JP3413307B2 - 表面検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、連続走行するウェブな
どのような被検査体の表面に存在する欠陥部分を光電検
出するための表面検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】フイルム，紙，金属薄板などのような連
続走行するシート状物の表面に存在する欠陥を検出する
ために種々の表面検査装置が知られており、これらの装
置によって製品や半製品の品質管理が行われている。こ
うした表面検査装置の中でも、被検査体の表面をレーザ
光等の検査光で走査し、その反射光や透過光を受光器で
受光してその光電信号出力によって表面欠陥の有無を評
価する装置は、無接触でしかも高速で検査できるため製
造ラインなどには多く採用されてきている。

【０００３】このような光電式の表面検査装置として
は、例えば特公昭５６−３１７３７号公報、特開平４−
１２５４５５号公報記載のものが知られている。前者の
公報記載の装置では、被検査体の端部では検査光を中央
部側から端部側に向かって走査し、受光器の立ち上がり
応答性に起因する不感帯をなくして、被検査体の端部位
置まで検査を行うことができるようにしてある。また、
後者の公報記載の検査装置では、検査光を被検査体の端
部側から中央部側に向かって走査するとともに、被検査
体の蛇行に追従して幅方向に移動する遮光板を用いてい
る。そして、遮光板の一方のエッジを被検査体の端部位
置に一致させ、被検査体の端部に達する前の走査域で検
査光をカットしており、検査光が遮光板の前記エッジを
越えた走査位置にきた瞬間から検査が開始されるように
なっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、特公昭５６
−３１７３７号公報記載の表面検査装置では、確かに受
光器の立ち上がり特性の遅れによる不感帯が解消される
ものの、被検査体が蛇行して端部の位置が変化する場合
には、受光器からの光電信号が変化したとき、この変化
が被検査体の端部に達する前に得られたものであるのか
端部に達した後に得られたものであるのかを判断するこ
とができない。したがって、結局は蛇行のない状態をも
とに基準の検査幅を決めておくしかなく、この基準の検
査幅から被検査体の端部が外れるような蛇行があった場
合には、端部に不感帯が生じてしまうことが避けられ
ず、また幅方向での欠陥位置には蛇行分の測定誤差が伴
うことになる。

【０００５】一方、特開平４−１２５４５５号公報記載
の表面検査装置は、被検査体の蛇行量に応じて検査の開
始位置を変更する点で優れているが、検査光の走査位置
が遮光板の前記エッジを越えた瞬間から受光信号が立ち
上がるため、受光器の応答遅れによる不感帯を解消する
ことができないという欠点がある。

【０００６】本発明はこのような従来技術の欠点を解消
するためになされたもので、被検査体に蛇行が生じた場
合でも、被検査体の端部付近にほとんど不感帯が生じる
ことがないように検査を行うことができるようにした表
面検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するにあたり、被検査体を連続走行させたときに蛇行が
生じるとしても、蛇行による被検査体の端部位置の変化
は検査光の走査速度と比べて格段に緩やかであることに
着目し、検査光を走査する度に被検査体の端部から得ら
れた端部信号を次回の検査に活かすことによって、端部
付近の不感帯をほとんどなくすようにしてある。このた
め本発明においては、被検査体の幅方向の端部を検査領
域とする走査機構では検査光を被検査体の中央部から端
部方向に向けて走査し、この走査機構に対応して設けた
受光器から得られる光電信号中から検査光が被検査体の
端部を走査したときの端部信号を抽出する。そして、こ
の端部信号の抽出されたタイミングに基づいて、検査光
の次回の走査による検査領域内での有効検査期間を決定
するようにしたものである。

【０００８】光電信号中から前記端部信号を的確に抽出
するために、該走査機構からの検査光が検査領域を走査
する直前で検査光の通過を光検出器で検知し、この検知
タイミングから一定時間経過後に端部信号の抽出動作が
開始される。この一定時間の値としては、被検査体が蛇
行することを考慮した上で、検査光が被検査体の端部を
通過する直前の値に決めるのがよい。また、有効検査期
間としては、端部信号の抽出タイミングから一定のスタ
ート時間が経過し、かつ一定のストップ時間が経過する
までの間の一定期間にするのが簡便である。

【０００９】光電信号中に欠陥信号が含まれていたと
き、被検査体の幅方向での欠陥部の位置を特定するため
には、端部を検査領域に含むものについては、検査光の
走査位置と端部信号の抽出タイミングとを参照すればよ
い。また、被検査体の端部を含まない走査機構及び受光
器が用いられている場合には、その受光器の一端側を遮
光板で遮っておき、この遮光板を被検査体の蛇行に追従
して被検査体の幅方向に移動させるようにしておけば、
遮光板のエッジを検査光が走査した瞬間に得られる信号
を前記端部信号と同様に利用することによって、端部を
検査領域に含まないものについても、蛇行を考慮して欠
陥位置を正確に特定することができるようになる。

【００１０】本発明を用いた表面検査装置を概略的に示
す図１において、表面検査の対象となるウェブ２は、周
知の搬送機構によって図の下方から上方に向かって一定
速度で走行される。ウェブ２の幅方向に沿って３個の走
査機構３，４，５が設けられている。これらの走査機構
３，４，５は、走査機構３について図示してあるよう
に、それぞれレーザ発振器３ａ，レンズ系３ｂ，ポリゴ
ンミラー（回転多面鏡）３ｃ，光検出器３ｄとからな
り、ウェブ２の表面に幅方向に走査する検査光を照射す
る。

【００１１】各々の走査機構３，４，５に対応して受光
器６，７，８が設けられている。これらの受光器６，
７，８は、走査機構３，４，５によりウェブ２に照射さ
れ、ウェブ２の表面で反射された検査光をそれぞれの走
査期間にわたって受光し、受光光量に対応した光電信号
を出力する。図示のように、走査機構３，４，５と受光
器６，７，８とはそれぞれ対をなしており、ウェブ２の
右端部を含む検査領域，ウェブ２の中央部分の検査領
域，ウェブ２の左端部を含む検査領域をカバーしてい
る。また、隣接し合う検査領域が各々オーバーラップす
るように、走査機構３，４，５の走査範囲と受光器６，
７，８の長さが決められている。

【００１２】なお、走査機構４と受光器７によるウェブ
中央部の検査領域は、他の検査領域に対してウェブ２の
走行方向にもずらして段違いに設定してあるが、受光器
７から出力される光電信号、若しくは光電信号を処理し
て得られる欠陥信号の出力タイミングをウェブ２の搬送
機構から得られる測長パルスに基づいて調節することに
よって、各検査領域をウェブ２の走行方向について一致
させることができる。

【００１３】ウェブ２の左端部には端部位置検出器１０
が設けられている。端部位置検出器１０はウェブ２の左
端部の位置を光電的に監視し、左端部の移動量に対応し
て遮光板移動機構１１を作動させ、遮光板１２をウェブ
２の幅方向に移動させる。これにより、ウェブ２に蛇行
が生じたときにはその蛇行量に応じて遮光板１２が移動
し、遮光板１２の右エッジ１２ａはウェブ２の左端から
常に一定の位置に保たれる。遮光板１２は、ウェブ２が
図中最も左側に蛇行したときでも、その右エッジ１２ａ
が受光器７の左側を部分的に覆うことができる長さにな
っている。

【００１４】走査機構３，４は検査光をウェブ２の左側
から右側に走査し、走査機構５は検査光を右側から左側
に走査する。これは、ウェブ２の端部を検査領域に含む
受光器６，８については、立ち上がり応答性に左右され
ることなくウェブ２の端部から得られる信号を検知する
ためである。また、中央部のみを検査領域とする受光器
７については、検査光が遮光板１２の右エッジ１２ａを
通過した瞬間をこの検査領域における走査の基準タイミ
ングとして用いることができるようにするためである。

【００１５】検査光の走査に伴い、各々の受光器６，
７，８からは時間の経過とともに光電信号１４ａ，１４
ｂ，１４ｃが出力される。各々の光電信号の波形図から
分るように、検査光が入射した直後の受光器６，７，８
からの出力は、受光器の応答遅れのために立ち上がりが
鈍ったものとなっている。しかし、前述したように隣接
する検査領域については互いにオーバーラップさせてい
るから、受光器の応答遅れによる不感帯（検査不適領
域）を解消することができる。

【００１６】ウェブ２の右端部を検査領域とする受光器
６からの光電信号は、端部検出機能を備えた欠陥検出回
路２０に入力される。同様に、ウェブ２の左端部を検査
領域に含む受光器８にも同じ構成の欠陥検出回路２０が
接続されている。受光器６の光電信号Ａは、欠陥信号検
出チャンネルと端部信号検出チャンネルに分岐された
後、それぞれ欠陥検出用バンドパスフィルタ２１，端部
検出用バンドパスフィルタ２２に入力され、低周波成分
がカットされた所定帯域の信号となる。欠陥信号検出チ
ャンネルでは、欠陥検出用バンドパスフィルタ２１から
の信号が２値化回路２４により２値化され、検査信号Ｊ
としてアンド回路２５に入力される。この検査信号Ｊに
はローレベルの正常信号とハイレベルの欠陥信号とが含
まれる。

【００１７】端部信号検出チャンネルでは、端部検出用
バンドパスフィルタ２２からの信号がコンパレータ２６
で基準電圧と比較され、これが基準電圧以下であるとき
にはコンパレータ２６から端部候補信号Ｄが出力され
る。この基準電圧は、ウェブ２の表面から反射された検
査光が受光器６に入射しなくなったことを検知できるレ
ベルに設定されている。コンパレータ２６の出力端はフ
リップフロップ回路（ＦＦ回路）２７のリセット端子に
接続され、またＦＦ回路２７のセット端子にはタイマー
回路２８の出力端子が接続されている。そして、タイマ
ー回路２８が端部検出許可信号Ｅを出力したときに前記
ＦＦ回路２７がセットされるようになっている。

【００１８】タイマー回路２８は、走査機構３に組み込
まれた光検出器３ｄが検査光の検知信号Ｂを出力した時
点から一定時間Ｔｓを計時し、その計時終了時に前記端
部検出許可信号Ｅを出力する。この一定時間Ｔｓは、ウ
ェブ２が図中左側に蛇行し、右端部が最も左側に寄った
ときであっても、走査機構３による検査光が光検出器３
ｄで検知された後、ウェブ２の右端部を通過する直前ま
での経過時間として設定されている。そして、タイマー
回路２８からの端部検出許可信号ＥによりＦＦ回路２７
がセットされた後、コンパレータ２６から端部候補信号
Ｄが入力されたときにＦＦ回路２７がリセットされ、こ
のリセットと同時に反転信号Ｆが出力される。

【００１９】ＦＦ回路２７にはワンショットマルチバイ
ブレータからなるパルス発生回路（ＯＳ回路）３０が接
続されている。このＯＳ回路３０は、ＦＦ回路２７から
の反転信号Ｆを受けた瞬間に端部信号Ｇを出力する。こ
の端部信号Ｇは検査幅設定回路３１に入力される。検査
幅設定回路３１は、端部信号Ｇの入力時点から一定のス
タート時間Ｔ１の経過後にハイレベルに立ち上がり、さ
らに一定のストップ時間Ｔ２の経過後にローレベルに下
がる検査幅信号Ｉをつくり、これをアンド回路２５に入
力する。前述したように、アンド回路２５の一方の端子
に入力される検査信号Ｊにはローレベルの正常信号とハ
イレベルの欠陥信号とが含まれるが、結果的にアンド回
路２５はハイレベルの検査幅信号Ｉが入力されている期
間中だけ、欠陥信号Ｋを出力するようになる。

【００２０】ウェブ２の中央部を検査領域とする受光器
７からの光電信号は、基本的には上述した欠陥検出回路
２０から端部信号検出チャンネルを除いた構成であり、
遮光板１２の右エッジ１２ａを通過した瞬間から、検査
光の走査とともに検査信号が得られる。遮光板１２はウ
ェブ２の蛇行に追従して受光器７の左側を遮蔽している
から、受光器７からの光電信号が立ち上がった瞬間を基
準タイミングにして検査光の走査位置（ポリゴンミラー
の回転位置に対応）を対照することによって、ウェブ２
の幅方向での位置を特定することができる。また、受光
器６，８からの光電信号に欠陥信号が含まれていた場合
には、それぞれの端部信号が抽出されたタイミングを基
準にして欠陥の位置を特定することができる。なお、受
光器６，７，８の立ち上がり応答性の悪い領域では、隣
接する他の受光器からの出力で補完することができるた
め、この領域で検査感度が劣化することはない。

【００２１】上記表面検査装置の作用は次のとおりであ
る。一定幅のウェブ２を幅方向の基準位置で搬送機構に
セットし、連続的に走行を開始させる。これとともに、
走査機構３，４，５を一斉に駆動してウェブ２上で検査
光を走査する。受光器６，７，８にはそれぞれウェブ２
で反射された検査光が入射し、その受光光量に応じた光
電信号１４ａ，１４ｂ，１４ｃが出力される。ウェブ２
に欠陥がない場合には、各光電信号は受光器への検査光
の入射により立ち上がった後、検査光の走査とともに光
電信号はほぼ平坦な波形のまま推移し、一走査の終了、
または走査光がウェブ２の端部を通過した時点で基底レ
ベルに下がる。

【００２２】ウェブ２に微細な明欠陥があった場合に
は、図１の光電信号１４ａに例示したように、光電信号
の平坦な部分でプラス側にスパイク状に突出した明欠陥
パルスＰ１が現れる。逆にウェブ２に暗欠陥が存在した
場合には、マイナス側に突出した暗欠陥パルスＰ２が現
れる。もちろん他の検査領域に欠陥があったときには、
これらの欠陥パルスは他の光電信号１４ｂ，１４ｃにつ
いても同様に現れる。

【００２３】ウェブ２が蛇行したとしても、遮光板１２
の作用により受光器７からの光電信号１４ｂが立ち上が
るタイミングは、走査機構４からの検査光がウェブ２の
左端から一定距離隔てた位置を走査したタイミングと常
に一致しているから、光電信号１４ｂの立ち上がりのタ
イミングを基準にすることによって、光電信号１４ｂに
現れた欠陥パルスの発生タイミング、さらには光電信号
１４ａ，１４ｂに現れた欠陥パルスの発生タイミングか
ら、ウェブ２の幅方向における欠陥の存在位置を正確に
把握することができる。また、光電信号１４ａ，１４
ｂ，１４ｃの立ち上がり応答性の悪い部分については、
互いに隣接する受光器からの光電信号を用いることによ
って、正確な検出ができる。

【００２４】図２は、受光器６からの光電信号を処理す
る欠陥検出回路２０の作用を表すタイミングチャート
で、走査機構３が検査光を３走査する間の各部の信号波
形を示している。なお、本発明は前回の走査によってウ
ェブ２の右端を検知した後に正規の動作を行うものであ
るため、１回目の走査はウェブ２の右端検知用の走査と
して説明する。

【００２５】ポリゴンミラー３ａの回転により検査光が
ウェブ２を走査する直前に光検出器３ｄが検査光を検知
して検知信号Ｂをタイマー回路２８に入力する。これに
よりタイマー回路２８は一定時間Ｔｓの計時を開始す
る。一定時間Ｔｓを計時している期間中は、ＦＦ回路２
７のセット入力端子に入力されている端部検出許可信号
Ｅはローレベルのままであるから、ＦＦ回路２７はリセ
ット状態にあり出力端子はハイレベルのままとなってい
る。

【００２６】一定時間Ｔｓの計時完了により、タイマー
回路２８からの端部検出許可信号Ｅがパルス状に立ち上
がり、ＦＦ回路２７がセットされリセット待ちの状態に
なる。その後、１回目の走査で検査光がウェブ２の右端
を通過した瞬間に、端部検出用バンドパスフィルタ２２
からの信号Ｃがマイナス側にパルス状に変化し、コンパ
レータ２６の基準電圧で決められた閾値（ＴＨＬＤ）以
下となってコンパレータ２６からハイレベルの端部候補
信号Ｄが出力される。この端部候補信号ＤがＦＦ回路２
７をリセットし、ＦＦ回路２７の出力端の信号レベルが
反転して再びハイレベルになる。

【００２７】ＯＳ回路３０は、ＦＦ回路２７がセット状
態からリセット状態に反転する際の反転信号Ｆを受け、
パルス状の端部信号Ｇを出力する。検査幅設定回路３１
は、この反転信号Ｇの入力時点からスタート時間Ｔ１を
計時した後にハイレベルとなり、またストップ時間Ｔ２
を計時した時点でローレベルとなる検査幅信号Ｉを出力
する。そして、この検査幅信号Ｉがハイレベルになって
いる期間中（Ｔ２−Ｔ１）、アンド回路２５がゲートオ
ープン状態となって有効検査期間となる。

【００２８】２回目の検査光の走査が開始される直前
に、前述したように光検出器３ｄが検査光の検知信号Ｂ
をタイマー回路２８に入力する。タイマー回路２８は一
定時間Ｔｓを計時するまでの間はＦＦ回路２７をリセッ
ト状態に維持する。２回目の走査により、ウェブ２の表
面で反射された検査光が受光器６に入射すると、受光器
６からの光電信号Ａが立ち上がり、これが欠陥検出用バ
ンドパスフィルタ２１，端部検出用バンドパスフィルタ
２２に入力される。

【００２９】検査光の走査とともにバンドパスフィルタ
２１を通して得られた信号Ｃは２値化回路２４で２値化
され、検査信号Ｊとしてアンド回路２５に出力される。
２値化回路２４は光電信号Ａの中に暗欠陥パルスＰ２，
明欠陥パルスＰ１が存在したときに、これらをいずれも
ハイレベルの欠陥信号に変換する。したがって検査信号
Ｊは、ウェブ２に欠陥がないときにはローレベル、欠陥
ありのときにはハイレベルの信号となる。

【００３０】２回目の走査により光電信号Ａが立ち上が
った瞬間に検査信号Ｊがハイレベルになり、２値化回路
２４はこれを欠陥信号としてアンド回路２５に出力する
が、前述したように検査幅設定回路３１からの検査幅信
号Ｉは未だローレベルであるため、アンド回路２５から
欠陥信号が出力されることはない。また、光電信号Ａの
立ち上がり信号は、端部検出用バンドパスフィルタ２２
を経てコンパレータ２６にも入力されるが、コンパレー
タ２６で決められた閾値よりも大きいためコンパレータ
２６の出力が反転することはない。

【００３１】光電信号Ａに暗欠陥パルスＰ２が含まれて
いると、これは２値化回路２４によりハイレベルの欠陥
信号としてアンド回路２５に出力される。また、暗欠陥
パルスＰ２により、端部検出用バンドパスフィルタ２２
からの信号Ｃに負パルスが現れる。この負パルスはコン
パレータ２６に設定された閾値以下となるため、コンパ
レータ２６はプラスの端部候補信号ＥをＦＦ回路２７の
リセット端子に入力する。しかし、タイマー回路２８は
未だストップ時間Ｔ２の計時中であり、ＦＦ回路２７は
リセット状態を維持しているから、暗欠陥パルスＰ２に
よる端部候補信号Ｅは無視される。

【００３２】一方、検査幅設定回路３１からの検査幅信
号Ｉによってアンド回路２５はゲートオープン状態とな
っているから、暗欠陥パルスＰ２による欠陥信号はアン
ド回路２５を通って出力される。そして、アンド回路２
５から出力された欠陥信号Ｋの発生タイミングと、走査
機構３によるポリゴンミラー３ａの回転位置（検査光の
走査位置に対応する）を表すクロックパルスと、後述す
る端部信号の抽出タイミングとをコンピュータで対照す
ることによって、ウェブ２の幅方向における暗欠陥の位
置を特定することができる。

【００３３】検査光がウェブ２の右端を通過する直前で
タイマー回路２８による一定時間Ｔｓの計時が終了し、
正パルスの端部検出許可信号ＥによってＦＦ回路２７が
セットされる。また、その直後に検査幅設定回路３１が
ストップ時間Ｔ２の計時を完了し、検査幅信号Ｉがロー
レベルに降下してアンド回路２５をゲートオフ状態にす
る。したがって、それ以後に欠陥信号が発生したとして
もアンド回路２５から出力されることはない。

【００３４】この時点で、検査光はウェブ２の右端近傍
に達している。ウェブ２が図１において左側に蛇行して
いたとすると、図２に示すように、タイマー回路２８が
一定時間Ｔｓの計時を完了した直後に検査光がウェブ２
の右端を通過する。これにより、信号Ｃには暗欠陥パル
スＰ２があったときと同じように負パルスが現れ、ＦＦ
回路２７に端部候補信号Ｄが入力される。ＦＦ回路２７
はタイマー回路２８からの端部検出許可信号Ｅによって
セット状態にあるから、この端部候補信号ＤによってＦ
Ｆ回路２７はリセット状態に反転し、ＯＳ回路３０から
の反転信号Ｇによって検査幅設定回路３１は再びスター
ト時間Ｔ１，ストップ時間Ｔ２の計時を開始するように
なる。

【００３５】検査幅設定回路３１がスタート時間Ｔ１の
計時の後、ハイレベルの検査幅信号Ｉをアンド回路２５
に入力するようになると、３回目の走査による欠陥検出
が開始される。光電信号Ａ中に明欠陥パルスＰ１が含ま
れていた場合には、これがアンド回路２５を通って欠陥
信号Ｋとなる。なお、明欠陥パルスＰ１によって端部検
出用バンドパスフィルタ２２からは正パルスが出力され
るが、これはコンパレータ２６でカットされ、端部候補
信号Ｄとなることはない。

【００３６】以上のように、この欠陥検出回路２０で
は、毎回の走査が開始される直前に光検出器３ｄで検査
光が検知された時点から一定時間Ｔｓを計時し、その計
時終了後に得られた端部候補信号Ｄを有効な端部信号と
して扱い、またこうして得られた端部信号を基準にして
有効な検査期間を決めるための検査幅信号Ｉを生成する
ようにしてある。したがって、ウェブ２の蛇行に対応し
て端部信号の発生タイミングが変わり、これに応じて有
効な検査期間が変更されるようになるため、予測される
蛇行量に基づいて一定時間Ｔｓを適切な値に設定し、か
つ検査幅設定回路３１に設定されるスタート時間Ｔ１及
びストップ時間Ｔ２を調節しておくことによって、ウェ
ブ２の蛇行に追従しながら、ほぼ端部近傍まで正確な表
面検査を行うことができる。

【００３７】

【実施例】ポリゴンミラー３ａの反射面数を１２面と
し、その回転数を１２０００ｒｐｍとすると、走査回数
は１秒間に３０００回（１周期は３３３μｓｅｃ）とな
る。実用的な配置を考慮すると、走査角度は２０°（走
査時間は約２２０μｓｅｃ）、光検出器３ｄを走査した
後、光電信号Ａが立ち上がるまでの時間は４０μｓｅｃ
程度となる。

【００３８】ここで、走査機構３，４，５のうちの一台
が受け持つ検査幅を１５００ｍｍとし、蛇行が１０ｍｍ
以内であるとすれば、蛇行によってウェブ２の端部が移
動する幅を時間に換算すると、 ２２０μｓｅｃ×（１０／１５００）＝１．４７μｓｅ
ｃ となる。したがって、一定時間Ｔｓの値としては、最長
で ４０＋２２０−１．４７＝２５８．５３（μｓｅｃ） である。上記の結果を踏まえ、実際には多少の余裕をみ
て一定時間Ｔｓの値を２４０〜２５０μｓｅｃの範囲に
設定して検査を行ったところ、良好な検査を行うことが
できた。

【００３９】以上に説明した例では、ウェブ２からの反
射光に基づいて欠陥検出を行っているが、ウェブ２を透
過した検査光を受光器６，７，８で受光して透過式の表
面検査を行うことも可能である。また、走査機構及び受
光器をウェブ２の幅方向に３個ずつ並置しているが、こ
れらの個数はウェブ２の幅に応じて適宜に増減してもよ
い。さらに、走査機構３，４，５による検査光の走査ラ
インは必ずしも一直線上でなくてもよく、走査機構及び
受光器の組をウェブ２の走行方向に対してずらして配置
してもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、本発明の表面検査装置に
よれば、被検査体の端部を含む検査領域では、被検査体
の中央部から端部に向かって検査光を走査し、その走査
の過程で得られた端部信号の抽出タイミングを基準にし
て次回の検査領域での有効検査期間を決めるようにして
あるから、被検査体が蛇行したとしてもこれに追従して
検査領域が決められるようになり、端部付近での不感帯
をほとんどなくして正確な欠陥検出を行うことが可能と
なる。

【００４１】また、検査光が欠陥の検査領域を走査し終
わってから端部信号の抽出動作を開始させるために、検
査光が検査領域を走査する直前の一定位置を通過したこ
とを光検出器で検知し、その検知時点から、検査光が端
部に到達する直前までの走査に要する一定時間を計時
し、この計時完了後に端部信号の抽出動作を開始するよ
うにしてあるから、端部信号を欠陥信号から弁別して抽
出することができる。また、前回の端部信号の抽出タイ
ミングを基準にし、一定のスタート時間の経過後、一定
のストップ時間が経過するまでの間を有効検査期間とし
て設定し、蛇行の有無にかかわらず有効検査期間が一定
に保たれるようにしてあるから、端部信号の抽出タイミ
ング、あるいは蛇行に追従して移動する遮光板のエッジ
検出タイミングに基づいて、被検査体の欠陥部の位置を
簡便に特定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施した表面検査装置の構成を示す説
明図である。

【図２】図１の各部の出力波形を示す説明図である。

【符号の説明】

２ ウェブ ２４ ２値化回路 ２６ コンパレータ ２７ フリップフロップ回路（ＦＦ回路） ２８ タイマー回路 ３１ 検査幅設定回路

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 連続走行するシート状の被検査体の表面
   に、走査機構の駆動により幅方向に走査する検査光を照
   射し、その反射光又は透過光を受光器に入射させて光量
   に対応した光電信号を得、この光電信号を評価して被検
   査体の欠陥を検査する表面検査装置において、 前記走査機構及び受光器を被検査体の幅方向にそれぞれ
   複数個ずつ設置し、被検査体の幅方向の端部を含む検査
   領域に検査光を走査する走査機構についてはその走査方
   向を被検査体の中央部から端部に向かうように設定する
   とともに、該走査機構に対応して設けた受光器が出力す
   る光電信号の中から検査光が被検査体の端部を走査した
   ときの端部信号を抽出し、この端部信号の抽出タイミン
   グに基づいて該走査機構による次回の検査領域内での有
   効検査期間を決定することを特徴とする表面検査装置。
2. 【請求項２】 該走査機構の検査光が検査領域を走査す
   る直前の一定位置を通過したことを検知する光検出器を
   設け、この光検知器が検査光の通過を検知した時点から
   一定時間経過後に前記端部信号の抽出動作を開始させる
   ようにしたことを特徴とする請求項１記載の表面検査装
   置。
3. 【請求項３】 前記有効検査期間は、端部信号の抽出タ
   イミングから一定のスタート時間が経過し、かつ一定の
   ストップ時間が経過するまでの間の一定期間であること
   を特徴とする請求項１又は２記載の表面検査装置。
4. 【請求項４】 複数個ずつ設置された前記走査機構及び
   受光器は、被検査体の端部を含まない検査領域をもつ走
   査機構及び受光器を含み、該走査機構による検査光の走
   査開始側で該受光器に検査光が入射することを阻止する
   遮光板を設け、この遮光板を被検査体の端部の蛇行に追
   従して被検査体の幅方向に移動させるとともに、該受光
   器が出力する光電信号の中から検査光が前記遮光板のエ
   ッジを走査したときの基準タイミングを検知し、該受光
   器からの光電信号中に欠陥信号が含まれているときに
   は、前記基準タイミングに基づいて被検査体の幅方向に
   おける欠陥の位置を特定し、かつ被検査体の端部を含む
   検査領域に対応して設けられた受光器からの光電信号中
   に欠陥信号が含まれているときには、前記端部信号の抽
   出タイミングに基づいて、被検査体の幅方向における欠
   陥の位置を特定することを特徴とする請求項１ないし３
   のいずれか記載の表面検査装置。