JP3512842B2 - 半導体製品の製造方法および液体処理装置 - Google Patents
半導体製品の製造方法および液体処理装置Info
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- JP3512842B2 JP3512842B2 JP00043494A JP43494A JP3512842B2 JP 3512842 B2 JP3512842 B2 JP 3512842B2 JP 00043494 A JP00043494 A JP 00043494A JP 43494 A JP43494 A JP 43494A JP 3512842 B2 JP3512842 B2 JP 3512842B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製品の製造方法
および液体処理装置に関し、特に工業用または家庭用の
浄水処理に適用して有効な技術に関する。
および液体処理装置に関し、特に工業用または家庭用の
浄水処理に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】浄水処理技術は、半導体製造技術などの
精密製品の製造工程における洗浄工程および飲料用水に
要求される浄水などを得るために、近年ますます重要な
技術となっている。
精密製品の製造工程における洗浄工程および飲料用水に
要求される浄水などを得るために、近年ますます重要な
技術となっている。
【０００３】浄水処理装置としては、繊維フィルタまた
は活性炭、あるいはそれらを組み合わせたものを採用し
たものが考えられ、前記繊維フィルタおよび前記活性炭
によって、水中の異物および残留塩素を低減したり、除
去することが考えられる。
は活性炭、あるいはそれらを組み合わせたものを採用し
たものが考えられ、前記繊維フィルタおよび前記活性炭
によって、水中の異物および残留塩素を低減したり、除
去することが考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、工業用水お
よび水道用水などにおいては、有機系の有害物質が含ま
れている場合があるが、前記した浄化処理装置における
前記繊維フィルタまたは前記活性炭によっては、水に含
まれている有機系の有害物質を完全に取り除くことがで
きないという問題点があることがわかった。
よび水道用水などにおいては、有機系の有害物質が含ま
れている場合があるが、前記した浄化処理装置における
前記繊維フィルタまたは前記活性炭によっては、水に含
まれている有機系の有害物質を完全に取り除くことがで
きないという問題点があることがわかった。
【０００５】より具体的には、前述した浄化処理装置に
おける前記繊維フィルタまたは前記活性炭を用いた浄化
処理では、物理的な手段および、吸着という化学的な手
段によって水の浄化を行っているものである。しかし、
トリハロメタンなどの有害な有機系の物質は前記繊維フ
ィルタまたは活性炭などの物理的手段によっては、完全
に取り除くことが困難であり、さらに化学的な処理をも
って行う必要性があると本発明者は、前記浄化処理に対
しての問題点を見い出した。
おける前記繊維フィルタまたは前記活性炭を用いた浄化
処理では、物理的な手段および、吸着という化学的な手
段によって水の浄化を行っているものである。しかし、
トリハロメタンなどの有害な有機系の物質は前記繊維フ
ィルタまたは活性炭などの物理的手段によっては、完全
に取り除くことが困難であり、さらに化学的な処理をも
って行う必要性があると本発明者は、前記浄化処理に対
しての問題点を見い出した。
【０００６】本発明の一つの目的は、異物および有機系
の有害物質を取り除くことができる液体処理技術を用い
た半導体製品の製造方法を提供することにある。
の有害物質を取り除くことができる液体処理技術を用い
た半導体製品の製造方法を提供することにある。
【０００７】本発明の他の目的は、異物および有機系の
有害物質を簡単に取り除くことができる液体処理装置を
提供することにある。
有害物質を簡単に取り除くことができる液体処理装置を
提供することにある。
【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明において開示され
る発明のうち、代表的なものの概要を説明すれば、以下
のとおりである。
る発明のうち、代表的なものの概要を説明すれば、以下
のとおりである。
【００１０】本発明の半導体製品の製造方法は、被処理
液である液体に、オゾンおよび活性酸素を混入して、前
記液体に含まれている有機系の有害物質を低毒性の物質
に化成する工程と、前記被処理液である液体を加温する
ことにより、前記被処理液である液体中に残存するオゾ
ンおよび活性酸素を前記被処理液である液体から取り除
く工程と、その後、被処理液である液体を所定の温度に
調整する工程と、前記液体を繊維フィルタおよび活性炭
を通過させることにより、前記液体に含まれている異物
および不純物を取り除く工程と、前記液体を用いて半導
体製品の洗浄を行う洗浄工程とを有するものである。ま
た、本発明の液体処理装置は、被処理液である液体に含
まれている有機系の有害物質と、オゾンおよび活性酸素
とを反応させる反応槽と、前記反応槽とガス通路および
液体通路を通して連結しており、前記被処理液である液
体に含まれているオゾンおよび前記反応槽における未反
応のオゾンを加熱処理により分解するオゾン分解器と、
前記オゾン分解器から導出された前記被処理液である液
体を所定の温度に調整する熱交換器と、前記被処理液で
ある液体をろ過する繊維フィルタを有する処理部と、前
記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純物
を吸着する活性炭を有する処理部とを備えているもので
ある。
液である液体に、オゾンおよび活性酸素を混入して、前
記液体に含まれている有機系の有害物質を低毒性の物質
に化成する工程と、前記被処理液である液体を加温する
ことにより、前記被処理液である液体中に残存するオゾ
ンおよび活性酸素を前記被処理液である液体から取り除
く工程と、その後、被処理液である液体を所定の温度に
調整する工程と、前記液体を繊維フィルタおよび活性炭
を通過させることにより、前記液体に含まれている異物
および不純物を取り除く工程と、前記液体を用いて半導
体製品の洗浄を行う洗浄工程とを有するものである。ま
た、本発明の液体処理装置は、被処理液である液体に含
まれている有機系の有害物質と、オゾンおよび活性酸素
とを反応させる反応槽と、前記反応槽とガス通路および
液体通路を通して連結しており、前記被処理液である液
体に含まれているオゾンおよび前記反応槽における未反
応のオゾンを加熱処理により分解するオゾン分解器と、
前記オゾン分解器から導出された前記被処理液である液
体を所定の温度に調整する熱交換器と、前記被処理液で
ある液体をろ過する繊維フィルタを有する処理部と、前
記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純物
を吸着する活性炭を有する処理部とを備えているもので
ある。
【００１１】
【作用】前記した手段によれば、被処理液である液体に
含まれている有機系の有害物質は、オゾンおよび活性酸
素を用いた化学的作用により、低毒性の物質に化成され
ることになり、前記低毒性の物質および前記液体に含ま
れている異物および不純物は、前記液体を繊維フィルタ
および活性炭を通過させることにより、ろ過などの物理
的作用と、吸着などの化学的作用によって取り除くこと
ができる。
含まれている有機系の有害物質は、オゾンおよび活性酸
素を用いた化学的作用により、低毒性の物質に化成され
ることになり、前記低毒性の物質および前記液体に含ま
れている異物および不純物は、前記液体を繊維フィルタ
および活性炭を通過させることにより、ろ過などの物理
的作用と、吸着などの化学的作用によって取り除くこと
ができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て同一機能を有するものは同一の符号を付し、重複説明
は省略する。
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て同一機能を有するものは同一の符号を付し、重複説明
は省略する。
【００１３】図１は、本発明の一実施例である液体処理
方法およびそれに用いる液体処理装置を示す概略図であ
る。また、図２〜図４は、前記液体処理装置における主
要な処理部を示す概略図である。同図を用いて、本発明
の液体処理の具体的な技術について説明する。
方法およびそれに用いる液体処理装置を示す概略図であ
る。また、図２〜図４は、前記液体処理装置における主
要な処理部を示す概略図である。同図を用いて、本発明
の液体処理の具体的な技術について説明する。
【００１４】図１に示すように、本発明の一実施例であ
る液体処理装置は、被処理液である水１を導入口２を通
して注入し、液体通路３を通して反応槽４に流入させて
いる。
る液体処理装置は、被処理液である水１を導入口２を通
して注入し、液体通路３を通して反応槽４に流入させて
いる。
【００１５】前記反応槽４には、オゾン発生器５がガス
通路６を用いて連結されており、前記オゾン発生器５に
おけるガス導入口７に、それにつながっている酸素ボン
ベなどからガス状の酸素８が注入され、前記酸素８が前
記オゾン発生器５においてプラズマ放電処理を施されて
分解し、オゾンと活性酸素とが形成されている。そし
て、前記オゾンと活性酸素とからなる混合ガスが、前記
反応槽４に前記ガス通路６を用いて導引されている。
通路６を用いて連結されており、前記オゾン発生器５に
おけるガス導入口７に、それにつながっている酸素ボン
ベなどからガス状の酸素８が注入され、前記酸素８が前
記オゾン発生器５においてプラズマ放電処理を施されて
分解し、オゾンと活性酸素とが形成されている。そし
て、前記オゾンと活性酸素とからなる混合ガスが、前記
反応槽４に前記ガス通路６を用いて導引されている。
【００１６】前記反応槽４は、図２に示すように、被処
理液である水１を供給する液体通路３と、前記オゾンと
活性酸素とからなる混合ガス９を供給しバブリングを行
うガス通路６とを有する。
理液である水１を供給する液体通路３と、前記オゾンと
活性酸素とからなる混合ガス９を供給しバブリングを行
うガス通路６とを有する。
【００１７】また、同図において、１０は後述するオゾ
ン分解器１１に連結されているガス通路であり、１２は
バルブであり、必要に応じて前記反応槽４によって発生
したガスおよび未反応のオゾンなどのガスを抜くことが
できる機能を有するものである。
ン分解器１１に連結されているガス通路であり、１２は
バルブであり、必要に応じて前記反応槽４によって発生
したガスおよび未反応のオゾンなどのガスを抜くことが
できる機能を有するものである。
【００１８】さらに、３は後述するオゾン分解器１１に
連結されている液体通路であり、１３はバルブ１４を有
する液体通路であり、前記バルブ１４を通して必要に応
じて前記反応槽４内の液体を取り除く際に用いるもので
ある。
連結されている液体通路であり、１３はバルブ１４を有
する液体通路であり、前記バルブ１４を通して必要に応
じて前記反応槽４内の液体を取り除く際に用いるもので
ある。
【００１９】また、前記反応槽４においては、被処理液
である水１が前記液体通路３から流入して一定量溜めら
れており、その水１の中に前記オゾンと活性酸素との混
合ガス９が前記ガス通路６を通して導入され、前記混合
ガス９がバブリングすることによって、前記水１に含ま
れている有害な有機物を化学的に分解して、低毒性の物
質に化成させる化学的作用を有するものである。
である水１が前記液体通路３から流入して一定量溜めら
れており、その水１の中に前記オゾンと活性酸素との混
合ガス９が前記ガス通路６を通して導入され、前記混合
ガス９がバブリングすることによって、前記水１に含ま
れている有害な有機物を化学的に分解して、低毒性の物
質に化成させる化学的作用を有するものである。
【００２０】前記オゾンおよび活性酸素は、強い酸化力
を有し、被処理液である前記水１に混合したり溶解して
いるトリハロメタンなどの有機系の有害物質と反応し
て、低毒性の物質に化成する効果がある。また、被処理
液である前記水１に含まれている微生物などの生物系の
ものに対しては、殺菌作用を有するものである。本実施
例においては、被処理液としての液体としては、水１を
用いているが、有機系の物質または生物系の異物を含ん
でいる液体を清浄化処理する態様にも、本発明は適用で
きるものである。
を有し、被処理液である前記水１に混合したり溶解して
いるトリハロメタンなどの有機系の有害物質と反応し
て、低毒性の物質に化成する効果がある。また、被処理
液である前記水１に含まれている微生物などの生物系の
ものに対しては、殺菌作用を有するものである。本実施
例においては、被処理液としての液体としては、水１を
用いているが、有機系の物質または生物系の異物を含ん
でいる液体を清浄化処理する態様にも、本発明は適用で
きるものである。
【００２１】前記反応槽４によって処理された被処理液
である水１は、オゾン分解器１１に導入される。前記オ
ゾン分解器１１は、図３に示すように、ヒータ１５に取
り巻かれている領域内において曲折しているガス通路１
０と液体通路３とからなり、前記ガス通路１０中のガス
および前記液体通路３中の液体とが前記ヒータ１５によ
って加熱処理されるようになっている。
である水１は、オゾン分解器１１に導入される。前記オ
ゾン分解器１１は、図３に示すように、ヒータ１５に取
り巻かれている領域内において曲折しているガス通路１
０と液体通路３とからなり、前記ガス通路１０中のガス
および前記液体通路３中の液体とが前記ヒータ１５によ
って加熱処理されるようになっている。
【００２２】前記オゾン分解器１１は、それに導入され
た被処理液である前記水１に溶解している未反応のオゾ
ンを熱分解し、無害化した後、熱分解によって発生した
気体成分のみをガス抜きバルブ１６を介在してガス通路
１７に導入し、前記ガス通路１０の出口から大気に放出
する。
た被処理液である前記水１に溶解している未反応のオゾ
ンを熱分解し、無害化した後、熱分解によって発生した
気体成分のみをガス抜きバルブ１６を介在してガス通路
１７に導入し、前記ガス通路１０の出口から大気に放出
する。
【００２３】また、前記反応槽４によってバブリングさ
れた前記オゾンおよび活性酸素などの未反応のオゾンな
どのガスは、オゾン分解器１１に導入されて、未反応の
オゾンを熱分解し、無害化した後、前記ガス通路１０の
出口から大気に放出する。
れた前記オゾンおよび活性酸素などの未反応のオゾンな
どのガスは、オゾン分解器１１に導入されて、未反応の
オゾンを熱分解し、無害化した後、前記ガス通路１０の
出口から大気に放出する。
【００２４】被処理液である水１は、前記オゾン分解器
１１によって加温されているため、熱交換器１８によっ
て常温まで温度を低下させた後、繊維フィルタを有する
液体処理部２２および活性炭を有する処理部２３を通し
て、異物および不純物をろ過して、水出口へと送水す
る。
１１によって加温されているため、熱交換器１８によっ
て常温まで温度を低下させた後、繊維フィルタを有する
液体処理部２２および活性炭を有する処理部２３を通し
て、異物および不純物をろ過して、水出口へと送水す
る。
【００２５】前記熱交換器１８は、図４に示すように、
液体通路１９を通して前記オゾン分解器１１に連結され
ており、前記オゾン分解器１１によって加温されている
被処理液である水１を常温まで温度を低下させる機能を
有する歪曲した熱交換用液体通路２０を有するものであ
る。また、液体通路３を通して前記反応槽４に連結され
ており、前記反応槽４に加温された被処理液である水１
を導入するための機能を有する歪曲した熱交換用液体通
路２１を有するものである。
液体通路１９を通して前記オゾン分解器１１に連結され
ており、前記オゾン分解器１１によって加温されている
被処理液である水１を常温まで温度を低下させる機能を
有する歪曲した熱交換用液体通路２０を有するものであ
る。また、液体通路３を通して前記反応槽４に連結され
ており、前記反応槽４に加温された被処理液である水１
を導入するための機能を有する歪曲した熱交換用液体通
路２１を有するものである。
【００２６】また、本実施例における液体処理装置は、
図１に示すように、液体の流れを調節し、制御する切り
替え弁２４およびそれに連結しているバイバス用の液体
通路２５を備えているものである。また、同図におい
て、２６は、各液体通路を連結している連結部を示すも
のである。
図１に示すように、液体の流れを調節し、制御する切り
替え弁２４およびそれに連結しているバイバス用の液体
通路２５を備えているものである。また、同図におい
て、２６は、各液体通路を連結している連結部を示すも
のである。
【００２７】前記切り替え弁２４を操作することによ
り、被処理液である水１は未浄水のまま液体出口に流出
させることができる。
り、被処理液である水１は未浄水のまま液体出口に流出
させることができる。
【００２８】また、前記切り替え弁２４を操作すること
により、被処理液である水１のオゾンおよび活性酸素に
よる化学的な作用を用いた浄化処理を省略して、物理的
な作用であるろ過処理を行う繊維フィルタを有する液体
処理部２２および、物理的な作用に加え化学的な作用も
する活性炭を有する処理部２３を通して浄水する処理の
みを採用することができる。
により、被処理液である水１のオゾンおよび活性酸素に
よる化学的な作用を用いた浄化処理を省略して、物理的
な作用であるろ過処理を行う繊維フィルタを有する液体
処理部２２および、物理的な作用に加え化学的な作用も
する活性炭を有する処理部２３を通して浄水する処理の
みを採用することができる。
【００２９】さらにまた、前記切り替え弁２４を操作す
ることにより、被処理液である水１の前記オゾン分解器
１１で加温されたまま前記熱交換器１８を通さずに取り
出すことにより、加温された状態の被処理液である水１
を得ることもできる。
ることにより、被処理液である水１の前記オゾン分解器
１１で加温されたまま前記熱交換器１８を通さずに取り
出すことにより、加温された状態の被処理液である水１
を得ることもできる。
【００３０】前述したように、本実施例の液体処理装置
は、オゾンおよび活性酸素を用いた化学作用と、繊維フ
ィルタおよび活性炭を用いた物理的作用とを組み合わせ
て、水の浄化処理などの液体の処理を行うものである。
したがって、オゾンおよび活性酸素を用いていることに
より、化学的に水中の有機物が分解されるため、有機物
質を取り除くことができる。
は、オゾンおよび活性酸素を用いた化学作用と、繊維フ
ィルタおよび活性炭を用いた物理的作用とを組み合わせ
て、水の浄化処理などの液体の処理を行うものである。
したがって、オゾンおよび活性酸素を用いていることに
より、化学的に水中の有機物が分解されるため、有機物
質を取り除くことができる。
【００３１】また、本実施例の液体処理装置は、オゾン
および活性酸素の作成にあたって、プラズマ放電によっ
て簡単に多量の前記ガスを製作することができ、前記オ
ゾンおよび活性酸素を水などの液体中にバブリングする
ことにより、前記水などの被処理液に含まれている有害
な有機物質と化学反応させるものである。したがって、
容易に前記有機物質を分解して低毒性の物質にして前記
水などの被処理液から有害な有機物質を取り除くことが
できる。
および活性酸素の作成にあたって、プラズマ放電によっ
て簡単に多量の前記ガスを製作することができ、前記オ
ゾンおよび活性酸素を水などの液体中にバブリングする
ことにより、前記水などの被処理液に含まれている有害
な有機物質と化学反応させるものである。したがって、
容易に前記有機物質を分解して低毒性の物質にして前記
水などの被処理液から有害な有機物質を取り除くことが
できる。
【００３２】本実施例の液体処理技術は、家庭用の飲料
水などの液体処理技術、半導体製造技術などの精密製品
の製造工程における洗浄工程および飲料用水に要求され
る浄水などを得るための産業用の液体処理技術に適用で
きる。また、上水の貯水槽または貯水タンク、下水の処
理施設に組み込み、ユニットとして応用し、液体処理シ
ステムとしても採用できるものである。
水などの液体処理技術、半導体製造技術などの精密製品
の製造工程における洗浄工程および飲料用水に要求され
る浄水などを得るための産業用の液体処理技術に適用で
きる。また、上水の貯水槽または貯水タンク、下水の処
理施設に組み込み、ユニットとして応用し、液体処理シ
ステムとしても採用できるものである。
【００３３】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３４】
【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００３５】本発明によれば、被処理液である液体に、
オゾンおよび活性酸素を混入して、前記液体に含まれて
いる有機系の有害物質を低毒性の物質に化成した後、前
記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通過させることに
より、前記液体に含まれている異物および不純物を取り
除くものであることより、被処理液である液体に含まれ
ている有機系の有害物質は、オゾンおよび活性酸素を用
いた化学的作用により、低毒性の物質に化成されること
になり、前記低毒性の物質および前記液体に含まれてい
る異物および不純物は、前記液体を繊維フィルタおよび
活性炭を通過させることにより、ろ過などの物理的作用
と、吸着などの化学的作用によって取り除くことができ
る。
オゾンおよび活性酸素を混入して、前記液体に含まれて
いる有機系の有害物質を低毒性の物質に化成した後、前
記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通過させることに
より、前記液体に含まれている異物および不純物を取り
除くものであることより、被処理液である液体に含まれ
ている有機系の有害物質は、オゾンおよび活性酸素を用
いた化学的作用により、低毒性の物質に化成されること
になり、前記低毒性の物質および前記液体に含まれてい
る異物および不純物は、前記液体を繊維フィルタおよび
活性炭を通過させることにより、ろ過などの物理的作用
と、吸着などの化学的作用によって取り除くことができ
る。
【００３６】また、本発明による液体処理技術では、オ
ゾンおよび活性酸素を簡単で多量に製作でき、それを用
いて簡便な手法により被処理液である液体に含まれてい
る有機系の物質および種々の異物をコンパクトな装置を
もって取り除くことができる。
ゾンおよび活性酸素を簡単で多量に製作でき、それを用
いて簡便な手法により被処理液である液体に含まれてい
る有機系の物質および種々の異物をコンパクトな装置を
もって取り除くことができる。
【図１】本発明の一実施例である液体処理方法およびそ
れに用いる液体処理装置を示す概略図である。
れに用いる液体処理装置を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施例である液体処理装置における
反応槽を示す概略図である。
反応槽を示す概略図である。
【図３】本発明の一実施例である液体処理装置における
オゾン分解器を示す概略図である。
オゾン分解器を示す概略図である。
【図４】本発明の一実施例である液体処理装置における
熱交換器を示す概略図である。
熱交換器を示す概略図である。
１ 水
２ 導入口
３ 液体通路
４ 反応槽
５ オゾン発生器
６ ガス通路
７ ガス導入口
８ 酸素
９ 混合ガス
１０ ガス通路
１１ オゾン分解器
１２ バルブ
１３ 液体通路
１４ バルブ
１５ ヒータ
１６ ガス抜きバルブ
１７ ガス通路
１８ 熱交換器
１９ 液体通路
２０ 熱交換用液体通路
２１ 熱交換用液体通路
２２ 液体処理部
２３ 処理部
２４ 切り替え弁
２５ 液体通路
２６ 連結部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C02F 1/28
C02F 1/58
C02F 1/72
C02F 1/78
Claims (5)
- 【請求項１】 被処理液である液体に、オゾンおよび活
性酸素を混入して、前記液体に含まれている有機系の有
害物質を低毒性の物質に化成する工程と、 前記被処理液である液体を加温することにより、前記被
処理液である液体中に残存するオゾンおよび活性酸素を
前記被処理液である液体から取り除く工程と、 その後、被処理液である液体を所定の温度に調整する工
程と、 前記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通過させること
により、前記液体に含まれている異物および不純物を取
り除く工程と、 前記液体を用いて半導体製品の洗浄を行う洗浄工程とを
有することを特徴とする半導体製品の製造方法。 - 【請求項２】 被処理液である液体に、オゾンおよび活
性酸素を混入して、前記液体に含まれている有機系の有
害物質を低毒性の物質に化成した後、前記液体に残存し
ている前記オゾンを熱エネルギーによって取り除く処理
を行い、次に前記液体を繊維フィルタおよび活性炭を通
過させることにより、前記液体に含まれている異物およ
び不純物を取り除き、前記液体を用いて半導体製品の洗
浄を行う洗浄工程を有することを特徴とする半導体製品
の製造方法。 - 【請求項３】 前記液体としては水を用い、前記液体に
前記オゾンおよび活性酸素を混入するにはバブリングを
用いていることを特徴とする請求項１または２記載の半
導体製品の製造方法。 - 【請求項４】 被処理液である液体に含まれている有機
系の有害物質と、オゾンおよび活性酸素とを反応させる
反応槽と、 前記反応槽とガス通路および液体通路を通して連結して
おり、前記被処理液である液体に含まれているオゾンお
よび前記反応槽における未反応のオゾンを加熱処理によ
り分解するオゾン分解器と、 前記オゾン分解器から導出された前記被処理液である液
体を所定の温度に調整する熱交換器と、 前記被処理液である液体をろ過する繊維フィルタを有す
る処理部と、 前記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純
物を吸着する活性炭を有する処理部とを備えていること
を特徴とする液体処理装置。 - 【請求項５】 酸素を原材料としてオゾンおよび活性酸
素を作成するオゾン発生器と、 前記オゾン発生器に連結されており、被処理液である液
体に含まれている有機系の有害物質と、前記オゾンおよ
び活性酸素とを反応させる反応槽と、 前記反応槽とガス通路および液体通路を通して連結して
おり、前記被処理液である液体に含まれているオゾンお
よび前記反応槽における未反応のオゾンを加熱処理によ
り分解するオゾン分解器と、 前記オゾン分解器から導出された前記被処理液である液
体を所定の温度に調整する熱交換器と、 前記被処理液である液体をろ過する繊維フィルタを有す
る処理部と、 前記被処理液である液体をろ過し、さらに液体中の不純
物を吸着する活性炭を有する処理部とを備えていること
を特徴とする液体処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00043494A JP3512842B2 (ja) | 1994-01-07 | 1994-01-07 | 半導体製品の製造方法および液体処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00043494A JP3512842B2 (ja) | 1994-01-07 | 1994-01-07 | 半導体製品の製造方法および液体処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07195066A JPH07195066A (ja) | 1995-08-01 |
| JP3512842B2 true JP3512842B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=11473714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00043494A Expired - Fee Related JP3512842B2 (ja) | 1994-01-07 | 1994-01-07 | 半導体製品の製造方法および液体処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3512842B2 (ja) |
-
1994
- 1994-01-07 JP JP00043494A patent/JP3512842B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07195066A (ja) | 1995-08-01 |
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