JP3468103B2 - 電子部品の実装方法 - Google Patents
電子部品の実装方法Info
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Description
を用いた電子部品の実装方法に関するものである。 【0002】 【従来の技術】電子部品を基板などのワークに実装する
方法として、異方性導電接着剤を用いる方法が知られて
いる。この異方性導電接着剤は、エポキシ樹脂および硬
化剤よりなる接着剤に、導電材を含有させたものであ
る。この異方性導電接着剤を電子部品の電極とワークの
電極との接合面に供給してこれらの電極相互を接合する
と、接着剤成分により電子部品とワークの電極相互を固
着させるとともに、含有された導電材がそれぞれの電極
の間に挟まれて電子部品とワークの電極との電気的な導
通が確保される。 【0003】ここで導電材としては、従来銀などの金属
良導体を粒子状にしたものや、樹脂製のボールの表面に
金などの金属のメッキを施した導電粒子が用いられてい
た。これらの導電粒子を介して電子部品とワークの電極
間を実用上十分な低抵抗値で導通させるには、通常一組
の電極と電極の間に数十個単位の導電粒子の存在が必要
とされる。このため、異方性導電接着剤中の導電粒子の
含有量は、導電性確保の観点から定められる所定量以上
としなければならなかった。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ファイ
ンピッチ化の進行に伴い電極間の間隔が微細化したこと
から、前記所定量以上の導電性粒子が含有された異方性
導電接着剤を使用すると、ワークの電極間の隙間にも多
数の導電粒子が供給されることとなる。そしてこれらの
導電粒子が隣接する電極間で連なって接触状態にあると
電極間の短絡が発生する。このように、従来の異方性導
電接着剤には、良好な低接続抵抗を実現するために導電
粒子の含有量を増やすと、電極間の短絡が発生しやすい
という問題点があった。 【0005】そこで本発明は、電極間の短絡の不具合を
発生することなく低接続抵抗を実現することができる電
子部品の実装方法を提供することを目的とする。 【0006】 【0007】 【課題を解決するための手段】請求項1記載の電子部品
の実装方法は、ワークの電極に、エポキシ樹脂に硬化剤
および導電材としてのカーボンを含んだ異方性導電接着
剤を供給する工程と、このワークに電子部品を搭載して
この電子部品の電極を前記ワークの電極に前記異方性導
電接着剤を介して接合する工程と、前記電子部品を前記
ワークに対して押圧することにより前記カーボンを破壊
してこのカーボンと前記ワークおよび電子部品の電極と
の接触点数を増加させる工程と、前記異方性導電接着剤
を熱硬化させる工程とを含む。 【0008】本発明によれば、導電粒子としてカーボン
を用いることにより、実装時に電子部品とワークの電極
間の導電材が破壊されて導電材と電極との接触点数を増
やすことができるとともに電極間の隙間が短縮され、導
電粒子の含有量を増加させることなく低接続抵抗を実現
することができる。 【0009】 【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1(a),(b),(c)、図2
(a),(b),(c)は本発明の一実施の形態の電子
部品の実装方法の工程説明図である。 【0010】図1(a)において、ワークとしての基板
1には電極2が形成されている。この基板1の上面には
図1(b)に示すように異方性導電接着剤3が塗布さ
れ、電極2の周囲に異方性導電接着剤3が供給される。
塗布の方法としては、ディスペンサにより吐出させる方
法や、印刷による方法などを用いることができる。ここ
で異方性導電接着剤3は、接着剤としてのエポキシ樹脂
および硬化剤に、粒状の導電材である導電粒子3aを含
有させたものである。導電粒子3aとしては、グラファ
イトなどのカーボンの粒子が用いられている。 【0011】次に、基板1に対して、電極としてのバン
プ5が形成された電子部品4が搭載される。図1(c)
に示すように、バンプ5を電極2に位置合せし、電子部
品4を基板1に対して下降させる。これにより、バンプ
5の下端部は異方性導電接着剤3中に沈降し、図2
(a)に示すように、導電粒子3aは電極2とバンプ5
との隙間に挟まれる。次いで、図2(b)に示すように
電子部品4を基板1に対して押圧すると、導電粒子3a
は脆性材料であるカーボンよりなる破壊されやすいもの
であるため、押圧荷重により容易に破壊され、複数の粒
子に***する。 【0012】その後、更に押圧を継続することにより、
図2(c)に示すように導電粒子3aはさらに小さな導
電粒子3bに破砕される。その結果、電極2の上面とバ
ンプ5の下面との隙間内には多数の破砕された導電粒子
3bが挟み込まれ、したがって電極2の上面とバンプ5
の下面が導電粒子3bと接触する接触点数が増加する。
また、電極2の上面とバンプ5の下面の隙間Cは、導電
粒子3aが単体で存在する場合と比較して大幅に縮小さ
れる。 【0013】この後、基板1は熱処理工程に送られる。
ここで所定時間加熱されることにより、異方性導電接着
剤3は熱硬化し、電子部品4の基板1への実装が完了す
る。このようにしてカーボンの導電粒子を含有した異方
性導電接着剤による接合部は、以下のような特徴を有し
ている。すなわちバンプ5が導電粒子3bを介して電極
2と接触する接触点数が増加することにより、また電極
2とバンプ5を距てる隙間Cが短縮されることにより、
図2(a)に示すような状態のまま異方性導電接着剤3
を硬化させた場合と比較して、電極2とバンプ5の接続
抵抗は大幅に低下する。 【0014】このとき、この接続抵抗低下の効果によ
り、従来必要とされた導電粒子3aの含有量そのものを
減少させることができることから、基板1の回路電極2
間の隙間に多数の導電性粒子3aが入り込むことによる
電極間の短絡の不具合を生じることなく、接合部の接続
抵抗が低く導電性に優れた電子部品の実装を行うことが
できる。また、導電粒子3aとして用いられるカーボン
は熱膨張係数が小さいため、ヒートサイクルにより接合
部に発生する熱応力を軽減させるという利点を有してい
る。 【0015】なお、本実施の形態では、異方性導電接着
剤3を電極2に供給する方法として、基板1の電極2に
異方性導電接着剤3を塗布する方法を用いているが、異
方性導電接着剤3をテープに粘着させた導電性テープを
電極2に貼付する方法を用いてもよく、また異方性導電
接着剤3を電子部品4のバンプ5に転写して塗布するこ
とにより、バンプ5を介して異方性導電接着剤3を基板
1の電極2に供給してもよい。 【0016】 【発明の効果】本発明によれば、導電粒子としてカーボ
ンを用いるようにしたので、実装時に電子部品とワーク
の電極間の導電材が破壊されて導電材と電極との接触点
数を増やすことができるとともに実装後の電極間の隙間
が縮小され、導電粒子の含有量を増加させることなく低
接続抵抗を実現することができる。したがって、電極間
の短絡の不具合を発生することなく、接合部の導電性に
優れた電子部品の実装を行うことができる。
方法の工程説明図 (b)本発明の一実施の形態の電子部品の実装方法の工
程説明図 (c)本発明の一実施の形態の電子部品の実装方法の工
程説明図 【図2】(a)本発明の一実施の形態の電子部品の実装
方法の工程説明図 (b)本発明の一実施の形態の電子部品の実装方法の工
程説明図 (c)本発明の一実施の形態の電子部品の実装方法の工
程説明図 【符号の説明】 1 基板 2 電極 3 異方性導電接着剤 3a,3b 導電粒子 4 電子部品 5 バンプ
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】ワークの電極に、エポキシ樹脂に硬化剤お
よび導電材としてのカーボンを含んだ異方性導電接着剤
を供給する工程と、このワークに電子部品を搭載してこ
の電子部品の電極を前記ワークの電極に前記異方性導電
接着剤を介して接合する工程と、前記電子部品を前記ワ
ークに対して押圧することにより前記カーボンを破壊し
てこのカーボンと前記ワークおよび電子部品の電極との
接触点数を増加させる工程と、前記異方性導電接着剤を
熱硬化させる工程とを含むことを特徴とする電子部品の
実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP17104998A JP3468103B2 (ja) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | 電子部品の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP17104998A JP3468103B2 (ja) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | 電子部品の実装方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2000012613A JP2000012613A (ja) | 2000-01-14 |
JP3468103B2 true JP3468103B2 (ja) | 2003-11-17 |
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ID=15916144
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010093035A1 (ja) * | 2009-02-16 | 2010-08-19 | 株式会社村田製作所 | 導電性樹脂組成物、それを用いた電子部品の製造方法、接合方法、接合構造、および電子部品 |
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---|---|---|---|---|
JP4089632B2 (ja) * | 2003-03-07 | 2008-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | マスクの製造方法、マスクの製造装置、発光材料の成膜方法 |
JP2015135878A (ja) * | 2014-01-16 | 2015-07-27 | デクセリアルズ株式会社 | 接続体、接続体の製造方法、接続方法、異方性導電接着剤 |
-
1998
- 1998-06-18 JP JP17104998A patent/JP3468103B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2010093035A1 (ja) * | 2009-02-16 | 2010-08-19 | 株式会社村田製作所 | 導電性樹脂組成物、それを用いた電子部品の製造方法、接合方法、接合構造、および電子部品 |
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US9491868B2 (en) | 2009-02-16 | 2016-11-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Conductive resin composition, method for manufacturing electronic component using same, bonding method, bonding structure, and electronic component |
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