JP3472646B2 - 流体切換装置 - Google Patents
流体切換装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造設備のガス供
給装置等に於いて利用されるものであり、簡単な構成で
もって迅速に、しかも供給流体同士の混合を生ずること
なしにその切換えを行なえるようにした流体切換装置に
関するものである。
給装置等に於いて利用されるものであり、簡単な構成で
もって迅速に、しかも供給流体同士の混合を生ずること
なしにその切換えを行なえるようにした流体切換装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は従前の常時開放型空気圧駆動式バ
ルブＡと常時閉鎖型空気圧駆動式バルブＢとから構成し
た流体切換装置の一例を示すものであり、操作管路Ｆへ
空気Ｈが供給されていない場合には、入口Ｃから流入し
たガスＧ1 はバルブＡを通して出口Ｅから流出して行
く。また、電磁弁Ｉを開放して空気供給源Ｊから空気Ｈ
を操作管路Ｆへ供給すると、両駆動装置Ａ′、Ｂ′が駆
動され、バルブＡが閉に、またバルブＢが開に夫々切換
れることにより、入口ＤからのガスＧ2 が出口Ｅより流
出することになる。
ルブＡと常時閉鎖型空気圧駆動式バルブＢとから構成し
た流体切換装置の一例を示すものであり、操作管路Ｆへ
空気Ｈが供給されていない場合には、入口Ｃから流入し
たガスＧ1 はバルブＡを通して出口Ｅから流出して行
く。また、電磁弁Ｉを開放して空気供給源Ｊから空気Ｈ
を操作管路Ｆへ供給すると、両駆動装置Ａ′、Ｂ′が駆
動され、バルブＡが閉に、またバルブＢが開に夫々切換
れることにより、入口ＤからのガスＧ2 が出口Ｅより流
出することになる。
【０００３】而して、上記図５の流体切換装置は、電磁
弁ＩのＯＮ−ＯＦＦ制御だけで簡単に供給流体をＧ1 か
らＧ2 に切換えることができ、優れた実用的効用を奏す
るものである。しかし、電磁弁Ｉの開放時に空気Ｈが両
駆動装置Ａ′、Ｂ′へ同時に供給されるため、必然的に
両方のバルブＡ、Ｂが開放状態となる瞬間が存在するこ
とになり、結果として入口Ｃ及び入口Ｄと出口Ｅとが連
通し、ガスＧ1 とガスＧ2 の混合を生ずることになる。
弁ＩのＯＮ−ＯＦＦ制御だけで簡単に供給流体をＧ1 か
らＧ2 に切換えることができ、優れた実用的効用を奏す
るものである。しかし、電磁弁Ｉの開放時に空気Ｈが両
駆動装置Ａ′、Ｂ′へ同時に供給されるため、必然的に
両方のバルブＡ、Ｂが開放状態となる瞬間が存在するこ
とになり、結果として入口Ｃ及び入口Ｄと出口Ｅとが連
通し、ガスＧ1 とガスＧ2 の混合を生ずることになる。
【０００４】一方、上述の如きガスＧ1 とガスＧ2 との
混合の問題を避けるため、半導体製造装置のガス供給装
置等では、図６に示す如く駆動用流体制御弁Ｋから各流
体切換装置Ｖ1 、Ｖ2 、Ｖ3 へ二本の操作管路Ｆ1 、Ｆ
2 を配管し、バルブＡ、Ｂの駆動装置Ａ′、Ｂ′へ夫々
別に駆動用空気Ｈ1 、Ｈ2 を供給すると共に、両空気Ｈ
1 、Ｈ2 の供給に時間差を設けることにより、両バルブ
Ａ、Ｂが同時に開放状態となるのを防止するようにして
いる。尚、図６に於いて、Ｑはウエハーの成膜処理を行
なうプロセスチャンバー、Ｐ 1 及びＰ2 は真空ポンプで
ある。
混合の問題を避けるため、半導体製造装置のガス供給装
置等では、図６に示す如く駆動用流体制御弁Ｋから各流
体切換装置Ｖ1 、Ｖ2 、Ｖ3 へ二本の操作管路Ｆ1 、Ｆ
2 を配管し、バルブＡ、Ｂの駆動装置Ａ′、Ｂ′へ夫々
別に駆動用空気Ｈ1 、Ｈ2 を供給すると共に、両空気Ｈ
1 、Ｈ2 の供給に時間差を設けることにより、両バルブ
Ａ、Ｂが同時に開放状態となるのを防止するようにして
いる。尚、図６に於いて、Ｑはウエハーの成膜処理を行
なうプロセスチャンバー、Ｐ 1 及びＰ2 は真空ポンプで
ある。
【０００５】しかし、電磁弁Ｋ側に於いて両操作管路Ｆ
1 、Ｆ2 へ供給する空気Ｈ1 、Ｈ2の供給開始時間に時
間差を設けるためには、電磁弁Ｋに二組の弁機構と開弁
機構を必要とするうえ、開弁機構の作動に時間差を与え
るための遅延機構が別に必要となる。その結果、電磁弁
Ｋの構造が極めて複雑なものとなり、トラブルの発生頻
度が増加すると共に電磁弁Ｋのコストが高騰し、流体切
換装置の製造コストの引下げが図れないと云う問題があ
る。
1 、Ｆ2 へ供給する空気Ｈ1 、Ｈ2の供給開始時間に時
間差を設けるためには、電磁弁Ｋに二組の弁機構と開弁
機構を必要とするうえ、開弁機構の作動に時間差を与え
るための遅延機構が別に必要となる。その結果、電磁弁
Ｋの構造が極めて複雑なものとなり、トラブルの発生頻
度が増加すると共に電磁弁Ｋのコストが高騰し、流体切
換装置の製造コストの引下げが図れないと云う問題があ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従前の半導
体製造装置等の流体切換装置に於ける上述の如き問題、
即ち流体の切換操作時に供給流体の混合が生ずるのを完
全に避けるためには、流体切換装置の駆動エアー制御用
電磁弁の構造が複雑なものになり、トラブルが多発した
り、製造コストが上昇すると云う問題を解決せんとする
ものであり、極めて簡単な構成でもって、切換操作時に
於ける両供給流体の混合を確実に防止できるようにした
流体切換装置を提供するものである。
体製造装置等の流体切換装置に於ける上述の如き問題、
即ち流体の切換操作時に供給流体の混合が生ずるのを完
全に避けるためには、流体切換装置の駆動エアー制御用
電磁弁の構造が複雑なものになり、トラブルが多発した
り、製造コストが上昇すると云う問題を解決せんとする
ものであり、極めて簡単な構成でもって、切換操作時に
於ける両供給流体の混合を確実に防止できるようにした
流体切換装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、一方の流体Ｇ
1 の流体入口２４へ流体の入口側流通孔２が連通された
少なくとも一基の常時開放型流体圧駆動式バルブ１と，
他方の流体Ｇ 2 の流体入口２５へ流体の入口側流通孔６
が連通された少なくとも一基の常時閉鎖型流体圧駆動式
バルブ４と，前記常時開放型流体圧駆動式バルブ１の流
体の出口側流通孔３と前記常時閉鎖型流体圧駆動式バル
ブ４の流体の出口側流通孔５へ夫々連通する流体出口７
と，駆動用流体供給口２０と前記常時開放型流体圧駆動
式バルブ１の駆動装置８間を連通する管路に介挿され、
前記駆動装置８への流体の流通を許容する逆止弁１５
と，前記常時開放型流体圧駆動式バルブ１の駆動装置８
と常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ４の駆動装置１１間を
連通する管路に設けた流量調整用抵抗体１４と，前記常
時閉鎖型流体圧駆動式バルブ４の駆動装置１１の流体出
口と駆動用流体供給口２０間を連通する管路に介挿さ
れ、駆動用流体供給口２０から前記駆動装置１１への駆
動用流体２１の流通を阻止する逆止弁１６とから構成し
たことを発明の基本構成とするものである。
1 の流体入口２４へ流体の入口側流通孔２が連通された
少なくとも一基の常時開放型流体圧駆動式バルブ１と，
他方の流体Ｇ 2 の流体入口２５へ流体の入口側流通孔６
が連通された少なくとも一基の常時閉鎖型流体圧駆動式
バルブ４と，前記常時開放型流体圧駆動式バルブ１の流
体の出口側流通孔３と前記常時閉鎖型流体圧駆動式バル
ブ４の流体の出口側流通孔５へ夫々連通する流体出口７
と，駆動用流体供給口２０と前記常時開放型流体圧駆動
式バルブ１の駆動装置８間を連通する管路に介挿され、
前記駆動装置８への流体の流通を許容する逆止弁１５
と，前記常時開放型流体圧駆動式バルブ１の駆動装置８
と常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ４の駆動装置１１間を
連通する管路に設けた流量調整用抵抗体１４と，前記常
時閉鎖型流体圧駆動式バルブ４の駆動装置１１の流体出
口と駆動用流体供給口２０間を連通する管路に介挿さ
れ、駆動用流体供給口２０から前記駆動装置１１への駆
動用流体２１の流通を阻止する逆止弁１６とから構成し
たことを発明の基本構成とするものである。
【０００８】
【作用】作動用流体２１を供給することにより、先ずバ
ルブ１の駆動装置８が作動をしてバルブ１が閉鎖され、
その後流量調整用対向体１４を通して作動用流体２１が
バルブ４の駆動装置１１へ供給されてバルブ４が開放さ
れる。これにより、流体出口７からの流出流体が流体Ｇ
1 から流体Ｇ2 に切り換わる。 また、この状態から、
駆動用流体供給口２０側から操作管路内の駆動用流体２
１を排出することにより、先ずバルブ４の駆動装置１１
内の駆動用流体２１が排出されてバルブ４が閉鎖され
る。その後、引き続き調整用抵抗体１４を通してバルブ
１の駆動装置８内の作動用流体２１が排出され、バルブ
１が開放される。これにより、流体出口７から排出され
る流出流体が流体Ｇ2 から流体Ｇ1 に切り換わる。
ルブ１の駆動装置８が作動をしてバルブ１が閉鎖され、
その後流量調整用対向体１４を通して作動用流体２１が
バルブ４の駆動装置１１へ供給されてバルブ４が開放さ
れる。これにより、流体出口７からの流出流体が流体Ｇ
1 から流体Ｇ2 に切り換わる。 また、この状態から、
駆動用流体供給口２０側から操作管路内の駆動用流体２
１を排出することにより、先ずバルブ４の駆動装置１１
内の駆動用流体２１が排出されてバルブ４が閉鎖され
る。その後、引き続き調整用抵抗体１４を通してバルブ
１の駆動装置８内の作動用流体２１が排出され、バルブ
１が開放される。これにより、流体出口７から排出され
る流出流体が流体Ｇ2 から流体Ｇ1 に切り換わる。
【０００９】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１及び図２は本発明に係る流体切換装置の第１
実施例の基本構成を示すものであり、図１は駆動用流体
を供給して切換操作を行なう場合を、また、図２は駆動
用流体を除去して初期状態へ復帰させる場合を夫々示す
ものである。図１及び図２に於いて、１、４は流体圧駆
動型メタルダイヤフラム式バルブであり、前者のバルブ
１はノーマルオープン（常時開）型に、また後者のバル
ブ４はノーマルクローズ（常時閉）型に夫々形成されて
いる。
する。図１及び図２は本発明に係る流体切換装置の第１
実施例の基本構成を示すものであり、図１は駆動用流体
を供給して切換操作を行なう場合を、また、図２は駆動
用流体を除去して初期状態へ復帰させる場合を夫々示す
ものである。図１及び図２に於いて、１、４は流体圧駆
動型メタルダイヤフラム式バルブであり、前者のバルブ
１はノーマルオープン（常時開）型に、また後者のバル
ブ４はノーマルクローズ（常時閉）型に夫々形成されて
いる。
【００１０】また、図１及び図２に於いて、２、３はバ
ルブ１の流体流通孔、５、６はバルブ４の流体流通孔、
７は流体出口、８・１１は駆動装置、９及び１０は駆動
装置８の駆動用流体の入口及び出口、１２及び１３は駆
動装置１１の駆動用流体の入口及び出口、１５・１６は
逆止弁、１４は調整用抵抗体、１７・１８・１９は駆動
用流体管路、２０は駆動用流体供給口、２１は駆動用流
体、２２は三方電磁弁、２３は駆動用流体供給源であ
る。尚、前記駆動装置８・１１としてはシリンダー式駆
動装置やダイヤフラム式駆動装置、ベローズ式駆動装
置、ロータリー式駆動装置等が用いられ、また流量調整
用抵抗体としてはオリフィスや微流量調整弁等が用いら
れる。
ルブ１の流体流通孔、５、６はバルブ４の流体流通孔、
７は流体出口、８・１１は駆動装置、９及び１０は駆動
装置８の駆動用流体の入口及び出口、１２及び１３は駆
動装置１１の駆動用流体の入口及び出口、１５・１６は
逆止弁、１４は調整用抵抗体、１７・１８・１９は駆動
用流体管路、２０は駆動用流体供給口、２１は駆動用流
体、２２は三方電磁弁、２３は駆動用流体供給源であ
る。尚、前記駆動装置８・１１としてはシリンダー式駆
動装置やダイヤフラム式駆動装置、ベローズ式駆動装
置、ロータリー式駆動装置等が用いられ、また流量調整
用抵抗体としてはオリフィスや微流量調整弁等が用いら
れる。
【００１１】前記流体圧駆動式バルブ１、４は、ステン
レス鋼製等の金属薄板製ダイヤフラムを弁体とし、これ
を弁座に対して直接接・離させることにより流体通路を
開閉するようにしたメタルダイヤフラムバルブであり、
公知のものである。
レス鋼製等の金属薄板製ダイヤフラムを弁体とし、これ
を弁座に対して直接接・離させることにより流体通路を
開閉するようにしたメタルダイヤフラムバルブであり、
公知のものである。
【００１２】前記バルブ１は所謂常時開放型（ノーマル
オープン型）に構成されており、駆動装置（駆動用シリ
ンダ）８へ駆動用流体２１の圧力が加わらない場合に
は、スプリング弾性力により弁体が弁座から離隔され、
流体通路が開放される。また、駆動用流体２１の圧力が
加わると、スプリングの弾性力に抗して弁体が弁座側へ
押し付けられ、流体通路が閉鎖される。
オープン型）に構成されており、駆動装置（駆動用シリ
ンダ）８へ駆動用流体２１の圧力が加わらない場合に
は、スプリング弾性力により弁体が弁座から離隔され、
流体通路が開放される。また、駆動用流体２１の圧力が
加わると、スプリングの弾性力に抗して弁体が弁座側へ
押し付けられ、流体通路が閉鎖される。
【００１３】一方、前記バルブ４は所謂常時閉鎖型（ノ
ーマルクローズ型）に構成されており、駆動装置（駆動
用シリンダ）１１へ駆動用流体２１の圧力が加わらない
場合には、スプリングの弾性力により弁体が弁座へ押し
付けられて流体通路が閉鎖され、逆に駆動用流体２１の
圧力が加わると、スプリングの弾性力に抗して弁体が弁
座から引き離され、流体通路が開放される。尚、本実施
例ではバルブ１及びバルブ４として夫々独立した単体の
バルブを使用しているが、両バルブ１、４のバルブ本体
を共通の部材（ブロック体）に形成した所謂ブロック弁
としてもよいことは勿論である。
ーマルクローズ型）に構成されており、駆動装置（駆動
用シリンダ）１１へ駆動用流体２１の圧力が加わらない
場合には、スプリングの弾性力により弁体が弁座へ押し
付けられて流体通路が閉鎖され、逆に駆動用流体２１の
圧力が加わると、スプリングの弾性力に抗して弁体が弁
座から引き離され、流体通路が開放される。尚、本実施
例ではバルブ１及びバルブ４として夫々独立した単体の
バルブを使用しているが、両バルブ１、４のバルブ本体
を共通の部材（ブロック体）に形成した所謂ブロック弁
としてもよいことは勿論である。
【００１４】前記調整用抵抗体（オリフィス）１４は駆
動用流体２１の流量を調整し、バルブ１及びバルブ４間
の作動時間差を調整するものであり、公知のスリット式
オリフィスやニードルバルブ等が抵抗体１４として利用
される。
動用流体２１の流量を調整し、バルブ１及びバルブ４間
の作動時間差を調整するものであり、公知のスリット式
オリフィスやニードルバルブ等が抵抗体１４として利用
される。
【００１５】前記逆止弁１５、１６は如何なる構造のも
のであってもよく、駆動用流体２１の供給時又は駆動用
流体２１の排出時に、駆動用流体２１が流体供給口２０
→逆止弁１５→駆動装置８の入口９→出口１０→抵抗体
１４→駆動装置１１の入口１２→出口１３→逆止弁１６
の順に流通する駆動用流体通路１７、１８、１９が形成
されている。
のであってもよく、駆動用流体２１の供給時又は駆動用
流体２１の排出時に、駆動用流体２１が流体供給口２０
→逆止弁１５→駆動装置８の入口９→出口１０→抵抗体
１４→駆動装置１１の入口１２→出口１３→逆止弁１６
の順に流通する駆動用流体通路１７、１８、１９が形成
されている。
【００１６】次に、本発明の作動について説明する。図
１を参照して、先ず定常状態に於いては、バルブ１は開
及びバルブ４は閉の状態にあり、流体入口２４から流入
した流体Ｇ1 は流体出口７から流出している。この状態
で三方電磁弁２２が操作され、流体供給源２３から駆動
用流体供給口２０を経て駆動用流体２１（例えば空気）
が供給されると、流体圧によって逆止弁１５が開放さ
れ、管路１７を通して供給された流体圧によりバルブ１
の駆動装置８が作動され、バルブ１が閉鎖される。
１を参照して、先ず定常状態に於いては、バルブ１は開
及びバルブ４は閉の状態にあり、流体入口２４から流入
した流体Ｇ1 は流体出口７から流出している。この状態
で三方電磁弁２２が操作され、流体供給源２３から駆動
用流体供給口２０を経て駆動用流体２１（例えば空気）
が供給されると、流体圧によって逆止弁１５が開放さ
れ、管路１７を通して供給された流体圧によりバルブ１
の駆動装置８が作動され、バルブ１が閉鎖される。
【００１７】駆動装置８の流体出口１０から排出された
空気は、引き続き調整用抵抗体１４を介挿した管路１８
を通ってバルブ４の駆動装置１１内へ供給され、前記バ
ルブ１の作動から所定時間経過後にバルブ４が開弁作動
され、その流体通路が開放される。これにより、流体入
口２４と流体出口７間が遮断されると共に流体入口２５
と流体出口７間が流通され、流体Ｇ1 から流体Ｇ2 に切
換えられることになる。
空気は、引き続き調整用抵抗体１４を介挿した管路１８
を通ってバルブ４の駆動装置１１内へ供給され、前記バ
ルブ１の作動から所定時間経過後にバルブ４が開弁作動
され、その流体通路が開放される。これにより、流体入
口２４と流体出口７間が遮断されると共に流体入口２５
と流体出口７間が流通され、流体Ｇ1 から流体Ｇ2 に切
換えられることになる。
【００１８】尚、前記バルブ１の閉鎖とバルブ４の開放
との間の時間差は、調整用抵抗体１４によって駆動装置
１１への駆動用流体２１の流入量を調整することによ
り、任意に設定することができる。その結果、開閉式の
三方電磁弁２２によって駆動用流体２１の供給をＯＮ・
ＯＦＦ制御するだけで、一方のバルブ１が完全に閉鎖さ
れてから他方のバルブ４を開放させることが可能とな
り、両流体入口２４、２５と流体出口７が同時に連通さ
れると云う不都合を完全に除去することができる。
との間の時間差は、調整用抵抗体１４によって駆動装置
１１への駆動用流体２１の流入量を調整することによ
り、任意に設定することができる。その結果、開閉式の
三方電磁弁２２によって駆動用流体２１の供給をＯＮ・
ＯＦＦ制御するだけで、一方のバルブ１が完全に閉鎖さ
れてから他方のバルブ４を開放させることが可能とな
り、両流体入口２４、２５と流体出口７が同時に連通さ
れると云う不都合を完全に除去することができる。
【００１９】次に、前記流体Ｇ1 を流体Ｇ2 に切換えし
た状態に於いて、三方切換弁２２を図２の位置に操作し
て、管路１９内の駆動用流体２１を排出すると、先ずバ
ルブ４の駆動装置１１内の流体圧が管路１９を通して先
きに抜け、バルブ４が開から閉に切換れる。一方、バル
ブ１の駆動装置８内の流体圧は、調整用抵抗体１４によ
ってその排出が制限される。その結果、駆動装置８の初
期状態への復帰が遅れて、バルブ１の開放がバルブ４の
閉鎖よりも所定時間だけ遅れる。これにより、切換装置
は初期状態へ復帰され、しかもその間に両流体入口２
４、２５が流体出口７と同時に流通状態となるのを完全
に防止することができる。尚、バルブ４の閉鎖とバルブ
１の開放との間の時間差は調整用抵抗体１４の調整によ
って任意に設定可能である。
た状態に於いて、三方切換弁２２を図２の位置に操作し
て、管路１９内の駆動用流体２１を排出すると、先ずバ
ルブ４の駆動装置１１内の流体圧が管路１９を通して先
きに抜け、バルブ４が開から閉に切換れる。一方、バル
ブ１の駆動装置８内の流体圧は、調整用抵抗体１４によ
ってその排出が制限される。その結果、駆動装置８の初
期状態への復帰が遅れて、バルブ１の開放がバルブ４の
閉鎖よりも所定時間だけ遅れる。これにより、切換装置
は初期状態へ復帰され、しかもその間に両流体入口２
４、２５が流体出口７と同時に流通状態となるのを完全
に防止することができる。尚、バルブ４の閉鎖とバルブ
１の開放との間の時間差は調整用抵抗体１４の調整によ
って任意に設定可能である。
【００２０】図３及び図４は本発明の第２及び第３実施
例を示すものであり、何れか一方又は両方の流体入口を
複数とした場合である。前記図３に於いては、バルブ１
が閉になってからバルブ４ａ及びバルブ４ｂが開にな
り、流体出口７と各流体入口２４、２５ａ、２５ｂが同
時に連通状態となるのが防止される。
例を示すものであり、何れか一方又は両方の流体入口を
複数とした場合である。前記図３に於いては、バルブ１
が閉になってからバルブ４ａ及びバルブ４ｂが開にな
り、流体出口７と各流体入口２４、２５ａ、２５ｂが同
時に連通状態となるのが防止される。
【００２１】同様に、図４に於いては、バルブ１ａ及び
バルブ１ｂが閉になってからバルブ４ａ及びバルブ４ｂ
が開になり、流体出口７と各流体入口２４ａ、２４ｂ、
２５ａ、２５ｂが同時に連通状態になるのが防止され
る。
バルブ１ｂが閉になってからバルブ４ａ及びバルブ４ｂ
が開になり、流体出口７と各流体入口２４ａ、２４ｂ、
２５ａ、２５ｂが同時に連通状態になるのが防止され
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明に於いては、流体切換装置を構成
する一方のバルブ１をノーマルオープン型に、また他方
のバルブ４をノーマルクローズ型にすると共に、両バル
ブ１、４の駆動装置８、１１の間に調整用抵抗体１４を
介挿して、バルブ１、４の駆動用流体２１を駆動用流体
供給口２０から逆止弁１５、駆動装置８、調整用抵抗体
１４、駆動装置１１の順に流して両駆動装置８、１１の
作動に時間差を持たせると共に、両駆動装置８、１１内
の駆動用流体２１を逆止弁１６を通して駆動用流体供給
口２０側へ排出することにより、両駆動装置８、１１の
初期状態への復帰作動に時間差を持たせる構成としてい
る。その結果、流体切換装置を形成する一対の流体圧駆
動式バルブ１、２が同時に開放状態となることが皆無と
なり、異種流体Ｇ1 、Ｇ2 の混合物が流体出口７へ流出
すると云う不都合が皆無となる。
する一方のバルブ１をノーマルオープン型に、また他方
のバルブ４をノーマルクローズ型にすると共に、両バル
ブ１、４の駆動装置８、１１の間に調整用抵抗体１４を
介挿して、バルブ１、４の駆動用流体２１を駆動用流体
供給口２０から逆止弁１５、駆動装置８、調整用抵抗体
１４、駆動装置１１の順に流して両駆動装置８、１１の
作動に時間差を持たせると共に、両駆動装置８、１１内
の駆動用流体２１を逆止弁１６を通して駆動用流体供給
口２０側へ排出することにより、両駆動装置８、１１の
初期状態への復帰作動に時間差を持たせる構成としてい
る。その結果、流体切換装置を形成する一対の流体圧駆
動式バルブ１、２が同時に開放状態となることが皆無と
なり、異種流体Ｇ1 、Ｇ2 の混合物が流体出口７へ流出
すると云う不都合が皆無となる。
【００２３】また、駆動用流体２１の供給及び排気は通
常の三方電磁弁２２を用いてこれを所謂ＯＮ−ＯＦＦ作
動させるだけでよく、特に複雑な機構を備えた電磁弁等
を必要とすることはない。その結果、流体切換装置の構
造の簡素化が可能となり、製造コストの大幅な引下げが
可能となる。
常の三方電磁弁２２を用いてこれを所謂ＯＮ−ＯＦＦ作
動させるだけでよく、特に複雑な機構を備えた電磁弁等
を必要とすることはない。その結果、流体切換装置の構
造の簡素化が可能となり、製造コストの大幅な引下げが
可能となる。
【００２４】更に、既設の流体切換装置であっても、バ
ルブ本体側をそのままにしてアクチェータ側のみを改修
することにより、本願発明の流体切換装置とすることが
でき、極めて便宜である。
ルブ本体側をそのままにしてアクチェータ側のみを改修
することにより、本願発明の流体切換装置とすることが
でき、極めて便宜である。
【００２５】加えて、本発明は、２個の逆止弁と１個の
調整用抵抗体の組み合せを増すことにより、二以上の流
体流入口を有する流体切換装置にも容易に適用すること
ができ、優れた実用的効用を奏するものである。
調整用抵抗体の組み合せを増すことにより、二以上の流
体流入口を有する流体切換装置にも容易に適用すること
ができ、優れた実用的効用を奏するものである。
【図１】本発明の第１実施例の駆動用流体供給時を示す
基本構成図である。
基本構成図である。
【図２】本発明の第１実施例の駆動用流体除去時を示す
基本構成図である。
基本構成図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す系統図である。
【図４】本発明の第３実施例を示す系統図である。
【図５】従前の流体切換装置の一例を示すものである。
【図６】従前の半導体製造用ガス供給設備に於ける流体
（ガス）切換装置の説明図である。
（ガス）切換装置の説明図である。
１は常時開放型流体圧駆動式バルブ、２・３は流通孔、
４は常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ、５・６は流通孔、
７は流体出口、８・１１は駆動装置、９は駆動用流体入
口、１０は駆動用流体出口、１２は駆動用流体入口、１
３は駆動用流体出口、１４は調整用抵抗体、１５・１６
は逆止弁、１７・１８・１９は駆動用流体管路、２０は
駆動用流体供給口、２１は駆動用流体、２２は三方電磁
弁、２３は駆動用流体供給源、２４・２５は流体入口。
４は常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ、５・６は流通孔、
７は流体出口、８・１１は駆動装置、９は駆動用流体入
口、１０は駆動用流体出口、１２は駆動用流体入口、１
３は駆動用流体出口、１４は調整用抵抗体、１５・１６
は逆止弁、１７・１８・１９は駆動用流体管路、２０は
駆動用流体供給口、２１は駆動用流体、２２は三方電磁
弁、２３は駆動用流体供給源、２４・２５は流体入口。
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16K 31/12 - 31/165
F16K 31/36 - 31/42
F16K 11/00 - 11/24
F16K 51/00
Claims (2)
- 【請求項１】 一方の流体（Ｇ 1 )の流体入口（２４）へ
流体の入口側流通孔（２）が連通された少なくとも一基
の常時開放型流体圧駆動式バルブ（１）と，他方の流体
（Ｇ 2 )の流体入口（２５）へ流体の入口側流通孔（６）
が連通された少なくとも一基の常時閉鎖型流体圧駆動式
バルブ（４）と，前記常時開放型流体圧駆動式バルブ
（１）の流体の出口側流通孔（３）と前記常時閉鎖型流
体圧駆動式バルブ（４）の流体の出口側流通孔（５）へ
夫々連通する流体出口（７）と，駆動用流体供給口（２
０）と前記常時開放型流体圧駆動式バルブ（１）の駆動
装置（８）間を連通する管路に介挿され、駆動装置
（８）への流体の流通を許容する逆止弁（１５）と，前
記常時開放型流体圧駆動式バルブ（１）の駆動装置
（８）と常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ（４）の駆動装
置（１１）間を連通する管路に設けた流量調整用抵抗体
（１４）と，前記常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ（４）
の駆動装置（１１）と駆動用流体供給口（２０）間を連
通する管路に介挿され、駆動用流体供給口（２０）から
前記駆動装置（１１）への駆動用流体（２１）の流通を
阻止する逆止弁（１６）とから構成したことを特徴とす
る流体切換装置。 - 【請求項２】 常時開放型流体圧駆動式バルブ（１）及
び常時閉鎖型流体圧駆動式バルブ（４）のバルブ本体を
ブロック体に一体的に形成する構成とした請求項１に記
載の流体切換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14472395A JP3472646B2 (ja) | 1995-06-12 | 1995-06-12 | 流体切換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14472395A JP3472646B2 (ja) | 1995-06-12 | 1995-06-12 | 流体切換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08338558A JPH08338558A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3472646B2 true JP3472646B2 (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=15368826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14472395A Expired - Fee Related JP3472646B2 (ja) | 1995-06-12 | 1995-06-12 | 流体切換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3472646B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10341223A1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-03-24 | Bühler AG | Schleif- bzw. Poliermaschine |
| CN102991531B (zh) * | 2012-11-15 | 2015-12-16 | 连云港天明装备有限公司 | 支架搬运车行车报警装置 |
| CN106500994B (zh) * | 2016-10-20 | 2019-06-14 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 大通径快响应高压强输气装置及输气方法 |
-
1995
- 1995-06-12 JP JP14472395A patent/JP3472646B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08338558A (ja) | 1996-12-24 |
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Legal Events
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