JP3429490B2 - Dicing method and component manufacturing method - Google Patents
Dicing method and component manufacturing methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はダイシング方法及び
部品の製造方法に係り、特に、セラミックス積層体を分
割する工程を有する電子部品の製造工程に用いる場合に
好適な製造技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dicing method and a component manufacturing method, and more particularly to a manufacturing technique suitable for use in a manufacturing process of an electronic component having a step of dividing a ceramic laminate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、積層セラミックコンデンサや積
層セラミックコイル等を製造する場合には、セラミック
グリーンシートの表面上に内部電極を印刷等により形成
し、このセラミックグリーンシートを複数枚積層してセ
ラミック積層体を形成する。この後に、ダイシング装置
によってセラミック積層体をチップ状に分割し、積層チ
ップを形成する。その後、焼結工程や外部電極形成工程
等を経て積層セラミック部品が完成される。2. Description of the Related Art Generally, when manufacturing a monolithic ceramic capacitor, a monolithic ceramic coil or the like, an internal electrode is formed on the surface of a ceramic green sheet by printing or the like, and a plurality of the ceramic green sheets are laminated to form a ceramic laminate. Form the body. Thereafter, the ceramic laminated body is divided into chips by a dicing device to form laminated chips. Then, a laminated ceramic component is completed through a sintering process, an external electrode forming process, and the like.
【０００３】セラミックグリーンシートを積層する場合
には、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂フィ
ルムの表面に粘着層を形成してなるキャリアシートを用
意し、このキャリアシートの上に上記セラミックグリー
ンシートを積み重ねていくことによって、セラミック積
層体がキャリアシート上に接着された状態で形成され、
その後のハンドリングが容易になるようにしている。When the ceramic green sheets are laminated, a carrier sheet having an adhesive layer formed on the surface of a resin film such as polyethylene terephthalate is prepared, and the ceramic green sheets are stacked on the carrier sheet. As a result, the ceramic laminate is formed in a state of being adhered on the carrier sheet,
The subsequent handling is made easier.
【０００４】このキャリアシート上に形成されたセラミ
ック積層体は、ダイシング工程において、ダイシング装
置の基台上に真空吸着等の方法によってキャリアシート
が密着保持された状態で、ダイシングソーによって縦横
にダイシングされる。このダイシングに際しては、ダイ
シングソーの刃先がキャリアシートにやや食い込む程度
に切込みが形成されることにより、分割された積層チッ
プがそれぞれ個々にキャリアシートに接着された状態に
形成される。In the dicing step, the ceramic laminate formed on the carrier sheet is diced vertically and horizontally by a dicing saw while the carrier sheet is held in close contact with the base of the dicing device by a method such as vacuum adsorption. It During this dicing, a cut is formed to such an extent that the cutting edge of the dicing saw slightly cuts into the carrier sheet, so that the divided laminated chips are individually bonded to the carrier sheet.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ダイシング工程が完了したとき、キャリアシートの最外
周に配置される外周分離片は、もともと積層チップを構
成するものとして内部電極パターンが設計されていなか
った部分に相当するものであったり、また、基本構造と
しては積層チップを構成可能であるが、セラミック積層
体の外周部には平面方向の位置ずれや波打ち等が集中し
やすいことから、一般に製品には利用されない。このた
め、ダイシング後においては、上記最外周の外周分離片
を内側の積層チップの配列部分から離反させるために、
キャリアシートの外縁部をカッター等によって切断し、
外周分離片をキャリアシートの外縁部とともに分離させ
る作業が必要になる。この作業は、積層チップに損傷を
与えないように慎重に行わなければならないとともに、
キャリアシート上に接着された積層チップの配列体はき
わめて撓みやすく扱いにくいことから、機械化がきわめ
て困難であり、人手によって行わざるを得ないため、製
造効率の向上と製造コストの低減を図る上での大きな障
害となっている。However, when the above-mentioned dicing process is completed, the outer peripheral separation piece arranged on the outermost periphery of the carrier sheet is not originally designed with the internal electrode pattern as a constituent of the laminated chip. Although it is possible to configure a laminated chip as a basic structure or a laminated structure, it is easy to concentrate the displacement in the plane direction and corrugation on the outer peripheral portion of the ceramic laminated body, so that it is generally used as a product. Is not used for. Therefore, after dicing, in order to separate the outermost peripheral separation piece from the array portion of the inner laminated chips,
Cut the outer edge of the carrier sheet with a cutter,
It is necessary to separate the outer peripheral separation piece together with the outer edge portion of the carrier sheet. This work must be done carefully so as not to damage the laminated chip, and
Since the array of laminated chips adhered on the carrier sheet is extremely flexible and difficult to handle, it is extremely difficult to mechanize, and it has to be done manually, so in order to improve manufacturing efficiency and reduce manufacturing cost. Has become a major obstacle.
【０００６】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、製造効率の向上及び製造コストの
低減を図ることのできる新規のダイシング方法及び部品
の製造方法を提供することにある。Therefore, the present invention is to solve the above problems, and an object thereof is to provide a new dicing method and a parts manufacturing method capable of improving manufacturing efficiency and manufacturing cost. .
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のダイシング方法は、第１支持体上に接着した
原材をダイシングするダイシング方法において、前記第
１支持体を第２支持体上に密着保持した状態で、前記原
材から切り込まれ少なくとも前記第１支持体を完全には
分断しない浅い第１切込みと、前記原材から切り込まれ
前記第１支持体を実質的に分断可能とする深い第２切込
みとを形成することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a dicing method of the present invention is a dicing method for dicing a raw material adhered on a first support, wherein the first support is a second support. A shallow first notch that is cut from the raw material and that does not completely cut the first support in a state in which the first support is closely held, and a substantially first cut that is cut from the raw material. It is characterized by forming a deep second notch that enables it.
【０００８】この発明によれば、第１切込みより深い第
２切込みによって第１支持体を分断することが可能にな
るので、第１切込みと第２切込みとを形成した後に、第
２支持体を第１支持体から離反させることにより、第２
切込みに沿って第１支持体上の原材を容易に分離させる
ことが可能になる。According to the present invention, the first support can be divided by the second notch deeper than the first notch. Therefore, after the first notch and the second notch are formed, the second support is removed. By separating the first support from the second support,
It is possible to easily separate the raw material on the first support along the notch.
【０００９】ここで、第１切込みは少なくとも第１支持
体を完全には分断しないように浅く形成されていればよ
い。例えば、第１切込みは第１支持体（の厚さの途中）
まで到達していることが好ましいが、原材を完全に分断
せず、第１支持体にまで到達していなくても構わない。
また、第２切込みは第１切込みよりも深く、原材を分断
するとともに第１支持体を分断可能に構成されていれば
よい。例えば、第２切込みが第１支持体を完全に分断す
るように形成されていることが好ましく、この場合には
第２切込みが第２支持体に到達していてもよい。しか
し、第１支持体を完全には分断していなくても、第２切
込みが第１支持体にまで到達していることにより手指で
簡単に分断可能な程度に第１支持体が薄く残されていれ
ばよく、或いはまた、第２切込みを場所によって深さを
変えて形成することにより第１支持体が手指で簡単に分
断可能な程度にミシン目状に切り込まれていてもよい。Here, the first notch may be formed shallow so that at least the first support is not completely divided. For example, the first notch is the first support (in the middle of its thickness)
Although it is preferable that the raw material has not reached the first support, the raw material may not be completely divided.
The second cut may be deeper than the first cut, and may be configured to divide the raw material and the first support. For example, the second cut is preferably formed so as to completely divide the first support, and in this case, the second cut may reach the second support. However, even if the first support is not completely divided, the first support is left thin enough to be easily divided by the fingers because the second cut reaches the first support. Alternatively, the first notch may be cut in a perforated shape so that the first notch can be easily separated by fingers by forming the second notch by changing the depth depending on the location.
【００１０】本発明において、前記第２切込みを、前記
原材の第１部分と第２部分との境界線に沿って形成する
ことが好ましい。これによって、原材の第１部分と第２
部分とを完全に分離することが可能になる。この場合、
第１部分を必要な部分とし、第２部分を不要な部分とす
れば、必要な部分から不要な部分を分離することができ
る。また、第１部分を内側部分とし、第２部分を外周部
分とすることによって、内側部分から外周部分を分離す
ることができる。In the present invention, it is preferable that the second cut is formed along a boundary line between the first portion and the second portion of the raw material. This allows the first and second parts of the raw material
It becomes possible to completely separate the parts. in this case,
If the first portion is a necessary portion and the second portion is an unnecessary portion, the unnecessary portion can be separated from the necessary portion. Further, the outer peripheral portion can be separated from the inner portion by using the first portion as the inner portion and the second portion as the outer peripheral portion.
【００１１】本発明において、前記第１切込み及び前記
第２切込みを形成した後に、前記第１支持体における前
記第２切込みの一側に存在する部分と前記第２支持体と
を離反させることが好ましい。第１支持体における第２
切込みの一側に存在する部分と第２支持体とを離反させ
ることにより、第１支持体における第２切込みの一側に
存在する部分上に接着された原材の部分と、第１支持体
における第２切込みの他側に存在する部分上に接着され
た原材の部分とを相互に離反させることができる。この
場合に、第１支持体における第２切込みの他側に存在す
る部分と第２支持体とを分離することは必ずしも必要な
い。In the present invention, after the first notch and the second notch are formed, a portion of the first support on one side of the second notch and the second support can be separated from each other. preferable. Second in the first support
By separating the part existing on one side of the cut and the second support from each other, the part of the raw material adhered on the part existing on one side of the second cut on the first support, and the first support. It is possible to separate the part of the raw material adhered on the part existing on the other side of the second cut in the above from each other. In this case, it is not always necessary to separate the portion of the first support existing on the other side of the second cut from the second support.
【００１２】本発明において、前記第２支持体を前記第
１支持体に対して剥離可能に接着することが好ましい。
この手段によれば、第１支持体を第２支持体上に確実に
密着保持することができ、ダイシング後に第２支持体を
第１支持体から剥離させることもできる。この場合に、
第２支持体をシート体とすることによって、第１支持体
を第２支持体上に簡単に接着させることが可能になり、
また、支障なくダイシング処理を行うことができる。こ
の場合、第２支持体の表面に粘着（接着）層を担持させ
ておくことが好ましい。また、第２支持体と第１支持体
との間の接着力を第１支持体と原材との間の接着力より
も弱くすることが、第２支持体の剥離を容易にするため
に好ましい。さらに、第２支持体を第１支持体から剥離
させたときに、粘着層（接着層）が第２支持体側にのみ
残るように構成することが後の原材の取り扱いを容易に
する上で好ましい。In the present invention, it is preferable that the second support is releasably adhered to the first support.
According to this means, the first support can be surely held in close contact with the second support, and the second support can be separated from the first support after dicing. In this case,
By making the second support a sheet body, it becomes possible to easily bond the first support to the second support,
Further, the dicing process can be performed without any trouble. In this case, it is preferable to carry an adhesive layer on the surface of the second support. In order to facilitate peeling of the second support, it is necessary to make the adhesive force between the second support and the first support weaker than the adhesive force between the first support and the raw material. preferable. Further, when the second support is peeled from the first support, it is preferable that the adhesive layer (adhesive layer) is left only on the second support side in order to facilitate the subsequent handling of the raw material. preferable.
【００１３】次に、本発明の部品の製造方法は、複数の
部品相当部を含む原材を第１支持体上に接着し、該第１
支持体を第２支持体上に密着保持した状態で、前記原材
から切り込まれ少なくとも前記第１支持体を完全には分
断しない浅い第１切込みと、前記原材から切り込まれ前
記第１支持体を実質的に分断可能とする深い第２切込み
とを形成し、その後、前記第１支持体における前記第２
切込みの一側に存在する部分と前記第２支持体とを離反
させることを特徴とする。この場合に、前記第１切込み
及び前記第２切込みによって前記複数の部品相当部が分
離され、部品となるようにすることが好ましい。ここ
で、部品としては、電子部品やセラミック部品が挙げら
れる。特に、セラミック積層構造を有する積層セラミッ
ク構造を有するコンデンサやコイル等の電子部品を製造
する場合に好適である。Next, in the method of manufacturing a component according to the present invention, a raw material including a plurality of component-corresponding portions is bonded onto a first support, and the first support is attached.
With the support held in close contact with the second support, a shallow first cut that is cut from the raw material and does not completely divide at least the first support, and the first cut that is cut from the raw material. Forming a second deep incision that allows the support to be substantially divided, and then forming the second support in the first support.
It is characterized in that a portion existing on one side of the cut is separated from the second support. In this case, it is preferable that the plurality of component-corresponding parts are separated by the first notch and the second notch so as to become a component. Here, examples of the component include an electronic component and a ceramic component. In particular, it is suitable for manufacturing electronic components such as capacitors and coils having a laminated ceramic structure having a ceramic laminated structure.
【００１４】本発明において、前記第２切込みを前記原
材の第１部分と第２部分との境界線に沿って形成し、前
記第１支持体における前記第２切込みの一側に存在する
前記第１部分若しくは前記第２部分と前記第２支持体と
を離反させることにより、前記原材の前記第１部分と前
記第２部分とを離反させることが好ましい。In the present invention, the second notch is formed along a boundary line between the first portion and the second portion of the raw material, and is present on one side of the second notch in the first support. It is preferable that the first portion or the second portion and the second support are separated from each other, so that the first portion and the second portion of the raw material are separated from each other.
【００１５】本発明において、前記第２支持体を前記第
１支持体に対して剥離可能に接着することが好ましい。In the present invention, it is preferable that the second support is releasably adhered to the first support.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係るダイシング方法及び部品の製造方法の実施形態に
ついて詳細に説明する。なお、以下に説明する各実施形
態は、いずれも積層セラミック部品（コンデンサ或いは
コイル）を形成するための製造工程について説明してい
るが、本発明はこのような製造工程に限らず、原材をダ
イシングして部品を形成する種々の製造方法において用
いることができるものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a dicing method and a component manufacturing method according to the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, each of the embodiments described below describes a manufacturing process for forming a laminated ceramic component (a capacitor or a coil), but the present invention is not limited to such a manufacturing process, and a raw material may be used. It can be used in various manufacturing methods in which components are formed by dicing.
【００１７】［第１実施形態］図１は、本発明に係る第
１実施形態の製造工程（ダイシング方法）を示す概略工
程説明図（ａ）〜（ｃ）である。この実施形態では、図
１（ａ）に示すように、前工程である積層工程におい
て、表面上に内部電極パターンを形成してなるセラミッ
クグリーンシートを積層してなるセラミック積層体１０
が第１キャリアシート１１上に接着層１１ａによって接
着された状態に構成される。[First Embodiment] FIGS. 1A to 1C are schematic process diagrams (a) to (c) showing the manufacturing process (dicing method) of the first embodiment according to the present invention. In this embodiment, as shown in FIG. 1A, a ceramic laminate 10 formed by laminating ceramic green sheets each having an internal electrode pattern formed on the surface in a lamination process which is a pre-process.
Is bonded to the first carrier sheet 11 by the adhesive layer 11a.
【００１８】上記第１キャリアシート１１の下には第２
キャリアシート１２が接着層１２ａによって貼着されて
いる。この第２キャリアシート１２は、上記積層工程に
おいて予め第１キャリアシート１１に接着されていても
よく、或いは、積層工程の後に第１キャリアシート１１
に接着されてもよい。さらに、予め第１キャリアシート
１１と第２キャリアシート１２とが相互に接着された２
層構造のシート体として構成されたものを用いてもよ
い。Below the first carrier sheet 11 is a second
The carrier sheet 12 is attached by the adhesive layer 12a. This second carrier sheet 12 may be adhered to the first carrier sheet 11 in advance in the laminating step, or the first carrier sheet 11 may be adhered after the laminating step.
May be adhered to. Further, the first carrier sheet 11 and the second carrier sheet 12 are preliminarily adhered to each other.
You may use what was comprised as the sheet | seat body of a layer structure.
【００１９】次に、図１（ｂ）に示すように、セラミッ
ク積層体１０は、第２キャリアシート１２をダイシング
装置の基台１の上に接触させた姿勢で基台１上に載置さ
れる。基台１には図示しない真空吸着構造が形成されて
おり、セラミック積層体１０は基台１に対して吸着保持
される。この状態で、ダイシング装置のダイシングソー
２によってセラミック積層体１０がダイシングされる。
セラミック積層体１０は、図２に示すように、図示Ｘ方
向に伸びる第１切込み１３ｘ及び第２切込み１４ｘと、
図示Ｙ方向に伸びる第１切込み１３ｙ及び第２切込み１
４ｙによって縦横に分断され、その結果、内側にマトリ
クス状に配列された複数の積層チップ１００Ａと、セラ
ミック積層体１０の最外周に沿って配列され、第２切込
み１４ｘ，１４ｙによって積層チップ１００Ａと分離さ
れた複数の外周分離片１００Ｂとが形成される。Next, as shown in FIG. 1B, the ceramic laminated body 10 is placed on the base 1 with the second carrier sheet 12 in contact with the base 1 of the dicing machine. It A vacuum adsorption structure (not shown) is formed on the base 1, and the ceramic laminated body 10 is adsorbed and held on the base 1. In this state, the ceramic laminate 10 is diced by the dicing saw 2 of the dicing device.
As shown in FIG. 2, the ceramic laminated body 10 includes a first cut 13x and a second cut 14x extending in the X direction shown in the drawing.
First notch 13y and second notch 1 extending in the Y direction shown
As a result, the plurality of laminated chips 100A divided vertically and horizontally by 4y and arranged in a matrix inside are arranged along the outermost periphery of the ceramic laminate 10, and separated from the laminated chips 100A by the second cuts 14x and 14y. The plurality of outer peripheral separation pieces 100B thus formed are formed.
【００２０】図１（ｂ）に示すように、第１切込み１３
ｘ，１３ｙはダイシングソー２によって第１キャリアシ
ート１１の厚さ方向の中間位置まで到達するように形成
され、第２切込み１４ｘ，１４ｙはダイシングソー２を
より深く切り込ませることによって第２キャリアシート
１２の厚さ方向の中間位置まで到達するように形成され
る。例えば、第１キャリアシート１１及び第２キャリア
シート１２がそれぞれ１００μｍ程度の厚さであれば、
第１切込み１３ｘ，１３ｙは第１キャリアシート１１に
対して３０〜６０μｍ程度切り込まれ、第２切込み１４
ｘ，１４ｙは第２キャリアシート１２に対して３０〜６
０μｍ程度切り込まれた状態に形成される。As shown in FIG. 1B, the first notch 13
x and 13y are formed by the dicing saw 2 so as to reach an intermediate position in the thickness direction of the first carrier sheet 11, and the second cuts 14x and 14y are formed by cutting the dicing saw 2 deeper. It is formed so as to reach an intermediate position of 12 in the thickness direction. For example, if each of the first carrier sheet 11 and the second carrier sheet 12 has a thickness of about 100 μm,
The first cuts 13x and 13y are cut into the first carrier sheet 11 by about 30 to 60 μm, and the second cuts 14 are formed.
x and 14y are 30 to 6 with respect to the second carrier sheet 12.
It is formed in a state of being cut by about 0 μm.
【００２１】その後、セラミック積層体１０は、第１キ
ャリアシート１１及び第２キャリアシート１２とともに
基台１上から離反される。そして、図１（ｃ）に示すよ
うに、最外周の外周分離片１００Ｂと共に第２キャリア
シート１２を第１キャリアシート１１から剥離させる
と、最終的に残された第１キャリアシート１１上に積層
チップ１００Ａのみが配列した状態となる。After that, the ceramic laminated body 10 is separated from the base 1 together with the first carrier sheet 11 and the second carrier sheet 12. Then, as shown in FIG. 1C, when the second carrier sheet 12 is peeled off from the first carrier sheet 11 together with the outermost peripheral separation piece 100B, it is laminated on the finally left first carrier sheet 11. Only the chips 100A are arranged.
【００２２】その後、積層チップ１００Ａは第１キャリ
アシート１１上から離反させられ、外観検査工程、研摩
工程、焼結工程、外部電極形成工程等を経て、図３に示
す積層セラミック部品１００が形成される。この積層セ
ラミック部品（積層セラミックコンデンサ若しくは積層
セラミックコイル）１００は、図３に示すように、セラ
ミック層１０１とその表面上の内部電極１０２とが積層
されてなる積層構造の端面上に外部電極１０３，１０４
が形成され、これらの外部電極１０３，１０４が内部電
極１０２と導電接続されるように構成されたものであ
る。Thereafter, the multilayer chip 100A is separated from the first carrier sheet 11, and the multilayer ceramic component 100 shown in FIG. 3 is formed through appearance inspection process, polishing process, sintering process, external electrode forming process, and the like. It As shown in FIG. 3, this multilayer ceramic component (multilayer ceramic capacitor or multilayer ceramic coil) 100 has an external electrode 103, on an end surface of a multilayer structure in which a ceramic layer 101 and an internal electrode 102 on the surface thereof are stacked. 104
Is formed, and these external electrodes 103 and 104 are configured to be conductively connected to the internal electrode 102.
【００２３】本実施形態において、第１キャリアシート
１１の接着層１１ａは、特定の処理によって接着力が低
下するような接着剤、例えば加熱によって接着力が減退
する接着剤（例えば、加熱によって内部に混入された発
泡剤が発泡若しくは膨張し、接着力を低減させるものな
ど）、であることが、積層チップ１００Ａを第１キャリ
アシート１１から離反させる際の手間が低減され、その
作業が容易になる点で好ましい。In the present embodiment, the adhesive layer 11a of the first carrier sheet 11 is formed of an adhesive whose adhesive strength is reduced by a specific treatment, for example, an adhesive whose adhesive strength is reduced by heating (for example, an adhesive which is internally heated by heating). That the mixed foaming agent foams or expands to reduce the adhesive force), and the work for separating the laminated chip 100A from the first carrier sheet 11 is reduced, and the work is facilitated. It is preferable in terms.
【００２４】また、第１キャリアシート１１の接着層１
１ａの接着力は、第２キャリアシート１２の接着層１２
ａの接着力よりも大きいことが好ましい。これによって
図１（ｃ）に示すように第２キャリアシート１２を第１
キャリアシート１１から容易に剥離させることができ、
このときに第１キャリアシート１１と積層チップ１００
Ａとが離反してしまうことも防止される。The adhesive layer 1 of the first carrier sheet 11
The adhesive force of 1a is equal to that of the adhesive layer 12 of the second carrier sheet 12.
It is preferably larger than the adhesive strength of a. As a result, as shown in FIG. 1C, the second carrier sheet 12 is first
Can be easily peeled off from the carrier sheet 11,
At this time, the first carrier sheet 11 and the laminated chip 100
It is also prevented from separating from A.
【００２５】さらに、第２キャリアシート１２は、ダイ
シングソー２の切込み深さの精度を高めなくても、容易
に第１キャリアシート１１を切断することができるとと
もにダイシングソー２や基台１を損傷させないように作
業できるだけの充分な厚さを有することが好ましい。例
えば、第２キャリアシート１２の厚さは８０μｍ以上で
あることが好ましく、１００μｍ以上であることが望ま
しい。Further, the second carrier sheet 12 can easily cut the first carrier sheet 11 without damaging the cutting depth of the dicing saw 2 and damage the dicing saw 2 and the base 1. It is preferable to have a sufficient thickness so that work can be performed so as not to cause it. For example, the thickness of the second carrier sheet 12 is preferably 80 μm or more, and more preferably 100 μm or more.
【００２６】また、第２キャリアシート１２の接着層１
２ａは、第１キャリアシート１１から剥離させたときに
第２キャリアシート１２とともに第１キャリアシート１
１から離反され、第１キャリアシート１１に残存しない
ものであることが好ましい。このようにすれば、第１キ
ャリアシート１１上に接着された積層チップ１００Ａの
配列体の後工程における取り扱いが容易になる。Further, the adhesive layer 1 of the second carrier sheet 12
2a shows the first carrier sheet 1 together with the second carrier sheet 12 when peeled from the first carrier sheet 11.
It is preferable that it is separated from No. 1 and does not remain on the first carrier sheet 11. In this way, the arrayed body of the laminated chips 100A adhered on the first carrier sheet 11 can be easily handled in a later step.
【００２７】さらに、第２キャリアシート１２は図示の
ように接着層１２ａを備えたものに限らず、第２キャリ
アシート１２の素材自体が僅かでも接着性や粘着性を備
えたものであればよい。Further, the second carrier sheet 12 is not limited to the one provided with the adhesive layer 12a as shown in the figure, and may be any one as long as the material itself of the second carrier sheet 12 has adhesiveness or tackiness even if it is a little. .
【００２８】［第２実施形態］次に、図４を参照して本
発明に係る第２実施形態について説明する。この実施形
態においては、図４（ａ）に示すように第１実施形態と
同様に第１キャリアシート１１に接着支持されたセラミ
ック積層体１０を、図４（ｂ）に示すように、そのまま
ダイシング装置の基台３上に載置し、上記と同様に吸着
保持させる。このとき、基台３の表面上には、セラミッ
ク積層体１０の外周に沿った台溝３ａが形成されてい
る。[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, as shown in FIG. 4A, the ceramic laminated body 10 adhered and supported by the first carrier sheet 11 as in the first embodiment is diced as it is as shown in FIG. 4B. It is placed on the base 3 of the apparatus and adsorbed and held in the same manner as above. At this time, the base groove 3 a is formed on the surface of the base 3 along the outer periphery of the ceramic laminate 10.
【００２９】次に、第１実施形態と同様の第１切込み１
３ｘ（１３ｙ）及び第２切込み１４ｘ（１４ｙ）を形成
する。このとき、第１切込み１３ｘ（１３ｙ）は上記と
同様に第１キャリアシート１１の厚さ方向の中間位置ま
で到達するように形成され、第２切込み１４ｘ（１４
ｙ）は第１キャリアシート１１を完全に分断するように
形成される。本実施形態では、第２切込み１４ｘ（１４
ｙ）が形成される分断予定線に沿って上記の台溝３ａが
形成されているので、第２切込み１４ｘ（１４ｙ）の形
成時に基台３が損傷を受けたり、ダイシングソー２が破
損したりすることを防止できる。Next, a first cut 1 similar to that of the first embodiment.
3x (13y) and the second cut 14x (14y) are formed. At this time, the first cuts 13x (13y) are formed so as to reach an intermediate position in the thickness direction of the first carrier sheet 11 in the same manner as described above, and the second cuts 14x (14y) are formed.
y) is formed so as to completely divide the first carrier sheet 11. In the present embodiment, the second cut 14x (14
Since the above-mentioned base groove 3a is formed along the planned dividing line in which y) is formed, the base 3 may be damaged or the dicing saw 2 may be damaged when the second cut 14x (14y) is formed. Can be prevented.
【００３０】その後、図４（ｃ）に示すように、基台３
の第１キャリアシート１１に対する吸着保持状態を解除
して、分割された積層チップ１００Ａ、外周分離片１０
０Ｂ及び第１キャリアシート１１を基台３上から離反さ
せる。すると、第２切込み１４ｘ（１４ｙ）によって第
１キャリアシート１１が分断されていることにより、最
外周の外周分離片１００Ｂは、内側に配列された積層チ
ップ１００Ａの配列体から離反される。Then, as shown in FIG. 4C, the base 3
The adsorption holding state of the first carrier sheet 11 is released, and the laminated chip 100A and the outer peripheral separation piece 10 are divided.
0B and the first carrier sheet 11 are separated from the base 3. Then, since the first carrier sheet 11 is divided by the second cuts 14x (14y), the outermost peripheral separation piece 100B is separated from the array of the stacked chips 100A arranged inside.
【００３１】この実施形態では、基台３が上記の第２支
持体として利用され、吸着保持の解除によって第２支持
体が第１支持体から離反されるので、第１支持体上の積
層チップと外周分離片とを相互に分離させることが可能
になっている。このように、第１支持体と第２支持体と
の密着保持は、接着に限らず、結果的に密着保持するこ
とができるならばいかなる手段によってなされていても
構わない。In this embodiment, the base 3 is used as the second support, and the second support is separated from the first support by releasing the suction holding, so that the laminated chip on the first support is It is possible to separate the outer peripheral separation piece from each other. Thus, the close contact between the first support and the second support is not limited to adhesion, and any means may be used as long as the result is that the close contact can be maintained.
【００３２】［第３実施形態］次に、図５を参照して本
発明に係る第３実施形態について説明する。この実施形
態においては、図５（ａ）に示す上記と同様のセラミッ
ク積層体１０及び第１キャリアシート１１を、図５
（ｂ）に示すように、通気性を有する第２キャリアシー
ト１５を介して基台１上に吸着保持させる。第２キャリ
アシート１５は、図示例では細孔１５ａを備え、この細
孔１５ａを介して基台１に対する吸着力を第１キャリア
シート１１に伝えるようにしているが、例えば第２キャ
リアシート１５自体を通気性のある素材（多孔質材や繊
維質材等）で形成しても構わない。[Third Embodiment] Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the same ceramic laminated body 10 and first carrier sheet 11 shown in FIG.
As shown in (b), it is adsorbed and held on the base 1 through the second carrier sheet 15 having air permeability. The second carrier sheet 15 has pores 15a in the illustrated example, and the suction force to the base 1 is transmitted to the first carrier sheet 11 through the pores 15a. However, for example, the second carrier sheet 15 itself. May be formed of a breathable material (porous material, fibrous material, etc.).
【００３３】本実施形態では、上記と同様に、図５
（ｂ）に示す状態で第１実施形態と同様の第１切込み１
３ｘ（１３ｙ）及び第２切込み１４ｘ（１４ｙ）を形成
し、その後、図５（ｃ）に示すように基台１による吸着
保持状態を解除することにより、第２キャリアシート１
５が第１キャリアシート１１から離反し、その結果、上
記と同様に積層チップ１００Ａが外周分離片１００Ｂか
ら第１キャリアシート１１とともに分離される。In the present embodiment, as in the above, FIG.
In the state shown in (b), the same first cut 1 as in the first embodiment.
3x (13y) and the second cut 14x (14y) are formed, and then the suction holding state by the base 1 is released as shown in FIG.
5 separates from the first carrier sheet 11, and as a result, the laminated chip 100A is separated from the outer peripheral separation piece 100B together with the first carrier sheet 11 as described above.
【００３４】なお、本発明のダイシング方法及び部品の
製造方法は、上述の図示例にのみ限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更
を加え得ることは勿論である。例えば、上記実施形態で
は、セラミック積層体１０の最外周に不要な外周分離片
１００Ｂが分割形成され、これを内側に配列された製品
となる積層チップ１００Ａから分離するようにしている
が、本発明はこのような態様に限らず、第２切込みを任
意の場所に形成し、その両側を分離するように構成して
もよい。また、第２切込みは第１キャリアシートを完全
に分離させるように形成されなくてもよく、例えば、手
指で簡単に分離できるようにきわめて薄い部分が残るよ
うに形成されていても、或いは、ミシン目状に切り込ま
れていてもよい。さらに、第１切込みは必ずしもセラミ
ック積層体を完全に分離させるように形成されている必
要はなく、後の工程で要求される程度に応じて積層チッ
プ間の一部が連結されていても構わない。The dicing method and the component manufacturing method of the present invention are not limited to the above-described illustrated examples, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. . For example, in the above-described embodiment, the unnecessary outer peripheral separation piece 100B is divided and formed on the outermost periphery of the ceramic laminated body 10 and is separated from the laminated chip 100A which is the product arranged inside. Is not limited to such an aspect, the second notch may be formed at an arbitrary position and the both sides thereof may be separated. Further, the second notch may not be formed so as to completely separate the first carrier sheet, for example, may be formed so that an extremely thin portion remains so that the first carrier sheet can be easily separated by fingers, or the sewing machine may be formed. It may be cut into an eye shape. Furthermore, the first notch does not necessarily have to be formed so as to completely separate the ceramic laminated body, and a part of the laminated chips may be connected depending on a degree required in a later step. .
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
第１切込みと第２切込みとを形成した後に、第２支持体
を第１支持体から離反させることにより、第２切込みに
沿って第１支持体上の原材を容易に分離させることが可
能になる。As described above, according to the present invention,
After forming the first cut and the second cut, by separating the second support from the first support, it becomes possible to easily separate the raw material on the first support along the second cut. .
【図１】本発明に係るダイシング方法及び部品の製造方
法の第１実施形態を示す概略工程説明図（ａ）〜（ｃ）
である。1A to 1C are schematic process explanatory diagrams showing a first embodiment of a dicing method and a component manufacturing method according to the invention.
Is.
【図２】第１実施形態のセラミック積層体のダイシング
態様を示す概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a dicing aspect of the ceramic laminate according to the first embodiment.
【図３】第１実施形態の製造方法によって製造される積
層セラミック部品の構造を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a laminated ceramic component manufactured by the manufacturing method of the first embodiment.
【図４】本発明に係るダイシング方法及び部品の製造方
法の第２実施形態を示す概略工程説明図（ａ）〜（ｃ）
である。FIG. 4 is a schematic process explanatory view showing a second embodiment of a dicing method and a component manufacturing method according to the invention (a) to (c).
Is.
【図５】本発明に係るダイシング方法及び部品の製造方
法の第３実施形態を示す概略工程説明図（ａ）〜（ｃ）
である。5A to 5C are schematic process explanatory diagrams showing a third embodiment of a dicing method and a component manufacturing method according to the invention.
Is.
１ 基台（第２支持体） ２ ダイシングソー １０ セラミック積層体（原材） １１ 第１キャリアシート（第１支持体） １２，１５ 第２キャリアシート（第２支持体） １３ｘ，１３ｙ 第１切込み １４ｘ，１４ｙ 第２切込み １００ 積層セラミック部品 １００Ａ 積層チップ １００Ｂ 外周分離片 1 base (second support) 2 dicing saw 10 Ceramic laminate (raw material) 11 First Carrier Sheet (First Support) 12,15 Second carrier sheet (second support) 13x, 13y 1st cut 14x, 14y 2nd cut 100 multilayer ceramic parts 100A laminated chip 100B outer peripheral separation piece
Claims (6)
グするダイシング方法において、前記第１支持体を第２
支持体上に密着保持した状態で、前記原材から切り込ま
れ少なくとも前記第１支持体を完全には分断しない浅い
第１切込みと、前記原材から切り込まれ前記第１支持体
を実質的に分断可能とする深い第２切込みとを形成し、
前記第１切込み及び前記第２切込みを形成した後に、前
記第１支持体における前記第２切込みの一側に存在する
部分と前記第２支持体とを離反させることを特徴とする
ダイシング方法。1. A dicing method for dicing a raw material adhered onto a first support, wherein the first support is replaced with a second support.
In a state where the first support is closely held on the support, at least a shallow first cut that is not cut completely from the raw material and the first support is substantially cut into the raw material. Forming a deep second notch that can be divided into
After forming the first cut and the second cut, the front
It exists on one side of the second cut in the first support.
Dicing wherein the Rukoto is separated and a portion between the second support member.
と第２部分との境界線に沿って形成することを特徴とす
る請求項１に記載のダイシング方法。2. The dicing method according to claim 1, wherein the second cut is formed along a boundary line between the first portion and the second portion of the raw material.
て剥離可能に接着することを特徴とする請求項１又は請
求項２に記載のダイシング方法。3. A process according to claim 1 or請 characterized by bonding said second support member removably with respect to the first support member
The dicing method according to claim 2 .
体上に接着し、該第１支持体を第２支持体上に密着保持
した状態で、前記原材から切り込まれ少なくとも前記第
１支持体を完全には分断しない浅い第１切込みと、前記
原材から切り込まれ前記第１支持体を実質的に分断可能
とする深い第２切込みとを形成し、その後、前記第１支
持体における前記第２切込みの一側に存在する部分と前
記第２支持体とを離反させることを特徴とする部品の製
造方法。4. A raw material including a plurality of parts corresponding to each other is adhered onto a first support, and the first support is intimately held on a second support, and is cut from the raw material at least. A shallow first notch that does not completely divide the first support and a deep second notch that is cut from the raw material to substantially divide the first support are formed, and then the first notch is formed. 1. A method for manufacturing a component, characterized in that a portion of the support member on one side of the second cut is separated from the second support member.
第２部分との境界線に沿って形成し、前記第１支持体に
おける前記第２切込みの一側に存在する前記第１部分若
しくは前記第２部分と前記第２支持体とを離反させるこ
とにより、前記原材の前記第１部分と前記第２部分とを
離反させることを特徴とする請求項４に記載の部品の製
造方法。5. The first cut existing along the boundary line between the first and second parts of the raw material and existing on one side of the second cut in the first support. The part according to claim 4 , wherein the part or the second part and the second support are separated from each other to separate the first part and the second part of the raw material from each other. Method.
て剥離可能に接着することを特徴とする請求項４又は請
求項５に記載の部品の製造方法。6. The method according to claim 4, wherein the second support is releasably adhered to the first support.
A method for manufacturing a component according to claim 5 .
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