JP3536058B2 - 短パルス・レーザー光のパルス幅圧縮方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、短パルス・レーザ
ー光のパルス幅圧縮方法に関し、さらに詳細には、パル
ス幅がおよそフェムト秒（１０^−１５秒）台からピコ秒
（１０^−１２秒）台の短パルス・レーザー光のパルス幅
を圧縮する際に有効である簡易な短パルス・レーザー光
のパルス幅圧縮方法に関し、例えば、Ｘ線顕微鏡の光源
となる軟Ｘ線コヒーレント光を発生させるのに必要とな
る励起用レーザーを高強度化、短パルス化させたり、あ
るいは、アブレーション作用を利用した難加工物質の加
工において、各種波長のレーザー光を短パルス化させた
り、あるいは、超高速化学反応による新材料創成におい
て高強度短パルス・レーザー光を利用したりするなどの
際に用いて好適な短パルス・レーザー光のパルス幅圧縮
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、チタン・サファイア・レーザ
ーをはじめとする高強度短パルス・レーザー光を発生さ
せて利用する過程においては、そのパルス幅を圧縮する
技術が重要な地位を占めている。

【０００３】即ち、およそフェムト秒台からピコ秒台の
パルス幅を持つ短パルス・レーザー光は、パルス幅に反
比例した広いスペクトル幅を有することが必要条件であ
り、短パルス・レーザー光の発生においては、スペクト
ルの広帯域化と幅広いスペクトルの各波長成分の位相を
制御するパルス圧縮技術とが必要とされている。

【０００４】さらに、この短パルス・レーザー光は、物
質中を透過したり、あるいは伝搬したりすると、波長分
散によってパルス幅が伸延することが知られているが、
短パルス・レーザー光の種々の利用分野においては、こ
うして伸延されたパルス幅を再圧縮することが必要とさ
れている。

【０００５】このため、上記したように、短パルス・レ
ーザー光の発生に必要とされるスペクトルの広帯域化の
手段として、また、幅広いスペクトルを持つがパルス幅
が十分に圧縮されていないパルスを圧縮することにより
短パルス・レーザー光を発生させる手法として、さら
に、物質中を透過したり、あるいは伝搬したりする間に
伸延してしまった短パルス・レーザー光のパルス幅を再
圧縮することにより元のパルス幅に戻すための手法とし
て、様々な技術が提案されており、例えば、各種のガス
を封入した中空のファイバーにレーザー光を入射して、
伝搬中に生じる自己位相変調効果によりレーザー光のス
ペクトル幅を拡張し、出射後のレーザー光を２個のプリ
ズムからなるプリズム対や２個の回折格子からなる回折
格子対などを用いて位相制御を行うことにより、パルス
幅を圧縮することが知られている。

【０００６】ここで、中空のファイバーによるスペクト
ルの拡張においては、レーザー光が当該中空のファイバ
ーの最低次同波モードで伝搬するように、入射するレー
ザー光のビーム径を精密に調整しなければならなかっ
た。

【０００７】また、レーザー光を内径１００μｍ程度の
中空のファイバーに入射させるために、レーザー光と当
該中空のファイバーとの位置合わせを正確に行わなけれ
ばならなかった。

【０００８】そして、これらの調整が不十分な場合に
は、レーザー光が中空のファイバーを伝搬する際の損失
が大きくなるという問題点があるとともに、当該中空の
ファイバーの入射端面が損傷しやすいという問題点があ
った。

【０００９】さらに、２個のプリズムからなるプリズム
対や２個の回折格子からなる回折格子対を用いた分散補
償によるパルス幅圧縮においては、プリズム対の間隔お
よび挿入量、あるいは回折格子対の間隔および角度を精
密に調整しなければならないという問題点があった。

【００１０】また、フェムト秒台からピコ秒台のパルス
幅を持つ短パルス・レーザー光を発生させる場合におい
て、また、その短パルス・レーザー光が物質中を透過し
たり、あるいは伝搬したりする間に波長分散によって伸
延してしまったパルス幅を再圧縮する場合において、上
記したような複雑な機構を有する手段を必要としたた
め、各種の応用分野において短パルス・レーザー光の汎
用性を著しく損なうという問題点があった。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記したよ
うな従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的とするところは、短パルス・レー
ザー光を発生させる場合において、また、物質中を透過
したり、あるいは伝搬したりする間に伸延してしまった
短パルス・レーザー光のパルス幅を再圧縮する場合にお
いて、精密な調整機構を必要としない簡易な短パルス・
レーザー光のパルス幅圧縮方法を提供しようとするもの
である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、フェムト秒レーザー光やピコ秒レーザー
光などの短パルス・レーザー光を非線形媒質中において
集光するという簡易な手法で、当該短パルス・レーザー
光のパルス幅の圧縮を可能としたものである。

【００１３】即ち、本発明のうち請求項１に記載の発明
は、短パルス・レーザー光を集光して非線形媒質に入射
し、上記非線形媒質における上記短パルス・レーザー光
の自己収束の作用によって、上記短パルス・レーザー光
のパルス幅を元のパルス幅より短いパルス幅に圧縮する
ようにしたものである。

【００１４】ここで、上記非線形媒質は、本発明のうち
請求項２に記載の発明のように、所定の圧力のガスとす
ることができる。

【００１５】さらに、上記所定の圧力のガスは、本発明
のうち請求項３に記載の発明のように、大気中の空気と
することができる。

【００１６】また、上記非線形媒質は、本発明のうち請
求項４に記載の発明のように、固体材料とすることがで
きる。

【００１７】さらに、上記固体材料は、本発明のうち請
求項５に記載の発明のように、大気中に置かれた所定の
厚さの石英板とすることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しなが
ら、本発明による短パルス・レーザー光のパルス幅圧縮
方法の実施の形態の一例を詳細に説明する。

【００１９】図１には、本発明による短パルス・レーザ
ー光のパルス幅圧縮方法を実施するためのパルス幅圧縮
装置の構成の一例の概略構成説明図が示されている。

【００２０】このパルス幅圧縮装置１０は、入射された
フェムト秒レーザー光やピコ秒レーザー光などの短パル
ス・レーザー光（入射短パルス・レーザー光）を反射す
る反射鏡１２と、反射鏡１２により反射された短パルス
・レーザー光を集光するレンズ１４と、レンズ１４によ
り集光された短パルス・レーザー光が入射される高気圧
セル１６と、高気圧セル１６から出射された短パルス・
レーザー光を平行光にするレンズ１８と、レンズ１８か
ら出射された平行な短パルス・レーザー光を２方向に分
割するビーム・スプリッター２０と、ビーム・スプリッ
ター２０によって分割された一方の短パルス・レーザー
光を入射して当該短パルス・レーザー光のパルス幅を測
定する自己相関計２２とを有し、ビーム・スプリッター
２０によって分割された他方の短パルス・レーザー光を
出射光（出射短パルス・レーザー光）として得るように
なされている。

【００２１】ここで、高気圧セル１６は、短パルス・レ
ーザー光が入射される入射窓部１６ａと、短パルス・レ
ーザー光が出射される出射窓部１６ｂと、これら入射窓
部１６ａと出射窓部１６ｂの間に位置して非線形媒質と
して各種のガスを任意の圧力で充填して封入可能なセル
本体部１６ｃとを備えて構成されている。

【００２２】ここで、セル本体部１６ｃに充填されて封
入されるガスとしては、空気、希ガスあるいは分子性ガ
スなどの各種のガスを用いることができるが、単一の種
類のガスを充填して封入することが好ましいものであ
る。。

【００２３】なお、具体的には、希ガスとしては、例え
ば、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅを用いることがで
き、分子性ガスとしては、例えば、Ｈ_２、Ｄ_２、Ｎ_２、
Ｏ_２、Ｆ_２、Ｃｌ_２、ＣＯ、ＮＯ、Ｎ_２Ｏ、ＣＯ_２、Ｎ
Ｈ_３、ＣＨ_４、ＳＦ_６を用いることができる。

【００２４】そして、レンズ１４は、例えば、短パルス
・レーザー光を高気圧セル１６のセル本体部１６ｃ内に
おいて集光することができるような焦点距離を備えたも
のであり、特に、高気圧セル１６のセル本体部１６ｃの
略中央付近において集光することができるような焦点距
離を備えたものとすることが好ましい。

【００２５】なお、レンズ１８は、高気圧セル１６から
出射された短パルス・レーザー光のパルスのピーク近傍
からなる成分（後述する。）の拡がり角に適合し、この
成分を平行光にするような曲率を備えたものである。

【００２６】以上の構成において、高気圧セル１６のセ
ル本体部１６ｃに、空気、メタン、クリプトンあるいは
アルゴンなどの各種のガスを非線形媒質として充填して
封入する。なお、セル本体部１６ｃに充填して封入する
ガスの種類は、単一の種類に限られるものではなく、複
数種類のガスを混合した混合ガスでもよい。ただし、可
燃性ガスと支燃性ガスとの組み合わせは避けることが好
ましい。

【００２７】そして、入射短パルス・レーザー光を反射
鏡１２により反射させてレンズ１４に入射し、レンズ１
４は入射された短パルス・レーザー光を高気圧セル１６
のセル本体部１６ｃ内において集光するように出射す
る。

【００２８】ここで、高気圧セル１６のセル本体部１６
ｃ内における焦点近傍では、非線形媒質として封入され
たガス（ガス媒質）の過渡的な非線形屈折率の変化によ
り、セル本体部１６ｃ内に入射された短パルス・レーザ
ー光は自己収束を起こすことになる。このときの屈折率
ｎ（ｒ，ｚ，ｔ）は、以下に示す式１により求められ
る。

【００２９】ここで、屈折率ｎ（ｒ，ｚ，ｔ）は、ｒ、
ｚおよびｔの関数であって、ｒは「短パルス・レーザー
光の進行方向に直交する方向」であり、ｚは「短パルス
・レーザー光の進行方向」であり、ｔは「時間」であ
る。

【００３０】 ｎ（ｒ，ｚ，ｔ）＝ｎ_０＋ｎ_２Ｉ（ｒ，ｚ，ｔ） ・・・式１ なお、上記した式１において、ｎ_０：短パルス・レーザ
ー光の波長におけるガス媒質の屈折率である。

【００３１】ｎ_２：短パルス・レーザー光の波長におけ
るガス媒質の非線形屈折率である。

【００３２】Ｉ（ｒ，ｚ，ｔ）：短パルス・レーザー光
の強度である。このＩ（ｒ，ｚ，ｔ）は、短パルス・レ
ーザー光の進行方向に直交する方向ｒ、短パルス・レー
ザー光の進行方向ｚおよび時間ｔの関数である。

【００３３】また、上記したように、屈折率ｎ（ｒ，
ｚ，ｔ）も、Ｉ（ｒ，ｚ，ｔ）に伴い、短パルス・レー
ザー光の進行方向に直交する方向ｒ、短パルス・レーザ
ー光の進行方向ｚおよび時間ｔの関数として与えられ
る。

【００３４】ところで、短パルス・レーザー光の強度分
布は、光軸上、即ち、「ｒ＝０」から周辺部に向かって
ｒの増大に伴い減少するため、屈折率ｎ（ｒ，ｚ，ｔ）
も同様の分布を持ち、見かけ上、短パルス・レーザー光
はレンズを通過するときのように収束されることにな
る。即ち、短パルス・レーザー光は自己収束を起こし、
レンズ１４の焦点よりも手前で実際の焦点を持つことに
なる。

【００３５】この短パルス・レーザー光は自己収束の作
用によって、当該短パルス・レーザーのパルス幅が、元
のパルス幅よりも短いパルス幅に圧縮されることにな
る。

【００３６】なお、本明細書においては、上記した自己
収束の作用により元のパルス幅よりも短いパルス幅へ圧
縮する効果を、「自己パルス圧縮効果」と称することと
する。

【００３７】そして、上記した自己収束の作用は、短パ
ルス・レーザー光の強度の時間変化に追従するだけの非
常に速い時間応答を示すものである。

【００３８】また、短パルス・レーザー光の時間軸上の
ピーク近傍、即ち、パルスのピーク近傍で最も強く自己
収束が起こり、この成分はレンズ１４の焦点よりも最も
手前で実際の焦点を持ち、一方、パルスの立ち上がり部
分およびパルスの立ち下がり部分では自己収束は比較的
弱く、この成分はレンズ１４の焦点の最も近くに実際の
焦点を持つものと考えられる。

【００３９】このため、短パルス・レーザー光のパルス
のピーク近傍と、パルスの立ち上がり部分およびパルス
の立ち下がり部分とでは、ビームの大きさとビームの拡
がり角とが異なり、短パルス・レーザー光が高気圧セル
１６の出射窓部１６ｂを透過して高気圧セル１６から外
部へ出射されるときには、別々のビームとして現れるこ
とになるものと考えられる。

【００４０】従って、上記したように別々のビームとし
て現れた成分のなかで、短パルス・レーザー光のパルス
のピーク近傍からなる成分のみを取り出すと、元のパル
ス幅よりも短いパルス幅に圧縮された短パルス・レーザ
ー光を得ることができるようになるものと考えられる。

【００４１】このため、この実施の形態においては、上
記したように別々のビームとして現れた成分のなかで、
短パルス・レーザー光のパルスのピーク近傍からなる成
分のみが、レンズ１８によって平行光として取り出され
て出射されるように構成されている。

【００４２】即ち、レンズ１８からは、元のパルス幅よ
りも最も短いパルス幅に圧縮された短パルス・レーザー
光が平行光として出射されることになる。

【００４３】さらに、この実施の形態においては、レン
ズ１８から出射された平行な短パルス・レーザー光をビ
ーム・スプリッター２０により２方向に分割し、ビーム
・スプリッター２０によって分割された一方の短パルス
・レーザー光を自己相関計２２に入射して当該短パルス
・レーザー光のパルス幅を測定することができるように
なされているとともに、ビーム・スプリッター２０によ
って分割された他方の短パルス・レーザー光を出射光
（出射短パルス・レーザー光）として利用することがで
きるようになされている。

【００４４】ここで、図２には、図１に示すパルス幅圧
縮装置を用いて、高気圧セル１６のセル本体部１６ｃに
メタン（ＣＨ_４）を充填して封入した場合における実験
結果が示されている。

【００４５】この実験において、入射短パルス・レーザ
ー光としては、波長が７４５ｎｍのチタン・サファイア
・レーザーの出射光を用いている。

【００４６】また、この入射短パルス・レーザー光は、
強度（レーザー・エネルギー）を１ｍＪとし、パルス幅
を１００ｆｓとし、ビーム径を４ｍｍとし、スペクトル
幅を１０ｎｍとしたものである。

【００４７】さらに、レンズ１４としては、焦点距離ｆ
が３０ｃｍのものを用いるようにした。

【００４８】上記したような実験条件において、高気圧
セル１６のセル本体部１６ｃに充填して封入されたメタ
ンの圧力を変化させながら、ビーム・スプリッター２０
によって分割された一方の短パルス・レーザー光を自己
相関計２２に入射して当該短パルス・レーザー光のパル
ス幅を測定したところ、図２のグラフに示す実験結果が
得られたものである。

【００４９】この図２に示すグラフは、縦軸に自己相関
計２２により測定したパルス幅（Ｐｕｌｓｅｗｉｄｔ
ｈ）をとり、横軸にメタン圧力（ＣＨ_４ Ｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ）をとったものである。

【００５０】ここで、自己相関計２２により測定する短
パルス・レーザー光のスペクトル幅を測定したところ、
１０ｎｍから２０ｎｍに広がっていた。

【００５１】そして、スペクトル幅が２０ｎｍのフーリ
エ変換限界幅（Ｆｏｕｒｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ
Ｌｉｍｉｔ）は３０ｆｓであるが、図２に示す実験結果
に示すように、本発明の手法を用いると自己パルス圧縮
効果が作用して、メタン圧力が略１ａｔｍ〜１．５ａｔ
ｍの領域や略４ａｔｍ〜６ａｔｍの領域においては、パ
ルス幅をフーリエ変換限界幅に近似した値まで圧縮する
ことができたものである。

【００５２】また、図３には、本発明の手法による自己
パルス圧縮効果が作用する条件を示しており、具体的に
は、「レーザー・エネルギー」、「短パルス・レーザー
光の波長」、「短パルス・レーザー光のパルス幅」、
「短パルス・レーザー光の集光条件」および「非線形媒
質としてのガスの種類と圧力」に関する条件がされぞれ
示されているが、これらを適宜に組み合わせることによ
り本発明の手法による自己パルス圧縮効果を作用させる
ことができる。

【００５３】次に、図４には、本発明による短パルス・
レーザー光のパルス幅圧縮方法を実施するためのパルス
幅圧縮装置の構成の他の例の概略構成説明図が示されて
いる。

【００５４】なお、図４に示すパルス幅圧縮装置におい
て、図１に示すパルス幅圧縮装置と同一あるいは相当す
る構成については、図１において用いた符号と同一の符
号を用いて示すことにより、その詳細な構成ならびに作
用の説明は省略する。

【００５５】この図４に示すパルス幅圧縮装置２０は、
高気圧セル１６を用いることなしに、大気中の空気を非
線形媒質として用いるようにして点において、図１に示
すパルス幅圧縮装置と異なるものである。

【００５６】上記したパルス幅圧縮装置２０を用いて、
本発明の手法による自己パルス圧縮効果を作用させて短
パルス・レーザー光のパルス幅を圧縮するためには、例
えば、図５に示すように、入射短パルス・レーザー光の
波長を７２０ｎｍ〜８６０ｎｍとし、入射短パルス・レ
ーザー光の強度（レーザー・エネルギー）を２ｍＪ〜１
０ｍＪとし、入射短パルス・レーザー光のパルス幅を３
０ｆｓ〜３００ｆｓとし、集光条件はレンズ１４として
焦点距離ｆが３０ｃｍ〜１５０ｃｍのものを用いるよう
にすればよい。

【００５７】このようにすると、本発明の手法による自
己パルス圧縮効果が作用されて、入射短パルス・レーザ
ー光のパルス幅を、例えば、フーリエ変換限界幅近傍ま
で圧縮することができるようになる。

【００５８】しかも、この図４に示すパルス幅圧縮装置
２０を用いた場合には、大気中において短パルス・レー
ザー光のパルス幅を圧縮することができるようになるた
め、極めて簡易に短パルス・レーザー光のパルス幅の圧
縮を行うことができるものである。

【００５９】次に、図６には、本発明による短パルス・
レーザー光のパルス幅圧縮方法を実施するためのパルス
幅圧縮装置の構成のさらに他の例の概略構成説明図が示
されている。

【００６０】なお、図６に示すパルス幅圧縮装置におい
て、図１に示すパルス幅圧縮装置と同一あるいは相当す
る構成については、図１において用いた符号と同一の符
号を用いて示すことにより、その詳細な構成ならびに作
用の説明は省略する。

【００６１】この図６に示すパルス幅圧縮装置３０は、
非線形媒質としてガスを用いずに、非線形媒質として固
体材料たる石英板３２を用いるようにして点において、
図１に示すパルス幅圧縮装置と異なるものである。な
お、石英板３２は、大気中に配置するようにしてよいも
のであり、その厚さｔは、例えば、１ｍｍ〜２ｍｍとす
ることができ、また、密度は一定であることが好まし
い。

【００６２】このパルス幅圧縮装置３０においては、レ
ンズ１４は、例えば、短パルス・レーザー光を石英板３
２内あるいは石英板３２の直前において集光することが
できるような焦点距離を備えたものであり、特に、石英
板３２の直前において集光することができるような焦点
距離を備えたものとすることが好ましい。

【００６３】上記したパルス幅圧縮装置３０を用いて
も、本発明の手法による自己パルス圧縮効果が作用され
て、入射短パルス・レーザー光のパルス幅を、例えば、
フーリエ変換限界幅近傍まで圧縮することができるよう
になる。

【００６４】しかも、この図６に示すパルス幅圧縮装置
３０を用いた場合には、大気中において短パルス・レー
ザー光のパルス幅を圧縮することができるようになるた
め、極めて簡易に短パルス・レーザー光のパルス幅の圧
縮を行うことができるものである。

【００６５】なお、図６に示すパルス幅圧縮装置３０に
おいては、石英板３２を非線形媒質としての固体材料と
して用いたが、これに限られるものではないことは勿論
であり、例えば、図７に示すように、ＬｉＦ、Ｍｇ
Ｆ_２、ＣａＦ_２、ＢａＦ_２、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＫＢ
ｒ、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＢＫ７、各種フリント・ガ
ラス、クラウン・ガラス、ＺｎＳ、ＺｎＳｅなどを用い
ることができる。

【００６６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、短パルス・レーザー光を発生させる場合に
おいて、また、物質中を透過したり、あるいは伝搬した
りする間に伸延してしまった短パルス・レーザー光のパ
ルス幅を再圧縮する場合において、精密な調整機構を必
要としない簡易な短パルス・レーザー光のパルス幅圧縮
方法を提供することができるという優れた効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による短パルス・レーザー光のパルス幅
圧縮方法を実施するためのパルス幅圧縮装置の構成の一
例の概略構成説明図である。

【図２】図１に示すパルス幅圧縮装置を用いて、高気圧
セルのセル本体部にメタン（ＣＨ_４）を充填して封入し
た場合における実験結果を示すグラフである。

【図３】本発明の手法による自己パルス圧縮効果が作用
する条件を示す図表である。

【図４】本発明による短パルス・レーザー光のパルス幅
圧縮方法を実施するためのパルス幅圧縮装置の構成の他
の例の概略構成説明図である。

【図５】本発明の手法により大気中で自己パルス圧縮効
果が作用する条件を示す図表である。

【図６】本発明による短パルス・レーザー光のパルス幅
圧縮方法を実施するためのパルス幅圧縮装置の構成のさ
らに他の例の概略構成説明図である。

【図７】自己パルス圧縮効果を示す固体材料を示す図表
である。

【符号の説明】

１０、２０、３０ パルス幅圧縮装置 １２ 反射鏡 １４ レンズ １６ 高気圧セル １６ａ 入射窓部 １６ｂ 出射窓部 １６ｃ セル本体部 １８ レンズ ２０ ビーム・スプリッター ２２ 自己相関計 ３２ 石英板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 特許法第30条第１項適用申請有り 理研シンポジウム第 ３回コヒーレント科学−光から物理系へ−において文書 をもって発表 特許法第30条第１項適用申請有り ＣＬＥＯ／Ｐａｃｉ ｆｉｃ Ｒｉｍ’99において文書をもって発表 特許法第30条第１項適用申請有り Ｊｐｎ．Ａｐｐｌ. Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．38ｐｐＬ978−ｌ980に発表 特許法第30条第１項適用申請有り 日刊工業新聞社200 年１月17日に発表 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02F 1/35 - 1/39 ＩＥＥＥ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｌｉｂｒａ ｒｙ

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 短パルス・レーザー光を集光して非線形
   媒質に入射し、前記非線形媒質における前記短パルス・
   レーザー光の自己収束の作用によって、前記短パルス・
   レーザー光のパルス幅を元のパルス幅より短いパルス幅
   に圧縮するものである短パルス・レーザー光のパルス幅
   圧縮方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の短パルス・レーザー光
   のパルス幅圧縮方法において、 前記非線形媒質は、所定の圧力のガスである短パルス・
   レーザー光のパルス幅圧縮方法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の短パルス・レーザー光
   のパルス幅圧縮方法において、 前記所定の圧力のガスは、大気中の空気である短パルス
   ・レーザー光のパルス幅圧縮方法。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の短パルス・レーザー光
   のパルス幅圧縮方法において、 前記非線形媒質は、固体材料である短パルス・レーザー
   光のパルス幅圧縮方法。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の短パルス・レーザー光
   のパルス幅圧縮方法において、 前記固体材料は、大気中に置かれた所定の厚さの石英板
   である短パルス・レーザー光のパルス幅圧縮方法。