JP3445569B2 - パイロット式２ポート真空バルブ - Google Patents

パイロット式２ポート真空バルブ

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバと真
空ポンプとの間に接続して真空チャンバ内を真空圧に徐
々に減圧するために使用されるパイロット式２ポート真
空バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、真空チャンバの内圧を真空ポン
プで真空圧に下げる場合、大気圧や高圧の状態にある真
空チャンバ内の気体を急激に排気すると、一時的に大量
の気体が流動するので、真空チャンバ内で気体の乱流が
生じ、真空チャンバ内壁等に付着したパーティクルが巻
き上げられてワーク、例えばウエハに付着したり、ウエ
ハが移動しそのセット位置がずれたりすることがある。
そこで、真空チャンバと真空ポンプとを結ぶ流路に、流
体圧（操作圧力）で作動する、開口面積が大きい主弁お
よび開口面積の小さい副弁を有する真空排気弁を設置
し、図７に示すように、小さい方の副弁を開け初期排気
を行った後、大きい方の主弁を開け、気体の吸引量を段
階的に変化させるものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の真空
排気では、副弁による初期排気の後、主弁を開弁し、排
気量を段階的に増加させているが、主弁の開口面積は副
弁の開口面積に比べて大きいため、主弁の立上げ時には
多量の気体が急に吸引されることになり、真空チャンバ
内で気体の乱流を発生する恐れがあるという問題点があ
る。
【０００４】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは、主弁の
弁開度を段階的に大きくして、真空チャンバ内の気体の
乱流を確実に防止し、真空排気を安定的に行なうことが
できるパイロット式２ポート真空バルブを提供すること
にある。本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになる
であろう。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明に係る第１のパイロット式２ポート真空バルブ
は、真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と
真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主
流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路
を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁
と、上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び
上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置
する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体
（３６，４１）を有する副弁と、上記主弁体に第１のシ
ャフト（１０）を介して連結された第１のピストン
（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２
０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動
によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１
０，２０）と、上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じ
る方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）
と、上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結
された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供
給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上
記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉さ
せる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、上記第２のシ
ャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材
より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）
と、上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する
導通孔（４９）と、上記主圧力作用室および上記副圧力
作用室に上記圧力流体を導入する操作ポート（２１）
と、を具備し、上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じ
る方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，
６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あ
るいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され
たことを特徴としている。
【０００６】また、本発明に係る第２のパイロット式２
ポート真空バルブは、真空チャンバに接続されるチャン
バポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート
（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）
および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７
４）を有する主弁と、上記チャンバポートおよび上記ポ
ンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流
路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路
を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、上記
主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第
１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力
作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピスト
ンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部
（９，１０，２０）と、上記第１のシャフトを上記主弁
体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２
４，７３）と、上記副弁体に第２のシャフト（３８）を
介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧
力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体
圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁
体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、上
記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１
の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材
（４０）と、上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入す
る第１の操作ポート（２１）と、上記副圧力作用室に上
記圧力流体を導入する第２の操作ポート（７０）と、上
記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６
０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁
体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力
で付勢する第３の弾性部材（５４）と、上記調節棒に外
部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動
させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を
調節する操作部材（５６）と、を具備し、上記主弁体の
外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテー
パ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４
ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部
が曲面（６ｆ）状に形成されたことを特徴としている。
【０００７】また、上記第１のパイロット式２ポート真
空バルブの好ましい実施態様においては、上記第２のピ
ストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に
設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方
向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第
３の弾性部材（５４）と、上記調節棒に外部から回動操
作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記
第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作
部材（５６）とを具備することができる。
【０００８】従って、本発明では、主弁体の外周部に、
その閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して有
することから、主弁体は、主弁座との間隔を段階的に大
きくしながら開弁し、排気量が緩速的に増加するので、
真空チャンバ内の気体の乱流が確実に回避される。ま
た、主弁体の外周部が曲面状に形成されたことでも、主
弁体は主弁座との間隔を徐々に大きくしながら開弁され
るので、排気量が緩速的に増加され、真空チャンバ内の
気体の乱流の発生が回避される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当
たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明
する。図１は、本発明の一実施の形態に係るパイロット
式２ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態およ
び閉状態をそれぞれ示す断面図、図２および図３は、本
発明の他の実施の形態に係るパイロット式２ポート真空
バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状態をそれ
ぞれ示す断面図、図４は、本発明の実施の形態に係るパ
イロット式２ポート真空バルブにおける操作圧力と排気
量との特性図、図５および図６は、本発明の他の実施の
形態に係るパイロット式２ポート真空バルブにおける弁
ホルダの形状を示す要部断面図である。
【００１０】図１に示すパイロット式２ポート真空バル
ブは、略円筒状の弁ボディ１を有し、この弁ボディ１の
軸線方向後端部にはこれを塞ぐようにカバー２が固着さ
れ、先端部には真空チャンバ（図示略す）に接続するた
めのチャンバポート３が形成され、弁ボディ１の軸線方
向と直交する方向には真空ポンプ（図示略す）に接続す
るためのポンプポート４が開設され、弁ボディ１の内部
には、両ポート３，４を結ぶ第１の流路Ａ（副流路とな
る流路）を開閉する副弁機構と、両ポート３，４を結ぶ
第２の流路Ｂ（主流路となる流路）を開閉する主弁機構
とがそれぞれ設けられている。
【００１１】主弁機構は、中央部を開口した第1の弁ホ
ルダ６と、第1の弁ホルダ６の周縁部に保持され、両ポ
ート３，４を結ぶ第２の流路Ｂ中の弁座７を開閉する第
1の弁体８と、中央部が開口され第1の弁ホルダ６に固定
ボルト３３によって同軸状に固定された第２の弁ホルダ
３４とからなる主弁体と、圧縮空気等の圧力流体の作用
により作動して第1の弁体８を、その軸線方向に往復動
させ、開閉させる第1のピストン９と、第1の弁体８およ
び第1のピストン９を相互に連結する第1のシャフト１０
とを有している。そして、上記主弁体と上記弁座７（主
弁座）とにより上記主弁機構の主弁が構成されている。
【００１２】第1の弁ホルダ６の開口部は、導通路７２
を介してポンプポート４に連通し、第1のシャフト１０
の先端部は、第1の弁ホルダ６の中央部に嵌入され止め
輪１１によって抜脱しないように固定され、第1の弁ホ
ルダ６の第１の弁体８より先端側の外周部には、第1の
弁体８が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面６ａ，６
ｂが連続して形成され、第1の弁ホルダ６と第1のシャフ
ト１０との間には気密を保つシール部材１２が装着され
ている。
【００１３】第1のシャフト１０の後端部は、弁ボディ
１において、カバー２よりに形成されたシリンダ１５の
隔壁部である台座１３を、ガイドブッシュ１４を介して
気密かつ摺動自在に貫通し、シリンダ１５内の第1のシ
リンダ室１６の内壁に摺動自在に配設された第1のピス
トン９に固定ナット１７によって気密に連結されてい
る。
【００１４】第1のピストン９は、その外周に第1のシリ
ンダ室１６の内壁に気密に摺接するパッキン１８および
ガイドリング１９を有しており、第1のピストン９と台
座１３との間に区画形成された主圧力作用室２０は、シ
リンダ１５の上壁に開設され、電空レギュレータ（図示
略す）によって圧力制御された圧力流体が供給される操
作ポート２１に連通している。操作ポート２１から主圧
力作用室２０に圧力流体が供給されると、第1のピスト
ン９がカバー２側に移動し、第1の弁体８が開くように
なっている。
【００１５】弁ボディ１の内部には、第１の弁ホルダ６
に装着されたバネ受け２２と台座１３との間に、第１の
弁体８を閉鎖方向に付勢する第１の弾性部材を構成する
第１および第２のスプリング２３，２４が縮設されると
共に、弁ボディ１の内壁片と台座１３間に挟着されたベ
ローズホルダ２５と第１の弁ホルダ６との間に第１のシ
ャフト１０、第１および第２のスプリング２３，２４を
内包するベローズ２７が設けられている。なお、図中、
２８は、弁ボディ１とベローズホルダ２５との間の気密
を保つシール部材であり、３０は、第１のシャフト１０
と台座１３との間の気密を保つパッキンである。また、
３１は、ベローズ２７内を外部に連通する呼吸ポート、
３２は第１のシリンダ室１６を外部に連通する呼吸孔で
ある。
【００１６】副弁機構は、弁座７より開口面積が小さく
第２の弁ホルダ３４の開口縁部に保持された第２の弁体
３５と、この第２の弁体３５を開閉するニードル弁３６
と、流体圧の作用により作動してニードル弁３６を軸線
方向に往復駆動する第２のピストン３７と、ニードル弁
３６と第２のピストン３７とを連結する第２のシャフト
３８とを有し、主弁機構内に完全に内蔵されている。
【００１７】第１のシャフト１０の内部には、バネ座３
９とニードル弁３６との間にニードル弁３６を閉弁方向
に付勢する第２の弾性部材を構成する第３のスプリング
４０が縮設され、ニードル弁３６の外周部には弁シール
部４１が形成され、閉弁時には弁シール部４１が第２の
弁体３５に密着するようになっている。なお、第２の弁
体３５は、ニードル弁３６の弁座としての機能を有し、
該第２の弁体３５および上記弁シール部４１を有するニ
ードル弁３６により上記副弁機構の副弁の副弁座および
副弁体が構成されている。第１のシャフト１０の上部に
は第３のスプリング４０が配設されたニードル弁３６の
背室を外部に連通させるための呼吸孔４２が開設され、
ニードル弁３６の背室に近接する位置には、第２のシャ
フト３８と第１のシャフト１０との間の気密を保つＯリ
ング４５が装着されている。第２のシャフト３８は、ニ
ードル弁３６の背室の近傍でブッシュ６６を介して第１
のシャフト１０に摺動自在に貫通され、第２のシャフト
３８の振れを抑制している。なお、図中、４３は、第１
のシャフト１０とニードル弁３６との間の気密を保つＯ
リングである。
【００１８】第２のシャフト３８の後端部は、第１のシ
ャフト１０の内部を気密且つ摺動自在に貫通して第1の
ピストン９内の第２のシリンダ室４４内に突出し、第２
のシリンダ室４４内に摺動自在に配設された第２のピス
トン３７に気密に連結されている。なお、図中、４６
は、第２のシャフト３８と第２のピストン３７との間の
気密を保つシール部材である。
【００１９】第２のピストン３７は、その外周に第２の
シリンダ室４４の内壁に気密に摺接するパッキン４７を
有しており、後端部には凹部５２が周方向に形成されて
いる。第２のピストン３７と第1のピストン９との間に
は副圧力作用室４８が区画形成され、副圧力作用室４８
と主圧力作用室２０とが第1のピストン９に形成された
導通孔４９によって相互に連通している。第1のピスト
ン９の後端部には断面略コ字形のピストンカバー５０の
両端が固着され、第２のピストン３７は、ピストンカバ
ー５０の肩部５１に当接することで、そのストローク端
が規定されるようになっている。
【００２０】カバー２の中央部には、外周にローレット
加工が施された操作部材となるダイヤル５６が止め輪５
７によって不用意に抜脱しないように組み込まれ、ピス
トンカバー５０の中央部にはネジ部５８を有するリティ
ナ５９が固定されている。調節棒６０は、リティナ５９
のネジ部５８に螺回により進退自在にねじ付けられてお
り、調節棒６０の先端部には、バネ座５３がピストンカ
バー５０内の凹室５５において固定され、後端部が回転
方向にのみ結合するようにダイヤル５６に挿入されてい
る。
【００２１】バネ座５３と第２のピストン３７の凹部５
２との間には第３の弾性部材を構成する第４のスプリン
グ５４が縮設され、ニードル弁３６は第４のスプリング
５４によって第２のピストン３７，第２のシャフト３８
を順次介して閉じる方向に付勢され、第１のピストン９
とカバー２との間には第１の弁体８を閉弁方向に付勢
し、圧力流体の操作圧力に対する排気量の変化量を小さ
くするための第１の弾性部材を構成する第５のスプリン
グ７３が縮設されている。なお、図中、６１は、ピスト
ンカバー５０に形成され、第２のシリンダ室４４を凹室
５５を通して第１のシリンダ室１６に連通する呼吸孔で
あり、６２は、調節棒６０のリティナ５９からの抜脱を
防止する止め輪である。
【００２２】カバー２の上部にはスプリング６３によっ
て一方向に付勢するニードル６４が挿入され、ニードル
６４をスプリング６３の付勢力に抗してダイヤル５６に
押し付け、止めネジ６５で固定することでダイヤル５６
の不本意な自然回転を阻止するようになっており、調節
棒６０とダイヤル５６とが回転方向にのみ結合するよう
になっている。
【００２３】パイロット式２ポート真空バルブは、以上
の如く構成されているので、通常、ニードル弁３６およ
び第1の弁体８は、第1および第２の流路Ａ，Ｂをそれぞ
れ閉鎖しており、この状態では真空ポンプを運転しても
真空チャンバ内の気体は第1のポート３から第２のポー
ト４へと排出されない。ここで、圧縮空気等の圧力流体
が電空レギュレータによって徐々に加圧されながら操作
ポート２１から主圧力作用室２０に供給されると、ま
ず、圧力流体は導通孔４９を通して副圧力作用室４８に
導入される。
【００２４】その後、第２のピストン３７は、副圧力作
用室４８の流体圧の上昇に伴って第３および第４のスプ
リング４０，５４の弾発力に抗してピストンカバー２の
肩部５１に当接する位置まで移動し、第２のシャフト３
８を介してニードル弁３６を開く。従って、真空チャン
バ内の気体は制限的に開口する第1の流路Ａを通ってポ
ンプポート４へと徐々に流れ込み、真空チャンバは緩速
で排気される。このため、真空チャンバ内で急速排気を
行う場合のような気体の乱流が発生せず、乱流に伴うパ
ーティクルの巻き上げが生じない。
【００２５】その後、操作ポート２１からさらに高圧の
圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることで、主圧
力作用室２０内の流体圧が上昇し、第1のピストン９は
第1および第２のスプリング２３，２４ならびに第５の
スプリング７３の弾発力に抗してピストンカバー５０が
カバー２に当接する位置まで移動する。これにより、第
1の弁体８が開き、残りの排気が行われる。この場合、
第1の弁ホルダ６の外周部に複数のテーパ面６ａ，６ｂ
が形成されているため、第1の弁体８の移動に伴って第1
の弁ホルダ６と弁座７との間隔が段階的に拡大し、第１
の弁体８と弁座７との間を通過する排気量が段階的に増
加するので、急激な排気が抑制され真空チャンバ内の気
体の乱流は発生せず、パーティクルの巻き上げは起こら
ない。また、電空レギュレータの出力圧は、真空チャン
バ内の真空圧を任意の大きさに維持または変更するよう
に自動的に調節され、真空チャンバ内の真空圧は、チャ
ンバポート３または真空チャンバとチャンバポート３と
を連通する配管部あるいは真空チャンバ内に圧力センサ
（図示略す）を設置して検出する。
【００２６】真空チャンバが所要の真空圧になると、主
圧力作用室２０および副圧力作用室４８内の圧力流体が
操作ポート２１から排出され、第1の弁体８が第1および
第２のスプリング２３，２４ならびに第５のスプリング
７３の付勢力で復帰した後、ニードル弁３６が第３およ
び第４のスプリング４０，５４の付勢力で復帰し、ニー
ドル弁３６および第1の弁体８により第1および第２の流
路Ａ，Ｂがそれぞれ閉鎖されることになる。
【００２７】図２に示すパイロット式２ポート真空バル
ブは、第1の弁ホルダ６に形成されたテーパ面６ａ，６
ｂに代えて、第１の弁ホルダ６の先端面に固定され、第
２の弁体３５を保持する第２の弁ホルダ７４の外周部
に、第１の弁体８が閉じる方向に縮径する複数のテーパ
面７４ａ，７４ｂを連続して形成したものであり、その
他の構成および作用は、図１に示すパイロット式２ポー
ト真空バルブと同様なので、同一構成部分には同一符号
を付してその説明を割愛する。なお、第２の弁ホルダ７
４と図１の第２の弁ホルダ３４とは形状を異にするが、
同様のものである。
【００２８】図３に示すパイロット式２ポート真空バル
ブは、圧力流体を主圧力作用室２０および副圧力作用室
４８に個別に導入する２つの操作ポート２１，７０を有
し、圧力流体を操作ポート７０より副圧力作用室４８に
導入した後、操作ポート２１より主圧力作用室２０に導
入するようにしたものであり、その他の構成および作用
は、図１に示すパイロット式２ポート真空バルブと同様
なので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を
割愛する。なお、かかるパイロット式２ポート真空バル
ブでは、２つの操作ポート２１，７０を有することで、
第１の弁体８を開弁し所定量の排気を行ないながら、ニ
ードル弁３６を開閉し排気量を微妙に調節することが可
能である。
【００２９】このように、本実施の形態のパイロット式
２ポート真空バルブでは、第1の弁ホルダ６または第２
の弁ホルダ７４の外周部に、第1の弁体８が閉じる方向
に縮径する複数のテーパ面６ａ，６ｂまたは７４ａ，７
４ｂが連続して形成されたので、図４に示すように、操
作圧力を徐々に加圧すると、ニードル弁３６の開弁の
後、第1の弁体８は、その移動に伴って第1の弁ホルダ６
または第２の弁ホルダ７４と弁座７との間隔を段階的に
大きくしながら開弁し、排気量が段階的に増加され、真
空チャンバは緩速で排気される。これにより、真空チャ
ンバ内の気体の乱流が確実に防止され、乱流に伴うパー
ティクルの巻き上げを確実に防止することができる。
【００３０】以上、本発明の実施の形態のパイロット式
２ポート真空バルブについて詳述したが、本発明は、上
記実施の形態記載のパイロット式２ポート真空バルブに
限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記
載されている発明の精神を逸脱しない範囲で、設計にお
いて種々の変更ができるものである。たとえば、図５に
示すように、第１の弁ホルダ６の外周部に、第１の弁体
８が閉じる方向に縮径する３つのテーパ面６ｃ，６ｄ，
６ｅを連続して形成する他、４つ以上の多数のテーパ面
を連続して形成してもよく、また、図６に示すように、
第１の弁ホルダ６の外周部に曲面６ｆを形成することで
も、同様の効果を期待することができる。また、かかる
テーパ面あるいは曲面を、第１の弁ホルダ６に代えて、
第２の弁ホルダ７４に形成してもよい。また、請求項の
記載内容を理解しやすくするために、請求項中に図面で
使用した符号を括弧付きで記入したが、該符号は請求項
の記載内容を理解しやすくするために記載したものであ
るから、該符号の記載によって本発明が限定解釈される
ものではない。 例えば、本発明の実施例では、第１の弁
体８を閉じる方向に付勢する第１の弾性部材として第
１、第２および第５のスプリング２３，２４，７３を用
いているが、必ずしも３つのスプリングを用いた実施例
に限定される必要はない。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発
明のパイロット式２ポート真空バルブによれば、主弁体
の外周部に、その閉じる方向に縮径する複数のテーパ面
が連続して形成されたので、主弁体は、弁開度を段階的
に大きくしながら開弁し、排気量を段階的に増加させ、
真空チャンバ内は緩速で排気される。また、主弁体の外
周部が曲面状に形成されたことでも、主弁体は弁開度を
徐々に大きくしながら開弁されるので、排気量が緩速的
に増加される。これによって、真空チャンバ内の気体の
乱流の発生を確実に防止することができるので、パーテ
ィクルの巻き上げを防止することができ、パーティクル
がウエハ等のワークに付着したり、ワークの位置がずれ
るなどの不具合を回避することができ、真空排気を安定
的に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態であるパイロット式２ポ
ート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状
態をそれぞれ示す断面図。
【図２】本発明の他の実施の形態であるパイロット式２
ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉
状態をそれぞれ示す断面図。
【図３】本発明の他の実施の形態であるパイロット式２
ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉
状態をそれぞれ示す断面図。
【図４】本発明の実施の形態のパイロット式２ポート真
空バルブにおける操作圧力と排気量との特性図。
【図５】本発明の他の実施の形態であるパイロット式２
ポート真空バルブにおける弁ホルダの形状を示す要部断
面図。
【図６】本発明の他の実施の形態であるパイロット式２
ポート真空バルブにおける弁ホルダの形状を示す要部断
面図。
【図７】従来の真空排気弁における操作圧力と排気量と
の特性図。
【符号の説明】
１ 弁ボディ ２ カバー ３ チャンバポート ４ ポンプポート ６ 第1の弁ホルダ ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ テー
パ面 ６ｆ 曲面 ７ 弁座 ８ 第1の弁体 ９ 第1のピストン １０ 第１のシャフト １５ シリンダ １６ 第1のシリンダ室 ２０ 主圧力作用室 ２１，７０ 操作ポート ２３ 第1のスプリング ２４ 第２のスプリング ２７ ベローズ ３４，７４ 第２の弁ホルダ ３５ 第２の弁体 ３６ ニードル弁 ３７ 第２のピストン ３８ 第２のシャフト ４０ 第３のスプリング ４４ 第２のシリンダ室 ４８ 副圧力作用室 ４９ 導通孔 ５０ ピストンカバー ５１ 肩部 ５３ バネ座 ５４ 第４のスプリング ５８ ネジ部 ７３ 第５のスプリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−137879（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−103068（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−181077（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−260012（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−160034（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−227232（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−116070（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 1/00 F16K 31/12 F16K 51/02

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】真空チャンバに接続されるチャンバポート
    （３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）と
    を結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上
    記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有
    する主弁と、 上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記
    主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する
    副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３
    ６，４１）を有する副弁と、 上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結され
    た第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主
    圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピ
    ストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆
    動部（９，１０，２０）と、 上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢す
    る第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、 上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結され
    た第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給さ
    れる副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第
    ２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる
    副弁駆動部（３７，３８，４８）と、 上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第
    １の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部
    材（４０）と、 上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する導通
    孔（４９）と、 上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流
    体を導入する操作ポート（２１）と、 を具備し、 上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径す
    る複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７
    ４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁
    体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成されたことを特徴と
    するパイロット式２ポート真空バルブ。
  2. 【請求項２】真空チャンバに接続されるチャンバポート
    （３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）と
    を結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上
    記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有
    する主弁と、 上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記
    主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する
    副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３
    ６，４１）を有する副弁と、 上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結され
    た第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主
    圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピ
    ストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆
    動部（９，１０，２０）と、 上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢す
    る第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、 上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結され
    た第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給さ
    れる副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第
    ２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる
    副弁駆動部（３７，３８，４８）と、 上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第
    １の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部
    材（４０）と、 上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入する第１の操作
    ポート（２１）と、 上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する第２の操作
    ポート（７０）と、上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６
    ０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁
    体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力
    で付勢する第３の弾性部材（５４）と、 上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上
    記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位さ
    せ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、 を具備し、 上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径す
    る複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７
    ４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁
    体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成されたことを特徴と
    するパイロット式２ポート真空バルブ。
  3. 【請求項３】上記第２のピストンと螺回により進退自在
    の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフ
    トを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より
    小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、 上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上
    記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位さ
    せ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、 を具備したことを特徴とする請求項１に記載のパイロッ
    ト式２ポート真空バルブ。
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