JP3463250B2 - Device for supporting inspection object in optical inspection device - Google Patents
Device for supporting inspection object in optical inspection deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＣＣＤリニアイメージ
センサーを用いて、ＴＦＴカラーフィルタ等の傷、異
物、ピンホール等を光学的、電子的に検出する光学的検
査装置における被検査物の支持装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図６はＣＣＤリニアイメージセンサーを
用いた検査装置Ａにより、被検査物としての平板状のＴ
ＦＴカラーフィルタ１の傷、ゴミ等の異物、ピンホール
等の異常を検出する場合の図を示している。上記検査装
置Ａから光を投光し、そのカラーフィルタ１での反射光
あるいは透過光を検査装置Ａ内のＣＣＤセンサーで受光
し、そのＣＣＤセンサーからの出力信号によりカラーフ
ィルタ１の表面の傷、ゴミ等の異物、さらにはピンホー
ル等を検出するものである。なお検査装置Ａの構成につ
いては実施例の部分で詳述する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記カラーフィルタ１
の検査において、検査装置Ａは光をカラーフィルタ１に
投光し、その反射光あるいは透過光により検出するため
に、カラーフィルタ１の面上で光学的に焦点距離を合わ
す必要がある。つまりカラーフィルタ１が平板状でも大
きさが小さければ、カラーフィルタ１自体がたわまない
ために、検査装置Ａにおける焦点距離は最初に設定した
状態で合っている。しかしながらカラーフィルタ１の大
きさが大きくなると、図６に示すように、カラーフィル
タ１の両側あるいは周辺で支持しても、カラーフィルタ
１の中央部分が自重により下方にたわんで焦点距離が合
わなくなる。そのため光学的な検査が正確にできないと
いう問題があった。
【０００４】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、被検査物がたわ
まないようにして光学的に正確に検査を行うことが可能
な光学的検査装置における被検査物の支持装置を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで請求項１の光学的
検査装置における被検査物の支持装置は、平板状の被検
査物１からの透過光あるいは反射光を受光するセンサー
８からの出力信号により被検査物１の傷、ピンホール３
５、異物３６等の異常を検出する検査装置において、被
検査物１を移送するローラー５１、５１を少なくとも被
検査物１の検査範囲Ｘの両側に配設し、上記被検査物１
の面に当接する上記ローラー５１、５１の面に吸込口５
３を穿設し、上記ローラー５１、５１の内部の空気を吸
込んで上記吸込口５３により被検査物１を吸着して該被
検査物１を支持する支持手段５４を設けたことを特徴と
している。
【０００６】
【作用】上記請求項１の光学的検査装置における被検査
物の支持装置では、被検査物１の検査範囲Ｘの両側のロ
ーラー５１、５１の内部の空気を吸込むことで、該ロー
ラー５１、５１の吸込口５３にて被検査物１の面を吸着
することができる。そのため検査範囲Ｘの部分の被検査
物１の面は両側に引っ張られる形となって検査範囲Ｘの
部分はたわまず、平面状態を維持し、検査装置による光
学的な焦点距離を合わすことができ、正確な検査をする
ことができる。
【０００７】
【実施例】次にこの発明の光学的検査装置における被検
査物の支持装置の具体的な実施例について、図面を参照
しつつ詳細に説明する。まず平板状のＴＦＴカラーフィ
ルタ１の表面の傷、ゴミ等の異物、ピンホール等を光学
的、電子的に検査を行う検査装置Ａの構成について説明
する。
【０００８】図４に示す検査装置Ａの構成は、カラーフ
ィルタ１の反射光でゴミ等の異物３６を検出し、また透
過光によりカラーフィルタ１のピンホール３５を検出す
るようにしたものである。なおこの構成に限らず、光源
をカラーフィルタ１の上下に配置して、その反射光及び
透過光からカラーフィルタ１の異常を検出する構成でも
よい。
【０００９】図４において、カラーフィルタ１の表面に
付着しているゴミ等の異物３６を、第１ＣＣＤセンサー
（第１センサー）８と第１検出手段４１等により判断検
出するようにしている。またカラーフィルタ１のピンホ
ール３５を、第２ＣＣＤセンサー（第２センサー）６と
第２検出手段４２により検出するようにしている。
【００１０】ランプ等から成る光源２からの光は投光用
光学系３を介してカラーフィルタ１の表面にて反射さ
れ、この反射光は受光用光学系７を介して第１ＣＣＤセ
ンサー８にて受光される。この第１ＣＣＤセンサー８の
出力は第１検出手段４１に入力されて、この検出手段４
１により暗欠陥をゴミ等の異物３６として判断検出す
る。また上記光源２からの光は投光用光学系３を介して
カラーフィルタ１を透過し、この透過光は受光用光学系
４、フィルタ５を介して第２ＣＣＤセンサー６に入力さ
れる。この第２ＣＣＤセンサー６の出力は第２検出手段
４２に入力されて、この検出手段４２により明欠陥をピ
ンホール３５として判断検出する。なお上記光源２とし
ては、例えばタングステンハロゲンランプが用いられ、
光学系３、４、７には、例えばコンデンサレンズ系やコ
リメータレンズ系が用いられる。そして各ＣＣＤセンサ
ー６、８には、高速駆動タイプのＣＣＤリニアイメージ
センサーを用いている。さらにフィルタ５は、ＣＣＤセ
ンサー６が飽和するのを防止するための光量調整用フィ
ルタである。
【００１１】まず最初に、第２ＣＣＤセンサー６による
ピンホール３５の検査方法について図４及び図５により
説明する。図５（ａ）はカラーフィルタ１にピンホール
３５がある場合を示し、このピンホール３５の部分での
透過光は第２ＣＣＤセンサー６により受光される。そし
て第２ＣＣＤセンサー６からの出力信号は第２検出手段
４２に送られる。ここでカラーフィルタ１のピンホール
３５からの出力は、その部分で光の吸収がないために、
信号レベルが図５（ｂ）に示すように明欠陥信号として
上に振れる。そこで上に振れた信号がスレッショルドＴ
ｈにて検出され、第２検出手段４２ではカラーフィルタ
１にピンホール３５が存在していると判定する。
【００１２】次に第１ＣＣＤセンサー８による表面のゴ
ミ等の異物３６の検査方法について説明するが、この検
査手順は上記第２ＣＣＤセンサー６による検査と並行し
て略同時に行われるものである。図５（ｃ）に示すよう
にカラーフィルタ１の表面にゴミ等の異物３６が存在す
る場合、反射光においては、その部分に光が吸収される
ため、第１ＣＣＤセンサー８から第１検出手段４１に送
られる出力信号は、図５（ｄ）に示すように暗欠陥信号
として下に振れる。そこで下に振れた信号がスレッショ
ルドＴｈにて検出され、第１検出手段４１ではカラーフ
ィルタ１の表面にゴミ等の異物３６が存在すると判定す
るのである。
【００１３】このようにカラーフィルタ１のピンホール
３５からの出力は、透過光に吸収がないため第２ＣＣＤ
センサー６によって明欠陥信号として出力され、また不
透明なゴミ等の異物は反射光に基づき第１ＣＣＤセンサ
ー８によって暗欠陥信号として出力されるために、カラ
ーフィルタ１のピンホール３５と表面に付着したゴミ等
の異物３６との両者を容易に判断検出することができ
る。このようにカラーフィルタ１の裏面に付着している
ゴミ等の異物は製品として支障がないために、裏面の異
物は検出せず、カラーフィルタ１の表面のゴミ等の異物
３６とピンホール３５とを検出し、これら異物３６やピ
ンホール３５が検出されれば不良品と判断するものであ
る。
【００１４】次にこの発明の要旨であるカラーフィルタ
１の支持装置について図１〜図３に基づいて説明する。
図１に示すように検査装置Ａによりカラーフィルタ１の
異常を検査する場合、カラーフィルタ１を複数のローラ
ー５１、５２により移送し、カラーフィルタ１の検査範
囲Ｘにおいて検査装置Ａを横方向に移動させ、光をスキ
ャンさせることで異常を検出するようにしている。
【００１５】そして検査範囲Ｘとなる両側のローラー５
１、５１の一面、つまりカラーフィルタ１の下面と当接
する面に、図１（ｂ）に示すように長孔状の吸込口５３
を穿設し、該ローラー５１の内部は空所としてある。さ
らに両側のローラー５１、５１は真空装置５４と連結さ
れており、この真空装置５４を駆動することでローラー
５１、５１内を真空化していき、吸込口５３にてカラー
フィルタ１を吸着する。そして図２（ａ）に示す吸着前
のカラーフィルタ１がたわんだ状態から、両側のローラ
ー５１、５１の吸込口５３にてカラーフィルタ１を吸着
することで、カラーフィルタ１の検査範囲Ｘの両側がロ
ーラー５１、５１にて支持され、検査範囲Ｘの部分はた
わまずに平面状態となる（図２（ｂ）参照）。したがっ
て検査装置Ａによる光学的な焦点距離を合わすことがで
き、異常を正確に検出することができる。
【００１６】ここである検査範囲Ｘの検査が終了する
と、各ローラー５１、５２を回転させて次の検査範囲Ｘ
を検査することになる。またローラー５１を１回転ある
いは２回転させることで、次の検査範囲Ｘがちょうど検
査装置Ａの下方にくるようにしてある。
【００１７】図１に示すローラー５１は多角形とし、そ
の１つの面に吸込口５３を形成したが、他の面にも吸込
口５３を形成するようにしてもよい。この場合、カラー
フィルタ１の面に当接しない他の吸込口５３を適宜な手
段で閉塞するようにしてもよく、また他の面の吸込口５
３が開口していていもカラーフィルタ１の検査範囲Ｘの
部分がたわまなければ、そのまま開口させておいてもよ
い。さらに図１の場合をローラー５１の形状を多角形と
したが、図３に示すように、一部だけを平面状に形成
し、その面に吸込口５３を穿設するようにしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上のように請求項１の光学的検査装置
における被検査物の支持装置では、被検査物の検査範囲
の両側のローラーの内部の空気を吸込むことで、該ロー
ラーの吸込口にて被検査物の面を吸着することができ
る。そのため検査範囲の部分の被検査物の面は両側に引
っ張られる形となって検査範囲の部分はたわまず、平面
状態を維持し、検査装置による光学的な焦点距離を合わ
すことができ、正確な検査をすることができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention uses a CCD linear image sensor to optically and electronically detect scratches, foreign matter, pinholes and the like on a TFT color filter and the like. The present invention relates to a device for supporting an object to be inspected in a mechanical inspection device. 2. Description of the Related Art FIG . 6 shows an inspection apparatus A using a CCD linear image sensor, and a flat T-shaped inspection object.
The figure shows a case where an abnormality such as a scratch on the FT color filter 1, foreign matter such as dust, or a pinhole is detected. Light is emitted from the inspection device A, and the reflected light or transmitted light from the color filter 1 is received by the CCD sensor in the inspection device A. It detects foreign substances such as dust, and pinholes. The configuration of the inspection apparatus A will be described in detail in the section of the embodiment. [0003] The above color filter 1
In the inspection of (1), the inspection apparatus A needs to optically adjust the focal length on the surface of the color filter 1 in order to project light onto the color filter 1 and detect the light by the reflected light or transmitted light. That is, if the size of the color filter 1 is small even if the color filter 1 is small, the color filter 1 itself does not bend, so that the focal length in the inspection apparatus A is the same as the initially set state. However, when the size of the color filter 1 is increased, as shown in FIG. 6 , even if the color filter 1 is supported on both sides or the periphery, the central portion of the color filter 1 sags downward due to its own weight, and the focal length cannot be adjusted. Therefore, there has been a problem that optical inspection cannot be performed accurately. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to provide an optical device capable of performing an optically accurate inspection without bending an object to be inspected. An object of the present invention is to provide a device for supporting an object to be inspected in a mechanical inspection device. [0005] Therefore, a device for supporting an object to be inspected in the optical inspection apparatus according to the first aspect of the present invention includes a sensor 8 for receiving transmitted light or reflected light from the flat object 1 to be inspected. Of the inspection object 1 and the pinhole 3
5. In an inspection apparatus for detecting an abnormality such as a foreign substance 36, rollers 51 for transporting the inspection object 1 are arranged at least on both sides of the inspection range X of the inspection object 1,
The surface of the rollers 51, 51 contacting the surface of the
3 is provided, and a support means 54 for sucking the air inside the rollers 51, 51, sucking the inspection object 1 through the suction port 53, and supporting the inspection object 1 is provided. . In the apparatus for supporting an object to be inspected in the optical inspection apparatus according to the first aspect of the present invention, the air inside the rollers 51, 51 on both sides of the inspection area X of the object to be inspected 1 is sucked, and The surfaces of the inspection object 1 can be sucked at the suction ports 53 of the 51, 51. Therefore, the surface of the inspection object 1 at the portion of the inspection range X is pulled to both sides, so that the portion of the inspection range X does not bend, the flat state is maintained, and the optical focal length of the inspection device is adjusted. It can do accurate inspection. Next, a specific embodiment of a device for supporting an object to be inspected in an optical inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, the configuration of an inspection apparatus A that optically and electronically inspects the surface of the flat TFT color filter 1 for scratches, foreign matter such as dust, and pinholes will be described. The configuration of the inspection apparatus A shown in FIG . 4 is such that foreign matter 36 such as dust is detected by the reflected light of the color filter 1 and the pinhole 35 of the color filter 1 is detected by the transmitted light. . The configuration is not limited to this, and a configuration in which light sources are arranged above and below the color filter 1 and an abnormality of the color filter 1 is detected from the reflected light and the transmitted light may be used. In FIG . 4 , foreign matter 36 such as dust adhering to the surface of the color filter 1 is determined and detected by a first CCD sensor (first sensor) 8 and first detecting means 41 and the like. In addition, the pinhole 35 of the color filter 1 is detected by the second CCD sensor (second sensor) 6 and the second detection means 42. Light from a light source 2 such as a lamp is reflected on the surface of the color filter 1 through a light projecting optical system 3, and this reflected light is reflected by a first CCD sensor 8 through a light receiving optical system 7. Received. The output of the first CCD sensor 8 is input to the first detecting means 41,
In step 1, the dark defect is determined and detected as a foreign substance 36 such as dust. The light from the light source 2 passes through the color filter 1 via the light projecting optical system 3, and the transmitted light is input to the second CCD sensor 6 via the light receiving optical system 4 and the filter 5. The output of the second CCD sensor 6 is input to the second detecting means 42, and the detecting means 42 determines and detects a bright defect as the pinhole 35. As the light source 2, for example, a tungsten halogen lamp is used.
For the optical systems 3, 4, and 7, for example, a condenser lens system and a collimator lens system are used. Each of the CCD sensors 6 and 8 uses a high-speed driving type CCD linear image sensor. Further, the filter 5 is a light amount adjusting filter for preventing the CCD sensor 6 from being saturated. [0011] First will be described with reference to FIG. 4 and FIG. 5 a method of inspecting a pinhole 35 according 2CCD sensor 6. FIG. 5A shows a case where the color filter 1 has a pinhole 35, and light transmitted through the pinhole 35 is received by the second CCD sensor 6. Then, the output signal from the second CCD sensor 6 is sent to the second detecting means 42. Here, the output from the pinhole 35 of the color filter 1 has no light absorption at that portion.
The signal level swings upward as a bright defect signal as shown in FIG . So the signal that went up was the threshold T
h, the second detecting means 42 determines that the pinhole 35 exists in the color filter 1. Next, a method for inspecting foreign matter 36 such as dust on the surface by the first CCD sensor 8 will be described. This inspection procedure is performed substantially simultaneously with the inspection by the second CCD sensor 6. As shown in FIG. 5C, when there is a foreign matter 36 such as dust on the surface of the color filter 1, since the reflected light absorbs the light, the first CCD sensor 8 transmits the first detecting means 41 to the first detecting means 41. The output signal which is sent to the terminal of FIG. 5 swings downward as a dark defect signal as shown in FIG . Therefore, a downward signal is detected at the threshold Th, and the first detecting means 41 determines that the foreign matter 36 such as dust exists on the surface of the color filter 1. As described above, the output from the pinhole 35 of the color filter 1 does not absorb the transmitted light,
The foreign matter such as opaque dust is output as a dark defect signal by the first CCD sensor 8 based on the reflected light because the sensor 6 outputs the light defect signal and the dust adhering to the pinhole 35 and the surface of the color filter 1. Can be easily determined and detected. As described above, foreign matter such as dust adhering to the back surface of the color filter 1 does not hinder the product, so that foreign matter on the back surface is not detected. Is detected, and if these foreign matter 36 and pinhole 35 are detected, it is determined to be defective. Next, a supporting device of the color filter 1 according to the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, when inspecting the color filter 1 for abnormality using the inspection apparatus A, the color filter 1 is transported by a plurality of rollers 51 and 52, and the inspection apparatus A is moved in the inspection area X of the color filter 1 in the lateral direction. Then, an abnormality is detected by scanning the light. Then, the rollers 5 on both sides which become the inspection range X
As shown in FIG. 1 (b), one surface of each of the color filters 1 and 51, that is, the surface in contact with the lower surface of the color filter 1,
And the inside of the roller 51 is empty. Further, the rollers 51, 51 on both sides are connected to a vacuum device 54. By driving the vacuum device 54, the inside of the rollers 51, 51 is evacuated, and the color filter 1 is sucked at the suction port 53. Then, the color filter 1 before suction is bent from the state shown in FIG. 2A, and the color filter 1 is sucked at the suction ports 53 of the rollers 51, 51 on both sides. Are supported by the rollers 51, 51, and the portion of the inspection range X is in a flat state without bending (see FIG. 2B). Therefore, the optical focal length of the inspection device A can be adjusted, and an abnormality can be accurately detected. When the inspection of the inspection area X is completed, the rollers 51 and 52 are rotated to rotate the next inspection area X.
Will be inspected. Further, by rotating the roller 51 once or twice, the next inspection range X is just below the inspection device A. Although the roller 51 shown in FIG. 1 has a polygonal shape and the suction port 53 is formed on one surface, the suction port 53 may be formed on another surface. In this case, the other suction port 53 that does not contact the surface of the color filter 1 may be closed by appropriate means.
If the inspection area X of the color filter 1 does not bend even if the opening 3 is open, the opening may be left as it is. Further, although the shape of the roller 51 is polygonal in the case of FIG. 1, as shown in FIG. 3, only a part may be formed in a flat shape, and the suction port 53 may be formed on the surface. As described above, in the apparatus for supporting an object to be inspected in the optical inspection apparatus according to the first aspect, the air inside the rollers on both sides of the inspection range of the object to be inspected is sucked, thereby the roller The surface of the object to be inspected can be sucked at the suction port. As a result, the surface of the object to be inspected in the inspection area is pulled to both sides, so that the inspection area does not bend, the flat state is maintained, and the optical focal length of the inspection device can be adjusted, and Inspection can be done.
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施例のカラーフィルタを支
持するための構成を示す図である。
（ｂ）は本発明の実施例のローラーの要部斜視図であ
る。
【図２】本発明の実施例のローラーによる吸着状態を示
す説明図である。
【図３】本発明の実施例のローラーの他の実施例の断面
図である。
【図４】本発明の実施例のピンホールとゴミ等の異物を
検出する場合の構成図である。
【図５】本発明の実施例のピンホールとゴミ等の異物を
検出する場合の説明図である。
【図６】従来例のカラーフィルタの支持装置を示す図で
ある。
【符号の説明】
１ カラーフィルタ
３５ ピンホール
３６ 異物
５１ ローラー
５３ 吸込口
５４ 真空装置
Ａ 検査装置
Ｘ 検査範囲BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 (a) is a diagram showing a configuration for supporting a color filter according to an embodiment of the present invention. (B) is a perspective view of a main part of the roller of the embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a suction state by a roller according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a sectional view of another embodiment of the roller according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 shows a pinhole and foreign matter such as dust according to the embodiment of the present invention .
It is a block diagram in case of detecting. FIG. 5 is a diagram illustrating a pinhole and foreign matter such as dust according to an embodiment of the present invention .
FIG. 9 is an explanatory diagram in the case of detection. FIG. 6 is a diagram showing a conventional color filter support device.
is there. [Description of Signs] 1 Color filter 35 Pinhole 36 Foreign matter 51 Roller 53 Suction port 54 Vacuum device A Inspection device X Inspection range
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/89 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01B 11/00-11/30 G01N 21/89
Claims (1)
るいは反射光を受光するセンサー（８）からの出力信号
により被検査物（１）の傷、ピンホール（３５）、異物
（３６）等の異常を検出する検査装置において、被検査
物（１）を移送するローラー（５１）（５１）を少なく
とも被検査物（１）の検査範囲（Ｘ）の両側に配設し、
上記被検査物（１）の面に当接する上記ローラー（５
１）（５１）の面に吸込口（５３）を穿設し、上記ロー
ラー（５１）（５１）の内部の空気を吸込んで上記吸込
口（５３）により被検査物（１）を吸着して該被検査物
（１）を支持する支持手段（５４）を設けたことを特徴
とする光学的検査装置における被検査物の支持装置。(57) [Claims 1] A flaw of the inspection object (1) by an output signal from a sensor (8) that receives transmitted light or reflected light from the inspection object (1) having a flat plate shape. In an inspection apparatus for detecting an abnormality such as a pinhole (35), a foreign matter (36), etc., the rollers (51) and (51) for transporting the inspection object (1) are at least inspected in the inspection range (X) of the inspection object (1). ) On both sides,
The roller (5) contacting the surface of the inspection object (1)
1) A suction port (53) is formed in the surface of (51), and the air inside the rollers (51) and (51) is sucked, and the inspection object (1) is sucked by the suction port (53). An apparatus for supporting an inspection object in an optical inspection apparatus, further comprising a support means (54) for supporting the inspection object (1).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28547493A JP3463250B2 (en) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Device for supporting inspection object in optical inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110227A JPH07110227A (en) | 1995-04-25 |
| JP3463250B2 true JP3463250B2 (en) | 2003-11-05 |
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ID=17691991
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|---|---|---|---|---|
| CN106494861A (en) * | 2016-11-24 | 2017-03-15 | 烟台大有数据***有限公司 | A kind of vacuum adsorption type full-automatic bottle cap detecting system |
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1993
- 1993-10-08 JP JP28547493A patent/JP3463250B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH07110227A (en) | 1995-04-25 |
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