JP3488127B2 - 微小ワーク片の認識方法及びそれを用いたピックアップ装置 - Google Patents
微小ワーク片の認識方法及びそれを用いたピックアップ装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、微小ワーク片の
認識方法に関し、例えば半導体の製造工程であるペレッ
トマウント工程で、半導体ウェーハから分割された多数
のペレットを認識する方法及びピックアップ装置に関す
る。
認識方法に関し、例えば半導体の製造工程であるペレッ
トマウント工程で、半導体ウェーハから分割された多数
のペレットを認識する方法及びピックアップ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】 半導体の製造工程であるペレットマウ
ント工程では、半導体ウェーハ（以後ウェーハと呼ぶ）
を格子状に分割した多数の半導体ペレット（以後ペレッ
トと呼ぶ）を順次ピックアップ後、所定のポジションま
で移送して、リードフレーム上のマウント位置に載置す
る。
ント工程では、半導体ウェーハ（以後ウェーハと呼ぶ）
を格子状に分割した多数の半導体ペレット（以後ペレッ
トと呼ぶ）を順次ピックアップ後、所定のポジションま
で移送して、リードフレーム上のマウント位置に載置す
る。
【０００３】この種の認識方法及びピックアップ装置と
しては、特開平０９−０１７８４１号公報等に開示され
た技術があるが、上記ペレット１のピックアップ作業に
際しては、図4、図５に示すように、粘着シート３上で
格子状に分割して、各ペレット１が近接離隔されたウェ
ーハ２をウェーハリング４上にセットし、ウェーハリン
グ４ごとＸＹテーブル１２上に位置決め載置される。ウ
ェーハ２の載置については、ウェーハリング４の中心が
ＸＹテーブル１２のＸ・Ｙ座標上の定点にくるようにＸ
Ｙテーブル１２上へ位置決め載置される。
しては、特開平０９−０１７８４１号公報等に開示され
た技術があるが、上記ペレット１のピックアップ作業に
際しては、図4、図５に示すように、粘着シート３上で
格子状に分割して、各ペレット１が近接離隔されたウェ
ーハ２をウェーハリング４上にセットし、ウェーハリン
グ４ごとＸＹテーブル１２上に位置決め載置される。ウ
ェーハ２の載置については、ウェーハリング４の中心が
ＸＹテーブル１２のＸ・Ｙ座標上の定点にくるようにＸ
Ｙテーブル１２上へ位置決め載置される。
【０００４】次に、ウェーハ２上の多数のペレット１
を、予め固定値として設定したペレット１間距離に基づ
き駆動制御部１１で、図４中矢印で示すようにＸＹテー
ブル１２をピッチ移動させながら走査し、認識対象とす
る１つのペレット１をピックアップポジションに配置す
ると共に、カメラ８で撮像し、その撮像により得られた
映像信号を画像処理部９で画像処理する。この画像処理
は、映像信号を画像データとして画像記憶部１０に記憶
すると共に、そのデータに基づいてペレット１の形状の
良否及び位置を画像認識する。ピックアップポジション
に位置決めされた良品のペレット１ａは、コレット７に
よりピックアップされる。ピックアップされた良品のペ
レット１ａはリードフレーム１３上のマウント位置に載
置される。
を、予め固定値として設定したペレット１間距離に基づ
き駆動制御部１１で、図４中矢印で示すようにＸＹテー
ブル１２をピッチ移動させながら走査し、認識対象とす
る１つのペレット１をピックアップポジションに配置す
ると共に、カメラ８で撮像し、その撮像により得られた
映像信号を画像処理部９で画像処理する。この画像処理
は、映像信号を画像データとして画像記憶部１０に記憶
すると共に、そのデータに基づいてペレット１の形状の
良否及び位置を画像認識する。ピックアップポジション
に位置決めされた良品のペレット１ａは、コレット７に
よりピックアップされる。ピックアップされた良品のペ
レット１ａはリードフレーム１３上のマウント位置に載
置される。
【０００５】上記した走査エリアは、ウェーハ２より大
きな、所定の半径をもった円１５（２点鎖線）であり、
上記エリア内で、ウェーハ２の上端側から開始しＸ方向
への走査が完了すると、その方向をＹ方向へ変更して、
次列で上述とは逆方向へ走査するパターンでウェーハ２
全体を走査し、各ペレット１を画像認識していく。全て
のペレット１が画像認識され、良品のペレット１ａが全
てマウントされたら、当ウェーハ２はウェーハリング４
ごと取り除かれ、次のウェーハ２がウェーハリング４ご
とＸＹテーブル１２上に位置決め載置され、同様の、ペ
レット１のピックアップ作業が繰り返される。
きな、所定の半径をもった円１５（２点鎖線）であり、
上記エリア内で、ウェーハ２の上端側から開始しＸ方向
への走査が完了すると、その方向をＹ方向へ変更して、
次列で上述とは逆方向へ走査するパターンでウェーハ２
全体を走査し、各ペレット１を画像認識していく。全て
のペレット１が画像認識され、良品のペレット１ａが全
てマウントされたら、当ウェーハ２はウェーハリング４
ごと取り除かれ、次のウェーハ２がウェーハリング４ご
とＸＹテーブル１２上に位置決め載置され、同様の、ペ
レット１のピックアップ作業が繰り返される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 ところで、従来のペ
レットマウント工程では、粘着シート上で格子状に分割
されたウェーハをウェーハリングに載置する際、ウェー
ハリング上の中央にウェーハが載置されるとは限らなか
った。また、載置の後、上記各ペレットを確実に離隔す
るために、粘着シートがウェーハリングの外周方向に引
き伸ばされる際に、上記ウェーハがウェーハリングの中
心から離心する場合も多かった。
レットマウント工程では、粘着シート上で格子状に分割
されたウェーハをウェーハリングに載置する際、ウェー
ハリング上の中央にウェーハが載置されるとは限らなか
った。また、載置の後、上記各ペレットを確実に離隔す
るために、粘着シートがウェーハリングの外周方向に引
き伸ばされる際に、上記ウェーハがウェーハリングの中
心から離心する場合も多かった。
【０００７】従って、ウェーハは通常円形であるため、
上記離心を考慮して走査エリアをウェーハより大き目の
円に設定しておく必要がある。ところが、走査エリア内
でペレットが存在しない領域が増えることになり、その
領域も走査するため画像認識に無駄な時間がかかるとい
う問題があった。
上記離心を考慮して走査エリアをウェーハより大き目の
円に設定しておく必要がある。ところが、走査エリア内
でペレットが存在しない領域が増えることになり、その
領域も走査するため画像認識に無駄な時間がかかるとい
う問題があった。
【０００８】また通常、ウェーハは円形であるために、
その外周に位置するペレットは、矩形状ではない形状の
不良品（以後非成形ペレットと呼ぶ）が大半であるが、
従来の走査エリアは、ウェーハ外周の非成形ペレットま
で完全に包含する無駄なエリアであり、常に画像認識に
多くの処理時間を要していた。
その外周に位置するペレットは、矩形状ではない形状の
不良品（以後非成形ペレットと呼ぶ）が大半であるが、
従来の走査エリアは、ウェーハ外周の非成形ペレットま
で完全に包含する無駄なエリアであり、常に画像認識に
多くの処理時間を要していた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】 本発明は、ウェーハ内
に整列配置された多数の微小ワーク片をピッチ送りしな
がら画像認識する方法であって、ウェーハを順次取り替
えて、その中の微小ワーク片を画像認識するにあたり、
初回の画像認識で得られた良品の微小ワーク片（以後良
品微小ワーク片と呼ぶ）の走査エリアを、次回以降のウ
ェーハの走査エリアとする認識方法において、初回の画
像認識で得られるウェーハの外周に位置する矩形状では
ない形状の不良微小ワーク片を除いた、良品微小ワーク
片がその中に存在する外周の内側に、微小ワーク片が欠
落したり異形状の微小ワーク片があっても、上記外周の
良品微小ワーク片の内側全てを次回以降のウェーハの走
査エリアとすることを特徴とする微小ワーク片の認識方
法であることを特徴とする。
に整列配置された多数の微小ワーク片をピッチ送りしな
がら画像認識する方法であって、ウェーハを順次取り替
えて、その中の微小ワーク片を画像認識するにあたり、
初回の画像認識で得られた良品の微小ワーク片（以後良
品微小ワーク片と呼ぶ）の走査エリアを、次回以降のウ
ェーハの走査エリアとする認識方法において、初回の画
像認識で得られるウェーハの外周に位置する矩形状では
ない形状の不良微小ワーク片を除いた、良品微小ワーク
片がその中に存在する外周の内側に、微小ワーク片が欠
落したり異形状の微小ワーク片があっても、上記外周の
良品微小ワーク片の内側全てを次回以降のウェーハの走
査エリアとすることを特徴とする微小ワーク片の認識方
法であることを特徴とする。
【００１０】
【００１１】更に、本発明のピックアップ装置は、ウェ
ーハ内のＸＹ平面内で縦横方向に整列配置された多数の
微小ワーク片を、ピッチ送りしながら画像認識する方法
であって、ウェーハを順次取り替えて、その中の微小ワ
ーク片を画像認識するにあたり、初回の画像認識で得ら
れた良品の微小ワーク片の走査エリアを、次回以降のウ
ェーハの走査エリアとする微小ワーク片の認識方法にお
いて、初回の画像認識で得られるウェーハの外周に位置
する矩形状ではない形状の不良微小ワーク片を除いた、
良品微小ワーク片がその中に存在する外周の内側に、微
小ワーク片が欠落したり異形状の微小ワーク片があって
も、上記外周の良品微小ワーク片の内側全てを次回以降
のウェーハの走査エリアとする認識方法を具備したこと
を特徴としている。
ーハ内のＸＹ平面内で縦横方向に整列配置された多数の
微小ワーク片を、ピッチ送りしながら画像認識する方法
であって、ウェーハを順次取り替えて、その中の微小ワ
ーク片を画像認識するにあたり、初回の画像認識で得ら
れた良品の微小ワーク片の走査エリアを、次回以降のウ
ェーハの走査エリアとする微小ワーク片の認識方法にお
いて、初回の画像認識で得られるウェーハの外周に位置
する矩形状ではない形状の不良微小ワーク片を除いた、
良品微小ワーク片がその中に存在する外周の内側に、微
小ワーク片が欠落したり異形状の微小ワーク片があって
も、上記外周の良品微小ワーク片の内側全てを次回以降
のウェーハの走査エリアとする認識方法を具備したこと
を特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】 以下図面を使って、本発明の実
施の形態を説明する。尚、従来と同じ構成部品ならびに
構成部分については、従来の説明図と同一符号を用い
る。まず、ウェーハサイズ等が変更され、機種変更等セ
ッティング作業が終了した後の初回の画像認識は、従来
と同様図４に示すように、走査エリアを、ウェーハ２よ
り大きな円となる所定の半径をもった円１５として、上
記エリア内で、ウェーハ２の上端側から開始し、Ｘ方向
への走査が完了するとその方向をＹ方向へ変更して、次
列で上列とは逆方向へ走査するパターンでウェーハ２全
体を走査し、各ペレット１を画像認識していく。
施の形態を説明する。尚、従来と同じ構成部品ならびに
構成部分については、従来の説明図と同一符号を用い
る。まず、ウェーハサイズ等が変更され、機種変更等セ
ッティング作業が終了した後の初回の画像認識は、従来
と同様図４に示すように、走査エリアを、ウェーハ２よ
り大きな円となる所定の半径をもった円１５として、上
記エリア内で、ウェーハ２の上端側から開始し、Ｘ方向
への走査が完了するとその方向をＹ方向へ変更して、次
列で上列とは逆方向へ走査するパターンでウェーハ２全
体を走査し、各ペレット１を画像認識していく。
【００１３】ここで、図２に示すように、上記初回のウ
ェーハ２を画像認識する際に、ウェーハ２の外周に位置
する周辺部に円弧状部を含む非成形ペレット２１を除い
た、良品ペレット１ａ（この良品ペレット１ａの中に
は、本来は矩形状となるべきペレットが、たまたまダイ
シングやブレーキング時に周辺部の一部が欠けたものが
あった場合は、このペレットを含む）がその中に存在す
る外周を、良品ペレット１ａからなる多角形２０として
画像記憶部１０に記憶しておく。
ェーハ２を画像認識する際に、ウェーハ２の外周に位置
する周辺部に円弧状部を含む非成形ペレット２１を除い
た、良品ペレット１ａ（この良品ペレット１ａの中に
は、本来は矩形状となるべきペレットが、たまたまダイ
シングやブレーキング時に周辺部の一部が欠けたものが
あった場合は、このペレットを含む）がその中に存在す
る外周を、良品ペレット１ａからなる多角形２０として
画像記憶部１０に記憶しておく。
【００１４】なお、上記多角形２０は、図２に示すごと
く、ウェーハ２の中心付近を中心とする点対称であり、
Ａ列とＢ列を例にとると、Ａ列にはＸ方向に良品ペレッ
ト１ａが２個配置されるが、Ｂ列に移ると良品ペレット
１ａの数は６個となり、両端で２個ずつ増えている。
く、ウェーハ２の中心付近を中心とする点対称であり、
Ａ列とＢ列を例にとると、Ａ列にはＸ方向に良品ペレッ
ト１ａが２個配置されるが、Ｂ列に移ると良品ペレット
１ａの数は６個となり、両端で２個ずつ増えている。
【００１５】次回以降のウェーハ２の画像認識において
は、初回と同じ走査エリアを、ウェーハ２の上端側から
開始し、Ｘ方向への走査が完了すると、その方向をＹ方
向へ変更して、次列で上列とは逆方向へ走査する、初回
と同じパターンで順次ウェーハ２を走査し、ピックアッ
プ動作と同時に良品ペレット１ａの配置を画像記憶部１
０に記憶していく。この過程で、Ｘ方向の或る列中に存
在する良品ペレット１ａの数が変わったことがわかる部
分の走査が終了した時点で、以下の比較を行なう。
は、初回と同じ走査エリアを、ウェーハ２の上端側から
開始し、Ｘ方向への走査が完了すると、その方向をＹ方
向へ変更して、次列で上列とは逆方向へ走査する、初回
と同じパターンで順次ウェーハ２を走査し、ピックアッ
プ動作と同時に良品ペレット１ａの配置を画像記憶部１
０に記憶していく。この過程で、Ｘ方向の或る列中に存
在する良品ペレット１ａの数が変わったことがわかる部
分の走査が終了した時点で、以下の比較を行なう。
【００１６】上記連続した２列の良品ペレット１ａの配
置を、初回の画像認識で得られた前述の多角形２０と比
較すると、上記配置は上列から次列にかけて良品ペレッ
ト１ａの数が増えており、上列は良品ペレット１ａが２
個で、次列では良品ペレット１ａが６個である。なおか
つ次列では、その両端で２個ずつ増えていることから、
上記連続した２列は、初回の画像認識で得られた前述の
多角形２０に当てはめると、Ａ列からＢ列に至る部分の
他にはなく、Ａ列とＢ列であると確定できる。
置を、初回の画像認識で得られた前述の多角形２０と比
較すると、上記配置は上列から次列にかけて良品ペレッ
ト１ａの数が増えており、上列は良品ペレット１ａが２
個で、次列では良品ペレット１ａが６個である。なおか
つ次列では、その両端で２個ずつ増えていることから、
上記連続した２列は、初回の画像認識で得られた前述の
多角形２０に当てはめると、Ａ列からＢ列に至る部分の
他にはなく、Ａ列とＢ列であると確定できる。
【００１７】即ち、次回以降の画像認識においては、ウ
ェーハ２の上端側から開始し、Ｘ方向への走査が完了す
ると、その方向をＹ方向へ変更して、次列で上述とは逆
方向へ走査した時、Ｘ方向の同一列内に存在する良品ペ
レット１ａの数が上記の配置で増えた列は、図２に示す
初回の画像認識で得られた前述の多角形２０のＢ列であ
ることがわかる。そのため、次列以降の走査において
は、そのエリアを、今まで走査してきた、ウェーハ２よ
り大きな円となる所定の半径をもった円１５とせずに、
初回の画像認識で得られた前述の多角形２０とする。
ェーハ２の上端側から開始し、Ｘ方向への走査が完了す
ると、その方向をＹ方向へ変更して、次列で上述とは逆
方向へ走査した時、Ｘ方向の同一列内に存在する良品ペ
レット１ａの数が上記の配置で増えた列は、図２に示す
初回の画像認識で得られた前述の多角形２０のＢ列であ
ることがわかる。そのため、次列以降の走査において
は、そのエリアを、今まで走査してきた、ウェーハ２よ
り大きな円となる所定の半径をもった円１５とせずに、
初回の画像認識で得られた前述の多角形２０とする。
【００１８】それは、初回の画像認識で得られた前述の
多角形２０を、次回のＡ列とＢ列部分の上記走査が終わ
った２列の良品ペレット１ａ部分に、Ｘ・Ｙ方向及び回
転方向を合わせて重ねることにより可能にでき、Ｂ列の
次列以降の走査のパターンは、図１中矢印で示すごとく
となる。
多角形２０を、次回のＡ列とＢ列部分の上記走査が終わ
った２列の良品ペレット１ａ部分に、Ｘ・Ｙ方向及び回
転方向を合わせて重ねることにより可能にでき、Ｂ列の
次列以降の走査のパターンは、図１中矢印で示すごとく
となる。
【００１９】
【実施例】次に、図３を用いて、仮に上記初回の画像認
識で得られる良品ペレット１ａの走査エリアを形成する
外周の良品ペレット１ａを除く内側において、ペレット
１が一部欠落したりカケ割れ等異形状のペレット２２が
ある場合の走査方法を示す。
識で得られる良品ペレット１ａの走査エリアを形成する
外周の良品ペレット１ａを除く内側において、ペレット
１が一部欠落したりカケ割れ等異形状のペレット２２が
ある場合の走査方法を示す。
【００２０】初回の画像認識においては、ウェーハ２よ
り大きな、所定の半径をもった円１５を走査エリアとす
る、ペレットの欠落がなく良品ペレット１ａで構成され
た場合の初回と同様の方法で、ウェーハ２全体を走査す
る。ここで得られた良品ペレット１ａからなる形状は、
その中にペレットが一部欠落していたり、異形状のペレ
ット２２がある。ところが、外周は良品ペレット１ａで
構成されるため、外周の内側全てを次回以降のウェーハ
２の走査エリアとすることで、その走査エリアは、ペレ
ットの欠落がなく良品ペレット１ａで構成された場合の
初回ウェーハ２の画像認識で得られる良品ペレット１ａ
からなる多角形２０と同じものとなる。
り大きな、所定の半径をもった円１５を走査エリアとす
る、ペレットの欠落がなく良品ペレット１ａで構成され
た場合の初回と同様の方法で、ウェーハ２全体を走査す
る。ここで得られた良品ペレット１ａからなる形状は、
その中にペレットが一部欠落していたり、異形状のペレ
ット２２がある。ところが、外周は良品ペレット１ａで
構成されるため、外周の内側全てを次回以降のウェーハ
２の走査エリアとすることで、その走査エリアは、ペレ
ットの欠落がなく良品ペレット１ａで構成された場合の
初回ウェーハ２の画像認識で得られる良品ペレット１ａ
からなる多角形２０と同じものとなる。
【００２１】従って、次回以降のウェーハ２の画像認識
においては、初回と同じ方法で画像認識を開始し、Ｘ方
向の同一列内に存在する良品ペレット１ａの数が前列よ
り増えたことで、その列が上記多角形２０のＢ列である
ことがわかった時点で、次列以降の走査においてはその
エリアを、上記した、初回のウェーハ２の画像認識で得
られた良品ペレット１ａの外周の内側全てに変更する。
においては、初回と同じ方法で画像認識を開始し、Ｘ方
向の同一列内に存在する良品ペレット１ａの数が前列よ
り増えたことで、その列が上記多角形２０のＢ列である
ことがわかった時点で、次列以降の走査においてはその
エリアを、上記した、初回のウェーハ２の画像認識で得
られた良品ペレット１ａの外周の内側全てに変更する。
【００２２】また、本例では、半導体ウェーハから分割
されたペレットをもとに説明したが、コンデンサチップ
等、ウェーハ内のＸＹ平面内で縦横方向に整列配置され
た他の微小ワーク片の認識方法においても、もちろん機
能を発揮する。
されたペレットをもとに説明したが、コンデンサチップ
等、ウェーハ内のＸＹ平面内で縦横方向に整列配置され
た他の微小ワーク片の認識方法においても、もちろん機
能を発揮する。
【００２３】同時に、上記認識方法を有するピックアッ
プ装置を用いれば、図５に示すようなコレット、カメラ
等従来方法と同様の構成であっても、前述したごとく、
ウェーハ外周の非成形ペレットの画像認識を大幅に削減
でき、また、範囲を小さく限定でき無駄なエリアを走査
する必要がなくなるため、認識作業時間ならびにペレッ
トマウント時間が大幅に節約できる。
プ装置を用いれば、図５に示すようなコレット、カメラ
等従来方法と同様の構成であっても、前述したごとく、
ウェーハ外周の非成形ペレットの画像認識を大幅に削減
でき、また、範囲を小さく限定でき無駄なエリアを走査
する必要がなくなるため、認識作業時間ならびにペレッ
トマウント時間が大幅に節約できる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の認識方法
は以下の効果を発揮する。ウェーハ内ペレットを順次認
識する場合、初回の画像認識で得られた良品ペレットの
走査エリアを、次回以降のウェーハの走査エリアとする
認識方法とし、次回以降の画像認識においては、ウェー
ハ外周の非成形ペレットの画像認識を大幅に削減でき、
また、範囲を小さく限定でき無駄なエリアを走査する必
要がなくなるため、認識作業時間ならびにペレットマウ
ント時間が大幅に節約できる。
は以下の効果を発揮する。ウェーハ内ペレットを順次認
識する場合、初回の画像認識で得られた良品ペレットの
走査エリアを、次回以降のウェーハの走査エリアとする
認識方法とし、次回以降の画像認識においては、ウェー
ハ外周の非成形ペレットの画像認識を大幅に削減でき、
また、範囲を小さく限定でき無駄なエリアを走査する必
要がなくなるため、認識作業時間ならびにペレットマウ
ント時間が大幅に節約できる。
【００２５】更に、本発明は上記初回の画像認識で得ら
れる良品ペレットの走査エリアを形成する外周の良品ペ
レットを除く内側において、ペレットが欠落したり異形
状のペレットがある場合でも、上記外周の良品ペレット
内側全てを次回以降の走査エリアとする認識方法とする
ため、次回以降の画像認識においては、ウェーハ外周の
非成形ペレットの画像認識を大幅に削減でき、また、範
囲を小さく限定でき無駄なエリアを走査する必要がなく
なるため、認識作業時間ならびにペレットマウント時間
が大幅に節約できる。
れる良品ペレットの走査エリアを形成する外周の良品ペ
レットを除く内側において、ペレットが欠落したり異形
状のペレットがある場合でも、上記外周の良品ペレット
内側全てを次回以降の走査エリアとする認識方法とする
ため、次回以降の画像認識においては、ウェーハ外周の
非成形ペレットの画像認識を大幅に削減でき、また、範
囲を小さく限定でき無駄なエリアを走査する必要がなく
なるため、認識作業時間ならびにペレットマウント時間
が大幅に節約できる。
【図１】 本発明の走査方法を示すウェーハの平面図。
【図２】 本発明で、初回のウェーハの画像認識で得ら
れる、良品ペレットからなる多角形を示すウェーハの平
面図。
れる、良品ペレットからなる多角形を示すウェーハの平
面図。
【図３】 本発明で、次回以降のウェーハ内に、ペレッ
トが一部欠落したり異形状のペレットがある場合の走査
方法を示すウェーハの平面図。
トが一部欠落したり異形状のペレットがある場合の走査
方法を示すウェーハの平面図。
【図４】 従来の走査方法を示すウェーハの平面図。
【図５】 ペレットマウントの構成を表わす概念図。
１ａ 良品ペレット
２ ウェーハ
３ 粘着シート
４ ウェーハリング
１５ 所定の半径をもった円
２０ 多角形
２１ 非成形ペレット
２２ 異形状のペレット
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/52
H01L 21/66
G06T 1/00
G06T 7/00
Claims (2)
- 【請求項１】ウェーハ内のＸＹ平面内で縦横方向に整列
配置された多数の微小ワーク片を、ピッチ送りしながら
画像認識する方法であって、ウェーハを順次取り替え
て、その中の微小ワーク片を画像認識するにあたり、初
回の画像認識で得られた良品の微小ワーク片の走査エリ
アを、次回以降のウェーハにおける走査エリアとする微
小ワーク片の認識方法において、初回の画像認識で得ら
れるウェーハの外周に位置する矩形状ではない形状の不
良微小ワーク片を除いた、良品微小ワーク片がその中に
存在する外周の内側に、微小ワーク片が欠落したり異形
状の微小ワーク片があっても、上記外周の良品微小ワー
ク片の内側全てを次回以降のウェーハの走査エリアとす
ることを特徴とする微小ワーク片の認識方法。 - 【請求項２】ウェーハ内のＸＹ平面内で縦横方向に整列
配置された多数の微小ワーク片を、ピッチ送りしながら
画像認識する方法であって、ウェーハを順次取り替え
て、その中の微小ワーク片を画像認識するにあたり、初
回の画像認識で得られた良品の微小ワーク片の走査エリ
アを、次回以降のウェーハにおける走査エリアとする微
小ワーク片の認識方法において、初回の画像認識で得ら
れるウェーハの外周に位置する矩形状ではない形状の不
良微小ワーク片を除いた、良品微小ワーク片がその中に
存在する外周の内側に、微小ワーク片が欠落したり異形
状の微小ワーク片があっても、上記外周の良品微小ワー
ク片の内側全てを次回以降のウェーハの走査エリアとす
る認識方法を具備したことを特徴とするピックアップ装
置。
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