JP3491591B2 - レーザ加工機および加工方法 - Google Patents
レーザ加工機および加工方法Info
- Publication number
- JP3491591B2 JP3491591B2 JP2000015298A JP2000015298A JP3491591B2 JP 3491591 B2 JP3491591 B2 JP 3491591B2 JP 2000015298 A JP2000015298 A JP 2000015298A JP 2000015298 A JP2000015298 A JP 2000015298A JP 3491591 B2 JP3491591 B2 JP 3491591B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- offset
- laser
- work
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
fθレンズといったレーザビームの位置決めを行う光学
装置を用いて加工を行うレーザ加工機に関するものであ
る。
ったレーザビームの位置決めを行う光学装置を用いて加
工を行うレーザ加工機においては、図9および図10の
ように構成されている。
る。
発振器1から出力されたレーザビームAを反射ミラー2
1によりガルバノミラー31に導く。
り31(a)と31(b)とからなり、それぞれガルバ
ノモータ32(a)、32(b)に連結されている。
角度を変えることでその組み合わせによってレーザビー
ムAの経路を変え位置決めを行なう。
34から構成される。
所望の位置に位置決めするために前記ガルバノミラー3
1の角度を変える駆動指令を前記ガルバノモータ32に
出力する。
1により位置決めされたレーザビームAが入射され、ワ
ーク6に集光されワーク6の加工を行なう。
み合わせによって加工される範囲が決まり、これがガル
バノスキャンエリアBであり、これを加工し終えると加
工テーブル制御装置52からX軸モータ53、Y軸モー
タ54に駆動指令が出力され、加工テーブル51を駆動
し加工する範囲を次のガルバノスキャンエリアに変更す
る。
加工を実行する。
理を説明する。
2によりガルバノスキャンエリア毎のガルバノ座標と加
工テーブル座標にエリア分割処理される。
704にて加工テーブル位置情報に変換され加工テーブ
ル駆動指令705によって駆動指令が生成され加工テー
ブル706に出力される。
データ変換707にてガルバノミラーの角度に変換さ
れ、ガルバノ駆動指令708によって駆動指令が生成さ
れガルバノスキャナ709に出力される。
とガルバノモータからなる。
ザ発振の制御指令も生成され、レーザコントローラ71
0に出力される。これによりレーザビームの位置決めを
行い穴あけ加工を行う。
機においては、2軸構成のガルバノミラー31によって
位置決めされたレーザビームはワーク6の垂線に対して
傾きを持ったレーザビームとなっている。
て垂直なレーザビームとなるように補正しワーク6上に
集光して加工を行う。
全に傾きが補正されるわけではなく、図12のようにf
θレンズの中心から離れるほど若干量の傾きを持ったま
まレーザビームはワーク6上に集光され加工が行われ
る。
加工穴の穴の深さが浅い場合には図13(a)のように
問題のない加工ができるが、加工穴の穴の深さが深い場
合には図12(b)のように、上の穴と下の穴の位置が
ずれて加工される。仮に倒れ角が2°の場合図12
(b)の樹脂厚が0.8mmとすれば、約0.028m
mだけ上の穴と下の穴の位置がずれることになる。
には上の穴と下の穴の位置がずれてしまうため、このず
れ量が許容される範囲内となるエリアを探し出しその範
囲内で加工を行う必要がある。
れ角の中心にしたときをガルバノ原点と呼んでいるが、
ガルバノミラーがこのガルバノ原点の位置にいるときに
レーザビームがfθレンズの中心に垂直に入射するよう
にガルバノミラーとfθレンズの位置関係を調整する。
レンズの位置関係の調整を完全に合せ込むことは難し
く、位置関係が若干ずれて調整される。
点の位置にあっても、レーザビームがfθレンズの中心
をわずかにずれていたり、または垂直に入射しないこと
がある。これにより、図13に示すように加工穴の穴の
深さが深い場合に上の穴と下の穴の位置のずれが少ない
加工ができる深穴加工用エリアの中心が、ガルバノスキ
ャンエリアの中心からずれた場所になる。
リアは、ガルバノスキャンエリアの中心を加工エリアの
中心とするエリアになるので、深穴加工用エリアの中心
がガルバノスキャンエリアの中心とずれている場合に
は、深穴加工ができる深穴加工用エリアを更に狭くした
エリアでなければ深穴加工を行うことができないという
問題があった。
に請求項1記載の本発明は、レーザ光を出力するレーザ
発振器と、レーザ光により加工されるワークを載置し、
移動可能とした加工テーブルと、レーザ発振器とワーク
の間に配置されるfθレンズと、レーザ発振器とfθレ
ンズの間に配置され角度を可変としたガルバノミラー
と、前記ガルバノミラーの角度を可変とする駆動手段
と、前記駆動手段の制御を行う制御手段とを備えたレー
ザ加工機であり、前記制御手段に、レーザ光を所望の位
置に位置決めするために前記ガルバノミラーの角度を変
える駆動指令を前記駆動手段に出力するガルバノ制御部
と、レーザ光の位置に更にオフセットを加えるための駆
動指令を出力し、前記ガルバノ制御部の出力に加えるオ
フセット制御部を有したものである。
載の発明に制御手段がガルバノミラーの駆動角度に加え
るオフセット値に応じて加工テーブルの移動にオフセッ
ト値を加えるように構成したものである。
を出力するレーザ発振器と、レーザ光により加工される
ワークを載置し、移動可能とした加工テーブルと、レー
ザ発振器とワークの間に配置されるfθレンズと、レー
ザ発振器とfθレンズの間に配置され、角度を可変とし
たガルバノミラーとを備えたレーザ加工機であり、前記
fθレンズの位置をワークに対して平行方向に変える移
動手段と、オフセット制御時に前記移動手段を制御し、
fθレンズの移動値にオフセット値を加える制御手段を
付加し構成したものである。
振器から出力されたレーザ光をガルバノミラー、fθレ
ンズを介してワークに導き加工するレーザ加工法であっ
て、(a)少なくともワークの加工位置を設定するステ
ップと、(b)オフセット加工を行なわないか、オフセ
ット加工を行なうか判定するステップと、(c)オフセ
ット加工を行なわないと判定された場合に、ガルバノミ
ラーの角度を変えてワークの加工位置にレーザ光を導く
ステップと、(d)オフセット加工を行なうと判定され
た場合に、オフセット加工を行なわない時のガルバノミ
ラーの角度にオフセット値を加え、かつ、ワークを載置
した加工テーブルをオフセット値に対応させて移動し、
ワークの加工位置にレーザ光を導くステップとを有する
レーザ加工方法である。
振器から出力されたレーザ光をガルバノミラー、fθレ
ンズを介してワークに導き加工するレーザ加工方法であ
って、(a)少なくともワークの加工位置を設定するス
テップと、(b)オフセット加工を行なわないか、オフ
セット加工を行なうか判定するステップと、(c)オフ
セット加工を行なわないと判定された場合は、ガルバノ
ミラーの角度を変えてワークの加工位置にレーザ光を導
くステップと、(d)オフセット加工を行なうと判定さ
れた場合は、ガルバノミラーの角度を変えてワークの加
工位置にレーザ光を導く際に、fθレンズをワークに対
して平行方向に移動させるステップとを有するレーザ加
工方法である。
発明は、ガルバノミラーの角度を可変とする駆動手段
と、前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、前記制
御手段が通常の制御以外にガルバノミラーの駆動角度に
オフセット値を加える制御を行うことで、オフセット制
御を選択するだけで容易に加工エリアをオフセット値の
分だけシフトさせるという作用を有する。
オフセット制御することで加工エリアがシフトした分だ
け加工位置がずれてしまわないようにワークをシフトさ
せるように作用する。
クと平行方向にオフセット値の分だけ移動することで、
加工エリアをシフトさせずに光学歪みの影響を取り除く
ように作用する。
行うと判定された場合に、通常加工の状態にオフセット
値を加え加工エリアを任意に変更するように作用する。
行うと判定された場合に、加工エリアの位置を変えるこ
となく光学歪みの影響を取り除くように作用する。
について、図1ないし図8を参照しながら説明する。
態1につき図1および図2に沿って説明する。
する。
振器1から出力されたレーザビームAは、反射ミラー2
1によりガルバノミラー31に導かれる。
り31(a)と31(b)とからなる。
1に連結されている。
同様に2軸構成となっている。
角度を変えることでその組み合わせによってレーザビー
ムAの経路を変え2次元的な位置決めを行なう。
34とオフセット制御部35から構成される。
所望の位置に位置決めするために前記ガルバノミラー3
1の角度を変える駆動指令を前記ガルバノモータ32に
出力する。
の位置に更にオフセットを加えるための駆動指令を出力
し、前記ガルバノ制御部34の出力に加える。
1により位置決めされたレーザビームAが入射され、ワ
ーク6に集光されワーク6の加工を行なう。
み合わせによって加工される範囲が決まり、これがガル
バノスキャンエリアBであり、これを加工し終えると加
工テーブル制御装置52からX軸モータ53、Y軸モー
タ54に駆動指令が出力され、加工テーブル51を駆動
し加工する範囲を次のガルバノスキャンエリアに変更す
る。
ラー31の角度にオフセットを加える制御を行なうこと
によって、f・θレンズ4に入射するレーザビームの位
置を変更することができ、加工に最適なレーザビーム経
路を選択することができる。
態2につき図3および図4に沿って説明する。
フセット制御部35が出力する駆動指令を加工テーブル
制御装置52にも出力するようにパスを付加したもので
ある。
が出力したX軸モータ53、Y軸モータ54の駆動指令
に対して、オフセット制御部35からの駆動指令を加算
するように構成している。
オフセットが加工テーブル51にも加わり、その結果ワ
ーク6に対するガルバノスキャンエリアBの位置に変え
ることなく、f・θレンズ4に入射するレーザビームの
位置のみを変更することができ、加工に最適なレーザビ
ーム経路を選択することができる。
態3につき図5に沿って説明する。
制御部56を付加し、軸オフセット制御部56の出力を
軸制御部55の出力に加算するように構成し、オフセッ
ト制御部35から軸オフセット制御部56へオフセット
制御実行指令を出力するように構成したものである。
ット制御と同期して加工テーブル51のオフセット制御
が実行され、更に、ガルバノミラー31のオフセットと
加工テーブル51のオフセットをそれぞれ最適な制御が
できる。
態4につき図6に沿って説明する。
5を取り除き、代りにf・θレンズ4を駆動する機構と
連結したレンズ駆動モータ41とレンズ駆動モータ41
に駆動指令を出力するf・θレンズ制御装置を付加した
ものである。
レンズ駆動モータ41にてf・θレンズ4をオフセット
制御することができ、f・θレンズ4に入射するレーザ
ビームの位置のみを変更することができ、加工に最適な
レーザビーム経路を選択することができる。
態5につき図7に沿って説明する。
トである。
2によりガルバノスキャンエリア毎のガルバノ座標と加
工テーブル座標にエリア分割処理される。
制御を行なうと判定した場合は、オフセット値加算71
1にてエリア分割処理されたガルバノ座標と加工テーブ
ル座標にオフセット値が加算される。
704にて加工テーブル位置情報に変換され加工テーブ
ル駆動指令705によって駆動指令が生成され加工テー
ブル706に出力される。
データ変換707にてガルバノミラーの角度に変換さ
れ、ガルバノ駆動指令708によって駆動指令が生成さ
れガルバノスキャナ709に出力される。
とガルバノモータからなる。
ザ発振の制御指令も生成され、レーザコントローラ71
0に出力される。
より、レーザビームがf・θレンズに入射する位置を制
御し、加工に最適なレーザビーム経路を選択することが
できる。
態6につき図8に沿って説明する。
フセット制御判定703の位置を変えてガルバノ座標や
加工テーブル座標とは別の処理経路とし、オフセット制
御を行なう場合にはf・θレンズ位置移動量算出712
にてf・θレンズの移動量を算出し、オフセット制御を
行なわない場合はf・θレンズの移動量を0とし、f・
θレンズ駆動指令713でf・θレンズ駆動手段714
を駆動する指令を生成し出力するように処理を行なう。
ルに対してのオフセット制御を行なわずにf・θレンズ
のみにオフセット制御を実行することができ、レーザビ
ームがf・θレンズに入射する位置を制御し、加工に最
適なレーザビーム経路を選択することができる。
いることは、f・θレンズに入射するレーザビームの位
置を可変とする構成、制御とすることで、光学歪みによ
る加工不良の発生しない加工に最適なビーム経路の選択
が容易にできることである。
1の発明によれば、レーザ光を出力するレーザ発振器
と、レーザ光により加工されるワークを載置し移動可能
とした加工テーブルと、レーザ発振器とワークの間に配
置されるfθレンズと、レーザ発振器とfθレンズの間
に配置され角度を可変としたガルバノミラーと、ガルバ
ノミラーの角度を可変とする駆動手段と、ガルバノミラ
ー駆動手段の制御を行う制御手段とを備え、前記制御手
段に、レーザ光を所望の位置に位置決めするために前記
ガルバノミラーの角度を変える駆動指令を前記駆動手段
に出力するガルバノ制御部と、レーザ光の位置に更にオ
フセットを加えるための駆動指令を出力し、前記ガルバ
ノ制御部の出力に加えるオフセット制御部を有したこと
で、fθレンズに入射するレーザビームの位置を容易に
変更することができ、加工に最適なレーザビーム経路を
ガルバノスキャンエリア全体で選択することができる。
の発明に加えて、制御手段がガルバノミラーの駆動角度
に加えるオフセット値に応じて加工テーブルの移動に対
してもオフセット値を加えることができるように構成し
たことで、ワークを加工する位置を変更すること無く、
fθレンズに入射するレーザビームの位置のみを容易に
変更することができ、加工に最適なレーザビーム経路を
ガルバノスキャンエリア全体で選択することができる。
光を出力するレーザ発振器と、レーザ光により加工され
るワークを載置し移動可能とした加工テーブルと、レー
ザ発振器とワークの間に配置されるfθレンズと、レー
ザ発振器とfθレンズの間に配置され角度を可変とした
ガルバノミラーとを備え、前記fθレンズの位置をワー
クに対して平行方向に変える移動手段と、オフセット制
御時に前記移動手段を制御し、fθレンズの移動値にオ
フセット値を加える制御手段を設けた構成としたこと
で、請求項1の発明の効果に加えてワークを加工する位
置を変更すること無く、fθレンズに入射するレーザビ
ームの位置のみを容易に変更することができ、加工に最
適なレーザビーム経路をガルバノスキャンエリア全体で
選択することができる。
る際には、ガルバノスキャンエリアの中心から光学歪み
の少ない範囲を探し出し、深穴加工用のガルバノスキャ
ンエリアとして加工を行い、更に、この深穴加工用のガ
ルバノスキャンエリアをなるべく広く取るために高精度
なfθレンズに作り替えたり、または手間をかけて厳し
く光軸合せを行わなければならなかったものを、請求項
1ないし5の発明によれば、光学歪みの少ない部分を容
易に深穴加工用のガルバノスキャンエリアとすることが
可能であり、ましてや高精度なfθレンズに作り替えた
り、または手間をかけて厳しく光軸合せを行わなくて
も、オフセット制御により深穴加工に最適なガルバノス
キャンエリアを容易に設定することができる。
構成図
発明部分の詳細図
構成図
発明部分の詳細図
発明部分の詳細図
構成図
制御ブロック図
制御ブロック図
細図
説明図
関係図
Claims (5)
- 【請求項1】 レーザ光を出力するレーザ発振器と、レ
ーザ光により加工されるワークを載置し、移動可能とし
た加工テーブルと、レーザ発振器とワークの間に配置さ
れるfθレンズと、レーザ発振器とfθレンズの間に配
置され角度を可変としたガルバノミラーと、前記ガルバ
ノミラーの角度を可変とする駆動手段と、前記駆動手段
の制御を行う制御手段とを備え、前記制御手段に、レー
ザ光を所望の位置に位置決めするために前記ガルバノミ
ラーの角度を変える駆動指令を前記駆動手段に出力する
ガルバノ制御部と、レーザ光の位置に更にオフセットを
加えるための駆動指令を出力し、前記ガルバノ制御部の
出力に加えるオフセット制御部を有したレーザ加工機。 - 【請求項2】 制御手段がガルバノミラーの駆動角度に
加えるオフセット値に応じて加工テーブルの移動にオフ
セット値を加える請求項1記載のレーザ加工機。 - 【請求項3】 レーザ光を出力するレーザ発振器と、レ
ーザ光により加工されるワークを載置し、移動可能とし
た加工テーブルと、レーザ発振器とワークの間に配置さ
れるfθレンズと、レーザ発振器とfθレンズの間に配
置され、角度を可変としたガルバノミラーとを備え、前
記fθレンズの位置をワークに対して平行方向に変える
移動手段と、オフセット制御時に前記移動手段を制御
し、fθレンズの移動値にオフセット値を加える制御手
段を設けたレーザ加工機。 - 【請求項4】 レーザ発振器から出力されたレーザ光を
ガルバノミラー、fθレンズを介してワークに導き加工
するレーザ加工法であって、(a)少なくともワークの
加工位置を設定するステップと、(b)オフセット加工
を行なわないか、オフセット加工を行なうか判定するス
テップと、(c)オフセット加工を行なわないと判定さ
れた場合に、ガルバノミラーの角度を変えてワークの加
工位置にレーザ光を導くステップと、(d)オフセット
加工を行なうと判定された場合に、オフセット加工を行
なわない時のガルバノミラーの角度にオフセット値を加
え、かつ、ワークを載置した加工テーブルをオフセット
値に対応させて移動し、ワークの加工位置にレーザ光を
導くステップとを有するレーザ加工方法。 - 【請求項5】 レーザ発振器から出力されたレーザ光を
ガルバノミラー、fθレンズを介してワークに導き加工
するレーザ加工方法であって、(a)少なくともワーク
の加工位置を設定するステップと、(b)オフセット加
工を行なわないか、オフセット加工を行なうか判定する
ステップと、(c)オフセット加工を行なわないと判定
された場合は、ガルバノミラーの角度を変えてワークの
加工位置にレーザ光を導くステップと、(d)オフセッ
ト加工を行なうと判定された場合は、ガルバノミラーの
角度を変えてワークの加工位置にレーザ光を導く際に、
fθレンズをワークに対して平行方向に移動させるステ
ップとを有するレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000015298A JP3491591B2 (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | レーザ加工機および加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000015298A JP3491591B2 (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | レーザ加工機および加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001205467A JP2001205467A (ja) | 2001-07-31 |
JP3491591B2 true JP3491591B2 (ja) | 2004-01-26 |
Family
ID=18542619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000015298A Expired - Fee Related JP3491591B2 (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | レーザ加工機および加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3491591B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101292267B1 (ko) | 2011-10-04 | 2013-08-01 | (주)제이콥스 | 레이저 커팅기 |
WO2015046926A1 (ko) * | 2013-09-30 | 2015-04-02 | 주식회사 이오테크닉스 | 다중 위치 제어를 이용한 연속적 레이저 가공 방법 및 이를 적용하는 시스템 |
KR101648565B1 (ko) * | 2013-09-30 | 2016-08-16 | 주식회사 이오테크닉스 | 다중 위치 제어를 이용한 연속적 레이저 가공 방법 및 이를 적용하는 시스템 |
CN110139727B (zh) * | 2016-12-30 | 2022-04-05 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于延长镭射处理设备中的光学器件生命期的方法和*** |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3233080B2 (ja) * | 1997-10-01 | 2001-11-26 | 松下電器産業株式会社 | レーザ加工における補正情報の取得方法およびレーザ照射位置の補正方法 |
DE19782307B4 (de) * | 1997-12-26 | 2006-11-30 | Mitsubishi Denki K.K. | Laserbearbeitungsgerät |
-
2000
- 2000-01-25 JP JP2000015298A patent/JP3491591B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001205467A (ja) | 2001-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11420288B2 (en) | Laser machining systems and methods | |
US10175684B2 (en) | Laser processing robot system and control method of laser processing robot system | |
JP5808267B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP6795565B2 (ja) | レーザ加工システム | |
JPH10323785A (ja) | レーザ加工装置 | |
CN111940910A (zh) | 激光加工装置、激光加工方法以及修正数据生成方法 | |
JPH10249566A (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
JPH07236987A (ja) | レーザ切断方法及びその装置 | |
JP2009056474A (ja) | レーザ加工装置及び加工方法 | |
KR101722916B1 (ko) | 레이저 스캐너 기반 5축 표면 연속 가공 장치 및 그 제어 방법 | |
WO1994003302A1 (en) | Photo-scanning type laser machine | |
JP3491591B2 (ja) | レーザ加工機および加工方法 | |
JP6910086B1 (ja) | レーザ加工装置、レーザ加工システム、ローテータユニット装置、レーザ加工方法、及び、プローブカードの生産方法 | |
KR20210136946A (ko) | 레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 방법 | |
JP3682295B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2005262219A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ描画方法 | |
JP2007054853A (ja) | レーザ加工装置及び加工方法 | |
JP7285465B2 (ja) | レーザ加工装置、レーザ加工方法、および補正データ生成方法 | |
JPH11267873A (ja) | レーザ光の走査光学系及びレーザ加工装置 | |
JPH08141769A (ja) | レーザ加工装置 | |
US20030222143A1 (en) | Precision laser scan head | |
JP2823750B2 (ja) | レーザマーキング装置 | |
JP2001334380A (ja) | レーザ加工方法及びその装置 | |
KR102432388B1 (ko) | 스캐너 및 스테이지를 연동한 보정방법 | |
JP3620484B2 (ja) | レーザ加工装置およびその制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131114 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |