JP3519293B2 - 光磁気記録媒体、光磁気記録媒体の再生方法、光磁気記録再生装置 - Google Patents

光磁気記録媒体、光磁気記録媒体の再生方法、光磁気記録再生装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録再生装
置に適用される光磁気ディスク、光磁気テープ、光磁気
カード等の光磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、書き換え可能な光記録媒体と
して、光磁気記録媒体が実用化されている。このような
光磁気記録媒体では、光磁気記録媒体上に集光された半
導体レーザから出射される光ビームのビーム径に対し
て、記録用磁区である記録ビット径および記録ビット間
隔が小さくなるにつれて、再生特性が劣化するという欠
点がある。
【0003】これは、目的とする記録ビット上に集光さ
れた光ビームのビーム径内に、隣接する記録ビットが入
るため、個々の記録ビットを分離して再生することがで
きなくなることが原因である。
【0004】この問題を解決する手段として、磁性多層
膜を用いたさまざまな磁気的超解像再生技術が開発され
ている。これらの磁気的超解像再生技術は、磁気的なマ
スク領域を形成することにより、ビームスポットよりも
小さい磁気的なアパーチャを形成し、再生時の符号間干
渉を減少させて、光の回折限界以下の周期の信号を再生
可能とするものである。
【0005】しかし、これらの磁気的超解像再生技術に
は、記録磁区の記録周期を小さくするにつれて、アパー
チャも小さくする必要があるため、再生信号強度が小さ
くなるという問題が存在する。
【0006】この問題を解消するために、交流外部磁界
を印加することなしに磁区拡大再生を可能にする方法が
提案されている(『DC光、DC磁界による磁区拡大再
生(MAMMOS)』(1997年春季第44回応用物
理学関係連合講演会講演予稿集、30a−NF−3、1
068頁))。
【0007】ここで、図28から図30を用いて、上記
の方法に係る光磁気記録媒体について説明する。図28
および図29は上記光磁気記録媒体の再生時の磁化状態
を説明する平面模式図および断面模式図である。また、
図30は上記光磁気記録媒体を適用した光磁気ディスク
の媒体構成を示す断面図である。
【0008】図29に示すように、上記光磁気記録媒体
は、再生層201と、再生補助層202と、記録層20
4とが積層されて構成されている。再生層201および
再生補助層202は、室温において面内磁化状態であ
り、光ビーム205(図28中では光ビームスポット2
05′)の集光照射による温度上昇とともに垂直磁化状
態となる。また、記録層204は垂直磁化膜からなり、
磁化情報が磁区206・207の磁化方向として記録さ
れている。
【0009】再生層201が垂直磁化状態となる温度
は、再生補助層202が垂直磁化状態となる温度よりも
低く設定されている。よって、光ビーム205により加
熱された際、再生層201において垂直磁化状態となる
領域である磁区209は、再生補助層202が垂直磁化
状態となる領域である磁区208よりも広くなる。
【0010】光ビーム205の加熱によって再生補助層
202の垂直磁化状態となった磁区208の磁化方向
は、記録層204との交換結合により決定される。これ
により、記録層204および再生補助層202の副格子
モーメントの向きをそろえるように、記録層204の磁
区206の磁化情報が再生補助層202へと転写され
る。
【0011】つぎに、再生補助層202の垂直磁化状態
となった磁区208の磁化情報は、再生層201および
再生補助層202の遷移(TM)モーメントの向きをそ
ろえるように、再生層201へと転写される。ここで、
再生層201において垂直磁化状態となる磁区209
は、再生補助層202が垂直磁化状態となる磁区208
よりも広くなっているため、再生補助層202の磁化状
態、すなわち、記録層204の磁化状態は、再生層20
1へと拡大転写されることになる。
【0012】以上のように、上記の方法に係る光磁気記
録媒体では、記録層204の磁化情報が再生層201へ
と拡大転写されることにより、記録磁区の記録周期が小
さくなっても、大きな再生信号強度が得られることにな
る。
【0013】なお、図30に示すように、上記光磁気記
録媒体は、図29の構成に加えて、基板210および透
明誘電体保護層211と、保護層212とを積層するこ
とにより、光磁気ディスクを構成することが可能であ
る。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法に係る磁区拡大再生可能な光磁気記録媒体では、記
録層204と、再生補助層202および再生層201と
が交換結合しているため、再生補助層202および再生
層201における面内磁化状態から垂直磁化状態への遷
移が温度上昇とともに徐々に進行し、再生分解能を向上
させることが困難となるという問題が生ずる。さらに、
温度上昇にともなう再生補助層202および再生層20
1における面内磁化状態から垂直磁化状態への遷移を安
定して行うためには、再生補助層202および再生層2
01の膜厚を厚くする必要があり、膜厚増加にともない
記録再生感度が悪くなるという問題が生ずる。
【0015】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、再生信号振幅を低下させ
ることなく、光の回折限界以下の周期の信号を再生する
ことが可能であり、かつ、良好な記録再生感度を有する
光磁気記録媒体を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の光磁気記録媒体は、室温において面内磁
化状態であり遷移温度Tp1において垂直磁化状態とな
る再生層と、室温において面内磁化状態であり遷移温度
Tp2において垂直磁化状態となる再生補助層と、記録
層と該再生補助層との交換結合を遮断する膜厚が0.5
nm以上40nm以下の非磁性中間層と、該遷移温度T
p2近傍において漏洩磁束を生じる垂直磁化膜からなる
該記録層とが、この順番で積層されるとともに、下記の
不等式(1) Tp1<Tp2 ・・・・・ (1) を満たすように設定されていることを特徴としている。
【0017】上記の構成により、再生層および再生補助
層は、室温において面内磁化状態であり温度上昇ととも
に垂直磁化状態となるように磁気特性が設定されてい
る。また、記録層は、再生補助層が垂直磁化状態となる
ように加熱される温度の近傍において、大きな漏洩磁束
を発生するように組成調整されている。
【0018】よって、上記光磁気記録媒体は、再生する
情報の記録されている記録層の記録磁区を中心に加熱さ
れると、加熱された記録磁区から漏洩磁束が発生する。
記録層の記録磁区から発生した漏洩磁束は、再生補助層
のトータル磁化と静磁結合することにより、記録層の記
録磁区の磁化情報が再生補助層の加熱されて垂直磁化状
態となっている領域へ転写される。ここで、記録層と再
生補助層との間に非磁性中間層を形成することによっ
て、記録層と再生補助層との交換結合を完全に遮断する
ことができるため、記録層と再生補助層との間で安定し
た静磁結合を維持することが可能となる。
【0019】そして、再生層が垂直磁化状態となる遷移
温度Tp1が、再生補助層が垂直磁化状態となる遷移温
度Tp2よりも低く設定されているため、再生補助層に
転写された磁区は、再生層の加熱されて垂直磁化状態と
なっている領域へ交換結合により拡大転写されることに
なる。
【0020】このように、再生層が垂直磁化状態となる
遷移温度Tp1を、再生補助層が垂直磁化状態となる遷
移温度Tp2よりも低く設定することによって、記録層
に記録された磁化情報を、再生補助層から再生層へ拡大
転写することができる。
【0021】すなわち、加熱によって、再生の対象であ
る記録磁区の磁化状態が再生補助層へと転写され、さら
に、再生層に拡大転写された磁区のみが再生されること
になる。それゆえ、記録層に存在する記録磁区の磁化情
報が直接再生されないため、隣接する記録磁区の影響を
受けずに、対象である記録磁区だけを拡大して再生する
ことが可能となる。
【0022】加えて、上記光磁気記録媒体では、再生補
助層と記録層とが強く静磁結合することにより、記録層
の磁化情報が再生補助層へと正確に転写される。すなわ
ち、再生層および再生補助層と記録層との結合が静磁結
合であるため、再生層および再生補助層における面内磁
化状態から垂直磁化状態への遷移が急激に起こり、高い
再生分解能を実現することができる。
【0023】以上より、上記光磁気記録媒体では、光の
回折限界以下の周期の信号を記録層に記録した場合にお
いても、再生信号振幅を低下させることなく再生するこ
とが可能となる。
【0024】また、本発明の光磁気記録媒体は、室温に
おいて面内磁化状態であり遷移温度Tp1において垂直
磁化状態となる再生層と、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp2において垂直磁化状態となる再生補
助層と、キュリー温度がTcであり膜厚が20nm以上
40nm以下の面内磁化膜からなる面内磁化層と、該遷
移温度Tp2近傍において漏洩磁束を生じる垂直磁化膜
からなる記録層とが、この順番で積層されるとともに、
下記の不等式(1)および(2) Tp1<Tp2 ・・・・・ (1) Tc≦Tp2 ・・・・・ (2) を満たすように設定されていることを特徴としている。
【0025】上記の構成により、再生層および再生補助
層は、室温において面内磁化状態であり温度上昇ととも
に垂直磁化状態となるように磁気特性が設定されてい
る。また、記録層は、再生補助層が垂直磁化状態となる
ように加熱される温度の近傍において、大きな漏洩磁束
を発生するように組成調整されている。さらに、面内磁
化層は、キュリー温度が低く設定されている。
【0026】よって、上記光磁気記録媒体は、再生する
情報の記録されている記録層の記録磁区を中心に加熱さ
れると、加熱された記録磁区から漏洩磁束が発生する。
記録層の記録磁区から発生した漏洩磁束は、面内磁化層
のキュリー温度以上に加熱されて磁化が消失している領
域を介して、再生補助層のトータル磁化と静磁結合する
ことにより、記録層の記録磁区の磁化情報が再生補助層
の加熱されて垂直磁化状態となっている領域へ転写され
る。
【0027】ここで、記録層と再生補助層との間に、そ
のキュリー温度Tcが再生補助層が面内磁化状態から垂
直磁化状態へ遷移する遷移温度Tp2近傍(Tc≦Tp
2)に設定されている面内磁化層を形成することによ
り、キュリー温度Tc以下の温度において、記録層から
発生する漏洩磁束を抑制することができる。よって、再
生補助層の遷移温度Tp2未満の温度領域の面内磁化状
態を安定化させるとともに、遷移温度Tp2以上に加熱
された領域においてのみ、記録層と再生補助層とを強く
静磁結合させることができる。したがって、再生補助層
における再生分解能を向上させることが可能となる。
【0028】つづいて、再生層が垂直磁化状態となる遷
移温度Tp1が、再生補助層が垂直磁化状態となる遷移
温度Tp2よりも低く設定されているため、再生補助層
に転写された磁区は、再生層の加熱されて垂直磁化状態
となっている領域へ交換結合により拡大転写されること
になる。
【0029】このように、再生層が垂直磁化状態となる
遷移温度Tp1を、再生補助層が垂直磁化状態となる遷
移温度Tp2よりも低く設定することによって、記録層
に記録された磁化情報を、再生補助層から再生層へ拡大
転写することができる。
【0030】すなわち、加熱によって、再生の対象であ
る記録磁区の磁化状態が再生補助層へと転写され、さら
に、再生層に拡大転写された磁区のみが再生されること
になる。それゆえ、記録層に存在する記録磁区の磁化情
報が直接再生されないため、隣接する記録磁区の影響を
受けずに、対象である記録磁区だけを拡大して再生する
ことが可能となる。
【0031】加えて、上記光磁気記録媒体では、再生補
助層と記録層とが強く静磁結合することにより、記録層
の磁化情報が再生補助層へと正確に転写される。すなわ
ち、再生層および再生補助層と記録層との結合が静磁結
合であるため、再生層および再生補助層における面内磁
化状態から垂直磁化状態への遷移が急激に起こり、高い
再生分解能を実現することができる。
【0032】以上より、上記光磁気記録媒体では、面内
磁化層により高い再生分解能でもって記録層から再生補
助層へ転写された磁区を再生層へ拡大転写させることに
より、高い再生分解能と良好な再生信号品質を得ること
ができる。よって、上記光磁気記録媒体では、光の回折
限界以下の周期の信号を記録層に記録した場合において
も、再生信号振幅を低下させることなく再生することが
可能となる。
【0033】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、上記
の面内磁化層と記録層との間に、該記録層と上記再生補
助層との交換結合を遮断する非磁性中間層が積層されて
いることを特徴としている。
【0034】上記の構成により、さらに、面内磁化層と
記録層との間に非磁性中間層が形成されているため、面
内磁化層と記録層との交換結合を遮断することができ
る。
【0035】これにより、上記光磁気記録媒体では、面
内磁化層の膜厚を薄くすることができる。すなわち、上
記光磁気記録媒体では、非磁性中間層を設けて面内磁化
層と記録層との交換結合を遮断することによって、面内
磁化層の膜厚がより薄い場合でも、再生補助層の面内磁
化状態を安定化させることができる。ゆえに、加熱した
領域においてのみ、記録層と再生補助層とが強く静磁結
合することになり、再生補助層における再生分解能を向
上させることが可能となる。
【0036】ここで、記録層と再生補助層との間隔が大
きいと、記録層と再生補助層との間の静磁結合力が弱く
なり、安定した磁区の転写が困難となるため、再生信号
の品質が劣化する。そこで、非磁性中間層を設けて面内
磁化層を薄くすることで、再生信号の品質劣化を防止す
ることができる。
【0037】以上より、上記光磁気記録媒体では、非磁
性中間層を形成することによって、より高い再生分解能
を実現するために設ける面内磁化層を薄膜化することが
可能となる。したがって、上記光磁気記録媒体では、膜
厚増加の影響を抑制しながら、面内磁化層を設けて、高
い再生分解能と良好な再生信号品質を得るとともに、記
録パワーおよび再生パワーを低減することができる。
【0038】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、上記
記録層とは磁気的極性が異なり、かつ、該記録層のキュ
リー温度よりも低いキュリー温度を有する垂直磁化膜か
らなる磁束調整層が、該記録層に隣接して積層されてい
ることを特徴としている。
【0039】上記の構成により、さらに、互いに磁気的
極性が異なる記録層と磁束調整層とを隣接して積層する
と、両層間に交換結合力が働き、両層のトータル磁化が
打ち消し合うため、両層のトータル磁化の総和である漏
洩磁束がほとんど発生しない状態を実現することができ
る。そして、磁束調整層のキュリー温度以上かつ記録層
のキュリー温度以下に加熱された領域においては、磁束
調整層のトータル磁化が存在しなくなるため、記録層の
みがトータル磁化を有することになり、記録層から漏洩
磁束が発生することになる。したがって、記録層の磁化
情報が再生補助層へ転写される温度においてのみ、記録
層から大きな漏洩磁束を発生させることが可能となる。
【0040】特に、磁束調整層のキュリー温度と再生補
助層が面内磁化状態から垂直磁化状態へと遷移する遷移
温度Tp2とをほぼ同じ温度に設定することができる。
これにより、再生補助層が垂直磁化状態になった領域と
記録層から漏洩磁束が発生する領域とをほぼ一致させる
ことができる。
【0041】以上より、上記光磁気記録媒体では、磁気
的極性が互いに異なる記録層と磁束調整層とを積層する
ことによって、漏洩磁束の最適化が可能となるため、よ
り高い再生分解能でより安定した磁区拡大再生を実現す
ることができる。
【0042】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、上記
遷移温度Tp1における上記記録層と上記再生層との静
磁結合力よりも、上記遷移温度Tp2における該記録層
と上記再生補助層との静磁結合力が強くなるように、該
再生層、該再生補助層、および該記録層の磁気特性が調
整されていることを特徴としている。
【0043】上記の構成により、さらに、遷移温度Tp
1において記録層から発生する漏洩磁束を遷移温度Tp
2において発生するものより弱く設定するとともに、再
生層のキュリー温度を再生補助層のキュリー温度より低
く設定する。これにより、再生層のトータル磁化を再生
補助層のトータル磁化よりも小さくして、遷移温度Tp
1での記録層と再生層との静磁結合力を遷移温度Tp2
での記録層と再生補助層との静磁結合力よりも弱くする
ことができる。
【0044】よって、再生層と記録層との静磁結合力よ
りも再生補助層と記録層との静磁結合力が強くなるた
め、再生補助層と記録層とが強く静磁結合して、記録層
の磁化情報が再生補助層へと正確に転写される。
【0045】このように、上記光磁気記録媒体では、記
録層と再生層との静磁結合状態および記録層と再生補助
層との静磁結合状態を最適化することが可能となるた
め、安定した磁区転写および磁区拡大再生を行うことが
できる。
【0046】また、本発明の光磁気記録媒体の再生方法
は、上記の光磁気記録媒体から記録情報を再生する光磁
気記録媒体の再生方法であって、光ビームを集光照射
し、記録層の磁化情報を再生補助層ヘと転写し、再生補
助層の磁化情報を再生層へと拡大転写することを特徴と
している。
【0047】また、本発明の光磁気記録再生装置は、上
記の光磁気記録媒体から記録情報を再生することを特徴
としている。
【0048】
【発明の実施の形態】〔実施の形態1〕 本発明の一実施の形態について図1から図5に基づいて
説明すれば、以下のとおりである。
【0049】まず、図1および図2を用いて、本実施の
形態に係る光磁気記録媒体の再生原理について説明す
る。図1および図2は、上記光磁気記録媒体の再生時の
磁化状態を説明する平面模式図および断面模式図であ
る。
【0050】図2に示すように、本実施の形態に係る光
磁気記録媒体は、再生層1と、再生補助層2と、非磁性
中間層3と、記録層4とが順次積層されて構成されてい
る。なお、図2中の各矢印は、黒い矢印が遷移金属(T
M)の磁気モーメントの向きを、白抜き矢印が漏洩磁束
の向きをそれぞれ表している。
【0051】上記再生層1は、室温において面内磁化状
態であり温度上昇とともに垂直磁化状態となる希土類遷
移金属合金からなる。上記再生補助層2は、室温におい
て面内磁化状態であり温度上昇とともに垂直磁化状態と
なる希土類遷移金属合金からなる。上記非磁性中間層3
は、非磁性膜からなる。上記記録層4は、垂直磁化膜で
ある希土類遷移金属合金からなる。
【0052】そして、再生時には、上記光磁気記録媒体
は、再生する対象である記録層4の記録磁区6を中心に
再生層1側から光ビーム5(図1中では、光ビームスポ
ット5′)が集光照射される。光ビーム5の集光照射に
よって光磁気記録媒体に形成される温度分布に応じて、
記録層4の記録磁区6から発生する漏洩磁束と再生補助
層2のトータル磁化とが静磁結合することにより、記録
層4の記録磁区6の磁化情報が再生補助層2の垂直磁化
状態となった領域へと転写され、磁区8が形成される。
さらに、再生補助層2に転写された磁区8が、交換結合
力により再生層1へと拡大転写され、再生層1に磁区9
が形成される。結局、磁区9を再生することにより、記
録層4の記録磁区6の記録された情報の再生が行われ
る。
【0053】ここで、再生層1および再生補助層2は、
室温において面内磁化状態であり温度上昇とともに垂直
磁化状態となる磁気特性を実現するため、希土類(R
E)モーメントの大きさと遷移(TM)モーメントの大
きさとが釣り合う補償組成よりも、REモーメントを多
く含むRErich組成となっている。したがって、再
生層1および再生補助層2において、TMモーメントの
向きとトータル磁化の向きとは反平行となる。
【0054】一方、記録層4は、温度上昇した領域にお
いて、大きな漏洩磁束が発生するように組成調整されて
いることが望ましい。したがって、記録層4には、室温
近傍において補償温度を示し、室温以上の温度において
希土類(RE)モーメントの大きさと遷移(TM)モー
メントの大きさとが釣り合う補償組成よりも、TMモー
メントを多く含むTMrich組成の垂直磁化膜が用い
られる。この場合、記録層4のTMモーメントの向きと
トータル磁化の向きとは平行となる。なお、記録層4と
再生補助層2とが静磁結合する場合、両層のトータル磁
化が平行となるべく転写されるため、記録層4のTMモ
ーメントの向きと再生補助層2のTMモーメントの向き
とは反平行となる。
【0055】さらに、再生層1は、再生補助層2に転写
された磁区8が磁区9に拡大転写される。したがって、
再生層1が垂直磁化状態となる遷移温度Tp1は、再生
補助層2が垂直磁化状態となる遷移温度Tp2より、低
い温度に設定されている。
【0056】加えて、再生補助層2と記録層4とは強く
静磁結合して、記録層4の磁化情報が再生補助層2へと
正確に転写される。したがって、再生層1と記録層4と
の静磁結合が、再生補助層2と記録層4との静磁結合よ
り、弱くなるよう設定されている。
【0057】すなわち、上記光磁気記録媒体では、遷移
温度Tp1近傍で記録層4から発生する漏洩磁束を遷移
温度Tp2近傍で記録層4から発生する漏洩磁束より弱
く設定するとともに、再生層1のキュリー温度Tc1を
再生補助層2のキュリー温度Tc2より低く設定する。
これにより、再生層1のトータル磁化を再生補助層2の
トータル磁化よりも小さくして、遷移温度Tp1近傍で
の記録層4と再生層1との静磁結合力を、遷移温度Tp
2近傍での記録層4と再生補助層2との静磁結合力より
も弱くすることができる。したがって、再生補助層2へ
の静磁結合による転写、および再生層1への交換結合に
よる拡大転写がスムーズに行われることとなる。
【0058】また、図1に示すように、光ビーム5(光
ビームスポット5′)の加熱によって、再生の対象であ
る記録磁区6の磁化状態が再生補助層2(磁区8)へと
転写され、さらに、再生層1に拡大転写された磁区9の
みが光ビーム5により再生されることになる。すなわ
ち、記録層4に存在する記録磁区6および記録磁区6以
外の記録磁区7の磁化情報は、光ビーム5により直接再
生されることはない。これにより、記録磁区6に隣接す
る記録磁区7の影響を受けずに、記録磁区6だけを再生
することができる。
【0059】つづいて、上記の光磁気記録媒体を適用し
た光磁気ディスクについて説明する。
【0060】図3に示すように、上記光磁気ディスク
は、基板10上に、透明誘電体保護層11と、再生層1
と、再生補助層2と、非磁性中間層3と、記録層4と、
保護層12とが順次積層されて構成されている。
【0061】上記光磁気ディスクは、その記録方式とし
てキュリー温度記録方式が用いられる。すなわち、光源
である半導体レーザより出射した光ビーム5を、基板1
0および透明誘電体保護層11を通して再生層1へ絞り
こみ、記録層4をキュリー温度Tc4以上に昇温する。
そして、これと同時に外部磁界を加えて記録層4の磁化
方向を制御することによって、上記光磁気ディスクへの
記録を行う。
【0062】また、上記光磁気ディスクの再生は、記録
時よりも弱いパワーに設定された光ビーム5を集光照射
することにより、極カー効果として知られる光磁気効果
によって行う。なお、上記の極カー効果とは、光入射表
面に垂直な磁化の向きにより、反射光の偏光面の回転の
向きが逆方向になる現象である。
【0063】上記基板10は、例えば、ポリカーボネー
ト等の透明な基材からなり、ディスク状に形成され、膜
形成表面に光ビーム5を導く案内溝等が形成されてい
る。なお、本実施の形態では、上記案内溝はランド部分
のみまたは案内溝部分のみに記録を行うための案内溝で
あってもよく、また、ランド部分および案内溝部分の両
方に記録を行うための案内溝であってもよい。
【0064】上記透明誘電体保護層11には、AlN,
SiN,AlSiN,Ta23などの透明誘電体を用い
ることが望ましい。また、透明誘電体保護層11の膜厚
は、入射する光ビーム5に対して、良好な干渉効果を実
現して、媒体の極カー回転角を増大するように設定され
る。すなわち、透明誘電体保護層11は、光ビーム5の
波長λと、透明誘電体保護層11の屈折率nとに基づい
て、膜厚が(λ/(4n))程度に設定される。例え
ば、光ビーム5の波長λが680nmである場合、透明
誘電体保護層11の屈折率nが1.7〜2.5程度であ
るため、膜厚は40nm〜100nm程度に設定すれば
よい。
【0065】上記再生層1は、室温において面内磁化状
態であり、室温より高いある遷移温度Tp1で垂直磁化
状態となり、キュリー温度Tc1まで垂直磁化状態であ
る希土類遷移金属合金からなる磁性膜である。
【0066】上記再生補助層2は、室温において面内磁
化状態であり、室温より高いある遷移温度Tp2で垂直
磁化状態となり、キュリー温度Tc2まで垂直磁化状態
である希土類遷移金属合金からなる磁性膜である。
【0067】本実施の形態では、再生層1のキュリー温
度Tc1を再生補助層2のキュリー温度Tc2よりも低
く設定して、再生層1のトータル磁化を再生補助層2の
トータル磁化よりも小さくする。これによって、再生層
1と記録層4との静磁結合よりも再生補助層2と記録層
4との静磁結合が強くなるため、記録層4の記録磁区6
の磁化情報を静磁結合により再生補助層2の磁区8へと
転写することができる。
【0068】また、上記再生層1が垂直磁化状態となる
遷移温度Tp1は、再生補助層2が垂直磁化状態となる
遷移温度Tp2よりも低く設定される。これによって、
再生補助層2の磁区8から再生層1の磁区9への磁区の
拡大転写を実現することができる。
【0069】上記再生層1のキュリー温度Tc1は、1
60℃以上300℃以下であることが望ましい。Tc1
<160℃とした場合、再生層1のキュリー温度Tc1
の低下にともなうカー回転角の低下が顕著となるため、
再生信号強度が低下し、良好な再生特性が得られなくな
る。また、Tc1>300℃とした場合、再生層1のキ
ュリー温度Tc1が上昇することにより、再生層1の遷
移温度Tp1近傍での再生層1の磁化が大きくなるた
め、遷移温度Tp1近傍での再生層1と記録層4との静
磁結合が強くなる。これによって、再生補助層2から再
生層1への磁区の拡大転写が阻害されるため、再生ノイ
ズが上昇し、再生信号品質が劣化する。
【0070】また、上記再生層1が垂直磁化状態となる
遷移温度Tp1は、60℃以上180℃以下であること
が望ましい。Tp1<60℃とした場合、室温における
面内磁化状態を安定に維持することが困難となるととも
に、より広い範囲において再生層1が垂直磁化状態とな
る。これによって、光ピックアップからの漏れ磁界等の
外乱の影響を受け易くなり、安定した磁区拡大再生がで
きなくなる。また、Tp1>180℃とした場合、再生
層1が垂直磁化状態となる範囲が狭くなることにより、
磁区拡大の効果が得られなくなるため、再生信号の強度
が低下して、再生信号品質の劣化が顕著となる。
【0071】つぎに、上記再生補助層2のキュリー温度
Tc2は、230℃以上であることが望ましい。Tc2
<230℃とした場合、再生補助層2のキュリー温度T
c2の低下にともない、再生補助層2の遷移温度Tp2
近傍での再生補助層2のトータル磁化が小さくなる。こ
れによって、遷移温度Tp2近傍における記録層4と再
生補助層2との静磁結合が弱くなるため、記録層4から
再生補助層2への磁区の転写が安定して実現できなくな
る。なお、キュリー温度Tc2が高いほど遷移温度Tp
2近傍での再生補助層2のトータル磁化が大きくなるた
め、記録層4と再生補助層2とのより強い静磁結合を実
現できることになるが、キュリー温度Tc2の上限は使
用する材料によって限定される。
【0072】また、上記再生補助層2が垂直磁化状態と
なる遷移温度Tp2は、少なくとも遷移温度Tp1より
も高い温度であり、かつ、記録層4のキュリー温度Tc
4よりも低い温度に設定される。具体的には、再生補助
層2の遷移温度Tp2は、100℃以上230℃以下で
あることが望ましい。Tp1<100℃とした場合、低
い温度で再生補助層2が垂直磁化状態となるため、再生
分解能が劣化して、短いマーク長における再生信号品質
が劣化する。また、Tp2>230℃とした場合、再生
補助層2が垂直磁化状態となる遷移温度Tp2と記録層
4のキュリー温度Tc4とが近づくことにより、わずか
な再生パワーの変動によっても記録層4がキュリー温度
Tc4以上に温度上昇するため、記録された情報が消去
されることになり、実用可能な再生パワーマージンが得
られない。
【0073】また、上記再生層1の膜厚は、20nm以
上60nm以下の範囲に設定されていることが望まし
い。再生層1の膜厚が20nmより薄い場合、光ビーム
が再生層1を透過して再生補助層2において反射される
ことにより、実際に再生層1から反射される光量が少な
くなるため、再生信号強度が低下して、再生信号品質が
劣化する。また、再生層1の膜厚が60nmより厚い場
合、膜厚増加により、記録感度の劣化が顕著となる。
【0074】また、上記再生補助層2の膜厚は、20n
m以上60nm以下の範囲に設定されていることが望ま
しい。再生補助層2の膜厚が20nmより薄い場合、記
録層4から発生する漏洩磁束との静磁結合が弱くなるた
め、記録層4から再生補助層2への磁区の転写が安定し
て実現しない。また、再生補助層の膜厚が60nmより
厚い場合、膜厚増加によって、記録感度の劣化が顕著と
なる。
【0075】上述したような磁気特性を満足する再生層
1および再生補助層2としては、GdFe,GdFeC
o,GdNdFeCo等の材料からなる希土類遷移金属
合金薄膜を採用することが可能である。また、材料の耐
湿性・耐酸化性を改善するため、これらの材料にTa,
Cr,Ti,Al,Si等の金属元素を添加してもよ
い。
【0076】上記非磁性中間層3は、記録層4と再生補
助層2との交換結合を遮断するために形成される非磁性
膜である。非磁性中間層3としては、Al,Si,T
a,Ti,Au,Cu等の非磁性金属、および、これら
の非磁性金属からなる非磁性合金を用いることが可能で
ある。また、AlN,SiN,AlSiN等の非磁性誘
電体を用いることも可能である。
【0077】上記非磁性中間層3の膜厚は、0.5nm
以上40nm以下の範囲に設定されていることが望まし
い。非磁性中間層3の膜厚が0.5nmより薄い場合、
非磁性中間層3を均一に形成することができないため、
再生補助層2と記録層4との交換結合を完全に遮断して
安定した静磁結合を維持することが困難となる。また、
非磁性中間層3の膜厚が40nmより厚い場合、再生補
助層2と記録層4との間隔が大きくなるため、再生補助
層2と記録層4との間の静磁結合力が弱くなり、記録層
4から再生補助層2への安定した磁区の転写が困難とな
る。
【0078】上記記録層4は、希土類遷移金属合金から
なる垂直磁化膜であり、その補償温度Tcomp4が−70
℃以上60℃以下に設定されることが望ましい。Tcomp
4<−70℃とした場合、再生層1の遷移温度Tp1近
傍の温度において記録層4が比較的大きな磁化を持つた
め、遷移温度Tp1近傍における記録層4と再生層1と
の静磁結合が強くなる。これにより、再生層1における
安定した磁区の転写拡大が阻害されるため、再生信号品
質が劣化する。また、Tcomp4>60℃とした場合、再
生補助層2の遷移温度Tp2近傍における記録層4の磁
化が小さくなるため、遷移温度Tp2近傍における記録
層4と再生補助層2との静磁結合が弱くなる。これによ
り、記録層4から再生補助層2への磁区の転写が不安定
となるため、再生信号品質が劣化する。
【0079】また、上記記録層4のキュリー温度Tc4
は、少なくとも再生補助層2が垂直磁化状態となる遷移
温度Tp2よりも高く設定されている。具体的には、キ
ュリー温度Tc4は、180℃以上300℃以下である
ことが望ましい。
【0080】Tc4<180℃とした場合、キュリー温
度Tc4が低くなり過ぎるため、再生時、再生補助層2
を遷移温度Tp2以上に加熱して記録磁区6を再生補助
層2へと転写する際、わずかな温度上昇により記録層4
がキュリー温度Tc4以上に加熱されて、記録された情
報が失われる。すなわち、再生パワーマージンが狭くな
る。さらに、記録層4のキュリー温度Tc4の低下にと
もなって、記録層4から発生する漏洩磁束が小さくなる
ため、再生補助層2と記録層4との安定な静磁結合状態
を維持することが困難となり、再生信号品質が劣化す
る。
【0081】また、Tc4>300℃とした場合、記録
を行うためには記録層4を300℃以上に加熱する必要
があり、記録感度の劣化が顕著になるとともに、再生層
1、再生補助層2および記録層4が300℃以上に加熱
されるため、各磁性層の磁気特性の劣化とともに、記録
消去にともう再生信号品質の劣化が生じる。
【0082】上記記録層4の膜厚は、30nm以上12
0nm以下の範囲に設定されることが望ましい。記録層
4の膜厚が30nmより薄い場合、記録層4から発生す
る漏洩磁束が小さくなるため、再生補助層2と記録層4
との安定な静磁結合状態を維持することが困難となり、
再生信号品質が劣化する。また、記録層4の膜厚が12
0nmより厚い場合、膜厚が増加するため、記録感度の
劣化が顕著となる。
【0083】上記のような磁気特性を有する記録層4と
しては、TbFe,TbFeCo,DyFe,DyFe
Co,TbDyFe,TbDyFeCo等の材料からな
る垂直磁化膜を採用することが可能である。また、材料
の耐湿性・耐酸化性を改善するため、これらの材料にT
a,Cr,Ti,Al,Si等の金属元素を添加しても
よい。
【0084】上記保護層12は、AlN,SiN,Al
SiN,Ta23等の透明誘電体、またはAl,Ti,
Ta,Ni等の金属からなる非磁性金属合金からなり、
再生層1および再生補助層2および記録層4に用いる希
土類遷移金属合金の酸化を防止する目的で形成される。
そして、保護層12の膜厚は5nm〜60nmの範囲に
設定される。
【0085】さらに、上記保護層12上に、Al,Al
Ta,AlTi,AlCr,AlNi,AlCo,Cu
等からなる熱拡散金属層を付加することにより、媒体の
熱的特性を改善することが可能となる。加えて、保護層
12上または上記熱拡散金属層上に、紫外線硬化樹脂
層、熱硬化樹脂層または潤滑層などを形成することもで
きる。
【0086】また、低磁界記録を目的として、記録層4
に接して、記録層4の保磁力より小さな保磁力を有し、
記録層4のキュリー温度Tc4よりも高いキュリー温度
を有する垂直磁化膜、例えば、GdFeCo,GdTb
FeCo,GdDyFeCo等の垂直磁化膜からなる記
録補助層を積層して形成してもよい。
【0087】つぎに、上記構成の光磁気ディスクの形成
方法および記録再生方法の具体例を説明する。 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記光磁気ディスク(図3)の形成方法は以下のとおり
である。
【0088】第一に、Alターゲットと、第1のGdF
eCo合金ターゲットと、第2のGdFeCo合金ター
ゲットと、TbFeCo合金ターゲットとを備えたスパ
ッタ装置内に、案内溝を有しディスク状に形成されたポ
リカーボネート製の基板10を配置する。そして、スパ
ッタ装置内を1×10-6Torrまで真空排気した後、
アルゴンと窒素との混合ガスを導入し、Alターゲット
に電力を供給して、ガス圧4×10-3Torrの条件
で、上記基板10上にAlNからなる透明誘電体保護層
11を膜厚80nmで形成する。
【0089】第二に、再度、スパッタ装置内を1×10
-6Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し
て、第1のGdFeCo合金ターゲットに電力を供給
し、ガス圧4×10-3Torrの条件で、上記透明誘電
体保護層11上に、Gd0.29(Fe0.88Co0.120.71
からなる再生層1を膜厚30nmで形成する。なお、形
成された再生層1は、室温において面内磁化状態であ
り、90℃の温度で垂直磁化状態となり、キュリー温度
Tc1が270℃であった。
【0090】第三に、引き続き、第2のGdFeCo合
金ターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10-3To
rrの条件で、上記再生層1上に、Gd0.33(Fe0.78
Co0.220.67からなる再生補助層2を膜厚30nmで
形成する。なお、形成された再生補助層2は、室温にお
いて面内磁化状態であり、160℃の温度で垂直磁化状
態となり、キュリー温度Tc2が350℃であった。
【0091】第四に、引き続き、Alターゲットに電力
を供給して、ガス圧4×10-3Torrの条件で、上記
再生補助層2上に、Alからなる非磁性中間層3を膜厚
1nmで形成する。
【0092】第五に、引き続き、TbFeCo合金ター
ゲットに電力を供給して、ガス圧4×10-3Torrの
条件で、上記非磁性中間層3上に、Tb0.25(Fe0.84
Co0.160.75からなる記録層4を膜厚60nmで形成
する。なお、形成された記録層4は、補償温度が25
℃、キュリー温度Tc4が270℃であり、室温からそ
のキュリー温度Tc4まで、常に、膜面に対して垂直方
向に磁化を有する垂直磁化膜であった。
【0093】第六に、アルゴンと窒素との混合ガスを導
入し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×1
-3Torrの条件で、上記記録層4上にAlNからな
る保護層12を膜厚20nmで形成する。
【0094】ここで、図4を用いて、各磁性層のトータ
ル磁化の温度依存性について説明する。
【0095】再生層1(c11)は、25℃において面
内磁化状態であり、温度上昇にともないトータル磁化が
減少し、90℃で垂直磁化状態となり、270℃(キュ
リー温度Tc1)においてトータル磁化がゼロとなる。
再生補助層2(c12)は、25℃において面内磁化状
態であり、温度上昇にともないトータル磁化が減少し、
160℃で垂直磁化状態となり、350℃(キュリー温
度Tc2)においてトータル磁化がゼロとなる。記録層
4(c14)は、25℃が補償温度があり、25℃にお
いてトータル磁化がゼロであり、温度上昇とともにトー
タル磁化が増加し、160℃近傍の温度でトータル磁化
が最大となり、その後トータル磁化は減少し、270℃
(キュリー温度Tc4)において再度トータル磁化がゼ
ロとなる。
【0096】そして、再生補助層2が垂直磁化状態とな
る160℃(遷移温度Tp2)近傍における記録層4の
トータル磁化は、再生層1が垂直磁化状態となる温度9
0℃(遷移温度Tp1)近傍における記録層4のトータ
ル磁化より大きいことがわかる。また、遷移温度Tp2
近傍における再生補助層2のトータル磁化は、遷移温度
Tp1近傍における再生層1のトータル磁化より大きい
ことがわかる。加えて、再生補助層2が再生層1よりも
記録層4に近接している。
【0097】したがって、遷移温度Tp2における再生
補助層2と記録層4との静磁結合が、遷移温度Tp1に
おける再生層1と記録層4との静磁結合よりも強くなる
ため、遷移温度Tp2近傍の記録層4の磁化情報が再生
補助層2へと転写される温度(転写温度領域)におい
て、記録層4の磁化情報が静磁結合により再生補助層2
へと転写され、再生補助層2へと転写された磁化情報が
交換結合により再生層1へと拡大転写されることにな
る。 (2)記録再生特性 上記光磁気ディスク(サンプル#1とする)の記録再生
特性は以下のとおりである。具体的には、上記光磁気デ
ィスクを、波長680nmの半導体レーザを用いた光磁
気ピックアップで、線速2.5m/sの条件で評価した
結果について説明する。
【0098】まず、記録再生用レーザを6mWで連続照
射しながら、記録磁界を±15kA/mで変調すること
により、記録層4に記録磁界の向きに対応した上向き磁
化と下向き磁化との繰り返しパターンを形成した。そし
て、記録磁界の変調周波数を変えることにより、0.2
〜0.5μmの範囲のマーク長の磁区パターンを記録し
た。ここで、マーク長とは、マーク長に対応する長さの
記録磁区をマーク長の2倍の長さのピッチで形成してい
ることを意味する。
【0099】図5は、記録再生用レーザを2.5mWで
連続照射して測定したサンプル#1のCNR(信号対雑
音比)のマーク長依存性を示すグラフである。また、比
較のため、従来技術(図29,図30)において説明し
た、記録層204と、再生補助層202および再生層2
01との交換結合により磁区拡大再生を実現している光
磁気ディスク(比較サンプル#r1とする)のCNRの
マーク長依存性のグラフもあわせて示す。
【0100】上記比較サンプル#r1は、図29に示し
たように、透明誘電体保護層211に膜厚80nmのA
lNを、再生層201に膜厚100nmのGd0.30(F
0.67Co0.330.70を、再生補助層202に膜厚10
0nmのGd0.33(Fe0.67Co0.330.67を、記録層
204に膜厚40nmのTb0.25(Fe0.84Co0.16
0.75を、保護層212に膜厚20nmのAlNをそれぞ
れ用いた光磁気ディスクである。なお、比較サンプル#
r1では、再生層201および再生補助層202が面内
磁化状態から垂直磁化状態へと遷移する温度は、それぞ
れ100℃および150℃であった。
【0101】ここで、比較サンプル#r1においては、
再生層201および再生補助層202と記録層204と
が交換結合している。そのため、再生層201および再
生補助層202の膜厚を上記のように100nmと厚く
しなければ、室温において面内磁化状態であり温度上昇
とともに垂直磁化状態となる特性を実現することができ
なかった。よって、比較サンプル#r1は膜厚が厚いた
め、サンプル#1よりも記録再生のために大きなレーザ
パワーが必要となる。したがって、比較サンプル#r1
の評価は、記録レーザパワーを9.4mW、再生レーザ
パワーを3.6mWとして行った。
【0102】図5に示したように、CNRについて、サ
ンプル#1と比較サンプル#r1とを比較すると、すべ
てのマーク長において、サンプル#1のCNRが高くな
っていることがわかる。これは、サンプル#1におい
て、再生層1および再生補助層2と記録層4との結合が
静磁結合であるため、再生層1および再生補助層2にお
ける面内磁化状態から垂直磁化状態への遷移が比較サン
プル#r1より急激に起こり、再生分解能が向上したこ
とによるものである。
【0103】このように、本実施の形態に係るサンプル
#1は、比較サンプル#r1と比較して、より良好な再
生信号品質および記録再生感度を備えた光磁気ディスク
であることがわかる。
【0104】以上のように、本実施の形態に係る光磁気
記録媒体は、少なくとも、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp1において垂直磁化状態となる再生層
1と、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2
において垂直磁化状態となる再生補助層2と、非磁性中
間層3と、垂直磁化膜からなる記録層4とが、この順に
順次積層されており、さらに、 Tp1<Tp2 なる条件を満足するよう構成されている。
【0105】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層4に記録された磁化情報が再生層1へと拡大転写さ
れることにより、光の回折限界以下の周期の信号を記録
層4に記録した場合においても、再生信号振幅を低下さ
せることなく再生することが可能となる。
【0106】さらに、本実施の形態に係る光磁気記録媒
体は、遷移温度Tp1における記録層4と再生層1との
静磁結合力よりも、遷移温度Tp2における記録層4と
再生補助層2との静磁結合力が強くなるように、再生層
1、再生補助層2、および記録層4の磁気特性がそれぞ
れ調整されている。
【0107】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層4と再生層1との静磁結合状態および記録層4と再
生補助層2との静磁結合状態とが最適化され、安定した
磁区転写および磁区拡大再生を行うことが可能となる。
【0108】〔実施の形態2〕 本発明の他の実施の形態について図6から図9に基づい
て説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜
上、前記の実施の形態1において示した部材と同一の機
能を有する部材には、同一の符号を付し、その説明を省
略する。
【0109】図7に示すように、本実施の形態に係る光
磁気記録媒体は、前記の実施の形態1に係る光磁気記録
媒体(図2)の非磁性中間層3の位置、すなわち再生補
助層2と記録層4との間に、キュリー温度の低い面内磁
化層13が形成されている構成である。
【0110】まず、図6および図7を用いて、本実施の
形態に係る光磁気記録媒体の再生原理について説明す
る。図6および図7は、上記光磁気記録媒体の再生時の
磁化状態を説明する平面模式図および断面模式図であ
る。
【0111】図7に示すように、本実施の形態に係る光
磁気記録媒体は、再生層1と、再生補助層2と、面内磁
化層13と、記録層4とが順次積層されて構成されてい
る。なお、図7中の各矢印は、黒い矢印が遷移金属(T
M)の磁気モーメントの向きを、白抜き矢印が漏洩磁束
の向きをそれぞれ表している。
【0112】上記面内磁化層13は、再生補助層2と記
録層4との間に形成された面内磁化膜であり、そのキュ
リー温度Tc13(Tc)が再生補助層2が面内磁化状
態から垂直磁化状態へと遷移する遷移温度Tp2近傍
(Tc13≦Tp2)に設定されている。
【0113】図6および図7に示すように、上記の光磁
気記録媒体は、光ビーム5(光ビームスポット5′)に
より加熱されて、記録層4に形成された記録磁区6が、
再生補助層2へと静磁結合により転写され、再生補助層
2に転写された磁区8が再生層1へと拡大転写され、再
生層1に拡大転写された磁区9が再生される。この再生
の原理は、基本的に前記の実施の形態1と同じである。
【0114】ただし、本実施の形態では、再生補助層2
と記録層4との間に、キュリー温度Tc13が遷移温度
Tp2近傍に設定されている上記面内磁化層13が形成
されているため、キュリー温度Tc13以下の温度にお
いて、記録層4から発生する漏洩磁束を抑制することが
できる。これにより、再生補助層2の面内磁化状態を安
定化されることができるため、加熱した領域においての
み、記録層4と再生補助層2とが強く静磁結合すること
になり、再生補助層2における再生分解能を向上させる
ことが可能となる。
【0115】このように、上記光磁気記録媒体では、高
い再生分解能でもって再生補助層2へと転写された磁区
8が、再生層1へと拡大転写されることにより、高い再
生分解能と良好な再生信号品質を得ることが可能とな
る。
【0116】つづいて、上記の光磁気記録媒体を適用し
た光磁気ディスクについて説明する。
【0117】図8に示すように、上記光磁気ディスク
は、基板10上に、透明誘電体保護層11と、再生層1
と、再生補助層2と、面内磁化層13と、記録層4と、
保護層12とが順次積層されて構成されている。なお、
上記の基板10、透明誘電体保護層11、再生層1、再
生補助層2、記録層4、保護層12には、前記の実施の
形態1と同じ材料を同様にして用いることが可能であ
る。
【0118】上記面内磁化層13は、再生補助層2が面
内磁化状態から垂直磁化状態へと遷移する遷移温度Tp
2近傍にキュリー温度Tc13を有する面内磁化膜であ
る。面内磁化層13には、GdFe,GdFeCo,G
dDyFe,GdDyFeCo,GdNdFe,GdN
dFeCo,NdFe,NdFeCo等の材料からなる
面内磁化膜を用いることが可能である。また、そのキュ
リー温度Tc13を調整するため、これらの材料にT
a,Cr,Ti,Al,Si等の金属元素を添加しても
よい。
【0119】そして、上記面内磁化層13の膜厚は、2
0nm以上40nm以下であることが望ましい。面内磁
化層13の膜厚が20nmより小さい場合、記録層4か
ら働く交換結合により、面内磁化層13の面内磁化状態
を安定して維持することが困難となるため、再生分解能
が低下する。また、面内磁化層が40nmより大きい場
合、再生補助層2と記録層4との間隔が大きくなること
により、再生補助層2と記録層4との間の静磁結合力が
弱くなるため、記録層4から再生補助層2への安定した
磁区の転写が困難となる。
【0120】さらに、上記保護層12に、Al,AlT
a,AlTi,AlCr,AlNi,AlCo,Cu等
からなる熱拡散金属層を付加することにより、媒体の熱
的特性を改善することが可能となる。加えて、保護層1
2上または上記熱拡散金属層上に、紫外線硬化樹脂層、
熱硬化樹脂層または潤滑層などを形成することもでき
る。
【0121】また、低磁界記録を目的として、記録層4
に接して、記録層4の保磁力より小さな保磁力を有し、
記録層4のキュリー温度Tc4よりも高いキュリー温度
を有する垂直磁化膜、例えば、GdFeCo,GdTb
FeCo,GdDyFeCo等の垂直磁化膜からなる記
録補助層を積層して形成してもよい。
【0122】つぎに、上記構成の光磁気ディスクの形成
方法および記録再生方法の具体例を説明する。 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記光磁気ディスク(図8)の形成方法は以下のとおり
である。
【0123】第一に、Alターゲットと、第1のGdF
eCo合金ターゲットと、第2のGdFeCo合金ター
ゲットと、GdFe合金ターゲットと、TbFeCo合
金ターゲットとを備えたスパッタ装置内に、案内溝を有
しディスク状に形成されたポリカーボネート製の基板1
0を配置する。
【0124】そして、前記実施の形態1に係る光磁気デ
ィスク(図3)と同様にして、上記基板10上にAlN
からなる透明誘電体保護層11を膜厚80nmで形成す
る。続けて、上記透明誘電体保護層11上に、Gd0.29
(Fe0.88Co0.120.71からなる再生層1を膜厚30
nmで形成する。さらに続けて、上記再生層1上に、G
0.33(Fe0.78Co0.220.67からなる再生補助層2
を膜厚30nmで形成する。
【0125】第二に、引き続き、GdFe合金ターゲッ
トに電力を供給して、ガス圧4×10-3Torrの条件
で、上記再生補助層2上に、Gd0.13Fe0.87からなる
面内磁化層13を膜厚30nmで形成する。なお、形成
された面内磁化層13は、キュリー温度Tc13が16
0℃であり、室温からキュリー温度Tc13まで、膜面
内に磁化を有する面内磁化膜であった。
【0126】第三に、引き続き、前記実施の形態1に係
る光磁気ディスク(図3)と同様にして、上記面内磁化
層13上に、Tb0.25(Fe0.84Co0.160.75からな
る記録層4を膜厚60nmで形成する。続けて、上記記
録層4上にAlNからなる保護層12を膜厚20nmで
形成する。 (2)記録再生特性 上記光磁気ディスク(サンプル#2とする)の記録再生
特性は以下のとおりである。具体的には、上記光磁気デ
ィスクを、波長680nmの半導体レーザを用いた光磁
気ピックアップで、線速2.5m/sの条件で評価した
結果について説明する。
【0127】まず、記録再生用レーザを6.8mWで連
続照射しながら、記録磁界を±15kA/mで変調する
ことにより、記録層4に記録磁界の向きに対応した上向
き磁化と下向き磁化との繰り返しパターンを形成した。
そして、記録磁界の変調周波数を変えることにより、
0.2〜0.5μmの範囲のマーク長の磁区パターンを
記録した。ここで、マーク長とは、マーク長に対応する
長さの記録磁区をマーク長の2倍の長さのピッチで形成
していることを意味する。
【0128】図9は、記録再生用レーザを2.9mWで
連続照射して測定したサンプル#2のCNR(信号対雑
音比)のマーク長依存性を示すグラフである。また、比
較のため、前記実施の形態1にかかる光磁気ディスク、
すなわちサンプル#2の面内磁化層13の代わりに、非
磁性中間層3が形成されている光磁気ディスク(図3)
であるサンプル#1のCNRのマーク長依存性のグラフ
もあわせて示す。
【0129】図9に示したように、CNRについて、サ
ンプル#2とサンプル#1とを比較すると、長いマーク
長(0.5μm)において、サンプル#1のCNRがわ
ずかに高くなっているが、短いマーク長(0.2μm)
においては、サンプル#2のCNRがサンプル#1のC
NRよりも3dB程度高くなっていることがわかる。こ
れは、サンプル#2では、面内磁化層13を設けること
によって、再生分解能が向上し、短いマーク長において
より良好な再生信号品質が得られたことによるものであ
る。
【0130】このように、本実施の形態に係るサンプル
#2は、サンプル#1と比較して、より良好な再生信号
品質を備えた光磁気ディスクであることがわかる。
【0131】以上のように、本実施の形態に係る光磁気
記録媒体は、少なくとも、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp1において垂直磁化状態となる再生層
1と、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2
において垂直磁化状態となる再生補助層2と、面内磁化
膜からなる面内磁化層13と、垂直磁化膜からなる記録
層4とが、この順に順次積層されており、さらに、該面
内磁化層13のキュリー温度をTc13とした場合、 Tp1<Tp2 かつ Tc13≦Tp2 なる条件を満足するよう構成されている。
【0132】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層4に記録された磁化情報が再生層1へと拡大転写さ
れることにより、光の回折限界以下の周期の信号を記録
層4に記録した場合においても、再生信号振幅を低下さ
せることなく再生することが可能となる。そして、上記
光磁気記録媒体では、面内磁化層13を設けることによ
って、より高い再生分解能を実現することが可能とな
る。
【0133】さらに、本実施の形態に係る光磁気記録媒
体は、遷移温度Tp1における記録層4と再生層1との
静磁結合力よりも、遷移温度Tp2における記録層4と
再生補助層2との静磁結合力が強くなるように、再生層
1、再生補助層2、および記録層4の磁気特性がそれぞ
れ調整されている。
【0134】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層4と再生層1との静磁結合状態および記録層4と再
生補助層2との静磁結合状態とが最適化され、安定した
磁区転写および磁区拡大再生を行うことが可能となる。
【0135】〔実施の形態3〕 本発明のさらに他の実施の形態について図10から図1
3に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、
説明の便宜上、前記の実施の形態1および2において示
した部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を
付し、その説明を省略する。
【0136】図11に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、前記の実施の形態2に係る光磁気記
録媒体(図7)の面内磁化層13と記録層4との間に、
非磁性中間層14が形成されている構成である。
【0137】まず、図10および図11を用いて、本実
施の形態に係る光磁気記録媒体の再生原理について説明
する。図10および図11は、上記光磁気記録媒体の再
生時の磁化状態を説明する平面模式図および断面模式図
である。
【0138】図11に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、再生層1と、再生補助層2と、面内
磁化層13と、非磁性中間層14と、記録層4とが順次
積層されて構成されている。なお、図11中の各矢印
は、黒い矢印が遷移金属(TM)の磁気モーメントの向
きを、白抜き矢印が漏洩磁束の向きをそれぞれ表してい
る。
【0139】上記非磁性中間層14は、非磁性材料から
なり、面内磁化層13と記録層4との間に形成されて、
面内磁化層13と記録層4との交換結合を遮断する。
【0140】図10および図11に示すように、上記の
光磁気記録媒体は、光ビーム5(光ビームスポット
5′)により加熱されて、記録層4に形成された記録磁
区6が、再生補助層2へと静磁結合により転写され、再
生補助層2に転写された磁区8が再生層1へと拡大転写
され、再生層1に拡大転写された磁区9が再生される。
この再生の原理は、基本的に前記の実施の形態2と同じ
である。
【0141】ただし、本実施の形態では、再生補助層2
が面内磁化状態から垂直磁化状態へと遷移する遷移温度
Tp2近傍にキュリー温度Tc13(Tc)を有する面
内磁化層13と記録層4との間に非磁性中間層14が形
成されているため、面内磁化層13と記録層4との交換
結合を遮断することができる。これにより、膜厚のより
薄い面内磁化層13を用いた場合においても、前記の実
施の形態2と同様な効果を得ることができる。
【0142】すなわち、上記光磁気記録媒体では、非磁
性中間層14を設けることによって、面内磁化層13の
膜厚がより薄い場合でも、再生補助層2の面内磁化状態
を安定化されることができるため、加熱した領域におい
てのみ、記録層4と再生補助層2とが強く静磁結合する
ことになり、再生補助層2における再生分解能を向上さ
せることが可能となる。
【0143】したがって、上記光磁気記録媒体では、よ
り高い再生分解能でもって再生補助層2へと転写された
磁区8が、再生層1へと拡大転写されるため、より高い
再生分解能とより良好な再生信号品質を得ることが可能
となる。ゆえに、上記光磁気記録媒体よれば、良好な記
録再生感度を維持しつつ、再生補助層2における再生分
解能を向上させ、短いマーク長での良好な再生信号品質
を実現することが可能となる。
【0144】つづいて、上記の光磁気記録媒体を適用し
た光磁気ディスクについて説明する。
【0145】図12に示すように、上記光磁気ディスク
は、基板10上に、透明誘電体保護層11と、再生層1
と、再生補助層2と、面内磁化層13と、非磁性中間層
14と、記録層4と、保護層12とが順次積層されて構
成されている。なお、上記の基板10、透明誘電体保護
層11、再生層1、再生補助層2、面内磁化層13、記
録層4、保護層12には、前記の実施の形態2と同じ材
料を同様にして用いることが可能である。
【0146】ただし、本実施の形態においては、非磁性
中間層14により面内磁化層13と記録層4との交換結
合が遮断されるため、面内磁化層13の膜厚を前記の実
施の形態2に係る光磁気ディスク(図8)のものより薄
くすることが可能となる。具体的には、上記面内磁化層
13の膜厚は5nm以上に設定されていることが望まし
い。ここで、面内磁化層13の膜厚が5nmより薄い場
合、面内磁化層13が薄くすぎ、再生補助層2の温度上
昇していない領域を面内磁化状態に固定する効果が小さ
くなるため、再生分解能を向上させるという効果が得ら
れなくなる。
【0147】上記非磁性中間層14は、記録層4と面内
磁化層13との交換結合を遮断するために形成されるも
のであり、Al,Si,Ta,Ti,Au,Cu等の非
磁性金属、および、これらの非磁性金属からなる非磁性
合金を用いることが可能である。また、AlN,Si
N,AlSiN等の非磁性誘電体を用いることも可能で
ある。
【0148】上記非磁性中間層14の膜厚は、0.5n
m以上に設定されていることが望ましい。非磁性中間層
14の膜厚が0.5nmより薄い場合、非磁性中間層1
4を均一に形成することができなくなるため、記録層4
と面内磁化層13との交換結合を完全に遮断することが
できなくなる。
【0149】さらに、上記の面内磁化層13および非磁
性中間層14の膜厚の合計が40nm以下に設定されて
いることが望ましい。該膜厚の合計が40nmより厚い
場合、記録層4と再生補助層2との間隔が大きくなるた
め、記録層4と再生補助層2との間の静磁結合力が弱く
なる。これにより、記録層4から再生補助層2への安定
した磁区の転写が困難となるため、再生信号の品質が劣
化する。
【0150】さらに、上記保護層12に、Al,AlT
a,AlTi,AlCr,AlNi,AlCo,Cu等
からなる熱拡散金属層を付加することにより、媒体の熱
的特性を改善することが可能となる。加えて、保護層1
2上または上記熱拡散金属層上に、紫外線硬化樹脂層、
熱硬化樹脂層または潤滑層などを形成することもでき
る。
【0151】また、低磁界記録を目的として、記録層4
に接して、記録層4の保磁力より小さな保磁力を有し、
記録層4のキュリー温度Tc4よりも高いキュリー温度
を有する垂直磁化膜、例えば、GdFeCo,GdTb
FeCo,GdDyFeCo等の垂直磁化膜からなる記
録補助層を積層して形成してもよい。
【0152】つぎに、上記構成の光磁気ディスクの形成
方法および記録再生方法の具体例を説明する。 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記光磁気ディスク(図12)の形成方法は以下のとお
りである。
【0153】第一に、AlSiターゲットと、第1のG
dFeCo合金ターゲットと、第2のGdFeCo合金
ターゲットと、GdFe合金ターゲットと、TbFeC
o合金ターゲットとを備えたスパッタ装置内に、案内溝
を有しディスク状に形成されたポリカーボネート製の基
板10を配置する。
【0154】そして、前記実施の形態2に係る光磁気デ
ィスク(図8)と同様にして、上記基板10上にAlS
iNからなる透明誘電体保護層11を膜厚80nmで形
成する。続けて、上記透明誘電体保護層11上に、Gd
0.29(Fe0.88Co0.120.71からなる再生層1を膜厚
30nmで形成する。続けて、上記再生層1上に、Gd
0.33(Fe0.78Co0.220.67からなる再生補助層2を
膜厚30nmで形成する。さらに続けて、上記再生補助
層2上に、Gd0.13Fe0.87からなる面内磁化層13を
膜厚15nmで形成する。なお、形成された面内磁化層
13は、キュリー温度Tc13が160℃であり、室温
からキュリー温度Tc13まで、膜面内に磁化を有する
面内磁化膜であった。
【0155】第二に、引き続き、AlSi合金ターゲッ
トに電力を供給して、ガス圧4×10-3Torrの条件
で、上記面内磁化層13上に、AlSiからなる非磁性
中間層14を膜厚1nmで形成する。
【0156】第三に、引き続き、前記実施の形態2に係
る光磁気ディスク(図3)と同様にして、上記非磁性中
間層14上に、Tb0.25(Fe0.84Co0.160.75から
なる記録層4を膜厚60nmで形成する。続けて、上記
記録層4上にAlSiNからなる保護層12を膜厚20
nmで形成する。 (2)記録再生特性 上記光磁気ディスク(サンプル#3とする)の記録再生
特性は以下のとおりである。具体的には、上記光磁気デ
ィスクを、波長680nmの半導体レーザを用いた光磁
気ピックアップで、線速2.5m/sの条件で評価した
結果について説明する。
【0157】まず、記録再生用レーザを6.4mWで連
続照射しながら、記録磁界を±15kA/mで変調する
ことにより、記録層4に記録磁界の向きに対応した上向
き磁化と下向き磁化との繰り返しパターンを形成した。
そして、記録磁界の変調周波数を変えることにより、
0.2〜0.5μmの範囲のマーク長の磁区パターンを
記録した。ここで、マーク長とは、マーク長に対応する
長さの記録磁区をマーク長の2倍の長さのピッチで形成
していることを意味する。
【0158】図13は、記録再生用レーザを2.7mW
で連続照射して測定したサンプル#3のCNR(信号対
雑音比)のマーク長依存性を示すグラフである。また、
比較のため、前記実施の形態2にかかる光磁気ディス
ク、すなわちサンプル#3の非磁性中間層14がなく、
面内磁化層13の膜厚が大きい光磁気ディスク(図7)
であるサンプル#2のCNRのマーク長依存性のグラフ
もあわせて示す。
【0159】図13に示したように、CNRについて、
サンプル#3とサンプル#2とを比較すると、同程度の
CNRが得られていることがわかる。すなわち、サンプ
ル#3では、非磁性中間層14を設けることにより、サ
ンプル#2より薄い膜厚の面内磁化層13を用いても、
再生分解能が向上し、短いマーク長において良好な再生
信号品質が得られることがわかる。
【0160】このように、本実施の形態に係るサンプル
#3は、膜厚のより薄い面内磁化層13を用いた場合に
おいても、良好な再生信号品質を実現することのできる
光磁気ディスクである。
【0161】以上のように、本実施の形態に係る光磁気
記録媒体は、少なくとも、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp1において垂直磁化状態となる再生層
1と、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2
において垂直磁化状態となる再生補助層2と、面内磁化
膜からなる面内磁化層13と、非磁性中間層14と、垂
直磁化膜からなる記録層4とが、この順に順次積層され
ており、さらに、該面内磁化層13のキュリー温度をT
c13とした場合、 Tp1<Tp2 かつ Tc13≦Tp2 なる条件を満足するよう構成されている。
【0162】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層4に記録された磁化情報が再生層1へと拡大転写さ
れることにより、光の回折限界以下の周期の信号を記録
層4に記録した場合においても、再生信号振幅を低下さ
せることなく再生することが可能となる。そして、上記
光磁気記録媒体では、面内磁化層13を設けることによ
って、より高い再生分解能を実現することが可能とな
る。加えて、非磁性中間層14によって、面内磁化層1
3と記録層4との交換結合が遮断されるため、面内磁化
層13の薄膜化が可能となり、記録パワーおよび再生パ
ワーを低減することが可能となる。
【0163】さらに、本実施の形態に係る光磁気記録媒
体は、遷移温度Tp1における記録層4と再生層1との
静磁結合力よりも、遷移温度Tp2における記録層4と
再生補助層2との静磁結合力が強くなるように、再生層
1、再生補助層2、および記録層4の磁気特性がそれぞ
れ調整されている。
【0164】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層4と再生層1との静磁結合状態および記録層4と再
生補助層2との静磁結合状態とが最適化され、安定した
磁区転写および磁区拡大再生を行うことが可能となる。
【0165】〔実施の形態4〕 本発明のさらに他の実施の形態について図14から図1
9に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、
説明の便宜上、前記の実施の形態1から3において示し
た部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付
し、その説明を省略する。
【0166】図15に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、前記の実施の形態1に係る光磁気記
録媒体(図2)の記録層4の代わりに、互いに異なる磁
気特性を有する記録層15と磁束調整層16とが形成さ
れている構成である。
【0167】まず、図14から図16を用いて、本実施
の形態に係る光磁気記録媒体の再生原理について説明す
る。図14および図15は、上記光磁気記録媒体の再生
時の磁化状態を説明する平面模式図および断面模式図で
ある。また、図16は、図15の記録層15および磁束
調整層16のみの再生時の磁化状態を示す拡大模式図で
ある。
【0168】図15に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、再生層1と、再生補助層2と、非磁
性中間層3と、記録層15と、磁束調整層16とが順次
積層されて構成されている。なお、図15中の各矢印
は、黒い矢印が遷移金属(TM)の磁気モーメントの向
きを、白抜き矢印が漏洩磁束の向きをそれぞれ表してい
る。
【0169】なお、本実施の形態においては、上記の記
録層15および磁束調整層16の磁気的極性が互いに異
なっていればよく、記録層15と磁束調整層16との積
層順序は限定されず、図15と逆であってもかまわな
い。
【0170】上記記録層15は、TMrich組成の垂
直磁化膜である。一方、上記磁束調整層16は、REr
ich組成の垂直磁化膜であり、記録層15に隣接して
積層されている。そして、磁束調整層16は、記録層1
5と磁気的極性が異なり、かつ、記録層15のキュリー
温度Tc15より低いキュリー温度Tc16を有するよ
うに設定されている。
【0171】上記光磁気記録媒体は、再生の際、光ビー
ム5によって記録磁区6を中心に加熱され、記録層15
および磁束調整層16の磁化状態が、図16に示すよう
になる。なお、図16中の各矢印は、細い黒矢印が遷移
金属(TM)の磁気モーメントの向きを、太い矢印がト
ータル磁化の向きを、白抜き矢印が漏洩磁束の向きをそ
れぞれ表している。
【0172】ここで、上記記録層15は、TMrich
組成の垂直磁化膜であり、室温からそのキュリー温度T
c15まで常にTMモーメントの向きとトータル磁化の
向きとが平行となる。一方、磁束調整層16は、REr
ich組成の垂直磁化膜であり、室温からそのキュリー
温度Tc16まで常にTMモーメントの向きとトータル
磁化の向きとが反平行となる。
【0173】そして、このような記録層15と磁束調整
層16とが積層されることにより、図16中の磁区7と
して示すように、記録層15と磁束調整層16との間に
交換結合力が働くため、両層のTMモーメントの向きが
平行となるようにそろえられる。このとき、記録層15
のトータル磁化の向きと磁束調整層16のトータル磁化
の向きとが反平行となる。その結果、記録層15および
磁束調整層16のトータル磁化が打ち消し合うため、両
層のトータル磁化の総和である漏洩磁束がほとんど発生
しない状態を実現することが可能となる。
【0174】これに対して、図16中の記録磁区6とし
て示すように、磁束調整層16のキュリー温度Tc16
以上に加熱された領域(図16中では、記録磁区6の下
方の斜線領域)においては、磁束調整層16のトータル
磁化が存在しなくなるため、記録層15のみがトータル
磁化を有することになる。よって、記録磁区6から漏洩
磁束が発生することになる。したがって、記録層15の
磁化情報が再生補助層2へと転写される温度(転写温度
領域)においてのみ、記録層15から大きな漏洩磁束を
発生させることが可能となる。
【0175】すなわち、図14および図15に示すよう
に、上記光磁気記録媒体は、転写温度領域以下では、記
録層15および磁束調整層16から発生する漏洩磁束が
抑制される。そして、上記光磁気記録媒体は、光ビーム
5(光ビームスポット5′)により加熱されると、転写
温度領域に加熱された記録磁区6からのみ漏洩磁束が発
生する。その結果、この漏洩磁束によって記録層15の
磁化情報が再生補助層2へと転写され、その後、再生補
助層2に転写された磁区8が再生層1の磁区9へと拡大
転写される。
【0176】このように、上記光磁気記録媒体は、記録
層4(図2)の代わりに、互いに異なる磁気特性を有す
る記録層15と磁束調整層16とを積層することによっ
て、より高い再生分解能でもって、記録層15から再生
補助層2への磁区の転写が行われる。したがって、上記
光磁気記録媒体によれば、高い再生分解能で安定した磁
区拡大再生を実現することができる。
【0177】つづいて、上記の光磁気記録媒体を適用し
た光磁気ディスクについて説明する。
【0178】図17に示すように、上記光磁気ディスク
は、基板10上に、透明誘電体保護層11と、再生層1
と、再生補助層2と、非磁性中間層3と、記録層15
と、磁束調整層16と、保護層12とが順次積層されて
構成されている。なお、上記の基板10、透明誘電体保
護層11、再生層1、再生補助層2、非磁性中間層3、
保護層12には、前記の実施の形態1と同じ材料を同様
にして用いることが可能である。
【0179】上記の記録層15および磁束調整層16
は、希土類遷移金属合金からなる垂直磁化膜であり、互
いに磁気的極性が異なるように設定されている。すなわ
ち、記録層15としてTMrich組成の希土類遷移金
属合金垂直磁化膜を用いる場合には、磁束調整層16と
してRErich組成の希土類遷移金属合金垂直磁化膜
を用いる。反対に、記録層15としてRErich組成
の希土類遷移金属合金垂直磁化膜を用いる場合には、磁
束調整層16としてTMrich組成の希土類遷移金属
合金垂直磁化膜を用いる。
【0180】また、上記の記録層15および磁束調整層
16は、転写温度領域のみにおいて記録層15から強い
漏洩磁束を発生させるため、磁束調整層16のキュリー
温度Tc16が記録層15のキュリー温度Tc15より
低く設定されている。また、キュリー温度Tc16と再
生補助層2が面内磁化状態から垂直磁化状態へと遷移す
る遷移温度Tp2とをほぼ同じ温度に設定することが望
ましい。これにより、再生補助層2が垂直磁化状態にな
った領域と記録層15から漏洩磁束が発生する領域とを
ほぼ一致させることができる。
【0181】さらに、上記記録層15の膜厚を30nm
以上に、上記磁束調整層16の膜厚を10nm以上に、
記録層15と磁束調整層16との膜厚の合計を120n
m以下にそれぞれ設定することが望ましい。記録層15
の膜厚が30nmより薄い場合、記録層15が発生する
漏洩磁束が小さくなるため、再生補助層2と記録層15
との安定な静磁結合状態を維持することが困難となり、
再生信号品質が劣化する。また、磁束調整層16の膜厚
が10nmより薄い場合、磁束調整層16の膜厚減少に
ともない、記録層15から発生する漏洩磁束の調整が十
分に行えないため、短いマーク長において良好な再生信
号品質を得ることができなくなる。また、記録層15と
磁束調整層16との膜厚の合計が120nmより厚い場
合、膜厚増加による記録感度劣化が顕著となる。
【0182】そして、上記のような磁気特性を満足する
記録層15および磁束調整層16としては、TbFe,
TbFeCo,DyFe,DyFeCo,TbDyF
e,TbDyFeCo等の材料からなる垂直磁化膜を採
用することが可能である。また、材料の耐湿性および耐
酸化性を改善するために、これらの材料にTa,Cr,
Ti,Al,Si等の金属元素を添加してもよい。
【0183】さらに、上記保護層12に、Al,AlT
a,AlTi,AlCr,AlNi,AlCo,Cu等
からなる熱拡散金属層を付加することにより、媒体の熱
的特性を改善することが可能となる。加えて、保護層1
2上または上記熱拡散金属層上に、紫外線硬化樹脂層、
熱硬化樹脂層または潤滑層などを形成することもでき
る。
【0184】また、低磁界記録を目的として、記録層1
5に接して、記録層15の保磁力より小さな保磁力を有
し、記録層15のキュリー温度Tc15よりも高いキュ
リー温度を有する垂直磁化膜、例えば、GdFeCo,
GdTbFeCo,GdDyFeCo等の垂直磁化膜か
らなる記録補助層を積層して形成してもよい。
【0185】つぎに、上記構成の光磁気ディスクの形成
方法および記録再生方法の具体例を説明する。 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記光磁気ディスク(図17)の形成方法は以下のとお
りである。
【0186】第一に、Alターゲットと、第1のGdF
eCo合金ターゲットと、第2のGdFeCo合金ター
ゲットと、TbFeCo合金ターゲットと、TbDyF
eCo合金ターゲットとを備えたスパッタ装置内に、案
内溝を有しディスク状に形成されたポリカーボネート製
の基板10を配置する。
【0187】そして、前記実施の形態1に係る光磁気デ
ィスク(図3)と同様にして、上記基板10上にAlN
からなる透明誘電体保護層11を膜厚80nmで形成す
る。続けて、上記透明誘電体保護層11上に、Gd0.29
(Fe0.88Co0.120.71からなる再生層1を膜厚30
nmで形成する。続けて、上記再生層1上に、Gd0.33
(Fe0.78Co0.220.67からなる再生補助層2を膜厚
30nmで形成する。続けて、上記再生補助層2上に、
Alからなる非磁性中間層3を膜厚1nmで形成する。
【0188】第二に、引き続き、TbFeCo合金ター
ゲットに電力を供給して、ガス圧4×10-3Torrの
条件で、上記非磁性中間層3上に、Tb0.22(Fe0.84
Co0.160.78からなる記録層15を膜厚60nmで形
成する。なお、形成された記録層15は、TMrich
組成の垂直磁化膜である。そして、記録層15は、補償
温度が0℃であり、キュリー温度Tc15が280℃で
あり、室温からそのキュリー温度Tc15まで常に垂直
磁化状態となるように設定されている。
【0189】第三に、引き続き、TbDyFeCo合金
ターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10-3Tor
rの条件で、上記記録層15上に、(Tb0.6Dy0.4
0.29(Fe0.86Co0.140.71からなる磁束調整層16
を膜厚40nmで形成する。なお、形成された磁束調整
層16は、RErich組成の垂直磁化膜である。そし
て、磁束調整層16は、キュリー温度Tc16が160
℃であり、室温からキュリー温度Tc16まで常に垂直
磁化状態となるように設定されている。
【0190】第四に、アルゴンと窒素との混合ガスを導
入し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×1
-3Torrの条件で、上記磁束調整層16上にAlN
からなる保護層12を膜厚20nmで形成する。
【0191】ここで、図18を用いて、上記の記録層1
5および磁束調整層16によるトータル磁化の温度依存
性について説明する。
【0192】なお、記録層15と磁束調整層16との磁
気的極性が異なるため、記録層15のトータルモーメン
トM15と磁束調整層16のトータルモーメントM16
の向きは反平行となっている。そこで、記録層15のト
ータルモーメントM15を正の値で、磁束調整層16の
トータルモーメントM16を負の値で示す。さらに、記
録層15の膜厚(60nm)と磁束調整層16の膜厚
(40nm)とを考慮すると、記録層15と磁束調整層
16とを積層した時のトータル磁化Mtは、両層のトー
タルモーメントに基づいて、Mt=M15+M16×
(40/60)となる。
【0193】図18に示したように、トータルモーメン
トM15とトータル磁化Mtとを比較すると、転写温度
領域までの温度上昇にともなう増加がトータル磁化Mt
の方がより急峻になっている。したがって、磁束調整層
16を設けることにより、転写温度領域の温度よりも低
い温度領域において、記録層15および磁束調整層16
から発生する漏洩磁束を小さくして、再生補助層2との
静磁結合を弱くすることが可能となるとともに、転写温
度領域において記録層15と再生補助層2との強い静磁
結合を維持することが可能となることがわかる。
【0194】このような漏洩磁束の温度依存性を実現す
ることにより、高い再生分解能でもって記録層15の磁
化情報を再生補助層2へと転写することが可能となる。
そして、高い再生分解能で再生補助層2へと転写された
磁区が、再生層1へと拡大転写されることにより、短い
マーク長においても再生信号強度が低下しない磁区拡大
再生を実現することができる。 (2)記録再生特性 上記光磁気ディスク(サンプル#4とする)の記録再生
特性は以下のとおりである。具体的には、上記光磁気デ
ィスクを、波長680nmの半導体レーザを用いた光磁
気ピックアップで、線速2.5m/sの条件で評価した
結果について説明する。
【0195】まず、記録再生用レーザを6.8mWで連
続照射しながら、記録磁界を±15kA/mで変調する
ことにより、記録層15および磁束調整層16に記録磁
界の向きに対応した上向き磁化と下向き磁化との繰り返
しパターンを形成した。そして、記録磁界の変調周波数
を変えることにより、0.2〜0.5μmの範囲のマー
ク長の磁区パターンを記録した。ここで、マーク長と
は、マーク長に対応する長さの記録磁区をマーク長の2
倍の長さのピッチで形成していることを意味する。
【0196】図19は、記録再生用レーザを2.9mW
で連続照射して測定したサンプル#4のCNR(信号対
雑音比)のマーク長依存性を示すグラフである。また、
比較のため、サンプル#4の構成において、磁束調整層
16を設けていない光磁気ディスク(比較サンプル#r
4とする)におけるCNRのマーク長依存性のグラフも
あわせて示す。
【0197】上記比較サンプル#r4は、前記実施の形
態1に係るサンプル#1(図3,図5)と記録層の磁気
特性がわずかに異なるだけである。よって、比較サンプ
ル#r4は、サンプル#1とほぼ同程度のCNRが得ら
れており、サンプル#1と同様な磁区拡大再生の実現が
確認される。なお、比較サンプル#r4の測定において
は、記録時のレーザパワーを6.2mW、再生時のレー
ザパワーを2.6mWとしている。
【0198】図19に示したように、サンプル#4のC
NRが比較サンプル#r4のCNRよりも高くなってい
る。特に、サンプル#4は比較サンプル#r4と比較し
て、短いマーク長(0.2μm)において良好な磁区拡
大再生が実現されていることがわかかる。
【0199】このように、本実施の形態に係るサンプル
#4は、磁束調整層16を設けることにより、転写温度
領域の温度より低い温度領域において、記録層15から
の漏洩磁束が抑制され、記録層15の磁化情報が再生補
助層2へと高い再生分解能でもって転写されるため、短
いマーク長においても再生信号強度が低下しない磁区拡
大再生を実現することができる。
【0200】以上のように、本実施の形態に係る光磁気
記録媒体は、少なくとも、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp1において垂直磁化状態となる再生層
1と、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2
において垂直磁化状態となる再生補助層2と、非磁性中
間層3と、垂直磁化膜からなる記録層15と、該記録層
15とは磁気的極性が異なり、かつ、該記録層15のキ
ュリー温度Tc15よりも低いキュリー温度Tc16を
有する垂直磁化膜からなる磁束調整層16とが、順次積
層されており、さらに、 Tp1<Tp2 なる条件を満足するよう構成されている。
【0201】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層15に記録された磁化情報が再生層1へと拡大転写
されることにより、光の回折限界以下の周期の信号を記
録層15に記録した場合においても、再生信号振幅を低
下させることなく再生することができる。また、上記光
磁気記録媒体では、磁気的極性が互いに異なる記録層1
5と磁束調整層16とを用いることによって、漏洩磁束
の最適化が実現することができる。よって、上記光磁気
記録媒体では、より高い再生分解能を実現することが可
能となる。
【0202】さらに、本実施の形態に係る光磁気記録媒
体は、遷移温度Tp1における記録層15と再生層1と
の静磁結合力よりも、遷移温度Tp2における記録層1
5と再生補助層2との静磁結合力が強くなるように、再
生層1、再生補助層2、および記録層15の磁気特性が
それぞれ調整されている。
【0203】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層15と再生層1との静磁結合状態および記録層15
と再生補助層2との静磁結合状態とが最適化され、安定
した磁区転写および磁区拡大再生を行うことが可能とな
る。
【0204】〔実施の形態5〕 本発明のさらに他の実施の形態について図20から図2
3に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、
説明の便宜上、前記の実施の形態1から4において示し
た部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付
し、その説明を省略する。
【0205】図21に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、実施の形態4と同様に、前記の実施
の形態2に係る光磁気記録媒体(図7)の記録層4の代
わりに、互いに異なる磁気特性を有する記録層15と磁
束調整層16とが形成されている構成である。
【0206】まず、図20および図21を用いて、本実
施の形態に係る光磁気記録媒体の再生原理について説明
する。図20および図21は、上記光磁気記録媒体の再
生時の磁化状態を説明する平面模式図および断面模式図
である。
【0207】図21に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、再生層1と、再生補助層2と、面内
磁化層13と、記録層15と、磁束調整層16とが順次
積層されて構成されている。なお、図21中の各矢印
は、黒い矢印が遷移金属(TM)の磁気モーメントの向
きを、白抜き矢印が漏洩磁束の向きをそれぞれ表してい
る。
【0208】なお、本実施の形態においては、上記の記
録層15および磁束調整層16の磁気的極性が互いに異
なっていればよく、記録層15と磁束調整層16との積
層順序は限定されず、図21と逆であってもかまわな
い。
【0209】図20および図21に示すように、上記光
磁気記録媒体は、転写温度領域以下では、記録層15お
よび磁束調整層16から発生する漏洩磁束が抑制され
る。そして、上記光磁気記録媒体は、光ビーム5(光ビ
ームスポット5′)により加熱されると、転写温度領域
に加熱された記録磁区6からのみ漏洩磁束が発生する。
このとき、面内磁化層13の記録磁区6の隣接部位(図
21中では、記録磁区6の上方の斜線領域)は、キュリ
ー温度Tc13(Tc)以上に加熱されて磁化が消失し
ている。その結果、漏洩磁束によって記録層15の磁化
情報が再生補助層2へと転写され、その後、再生補助層
2に転写された磁区8が再生層1の磁区9へと拡大転写
される。
【0210】このように、上記光磁気記録媒体は、実施
の形態4に係る光磁気記録媒体(図15)と同様に、前
記実施の形態2の記録層4(図7)の代わりに、互いに
異なる磁気的極性の記録層15と磁束調整層16とを積
層することによって、より高い再生分解能でもって、記
録層15から再生補助層2への磁区の転写が行われる。
したがって、上記光磁気記録媒体によれば、高い再生分
解能で安定した磁区拡大再生を実現することができる。
【0211】つづいて、上記の光磁気記録媒体を適用し
た光磁気ディスクについて説明する。
【0212】図22に示すように、上記光磁気ディスク
は、基板10上に、透明誘電体保護層11と、再生層1
と、再生補助層2と、面内磁化層13と、記録層15
と、磁束調整層16と、保護層12とが順次積層されて
構成されている。なお、上記の基板10、透明誘電体保
護層11、再生層1、再生補助層2、面内磁化層13、
保護層12には、前記の実施の形態2と同じ材料を同様
にして用いることが可能である。また、上記の記録層1
5および磁束調整層16には、前記の実施の形態4と同
じ材料を同様にして用いることが可能である。
【0213】さらに、上記保護層12に、Al,AlT
a,AlTi,AlCr,AlNi,AlCo,Cu等
からなる熱拡散金属層を付加することにより、媒体の熱
的特性を改善することが可能となる。加えて、保護層1
2上または上記熱拡散金属層上に、紫外線硬化樹脂層、
熱硬化樹脂層または潤滑層などを形成することもでき
る。
【0214】また、低磁界記録を目的として、記録層1
5に接して、記録層15の保磁力より小さな保磁力を有
し、記録層15のキュリー温度Tc15よりも高いキュ
リー温度を有する垂直磁化膜、例えば、GdFeCo,
GdTbFeCo,GdDyFeCo等の垂直磁化膜か
らなる記録補助層を積層して形成してもよい。
【0215】つぎに、上記構成の光磁気ディスクの形成
方法および記録再生方法の具体例を説明する。 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記光磁気ディスク(図22)の形成方法は以下のとお
りである。
【0216】第一に、Alターゲットと、第1のGdF
eCo合金ターゲットと、第2のGdFeCo合金ター
ゲットと、GdFe合金ターゲットと、TbFeCo合
金ターゲットと、TbDyFeCo合金ターゲットとを
備えたスパッタ装置内に、案内溝を有しディスク状に形
成されたポリカーボネート製の基板10を配置する。
【0217】第二に、前記実施の形態2に係る光磁気デ
ィスク(図8)と同様にして、上記基板10上にAlN
からなる透明誘電体保護層11を膜厚80nmで形成す
る。続けて、上記透明誘電体保護層11上に、Gd0.29
(Fe0.88Co0.120.71からなる再生層1を膜厚30
nmで形成する。続けて、上記再生層1上に、Gd0.33
(Fe0.78Co0.220.67からなる再生補助層2を膜厚
30nmで形成する。続けて、上記再生補助層2上に、
Gd0.13Fe0.87からなる面内磁化層13を膜厚30n
mで形成する。
【0218】第三に、さらに続けて、前記実施の形態4
に係る光磁気ディスク(図17)と同様にして、上記面
内磁化層13上に、Tb0.22(Fe0.84Co0.160.78
からなる記録層15を膜厚60nmで形成する。続け
て、上記記録層15上に、(Tb0.6Dy0.40.29(F
0.86Co0.140.71からなる磁束調整層16を膜厚4
0nmで形成する。続けて、上記磁束調整層16上にA
lNからなる保護層12を膜厚20nmで形成する。 (2)記録再生特性 上記光磁気ディスク(サンプル#5とする)の記録再生
特性は以下のとおりである。具体的には、上記光磁気デ
ィスクを、波長680nmの半導体レーザを用いた光磁
気ピックアップで、線速2.5m/sの条件で評価した
結果について説明する。
【0219】まず、記録再生用レーザを7.4mWで連
続照射しながら、記録磁界を±15kA/mで変調する
ことにより、記録層15および磁束調整層16に記録磁
界の向きに対応した上向き磁化と下向き磁化との繰り返
しパターンを形成した。そして、記録磁界の変調周波数
を変えることにより、0.2〜0.5μmの範囲のマー
ク長の磁区パターンを記録した。ここで、マーク長と
は、マーク長に対応する長さの記録磁区をマーク長の2
倍の長さのピッチで形成していることを意味する。
【0220】図23は、記録再生用レーザを3.3mW
で連続照射して測定したサンプル#5のCNR(信号対
雑音比)のマーク長依存性を示すグラフである。また、
比較のため、サンプル#5の構成において、磁束調整層
16を設けていない光磁気ディスク(比較サンプル#r
5とする)におけるCNRのマーク長依存性のグラフも
あわせて示す。
【0221】上記比較サンプル#r5は、前記実施の形
態2に係るサンプル#2(図8,図9)と記録層の磁気
特性がわずかに異なるだけである。よって、比較サンプ
ル#r5は、サンプル#2とほぼ同程度のCNRが得ら
れており、サンプル#2と同様な磁区拡大再生の実現が
確認される。なお、比較サンプル#r5の測定において
は、記録時のレーザパワーを7.0mW、再生時のレー
ザパワーを3.0mWとしている。
【0222】図23に示したように、サンプル#5のC
NRが比較サンプル#r5のCNRよりも高くなってい
る。特に、サンプル#5は比較サンプル#r5と比較し
て、短いマーク長(0.2μm)において良好な磁区拡
大再生が実現されていることがわかかる。
【0223】このように、本実施の形態に係るサンプル
#5は、磁束調整層16を設けることにより、転写温度
領域の温度より低い温度領域において、記録層15から
の漏洩磁束が抑制され、記録層15の磁化情報が再生補
助層2へと高い再生分解能でもって転写されるため、短
いマーク長においても再生信号強度が低下しない磁区拡
大再生を実現することができる。
【0224】以上のように、本実施の形態に係る光磁気
記録媒体は、少なくとも、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp1において垂直磁化状態となる再生層
1と、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2
において垂直磁化状態となる再生補助層2と、面内磁化
膜からなる面内磁化層13と、垂直磁化膜からなる記録
層15と、該記録層15とは磁気的極性が異なり、か
つ、該記録層15のキュリー温度Tc15よりも低いキ
ュリー温度Tc16を有する垂直磁化膜からなる磁束調
整層16とが、順次積層されており、さらに、該面内磁
化層13のキュリー温度をTc13とした場合、 Tp1<Tp2 かつ Tc13≦Tp2 なる条件を満足するよう構成されている。
【0225】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層15に記録された磁化情報が再生層1へと拡大転写
されることにより、光の回折限界以下の周期の信号を記
録層15に記録した場合においても、再生信号振幅を低
下させることなく再生することが可能となる。また、上
記光磁気記録媒体では、面内磁化層13を設けることに
よって、より高い再生分解能を実現することが可能とな
る。
【0226】さらに、本実施の形態に係る光磁気記録媒
体は、遷移温度Tp1における記録層15と再生層1と
の静磁結合力よりも、遷移温度Tp2における記録層1
5と再生補助層2との静磁結合力が強くなるように、再
生層1、再生補助層2、および記録層15の磁気特性が
それぞれ調整されている。
【0227】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層15と再生層1との静磁結合状態および記録層15
と再生補助層2との静磁結合状態とが最適化され、安定
した磁区転写および磁区拡大再生を行うことが可能とな
る。
【0228】〔実施の形態6〕 本発明のさらに他の実施の形態について図24から図2
7に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、
説明の便宜上、前記の実施の形態1から5において示し
た部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付
し、その説明を省略する。
【0229】図25に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、実施の形態4および5と同様に、前
記の実施の形態3に係る光磁気記録媒体(図11)の記
録層4の代わりに、互いに異なる磁気特性を有する記録
層15と磁束調整層16とが形成されている構成であ
る。
【0230】まず、図24および図25を用いて、本実
施の形態に係る光磁気記録媒体の再生原理について説明
する。図24および図25は、上記光磁気記録媒体の再
生時の磁化状態を説明する平面模式図および断面模式図
である。
【0231】図25に示すように、本実施の形態に係る
光磁気記録媒体は、再生層1と、再生補助層2と、面内
磁化層13と、非磁性中間層14と、記録層15と、磁
束調整層16とが順次積層されて構成されている。な
お、図25中の各矢印は、黒い矢印が遷移金属(TM)
の磁気モーメントの向きを、白抜き矢印が漏洩磁束の向
きをそれぞれ表している。
【0232】なお、本実施の形態においては、上記の記
録層15および磁束調整層16の磁気的極性が互いに異
なっていればよく、記録層15と磁束調整層16との積
層順序は限定されず、図25と逆であってもかまわな
い。
【0233】図24および図25に示すように、上記光
磁気記録媒体は、転写温度領域以下では、記録層15お
よび磁束調整層16から発生する漏洩磁束が抑制され
る。そして、上記光磁気記録媒体は、光ビーム5(光ビ
ームスポット5′)により加熱されると、磁束調整層1
6の磁化が消失して転写温度領域に加熱された記録磁区
6からのみ漏洩磁束が発生する。このとき、面内磁化層
13の記録磁区6に対応する領域(図25中では、記録
磁区6の上方の斜線領域)の磁化も、キュリー温度Tc
13(Tc)以上に加熱されて消失している。その結
果、この漏洩磁束によって記録層15の磁化情報が再生
補助層2へと転写され、その後、再生補助層2に転写さ
れた磁区8が再生層1の磁区9へと拡大転写される。
【0234】このように、上記光磁気記録媒体は、実施
の形態4および5に係る光磁気記録媒体(図15,図2
1)と同様に、前記実施の形態3の記録層4(図11)
の代わりに、互いに異なる磁気的極性の記録層15と磁
束調整層16とを積層することによって、より高い再生
分解能でもって、記録層15から再生補助層2への磁区
の転写が行われる。したがって、上記光磁気記録媒体に
よれば、高い再生分解能で安定した磁区拡大再生を実現
することができる。
【0235】つづいて、上記の光磁気記録媒体を適用し
た光磁気ディスクについて説明する。
【0236】図26に示すように、上記光磁気ディスク
は、基板10上に、透明誘電体保護層11と、再生層1
と、再生補助層2と、面内磁化層13と、非磁性中間層
14と、記録層15と、磁束調整層16と、保護層12
とが順次積層されて構成されている。なお、上記の基板
10、透明誘電体保護層11、再生層1、再生補助層
2、面内磁化層13、非磁性中間層14、保護層12に
は、前記の実施の形態3と同じ材料を同様にして用いる
ことが可能である。また、上記の記録層15および磁束
調整層16には、前記の実施の形態4と同じ材料を同様
にして用いることが可能である。
【0237】さらに、上記保護層12に、Al,AlT
a,AlTi,AlCr,AlNi,AlCo,Cu等
からなる熱拡散金属層を付加することにより、媒体の熱
的特性を改善することが可能となる。加えて、保護層1
2上または上記熱拡散金属層上に、紫外線硬化樹脂層、
熱硬化樹脂層または潤滑層などを形成することもでき
る。
【0238】また、低磁界記録を目的として、記録層1
5に接して、記録層15の保磁力より小さな保磁力を有
し、記録層15のキュリー温度Tc15よりも高いキュ
リー温度を有する垂直磁化膜、例えば、GdFeCo,
GdTbFeCo,GdDyFeCo等の垂直磁化膜か
らなる記録補助層を積層して形成してもよい。
【0239】つぎに、上記構成の光磁気ディスクの形成
方法および記録再生方法の具体例を説明する。 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記光磁気ディスク(図26)の形成方法は以下のとお
りである。
【0240】第一に、AlSiターゲットと、第1のG
dFeCo合金ターゲットと、第2のGdFeCo合金
ターゲットと、GdFe合金ターゲットと、TbFeC
o合金ターゲットと、TbDyFeCo合金ターゲット
とを備えたスパッタ装置内に、案内溝を有しディスク状
に形成されたポリカーボネート製の基板10を配置す
る。
【0241】第二に、前記実施の形態3に係る光磁気デ
ィスク(図12)と同様にして、上記基板10上にAl
SiNからなる透明誘電体保護層11を膜厚80nmで
形成する。続けて、上記透明誘電体保護層11上に、G
0.29(Fe0.88Co0.120.71からなる再生層1を膜
厚30nmで形成する。続けて、上記再生層1上に、G
0.33(Fe0.78Co0.220.67からなる再生補助層2
を膜厚30nmで形成する。続けて、上記再生補助層2
上に、Gd0.13Fe0.87からなる面内磁化層13を膜厚
15nmで形成する。続けて、上記面内磁化層13上
に、AlSiからなる非磁性中間層14を膜厚1nmで
形成する。
【0242】第三に、さらに続けて、前記実施の形態4
に係る光磁気ディスク(図17)と同様にして、上記非
磁性中間層14上に、Tb0.22(Fe0.84Co0.16
0.78からなる記録層15を膜厚60nmで形成する。続
けて、上記記録層15上に、(Tb0.6Dy0.4
0.29(Fe0.86Co0.140.71からなる磁束調整層16
を膜厚40nmで形成する。続けて、上記磁束調整層1
6上にAlSiNからなる保護層12を膜厚20nmで
形成する。 (2)記録再生特性 上記光磁気ディスク(サンプル#6とする)の記録再生
特性は以下のとおりである。具体的には、上記光磁気デ
ィスクを、波長680nmの半導体レーザを用いた光磁
気ピックアップで、線速2.5m/sの条件で評価した
結果について説明する。
【0243】まず、記録再生用レーザを7.1mWで連
続照射しながら、記録磁界を±15kA/mで変調する
ことにより、記録層15および磁束調整層16に記録磁
界の向きに対応した上向き磁化と下向き磁化との繰り返
しパターンを形成した。そして、記録磁界の変調周波数
を変えることにより、0.2〜0.5μmの範囲のマー
ク長の磁区パターンを記録した。ここで、マーク長と
は、マーク長に対応する長さの記録磁区をマーク長の2
倍の長さのピッチで形成していることを意味する。
【0244】図27は、記録再生用レーザを3.0mW
で連続照射して測定したサンプル#6のCNR(信号対
雑音比)のマーク長依存性を示すグラフである。また、
比較のため、サンプル#6の構成において、磁束調整層
16を設けていない光磁気ディスク(比較サンプル#r
6とする)におけるCNRのマーク長依存性のグラフも
あわせて示す。
【0245】上記比較サンプル#r6は、前記実施の形
態3に係るサンプル#3(図12,図13)と記録層の
磁気特性がわずかに異なるだけである。よって、比較サ
ンプル#r6は、サンプル#3とほぼ同程度のCNRが
得られており、サンプル#3と同様な磁区拡大再生の実
現が確認される。なお、比較サンプル#r6の測定にお
いては、記録時のレーザパワーを6.8mW、再生時の
レーザパワーを2.8mWとしている。
【0246】図27に示したように、サンプル#6のC
NRが比較サンプル#r6のCNRよりも高くなってい
る。特に、サンプル#6は比較サンプル#r6と比較し
て、短いマーク長(0.2μm)において良好な磁区拡
大再生が実現されていることがわかかる。
【0247】このように、本実施の形態に係るサンプル
#6は、磁束調整層16を設けることにより、転写温度
領域の温度より低い温度領域において、記録層15から
の漏洩磁束が抑制され、記録層15の磁化情報が再生補
助層2へと高い再生分解能でもって転写されるため、短
いマーク長においても再生信号強度が低下しない磁区拡
大再生を実現することができる。
【0248】以上のように、本実施の形態に係る光磁気
記録媒体は、少なくとも、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp1において垂直磁化状態となる再生層
1と、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2
において垂直磁化状態となる再生補助層2と、面内磁化
膜からなる面内磁化層13と、非磁性中間層14と、垂
直磁化膜からなる記録層15と、該記録層15とは磁気
的極性が異なり、かつ、該記録層15のキュリー温度T
c15よりも低いキュリー温度Tc16を有する垂直磁
化膜からなる磁束調整層16とが、順次積層されてお
り、さらに、該面内磁化層13のキュリー温度をTc1
3とした場合、 Tp1<Tp2 かつ Tc13≦Tp2 なる条件を満足するよう構成されている。
【0249】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層15に記録された磁化情報が再生層1へと拡大転写
されることにより、光の回折限界以下の周期の信号を記
録層15に記録した場合においても、再生信号振幅を低
下させることなく再生することが可能となる。また、上
記光磁気記録媒体では、面内磁化層13を設けることに
よって、より高い再生分解能を実現することが可能とな
る。加えて、上記光磁気記録媒体では、非磁性中間層1
4によって、面内磁化層13と記録層15との交換結合
が遮断されるため、面内磁化層13の薄膜化が可能とな
り、記録パワーおよび再生パワーを低減することが可能
となる。
【0250】さらに、本実施の形態に係る光磁気記録媒
体は、遷移温度Tp1における記録層15と再生層1と
の静磁結合力よりも、遷移温度Tp2における記録層1
5と再生補助層2との静磁結合力が強くなるように、再
生層1、再生補助層2、および記録層15の磁気特性が
それぞれ調整されている。
【0251】これにより、上記光磁気記録媒体では、記
録層15と再生層1との静磁結合状態および記録層15
と再生補助層2との静磁結合状態とが最適化され、安定
した磁区転写および磁区拡大再生を行うことが可能とな
る。
【0252】なお、以上の各実施の形態は本発明の範囲
を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変更
が可能である。
【0253】
【発明の効果】以上のように、本発明の光磁気記録媒体
は、室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp1に
おいて垂直磁化状態となる再生層と、室温において面内
磁化状態であり遷移温度Tp2において垂直磁化状態と
なる再生補助層と、記録層と該再生補助層との交換結合
を遮断する膜厚が0.5nm以上40nm以下の非磁性
中間層と、該遷移温度Tp2近傍において漏洩磁束を生
じる垂直磁化膜からなる該記録層とが、この順番で積層
されるとともに、下記の不等式(1) Tp1<Tp2 ・・・・・ (1) を満たすように設定されている構成である。
【0254】それゆえ、加熱によって、再生の対象であ
る記録層の記録磁区の磁化状態が再生補助層へと転写さ
れ、さらに、再生層に拡大転写された磁区のみが再生さ
れることになる。よって、記録層に存在する記録磁区の
磁化情報が直接再生されないため、隣接する記録磁区の
影響を受けずに、対象である記録磁区だけを拡大して再
生することができる。
【0255】また、再生補助層と記録層とが強く静磁結
合することにより、記録層の磁化情報が再生補助層へと
正確に転写される。すなわち、再生層および再生補助層
と記録層との結合が静磁結合であるため、再生層および
再生補助層における面内磁化状態から垂直磁化状態への
遷移が急激に起こり、高い再生分解能を実現することが
できる。
【0256】したがって、上記光磁気記録媒体では、光
の回折限界以下の周期の信号を記録層に記録した場合に
おいても、再生信号振幅を低下させることなく再生する
ことが可能となるという効果を奏する。
【0257】また、本発明の光磁気記録媒体は、室温に
おいて面内磁化状態であり遷移温度Tp1において垂直
磁化状態となる再生層と、室温において面内磁化状態で
あり遷移温度Tp2において垂直磁化状態となる再生補
助層と、キュリー温度がTcであり膜厚が20nm以上
40nm以下の面内磁化膜からなる面内磁化層と、該遷
移温度Tp2近傍において漏洩磁束を生じる垂直磁化膜
からなる記録層とが、この順番で積層されるとともに、
下記の不等式(1)および(2) Tp1<Tp2 ・・・・・ (1) Tc≦Tp2 ・・・・・ (2) を満たすように設定されている構成である。
【0258】それゆえ、加熱によって、再生の対象であ
る記録層の記録磁区の磁化状態が再生補助層へと転写さ
れ、さらに、再生層に拡大転写された磁区のみが再生さ
れることになる。よって、記録層に存在する記録磁区の
磁化情報が直接再生されないため、隣接する記録磁区の
影響を受けずに、対象である記録磁区だけを拡大して再
生することができる。
【0259】また、再生補助層と記録層とが強く静磁結
合することにより、記録層の磁化情報が再生補助層へと
正確に転写される。すなわち、再生層および再生補助層
と記録層との結合が静磁結合であるため、再生層および
再生補助層における面内磁化状態から垂直磁化状態への
遷移が急激に起こり、高い再生分解能を実現することが
できる。
【0260】したがって、上記光磁気記録媒体では、面
内磁化層により高い再生分解能でもって記録層から再生
補助層へ転写された磁区を再生層へ拡大転写させること
により、高い再生分解能と良好な再生信号品質を得るこ
とができる。よって、上記光磁気記録媒体では、光の回
折限界以下の周期の信号を記録層に記録した場合におい
ても、再生信号振幅を低下させることなく再生すること
が可能となるという効果を奏する。
【0261】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、上記
の面内磁化層と記録層との間に、該記録層と上記再生補
助層との交換結合を遮断する非磁性中間層が積層されて
いる構成である。
【0262】それゆえ、さらに、面内磁化層と記録層と
の交換結合を遮断することができる。よって、より高い
再生分解能を実現するために設ける面内磁化層を薄膜化
することが可能となる。
【0263】したがって、上記光磁気記録媒体では、膜
厚増加の影響を抑制しながら、面内磁化層を設けて、高
い再生分解能と良好な再生信号品質を得るとともに、記
録パワーおよび再生パワーを低減することができるとい
う効果を奏する。
【0264】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、上記
記録層とは磁気的極性が異なり、かつ、該記録層のキュ
リー温度よりも低いキュリー温度を有する垂直磁化膜か
らなる磁束調整層が、該記録層に隣接して積層されてい
る構成である。
【0265】それゆえ、さらに、記録層と磁束調整層と
から、漏洩磁束がほとんど発生しない状態を実現すると
ともに、記録層の磁化情報が再生補助層へ転写される温
度においてのみ、記録層から大きな漏洩磁束を発生させ
ることが可能となる。
【0266】したがって、上記光磁気記録媒体では、磁
気的極性が互いに異なる記録層と磁束調整層とを積層す
ることによって、漏洩磁束の最適化が可能となるため、
より高い再生分解能でより安定した磁区拡大再生を実現
することができるという効果を奏する。
【0267】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、上記
遷移温度Tp1における上記記録層と上記再生層との静
磁結合力よりも、上記遷移温度Tp2における該記録層
と上記再生補助層との静磁結合力が強くなるように、該
再生層、該再生補助層、および該記録層の磁気特性が調
整されている構成である。
【0268】それゆえ、さらに、再生層と記録層との静
磁結合力よりも再生補助層と記録層との静磁結合力が強
くなるため、再生補助層と記録層とが強く静磁結合し
て、記録層の磁化情報が再生補助層へと正確に転写され
る。
【0269】したがって、上記光磁気記録媒体では、記
録層と再生層との静磁結合状態および記録層と再生補助
層との静磁結合状態を最適化することが可能となるた
め、より安定した磁区転写および磁区拡大再生を行うこ
とができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2に示した光磁気記録媒体の再生時の磁化状
態を示す平面模式図である。
【図2】本発明の一実施の形態に係る光磁気記録媒体の
再生時の磁化状態を示す断面模式図である。
【図3】図2に示した光磁気記録媒体を適用した光磁気
ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【図4】図3に示した光磁気ディスクのトータル磁化の
温度依存性を示すグラフである。
【図5】図3に示した光磁気ディスクの信号対雑音比の
マーク長依存性を示すグラフである。
【図6】図7に示した光磁気記録媒体の再生時の磁化状
態を示す平面模式図である。
【図7】本発明の他の実施の形態に係る光磁気記録媒体
の再生時の磁化状態を示す断面模式図である。
【図8】図7に示した光磁気記録媒体を適用した光磁気
ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【図9】図8に示した光磁気ディスクの信号対雑音比の
マーク長依存性を示すグラフである。
【図10】図11に示した光磁気記録媒体の再生時の磁
化状態を示す平面模式図である。
【図11】本発明のさらに他の実施の形態に係る光磁気
記録媒体の再生時の磁化状態を示す断面模式図である。
【図12】図11に示した光磁気記録媒体を適用した光
磁気ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【図13】図12に示した光磁気ディスクの信号対雑音
比のマーク長依存性を示すグラフである。
【図14】図15に示した光磁気記録媒体の再生時の磁
化状態を示す平面模式図である。
【図15】本発明のさらに他の実施の形態に係る光磁気
記録媒体の再生時の磁化状態を示す断面模式図である。
【図16】図15に示した光磁気記録媒体の再生時の磁
化状態を示す要部の断面模式図である。
【図17】図15に示した光磁気記録媒体を適用した光
磁気ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【図18】図17に示した光磁気ディスクのトータル磁
化の温度依存性を示すグラフである。
【図19】図17に示した光磁気ディスクの信号対雑音
比のマーク長依存性を示すグラフである。
【図20】図21に示した光磁気記録媒体の再生時の磁
化状態を示す平面模式図である。
【図21】本発明のさらに他の実施の形態に係る光磁気
記録媒体の再生時の磁化状態を示す断面模式図である。
【図22】図21に示した光磁気記録媒体を適用した光
磁気ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【図23】図22に示した光磁気ディスクの信号対雑音
比のマーク長依存性を示すグラフである。
【図24】図25に示した光磁気記録媒体の再生時の磁
化状態を示す平面模式図である。
【図25】本発明のさらに他の実施の形態に係る光磁気
記録媒体の再生時の磁化状態を示す断面模式図である。
【図26】図25に示した光磁気記録媒体を適用した光
磁気ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【図27】図26に示した光磁気ディスクの信号対雑音
比のマーク長依存性を示すグラフである。
【図28】図29に示した従来の光磁気記録媒体の再生
時の磁化状態を示す平面模式図である。
【図29】従来の光磁気記録媒体の再生時の磁化状態を
示す断面模式図である。
【図30】図29に示した従来の光磁気記録媒体を適用
した光磁気ディスクの構成の概略を示す断面図である。
【符号の説明】
1 再生層 2 再生補助層 3,14 非磁性中間層 4,15 記録層 13 面内磁化層 16 磁束調整層 Tp1 再生層の遷移温度 Tp2 再生補助層の遷移温度 Tc 面内磁化層のキュリー温度(Tc13)
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−255344(JP,A) 特開 平9−320134(JP,A) 特開 平11−120645(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 11/105

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】室温において面内磁化状態であり遷移温度
    Tp1において垂直磁化状態となる再生層と、 室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2におい
    て垂直磁化状態となる再生補助層と、 記録層と該再生補助層との交換結合を遮断する膜厚が
    0.5nm以上40nm以下の非磁性中間層と、 該遷移温度Tp2近傍において漏洩磁束を生じる垂直磁
    化膜からなる該記録層とが、この順番で積層されるとと
    もに、 下記の不等式(1) Tp1<Tp2 ・・・・・ (1) を満たすように設定され、上記記録層とは磁気的極性が異なり、かつ、該記録層の
    キュリー温度よりも低いキュリー温度を有する垂直磁化
    膜からなる磁束調整層が、該記録層に隣接して積層され
    ている ことを特徴とする光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】室温において面内磁化状態であり遷移温度
    Tp1において垂直磁化状態となる再生層と、 室温において面内磁化状態であり遷移温度Tp2におい
    て垂直磁化状態となる再生補助層と、 キュリー温度がTcであり膜厚が20nm以上40nm
    以下の面内磁化膜からなる面内磁化層と、 該遷移温度Tp2近傍において漏洩磁束を生じる垂直磁
    化膜からなる記録層とが、この順番で積層されるととも
    に、 下記の不等式(1)および(2) Tp1<Tp2 ・・・・・ (1) Tc≦Tp2 ・・・・・ (2) を満たすように設定されていることを特徴とする光磁気
    記録媒体。
  3. 【請求項3】上記の面内磁化層と記録層との間に、該記
    録層と上記再生補助層との交換結合を遮断する非磁性中
    間層が積層されていることを特徴とする請求項2記載の
    光磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】上記記録層とは磁気的極性が異なり、か
    つ、該記録層のキュリー温度よりも低いキュリー温度を
    有する垂直磁化膜からなる磁束調整層が、該記録層に隣
    接して積層されていることを特徴とする請求項2または
    に記載の光磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】上記遷移温度Tp1における上記記録層と
    上記再生層との静磁結合力よりも、上記遷移温度Tp2
    における該記録層と上記再生補助層との静磁結合力が強
    くなるように、該再生層、該再生補助層、および該記録
    層の磁気特性が調整されていることを特徴とする請求項
    1から4の何れかに記載の光磁気記録媒体。
  6. 【請求項6】請求項1から5の何れか1項に記載の光磁
    気記録媒体から記録情報を再生する光磁気記録媒体の再
    生方法であって、 光ビームを集光照射し、記録層の磁化情報を再生補助層
    ヘと転写し、再生補助層の磁化情報を再生層へと拡大転
    写することを特徴とする光磁気記録媒体の再生方法。
  7. 【請求項7】請求項1から5の何れか1項に記載の光磁
    気記録媒体から記録情報を再生することを特徴とする光
    磁気記録再生装置。
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