JP3524242B2 - 連続式真空焼結炉 - Google Patents
連続式真空焼結炉Info
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- JP3524242B2 JP3524242B2 JP30694395A JP30694395A JP3524242B2 JP 3524242 B2 JP3524242 B2 JP 3524242B2 JP 30694395 A JP30694395 A JP 30694395A JP 30694395 A JP30694395 A JP 30694395A JP 3524242 B2 JP3524242 B2 JP 3524242B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属やセラミックスの微
粒子を焼結するための連続式真空焼結炉に関するもので
ある。
粒子を焼結するための連続式真空焼結炉に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】例えばタンタル電解コン
デンサはタンタルの微粉末を樟脳の如きバインダと共に
所定の形状に加圧成形し、得られる成形体を真空下に加
熱して脱バインダした後に、タンタルの微粒子を焼結す
る工程を経て製造される。当初はバッチ式の真空焼結炉
内で脱バインダすることが行われていたが、炉内にバイ
ンダが残り放出ガス源となって焼結品の品質を低下させ
ていた。
デンサはタンタルの微粉末を樟脳の如きバインダと共に
所定の形状に加圧成形し、得られる成形体を真空下に加
熱して脱バインダした後に、タンタルの微粒子を焼結す
る工程を経て製造される。当初はバッチ式の真空焼結炉
内で脱バインダすることが行われていたが、炉内にバイ
ンダが残り放出ガス源となって焼結品の品質を低下させ
ていた。
【０００３】これを改良すべく連続式の真空焼結炉が開
発されたが、これにはバインダの影響を避けるべく複数
の脱バインダ室が設けられている。図８は、従来の連続
式真空焼結炉８０の構成例を示し、第１脱バインダ室８
１1 、第２脱バインダ室８１2 、第１焼結室８２1 、第
２焼結室８２2 、第３焼結室８２3 、第４焼結室８２
4 、第１冷却室８３1 、第２冷却室８３2 の８室から構
成され、各室は開閉自在な仕切弁で隔離されている。そ
して、第１脱バインダ室８１1 は温度５００〜６００
℃、真空度１〜１０-3Ｔｏｒｒ程度の雰囲気下に成形体
からバインダの除去、すなわち脱バインダが行われ、第
２脱バインダ室８１2 では、脱バインダを更に進めるべ
く第１脱バインダ室８１1 よりも高温度、高真空度の雰
囲気として脱バインダされる。
発されたが、これにはバインダの影響を避けるべく複数
の脱バインダ室が設けられている。図８は、従来の連続
式真空焼結炉８０の構成例を示し、第１脱バインダ室８
１1 、第２脱バインダ室８１2 、第１焼結室８２1 、第
２焼結室８２2 、第３焼結室８２3 、第４焼結室８２
4 、第１冷却室８３1 、第２冷却室８３2 の８室から構
成され、各室は開閉自在な仕切弁で隔離されている。そ
して、第１脱バインダ室８１1 は温度５００〜６００
℃、真空度１〜１０-3Ｔｏｒｒ程度の雰囲気下に成形体
からバインダの除去、すなわち脱バインダが行われ、第
２脱バインダ室８１2 では、脱バインダを更に進めるべ
く第１脱バインダ室８１1 よりも高温度、高真空度の雰
囲気として脱バインダされる。
【０００４】図８の連続式真空焼結炉８０は脱バインダ
室を２室設けた例であるが、場合によっては３室を設け
る例もあり、炉材には高価な耐熱性金属を多用するので
全体として連続式真空焼結炉８０の装置コストを高めて
いる。
室を２室設けた例であるが、場合によっては３室を設け
る例もあり、炉材には高価な耐熱性金属を多用するので
全体として連続式真空焼結炉８０の装置コストを高めて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、焼結時に微量のバインダが存在するこ
とによる焼結体の品質低下を招くことなく、脱バインダ
室を１室とした低装置コストの連続式真空焼結炉を提供
することを目的とする。
に鑑みてなされ、焼結時に微量のバインダが存在するこ
とによる焼結体の品質低下を招くことなく、脱バインダ
室を１室とした低装置コストの連続式真空焼結炉を提供
することを目的とする。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、上流側
から順に成形体の脱バインダ部、焼結部、冷却部が設け
られた連続式真空焼結炉において、前記脱バインダ部は
脱バインダ室と搬送室とからなり、前記脱バインダ室は
下方の挿入用開口を介して前記搬送室と連通し、内部に
加熱装置が設けられ、かつ第１真空排気系に接続されて
おり、前記搬送室の一方の側端の前記成形体の搬入口は
搬入扉、他方の側端の搬出口は前記焼結部と画成する仕
切扉により開閉可能に密閉され、内部に前記成形体の搬
送機構、及び該搬送機構上の前記成形体を昇降させるた
めの昇降機構が配置され、かつ前記第１真空排気系より
高度に真空排気が可能な第２真空排気系に接続されてお
り、前記昇降機構は前記搬送室内または外の駆動源によ
って昇降され、その先端が前記搬送室内にあるロッドと
該ロッドの先端部に固定した断熱昇降蓋とからなり、該
断熱昇降蓋は台部と該台部より径の大きい鍔部を備えて
おり、かつ前記台部の上面には前記成形体が載置された
トレイを支持する支柱が立設されており、前記搬送機構
は前記断熱昇降蓋の前記鍔部が挿通可能に形成された第
１開口を有する搬送台、該搬送台の前記第１開口上に重
ねて置かれ前記断熱昇降蓋の前記支柱および前記台部が
挿通可能で前記断熱昇降蓋の前記鍔部は挿通不能に形成
された第２開口を有するトレイ受け用断熱板、および該
トレイ受け用断熱板の前記第２開口上に重ねて置かれる
前記トレイからなる載置系と、該載置系を搬送するため
の前記搬入口から前記搬出口に至る駆動系とからなり、
前記断熱昇降蓋が上昇されて前記支柱が前記成形体を前
記トレイと共に支持し前記挿入用開口から前記脱バイン
ダ室内へ挿入する時に、前記鍔部に伴われて上昇する前
記トレイ受け用断熱板と前記断熱昇降蓋の台部とによっ
て前記挿入用開口が断熱的に密閉されることにより、前
記第１真空排気系で排気され前記加熱装置で加熱されて
前記成形体からバインダを前記脱バインダ室内へ放出さ
せる脱バインダ時に前記バインダは前記搬送室へ流出せ
ず、続いて脱バインダが完了して前記断熱昇降蓋が下降
されると共に前記第１真空排気系が停止され、前記第２
真空排気系が起動されて前記搬送室が高い真空度に排気
された後に、前記搬出口の前記仕切扉が開とされ、前記
トレイ、前記トレイ受け用断熱板と共に前記搬送台へ戻
されている前記成形体が前記搬送系によって下流側の前
記焼結部へ搬送されることを特徴とする連続式真空焼結
炉、によって達成される。
から順に成形体の脱バインダ部、焼結部、冷却部が設け
られた連続式真空焼結炉において、前記脱バインダ部は
脱バインダ室と搬送室とからなり、前記脱バインダ室は
下方の挿入用開口を介して前記搬送室と連通し、内部に
加熱装置が設けられ、かつ第１真空排気系に接続されて
おり、前記搬送室の一方の側端の前記成形体の搬入口は
搬入扉、他方の側端の搬出口は前記焼結部と画成する仕
切扉により開閉可能に密閉され、内部に前記成形体の搬
送機構、及び該搬送機構上の前記成形体を昇降させるた
めの昇降機構が配置され、かつ前記第１真空排気系より
高度に真空排気が可能な第２真空排気系に接続されてお
り、前記昇降機構は前記搬送室内または外の駆動源によ
って昇降され、その先端が前記搬送室内にあるロッドと
該ロッドの先端部に固定した断熱昇降蓋とからなり、該
断熱昇降蓋は台部と該台部より径の大きい鍔部を備えて
おり、かつ前記台部の上面には前記成形体が載置された
トレイを支持する支柱が立設されており、前記搬送機構
は前記断熱昇降蓋の前記鍔部が挿通可能に形成された第
１開口を有する搬送台、該搬送台の前記第１開口上に重
ねて置かれ前記断熱昇降蓋の前記支柱および前記台部が
挿通可能で前記断熱昇降蓋の前記鍔部は挿通不能に形成
された第２開口を有するトレイ受け用断熱板、および該
トレイ受け用断熱板の前記第２開口上に重ねて置かれる
前記トレイからなる載置系と、該載置系を搬送するため
の前記搬入口から前記搬出口に至る駆動系とからなり、
前記断熱昇降蓋が上昇されて前記支柱が前記成形体を前
記トレイと共に支持し前記挿入用開口から前記脱バイン
ダ室内へ挿入する時に、前記鍔部に伴われて上昇する前
記トレイ受け用断熱板と前記断熱昇降蓋の台部とによっ
て前記挿入用開口が断熱的に密閉されることにより、前
記第１真空排気系で排気され前記加熱装置で加熱されて
前記成形体からバインダを前記脱バインダ室内へ放出さ
せる脱バインダ時に前記バインダは前記搬送室へ流出せ
ず、続いて脱バインダが完了して前記断熱昇降蓋が下降
されると共に前記第１真空排気系が停止され、前記第２
真空排気系が起動されて前記搬送室が高い真空度に排気
された後に、前記搬出口の前記仕切扉が開とされ、前記
トレイ、前記トレイ受け用断熱板と共に前記搬送台へ戻
されている前記成形体が前記搬送系によって下流側の前
記焼結部へ搬送されることを特徴とする連続式真空焼結
炉、によって達成される。
【０００７】
【作用】搬送室内の搬送台上の成形体はトレイと共に断
熱昇降蓋の支柱に支持されて脱バインダ室内へ挿入され
るが、同時に断熱昇降蓋の台部、及び断熱昇降蓋の鍔部
に同伴されるトレイ受け用断熱板によって脱バインダ室
の挿入用開口が断熱的に密閉されるので、脱バインダ室
内で第１真空排気系による真空下に加熱されて成形体か
ら放出されるバインダは搬送室へ流出することなく排気
される。また、脱バインダ操作が完了し、断熱昇降蓋が
下降されると共に第１真空排気系による排気が停止され
第２真空排気系による排気が開始されて高い真空度に排
気された後に搬送室の搬出口側の仕切扉が開とされ、ト
レイ、トレイ受け用断熱板と共に搬送台上へ戻されてい
る脱バインダされた成形体は下流側の焼結部へ搬送され
る。
熱昇降蓋の支柱に支持されて脱バインダ室内へ挿入され
るが、同時に断熱昇降蓋の台部、及び断熱昇降蓋の鍔部
に同伴されるトレイ受け用断熱板によって脱バインダ室
の挿入用開口が断熱的に密閉されるので、脱バインダ室
内で第１真空排気系による真空下に加熱されて成形体か
ら放出されるバインダは搬送室へ流出することなく排気
される。また、脱バインダ操作が完了し、断熱昇降蓋が
下降されると共に第１真空排気系による排気が停止され
第２真空排気系による排気が開始されて高い真空度に排
気された後に搬送室の搬出口側の仕切扉が開とされ、ト
レイ、トレイ受け用断熱板と共に搬送台上へ戻されてい
る脱バインダされた成形体は下流側の焼結部へ搬送され
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例による連続式真空焼結
炉について、図面を参照して具体的に説明する。
炉について、図面を参照して具体的に説明する。
【０００９】図１は実施例の連続式真空焼結炉１０の概
略縦断面図である。上流側から順に脱バインダ部１、焼
結部２、冷却部３が連接されており、左端に搬入扉６、
右端に搬出扉９が設けられ、脱バインダ部１と焼結部２
とは仕切扉７、焼結部２と冷却部３とは仕切扉８によっ
て画成されている。
略縦断面図である。上流側から順に脱バインダ部１、焼
結部２、冷却部３が連接されており、左端に搬入扉６、
右端に搬出扉９が設けられ、脱バインダ部１と焼結部２
とは仕切扉７、焼結部２と冷却部３とは仕切扉８によっ
て画成されている。
【００１０】脱バインダ部１は上部の脱バインダ室１１
と、中間の搬送室３１と、下部の昇降蓋室５１とからな
っており、脱バインダ室１１には成形体Ｆを加熱するた
めの加熱区画２２が設けられ、かつトラップ２９を介し
てメカニカルブースタポンプ２７と油回転ポンプ２８と
からなる第１真空排気系が接続されている。また、図示
せずともアルゴンガスまたは窒素ガスの配管が接続され
ている。
と、中間の搬送室３１と、下部の昇降蓋室５１とからな
っており、脱バインダ室１１には成形体Ｆを加熱するた
めの加熱区画２２が設けられ、かつトラップ２９を介し
てメカニカルブースタポンプ２７と油回転ポンプ２８と
からなる第１真空排気系が接続されている。また、図示
せずともアルゴンガスまたは窒素ガスの配管が接続され
ている。
【００１１】搬送室３１には成形体Ｆを搬送するための
チェインベルト３２が設けられている。また、搬送室３
１と連通している下方の昇降蓋室５１の底面外部には搬
送室３１内のチェインベルト３２で搬送される成形体Ｆ
を脱バインダ室１１内へ持ち上げるためのエアシリンダ
５９が設置されており、昇降蓋室５１内へ挿通されたピ
ストンロッド５８の先端には断熱昇降蓋５２が固定され
ている。また昇降蓋室５１には拡散ポンプ６６、メカニ
カルブースタポンプ６７、油回転ポンプ６８からなる第
２真空排気系が接続されている。
チェインベルト３２が設けられている。また、搬送室３
１と連通している下方の昇降蓋室５１の底面外部には搬
送室３１内のチェインベルト３２で搬送される成形体Ｆ
を脱バインダ室１１内へ持ち上げるためのエアシリンダ
５９が設置されており、昇降蓋室５１内へ挿通されたピ
ストンロッド５８の先端には断熱昇降蓋５２が固定され
ている。また昇降蓋室５１には拡散ポンプ６６、メカニ
カルブースタポンプ６７、油回転ポンプ６８からなる第
２真空排気系が接続されている。
【００１２】焼結部２は脱バインダの完了した成形体を
脱バインダ部１より高真空度で高温に加熱して焼結させ
る箇所であり、細部は異なるものの基本的には脱バイン
ダ部１と同様に構成されている。焼結部２には拡散ポン
プ７１、メカニカルブースタポンプ７２、油回転ポンプ
７３からなる真空排気系が接続されており、図示せずと
もアルゴンガスの配管が接続されている。
脱バインダ部１より高真空度で高温に加熱して焼結させ
る箇所であり、細部は異なるものの基本的には脱バイン
ダ部１と同様に構成されている。焼結部２には拡散ポン
プ７１、メカニカルブースタポンプ７２、油回転ポンプ
７３からなる真空排気系が接続されており、図示せずと
もアルゴンガスの配管が接続されている。
【００１３】また、冷却部３では電動機７７によってフ
ァン７８が回転され、内部の加圧ガスが循環され熱交換
器７９によって冷却されて焼結後の成形体に吹き付けら
れ、これを冷却するようになっている。冷却部３にはメ
カニカルブースタポンプ７４と油回転ポンプ７５とから
なる真空排気系が接続され、図示せずとも窒素ガスまた
はアルゴンガスの配管が接続されている。
ァン７８が回転され、内部の加圧ガスが循環され熱交換
器７９によって冷却されて焼結後の成形体に吹き付けら
れ、これを冷却するようになっている。冷却部３にはメ
カニカルブースタポンプ７４と油回転ポンプ７５とから
なる真空排気系が接続され、図示せずとも窒素ガスまた
はアルゴンガスの配管が接続されている。
【００１４】以降、本発明の要部である脱バインダ部１
について詳細に説明する。
について詳細に説明する。
【００１５】図２は脱バインダ室１１、搬送室３１、お
よび昇降蓋室５１からなる脱バインダ部１の縦断面図で
あり、図３は図２における［３］−［３］線方向の矢視
図であるが、後述のトレイ４４は簡明化のために省略さ
れている。脱バインダ室１１は搬送室３１の天井部の開
口上に気密に固定された底板１４上において、気密に接
合された金属製の側壁１２と天井の鏡板１３とに囲われ
て形成されている。側壁１２と鏡板１３の外周は断熱材
１７で覆われており、脱バインダ時の熱によって加熱さ
れる。また側壁１２には排気管１８が設けられ、上述の
ようにバインダを捕捉するためのトラップ２９を介しメ
カニカルブースタポンプ２８を主体とする第１真空排気
系が接続されている。排気管１８にはシースヒータ１６
が巻装され、その外周は断熱材１７で覆われている。シ
ースヒータ１６は１５０℃程度の温度に加熱し、バイン
ダが内壁面で冷却されて析出することを防ぐためのもの
である。脱バインダ室１１の内部には、底板１４の挿入
用開口１５に整合させて下方を開口し、上方と側方とを
複数枚の熱線反射板からなるリフレクタ２３で囲った加
熱区画２２が支持部材２３ａに固定して設けられてお
り、加熱区画２２内の天井側は均熱化のため吊具２５で
支えたリフレクタ２３’を付加して２重とし、中央には
温度測定端子２６が取り付けられている。加熱区画２２
の内面には図示しない導入端子を経由して電熱ヒータ２
４が配設されている。なお、底板１４の下面には耐熱性
ゴムによるシールリング１９が嵌め込まれている。
よび昇降蓋室５１からなる脱バインダ部１の縦断面図で
あり、図３は図２における［３］−［３］線方向の矢視
図であるが、後述のトレイ４４は簡明化のために省略さ
れている。脱バインダ室１１は搬送室３１の天井部の開
口上に気密に固定された底板１４上において、気密に接
合された金属製の側壁１２と天井の鏡板１３とに囲われ
て形成されている。側壁１２と鏡板１３の外周は断熱材
１７で覆われており、脱バインダ時の熱によって加熱さ
れる。また側壁１２には排気管１８が設けられ、上述の
ようにバインダを捕捉するためのトラップ２９を介しメ
カニカルブースタポンプ２８を主体とする第１真空排気
系が接続されている。排気管１８にはシースヒータ１６
が巻装され、その外周は断熱材１７で覆われている。シ
ースヒータ１６は１５０℃程度の温度に加熱し、バイン
ダが内壁面で冷却されて析出することを防ぐためのもの
である。脱バインダ室１１の内部には、底板１４の挿入
用開口１５に整合させて下方を開口し、上方と側方とを
複数枚の熱線反射板からなるリフレクタ２３で囲った加
熱区画２２が支持部材２３ａに固定して設けられてお
り、加熱区画２２内の天井側は均熱化のため吊具２５で
支えたリフレクタ２３’を付加して２重とし、中央には
温度測定端子２６が取り付けられている。加熱区画２２
の内面には図示しない導入端子を経由して電熱ヒータ２
４が配設されている。なお、底板１４の下面には耐熱性
ゴムによるシールリング１９が嵌め込まれている。
【００１６】搬送室３１には左端に搬入扉６、右端に焼
結部２との仕切扉７がそれぞれ開閉可能に取り付けられ
密閉可能とされている。また、図３も参照して、搬送室
３１内には、２本のチェインベルト３２が駆動スプロケ
ット３３と従動スプロケット３４に巻装して配設されて
おり、電動機３５で駆動されて搬送台４２上の成形体Ｆ
を矢印の方向へ搬送する。すなわち、チェインベルト３
２に係合されて搬送される搬送台４２には中央部に設け
た開口４２ｈ（第１開口）の外周部の座ぐりにタングス
テン（Ｗ）製のトレイ受け用断熱板４３が置かれ、トレ
イ受け用断熱板４３の中央部に設けた開口４３ｈ（第２
開口）の外周部の座ぐりにはタングステン製のトレイ４
４が重ねておかれ、成形体Ｆはトレイ４４上に載置され
て搬送される。また搬送台４２は脱バインダ室１１の直
下に停止されるが、その停止位置を固定させるためのス
トッパ３７ａ、３７ｂが停止された搬送台４２の前後と
なる位置に設けられており、それぞれの駆動源３８ａ、
３８ｂによって回動されて作動する。また、搬入扉６、
仕切扉７の内側には搬送台４２の搬入と搬出を介助する
ロール３６ａ、３６ｂが設けられており、それぞれ駆動
スプロケット３３の軸、従動スプロケット３４の軸によ
ってチェインで駆動される。更にはチェインベルト３２
の両側にはガイド板３９が設けられている。
結部２との仕切扉７がそれぞれ開閉可能に取り付けられ
密閉可能とされている。また、図３も参照して、搬送室
３１内には、２本のチェインベルト３２が駆動スプロケ
ット３３と従動スプロケット３４に巻装して配設されて
おり、電動機３５で駆動されて搬送台４２上の成形体Ｆ
を矢印の方向へ搬送する。すなわち、チェインベルト３
２に係合されて搬送される搬送台４２には中央部に設け
た開口４２ｈ（第１開口）の外周部の座ぐりにタングス
テン（Ｗ）製のトレイ受け用断熱板４３が置かれ、トレ
イ受け用断熱板４３の中央部に設けた開口４３ｈ（第２
開口）の外周部の座ぐりにはタングステン製のトレイ４
４が重ねておかれ、成形体Ｆはトレイ４４上に載置され
て搬送される。また搬送台４２は脱バインダ室１１の直
下に停止されるが、その停止位置を固定させるためのス
トッパ３７ａ、３７ｂが停止された搬送台４２の前後と
なる位置に設けられており、それぞれの駆動源３８ａ、
３８ｂによって回動されて作動する。また、搬入扉６、
仕切扉７の内側には搬送台４２の搬入と搬出を介助する
ロール３６ａ、３６ｂが設けられており、それぞれ駆動
スプロケット３３の軸、従動スプロケット３４の軸によ
ってチェインで駆動される。更にはチェインベルト３２
の両側にはガイド板３９が設けられている。
【００１７】昇降蓋室５１の下方の外部に設置されてい
るエアシリンダ５９のピストンロッド５８が昇降蓋室５
１の底面に設けたシール部材５７を介して昇降蓋室５１
内へ挿通されており、チェインベルト３２で搬送されて
くる搬送台４２上の成形体Ｆを脱バインダ室１１内へ持
ち上げるようになっている。すなわち、ピストンロッド
５８の先端にタングステン製の断熱昇降蓋５２が固定さ
れており、断熱昇降蓋５２は台部５４と、台部５４の底
面側にあって台部５４より径の大きい鍔５３部とからな
り、台部５４の上面には成形体Ｆを載置したトレイ４４
を支持するためのガイド柱５５と、その周囲の４本の支
柱５６とが立設されている。ガイド柱５５の先端のテー
パ部分はトレイ４４の中央部に挿入されてこれを安定に
支持し位置決めするようになっている。 また搬送台４
２の開口４２ｈは鍔部５３が挿通可能な径とされ、トレ
イ受け用断熱板４３の開口４３ｈはガイド柱５５、支柱
５６と台部５４とが挿通可能で鍔部５３は挿通不能な径
とされている。また、昇降蓋室５１の側壁にはシースヒ
ータ１６が巻装され、その外周は断熱材１７で覆われて
おり、前述の拡散ポンプ６６を主体とする第２真空排気
系に接続される排気管６５が設けられている。
るエアシリンダ５９のピストンロッド５８が昇降蓋室５
１の底面に設けたシール部材５７を介して昇降蓋室５１
内へ挿通されており、チェインベルト３２で搬送されて
くる搬送台４２上の成形体Ｆを脱バインダ室１１内へ持
ち上げるようになっている。すなわち、ピストンロッド
５８の先端にタングステン製の断熱昇降蓋５２が固定さ
れており、断熱昇降蓋５２は台部５４と、台部５４の底
面側にあって台部５４より径の大きい鍔５３部とからな
り、台部５４の上面には成形体Ｆを載置したトレイ４４
を支持するためのガイド柱５５と、その周囲の４本の支
柱５６とが立設されている。ガイド柱５５の先端のテー
パ部分はトレイ４４の中央部に挿入されてこれを安定に
支持し位置決めするようになっている。 また搬送台４
２の開口４２ｈは鍔部５３が挿通可能な径とされ、トレ
イ受け用断熱板４３の開口４３ｈはガイド柱５５、支柱
５６と台部５４とが挿通可能で鍔部５３は挿通不能な径
とされている。また、昇降蓋室５１の側壁にはシースヒ
ータ１６が巻装され、その外周は断熱材１７で覆われて
おり、前述の拡散ポンプ６６を主体とする第２真空排気
系に接続される排気管６５が設けられている。
【００１８】実施例の連続式真空焼結炉１０における脱
バインダ部１は以上のように構成されるが、次にその作
用を説明する。
バインダ部１は以上のように構成されるが、次にその作
用を説明する。
【００１９】図２を参照し、搬送台４２上のトレイ受け
用断熱板４３に重ねて置かれたトレイ４４に載置された
成形体Ｆは入口扉６を開いた搬送室３１内へ搬送台４２
と共に導入される。入口扉６が閉じられ、搬送台４２は
チェインベルト３２によって搬送されて、脱バインダ室
１１の直下において図示しない手段で停止され、ストッ
パ３７ａ、３７ｂによって停止位置に固定される。図２
の位置から断熱昇降蓋５２が若干上昇された状態を示す
図４を参照して、エアシリンダ５９のピストンロッド５
８が上昇されることにより、断熱昇降蓋５２のガイド柱
５５の先端テーパ部分がトレイ４４の中央部分に挿入さ
れ、支柱５６がトレイ４４の底面に当接してトレイ４４
を成形体Ｆと共に持ち上げる。続いて図５を参照し、台
部５４がトレイ受け用断熱板４３の開口４３ｈを通り抜
けるが、鍔５３は搬送台４２の開口４２ｈを通り抜け得
るものの、トレイ受け用断熱板４３の開口４３ｈは通り
抜けられないので、トレイ受け用断熱板４３を伴って上
昇する。そして、成形体Ｆが脱バインダ室１１の加熱区
画２２内へ挿入され、断熱昇降蓋５２の台部５４が脱バ
インダ室１１の底板１４の挿入用開口１５に挿入され、
鍔５３によって持ち上げられたトレイ受け用断熱板４３
が底板１４の下面の耐熱ゴムリング１９を介して当接す
ることによりピストンロッド５８の上昇が停止され、成
形体Ｆは脱バインダ室１１内に密閉される。
用断熱板４３に重ねて置かれたトレイ４４に載置された
成形体Ｆは入口扉６を開いた搬送室３１内へ搬送台４２
と共に導入される。入口扉６が閉じられ、搬送台４２は
チェインベルト３２によって搬送されて、脱バインダ室
１１の直下において図示しない手段で停止され、ストッ
パ３７ａ、３７ｂによって停止位置に固定される。図２
の位置から断熱昇降蓋５２が若干上昇された状態を示す
図４を参照して、エアシリンダ５９のピストンロッド５
８が上昇されることにより、断熱昇降蓋５２のガイド柱
５５の先端テーパ部分がトレイ４４の中央部分に挿入さ
れ、支柱５６がトレイ４４の底面に当接してトレイ４４
を成形体Ｆと共に持ち上げる。続いて図５を参照し、台
部５４がトレイ受け用断熱板４３の開口４３ｈを通り抜
けるが、鍔５３は搬送台４２の開口４２ｈを通り抜け得
るものの、トレイ受け用断熱板４３の開口４３ｈは通り
抜けられないので、トレイ受け用断熱板４３を伴って上
昇する。そして、成形体Ｆが脱バインダ室１１の加熱区
画２２内へ挿入され、断熱昇降蓋５２の台部５４が脱バ
インダ室１１の底板１４の挿入用開口１５に挿入され、
鍔５３によって持ち上げられたトレイ受け用断熱板４３
が底板１４の下面の耐熱ゴムリング１９を介して当接す
ることによりピストンロッド５８の上昇が停止され、成
形体Ｆは脱バインダ室１１内に密閉される。
【００２０】成形体Ｆの密閉と同時に、加熱区画２２の
電熱ヒータ２４による加熱と、脱バインダ室１１に接続
されているメカニカルブースタポンプ２７主体の真空排
気系による排気が開始され、成形体Ｆに含まれているバ
インダは液化し、ガス化して排気されトラップ２９に捕
捉される。この間、脱バインダ室１１は密閉されている
ので、バインダ・ガスが搬送室３１内へ流出することは
なく、バインダによる搬送室３１、昇降蓋室５１内の汚
染は起こらない。また、この時、脱バインダ室１１の外
壁面は断熱材１７で覆われているので、脱バインダ時の
熱によって側壁１２、鏡板１３の温度が上昇し、ガス化
したバインダが内壁面で冷却され液化、固化されること
はないので、脱バインダ室１１がバインダによって汚染
されない。脱バインダ操作の温度、真空度、時間は使用
されるバインダの種類に応じて適宜設定される。なお焼
結部２の焼結室はジャケット構造にして冷却する。
電熱ヒータ２４による加熱と、脱バインダ室１１に接続
されているメカニカルブースタポンプ２７主体の真空排
気系による排気が開始され、成形体Ｆに含まれているバ
インダは液化し、ガス化して排気されトラップ２９に捕
捉される。この間、脱バインダ室１１は密閉されている
ので、バインダ・ガスが搬送室３１内へ流出することは
なく、バインダによる搬送室３１、昇降蓋室５１内の汚
染は起こらない。また、この時、脱バインダ室１１の外
壁面は断熱材１７で覆われているので、脱バインダ時の
熱によって側壁１２、鏡板１３の温度が上昇し、ガス化
したバインダが内壁面で冷却され液化、固化されること
はないので、脱バインダ室１１がバインダによって汚染
されない。脱バインダ操作の温度、真空度、時間は使用
されるバインダの種類に応じて適宜設定される。なお焼
結部２の焼結室はジャケット構造にして冷却する。
【００２１】所定の脱バインダ操作が完了すると、図６
を参照して、エアシリンダ５９のピストンロッド５８が
若干下降されて、脱バインダ室１１の底板１４とトレイ
受け用断熱板４３との間に間隙を生ずるようになるが、
同時に脱バインダ室１１に接続されているメカニカルブ
ースタポンプ２７主体の排気が停止され、昇降蓋室５１
に接続されている拡散ポンプ６６主体の排気が開始され
て、搬送室３１、これに連通している昇降蓋室５１が１
０-5Ｔｏｒｒ以上の真空度に達するまで十分に排気され
る。従って、仕切扉７を開けた時に搬送室３１、昇降蓋
室５１から焼結部２へ流れ込むバインダ・ガスは無視し
得る程度になる。
を参照して、エアシリンダ５９のピストンロッド５８が
若干下降されて、脱バインダ室１１の底板１４とトレイ
受け用断熱板４３との間に間隙を生ずるようになるが、
同時に脱バインダ室１１に接続されているメカニカルブ
ースタポンプ２７主体の排気が停止され、昇降蓋室５１
に接続されている拡散ポンプ６６主体の排気が開始され
て、搬送室３１、これに連通している昇降蓋室５１が１
０-5Ｔｏｒｒ以上の真空度に達するまで十分に排気され
る。従って、仕切扉７を開けた時に搬送室３１、昇降蓋
室５１から焼結部２へ流れ込むバインダ・ガスは無視し
得る程度になる。
【００２２】搬送室３１、昇降蓋室５１が十分に排気さ
れた時点でピストンロッド５８、断熱昇降蓋５２は図２
に示す最下点まで下降され、脱バインダされた成形体Ｆ
はトレイ４４、トレイ受け用断熱板４３と共に搬送台４
２上に戻される。同時に焼結部２との間の仕切扉７が開
かれ、搬送台４２はストッパ３７ａ、３７ｂによる係止
が解除されて、チェインベルト３２により焼結部２へ送
り込まれ、仕切扉７が閉じられる。このように脱バイン
ダを行なうことにより脱バインダされた成形体を焼結部
２へ送る時に微量のバインダ・ガスが焼結部２へ流入す
ることが防がれる。
れた時点でピストンロッド５８、断熱昇降蓋５２は図２
に示す最下点まで下降され、脱バインダされた成形体Ｆ
はトレイ４４、トレイ受け用断熱板４３と共に搬送台４
２上に戻される。同時に焼結部２との間の仕切扉７が開
かれ、搬送台４２はストッパ３７ａ、３７ｂによる係止
が解除されて、チェインベルト３２により焼結部２へ送
り込まれ、仕切扉７が閉じられる。このように脱バイン
ダを行なうことにより脱バインダされた成形体を焼結部
２へ送る時に微量のバインダ・ガスが焼結部２へ流入す
ることが防がれる。
【００２３】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限られることなく、本発明の
技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
が、勿論、本発明はこれに限られることなく、本発明の
技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００２４】例えば、本実施例においては脱バインダ室
１１を断熱的に密閉する断熱昇降蓋５２、およびトレイ
受け用断熱板４３をタングステン製としたが、モリブデ
ン（Ｍｏ）やタンタル（Ｔａ）の如き耐熱製金属として
もよく、黒鉛のような断熱材料を使用してもよい。搬送
機構のうちのトレイ４４とトレイ受け用断熱板４３は焼
結部２、冷却部３を経て大気中へ取り出されるが、その
時に水分が吸着されると再使用時に連続式真空焼結炉１
０内で水分を放出する。従って本実施例においては、ト
レイ４４とトレイ受け用断熱板４３をタングステン製と
したが、これらを黒鉛の如き水分を吸着し易い材料とす
ることは好ましくない。
１１を断熱的に密閉する断熱昇降蓋５２、およびトレイ
受け用断熱板４３をタングステン製としたが、モリブデ
ン（Ｍｏ）やタンタル（Ｔａ）の如き耐熱製金属として
もよく、黒鉛のような断熱材料を使用してもよい。搬送
機構のうちのトレイ４４とトレイ受け用断熱板４３は焼
結部２、冷却部３を経て大気中へ取り出されるが、その
時に水分が吸着されると再使用時に連続式真空焼結炉１
０内で水分を放出する。従って本実施例においては、ト
レイ４４とトレイ受け用断熱板４３をタングステン製と
したが、これらを黒鉛の如き水分を吸着し易い材料とす
ることは好ましくない。
【００２５】また、本実施例においては脱バインダ室１
１の底板１４とトレイ受け用断熱板４３との間を耐熱ゴ
ムのシールリング１９で気密にシールしたが、ナイフエ
ッジによるメタルコンタクトとしてシールしてもよい。
更には、底板１４とトレイ受け用断熱板４３との間を金
属板同士の単なる接触としてもよい。この場合には変形
例の脱バインダ部２’の概略断面図である図７を参照し
て、脱バインダ室１１’に第１アルゴン導入配管７１が
設けられ、昇降蓋室５１’には第２アルゴン導入配管７
５が設けられる。脱バインダ時には、第１アルゴン導入
配管７１からのアルゴンガスの導入量Ｑ1 と第２アルゴ
ン導入配管７５からのアルゴンガスの導入量Ｑ2 との間
にＱ1 ＜Ｑ2 の関係を持たせ、脱バインダ室１１'の圧
力Ｐ1 よりも搬送室３１と昇降蓋室５１'の圧力Ｐ5 を
大として脱バインダ室１１’を真空排気する。こうする
ことによっても搬送室３１へのバインダの流入、汚染を
防ぎ得る。なお図７では底板１４’とトレイ受け用断熱
板４３との間を拡大して画いている。
１の底板１４とトレイ受け用断熱板４３との間を耐熱ゴ
ムのシールリング１９で気密にシールしたが、ナイフエ
ッジによるメタルコンタクトとしてシールしてもよい。
更には、底板１４とトレイ受け用断熱板４３との間を金
属板同士の単なる接触としてもよい。この場合には変形
例の脱バインダ部２’の概略断面図である図７を参照し
て、脱バインダ室１１’に第１アルゴン導入配管７１が
設けられ、昇降蓋室５１’には第２アルゴン導入配管７
５が設けられる。脱バインダ時には、第１アルゴン導入
配管７１からのアルゴンガスの導入量Ｑ1 と第２アルゴ
ン導入配管７５からのアルゴンガスの導入量Ｑ2 との間
にＱ1 ＜Ｑ2 の関係を持たせ、脱バインダ室１１'の圧
力Ｐ1 よりも搬送室３１と昇降蓋室５１'の圧力Ｐ5 を
大として脱バインダ室１１’を真空排気する。こうする
ことによっても搬送室３１へのバインダの流入、汚染を
防ぎ得る。なお図７では底板１４’とトレイ受け用断熱
板４３との間を拡大して画いている。
【００２６】また、本実施例においては昇降機構にエア
シリンダを用いたが、これ以外の装置、例えばボールね
じを使用してもよい。
シリンダを用いたが、これ以外の装置、例えばボールね
じを使用してもよい。
【００２７】また、本実施例では採用しなかったが、搬
送室３１の下流側の端部、または焼結部２に不活性ガス
の導入口を設け、搬送室３１の上流側の端部に導出口を
設けておき、脱バインダの完了した成形体Ｆを搬送室３
１から焼結部２へ搬送する時に、導入口から導出口へ不
活性ガスを流すことにより、微量のバインダが焼結部へ
流入することを更に確実に防ぎ得る。
送室３１の下流側の端部、または焼結部２に不活性ガス
の導入口を設け、搬送室３１の上流側の端部に導出口を
設けておき、脱バインダの完了した成形体Ｆを搬送室３
１から焼結部２へ搬送する時に、導入口から導出口へ不
活性ガスを流すことにより、微量のバインダが焼結部へ
流入することを更に確実に防ぎ得る。
【００２８】また、本実施例においては、脱バインダ室
１１を排気するためのメカニカルブースタポンプ２７を
主体とする真空排気系と、搬送室３１、昇降蓋室５１を
排気するための拡散ポンプ６６を主体とする真空排気系
との２系列を設けたが、搬送室３１、昇降室５１を排気
する拡散ポンプ６６主体の真空排気系のみを設置し、必
要な分岐管と切換え用真空バルブを配して、脱バインダ
室１１と接続し、１系列の真空排気系で脱バインダ室１
１と搬送室３１、昇降蓋室５１とを切換えて真空排気す
るようにしてもよい。
１１を排気するためのメカニカルブースタポンプ２７を
主体とする真空排気系と、搬送室３１、昇降蓋室５１を
排気するための拡散ポンプ６６を主体とする真空排気系
との２系列を設けたが、搬送室３１、昇降室５１を排気
する拡散ポンプ６６主体の真空排気系のみを設置し、必
要な分岐管と切換え用真空バルブを配して、脱バインダ
室１１と接続し、１系列の真空排気系で脱バインダ室１
１と搬送室３１、昇降蓋室５１とを切換えて真空排気す
るようにしてもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の連続式真空
焼結炉によれば、成形体の脱バインダが密閉された脱バ
インダ室で行われるのでバインダが搬送室へ流出する汚
染は発生せず、また、脱バインダの完了後は搬送室を高
い真空度に排気した後、焼結部との仕切扉を開けて成形
体を焼結部へ送るので、焼結時に微量のバインダが存在
することによる焼結体の品質低下が完全に防止される。
また、そのことによって脱バインダ室を１室としても十
分であり、複数の脱バインダ室を必要とする従来の連続
式真空焼結炉に比して装置コストを大幅に低下させ得
る。
焼結炉によれば、成形体の脱バインダが密閉された脱バ
インダ室で行われるのでバインダが搬送室へ流出する汚
染は発生せず、また、脱バインダの完了後は搬送室を高
い真空度に排気した後、焼結部との仕切扉を開けて成形
体を焼結部へ送るので、焼結時に微量のバインダが存在
することによる焼結体の品質低下が完全に防止される。
また、そのことによって脱バインダ室を１室としても十
分であり、複数の脱バインダ室を必要とする従来の連続
式真空焼結炉に比して装置コストを大幅に低下させ得
る。
【図１】実施例の連続式真空焼結炉の縦断面図である。
【図２】同焼結炉の脱バインダ部の拡大縦断面図であ
る。
る。
【図３】図２における［３］−［３］線方向の矢視図で
ある。
ある。
【図４】図２と同様な断面図であり、昇降機構の昇降過
程を示す。
程を示す。
【図５】図２と同様な断面図であり、昇降機構の昇降過
程を示す。
程を示す。
【図６】図２と同様な断面図であり、昇降機構の昇降過
程を示す。
程を示す。
【図７】変形例の脱バインダ部の拡大断面図である。
【図８】従来例の連続式真空焼結炉の構成を示す概念図
である。
である。
１ 脱バインダ部
２ 焼結部
３ 冷却部
１０ 実施例の連続式真空焼結炉
１１ 脱バインダ室
２２ 加熱区画
２７ メカニカルブースタポンプ
３１ 搬送室
３２ チェインベルト
３７ ストッパ
４２ 搬送台
４３ トレイ受け用断熱板
４４ トレイ
４５ ガイド柱
４６ 支柱
５１ 昇降蓋室
５２ 断熱昇降蓋
５３ 鍔
５４ 台部
５５ ガイド柱
５６ 支柱
５８ ピストンロッド
６６ 拡散ポンプ
６７ メカニカルブースタポンプ
Ｆ 成形体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｆ２７Ｂ 9/30 Ｆ２７Ｂ 9/30
(56)参考文献 特開 平９−53887（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−126660（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−233672（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−137629（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F27B 9/02
B22F 3/10
F27B 9/04
F27B 9/06
F27B 9/30
Claims (5)
- 【請求項１】 上流側から順に成形体の脱バインダ部、
焼結部、冷却部が設けられた連続式真空焼結炉におい
て、前記脱バインダ部は脱バインダ室と搬送室とからな
り、前記脱バインダ室は下方の挿入用開口を介して前記
搬送室と連通し、内部に加熱装置が設けられ、かつ第１
真空排気系に接続されており、前記搬送室の一方の側端
の前記成形体の搬入口は搬入扉、他方の側端の搬出口は
前記焼結部と画成する仕切扉により開閉可能に密閉さ
れ、内部に前記成形体の搬送機構、及び該搬送機構上の
前記成形体を昇降させるための昇降機構が配置され、か
つ前記第１真空排気系より高度に真空排気が可能な第２
真空排気系に接続されており、前記昇降機構は前記搬送
室内または外の駆動源によって昇降され、その先端が前
記搬送室内にあるロッドと該ロッドの先端部に固定した
断熱昇降蓋とからなり、 該断熱昇降蓋は台部と該台部より径の大きい鍔部を備え
ており、かつ前記台部の上面には前記成形体が載置され
たトレイを支持する支柱が立設されており、前記搬送機
構は前記断熱昇降蓋の前記鍔部が挿通可能に形成された
第１開口を有する搬送台、該搬送台の前記第１開口上に
重ねて置かれ前記断熱昇降蓋の前記支柱および前記台部
が挿通可能で前記断熱昇降蓋の前記鍔部は挿通不能に形
成された第２開口を有するトレイ受け用断熱板、および
該トレイ受け用断熱板の前記第２開口上に重ねて置かれ
る前記トレイからなる載置系と、該載置系を搬送するた
めの前記搬入口から前記搬出口に至る駆動系とからな
り、 前記断熱昇降蓋が上昇されて前記支柱が前記成形体を前
記トレイと共に支持し前記挿入用開口から前記脱バイン
ダ室内へ挿入する時に、前記鍔部に伴われて上昇する前
記トレイ受け用断熱板と前記断熱昇降蓋の台部とによっ
て前記挿入用開口が断熱的に密閉されることにより、前
記第１真空排気系で排気され前記加熱装置で加熱されて
前記成形体からバインダを前記脱バインダ室内へ放出さ
せる脱バインダ時に前記バインダは前記搬送室へ流出せ
ず、続いて脱バインダが完了して前記断熱昇降蓋が下降
されると共に前記第１真空排気系が停止され、前記第２
真空排気系が起動されて前記搬送室が高い真空度に排気
された後に、前記搬出口の前記仕切扉が開とされ、前記
トレイ、前記トレイ受け用断熱板と共に前記搬送台へ戻
されている前記成形体が前記搬送系によって下流側の前
記焼結部へ搬送されることを特徴とする連続式真空焼結
炉。 - 【請求項２】 前記脱バインダ室の内壁が加熱されてお
り、前記内壁への前記バインダ・ガスの凝結が阻止され
ている請求項１に記載の連続式真空焼結炉。 - 【請求項３】 前記第１真空排気系がメカニカルブース
タポンプを主体とする排気系であり、前記第２真空排気
系が拡散ポンプを主体とする排気系である請求項１また
は請求項２に記載の連続式真空焼結炉。 - 【請求項４】 前記成形体が前記脱バインダ部の前記搬
送室から前記焼結部へ搬送される時に、前記搬送室の下
流側の端部または前記焼結部に設けた導入口から前記搬
送室の上流側の端部に設けた導出口へ不活性ガスが流さ
れて、微量の前記バインダの前記焼結部への流入が阻止
される請求項１から請求項３までの何れかに記載の連続
式真空焼結炉。 - 【請求項５】 前記脱バインダ室に第１アルゴン導入配
管が設けられ、かつ前記搬送室には第２アルゴン導入配
管が設けられており、前記脱バインダ時に前記第１アル
ゴン導入配管のアルゴンガス導入量よりも前記第２アル
ゴン導入配管からのアルゴンガス導入量を大にすること
により前記脱バインダ室の圧力よりも前記搬送室の圧力
を大として、前記脱バインダ室が前記第１真空排気系で
排気される請求項１から請求項４までの何れかに記載の
連続式真空焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30694395A JP3524242B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 連続式真空焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30694395A JP3524242B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 連続式真空焼結炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126659A JPH09126659A (ja) | 1997-05-16 |
| JP3524242B2 true JP3524242B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=17963153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30694395A Expired - Lifetime JP3524242B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 連続式真空焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3524242B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106643131A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-05-10 | 北京华海中谊节能科技股份有限公司 | 一种移动式立式真空炉结构 |
| CN111189318A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-05-22 | 佛山市鼎科科技发展有限公司 | 一种陶瓷烧制温控装置 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4570367B2 (ja) * | 2004-02-02 | 2010-10-27 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
| CN102331175A (zh) * | 2011-07-28 | 2012-01-25 | 太仓市华瑞真空炉业有限公司 | 高温真空烧结炉 |
| KR101358358B1 (ko) * | 2011-08-17 | 2014-02-05 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 탈지 소결로 |
| CN103256808B (zh) * | 2013-05-02 | 2015-06-17 | 白金贵 | 连续进料的粉煤灰陶粒烧结方法及烧结炉 |
| CN106225493B (zh) * | 2016-07-26 | 2018-07-06 | 河南天利热工装备股份有限公司 | 一种热处理台车上的结构 |
| KR101944527B1 (ko) * | 2018-07-25 | 2019-04-17 | 주식회사 엘림브이엔티 | 수직 이동형 진공 브레이징 장치 |
| CN110170651A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-08-27 | 江苏振华新云电子有限公司 | 一种烧结炉及钽电容的烧结方法 |
| KR102330443B1 (ko) * | 2020-07-30 | 2021-11-24 | 엔에이티엠 주식회사 | 산화 방지용 일체형 탈지 및 소결장치 |
| KR102330453B1 (ko) * | 2020-11-06 | 2021-11-24 | 김인호 | 산화 방지용 일체형 탈지 및 소결장치 |
| CN113267048B (zh) * | 2021-07-16 | 2021-09-21 | 佛山市兆热工业炉科技有限公司 | 一种自动上料的加热炉 |
| CN117524703B (zh) * | 2022-08-04 | 2024-05-28 | 南通三优佳磁业有限公司 | 一种磁粉的烧结装置 |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP30694395A patent/JP3524242B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106643131A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-05-10 | 北京华海中谊节能科技股份有限公司 | 一种移动式立式真空炉结构 |
| CN111189318A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-05-22 | 佛山市鼎科科技发展有限公司 | 一种陶瓷烧制温控装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09126659A (ja) | 1997-05-16 |
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