JP3443375B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP3443375B2 JP3443375B2 JP28896899A JP28896899A JP3443375B2 JP 3443375 B2 JP3443375 B2 JP 3443375B2 JP 28896899 A JP28896899 A JP 28896899A JP 28896899 A JP28896899 A JP 28896899A JP 3443375 B2 JP3443375 B2 JP 3443375B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハやガ
ラス基板などの板状のワークを保持して搬送する搬送装
置に関する。
ラス基板などの板状のワークを保持して搬送する搬送装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハやフロッピーディスクなど
の板状のワークを搬送する場合には、搬送装置を使用し
て、それぞれのワークに対する所定の処理が終了した後
に１枚ずつ他の処理工程に向けて搬送する。
の板状のワークを搬送する場合には、搬送装置を使用し
て、それぞれのワークに対する所定の処理が終了した後
に１枚ずつ他の処理工程に向けて搬送する。
【０００３】このようなワークを搬送するために、バキ
ュームカップを用いてワークを真空吸着するようにした
搬送装置が用いられているが、ワークの表面にバキュー
ムカップの圧痕が残ることがある。
ュームカップを用いてワークを真空吸着するようにした
搬送装置が用いられているが、ワークの表面にバキュー
ムカップの圧痕が残ることがある。
【０００４】そこで、ワークの表面に直接搬送ヘッドが
接触しないようにした非接触式の搬送装置が、例えば、
特開昭６２−１０５８３１号公報に示されるように提案
されている。この搬送装置は、エゼクタ式真空ポンプの
原理を応用したものであるが、この装置では空気を吹き
付けるようにしなければ、エゼクタ機能を発生させるこ
とができない。また、このような方式では、ワークをそ
の搬送途中で吹き飛ばし易く、搬送が不安定となるとい
う問題点があった。
接触しないようにした非接触式の搬送装置が、例えば、
特開昭６２−１０５８３１号公報に示されるように提案
されている。この搬送装置は、エゼクタ式真空ポンプの
原理を応用したものであるが、この装置では空気を吹き
付けるようにしなければ、エゼクタ機能を発生させるこ
とができない。また、このような方式では、ワークをそ
の搬送途中で吹き飛ばし易く、搬送が不安定となるとい
う問題点があった。
【０００５】そこで、本発明者は、特開平１０−１８１
８７９号公報に示すように、ワークに圧痕を発生させる
ことなく、ワークを確実に保持して搬送できる構成を開
発した。ロボットアームなどの移動部材に装着される搬
送ヘッドに、板状のワークを保持する環状の保持面と、
この保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部
と、この気体吐出部と保持面とを結ぶ気体案内面とを形
成し、この気体案内面に沿って空気を供給するノズルを
気体吐出部に設け、この気体吐出部から気体案内面を経
て保持面にまで付着した状態で流れる気体により保持面
において負圧を形成し、この負圧によりワークを保持す
るようにした構成である。
８７９号公報に示すように、ワークに圧痕を発生させる
ことなく、ワークを確実に保持して搬送できる構成を開
発した。ロボットアームなどの移動部材に装着される搬
送ヘッドに、板状のワークを保持する環状の保持面と、
この保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部
と、この気体吐出部と保持面とを結ぶ気体案内面とを形
成し、この気体案内面に沿って空気を供給するノズルを
気体吐出部に設け、この気体吐出部から気体案内面を経
て保持面にまで付着した状態で流れる気体により保持面
において負圧を形成し、この負圧によりワークを保持す
るようにした構成である。
【０００６】すなわち、搬送ヘッドの先端面にはこれに
付着した状態でこれに沿って流れる気体により気体の層
が形成されるので、搬送ヘッドの前方におけるワークの
有無に関係なく、搬送ヘッドの前面には負圧領域が形成
されることになり、ワークを確実に保持することができ
る。
付着した状態でこれに沿って流れる気体により気体の層
が形成されるので、搬送ヘッドの前方におけるワークの
有無に関係なく、搬送ヘッドの前面には負圧領域が形成
されることになり、ワークを確実に保持することができ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記環状の保持面を有
する搬送装置では、気体吐出部から吐出される気体が円
周方向に向けて、すなわち全方向に向けて放射状に噴出
されることとなる。しかし、ワークによっては、搬送装
置からのかかる吐出気体の影響を受けたくない方向を有
する場合もあるが、かかる場合には全方向に気体が噴出
される上記構成の搬送装置は使用することができない。
する搬送装置では、気体吐出部から吐出される気体が円
周方向に向けて、すなわち全方向に向けて放射状に噴出
されることとなる。しかし、ワークによっては、搬送装
置からのかかる吐出気体の影響を受けたくない方向を有
する場合もあるが、かかる場合には全方向に気体が噴出
される上記構成の搬送装置は使用することができない。
【０００８】本発明の目的は、搬送ヘッドの先端に負圧
を形成してワークを保持する搬送装置において、負圧を
形成するための吐出気体の吐出方向を特定方向に規制し
て、この吐出気体の影響を受けたくない方向があるワー
クでも、保持することができるようにすることにある。
を形成してワークを保持する搬送装置において、負圧を
形成するための吐出気体の吐出方向を特定方向に規制し
て、この吐出気体の影響を受けたくない方向があるワー
クでも、保持することができるようにすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ロボットアー
ムなどの移動部材に装着され、ワークに対向する先端面
を有する搬送ヘッドと、前記先端面に稜線を介して当該
稜線の一方側に前記ワークに対して傾斜して形成される
気体案内面と、前記先端面に前記稜線を介して当該稜線
の他方側に前記ワークに対して傾斜して形成される気体
拡散面と、前記気体案内面に取り付けられ、前記気体案
内面から前記稜線を経由して前記気体拡散面まで前記先
端面に付着した気体の噴流層を形成する気体噴出部材と
を有し、前記稜線から前記気体拡散面に発生する負圧に
よりワークを保持することを特徴とする。
ムなどの移動部材に装着され、ワークに対向する先端面
を有する搬送ヘッドと、前記先端面に稜線を介して当該
稜線の一方側に前記ワークに対して傾斜して形成される
気体案内面と、前記先端面に前記稜線を介して当該稜線
の他方側に前記ワークに対して傾斜して形成される気体
拡散面と、前記気体案内面に取り付けられ、前記気体案
内面から前記稜線を経由して前記気体拡散面まで前記先
端面に付着した気体の噴流層を形成する気体噴出部材と
を有し、前記稜線から前記気体拡散面に発生する負圧に
よりワークを保持することを特徴とする。
【００１０】複数の気体拡散面と、これに対応する複数
の気体噴出部材とを前記先端面に設けてもよい。複数の
気体拡散面に連なる気体排出路を前記搬送ヘッドに形成
してもよい。それぞれの前記気体拡散面に付着して拡散
する気体の流れを逆向きとしたことを特徴とする。前記
搬送ヘッドの先端面に気体拡散溝を形成し、当該気体拡
散溝内に気体を流すようにしたことを特徴とする。
の気体噴出部材とを前記先端面に設けてもよい。複数の
気体拡散面に連なる気体排出路を前記搬送ヘッドに形成
してもよい。それぞれの前記気体拡散面に付着して拡散
する気体の流れを逆向きとしたことを特徴とする。前記
搬送ヘッドの先端面に気体拡散溝を形成し、当該気体拡
散溝内に気体を流すようにしたことを特徴とする。
【００１１】上記構成では、気体噴出部材から噴出した
気体が気体拡散面に沿って拡散することにより負圧が発
生し、この負圧によりワークが保持される。かかる気体
拡散面は、搬送ヘッドの先端に全面に形成してもよい
が、相互に傾斜した気体案内面と気体拡散面とを稜線部
を介してその両側に形成し、この気体案内面に沿って気
体噴出部材から気体を層状に噴出するようにしてもよ
い。
気体が気体拡散面に沿って拡散することにより負圧が発
生し、この負圧によりワークが保持される。かかる気体
拡散面は、搬送ヘッドの先端に全面に形成してもよい
が、相互に傾斜した気体案内面と気体拡散面とを稜線部
を介してその両側に形成し、この気体案内面に沿って気
体噴出部材から気体を層状に噴出するようにしてもよ
い。
【００１２】かかる構成とした場合には、高速で噴出さ
れた気体は、噴流層となって、稜線部を横切り、気体案
内面とは反対側に設けた気体拡散面に付着させられなが
ら拡散する。
れた気体は、噴流層となって、稜線部を横切り、気体案
内面とは反対側に設けた気体拡散面に付着させられなが
ら拡散する。
【００１３】噴流層が稜線部を経由して気体拡散面に向
けて拡散する際に負圧が発生し、この負圧によりワーク
が噴流層を介在させた状態で稜線部から気体拡散面にか
けて非接触に保持されることとなる。気体案内面を有す
る構成で、気体拡散面を、気体案内面に対して稜線部を
介して反対側に設けるようにすれば、吐出気体は、横方
向および気体案内面を設けた側には吹出すことがない。
けて拡散する際に負圧が発生し、この負圧によりワーク
が噴流層を介在させた状態で稜線部から気体拡散面にか
けて非接触に保持されることとなる。気体案内面を有す
る構成で、気体拡散面を、気体案内面に対して稜線部を
介して反対側に設けるようにすれば、吐出気体は、横方
向および気体案内面を設けた側には吹出すことがない。
【００１４】すなわち、本発明の搬送装置では、全方向
に吐出気体を吹き出す従来構成とは異なり、吐出気体が
吹き出さない方向があり、吐出気体の影響を受けたくな
い方向があるワークでも、その箇所を吐出気体の吹き出
さない方向に位置させるようにして保持させることがで
きる。
に吐出気体を吹き出す従来構成とは異なり、吐出気体が
吹き出さない方向があり、吐出気体の影響を受けたくな
い方向があるワークでも、その箇所を吐出気体の吹き出
さない方向に位置させるようにして保持させることがで
きる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１６】図１（Ａ）は、本発明の搬送装置の断面図
であり、（Ｂ）は（Ａ）の搬送装置をワーク保持部側か
ら見た斜視図である。
であり、（Ｂ）は（Ａ）の搬送装置をワーク保持部側か
ら見た斜視図である。
【００１７】搬送装置では、図１に示すように、搬送ヘ
ッド１がロボットアーム２（図中、二点鎖線で表示）に
装着され、移動部材としてのロボットアーム２によって
所定の軌跡で移動することができるようになっている。
ッド１がロボットアーム２（図中、二点鎖線で表示）に
装着され、移動部材としてのロボットアーム２によって
所定の軌跡で移動することができるようになっている。
【００１８】搬送ヘッド１では、ワークＷに対して傾斜
角αで傾斜面に設定された気体案内面３と、同じくワー
クＷに対して傾斜角βで傾斜面に設定された気体拡散面
４とが、稜線部５を介してそれぞれ互いに反対側に設け
られている。このようにして、気体案内面３と気体拡散
面４とは、稜線部５を介して両側に互いに傾斜させられ
て、すなわち、稜線部５の両側にテーパ面が形成される
ようにして設けられている。
角αで傾斜面に設定された気体案内面３と、同じくワー
クＷに対して傾斜角βで傾斜面に設定された気体拡散面
４とが、稜線部５を介してそれぞれ互いに反対側に設け
られている。このようにして、気体案内面３と気体拡散
面４とは、稜線部５を介して両側に互いに傾斜させられ
て、すなわち、稜線部５の両側にテーパ面が形成される
ようにして設けられている。
【００１９】気体案内面３には、ノズル６が気体噴出部
材として設けられている。ノズル６の噴出端内側には、
凹部に形成されたエアーポケット７が構成され、エアー
ポケット７に対応する気体案内面３側には、圧縮気体の
供給源（図示せず）に連通される気体通路８の開口端が
気体吐出口８ａとして開口されている。ノズル６の噴出
端側と気体案内面３との間が、スリット９に形成されて
いる。
材として設けられている。ノズル６の噴出端内側には、
凹部に形成されたエアーポケット７が構成され、エアー
ポケット７に対応する気体案内面３側には、圧縮気体の
供給源（図示せず）に連通される気体通路８の開口端が
気体吐出口８ａとして開口されている。ノズル６の噴出
端側と気体案内面３との間が、スリット９に形成されて
いる。
【００２０】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出されることとなる。なお、かかる気体には、例え
ば空気を使用すればよい。
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出されることとなる。なお、かかる気体には、例え
ば空気を使用すればよい。
【００２１】気体案内面３に付着した状態で流出された
気体は、稜線部５を経由して、気体案内面３の反対側に
設けた気体拡散面４に付着した状態で拡散される。すな
わち、気体案内面３から、稜線部５を経由して、気体拡
散面４まで、気体が薄い層状の噴流層Ａになって流れる
こととなる。図１（Ｂ）では、幅広の矢印Ａ（図中、二
点鎖線で表示）で示した。
気体は、稜線部５を経由して、気体案内面３の反対側に
設けた気体拡散面４に付着した状態で拡散される。すな
わち、気体案内面３から、稜線部５を経由して、気体拡
散面４まで、気体が薄い層状の噴流層Ａになって流れる
こととなる。図１（Ｂ）では、幅広の矢印Ａ（図中、二
点鎖線で表示）で示した。
【００２２】このようにして気体が稜線部５を経由し
て、気体拡散面４に沿った状態で拡散される際には、稜
線部５から気体拡散面４方向にかけて負圧が発生する。
て、気体拡散面４に沿った状態で拡散される際には、稜
線部５から気体拡散面４方向にかけて負圧が発生する。
【００２３】かかる負圧によりワークＷは、図１（Ａ）
に示すように、稜線部５から気体拡散面４側にかけて、
稜線部５とワークＷとの間に形成された噴流層Ａを間に
介した状態で非接触に保持される。ノズル６は、図１に
示すように、ボルト１０などで気体案内面３に取り付け
られている。
に示すように、稜線部５から気体拡散面４側にかけて、
稜線部５とワークＷとの間に形成された噴流層Ａを間に
介した状態で非接触に保持される。ノズル６は、図１に
示すように、ボルト１０などで気体案内面３に取り付け
られている。
【００２４】上記構成の搬送ヘッド１では、気体案内面
３と気体拡散面４とが稜線部５を介して反対側に設けら
れ、吐出気体は稜線部５に向けて、気体案内面３に付着
した状態で流出されて、気体拡散面４側で拡散されるた
め、気体案内面３の下側位置では、ワークＷに対して気
体が直接吹き当たることがない。
３と気体拡散面４とが稜線部５を介して反対側に設けら
れ、吐出気体は稜線部５に向けて、気体案内面３に付着
した状態で流出されて、気体拡散面４側で拡散されるた
め、気体案内面３の下側位置では、ワークＷに対して気
体が直接吹き当たることがない。
【００２５】そこで、図１（Ａ）に示すように、例え
ば、ワークＷに気体を吹き当てたくない構成部Ｗａが設
けられている場合には、この構成部Ｗａを気体案内面３
の側に位置させるようにして、稜線部５をワークＷに近
づけてワークを保持するようにすることができる。
ば、ワークＷに気体を吹き当てたくない構成部Ｗａが設
けられている場合には、この構成部Ｗａを気体案内面３
の側に位置させるようにして、稜線部５をワークＷに近
づけてワークを保持するようにすることができる。
【００２６】図１に示す場合には、ワークＷは金属板な
どのように剛性を有した板状の場合を想定しているた
め、ワークＷは平な状態で非接触に保持されている。布
や紙などの柔軟素材をワークＷに使用する場合には、そ
の柔軟性によっては、稜線部５から気体拡散面４側にか
けてのテーパ部に沿った形でワークＷが曲げられた状態
で保持されることもある。
どのように剛性を有した板状の場合を想定しているた
め、ワークＷは平な状態で非接触に保持されている。布
や紙などの柔軟素材をワークＷに使用する場合には、そ
の柔軟性によっては、稜線部５から気体拡散面４側にか
けてのテーパ部に沿った形でワークＷが曲げられた状態
で保持されることもある。
【００２７】図２（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の搬送装置
に使用する搬送ヘッドの変形例を示す断面図である。図
２（Ａ）に示す場合も、図示されてはいないが、搬送ヘ
ッド１１は移動部材としてのロボットアーム２に接続さ
れて所定の軌跡で移動することができるようになってい
る。
に使用する搬送ヘッドの変形例を示す断面図である。図
２（Ａ）に示す場合も、図示されてはいないが、搬送ヘ
ッド１１は移動部材としてのロボットアーム２に接続さ
れて所定の軌跡で移動することができるようになってい
る。
【００２８】搬送ヘッド１１には、複数の稜線部５が設
けられている。複数の稜線部５のそれぞれの気体拡散面
４は、搬送ヘッド１１の中央を横断して設けた気体排出
路１２に拡散方向を向けて設けられている。すなわち、
気体排出路１２は、複数の気体拡散面４に連なる共通の
気体排出経路として構成されている。
けられている。複数の稜線部５のそれぞれの気体拡散面
４は、搬送ヘッド１１の中央を横断して設けた気体排出
路１２に拡散方向を向けて設けられている。すなわち、
気体排出路１２は、複数の気体拡散面４に連なる共通の
気体排出経路として構成されている。
【００２９】それぞれの気体拡散面４の反対側には、稜
線部５を介して、ワークＷに対して傾斜面に形成された
気体案内面３が設けられている。それぞれの気体案内面
３には、ノズル６が気体噴出部材として設けられてい
る。ノズル６の噴出端内側には、凹部に形成されたエア
ーポケット７が構成され、エアーポケット７に対応する
気体案内面３側に、圧縮気体の供給源（図示せず）に連
通される気体通路８の開口端が気体吐出口８ａとして開
口されている。ノズル６の噴出端側と気体案内面３との
間が、スリット９に形成されている。
線部５を介して、ワークＷに対して傾斜面に形成された
気体案内面３が設けられている。それぞれの気体案内面
３には、ノズル６が気体噴出部材として設けられてい
る。ノズル６の噴出端内側には、凹部に形成されたエア
ーポケット７が構成され、エアーポケット７に対応する
気体案内面３側に、圧縮気体の供給源（図示せず）に連
通される気体通路８の開口端が気体吐出口８ａとして開
口されている。ノズル６の噴出端側と気体案内面３との
間が、スリット９に形成されている。
【００３０】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出されることとなる。このようにして噴出された気
体は、薄い層状の噴流層として稜線部５を経由して、気
体拡散面４側に至り拡散する。拡散した気体は気体拡散
面４に付着した状態で導かれて気体排出路１２に至り、
搬送ヘッド１１の外に排出されることとなる。
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出されることとなる。このようにして噴出された気
体は、薄い層状の噴流層として稜線部５を経由して、気
体拡散面４側に至り拡散する。拡散した気体は気体拡散
面４に付着した状態で導かれて気体排出路１２に至り、
搬送ヘッド１１の外に排出されることとなる。
【００３１】かかる構成の搬送装置では、搬送ヘッド１
１には複数の稜線部５が設けられているため、複数箇所
でワークＷを非接触に保持することができ、稜線部５を
一箇所に設ける搬送装置に比べて、保持できるワークＷ
の重量や面積を大きくすることができる。また、ワーク
Ｗに対して吐出気体を直接吹き当てる心配のない領域と
しては、図中の範囲Ｂが該当する。
１には複数の稜線部５が設けられているため、複数箇所
でワークＷを非接触に保持することができ、稜線部５を
一箇所に設ける搬送装置に比べて、保持できるワークＷ
の重量や面積を大きくすることができる。また、ワーク
Ｗに対して吐出気体を直接吹き当てる心配のない領域と
しては、図中の範囲Ｂが該当する。
【００３２】図２（Ｂ）に示す場合も、図示されてはい
ないが、搬送ヘッド１４は移動部材としてのロボットア
ーム２に接続されて所定の軌跡で移動することができる
ようになっている。搬送ヘッド１４には、その中央部１
５を挟んで両側に、稜線部５が設けられており、稜線部
５の両側に互いに傾斜させられた気体案内面３と気体拡
散面４とが設けられている。複数の稜線部５を介して設
けられたこれらの気体拡散面４は、気体拡散方向が互い
に反対方向に向けられ、噴流層は逆方向に向けて拡散さ
せられることとなる。
ないが、搬送ヘッド１４は移動部材としてのロボットア
ーム２に接続されて所定の軌跡で移動することができる
ようになっている。搬送ヘッド１４には、その中央部１
５を挟んで両側に、稜線部５が設けられており、稜線部
５の両側に互いに傾斜させられた気体案内面３と気体拡
散面４とが設けられている。複数の稜線部５を介して設
けられたこれらの気体拡散面４は、気体拡散方向が互い
に反対方向に向けられ、噴流層は逆方向に向けて拡散さ
せられることとなる。
【００３３】それぞれの気体拡散面４の反対側には、稜
線部５を介して、ワークＷに対して傾斜面に形成された
気体案内面３が設けられている。それぞれの気体案内面
３には、ノズル６が気体噴出部材として設けられてい
る。ノズル６の噴出端内側には、凹部に形成されたエア
ーポケット７が構成され、エアーポケット７に対応する
気体案内面３側に、圧縮気体の供給源（図示せず）に連
通される気体通路８の開口端が気体吐出口８ａとして開
口されている。ノズル６の噴出端側と気体案内面３との
間が、スリット９に形成されている。
線部５を介して、ワークＷに対して傾斜面に形成された
気体案内面３が設けられている。それぞれの気体案内面
３には、ノズル６が気体噴出部材として設けられてい
る。ノズル６の噴出端内側には、凹部に形成されたエア
ーポケット７が構成され、エアーポケット７に対応する
気体案内面３側に、圧縮気体の供給源（図示せず）に連
通される気体通路８の開口端が気体吐出口８ａとして開
口されている。ノズル６の噴出端側と気体案内面３との
間が、スリット９に形成されている。
【００３４】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出される。このようにして流出した気体は、薄い層
状の噴流層となって、稜線部５を経由して気体拡散面４
に付着した状態で拡散する。拡散するに際して、稜線部
５から気体拡散面４にかけて負圧を形成し、この負圧に
よりワークＷを稜線部５から気体拡散面４にかけて非接
触に保持することができる。図中、範囲Ｂは、吐出気体
がワークＷに直接吹き当たる心配がない範囲である。
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出される。このようにして流出した気体は、薄い層
状の噴流層となって、稜線部５を経由して気体拡散面４
に付着した状態で拡散する。拡散するに際して、稜線部
５から気体拡散面４にかけて負圧を形成し、この負圧に
よりワークＷを稜線部５から気体拡散面４にかけて非接
触に保持することができる。図中、範囲Ｂは、吐出気体
がワークＷに直接吹き当たる心配がない範囲である。
【００３５】かかる構成の搬送装置では、搬送ヘッド１
１には複数の稜線部５が設けられているため、複数箇所
でワークＷを非接触に保持することができ、稜線部５を
一箇所に設ける搬送装置に比べて、保持できるワークＷ
の重量や面積を大きくすることができる。
１には複数の稜線部５が設けられているため、複数箇所
でワークＷを非接触に保持することができ、稜線部５を
一箇所に設ける搬送装置に比べて、保持できるワークＷ
の重量や面積を大きくすることができる。
【００３６】図３（Ａ）は、本発明の搬送装置に使用す
る搬送ヘッドの変形例を示す断面図であり、（Ｂ）は
（Ａ）の搬送ヘッドの正面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の
搬送ヘッドの稜線部側からみた平面図である。
る搬送ヘッドの変形例を示す断面図であり、（Ｂ）は
（Ａ）の搬送ヘッドの正面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の
搬送ヘッドの稜線部側からみた平面図である。
【００３７】図３に示す場合も、図示されてはいない
が、上記構成と同様に、搬送ヘッド１６は移動部材とし
てのロボットアーム２に接続されて所定の軌跡で移動す
ることができるようになっている。
が、上記構成と同様に、搬送ヘッド１６は移動部材とし
てのロボットアーム２に接続されて所定の軌跡で移動す
ることができるようになっている。
【００３８】搬送ヘッド１６には、稜線部５を介して設
けた気体案内面３の反対側の先端面が、図３（Ａ）に示
すように、ワークＷに対して平行に設定されたワーク接
触面１７に形成されている。ワーク接触面１７には、図
３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、複数本の気体拡散溝１
８が平行に設けられ、気体拡散溝１８の底面１９が、ワ
ークＷに対して傾斜面に設定されて気体拡散面に構成さ
れている。
けた気体案内面３の反対側の先端面が、図３（Ａ）に示
すように、ワークＷに対して平行に設定されたワーク接
触面１７に形成されている。ワーク接触面１７には、図
３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、複数本の気体拡散溝１
８が平行に設けられ、気体拡散溝１８の底面１９が、ワ
ークＷに対して傾斜面に設定されて気体拡散面に構成さ
れている。
【００３９】かかる構成の気体拡散溝１８の底面１９に
対応して、稜線部５を介して反対側に、ワークＷに対し
て傾斜面に設定された複数の気体案内面３が設けられて
いる。気体案内面３には、ノズル６が気体噴出部材とし
て設けられている。ノズル６の噴出端内側には、凹部に
形成されたエアーポケット７が構成され、エアーポケッ
ト７に対応する気体案内面３側に、圧縮気体の供給源
（図示せず）に連通される気体通路８の開口端が気体吐
出口８ａとして開口されている。ノズル６の噴出端側と
気体案内面３との間が、スリット９に形成されている。
対応して、稜線部５を介して反対側に、ワークＷに対し
て傾斜面に設定された複数の気体案内面３が設けられて
いる。気体案内面３には、ノズル６が気体噴出部材とし
て設けられている。ノズル６の噴出端内側には、凹部に
形成されたエアーポケット７が構成され、エアーポケッ
ト７に対応する気体案内面３側に、圧縮気体の供給源
（図示せず）に連通される気体通路８の開口端が気体吐
出口８ａとして開口されている。ノズル６の噴出端側と
気体案内面３との間が、スリット９に形成されている。
【００４０】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出される。このようにして流出した気体の噴流層
は、稜線部５を経由してワーク接触面１７に設けた気体
拡散溝１８に入る。気体拡散溝１８に入った気体は、気
体拡散溝１８の底面１９に沿って流れ外部に排出され
る。
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出される。このようにして流出した気体の噴流層
は、稜線部５を経由してワーク接触面１７に設けた気体
拡散溝１８に入る。気体拡散溝１８に入った気体は、気
体拡散溝１８の底面１９に沿って流れ外部に排出され
る。
【００４１】上記のように吐出された気体が、気体案内
面３に付着した状態で稜線部５を経由して気体拡散溝１
８に拡散するに際して負圧が発生して、ワークＷが、稜
線部５で非接触に保持されることとなる。併せて、ワー
クＷは、稜線部５が形成されていないワーク接触面１７
に直接接触させられている。
面３に付着した状態で稜線部５を経由して気体拡散溝１
８に拡散するに際して負圧が発生して、ワークＷが、稜
線部５で非接触に保持されることとなる。併せて、ワー
クＷは、稜線部５が形成されていないワーク接触面１７
に直接接触させられている。
【００４２】このようにワーク接触面１７を設けること
により、ワークＷとワーク接触面１７との間には摩擦力
が発生し、ワークＷが搬送ヘッド１６に対してずれるこ
とがない。この摩擦力は、吐出気体の流量や流速、ワー
ク接触面１７の構成部材の材質を変えることにより種々
の大きさに設定することができる。ワークＷに圧痕が発
生することなく、僅かな摩擦力によって、搬送ヘッド１
６を水平移動する際にワークＷが搬送ヘッド１６に対し
てずれない程度に設定することができる。
により、ワークＷとワーク接触面１７との間には摩擦力
が発生し、ワークＷが搬送ヘッド１６に対してずれるこ
とがない。この摩擦力は、吐出気体の流量や流速、ワー
ク接触面１７の構成部材の材質を変えることにより種々
の大きさに設定することができる。ワークＷに圧痕が発
生することなく、僅かな摩擦力によって、搬送ヘッド１
６を水平移動する際にワークＷが搬送ヘッド１６に対し
てずれない程度に設定することができる。
【００４３】また、上記構成の搬送ヘッド１６には、複
数の稜線部５が設けられているので、複数箇所でワーク
Ｗを非接触に保持することができ、稜線部５を一箇所に
設ける場合に比べて、保持できるワークＷの重量や面積
を大きくすることができる。ワークＷに対して吐出気体
を直接吹き当てる心配のない領域としては、図中の範囲
Ｂが該当する。
数の稜線部５が設けられているので、複数箇所でワーク
Ｗを非接触に保持することができ、稜線部５を一箇所に
設ける場合に比べて、保持できるワークＷの重量や面積
を大きくすることができる。ワークＷに対して吐出気体
を直接吹き当てる心配のない領域としては、図中の範囲
Ｂが該当する。
【００４４】本発明は上記の実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更する
ことができる。
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更する
ことができる。
【００４５】例えば、上記実施の形態では、搬送ヘッド
をロボットアームによって移動させるようにしたが、水
平方向および上下方向に移動する移動部材に搬送ヘッド
を取り付けるようにしてもよい。
をロボットアームによって移動させるようにしたが、水
平方向および上下方向に移動する移動部材に搬送ヘッド
を取り付けるようにしてもよい。
【００４６】上記実施の形態では、吐出させる気体とし
て空気を使用した場合について説明したが、窒素や不活
性気体などの他の気体を使用してもよい。搬送させるワ
ークとしては、孔が形成された基板であってもよく、不
織布などのように通気性有するものでも、保持して搬送
することができる。
て空気を使用した場合について説明したが、窒素や不活
性気体などの他の気体を使用してもよい。搬送させるワ
ークとしては、孔が形成された基板であってもよく、不
織布などのように通気性有するものでも、保持して搬送
することができる。
【００４７】さらには、ワークは帯状に形成してロール
状に巻装しておき、その引出端側を稜線部で保持して引
き出すようにしてもよい。このようにロール状に巻装さ
れる柔軟性のあるワークの引出し端を保持する場合に
は、稜線部から気体拡散面側に向けて若干反ったように
して保持させられるため、平に保持される場合に比べ
て、途中弛まないように引張り張力をかけながら引き出
すことができる。
状に巻装しておき、その引出端側を稜線部で保持して引
き出すようにしてもよい。このようにロール状に巻装さ
れる柔軟性のあるワークの引出し端を保持する場合に
は、稜線部から気体拡散面側に向けて若干反ったように
して保持させられるため、平に保持される場合に比べ
て、途中弛まないように引張り張力をかけながら引き出
すことができる。
【００４８】また、上記実施の形態では、気体案内面の
気体吐出口に対抗する側のノズルの噴出端内側にはエア
ーポケットを構成したが、搬送ヘッドにエアーポケット
を設けてもよく、あるいはエアーポケットを設けずに、
気体案内面に対面させて平坦に形成しておいてもよい。
気体吐出口に対抗する側のノズルの噴出端内側にはエア
ーポケットを構成したが、搬送ヘッドにエアーポケット
を設けてもよく、あるいはエアーポケットを設けずに、
気体案内面に対面させて平坦に形成しておいてもよい。
【００４９】上記実施の形態では、気体拡散面と気体案
内面とを設けた構成について説明したが、気体案内面を
設けずに、気体拡散面を搬送ヘッドの先端に全面に設け
るようにしてもよい。
内面とを設けた構成について説明したが、気体案内面を
設けずに、気体拡散面を搬送ヘッドの先端に全面に設け
るようにしてもよい。
【００５０】
【発明の効果】本発明によれば、稜線部を介して両側に
相互に傾斜した気体案内面と気体拡散面とを設け、気体
案内面から稜線部を経由して気体拡散面に付着した状態
で気体を拡散させる構成であるため、従来の全方向に気
体を拡散させる構成とは異なり、気体の拡散方向を気体
拡散面に沿った方向に特定することができる。そのた
め、気体による影響を受けたくない箇所のあるワークで
も、その箇所を気体拡散方向から外すことにより、その
箇所に吐出気体を吹き当てることなく保持することがで
きる。
相互に傾斜した気体案内面と気体拡散面とを設け、気体
案内面から稜線部を経由して気体拡散面に付着した状態
で気体を拡散させる構成であるため、従来の全方向に気
体を拡散させる構成とは異なり、気体の拡散方向を気体
拡散面に沿った方向に特定することができる。そのた
め、気体による影響を受けたくない箇所のあるワークで
も、その箇所を気体拡散方向から外すことにより、その
箇所に吐出気体を吹き当てることなく保持することがで
きる。
【図１】（Ａ）は、本発明の搬送装置の断面図であり、
（Ｂ）は（Ａ）の搬送装置を稜線部側からみた斜視図で
ある。
（Ｂ）は（Ａ）の搬送装置を稜線部側からみた斜視図で
ある。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の搬送装置に使用す
る搬送ヘッドの変形例を示す側断面図である。
る搬送ヘッドの変形例を示す側断面図である。
【図３】（Ａ）は、本発明の搬送装置に使用する搬送ヘ
ッドの変形例を示す断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の搬
送ヘッドの正面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の搬送ヘッド
の稜線部側からみた平面図である。
ッドの変形例を示す断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の搬
送ヘッドの正面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の搬送ヘッド
の稜線部側からみた平面図である。
１ 搬送ヘッド
２ ロボットアーム
３ 気体案内面
４ 気体拡散面
５ 稜線部
６ ノズル
７ エアーポケット
８ 気体通路
８ａ 気体吐出口
９ スリット
１０ ボルト
１１ 搬送ヘッド
１２ 気体排出路
１３ 送気孔
１３ａ 開口端
１４ 搬送ヘッド
１５ 中央部
１６ 搬送ヘッド
１７ ワーク接触面
１８ 気体拡散溝
１９ 底面
Ｗ ワーク
Ｗａ 構成部
Ａ 噴流層
Ｂ 範囲
Claims (5)
- 【請求項１】 ロボットアームなどの移動部材に装着さ
れ、ワークに対向する先端面を有する搬送ヘッドと、 前記先端面に稜線を介して当該稜線の一方側に前記ワー
クに対して傾斜して形成される気体案内面と、 前記先端面に前記稜線を介して当該稜線の他方側に前記
ワークに対して傾斜して形成される気体拡散面と、 前記気体案内面に取り付けられ、前記気体案内面から前
記稜線を経由して前記気体拡散面まで前記先端面に付着
した気体の噴流層を形成する気体噴出部材とを有し、 前記稜線から前記気体拡散面に発生する負圧によりワー
クを保持する ことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の搬送装置において、前記
先端面にそれぞれ両側に前記気体案内面と前記気体拡散
面とを形成する複数の稜線を設け、それぞれの前記気体
案内面にそれぞれ気体噴出部材を設けたことを特徴とす
る搬送装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の搬送装置において、複数
の前記気体拡散面に連なる気体排出路を前記搬送ヘッド
に形成したことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項４】 請求項２記載の搬送装置において、それ
ぞれの気体拡散面に拡散する気体の流れを逆向きとした
ことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬
送装置において、前記搬送ヘッドの先端面に、前記ワー
クに接触するワーク接触面と前記ワークに対して傾斜し
た前記気体拡散面とを有し気体が流れる気体拡散溝を形
成し、当該気体拡散溝に気体を流すようにしたことを特
徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28896899A JP3443375B2 (ja) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28896899A JP3443375B2 (ja) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001105369A JP2001105369A (ja) | 2001-04-17 |
| JP3443375B2 true JP3443375B2 (ja) | 2003-09-02 |
Family
ID=17737141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28896899A Expired - Fee Related JP3443375B2 (ja) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3443375B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7597370B2 (en) | 2004-12-28 | 2009-10-06 | Koganei Corporation | Carrying unit |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003023061A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Lintec Corp | 貼合装置 |
| DE102004045957A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Singulus Technologies Ag | Vorrichtung zum Halten und Transportieren eines Werkstücks mit einer ebenen Oberfläche |
| JP4607910B2 (ja) * | 2007-01-16 | 2011-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
| JP4723009B2 (ja) * | 2009-04-20 | 2011-07-13 | 中外炉工業株式会社 | ワークの吸着パッド装置 |
| CN111162038B (zh) * | 2020-03-02 | 2022-04-29 | 浙江大学 | 一种非接触式硅片搬运的环状真空吸盘 |
-
1999
- 1999-10-12 JP JP28896899A patent/JP3443375B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7597370B2 (en) | 2004-12-28 | 2009-10-06 | Koganei Corporation | Carrying unit |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001105369A (ja) | 2001-04-17 |
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