JP3468461B2 - 圧電セラミック組成物 - Google Patents
圧電セラミック組成物Info
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- JP3468461B2 JP3468461B2 JP37305799A JP37305799A JP3468461B2 JP 3468461 B2 JP3468461 B2 JP 3468461B2 JP 37305799 A JP37305799 A JP 37305799A JP 37305799 A JP37305799 A JP 37305799A JP 3468461 B2 JP3468461 B2 JP 3468461B2
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- piezoelectric ceramic
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミック組
成物、特に、Ｐｂ（Ｚｎ1/3・Ｎｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3 を主成分として含む圧電セラミック
組成物に関する。
成物、特に、Ｐｂ（Ｚｎ1/3・Ｎｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3 を主成分として含む圧電セラミック
組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電セラミックスとしてＰｂ（Ｚ
ｎ1/3・Ｎｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3 よ
りなる三元系圧電セラミックスが知られ（特公昭４４−
１７３４４）、また、この三元系圧電セラミックスの鉛
原子の一部をカルシウム、ストロンチウム又はバリウム
で置換することにより誘電率を向上させた圧電セラミッ
クスが知られている（特公昭４５−３９９７７）。さら
に、特開昭６１−１２９８８８には、比誘電率及び電気
機械結合係数の向上を目的として、同様な三元系圧電セ
ラミックスの鉛原子の一部をＢａ及びＳｒで置換した圧
電セラミックスが開示され、また、特開平３−２５６３
７９には、その圧電セラミックス中のＰｂ，Ｂａ及びＳ
ｒの量を特定の範囲に限定することによって、製品間の
特性のバラツキの問題点を解決し、圧電定数を向上させ
た圧電セラミックスが開示されている。
ｎ1/3・Ｎｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3 よ
りなる三元系圧電セラミックスが知られ（特公昭４４−
１７３４４）、また、この三元系圧電セラミックスの鉛
原子の一部をカルシウム、ストロンチウム又はバリウム
で置換することにより誘電率を向上させた圧電セラミッ
クスが知られている（特公昭４５−３９９７７）。さら
に、特開昭６１−１２９８８８には、比誘電率及び電気
機械結合係数の向上を目的として、同様な三元系圧電セ
ラミックスの鉛原子の一部をＢａ及びＳｒで置換した圧
電セラミックスが開示され、また、特開平３−２５６３
７９には、その圧電セラミックス中のＰｂ，Ｂａ及びＳ
ｒの量を特定の範囲に限定することによって、製品間の
特性のバラツキの問題点を解決し、圧電定数を向上させ
た圧電セラミックスが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】圧電セラミックスは、
圧電フィルター、圧電トランス、超音波振動子、圧電発
音体、圧電アクチュエーターあるいは圧電ブザー等に広
く使用されている。中でも、近年、圧電発音体、圧電ア
クチュエーター等の圧電振動子は小型化、薄層化が進ん
でいる。特に、圧電アクチュエーターは、例えば、パソ
コンのハードディスクドライブヘッド用のマイクロアク
チュエーターとしての利用が注目され、記録密度の向上
に伴い、サブミクロンのオーダーで微小変位を制御する
超小型の圧電アクチュエーターの開発が盛んに行われて
いる。圧電材料は、特に変位制御用アクチュエーターと
して使用される場合、優れた圧電性を有するもの、すな
わち、大きな圧電定数ｄを有するものが望ましい。一般
に、圧電定数ｄと、電気機械結合係数ｋ及び比誘電率ε
との間にはｄ∝ｋ√εの関係があり、圧電定数ｄを大き
くするためには、電気機械結合係数ｋ及び比誘電率εを
大きくしなければならない。また、微小変位を制御する
圧電アクチュエーター素子等は、非常に薄い厚みを有す
る小さな形状の素子として加工される場合が多く、した
がって、厚さ方向の応力に対抗する大きな機械的強度、
すなわち、大きな抗折強度が要求される。従来のＰｂ
（Ｚｎ1/3・Ｚｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3
よりなる三元系圧電セラミックスには、優れた圧電特
性を有するが、機械的強度が必ずしも十分でない、とい
う問題点がある。すなわち、従来の圧電セラミックス
は、それらをアクチュエーター素子に加工する際に割れ
や欠け等の不良が生じ易いという欠点がある。また、素
子の駆動に際しても、外部応力による割れが生じ易く、
大きな変位を得るために大きな電圧を印加した場合、そ
の機械的強度が不十分なためにその変位自体によって破
壊に至るという欠点もある。したがって、本発明は、優
れた圧電特性を有しかつ、超小型で薄い素子に加工した
場合にも、十分な機械的強度を有する圧電セラミック組
成物を提供することを目的とするものである。
圧電フィルター、圧電トランス、超音波振動子、圧電発
音体、圧電アクチュエーターあるいは圧電ブザー等に広
く使用されている。中でも、近年、圧電発音体、圧電ア
クチュエーター等の圧電振動子は小型化、薄層化が進ん
でいる。特に、圧電アクチュエーターは、例えば、パソ
コンのハードディスクドライブヘッド用のマイクロアク
チュエーターとしての利用が注目され、記録密度の向上
に伴い、サブミクロンのオーダーで微小変位を制御する
超小型の圧電アクチュエーターの開発が盛んに行われて
いる。圧電材料は、特に変位制御用アクチュエーターと
して使用される場合、優れた圧電性を有するもの、すな
わち、大きな圧電定数ｄを有するものが望ましい。一般
に、圧電定数ｄと、電気機械結合係数ｋ及び比誘電率ε
との間にはｄ∝ｋ√εの関係があり、圧電定数ｄを大き
くするためには、電気機械結合係数ｋ及び比誘電率εを
大きくしなければならない。また、微小変位を制御する
圧電アクチュエーター素子等は、非常に薄い厚みを有す
る小さな形状の素子として加工される場合が多く、した
がって、厚さ方向の応力に対抗する大きな機械的強度、
すなわち、大きな抗折強度が要求される。従来のＰｂ
（Ｚｎ1/3・Ｚｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3
よりなる三元系圧電セラミックスには、優れた圧電特
性を有するが、機械的強度が必ずしも十分でない、とい
う問題点がある。すなわち、従来の圧電セラミックス
は、それらをアクチュエーター素子に加工する際に割れ
や欠け等の不良が生じ易いという欠点がある。また、素
子の駆動に際しても、外部応力による割れが生じ易く、
大きな変位を得るために大きな電圧を印加した場合、そ
の機械的強度が不十分なためにその変位自体によって破
壊に至るという欠点もある。したがって、本発明は、優
れた圧電特性を有しかつ、超小型で薄い素子に加工した
場合にも、十分な機械的強度を有する圧電セラミック組
成物を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基本組成式Ｐ
ｂ［（Ｚｎ1/3Ｎｂ2/3 ）x Ｔｉy Ｚｒz］Ｏ3 で表さ
れる酸化物組成物のＰｂの一部をＳｒ、ＢａおよびＣａ
の少なくとも一つの金属元素で置換した酸化物組成物に
一定量のＴａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3及びＮｂ2Ｏ5から選ばれる
少なくとも一種の酸化物を添加したときに、その圧電特
性および機械的強度、特に、抗折強度が改良される、と
いう発見に基づいている。すなわち、上記目的を達成す
るための本発明は、下記基本組成式： （Ｐｂa1Ａa2）［（Ｚｎ1/3Ｎｂ2/3 ）x Ｔｉy Ｚｒz］
Ｏ3 （式中、ＡはＳｒ，Ｂａ及びＣａから選ばれる少なくと
も一種の金属元素であり、そしてａ１，ａ２，ｘ，ｙお
よびｚは、下記条件： ０．９６≦ａ１＋ａ２≦１ ０．０１≦ａ２≦０．１０ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１ ０．０５≦ｘ≦０．４０ ０．１≦ｙ≦０．５ ０．２≦ｚ≦０．６ を満たす原子比である）で表される酸化物組成物に、Ｔ
ａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3及びＮｂ2Ｏ5から選ばれる少なくとも
一種の酸化物の合計０．０５〜１．００重量％（該酸化
物組成物基準）を添加したことを特徴とする圧電セラミ
ック組成物である。
ｂ［（Ｚｎ1/3Ｎｂ2/3 ）x Ｔｉy Ｚｒz］Ｏ3 で表さ
れる酸化物組成物のＰｂの一部をＳｒ、ＢａおよびＣａ
の少なくとも一つの金属元素で置換した酸化物組成物に
一定量のＴａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3及びＮｂ2Ｏ5から選ばれる
少なくとも一種の酸化物を添加したときに、その圧電特
性および機械的強度、特に、抗折強度が改良される、と
いう発見に基づいている。すなわち、上記目的を達成す
るための本発明は、下記基本組成式： （Ｐｂa1Ａa2）［（Ｚｎ1/3Ｎｂ2/3 ）x Ｔｉy Ｚｒz］
Ｏ3 （式中、ＡはＳｒ，Ｂａ及びＣａから選ばれる少なくと
も一種の金属元素であり、そしてａ１，ａ２，ｘ，ｙお
よびｚは、下記条件： ０．９６≦ａ１＋ａ２≦１ ０．０１≦ａ２≦０．１０ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１ ０．０５≦ｘ≦０．４０ ０．１≦ｙ≦０．５ ０．２≦ｚ≦０．６ を満たす原子比である）で表される酸化物組成物に、Ｔ
ａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3及びＮｂ2Ｏ5から選ばれる少なくとも
一種の酸化物の合計０．０５〜１．００重量％（該酸化
物組成物基準）を添加したことを特徴とする圧電セラミ
ック組成物である。
【０００５】
【発明の実施の形態】酸化物組成物（Ｐｂa1Ａa2）
［（Ｚｎ1/3Ｎｂ2/3 ）x Ｔｉy Ｚｒz］Ｏ3 において、
原子比が、０．９６≦ａ１＋ａ２≦１（ただし、０．０
１≦ａ２≦０．１０である）およびｘ＋ｙ＋ｚ＝１（た
だし、０．０５≦ｘ≦０．４０；０．１≦ｙ≦０．５；
および０．２≦ｚ≦０．６である）を満足するときに、
本発明の圧電セラミック組成物は大きな誘電率および電
気機械結合係数を有することが出来る。組成比ａ１＋ａ
２を０．９６より小さくすると、誘電率および電気機械
結合係数が小さくなる。ＰｂをＡで置換することによっ
て誘電率を向上させることができる。Ａの置換量が増加
するにつれ、誘電率は向上するが、置換量が多すぎる
と、焼結性が低下し、高い焼結温度が必要となる。ま
た、Ａの置換量が多すぎると、キューリー温度が低下
し、圧電セラミックスとしての実用温度が低下するので
好ましくない。したがって、Ａの組成比としては、０．
０１≦ａ２≦０．１０であることが望ましい。（Ｚｎ
1/3Ｎｂ2/3 ）の組成比ｘは、増加するほど誘電率は増
加するが、Ｎｂ原料が高価であるので、量産には不向き
である。ｘが０．０５より小さいと、誘電率、電気機械
結合係数共に低く、必要な圧電特性が得られない。Ｔｉ
の組成比ｙおよびＺｒの組成比ｚは、誘電率、電気機械
結合係数に大きく影響し、特にモルフォトロピック相境
界付近が好ましい。これらの点から、本発明において、
組成比ｘ、ｙおよびｚは、０．０５≦ｘ≦０．４０、
０．１≦ｙ≦０．５、および０．２≦ｚ≦０．６（ただ
し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であることを条件とする）であるこ
とが好ましい。
［（Ｚｎ1/3Ｎｂ2/3 ）x Ｔｉy Ｚｒz］Ｏ3 において、
原子比が、０．９６≦ａ１＋ａ２≦１（ただし、０．０
１≦ａ２≦０．１０である）およびｘ＋ｙ＋ｚ＝１（た
だし、０．０５≦ｘ≦０．４０；０．１≦ｙ≦０．５；
および０．２≦ｚ≦０．６である）を満足するときに、
本発明の圧電セラミック組成物は大きな誘電率および電
気機械結合係数を有することが出来る。組成比ａ１＋ａ
２を０．９６より小さくすると、誘電率および電気機械
結合係数が小さくなる。ＰｂをＡで置換することによっ
て誘電率を向上させることができる。Ａの置換量が増加
するにつれ、誘電率は向上するが、置換量が多すぎる
と、焼結性が低下し、高い焼結温度が必要となる。ま
た、Ａの置換量が多すぎると、キューリー温度が低下
し、圧電セラミックスとしての実用温度が低下するので
好ましくない。したがって、Ａの組成比としては、０．
０１≦ａ２≦０．１０であることが望ましい。（Ｚｎ
1/3Ｎｂ2/3 ）の組成比ｘは、増加するほど誘電率は増
加するが、Ｎｂ原料が高価であるので、量産には不向き
である。ｘが０．０５より小さいと、誘電率、電気機械
結合係数共に低く、必要な圧電特性が得られない。Ｔｉ
の組成比ｙおよびＺｒの組成比ｚは、誘電率、電気機械
結合係数に大きく影響し、特にモルフォトロピック相境
界付近が好ましい。これらの点から、本発明において、
組成比ｘ、ｙおよびｚは、０．０５≦ｘ≦０．４０、
０．１≦ｙ≦０．５、および０．２≦ｚ≦０．６（ただ
し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であることを条件とする）であるこ
とが好ましい。
【０００６】大きな誘電率および電気機械結合係数を有
しかつ優れた抗折強度を有する圧電セラミック組成物を
得るためには、Ｔａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3およびＮｂ2Ｏ5から
選ばれる少なくとも一種の酸化物を、上記酸化物組成物
に対して合計０．０５〜１．００重量％添加することが
好ましい。これらの酸化物の添加量が、０．０５重量％
未満であると、添加の効果が十分に発揮されず、一方、
１．０重量％を越えると、誘電率、電気機械結合係数お
よび焼結性の低下が顕著となるので好ましくない。
しかつ優れた抗折強度を有する圧電セラミック組成物を
得るためには、Ｔａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3およびＮｂ2Ｏ5から
選ばれる少なくとも一種の酸化物を、上記酸化物組成物
に対して合計０．０５〜１．００重量％添加することが
好ましい。これらの酸化物の添加量が、０．０５重量％
未満であると、添加の効果が十分に発揮されず、一方、
１．０重量％を越えると、誘電率、電気機械結合係数お
よび焼結性の低下が顕著となるので好ましくない。
【０００７】本発明の圧電セラミック組成物は、次の方
法によって製造することが出来る。出発原料として、Ｐ
ｂＯ，ＴｉＯ2，ＺｒＯ2，ＺｎＯおよびＮｂ2Ｏ5または
焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物（酸化物
１）；ＳｒＯ，ＢａＯおよびＣａＯから選ばれる少なく
とも一つの酸化物または焼成によりこれら酸化物に変わ
り得る化合物（酸化物２）；およびＴａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3
及びＮｂ2Ｏ5から選ばれる少なくとも一つの酸化物また
は焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物（酸化物
３）を用いることが出来る。各々の酸化物の所定量を秤
量し、ボールミル等を用いて湿式混合する。酸化物３
は、酸化物１および酸化物２の混合物を仮焼きした後に
添加してもよい。湿式混合の際のスラリー媒体として、
水、エタノール等のアルコールまたはこれらの混合物を
使用することが望ましい。出発原料を十分に混合した
後、約８００〜１０００℃で約１〜３時間仮焼成する。
得られた仮焼成物をボールミル等を用いて湿式粉砕す
る。この湿式粉砕においても、水、エタノール等のアル
コールまたはこれらの混合物を混合媒体として用いるこ
とが望ましい。湿式粉砕は、仮焼成物の平均粒径が約
０．５〜２．０μｍとなるまで行うことが好ましい。
湿式粉砕によって得られた仮焼成物の粉末を乾燥し、乾
燥粉末に水またはバインダー（例えば、ポリビニルアル
コール等）を少量（約０．５〜８重量％）加えて混練す
る。得られたペーストを約９８〜３９２ＭＰａ（１〜４
ｔｏｎ／ｃｍ2の換算値）の圧力をかけてプレス成形し
て成型物を得る。成形には、押し出し成型法や、他の成
型法も使用することが出来る。次いで、成型物を、約１
０６０〜１２００℃で約２〜５時間焼成し、圧電セラミ
ックスを得る。焼成は、大気中、大気中より酸素分圧の
高い雰囲気または純酸素雰囲気中で行うことが出来る。
法によって製造することが出来る。出発原料として、Ｐ
ｂＯ，ＴｉＯ2，ＺｒＯ2，ＺｎＯおよびＮｂ2Ｏ5または
焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物（酸化物
１）；ＳｒＯ，ＢａＯおよびＣａＯから選ばれる少なく
とも一つの酸化物または焼成によりこれら酸化物に変わ
り得る化合物（酸化物２）；およびＴａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3
及びＮｂ2Ｏ5から選ばれる少なくとも一つの酸化物また
は焼成によりこれら酸化物に変わり得る化合物（酸化物
３）を用いることが出来る。各々の酸化物の所定量を秤
量し、ボールミル等を用いて湿式混合する。酸化物３
は、酸化物１および酸化物２の混合物を仮焼きした後に
添加してもよい。湿式混合の際のスラリー媒体として、
水、エタノール等のアルコールまたはこれらの混合物を
使用することが望ましい。出発原料を十分に混合した
後、約８００〜１０００℃で約１〜３時間仮焼成する。
得られた仮焼成物をボールミル等を用いて湿式粉砕す
る。この湿式粉砕においても、水、エタノール等のアル
コールまたはこれらの混合物を混合媒体として用いるこ
とが望ましい。湿式粉砕は、仮焼成物の平均粒径が約
０．５〜２．０μｍとなるまで行うことが好ましい。
湿式粉砕によって得られた仮焼成物の粉末を乾燥し、乾
燥粉末に水またはバインダー（例えば、ポリビニルアル
コール等）を少量（約０．５〜８重量％）加えて混練す
る。得られたペーストを約９８〜３９２ＭＰａ（１〜４
ｔｏｎ／ｃｍ2の換算値）の圧力をかけてプレス成形し
て成型物を得る。成形には、押し出し成型法や、他の成
型法も使用することが出来る。次いで、成型物を、約１
０６０〜１２００℃で約２〜５時間焼成し、圧電セラミ
ックスを得る。焼成は、大気中、大気中より酸素分圧の
高い雰囲気または純酸素雰囲気中で行うことが出来る。
【０００８】以下、実施例により本発明をより具体的に
説明する。
説明する。
【実施例】実施例１〜３２および比較例１〜５
ＰｂＯ，ＴｉＯ2，ＺｒＯ2，ＺｎＯ，Ｎｂ2Ｏ5 ，Ｓｒ
ＣＯ3 ，ＢａＣＯ3およびＣａＣＯ3から選ばれた化合物
を、最終生成物に含まれる金属元素が表１に示されるモ
ル比になるように混合し、そしてＴａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3お
よびＮｂ2Ｏ5から選ばれた化合物を表１に示される量で
添加した。この混合物に対してスラリー濃度が４０〜５
０％になるように水を加え、ボールミルを使用して５時
間湿式混合した。得られた混合物を９００℃で２時間仮
焼成した。仮焼成物にスラリー濃度が４０〜５０％にな
るように水を加え、ボールミルを用いて１５時間湿式粉
砕した。得られたスラリーを乾燥した後、６重量％の水
を添加し、３９．２ＭＰａ（４００ｋｇｆ／ｃｍ2の換
算値）の圧力で一軸加圧成型し、さらに３９２ＭＰａ
（４ｔｏｎ／ｃｍ2の換算値）の圧力で冷間静水圧成型
して、直径１７ｍｍ、高さ２０ｍｍの円柱を作製した。
この円柱を表１に示す温度で２時間焼成して圧電セラミ
ックスを得た。得られた圧電セラミックスを、スライス
加工機およびラップ加工機を用いて厚さ０．６ｍｍのデ
ィスクを作製した。このディスクの両面に銀ペーストを
塗布し、６５０℃で１０分間焼き付けした後、シリコー
ンオイル中１２０℃で１５分間３ｋＶ／ｍｍの電界をか
けて分極処理を行った。このようにして得られたサンプ
ルを２４時間放置した後、そのサンプルのｋｒおよびε
ｄ（１ｋＨｚ）をインピーダンスアナライザーＨＰ４１
９４Ａ（ヒューレットパッカード社製）を用いてＥＭＡ
Ｓ−６１００に従って測定した。得られた結果は表１に
示すとおりであった。また、上記で得られた圧電セラミ
ックスを、別途スライス加工、ラップ加工およびダイシ
ング加工にかけて２ｍｍ×４ｍｍ×０．６ｍｍ（厚さ）
のサンプルを作製した。このサンプルの抗折強度を、デ
ジタル荷重試験機を使用し、ＪＩＳ（Ｒ１６０１）に従
って測定した。このときの測定条件は、支店間距離およ
び荷重速度がそれぞれ２．０ｍｍ、０．５ｍｍ／ｍｉ
ｎ．であった。得られた結果は表１に示すとおりであ
る。
ＣＯ3 ，ＢａＣＯ3およびＣａＣＯ3から選ばれた化合物
を、最終生成物に含まれる金属元素が表１に示されるモ
ル比になるように混合し、そしてＴａ2Ｏ5，Ｓｂ2Ｏ3お
よびＮｂ2Ｏ5から選ばれた化合物を表１に示される量で
添加した。この混合物に対してスラリー濃度が４０〜５
０％になるように水を加え、ボールミルを使用して５時
間湿式混合した。得られた混合物を９００℃で２時間仮
焼成した。仮焼成物にスラリー濃度が４０〜５０％にな
るように水を加え、ボールミルを用いて１５時間湿式粉
砕した。得られたスラリーを乾燥した後、６重量％の水
を添加し、３９．２ＭＰａ（４００ｋｇｆ／ｃｍ2の換
算値）の圧力で一軸加圧成型し、さらに３９２ＭＰａ
（４ｔｏｎ／ｃｍ2の換算値）の圧力で冷間静水圧成型
して、直径１７ｍｍ、高さ２０ｍｍの円柱を作製した。
この円柱を表１に示す温度で２時間焼成して圧電セラミ
ックスを得た。得られた圧電セラミックスを、スライス
加工機およびラップ加工機を用いて厚さ０．６ｍｍのデ
ィスクを作製した。このディスクの両面に銀ペーストを
塗布し、６５０℃で１０分間焼き付けした後、シリコー
ンオイル中１２０℃で１５分間３ｋＶ／ｍｍの電界をか
けて分極処理を行った。このようにして得られたサンプ
ルを２４時間放置した後、そのサンプルのｋｒおよびε
ｄ（１ｋＨｚ）をインピーダンスアナライザーＨＰ４１
９４Ａ（ヒューレットパッカード社製）を用いてＥＭＡ
Ｓ−６１００に従って測定した。得られた結果は表１に
示すとおりであった。また、上記で得られた圧電セラミ
ックスを、別途スライス加工、ラップ加工およびダイシ
ング加工にかけて２ｍｍ×４ｍｍ×０．６ｍｍ（厚さ）
のサンプルを作製した。このサンプルの抗折強度を、デ
ジタル荷重試験機を使用し、ＪＩＳ（Ｒ１６０１）に従
って測定した。このときの測定条件は、支店間距離およ
び荷重速度がそれぞれ２．０ｍｍ、０．５ｍｍ／ｍｉ
ｎ．であった。得られた結果は表１に示すとおりであ
る。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、大きな誘電率および電
気機械結合係数を有しかつ、小型で薄いマイクロアクチ
ュエーターとして使用された場合にも、素子の加工また
は駆動時に加えられる応力に十分耐えうる大きな機械的
強度を有する圧電セラミックスが得られる。
気機械結合係数を有しかつ、小型で薄いマイクロアクチ
ュエーターとして使用された場合にも、素子の加工また
は駆動時に加えられる応力に十分耐えうる大きな機械的
強度を有する圧電セラミックスが得られる。
【表１】
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 室澤 尚吾
東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ
ィーディーケイ株式会社内
(72)発明者 坪倉 多恵子
東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ
ィーディーケイ株式会社内
(56)参考文献 特開 平11−240758（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−40965（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C04B 35/49
Claims (2)
- 【請求項１】 下記基本組成式： （Ｐｂａ１Ａａ２）［（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）ｘＴｉ
ｙＺｒｚ］Ｏ３ （式中、ＡはＳｒ，Ｂａ及びＣａから選ばれる少なくと
も一種の金属元素であり、そしてａ１，ａ２，ｘ，ｙお
よびｚは、下記条件： ０．９６≦ａ１＋ａ２≦１ ０．０１≦ａ２≦０．１０ ｘ＋ｙ＋ｚ＝１ ０．０５≦ｘ≦０．４０ ０．１≦ｙ≦０．５ ０．２≦ｚ≦０．６ を満たす原子比である） で表される酸化物組成物に対して、Ｔａ２Ｏ５，Ｓｂ２
Ｏ３及びＮｂ２Ｏ５から選ばれる少なくとも一種の酸化
物を０．０５〜１．００重量％添加したことを特徴とす
る圧電セラミック組成物。 - 【請求項２】 圧電アクチュエータとして使用される請
求項１に記載の圧電セラミック組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37305799A JP3468461B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 圧電セラミック組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37305799A JP3468461B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 圧電セラミック組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001181036A JP2001181036A (ja) | 2001-07-03 |
| JP3468461B2 true JP3468461B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=18501506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP37305799A Expired - Lifetime JP3468461B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 圧電セラミック組成物 |
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