JP3409769B2

JP3409769B2 - Exposure equipment for strip-shaped workpieces

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Publication number: JP3409769B2
Application number: JP2000075765A
Authority: JP
Inventors: 高野　　格
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2000-03-17
Filing date: 2000-03-17
Publication date: 2003-05-26
Anticipated expiration: 2020-03-17
Also published as: JP2001264999A

Description

【発明の詳細な説明】【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は、有機化合物のフィ
ルム、薄物金属等の長尺連続ワーク（以下、帯状ワーク
という）の露光装置に関し、特に、本発明は帯状ワーク
上へのマスクパターンの露光等に使用される帯状ワーク
の露光装置に関するものである。【０００２】【従来の技術】有機化合物のフィルム、薄物金属等の帯
状ワークの露光は、ワークをロール状に巻かれた状態か
ら引き出して露光し、再びロールに巻き取る方法で行わ
れる。一般に、上記露光装置に用いられる帯状ワークの
搬送は、ワーク搬送中のワーク送りの安定性、位置精度
の確保、ワークの反り・うねりの矯正のために、巻き出
しロールから巻き取りロールの間で、ワークに対して常
に張力（テンション）を働かせている。【０００３】図６は上記した帯状ワークの露光装置の従
来例を示す図である。同図において、１０は巻出しロー
ル部であり、巻出しロール部１０には巻出しロール１、
スペーサ巻取りロール１ａ、ガイドロールＲ１が設けら
れている。帯状ワークＷｂは通常スペーサＳと重ね合わ
せて巻出しロール１にロール状に巻かれており、巻出し
ロール１から帯状ワークＷｂが引き出されるとき、スペ
ーサＳはスペーサ巻取りロール１ａにより巻き取られ
る。帯状ワークＷｂは比較的厚く（ｔ＝１５０μｍ以
上、よく使用されるのは２５０μｍ）、例えば樹脂製の
フィルム上に銅箔（通常樹脂製フィルムより厚い）を張
ったものが使用される。このため、帯状ワークＷｂに
は、幅方向にそりが生じているものがある。【０００４】帯状ワークの搬送には、例えば、特開平３
−１９２４９号公報に示されたような方法が用いられ
る。すなわち、帯状ワークＷｂの周縁を後述するグリッ
プフィード機構により狭持し、所定量引っ張って、帯状
ワークＷｂを所定量搬送するものである（以下この搬送
方式をグリップフィード方式と呼ぶ）。グリップフィー
ド方式は、厚く幅方向にそりのある帯状ワークを、ワー
クを露光処理する部分に接触しないで搬送するときに有
効である。この方式はワーク両端をつかんだ状態で引っ
張るので、そりがあるワークを高速で搬送しても、ワー
クが搬送手段から外れることがない。グリップフィード
機構１１により巻出しロール１から引き出された帯状ワ
ークＷｂは上記したガイドロールＲ１、帯状ワークのエ
ッジ位置を検出するエッジセンサＳ１、ガイドロールＲ
２を介して、ワークステージＷＳ等から構成される露光
部３に送られる。【０００５】帯状ワークＷｂの所定の領域が露光部３に
達すると、帯状ワークＷｂの搬送が停止し、帯状ワーク
Ｗｂに露光処理が行われる。露光部３で露光された帯状
ワークＷｂは、ガイドロールＲ３、Ｒ４を介して巻取り
ロール２に巻き取られる。帯状ワークＷｂが巻き取られ
るとき、スペーサ巻出しロール２ａからスペーサＳが送
り出され、露光済の帯状ワークＷｂはスペーサＳととも
に巻取りロール２に巻き取られる。【０００６】ここで、帯状ワークＷｂに、波打ち、しわ
が生じないようにするためには、帯状ワークＷｂに常に
テンションをかけておくことが望ましい。このため、巻
出しロール１には、帯状ワークＷｂが搬送される方向と
逆方向（図６では右回り）に回転する力が、常に加えら
れている。したがって、帯状ワークＷｂの搬送中、帯状
ワークＷｂの停止中のいずれにおいても、巻出しロール
１と巻取りロール２との間では、帯状ワークＷｂに常に
テンションがかかっている。同様に、巻取りロール２に
は、帯状ワークＷｂを巻き取る方向に回転する力が、常
に加えられている。したがって、巻出しロール１と巻取
りロール２との間では、帯状ワークＷｂは常にテンショ
ンがかかっている。【０００７】上記帯状ワークの露光装置において、帯状
ワークＷｂの搬送・露光処理・蛇行修正は次のように行
われる。（１）グリップフィード機構による帯状ワークＷｂの搬
送・露光処理帯状ワークＷｂはグリップフィード機構により周縁を狭
持して、所定量搬送される。図７は図６に示したグリッ
プフィード機構を拡大した図である。同図に示すよう
に、グリップフィード機構１１は、帯状ワークＷｂの端
部を把持する送りグリップ部１２と、送りグリップ部１
２を所定量移動させる送りグリップ駆動部１３とから構
成される。送りグリップ駆動部１３は、例えば同図に示
すように、送りモータ１３ａにより回転するボールねじ
１３ｂと駆動ベルト１３ｃを備え、モータ１３ａにより
ボールねじ１３ｂが回転し、ボールねじ１３ｂに係合す
る送りグリップ部１２が同図の矢印方向に移動する。【０００８】図８は上記グリップフィード機構１１の具
体的構成例を示す図である。同図は、搬送方向から見た
ワークステージＷＳの断面図およびグリップフィード機
構１１を示しており、同図では、片側の送りグリップ部
１２を示しており、他側にも同様な構成を持つ送りグリ
ップ部１２が設けられ、帯状ワークＷｂの両端を把持し
て帯状ワークＷｂを搬送する。同図に示すように、送り
グリップ部１２は、前記したボールねじ１３ｂと係合
し、同図の前後方向に移動する送りガイド１３ｄにより
ガイドされる移動部１２ａの両側に設けられたグリップ
固定台１２ｂに取り付けられており、帯状ワークＷｂの
周辺部を、上部材１２ｃのグリップ部Ｇｒ１と下部材１
２ｄのグリップ部Ｇｒ２とで上下から挟む構造になって
いる。【０００９】下部材１２ｄにはガイドシャフト１２ｅが
取り付けられ、ガイドシャフト１２ｅは、グリップ固定
台１２ｂに摺動可能に取り付けられている。また、グリ
ップ固定台１２ｂには、第１のエアシリンダ１２ｆが取
り付けられ、第１のエアシリンダ１２ｆの駆動軸は、下
部材１２ｄに取り付けられている。このため、第１のエ
アシリンダ１２ｆが駆動されると、下部材１２ｄは上方
向に移動する。上部材１２ｃは軸１２ｇを介して下部材
１２ｄに取り付けられており、軸１２ｇを中心に回動す
る。また、上部材１２ｃと下部材１２ｄのグリップ部Ｇ
ｒ１．Ｇｒ２の反対側にはスプリング１２ｈが取り付け
られており、スプリング１２ｈにより、上部材１２ｃと
下部材１２ｄはグリップ部Ｇｒ１．Ｇｒ２が開く方向に
付勢されている。【００１０】また、下部材１２ｄには第２のエアシリン
ダ１２ｉが取り付けられており、第２のエアシリンダ１
２ｉの駆動軸は、下部材１２ｄを貫通して突出してお
り、その先端は上部材１２ｃに当接している。このた
め、第２のエアシリンダ１２ｉが駆動されると、上部材
１２ｃが軸１２ｇを中心として回動し、グリップ部Ｇｒ
１，Ｇｒ２が閉じる。一方、ワークステージＷＳには、
同図に示すように真空吸着穴Ｍが設けられており、帯状
ワークＷｂを露光する際、真空通路ＶＰから真空を供給
して、真空吸着穴Ｍにより帯状ワークＷｂを吸着固定す
る。【００１１】送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂを狭
持し、搬送する動作は次の通りである。図９（ａ）に示
す状態から、第１のエアシリンダ１２ｆにより下部材１
２ｄが上昇し、図９（ｂ）に示すように、下部材１２ｄ
のグリップ部Ｇｒ２が帯状ワークＷｂの裏面に接触す
る。第２のエアシリンダ１２ｉが上昇し、上部材１２ｃ
の帯状ワークＷｂを挟むグリップ部Ｇｒ１が下降し、帯
状ワークＷｂを挟持する。送りグリップ部１２が帯状ワ
ークＷｂを把持すると、送りグリップ駆動部１３のボー
ルねじ１３ｂが回転し、送りグリップ部１２が搬送方向
下流側に所定量移動する。これにより帯状ワークＷｂが
所定量搬送され、帯状ワークＷｂの次の露光領域が露光
部３に搬送される。【００１２】帯状ワークＷｂの搬送中、ワークステージ
ＷＳを搬送レベルの下方に退避させ、帯状ワークＷｂの
裏面がワークステージＷＳに接触して傷が付くのを防止
する。なお、帯状ワークＷｂの搬送しているとき、ワー
クステージＷＳの帯状ワーク固定用に設けられる真空吸
着孔Ｍ（図８参照）からエアーを噴出すようにしておく
と、帯状ワークＷｂの裏面とワークステージＷＳとが接
触することにより帯状ワークＷｂ裏面が傷つく心配がな
くなる。帯状ワークＷｂが所定量移動し、露光部３に帯
状ワークＷｂの露光領域が達すると、帯状ワークＷｂの
移動を停止する。下方に退避していたワークステージＷ
Ｓがワークステージ駆動部ＷＳＤにより搬送レベルにま
で上昇し、前記した真空通路ＶＰからワークステージＷ
Ｓに真空を供給し、真空吸着によって帯状ワークＷｂを
ワークステージＷＳ表面に保持する。【００１３】ここで、送りグリップ部１２が帯状ワーク
Ｗｂを狭持したままであれば、送りグリップ部１２によ
る搬送のテンションが帯状ワークＷｂにかかった状態で
ワークステージＷＳに吸着される。また、送りグリップ
部１２が帯状ワークＷｂの把持を解除した場合でも、帯
状ワークＷｂは巻出しロール１と巻き取りロール２との
間で生じるテンションがかかった状態でワークステージ
ＷＳに吸着される。帯状ワークＷｂがワークステージＷ
Ｓに吸着固定されると、第２のエアシリンダ１２ｉが復
帰し、送りグリップ部１２の上部材１２ｃが回動し、グ
リップＧｒ１，Ｇｒ２は帯状ワークＷｂを開放する（図
９（ｂ）の状態）。さらに、第１のエアシリンダ１２ｆ
が復帰し、下部材１２ｄが下降する（図９（ａ）の状
態）。ついで、送りグリップ部１２は送りグリップ駆動
部１３により搬送方向上流側に移動し、元の位置に戻
る。【００１４】一方、露光部３ではマスクステージ駆動部
ＭＳＤによりマスクＭを移動させて、マスクＭとワーク
との位置合せを行い露光処理する。露光処理が終わる
と、送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂの両側を挟
む。また、ワークステージＷＳによる帯状ワークＷｂの
真空による保持が解除され、ワークステージＷＳが下方
に退避する。次に、搬送方向上流側の元の位置に戻って
いる送りグリップ部１２により前記したように帯状ワー
クＷｂの両側を把持し、送りグリップ部１２を搬送方向
下流に移動させ、帯状ワークの次の露光領域が露光部３
にくるように、帯状ワークＷｂを搬送する。【００１５】（２）蛇行修正帯状ワークＷｂを連続して搬送すると、帯状ワークＷｂ
が、露光部３において、帯状ワークＷｂの幅方向（帯状
ワークＷｂの進行方向に対して直角方向）に位置ずれを
生じることがあり、これを修正し、露光部での帯状ワー
クＷｂの位置を確保する必要がある。ここで、帯状ワー
クＷｂの幅方向のずれを帯状ワークＷｂの蛇行、帯状ワ
ークＷｂの蛇行を修正することを蛇行修正と呼ぶ。上記
に述べたような帯状ワークＷｂ全体に常時テンションを
かける装置の場合、帯状ワークＷｂの蛇行の検出と、そ
の修正は、以下のような方法で行っている。【００１６】図１０に示すように、露光部３のワーク搬
送上流側の所定の位置にエッジセンサＳ１を設け、エッ
ジセンサＳ１により、帯状ワークＷｂのエッジ位置を検
出する。エッジセンサＳ１の出力は、制御部３１を介し
て巻き出しロール駆動機構３２、アクチュエータ３３に
送られる。搬送中、エッジセンサＳ１により、帯状ワー
クＷｂの蛇行が検出されると、制御部３１は巻き出しロ
ール駆動機構３２を介してアクチュエータ３３によりに
より巻き出しロール部１０全体を、帯状ワークＷｂの幅
方向に移動させ、蛇行を修正する。【００１７】エッジセンサＳ１としては、図１１に示す
ものを用いることができる。すなわち、図１１（ａ）に
示すように、発光素子Ｌ１１と受光素子ＰＴ１、発光素
子Ｌ１２と受光素子ＰＴ２から構成される２組のフォト
センサＳ１１，Ｓ１２を帯状ワークＷｂの外側と内側に
並べたもの、あるいは、図１１（ｂ）に示すように、発
光素子Ｌ１３と、ワークの搬送方向に対して直角に配置
したＣＣＤ等のラインセンサＬＳ１から構成されるリニ
アセンサＳ１３を使用することができる。図１１（ａ）
に示すセンサを用いる場合には、フォトセンサＳ１１，
Ｓ１２のＯＮ，ＯＦＦの組み合わせにより帯状ワークＷ
ｂのエッジ位置を検出する。また、図１１（ｂ）を用い
る場合には、光がラインセンサＬＳ１に入射する位置で
帯状ワークＷｂのエッジ位置を検出する。【００１８】【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
の装置においては、帯状ワークＷｂにテンションがかか
った状態でワークステージＷＳに保持されて露光するこ
とになる。このため、帯状ワークＷｂが、例えば有機化
合物の薄いフィルムである場合、帯状ワークＷｂが伸び
た状態で露光される。そして、露光装置から取り外され
ると、帯状ワークＷｂにテンションがかからなくなり、
帯状ワークＷｂが縮み、露光精度が変化するといった問
題が生ずる。すなわち、図１２（ａ）に示すようにテン
ションを掛けた状態で露光したのち、テンションを解除
すると図１２（ｂ）に示すように帯状ワークＷｂが縮ん
で露光パターンの位置がずれ、露光精度を確保できなく
なる。以上の問題は、露光パターンの微細化等、露光精
度の向上に伴い、近年、特に問題視されるようになって
きた。【００１９】本発明は上記した従来技術の問題点を考慮
してなされたものであって、帯状ワークにテンションを
かけ、グリップフィード方式で搬送する露光装置におい
て、帯状ワークにテンションをかけないでワークステー
ジに保持できるようにし、帯状ワークの露光精度を向上
させることである。【００２０】【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
課題を次のようにして解決する。長尺連続ワークを把持
して間歇的に搬送する搬送機構と、上記搬送機構を制御
して、上記ワークの未露光領域を間歇的に露光部に搬送
制御する制御部とを備え、上記ワークを常時テンション
をかけて搬送し、露光部において上記ワーク上に露光処
理を行う露光装置において、露光部の上流側に、上記ワ
ークを把持する第１のワーク固定部を設けるとともに、
下流側に上記ワークを把持する第２のワーク固定部を設
け、また、上記制御部に、ワークにかかるテンションに
よる伸び分だけワークを下流側に送る送り量を記憶する
記憶部を設ける。そして、ワーク上に露光処理を行うに
際し、上記制御部は、ワークを露光部に停止させ、第１
と第２のワーク固定部でワークを固定後、上記記憶部に
記憶された送り量に基づき第１のワーク固定部を露光部
方向に送って、ワークにテンションがかからない状態に
する。【００２１】本発明においては、上記のように、露光部
の上流側および下流側に、上記ワークを把持する第１お
よび第２の固定部を設け、また、制御部に、ワークにか
かるテンションによる伸び分だけワークを下流側に送る
送り量を記憶する記憶部を設け、第１と第２のワーク固
定部でワークを固定後、上記記憶部に記憶された送り量
に基づき第１のワーク固定部を露光部方向に送って、ワ
ークにテンションがかからない状態にし、露光処理を行
うようにしたので、露光時、ワークにテンションがかか
らず、露光精度を向上させることができる。【００２２】【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の実施例の帯状ワークの露光
装置の構成を示す図であり、前記図６に示したものと同
一のものには同一の符号が付されており、本実施例にお
いては、図１に示したものに第１、第２のワーク固定機
構２１，２２、制御部４０が追加されている。同図にお
いて、１０は巻出しロール部であり、巻出しロール部１
０には前記したように巻出しロール１、スペーサ巻取り
ロール１ａ、ガイドロールＲ１が設けられている。ま
た、帯状ワークＷｂは通常スペーサＳと重ね合わせて巻
出しロール１にロール状に巻かれており、巻出しロール
１から帯状ワークＷｂが引き出されるとき、スペーサＳ
はスペーサ巻取りロール１ａにより巻き取られる。帯状
ワークの搬送には、前記図６〜図９に示したグリップフ
ィード方式が用いられる。すなわち、ワークステージＷ
Ｓの下流側にグリップフィード機構１１が設けられてお
り、前記したようにグリップフィード機構１１の送りグ
リッブ部１２により、帯状ワークＷｂの両側を把持し
て、帯状ワークＷｂを搬送する。【００２３】また、本実施例においては、露光装置の露
光部３の、帯状ワークＷｂの搬送方向における上流側と
下流側に、第１、第２のワーク固定機構２１，２２が設
けられている。上記第１のワーク固定機構２１には、後
述するワーク機構駆動部１４が設けられている。図２は
図１の一部を拡大した図であり、第１、第２のワーク固
定機構２１，２２は、同図に示すように帯状ワークＷｂ
を裏面から真空吸着する第１、第２の吸着固定ステージ
２３，２４と、帯状ワークＷｂの周辺部を上下からはさ
んで保持する第１、第２の固定グリップ部２５，２６と
から構成される。第１、第２の吸着固定ステージ２３，
２４は、帯状ワークＷｂの裏面側に搬送レベルで設けら
れている。【００２４】第１、第２の吸着固定ステージ２３，２４
は前記図８に示したワークステージＷＳと同様の構成を
有し、その表面に帯状ワークＷｂ固定用の真空吸着穴Ｍ
が設けられている。そして、真空通路ＶＰを介して真空
が供給されたとき、帯状ワークＷｂは吸着固定ステージ
２３，２４に吸着固定される。また、帯状ワークＷｂの
搬送時には上記真空吸着穴Ｍからエアーを噴出し、帯状
ワークＷｂ裏面と第１、第２の吸着固定ステージ２３，
２４表面との接触を防ぐ。第１、第２の固定グリップ部
２５，２６の構造は前記図８に示した送りグリップ部の
構造と基本的に同じである。第１のワーク固定機構２１
には、図７，図８に示した送りグリップ駆動部と同様の
ワーク固定機構駆動部１４が設けられており、第１の固
定グリップ部２５は帯状ワークＷｂの搬送方向に移動す
る。すなわち、図２に示すようにワーク固定機構駆動部
１４は例えば送りモータ１４ａとボールねじ１４ｂと駆
動ベルト１４ｃとを備え、送りモータ１４ａによりボー
ルねじ１４ｂが回転し、固定グリップ部２５は同図の矢
印方向に移動する。一方、第２のワーク固定機構２２は
移動しない。【００２５】図３は第１と第２のワーク固定機構２１，
２２及び送りグリップ部１２を上から見た図であり、同
図に示すように、吸着固定ステージ２４は、グリップフ
ィード機構１１の部分まで延びている。なお、第１、第
２の固定グリップ部２５，２６の構造は、前記図７で説
明した送りグリップ部１２と基本的に同様である。第１
の固定グリップ部２５は、ボールねじ１４ｂ、移動部１
２ａが設けられているが、第２の固定グリップ部２６は
直接基台に取り付けられたグリップ固定台に固定されて
いる。また、第１、第２の固定グリップ部２５，２６に
よる帯状ワークＷｂの把持／開放動作も前記図９で説明
したのと同様である。【００２６】図１に戻り、４０は制御部であり、制御部
４０には、蛇行制御部４１、送り制御部４２、全体制御
部４３が設けられており、蛇行制御部４１は、前記図１
０で説明したように、エッジセンサＳ１の出力により巻
出しロール部１０を駆動して、帯状ワークの蛇行修正を
行う。また、送り制御部４２は、巻出しロール１、巻取
りロール２、固定グリップ部２５，２６、送りグリップ
部１２を駆動して、帯状ワークＷｂの搬送を制御する。
全体制御部４３は、光照射部４、ワークステージ駆動部
ＷＳＤ、マスクステージ駆動部ＭＳＤ等を制御するとと
もに、搬送、露光処理等の全体のシーケンスを制御す
る。【００２７】図４、図５は本実施例における帯状ワーク
の搬送・露光処理を説明する図であり、同図を参照しな
がら本実施例における搬送・露光処理について説明す
る。なお、巻出しロール１、巻取りロール２における帯
状ワークＷｂの巻出し、巻取り制御は前記図６で説明し
た従来例と同じであり、ワーク固定機構２１，２２によ
り帯状ワークＷｂが把持されていないとき、帯状ワーク
Ｗｂにはテンションが掛かっている。【００２８】(1) 帯状ワークＷｂへの露光処理が終わっ
た段階では、図４（ａ）に示すように、送りグリップ部
１２が破線のように帯状ワークＷｂの周辺部を狭持して
おり、ワーク固定機構２１，２２の固定グリップ部２
５，２６はともに開放している。また、ワークステージ
ＷＳは帯状ワーク搬送面よりも下に下降している。マス
クステージＭＳはワーク搬送面よりも上に上昇してい
る。 (2) 送りグリップ駆動部１３を駆動し、送りグリップ部
１２を搬送方向下流側に移動させる。帯状ワークＷｂは
送りグリップ部１２に狭持されているので、送りグリッ
プ１２の移動とともに搬送される。 (3) 帯状ワークＷｂの搬送中、ワークステージＷＳおよ
び吸着固定ステージ２３，２４に設けられたワーク保持
用の真空吸着孔Ｍからエアーを吹き出すようにしておく
と、帯状ワークＷｂが、ワークステージＷＳおよび吸着
固定ステージ２３，２４上面で持ち上がるので、帯状ワ
ークＷｂの裏面とワークステージＷＳおよび吸着固定ス
テージ２３，２４の表面とが接触して帯状ワークＷｂ表
面が傷つくという心配がなくなる。【００２９】(4) 帯状ワークＷｂの搬送中、エッジセン
サＳ１が帯状ワークＷｂのエッジ位置を検出する。該セ
ンサＳ１により帯状ワークＷｂの蛇行が検出されると、
エッジセンサＳ１の信号をフィードバックし、前記図１
０で説明したように、巻出しロール部１０全体を帯状ワ
ークＷｂの幅方向に移動させ、蛇行修正を行う。 (6) 送りグリップ駆動部１３は所定量搬送方向下流側に
移動すると停止する。なお、帯状ワークＷｂを次の露光
領域にまで搬送するためのワーク移動量の制御は、送り
グリップ駆動部１３の移動量を調整することで行う。 (7) 図４（ｂ）に示すように、帯状ワークＷｂの移動停
止後、露光部３の上流側に設けられた第１のワーク固定
機構２１の固定グリップ部２５が帯状ワークＷｂの周辺
部を挟み、また、吸着固定ステージ２３が真空吸着によ
り帯状ワークＷｂの裏面を吸着することにより、帯状ワ
ークＷｂの固定をより確かなものにする。 (8) また、露光部３の下流側に設けられた第２のワーク
固定機構２２の固定グリップ部２６が帯状ワークＷｂの
周辺部をはさみ、また、吸着固定ステージ２４が真空吸
着により帯状ワークＷｂの裏面を吸着することにより、
帯状ワークＷｂの固定をより確かなものにする。【００３０】(9) その状態で、図４（ｃ）に示すように
第１の固定グリップ部２５が第１のワーク固定機構駆動
部１４により帯状ワークＷｂを狭持したまま、テンショ
ン搬送により帯状ワークＷｂが伸びている量（１００〜
２００μｍ）だけ、搬送下流に向かって移動する。これ
により、帯状ワークＷｂに生じていたテンションがなく
なる。【００３１】(10)図４（ｄ）に示すように、グリップフ
ィード機構１１において、送りグリップ部１２が開放さ
れる。また、ワークステージＷＳの真空吸着機構がＯＮ
になり、ワークステージ駆動部ＷＳＤにより、ワークス
テージＷＳが帯状ワークＷｂ搬送位置にまで上昇し、帯
状ワークＷｂをワークステージＷＳ上に真空吸着・保持
する。即ち、帯状ワークＷｂにはテンションがかからな
い状態でワークステージＷＳに保持されることになる。
なお、帯状ワークＷｂをワークステージＷＳに吸着して
も、第１と第２のワーク固定機構２１，２２の解除は行
わない。これは、第１と第２のワーク固定機構２１，２
２を解除すると、巻出しロール１と巻取りロール２との
間にはテンションがかかっているので、テンションがか
からない状態で保持した帯状ワークＷｂにテンションが
かかってしまうためである。【００３２】(11)図５（ｅ）（ｆ）に示すように、アラ
イメント、露光処理を行う。この間に、送りグリップ部
１２が次の帯状ワークＷｂ搬送のために、搬送上流例の
所定の位置（図５（ｅ）の実線位置）に戻り、再び帯状
ワークＷｂをはさむ。アライメント、露光処理は次のよ
うに行われる。まず、図５（ｅ）のときに、図１に示す
マスクステージＭＳが、マスクステージ駆動部ＭＳＤに
より、アライメント位置にまで下降する。なお、帯状ワ
ークＷｂは、テンションはかかっていないとはいえたる
みはないので、帯状ワークＷｂを保持したワークステー
ジＷＳをワーク搬送面以上に上昇させることができな
い。また同様に、マスクと帯状ワークＷｂの位置合わせ
も帯状ワークＷｂを移動させて行うことができない。【００３３】次に、マスクＭと帯状ワークＷｂとの位置
合わせを行う。上記のように帯状ワークＷｂを移動させ
ることができないので、マスクテージＭＳをＸＹθ方向
（Ｘ方向は例えば図５の左右方向、Ｙ方向は図５の紙面
前後方向、θはＸ，Ｙ平面に垂直な軸を中心とした回
転）に移動させて、位置合わせする。位置合わせ終了
後、マスクステージＭＳを露光位置にまで移動させ、光
照射部４（図１参照）から露光光を照射して、露光処理
を行う。【００３４】(12)露光処理が終了すると、マスクステー
ジＭは上昇するとともに、アライメント時ＸＹθ方向に
移動しているので、移動前の原点位置にまで戻る。 (13)ワークステージＷＳのワーク真空吸着を解除し、図
５（ｇ）に示すように、ワークステージＷＳが下降す
る。また、第１、第２のワーク固定機構２１，２２の固
定グリップ部２５，２６が開放し、また、第１、第２の
吸着固定ステージ２３，２４の真空吸着が解除され、第
１の固定グリップ部２５は移動前の原点に戻る。 (14)グリップフィード機構１１の送りグリップ部１２は
帯状ワークＷｂをはさんでいるので、図４（ａ）で説明
したように、送りグリップ部１２が移動し、帯状ワーク
Ｗｂを次の露光位置にまで搬送する。以下、上記(1) 〜
(14)を繰り返す。【００３５】【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
以下の効果を得ることができる。（１）露光処理部の上流側に第１のワーク固定部を、下
流側に第２のワーク固定部を設け、帯状ワーク搬送後、
第１と第２のワーク固定部で帯状ワークを固定後、帯状
ワークをテンションによる伸び分だけ下流側に送り、ワ
ークステージに保持するので、露光処理時、帯状ワーク
にテンションがかからない。このため、帯状ワークが伸
びた状態で露光を行うことがなく、露光精度が低下する
ことがない。（２）帯状ワークがワークステージに吸着保持される寸
前まで、帯状ワークにテンションがかかった状態である
ので、帯状ワークに波打ち・しわが発生することなくワ
ークステージに吸着・保持することができる。したがっ
て、帯状ワークのしわ・波打ちなどによる露光精度の低
下を防ぐことができる。Description: TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic compound filter.
Long continuous work such as lum and thin metal (hereinafter referred to as strip work
In particular, the present invention relates to an exposure apparatus
Strip-shaped work used for exposure of mask patterns on the top
Related to an exposure apparatus. [0002] Bands of organic compound films, thin metals, etc.
Exposure of a workpiece is in a state where the workpiece is wound into a roll.
It is done by the method of pulling it out, exposing it and winding it up again on a roll
It is. Generally, the band-like work used in the above exposure apparatus is
For transport, the stability and position accuracy of workpiece feed during workpiece transport
Unwinding to secure workpieces and correct warpage and undulation of workpieces
Between the work roll and the take-up roll
The tension (tension) works. FIG. 6 is a schematic diagram of a conventional exposure apparatus for a strip-shaped work.
It is a figure showing a conventional example. In FIG.
The unwinding roll unit 10 includes an unwinding roll 1,
Spacer take-up roll 1a and guide roll R1 are provided.
Have been. The strip-shaped work Wb is usually overlapped with the spacer S
And wound up in a roll shape on the unwinding roll 1 and unwinding
When the strip-shaped workpiece Wb is pulled out from the roll 1,
Is wound by the spacer winding roll 1a.
You. The band-shaped work Wb is relatively thick (t = 150 μm or less).
The most commonly used is 250 μm), such as resin
Copper foil (thicker than normal resin film) on film
Is used. For this reason, the band-shaped work Wb
Some have warpage in the width direction. [0004] For example, Japanese Unexamined Patent Publication No.
A method as shown in JP-A-19249 is used.
You. That is, the peripheral edge of the band-shaped work Wb is
Nipped by a feeder mechanism, pulled a predetermined amount, and
The workpiece Wb is transported by a predetermined amount (hereinafter, this transport is performed)
The method is called a grip feed method.) Grip fee
In the case of thick type, a belt-shaped workpiece with a warp in the width direction is
This is useful when transporting a workpiece without touching the part to be exposed.
It is effective. In this method, the workpiece is
Even if a warped work is conveyed at high speed,
The lock does not come off the transfer means. Grip feed
The belt-shaped wafer pulled out from the unwinding roll 1 by the mechanism 11
The work Wb is formed by the guide roll R1 described above and the belt-shaped work.
Edge sensor S1 for detecting the edge position, guide roll R
Exposure composed of work stage WS, etc., via 2
Sent to unit 3. A predetermined area of the strip-shaped work Wb is
When it reaches, the conveyance of the strip-shaped work Wb is stopped, and the strip-shaped work Wb is stopped.
Exposure processing is performed on Wb. Strip shape exposed by exposure unit 3
The work Wb is wound up via guide rolls R3 and R4.
It is taken up by the roll 2. The strip-shaped work Wb is wound up
The spacer S is sent from the spacer unwinding roll 2a.
And the exposed strip-shaped work Wb is
Is wound up by the winding roll 2. Here, the band-shaped work Wb has waving and wrinkles.
In order to prevent the occurrence of
It is desirable to apply tension. For this reason, winding
The direction in which the strip-shaped workpiece Wb is transported is
The force that rotates in the opposite direction (clockwise in FIG. 6) is always applied.
Have been. Therefore, during the conveyance of the band-shaped work Wb,
Unwinding roll during any stop of the work Wb
1 and the winding roll 2, the belt-like workpiece Wb is always
Tension is applied. Similarly, on the winding roll 2
Is a force that rotates in the direction of winding the strip-shaped work Wb.
Has been added to Therefore, unwinding roll 1 and winding
The strip-shaped work Wb is always in tension with the
Is on. [0007] In the above-mentioned strip-like workpiece exposure apparatus,
The transport, exposure processing, and meandering correction of the work Wb are performed as follows.
Will be (1) Transfer of the strip-shaped work Wb by the grip feed mechanism
The peripheral edge of the feeding / exposure processing strip Wb is narrowed by the grip feed mechanism.
And transported a predetermined amount. FIG. 7 shows the grid shown in FIG.
It is the figure which expanded the feeder mechanism. As shown in the figure
The grip feed mechanism 11 is provided at the end of the belt-shaped workpiece Wb.
Grip portion 12 for gripping the portion, and grip portion 1
2 and a feed grip drive unit 13 for moving a predetermined amount.
Is done. The feed grip drive unit 13 is, for example, shown in FIG.
The ball screw rotated by the feed motor 13a
13b and a drive belt 13c.
The ball screw 13b rotates and engages with the ball screw 13b.
The feed grip 12 moves in the direction of the arrow in FIG. FIG. 8 shows the components of the grip feed mechanism 11.
It is a figure which shows the example of a physical structure. The figure is viewed from the transport direction
Sectional view of work stage WS and grip feed machine
The structure 11 is shown, and in FIG.
12 and a feed gripper having a similar configuration on the other side.
A stopper 12 is provided to hold both ends of the band-shaped work Wb.
To transport the strip-shaped work Wb. As shown in the figure,
The grip portion 12 engages with the ball screw 13b described above.
Then, a feed guide 13d that moves in the front-rear direction in FIG.
Grip provided on both sides of guided moving part 12a
Attached to the fixed base 12b, the
The peripheral portion is formed by the grip portion Gr1 of the upper member 12c and the lower member 1
2d grip part Gr2 sandwiched from above and below
I have. The lower member 12d has a guide shaft 12e.
Attached, guide shaft 12e is grip fixed
It is slidably mounted on the table 12b. Also,
The first air cylinder 12f is mounted on the
The drive shaft of the first air cylinder 12f is
It is attached to the member 12d. Therefore, the first d
When the cylinder 12f is driven, the lower member 12d moves upward.
Move in the direction. The upper member 12c is a lower member via a shaft 12g.
It is attached to 12d and rotates around the shaft 12g
You. Also, the grip portion G of the upper member 12c and the lower member 12d
r1. Spring 12h is attached on the opposite side of Gr2
The upper member 12c by the spring 12h.
The lower member 12d has a grip portion Gr1. In the direction that Gr2 opens
Being energized. The lower member 12d has a second air cylinder.
And a second air cylinder 1
The drive shaft 2i protrudes through the lower member 12d.
And its tip is in contact with the upper member 12c. others
When the second air cylinder 12i is driven, the upper member
12c rotates about the shaft 12g, and the grip portion Gr
1, Gr2 closes. On the other hand, in the work stage WS,
A vacuum suction hole M is provided as shown in FIG.
When exposing work Wb, vacuum is supplied from vacuum passage VP
Then, the band-shaped work Wb is suction-fixed by the vacuum suction hole M.
You. The feed grip 12 narrows the band-shaped work Wb.
The operation of holding and transporting is as follows. As shown in FIG.
From the state, the lower member 1 is moved by the first air cylinder 12f.
2d rises, and as shown in FIG.
Grip portion Gr2 contacts the back surface of the band-shaped work Wb.
You. The second air cylinder 12i rises and the upper member 12c
Grip portion Gr1 sandwiching the band-shaped work Wb of FIG.
The workpiece Wb is clamped. The feed grip 12 is
When the grip Wb is gripped, the bow of the feed grip drive unit 13 is moved.
Screw 13b rotates, and the feed grip 12 moves in the transport direction.
Move a predetermined amount to the downstream side. As a result, the strip-shaped work Wb
After being conveyed by a predetermined amount, the next exposure area of the strip-shaped workpiece Wb is exposed.
It is transported to the unit 3. During the transfer of the band-shaped work Wb, the work stage
WS is retracted below the transport level, and the
Prevents the back side from scratching due to contact with the work stage WS
I do. Note that when the belt-shaped work Wb is being conveyed,
Vacuum suction provided for fixing the belt-like workpiece of the stage WS.
Air should be blown out from the hole M (see FIG. 8).
And the back surface of the strip-shaped work Wb is in contact with the work stage WS.
There is no fear that the back surface of the band-shaped work Wb will be damaged by touching.
It becomes. The band-shaped work Wb moves by a predetermined amount, and
When the exposure area of the strip-shaped work Wb reaches,
Stop moving. Work stage W retracted downward
S is moved to the transport level by the work stage drive unit WSD.
In the vacuum passage VP and the work stage W
A vacuum is supplied to S, and the strip-shaped work Wb is
It is held on the work stage WS surface. Here, the feeding grip portion 12 is a belt-like work.
If Wb is still held, the feed grip 12
The transfer tension is applied to the belt-like work Wb.
It is attracted to the work stage WS. Also, feed grip
Even when the part 12 releases the grip of the band-shaped workpiece Wb,
Work Wb is formed by the unwinding roll 1 and the winding roll 2
Work stage with tension generated between
Adsorbed to WS. The band work Wb is the work stage W
S, the second air cylinder 12i is restored.
And the upper member 12c of the feed grip 12 rotates,
The lips Gr1 and Gr2 release the band-shaped work Wb (see FIG.
9 (b) state). Further, the first air cylinder 12f
Is returned, and the lower member 12d descends (see FIG. 9A).
state). Next, the feed grip unit 12 is driven by a feed grip.
Moved to the upstream side in the transport direction by unit 13 and returned to the original position
You. On the other hand, in the exposure section 3, a mask stage driving section
The mask M is moved by the MSD, and the mask M and the work are moved.
And exposure processing is performed. Exposure processing ends
And the feed grip 12 sandwiches both sides of the strip-shaped workpiece Wb.
No. In addition, the band-like work Wb by the work stage WS
The holding by the vacuum is released, and the work stage WS moves downward.
Evacuate to Next, return to the original position on the
As described above, the belt-shaped work
Grip Wb on both sides and move the feed grip 12 in the transport direction.
After moving downstream, the next exposure area of the strip
The belt-like work Wb is transported so as to come to a position. (2) When the meandering correction band-shaped work Wb is continuously conveyed, the band-shaped work Wb
Are exposed in the width direction of the band-shaped work Wb (band-shaped
Misalignment in the direction perpendicular to the traveling direction of the workpiece Wb)
May be corrected.
It is necessary to secure the position of the link Wb. Here, the strip
The shift of the work Wb in the width direction is determined by the meandering of the work Wb
Correcting the meandering of the mark Wb is referred to as meandering correction. the above
The tension is always applied to the entire belt-like workpiece Wb as described in
In the case of a hanging device, detection of meandering of the band-shaped work Wb and its
Is modified in the following manner. [0016] As shown in FIG.
An edge sensor S1 is provided at a predetermined position on the upstream side of the feed, and an edge sensor S1 is provided.
The edge position of the strip-shaped workpiece Wb is detected by the disensor S1.
Put out. The output of the edge sensor S1 is transmitted through the control unit 31.
To the unwinding roll drive mechanism 32 and the actuator 33
Sent. During the conveyance, the edge sensor S1 detects
When the meandering of the wheel Wb is detected, the control unit 31
By the actuator 33 via the
The entire unwinding roll portion 10 is formed by the width of the band-shaped work Wb.
Move in the direction to correct the meander. FIG. 11 shows an edge sensor S1.
Can be used. That is, in FIG.
As shown, the light emitting element L11, the light receiving element PT1, and the light emitting element
Two sets of photo units composed of a child L12 and a light receiving element PT2.
The sensors S11 and S12 are placed on the outside and inside of the strip-shaped workpiece Wb.
As shown in FIG. 11 (b),
Arranged at right angles to the optical element L13 and the work transfer direction
Line sensor LS1 such as a CCD
The sensor S13 can be used. FIG. 11 (a)
When using the sensor shown in FIG.
Band work W by ON / OFF combination of S12
The edge position of b is detected. Also, referring to FIG.
When the light enters the line sensor LS1,
The edge position of the strip-shaped work Wb is detected. As described above, as described above,
In the apparatus of the above, the tension is applied to the strip-shaped work Wb.
In the state held by the work stage WS
And For this reason, the band-shaped work Wb is
In the case of a thin film of the compound, the strip-shaped work Wb is stretched.
It is exposed in a state where And removed from the exposure tool
Then, tension is not applied to the band-shaped work Wb,
The problem that the strip-shaped work Wb shrinks and the exposure accuracy changes
The title arises. That is, as shown in FIG.
Release tension after exposing with tension applied
Then, the strip-shaped work Wb shrinks as shown in FIG.
The position of the exposure pattern shifts, and exposure accuracy cannot be secured
Become. The above problems are due to the exposure
In recent years, as the degree of improvement has increased,
Came. The present invention considers the above-mentioned problems of the prior art.
The tension is applied to the belt-shaped work.
Exposure equipment that hangs and conveys by grip feed method
The work piece without tension
To improve the exposure accuracy of strip-shaped workpieces.
It is to let. In the present invention, the above
The problem is solved as follows. Holds long continuous workpieces
Transport mechanism that intermittently transports and controls the transport mechanism
Then, the unexposed area of the work is intermittently transported to the exposed part.
Control section to control the work
The work, and expose it to the work
In an exposure apparatus that performs processing,
A first work fixing part for holding the workpiece is provided,
A second work fixing part for holding the work is provided on the downstream side.
In addition, the control unit
Memorize the feed amount to send the work to the downstream side by the amount of elongation
A storage unit is provided. And when performing exposure processing on the work
At this time, the control unit stops the work at the exposure unit,
After the work is fixed by the second work fixing part and the second work fixing part,
Exposes the first work fixing part based on the stored feed amount
Direction, so that tension is not applied to the work
I do. In the present invention, as described above,
At the upstream and downstream sides of the
And a second fixing part, and the control part
The work is sent downstream by the amount of tension due to the tension.
A storage unit for storing the feed amount is provided, and the first and second workpieces are fixed.
After fixing the work in the fixed section, the feed amount stored in the storage section
The first work fixing part is sent toward the exposure part based on
Make sure that no tension is applied to the
The work is exposed to tension during exposure.
Therefore, the exposure accuracy can be improved. Embodiments of the present invention will be described below.
Will be explained. FIG. 1 shows exposure of a strip-shaped work according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of the apparatus, which is the same as that shown in FIG.
The same reference numerals are given to the ones, and in this embodiment,
The first and second workpiece fixing machines shown in FIG.
Structures 21 and 22 and a control unit 40 are added. In the figure
Reference numeral 10 denotes an unwinding roll unit, and an unwinding roll unit 1
0 is the unwinding roll 1 and the spacer winding up as described above.
A roll 1a and a guide roll R1 are provided. Ma
In addition, the band-shaped work Wb is usually wound on top of the spacer S.
It is wound in a roll shape on an unwinding roll 1 and is an unwinding roll.
When the strip-shaped work Wb is pulled out from
Is wound by the spacer winding roll 1a. Strip
For the transfer of the work, the grips shown in FIGS.
The read method is used. That is, the work stage W
The grip feed mechanism 11 is provided on the downstream side of S.
As described above, the feed group of the grip feed mechanism 11
The rib 12 grips both sides of the band-shaped work Wb.
Then, the belt-shaped work Wb is transported. In the present embodiment, the exposure
The upstream of the optical unit 3 in the transport direction of the strip-shaped workpiece Wb;
The first and second work fixing mechanisms 21 and 22 are provided on the downstream side.
Have been killed. The first work fixing mechanism 21 has a rear
The work mechanism drive unit 14 described below is provided. Figure 2
FIG. 2 is an enlarged view of a part of FIG.
As shown in FIG.
And second suction-fixing stages for vacuum-sucking from the back surface
23, 24 and the peripheral part of the band-shaped work Wb are held from above and below.
And the first and second fixed grip portions 25 and 26
Consists of First and second suction-fixing stages 23,
24 is provided at the transport level on the back side of the band-shaped work Wb.
Have been. First and second suction fixing stages 23 and 24
Has the same configuration as the work stage WS shown in FIG.
And a vacuum suction hole M for fixing the band-shaped work Wb on its surface.
Is provided. And a vacuum through the vacuum passage VP.
Is supplied, the strip-shaped work Wb
23 and 24 are fixed by suction. In addition, the band-shaped work Wb
At the time of transfer, air is blown out from the vacuum suction hole M to form a belt.
The back surface of the work Wb and the first and second suction fixing stages 23,
Prevent contact with 24 surfaces. First and second fixed grip portions
The structure of 25, 26 is the same as that of the feed grip shown in FIG.
The structure is basically the same. First work fixing mechanism 21
The same as the feed grip drive unit shown in FIGS.
A work fixing mechanism driving section 14 is provided, and the first fixing
The constant grip portion 25 moves in the transport direction of the band-shaped workpiece Wb.
You. That is, as shown in FIG.
Reference numeral 14 denotes, for example, a drive motor 14a and a ball screw 14b
And a moving belt 14c.
The screw 14b is rotated, and the fixed grip portion 25 is
Move in the direction of the mark. On the other hand, the second work fixing mechanism 22
Do not move. FIG. 3 shows the first and second work fixing mechanisms 21,
FIG. 2 is a diagram of the feed grip portion 22 and the feed grip portion 12 as viewed from above.
As shown in FIG.
It extends to the part of the guide mechanism 11. Note that the first and second
The structure of the fixed grip portions 25 and 26 of FIG.
This is basically the same as the feed grip 12 described above. First
The fixed grip 25 of the ball screw 14b, the moving unit 1
2a is provided, but the second fixed grip portion 26
Fixed on the grip fixing base directly attached to the base
I have. In addition, the first and second fixed grip portions 25 and 26
The gripping / releasing operation of the band-shaped work Wb by the above is also described with reference to FIG.
It is the same as doing. Referring back to FIG. 1, reference numeral 40 denotes a control unit.
40 includes a meandering control unit 41, a feed control unit 42, and overall control.
1 is provided, and the meandering control unit 41
0, the winding is performed by the output of the edge sensor S1.
Driving the feed roll unit 10 to correct the meandering of the belt-shaped work
Do. In addition, the feed control unit 42 controls the unwinding roll 1
Roll 2, fixed grip parts 25 and 26, feed grip
The unit 12 is driven to control the conveyance of the strip-shaped work Wb.
The overall control unit 43 includes a light irradiation unit 4, a work stage driving unit
To control WSD, mask stage driver MSD, etc.
In addition, it controls the entire sequence of transport, exposure processing, etc.
You. FIGS. 4 and 5 show a belt-shaped work in the present embodiment.
FIG. 4 is a view for explaining the transfer / exposure processing of FIG.
The transport / exposure process in this embodiment will be described.
You. In addition, the belt in the unwinding roll 1 and the winding roll 2
The unwinding and winding control of the workpiece Wb has been described with reference to FIG.
And the work fixing mechanisms 21 and 22 are the same.
When the strip-shaped work Wb is not gripped,
Wb is under tension. (1) The exposure process on the strip-shaped work Wb is completed.
At the stage, as shown in FIG.
12 holds the peripheral portion of the band-shaped work Wb as indicated by a broken line.
And the fixed grip portion 2 of the work fixing mechanisms 21 and 22
5 and 26 are both open. Also work stage
WS is lower than the belt-like workpiece transfer surface. trout
Stage MS rises above the workpiece transfer surface
You. (2) The feed grip drive unit 13 is driven, and the feed grip unit is driven.
12 is moved downstream in the transport direction. The strip-shaped work Wb
Since it is clamped by the feed grip 12,
Transported along with the movement of the loop 12. (3) The work stage WS and the work stage WS
Work holding provided on the suction and fixed stages 23 and 24
Air from the vacuum suction hole M
And the band-shaped work Wb is moved to the work stage WS and
Since it is lifted on the upper surfaces of the fixed stages 23 and 24,
The back of the workpiece Wb, the work stage WS and the suction fixing
Table of work Wb in contact with the surfaces of the cottages 23 and 24
There is no need to worry about the surface being damaged. (4) During transport of the band-shaped work Wb, the edge sensor
The sensor S1 detects the edge position of the strip-shaped work Wb. The cell
When the meandering of the band-shaped work Wb is detected by the sensor S1,
The signal of the edge sensor S1 is fed back, and FIG.
As described with reference to FIG.
Is moved in the width direction of the mark Wb to perform meandering correction. (6) The feed grip drive unit 13 is moved a predetermined amount downstream in the conveyance direction.
Stops when moved. The strip-shaped workpiece Wb is exposed next time.
The movement of the workpiece to transport it to the area
This is performed by adjusting the amount of movement of the grip drive unit 13. (7) As shown in FIG. 4B, the movement of the strip-shaped workpiece Wb is stopped.
After stopping, the first work fixed on the upstream side of the exposure unit 3
The fixed grip portion 25 of the mechanism 21 is located around the belt-like work Wb.
Section, and the suction fixing stage 23 is
By adsorbing the back surface of the strip-shaped work Wb,
The fixing of the work Wb is more reliable. (8) A second work provided on the downstream side of the exposure unit 3
The fixing grip portion 26 of the fixing mechanism 22 is
The periphery is sandwiched, and the suction fixing stage 24 is
By adsorbing the back surface of the band-shaped work Wb by wearing,
The band work Wb is more reliably fixed. (9) In this state, as shown in FIG.
The first fixed grip 25 drives the first work fixing mechanism.
While holding the strip-shaped workpiece Wb by the
The amount by which the band-shaped work Wb is extended by
(200 μm) toward the transport downstream. this
As a result, there is no tension generated in the band-shaped work Wb.
Become. (10) As shown in FIG.
In the feed mechanism 11, the feed grip 12 is opened.
It is. Also, the vacuum suction mechanism of the work stage WS is turned on.
And the work stage drive WSD
The stage WS rises to the belt-like workpiece Wb transfer position, and the band WS
Vacuum suction and holding of workpiece Wb on work stage WS
I do. That is, tension is not applied to the band-shaped work Wb.
Is held on the work stage WS in an inoperative state.
In addition, the band-shaped work Wb is attracted to the work stage WS and
Also, the first and second work fixing mechanisms 21 and 22 are not released.
I don't know. This is because the first and second work fixing mechanisms 21 and
2 is released, the unwinding roll 1 and the winding roll 2
There is tension in between, so tension
The tension is applied to the strip-shaped workpiece Wb
It is because it takes. (11) As shown in FIGS. 5 (e) and 5 (f),
And exposure processing. During this time, the feed grip
Reference numeral 12 denotes an example of a transport upstream example for transporting the next band-shaped work Wb.
Return to the predetermined position (the position indicated by the solid line in FIG.
The work Wb is sandwiched. Alignment and exposure processing are as follows
It is done like this. First, at the time of FIG.
The mask stage MS is connected to the mask stage driver MSD.
Then, it descends to the alignment position. Note that the strip
Talk Wb says no tension
There is no work, so a work station holding the band-shaped work Wb
The WS cannot be raised above the work transfer surface.
No. Similarly, the alignment between the mask and the strip-shaped workpiece Wb is performed.
Cannot be performed by moving the strip-shaped work Wb. Next, the positions of the mask M and the strip-shaped work Wb
Perform alignment. Move the strip-shaped work Wb as described above
Mask stage MS in the XYθ direction
(The X direction is, for example, the left-right direction of FIG. 5, and the Y direction is the page of FIG. 5)
In the front-rear direction, θ is a rotation about an axis perpendicular to the X and Y planes.
) To adjust the position. Finish alignment
Then, the mask stage MS is moved to the exposure position,
Exposure processing is performed by irradiating exposure light from the irradiation unit 4 (see FIG. 1).
I do. (12) When the exposure processing is completed, the mask
Z rises and moves in the XYθ direction during alignment.
Since it is moving, it returns to the origin position before the movement. (13) Release the work vacuum suction of the work stage WS, and
5 (g), the work stage WS descends.
You. Further, the first and second work fixing mechanisms 21 and 22 are fixed.
The fixed grip portions 25 and 26 are opened, and the first and second
The vacuum suction of the suction fixing stages 23 and 24 is released, and the
The first fixed grip portion 25 returns to the origin before movement. (14) The feed grip portion 12 of the grip feed mechanism 11
Since the belt-like work Wb is sandwiched, it is described with reference to FIG.
As a result, the feed grip portion 12 moves to
Wb is transported to the next exposure position. Hereinafter, the above (1) ~
Repeat (14). As described above, in the present invention,
The following effects can be obtained. (1) The first work fixing unit is located upstream of the exposure processing unit.
A second work fixing part is provided on the flow side, and after the belt-like work is conveyed,
After fixing the strip-shaped work at the first and second work fixing parts,
The work is sent downstream by the tension
Workpiece during exposure processing.
No tension. For this reason, strip-shaped
Exposure is not performed in the state of exposure, and exposure accuracy decreases
Nothing. (2) Dimensions in which the strip-shaped work is sucked and held on the work stage
Until before, tension was applied to the strip-shaped work
Therefore, the wavy and wrinkle-free
Can be adsorbed and held on the work stage. Accordingly
Low exposure accuracy due to wrinkling or waving
The bottom can be prevented.

【図面の簡単な説明】【図１】本発明の実施例を示す図である。【図２】図１における第１、第２のワーク固定機構、グ
リップフィード機構、第１のワーク固定機構駆動部を拡
大して示した図である。【図３】第１と第２のワーク固定機構及び送りグリップ
部を上から見た図である。【図４】本発明の実施例における帯状ワークの搬送・露
光処理を説明する図である。【図５】本発明の実施例における帯状ワークの搬送・露
光処理を説明する図（続き）である。【図６】従来例を示す図である。【図７】図６に示したグリップフィード機構を拡大した
図である。【図８】グリップフィード機構の具体的構成例を示す図
である。【図９】送りグリップ部によるワークの把持を説明する
図である。【図１０】蛇行修正を説明する図である。【図１１】エッジセンサの構成例を示す図である。【図１２】露光後、帯状ワークが縮むことによる加工精
度の低下を説明する図である。【符号の説明】１巻出しロール１ａスペーサ巻取りロール２巻取りロール２ａスペーサ巻出しロール３露光部４光照射部１０巻出しロール部１１グリップフィード機構１２送りグリッブ部１３送りグリップ駆動部１４ワーク固定機構駆動部２１第１のワーク固定機構２２第２のワーク固定機構２３，２４吸着固定ステージ２５，２６固定グリップ部４０制御部４１蛇行制御部４２送り制御部４３全体制御部Ｒ１〜Ｒ４ガイドロールＳ１エッジセンサＷｂ帯状ワークＷＳワークステージＷＳＤワークステージ駆動部ＭＳマスクステージＭＳＤマスクステージ駆動部BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of first and second work fixing mechanisms, a grip feed mechanism, and a first work fixing mechanism driving unit in FIG. 1; FIG. 3 is a top view of first and second work fixing mechanisms and a feed grip. FIG. 4 is a view for explaining a belt-like workpiece conveyance / exposure process in the embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram (continued) for explaining the transport / exposure processing of the strip-shaped work in the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a diagram showing a conventional example. FIG. 7 is an enlarged view of the grip feed mechanism shown in FIG. FIG. 8 is a diagram showing a specific configuration example of a grip feed mechanism. FIG. 9 is a diagram illustrating gripping of a workpiece by a feed grip unit. FIG. 10 is a diagram illustrating meandering correction. FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration example of an edge sensor. FIG. 12 is a diagram illustrating a reduction in processing accuracy due to shrinkage of a strip-shaped work after exposure. [Description of Signs] 1 Unwinding roll 1a Spacer winding roll 2 Winding roll 2a Spacer unwinding roll 3 Exposure unit 4 Light irradiation unit 10 Unwinding roll unit 11 Grip feed mechanism 12 Feed grip unit 13 Feed grip drive unit 14 Work Fixing mechanism drive unit 21 First work fixing mechanism 22 Second work fixing mechanism 23, 24 Suction fixing stage 25, 26 Fixed grip unit 40 Control unit 41 Meandering control unit 42 Feed control unit 43 Overall control units R1 to R4 Guide roll S1 Edge sensor Wb Strip work WS Work stage WSD Work stage drive MS Mask stage MSD Mask stage drive

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02 ──────────────────────────────────────────────────続き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) G03F ^7/ 20-7/24 G03F 9/00-9/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】【請求項１】長尺連続ワークを把持して間歇的に搬
送する搬送機構と、上記搬送機構を制御して、上記ワークの未露光領域を間
歇的に露光部に搬送制御する制御部とを備え、上記ワークを常時テンションをかけて搬送し、露光部に
おいて上記ワーク上に露光処理を行う露光装置におい
て、露光部の上流側に、上記ワークを把持する第１のワーク
固定部を設けるとともに、下流側に上記ワークを把持す
る第２のワーク固定部を設け、また、上記制御部に、ワークにかかるテンションによる
伸び分だけワークを下流側に送る送り量を記憶する記憶
部を設け、ワーク上に露光処理を行うに際し、上記制御部は、ワー
クを露光部に停止させ、第１と第２のワーク固定部でワ
ークを固定後、上記記憶部に記憶された送り量に基づき
第１のワーク固定部を露光部方向に送って、ワークにテ
ンションがかからない状態にすることを特徴とする帯状
ワークの露光装置。(57) [Claims 1] A transport mechanism that grips and continuously transports a long continuous workpiece, and controls the transport mechanism to intermittently expose an unexposed area of the workpiece. A control unit for controlling the transfer of the work, wherein the work is constantly transferred under tension, and an exposure process is performed on the work in the exposure unit. In addition to the first work fixing portion, a second work fixing portion for gripping the work is provided on the downstream side, and the control portion has a feed amount for sending the work to the downstream side by an amount of elongation due to the tension applied to the work. When performing the exposure process on the work, the control unit stops the work on the exposure unit, fixes the work in the first and second work fixing units, and stores the work in the storage unit. To the feed amount Hazuki first workpiece securing section is sent to the exposure unit direction, the exposure apparatus of the strip-shaped workpiece, characterized by the state not applied tension to the workpiece.