すると共に、欠陥がある場合には欠陥発生信号を画像切り替え制御部64に対し送信するように構成されている。
【0037】
画像切り替え制御部64は、データバスを切り替える複数のマルチプレクサ等によって構成されたもので、後に詳述するように、画像データ入力部61からの画像同期信号に基づいて、画像データ入力部61、位置ズレ量演算部62、欠陥判定部63側と4つの画像メモリ65,66,67,68側との接続を切り替えるための端子71〜85が設けられている。
【0038】
すなわち、画像データ入力部61に接続された端子71、位置ズレ量演算部62に接続された端子72,73、欠陥判定部63に接続された端子74,75,76,77、画像メモリ65に接続された端子78、画像メモリ65の位置ズレ量レジスタ65aに接続された端子79、画像メモリ66に接続された端子80、画像メモリ66の位置ズレ量レジスタ66aに接続された端子81、画像メモリ67に接続された端子82、画像メモリ67の位置ズレ量レジスタ67aに接続された端子83、画像メモリ68に接続された端子84、画像メモリ68の位置ズレ量レジスタ68aに接続された端子85が設けられている。
【0039】
そして、画像切り替え制御部64は、画像データ入力部61からの画像同期信号に基づいて、画像データ入力部61、位置ズレ量演算部62、欠陥判定部63側と4つの画像メモリ65,66,67,68側との接続を切り替える一方、欠陥判定部63から欠陥発生信号が入力したときは、後に説明するように、接続の切り替え方を変えて、その時の基準画像データおよびその位置ズレ量データの更新を中止するように構成されている。
【0040】
なお、この第1実施形態では、スクロール検査方式を採用しているので、検査開始前は、いずれの画像メモリおよびその位置ズレ量レジスタにも、基準画像データおよびその位置ズレ量データは何も記憶されておらず、動作開始後、4サイクル目にはじめて基準画像データおよびその位置ズレ量データが記憶されることになる。
【0041】
次に、位置ズレ量演算部62における位置ズレ量の演算方法、およびスクロール検査方式による欠陥判定方法を、簡単に説明する。
【0042】
図3に、テンプレート画像D1および位置ズレ量演算画像D2を示す。
【0043】
テンプレート画像D1は、位置ズレを演算する際の基準として使用される画像で、例えば、印刷物画像データの階調変化が急峻な絵柄の存在する矩形小領域D11内の部分画像D1をいい、このテンプレート画像D1のX1、Y1アドレスが、テンプレート画像データとして、位置ズレ演算部62のテンプレートメモリ62aに予め検査開始前に設定されている。
【0044】
そして、位置ズレ量演算部62は、画像データ入力部61からの画像同期信号に基づいて、いずれかの画像メモリに格納された位置ズレ演算用画像データを読出し、その画像データ中で上記テンプレート画像D1のX1、Y1に該当する部分の座標X2、Y2アドレスを相関演算等で探索し、続いてX1−X2、Y1−Y2の演算を行って、X,Y方向の上記画像の位置ズレ量ZX,ZYを求め、これを位置ズレ量レジスタに記憶させる。
【0045】
なお、この位置ズレ量演算は、画像データの入力毎、すなわち次の画像同期信号が入力するまでの1サイクル内に行うようにする。
【0046】
図4に、欠陥判定部63におけるスクロール検査方法による基準画像の更新手順を示す。
【0047】
スクロール検査方法は、基準画像と検査画像とを比較して、検査画像が正常(良品)の場合には、この検査画像を基準画像として使用して、次の検査画像との比較の際に利用する基準画像を順次スクロールしていく一方、異常(不良品)の場合には、基準画像をスクロールしない検査方式である。
【0048】
具体的には、この図に示すように、番号N〜N+3の検査画像が順次読み込まれ、その内、番号N+2の検査画像に欠陥がある場合には、N+2番目の入力画像が欠陥ありと判断されるので、番号N+3の検査画像の比較の場合には、番号N+2の検査画像を基準画像として用いず、番号N+1の検査画像を基準画像としてそのまま用いるようにする検査方式をいう。
【0049】
次に、このように構成された第1実施形態に係る欠陥検査装置の動作を、図面を参照して説明する。
【0050】
まず、図1に示すように、印刷版胴1が回転を始め、印刷が開始すると、印刷版胴1に連動したロータリエンコーダ2から印刷版胴1の1回転を1024に分周したパルス信号がラインセンサ4に対し送信される。
【0051】
パルス信号を受信したラインセンサ4は、光源3によって照射されている印刷版胴1により印刷された印刷シートPの被検査部分を、上記パルス信号に同期して走査し、撮像データを信号処理伝送部5に送信する。この例では1走査あたり1024画素である。
【0052】
ラインセンサ4から撮像データを受信した信号処理伝送部5では、その撮像データをA/D変換することにより、8ビット階調データの画像データとし、画像処理部6に送信する。
【0053】
画像処理部6では、画像データ入力部61がその画像データを入力して、入力画像データは画像切り替え制御部64を介して4つの画像メモリ65,66,67,68のうち空いている画像メモリに格納されるが、初めは画像メモリ65に格納される。
【0054】
また、画像データ入力部61は、位置ズレ演算部62、欠陥判定部63および画像切り替え制御部64に対し動作タイミング信号である画像同期信号を送信する。
【0055】
画像切り替え制御部64は、欠陥判定部63から欠陥発生信号を受信していない状態で、画像データ入力部61から画像同期信号を受信した場合は、画像切り替え制御部64内のデータバスの接続を、例えば図5に示すように同時に切り替える。
【0056】
すなわち、画像切り替え制御部64は、図5に示すように、画像データ入力部61の出力端子71と画像メモリ65を接続し、位置ズレ演算部62の入力端子72と画像メモリ68を接続し、位置ズレ演算部62の出力端子73と位置ズレ量レジスタ68aを接続し、欠陥判定部63の検査画入力端子74と画像メモリ67を接続し、欠陥判定部63の検査画位置ズレ量入力端子75と位置ズレ量レジスタ67aを接続し、欠陥判定部63の基準画入力端子76と画像メモリ66を接続し、欠陥判定部63の基準画位置ズレ量入力端子77と位置ズレ量レジスタ66aを接続する。
【0057】
従って、次の画像同期信号が入力されるまでの1サイクルでは、画像メモリ65が入力画像記憶手段の入力画像データエリアとして使用され、画像メモリ68が、位置ズレ量演算画像記憶手段の位置ズレ演算画像データエリアとして使用され、画像メモリ67が、検査画像記憶手段の検査画像データエリアとして使用され、画像メモリ66が、基準画像記憶手段の基準画像データエリアとして使用されることになる。
【0058】
また、位置ズレ量演算部62および欠陥判定部63では、画像データ入力部61からの画像同期信号に基づき、各々、位置ズレ量の演算および欠陥判定を行う。
【0059】
その際、位置ズレ量演算部62は、上述の図3に示すようにして位置ズレ量演算を行う一方、欠陥判定部63は、基準画像と検査画像とを、各々の位置ズレ量で位置ズレ補正してから欠陥の比較判定を行う。
【0060】
例えば、検査画像のズレ量ZX,ZYが(5,8)で、基準画像のズレ量ZX,ZYが(3,11)の場合、基準画像に対する検査画像の位置ズレ量は、(−2,3)となり、この画素数だけ検査画像の画素アドレスを補正し、その後、位置ズレ補正後の検査画像と基準画像との比較を画素単位に行って、例えば一定値以上の差を持つ画素数をカウントし、その画素数が所定画素数以上であれば、欠陥と判定する。この欠陥判定は、画像データの入力毎、すなわち次の画像同期信号が入力するまでに行うようにする。
【0061】
その後、位置ズレ量演算部62は、演算した位置ズレ量を位置ズレ量演算画像記憶手段の位置ズレ量レジスタ68aに送信する一方、欠陥判定部63は、その判定結果を表示部7に表示すると共に、欠陥がある場合には、欠陥発生信号を画像切り替え制御部64に対して送信するようにする。位置ズレ量演算画像記憶手段の位置ズレ量レジスタ68aに送信された位置ズレ量は、位置ズレ量レジスタ68aに記憶される。
【0062】
このように、画像処理部6内では、画像データ入力部61が信号処理伝送部5からの画像データを入力する度に、その画像データ入力部61から出力される画像同期信号に基づいて、画像切り替え制御部64がデータバスの接続先を切り替えて画像データ等を更新させると共に、位置ズレ量演算部62に新たな位置ズレ演算画像データに基づき位置ズレ量を演算させ、また欠陥判定部63に新たな検査画像の欠陥を判定させることを繰り返すようにする。
【0063】
そして、欠陥判定部63で、検査画像の欠陥なしと判別された場合は、画像切り替え制御部64は、続いてデータバスの接続を、図6に示す状態に切り替える。
【0064】
すなわち、画像切り替え制御部64は、図6に示すように、画像データ入力部61の出力端子71と画像メモリ66を接続し、位置ズレ演算部62の入力端子72と画像メモリ65を接続し、位置ズレ演算部62の出力端子73と位置ズレ量レジスタ65aを接続し、欠陥判定部63の検査画入力端子74と画像メモリ68を接続し、欠陥判定部63の検査画位置ズレ量入力端子75と位置ズレ量レジスタ68aを接続し、欠陥判定部63の基準画入力端子76と画像メモリ67を接続し、欠陥判定部63の基準画位置ズレ量入力端子77と位置ズレ量レジスタ67aを接続する。
【0065】
従って、次の画像同期信号が入力されるまでの1サイクルでは、画像メモリ66が入力画像記憶手段の入力画像データエリアとして使用され、画像メモリ65が、位置ズレ量演算画像記憶手段の位置ズレ演算画像データエリアとして使用され、画像メモリ68が、検査画像記憶手段の検査画像データエリアとして使用され、画像メモリ67が、基準画像記憶手段の基準画像データエリアとして使用されることになる。
【0066】
一方、欠陥判定部63で、検査画像に欠陥ありと判別された場合は、欠陥発生信号が画像切り替え制御部64に送信され、画像切り替え制御部64はデータバスの接続を、図7に示す状態に切り替える。
【0067】
すなわち、画像切り替え制御部64は、図7に示すように、画像データ入力部61の出力端子71と画像メモリ67を接続し、位置ズレ演算部62の入力端子72と画像メモリ65を接続し、位置ズレ演算部62の出力端子73と位置ズレ量レジスタ65aを接続し、欠陥判定部63の検査画入力端子74と画像メモリ68を接続し、欠陥判定部63の検査画位置ズレ量入力端子75と位置ズレ量レジスタ68aを接続し、欠陥判定部63の基準画入力端子76と画像メモリ66を接続し、欠陥判定部63の基準画位置ズレ量入力端子77と位置ズレ量レジスタ66aを接続する。
【0068】
従って、次の画像同期信号が入力されるまでの1サイクルでは、画像メモリ67が入力画像記憶手段の入力画像データエリアとして使用され、画像メモリ65が、位置ズレ量演算画像記憶手段の位置ズレ演算画像データエリアとして使用され、画像メモリ68が、検査画像記憶手段の検査画像データエリアとして使用され、画像メモリ66が、基準画像記憶手段の基準画像データエリアとして使用されることになる。
【0069】
このように、検査画像に欠陥ありと判別された場合は、基準画の更新はしない。欠陥画像を基準画とすることはできないからである。
【0070】
図8に、この第1実施形態の各画像メモリ65〜68の画像同期信号入力タイミングT1〜T7における記憶内容を示す。図8では、画像メモリ65がメモリ1に対応し、画像メモリ66がメモリ2に対応し、画像メモリ67がメモリ3に対応し、画像メモリ68がメモリ4に対応している。
【0071】
この図8は、画像データ入力部61が番号N〜N+6の画像データを入力する毎に、各画像メモリ65〜68の機能が遷移していくことを示している。なお、番号N+2の画像データには、“×”が付されており、欠陥があることを示している。
【0072】
従って、画像入力タイミングT5では、欠陥判定部63は、画像メモリ3に格納された番号N+2の検査画像(データ)と、画像メモリ2に格納された番号N+1の基準画像(データ)とを比較するが、その際、番号N+2の検査画像は欠陥があるので、入力タイミングT6でも、画像メモリ2のデータを基準画像としている。
【0073】
従って、この第1実施形態によれば、新たな検査対象画像データが入力する毎に、検査対象画像の位置ズレ演算、検査対象画像の欠陥判定、および正常な検査画像による基準画像の更新処理がパイプライン処理的に同時並列処理されるので、検査対象画像データが入力する毎に、検査画像の連続検査が可能となり、欠陥検査のための処理時間を高速化することができるという効果を有する。
【0074】
次に、本発明に係る欠陥検査装置の第2実施形態を説明する。
【0075】
この第2実施形態は、欠陥検査の際に基準画像を更新するスクロール検査方式を採用している上記第1実施形態と異なり、欠陥検査の際に基準画像を更新しないマスタ検査方式を採用し、かつ、新規画像データの入力毎に欠陥検査の同時並列処理を可能としたことを特徴としている。
【0076】
なお、第2実施形態のハードウェア構成は第1実施形態のハードウェア構成と同一であるので、以下、第1実施形態の説明で使用した部材名称を使用しながら第2実施形態の内容を説明する。
【0077】
第2実施形態では、検査開始前に入力画像からテンプレート画像を抽出し、位置ズレ演算部62のテンプレートメモリ62aに格納する。さらに、その入力画像を固定的に用いる基準画像Sとするため、画像メモリ68(メモリ4)に格納する。また、基準画像Sはテンプレートを抽出した画像なので位置ズレ量は(0,0)であり、位置ズレ量レジスタ68aに(0,0)をセットする。
【0078】
図9に、この第2実施形態の各画像メモリ65〜68の画像同期信号入力タイミングT1〜T7における記憶内容を示す。図9でも、画像メモリ65がメモリ1に対応し、画像メモリ66がメモリ2に対応し、画像メモリ67がメモリ3に対応し、画像メモリ68がメモリ4に対応している。画像データ入力部61が番号N〜N+6の画像データを入力する毎に、画像メモリ65〜67の機能が遷移するが、画像メモリ68(メモリ4)は基準画像データが格納され、固定的に用いられている。
【0079】
検査開始により画像データの入力を開始し、1画像(1024×1024画素の画面)入力毎に発生する画像同期信号に同期して画像切り替え制御部64のデータバスの切り替え、および各部の処理を並列的に行うが、タイミングT2までは4面分のデータを揃えるための準備期間となるので判定処理は行わない。タイミングT3より欠陥判定を開始し、画像切り替え制御部64のデータバスの切り替え、および各部の処理を並列的に行う。
【0080】
なお、番号N+2の画像データには、“×”が付されており、欠陥があることを示している。
【0081】
この第2実施形態でも、新たな検査対象画像データが入力する毎に、検査対象画像の位置ズレ演算、検査対象画像の欠陥判定がパイプライン処理的に同時並列処理されるので、検査対象画像データが入力する毎に、検査画像の連続検査が可能となり、欠陥検査のための処理時間を高速化することができる。
【0082】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、新たな検査対象画像データが入力する毎に、検査対象画像の位置ズレ演算、検査対象画像の欠陥判定、および正常な検査画像による基準画像の更新処理がパイプライン処理的に同時並列処理されるので、検査対象画像データが入力する毎に、検査画像の連続検査が可能となり、欠陥検査のための処理時間を高速化することができる。
【0083】
このため、特に、同一の絵柄が繰り返し印刷された印刷物上の当該絵柄等を欠陥検査対象とした場合、連続して高速にその欠陥対象物が入力してくるが、このような場合でも、容易にその速度に追従することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る欠陥検査装置の外観構成を示す説明図。
【図2】第1実施形態に係る欠陥検査装置の印刷画像処理部の構成を示すブロック図。
【図3】テンプレート画像および位置ズレ量演算画像を示す説明図。
【図4】欠陥判定部におけるスクロール検査方法による基準画像の更新手順を示す説明図。
【図5】画面切り替え制御部におけるデータバス切替え状態を示す説明図。
【図6】欠陥判定部において欠陥なしと判定された場合の画面切り替え制御部におけるデータバス切替え状態を示す説明図。
【図7】欠陥発生信号が発生した場合の画面切り替え制御部におけるデータバス切替え状態を示す説明図。
【図8】第1実施形態の各画像メモリの各タイミングにおける記憶内容を示す説明図。
【図9】第2実施形態の各画像メモリの各タイミングにおける記憶内容を示す説明図。
【符号の説明】
1 印刷版胴
2 ロータリエンコーダ
3 光源
4 ラインセンサ
5 信号処理伝送部
6 画像処理部
7 表示部
P 印刷シート
61 画像データ入力部
62 位置ズレ演算部
63 欠陥判定部
63a 検査画入力部
63b 基準画入力部
64 画面切り替え制御部
65 画像メモリ(画像メモリ1)
66 画像メモリ(画像メモリ2)
67 画像メモリ(画像メモリ3)
68 画像メモリ(画像メモリ4)
65a 位置ズレ量レジスタ
66a 位置ズレ量レジスタ
67a 位置ズレ量レジスタ
68a 位置ズレ量レジスタ
71〜85 端子

Claims (7)

  1. 複数の検査対象物を順次撮像し、その撮像画像の位置ズレ量を補正した後、基準画像と比較して、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
    複数の検査対象物を順次撮像して、撮像した画像の画像データを順次入力する画像入力手段と、
    上記撮像した画像を順次記憶する複数の画像記憶手段と
    上記撮像した画像と予め設定された位置ズレ演算用のテンプレート画像とを比較して位置ズレ量を演算し、該画像の位置ズレ量として画像データに付加して記憶させる位置ズレ量演算手段と、
    上記画像の位置ズレ量を、基準画像の位置ズレ量を基準として補正をした後、上記画像データと欠陥判定用の上記基準画像の基準画像データとを比較して、検査対象物の欠陥を判定する欠陥判定手段と、
    上記複数の画像記憶手段と上記画像入力手段、位置ズレ量演算手段および欠陥判定手段との接続を、上記画像入力手段が新たに画像を入力する毎に、切り替える画像切り替え制御手段とを具備し、
    画像切り替え制御手段により、複数の画像記憶手段のひとつが、画像入力手段に接続されて画像データを記憶する入力画像記憶手段となり、入力画像記憶手段となっていた画像記憶手段が、位置ズレ量演算手段に接続されて位置ズレ量演算用の画像データと演算された位置ズレ量とを記憶する位置ズレ量演算記憶手段となり、位置ズレ量演算記憶手段となっていた画像記憶手段が、欠陥判定手段に接続されて検査対象となる画像データと位置ズレ量とを記憶する検査画像記憶手段となって、新たな検査対象画像データが入力される毎に、検査対象画像の位置ズレ演算、検査対象画像の欠陥判定が同時並列処理されること
    を特徴とする欠陥検査装置。
  2. 上記検査対象画像の欠陥判定が欠陥なしの判定となった場合に、画像入力手段の新たな画像入力のとき、更に、画像切り替え制御手段により、上記検査画像記憶手段となっていた画像記憶手段が、基準画像記憶手段となり、この基準画像記憶手段の画像が欠陥判定手段の基準画像として使用される
    ことを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
  3. 所定の同期信号に同期して複数の検査対象物を順次撮像し、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、
    複数の検査対象物を順次撮像して撮像した画像を順次入力し、入力した画像をメモリに記憶する第1のステップと、
    上記第1のステップで記憶された画像の位置ズレ量を、予め設定された位置ズレ演算用のテンプレート画像と比較して、演算する第2のステップと、
    上記第2のステップで演算された画像の位置ズレ量と基準画像の位置ズレ量とに基づいて画像の位置ズレ補正をし、欠陥判定用の基準画像と比較して検査対象物の欠陥を判定する第3のステップと、
    上記第3のステップで欠陥なしと判定された場合に、欠陥なしと判定された画像を次回判定時の基準画像として更新する第4のステップとを具備し、
    第1乃至第4の各ステップが、同期信号に同期して同時並列に実行されることを特徴とする欠陥検査方法。
  4. 上記メモリとして4つのメモリを有し、第1乃至第4の各ステップでは、同期信号に同期して順次切り替えられた上記4つのメモリのうちのひとつを対象にして、第1のステップの画面入力、第2のステップの位置ズレ量演算、第3のステップの欠陥判定または第4のステップの基準画像更新が行われることを特徴とする請求項3記載の欠陥検査方法。
  5. 所定の同期信号に同期して複数の検査対象物を順次撮像し、検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、
    複数の検査対象物を順次撮像して撮像した画像を順次入力し、入力した画像をメモリに記憶する第1のステップと、
    上記第1のステップで記憶された画像の位置ズレ量を、予め設定された位置ズレ演算用のテンプレート画像と比較して、演算する第2のステップと、
    上記第2のステップで演算された画像の位置ズレ量に基づいて画像の位置ズレ補正をし、予め記憶された欠陥判定用の基準画像と比較して検査対象物の欠陥を判定する第3のステップとを具備し、
    第1乃至第3の各ステップが、同期信号に同期して同時並列に実行されること を特徴とする欠陥検査方法。
  6. 上記メモリとして少なくとも3つのメモリを有し、第1乃至第3の各ステップでは、同期信号に同期して順次切り替えられた上記少なくとも3つのメモリのうちのひとつを対象にして、第1のステップの画面入力、第2のステップの位置ズレ量演算または第3のステップの欠陥判定が行われることを特徴とする請求項5記載の欠陥検査方法。
  7. 複数の検査対象物は、印刷物上に繰り返し印刷された絵柄であることを特徴とする請求項1乃至請求項6記載の欠陥検査装置または方法。
JP31352096A 1996-02-13 1996-11-25 欠陥検査装置及び方法 Expired - Fee Related JP3548835B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31352096A JP3548835B2 (ja) 1996-02-13 1996-11-25 欠陥検査装置及び方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8-25446 1996-02-13
JP2544696 1996-02-13
JP31352096A JP3548835B2 (ja) 1996-02-13 1996-11-25 欠陥検査装置及び方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09277495A JPH09277495A (ja) 1997-10-28
JP3548835B2 true JP3548835B2 (ja) 2004-07-28

Family

ID=26363061

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31352096A Expired - Fee Related JP3548835B2 (ja) 1996-02-13 1996-11-25 欠陥検査装置及び方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3548835B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011033391A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Nec Corp 印刷物検査装置、印刷物検査システム、印刷物検査方法及び印刷物検査プログラム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011033391A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Nec Corp 印刷物検査装置、印刷物検査システム、印刷物検査方法及び印刷物検査プログラム

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09277495A (ja) 1997-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5377279A (en) Method and apparatus for displaying defect in central area of monitor
JP3585166B2 (ja) カメラモジュールの画像検査装置およびカメラモジュールの画像検査方法
JP3548835B2 (ja) 欠陥検査装置及び方法
JP2002086690A (ja) ブランケット検査装置
JPH09101236A (ja) 表示欠陥検査装置および表示欠陥検査方法
JP2002024802A (ja) 画像処理システム
JP3204876B2 (ja) 印刷物検査装置
JPH06229941A (ja) 画像検査装置
JP2004170394A (ja) 刷版検査装置及び刷版検査システム
JPH04305774A (ja) 部品検査用高分解能視覚装置
CN115914855A (zh) 一种图像处理方法及相关装置
JP2710527B2 (ja) 周期性パターンの検査装置
JP3427230B2 (ja) 画像処理装置
JPH0979946A (ja) 表示装置の検査装置
JPH07200792A (ja) 印刷物検査装置
JPH08281920A (ja) 印刷物検査装置の画像表示方法
JP4089302B2 (ja) 外観検査装置および外観検査方法
JP2000121337A (ja) 画像補正方法および画像補正装置
JPH1049680A (ja) 印刷物の印刷パターン欠陥検査方法
JP2000221111A (ja) 表示画面の検査方法と装置
KR980005993A (ko) Ic 리드프레임 자동검사 시스템 및 그 운용방법
JPH08220014A (ja) Lcdパネル検査装置及びこの装置を用いたlcdパネル検査方法
JPH02264561A (ja) 撮像素子光学ユニットの調整方法
JPH1131228A (ja) 表示パネル検査装置
JPS63265104A (ja) 物体検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040317

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040330

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090430

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100430

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110430

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees