JP3405118B2 - Surface defect inspection equipment - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表面欠陥検査装置
にかかり、特に自動車等の塗装面に発生する欠陥を検査
するための表面欠陥検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface defect inspection apparatus, and more particularly to a surface defect inspection apparatus for inspecting defects occurring on a coated surface of an automobile or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】自動車等の車体表面の塗装には、通常、
下塗り（電着塗装）、中塗り、上塗りの３種類の行程が
あり、それぞれの行程で塗装面の欠陥の検査が行われ
る。ここで、塗装面には種々の欠陥が発生する。例え
ば、０．１〔ｍｍ〕〜１．０〔ｍｍ〕程度の凹凸の欠陥
や色むら、そして、光沢不良等の欠陥である。特に、凹
凸状の欠陥は明瞭であることから、製造行程中の検査段
階で確実に検出し、適切な処置をする必要がある。しか
しながら、検出すべき欠陥は上記したように小さなもの
が多く、また、一台の自動車について数個以下とその数
が極めて少ない。このため、作業員が肉眼で発見するの
が困難であり、その作業の自動化が従来より課題となっ
ていた。2. Description of the Related Art Normally, the surface of a car body is painted
There are three types of processes: undercoating (electrodeposition coating), intermediate coating, and topcoating, and the inspection of defects on the coated surface is performed in each process. Here, various defects occur on the coated surface. For example, there are defects such as unevenness of about 0.1 [mm] to 1.0 [mm], color unevenness, and defects such as defective gloss. In particular, since uneven defects are clear, it is necessary to reliably detect and take appropriate measures at the inspection stage during the manufacturing process. However, many defects to be detected are small as described above, and the number of defects is less than a few per vehicle, which is extremely small. For this reason, it is difficult for a worker to find out with naked eyes, and automation of the work has been a problem from the past.
【０００３】従来の表面欠陥検査装置の例としては、特
開平４−２０４３１４号公報（第１の従来例）に開示さ
れているものがある。これは、光度若しくは波長の少な
くとも一方が光射出面に沿って大から小に漸次変化する
光を、被検査面上に照射して被検査面から反射した反射
光を受光し、この受光した反射光をビデオ信号に変換し
て、表面の欠陥を検査するものである。An example of a conventional surface defect inspection apparatus is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-204314 (first conventional example). This is because the light whose at least one of the luminous intensity or the wavelength gradually changes from large to small along the light exit surface is irradiated onto the surface to be inspected, the reflected light reflected from the surface to be inspected is received, and the received reflection is It converts light into video signals and inspects for surface defects.
【０００４】また、他の従来例としては、特開平５−４
５１４２号公報（第２の従来例）に開示されているもの
もある。この従来例では、明暗が繰り返して生じるよう
な光度分布を有する検査用光を被検査物の表面に照射し
て欠陥を検査するものであり、被検査物が曲面であって
もある程度欠陥の検査ができる点に特徴を有している。Another conventional example is Japanese Patent Laid-Open No. 5-4.
Some are disclosed in Japanese Patent No. 5142 (second conventional example). In this conventional example, inspection light having a luminous intensity distribution in which light and dark are repeatedly generated is irradiated onto the surface of the object to be inspected, and the defect is inspected to some extent even if the object to be inspected is a curved surface. It has a feature in that it can be done.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例には以下のような不都合があった。即ち、上記第１
の従来例では、検査用光はなだらかな光度の傾斜（光度
分布）を有する光であるために、仮に被検査物に欠陥が
あった場合でも、コントラストが現れにくく、検査の精
度を向上させることができない、という不都合を生じて
いた。However, the above conventional example has the following inconveniences. That is, the first
In the conventional example, since the inspection light has a gentle gradient of luminous intensity (luminous intensity distribution), even if there is a defect in the object to be inspected, contrast is less likely to appear, and the accuracy of the inspection is improved. There was an inconvenience that it could not be done.
【０００６】また、第２の従来例では、同時に複数の明
暗が被検査物の表面に照射される形式のものである。こ
の場合、欠陥の位置に対応する光度レベルの高い検査光
のみならず、欠陥が隣接する他の光度レベルの高い検査
光の影響を受けるため、欠陥を精度良く検出することが
できない、という不都合を生じていた。In the second conventional example, the surface of the object to be inspected is simultaneously irradiated with a plurality of bright and dark areas. In this case, not only the inspection light having a high light intensity level corresponding to the position of the defect but also the other inspection light having a high light intensity level adjacent to the defect affects the defect, so that the defect cannot be accurately detected. It was happening.
【０００７】[0007]
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、被検査面の広い範囲を検査面が曲面で
あっても、検査精度を高く維持したまま塗装面の欠陥を
検査できる表面欠陥検査装置を提供することを、その目
的とする。It is an object of the present invention to improve the disadvantages of the conventional example, and in particular, to inspect a wide range of the surface to be inspected for defects on the coated surface while maintaining high inspection accuracy even if the inspection surface is a curved surface. It is an object of the present invention to provide a surface defect inspection device that can be used.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、請求項１記載の発明では、被検査物の表面に所
定の光度分布を有する検査用光を照射する検査用光照射
手段と、前記被検査物の表面から反射される反射光を画
像として取り込む反射画像検出手段と、この反射画像検
出手段によって取り込まれた画像を処理する画像処理手
段とを備えた表面欠陥検査装置において、前記検査用光
照射手段を、所定の長さを有する板状透明部材と、この
板状透明部材に対しその一端部の切り口から光を入力す
る光源と、前記板状透明部材より長い所定の反射面部材
とにより構成し、前記板状透明部材の表裏両面に光を反
射する反射部材を被覆すると共に、当該板状透明部材と
前記反射面部材をその長さ方向の一端部を揃えて相互に
積層し、前記光源を前記板状透明部材の一端部近傍に配
置する、という構成を採っている。In order to achieve the above object, according to the invention of claim 1, an inspection light irradiating means for irradiating the surface of the object to be inspected with inspection light having a predetermined luminous intensity distribution, A surface defect inspecting apparatus comprising: a reflection image detecting means for capturing reflected light reflected from the surface of the object to be inspected as an image; and an image processing means for processing the image captured by the reflection image detecting means, The inspection light irradiating means comprises a plate-shaped transparent member having a predetermined length, a light source for inputting light to the plate-shaped transparent member from a cut end of the plate-shaped transparent member, and a predetermined reflection surface longer than the plate-shaped transparent member. And a reflective member that reflects light is coated on both front and back surfaces of the plate-shaped transparent member, and the plate-shaped transparent member and the reflective surface member are laminated on each other with their lengthwise ends aligned. The light source It adopts a configuration that is disposed near one end of the plate-like transparent member.
【０００９】以上のように構成されたことにより、光源
から板状透明部材の一端部に光が入力されて、この光は
板状透明部材内を伝わって板状透明部材の他端部に到達
する。板状透明部材の他端部では、光が様々な方向に乱
反射して放射されるが、板状透明部材には所定の反射面
部材が積層されている。このため、板状透明部材から放
射された光の一部は、この反射面部材によって反射され
る。この結果、反射面部材の表面側であって、板状透明
部材の他端部に最も近い位置の光度が最も高くなり、こ
の他端部から板状透明部材の長手方向に離れるに従い、
光度レベルは低下する。With the above-described structure, light is input from the light source to one end of the plate-shaped transparent member, and this light propagates through the plate-shaped transparent member and reaches the other end of the plate-shaped transparent member. To do. At the other end of the plate-shaped transparent member, light is diffused and emitted in various directions, and a predetermined reflection surface member is laminated on the plate-shaped transparent member. Therefore, a part of the light emitted from the plate-shaped transparent member is reflected by the reflecting surface member. As a result, on the surface side of the reflecting surface member, the luminous intensity at the position closest to the other end of the plate-shaped transparent member becomes highest, and as the distance from the other end is increased in the longitudinal direction of the plate-shaped transparent member,
The luminous intensity level will decrease.
【００１０】以上のような光度分布を有する検査用光が
被検査物に照射されると、被検査物の表面に明るい部分
と徐々に暗くなる部分が形成される。特に、徐々に暗く
なる部分では、仮に表面欠陥が存在する場合には、光の
反射が他の部分と異なり、強いコントラストとして現れ
る。これを画像として取り込んで、画像処理することに
より、被検査物の表面欠陥の検査をすることができる。When the inspection light having the above luminous intensity distribution is applied to the inspection object, a bright portion and a gradually darkening portion are formed on the surface of the inspection object. In particular, in the gradually darkened portion, if there is a surface defect, the reflection of light is different from the other portions and appears as a strong contrast. By capturing this as an image and performing image processing, it is possible to inspect the surface defect of the inspection object.
【００１１】また、請求項２記載の発明では、被検査物
の表面に所定の光度分布を有する検査用光を照射する検
査用光照射手段と、前記被検査物の表面から反射される
反射光を画像として取り込む反射画像検出手段と、この
反射画像検出手段によって取り込まれた画像を処理する
画像処理手段とを備えた表面欠陥検査装置において、前
記検査用光照射手段を、相互に長さの異なる複数の板状
透明部材と、この板状透明部材に対しその一端部の切り
口から光を入力する光源とにより構成し、前記板状透明
部材の表裏両面に光を反射する反射部材を被覆すると共
に、これら各板状透明部材をその長さ方向の一端部を揃
えて相互に階段状に積層し、前記光源を前記各透明部材
の一端部近傍に配置すると共に、この光源を透明部材の
積層方向に沿って移動可能に構成している。According to the second aspect of the invention, the inspection light irradiating means for irradiating the surface of the inspection object with the inspection light having a predetermined luminous intensity distribution, and the reflected light reflected from the surface of the inspection object. In a surface defect inspection apparatus including a reflection image detection unit that captures an image as an image and an image processing unit that processes the image captured by the reflection image detection unit, the inspection light irradiation units have mutually different lengths. It is composed of a plurality of plate-shaped transparent members and a light source for inputting light to the plate-shaped transparent member from a cut end at one end thereof, and covers both the front and back surfaces of the plate-shaped transparent member with reflecting members for reflecting light. , The plate-shaped transparent members are stacked in a stepwise manner with one end in the length direction aligned, the light sources are arranged in the vicinity of one end of each of the transparent members, and the light sources are stacked in the stacking direction of the transparent members. along Are dynamic can be configured.
【００１２】以上のように構成されたことにより、光源
をある所定の板状透明部材の一端部の切り口近傍に位置
決めし、光源から板状透明部材の一端部に光が入力され
て、この光は板状透明部材内を伝わって板状透明部材の
他端部に到達する。板状透明部材の他端部では、光が様
々な方向に乱反射して放射されるる。このとき、板状透
明部材の表裏両面には所定の反射部材が被覆されてい
る。このため、板状透明部材から放射された光の一部
は、隣接する板状透明部材の反射部材によって反射され
る。この結果、板状透明部材の他端部に最も近い位置の
光度が最も高くなり、この他端部から板状透明部材の長
手方向に離れるに従い、光度レベルは低下する。With the above-described structure, the light source is positioned near the cut end of one predetermined end of the plate-shaped transparent member, and light is input from the light source to the one end of the plate-shaped transparent member. Passes through the plate-shaped transparent member and reaches the other end of the plate-shaped transparent member. At the other end of the plate-shaped transparent member, light is diffusely reflected and emitted in various directions. At this time, both the front and back surfaces of the plate-shaped transparent member are covered with a predetermined reflective member. Therefore, a part of the light emitted from the plate-shaped transparent member is reflected by the reflection member of the adjacent plate-shaped transparent member. As a result, the luminous intensity at the position closest to the other end of the plate-shaped transparent member becomes highest, and the luminous intensity level decreases as the distance from the other end is increased in the longitudinal direction of the plate-shaped transparent member.
【００１３】以上のような光度分布を有する検査用光が
被検査物に照射されると、被検査物の表面に明るい部分
と徐々に暗くなる部分が形成される。特に、徐々に暗く
なる部分では、仮に表面欠陥が存在する場合には、光の
反射が他の部分と異なり、強いコントラストとして現れ
る。これを画像として取り込んで、画像処理することに
より、被検査物の表面欠陥の検査をすることができる。When the inspection light having the above-mentioned luminous intensity distribution is applied to the inspection object, a bright portion and a gradually darkening portion are formed on the surface of the inspection object. In particular, in the gradually darkened portion, if there is a surface defect, the reflection of light is different from the other portions and appears as a strong contrast. By capturing this as an image and performing image processing, it is possible to inspect the surface defect of the inspection object.
【００１４】更に、請求項３記載の発明では、前記検査
用光照射手段と被検査物との相互間に、前記検査用光を
透過拡散させる拡散板を配設するという構成を採り、そ
の他の構成は請求項１又は２記載の発明と同様である。
以上のように構成されたことにより、板状透明部材から
放射され、また反射面部材や反射部材によって反射され
た光が、上記した拡散板を通過する際に拡散され、滑ら
かな光度分布を有する検査用光を照射することができる
ようになる。Further, in the invention according to the third aspect, a diffusion plate for transmitting and diffusing the inspection light is arranged between the inspection light irradiating means and the inspection object. The configuration is the same as the invention according to claim 1 or 2.
With the above configuration, the light emitted from the plate-shaped transparent member and reflected by the reflecting surface member or the reflecting member is diffused when passing through the diffuser plate, and has a smooth luminous intensity distribution. The inspection light can be emitted.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図面に基づ
いて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１６】本発明の表面欠陥検査装置１は、被検査物
５の表面に所定の光度分布を有する検査用光Ｌ１を照射
する検査用光照射手段３と、被検査物５の表面から反射
される反射光Ｌ２を画像として取り込む反射画像検出手
段７と、この反射画像検出手段７によって取り込まれた
画像を処理する画像処理手段（図示略）とを備えてい
る。また、検査用光照射手段１は、所定の長さを有する
板状透明部材９と、この板状透明部材９に対しその一端
部の切り口から光を入力する光源１３と、板状透明部材
９より長く形成された反射面部材１５により構成され、
板状透明部材９の表裏両面に光を反射する反射部材１７
が被覆されると共に、当該板状透明部材９と反射面部材
１５がその長さ方向の一端部で揃えられて相互に積層さ
れ、且つ上記した光源１３が板状透明部材９の一端部近
傍に配置されている。The surface defect inspection apparatus 1 according to the present invention reflects the inspection light irradiating means 3 for irradiating the surface of the inspection object 5 with the inspection light L1 having a predetermined luminous intensity distribution and the surface of the inspection object 5. The reflection image detecting means 7 for capturing the reflected light L2 as an image and the image processing means (not shown) for processing the image captured by the reflection image detecting means 7 are provided. The inspection light irradiating means 1 also has a plate-shaped transparent member 9 having a predetermined length, a light source 13 for inputting light to the plate-shaped transparent member 9 from a cut end of the plate-shaped transparent member 9, and a plate-shaped transparent member 9. The reflecting surface member 15 is formed to be longer,
A reflection member 17 that reflects light on both the front and back surfaces of the plate-shaped transparent member 9.
And the plate-shaped transparent member 9 and the reflection surface member 15 are aligned at one end in the length direction and laminated on each other, and the above-mentioned light source 13 is located near one end of the plate-shaped transparent member 9. It is arranged.
【００１７】以下詳細に説明する。先ず、検査用光照射
手段３について説明すると、検査用光照射手段３は、ラ
イトガイドとしての板状透明部材（以下「透明アクリル
板」という）９が複数枚が積層されている。これらの各
透明アクリル板９は、それぞれの長さが相互に異なって
おり、その一端部（図１中の右側）が一直線上に揃えら
れると共に、最上部から最下部へ向かって透明アクリル
板９の長さが徐々に短くなっている。具体的には、本実
施形態では、最上部の透明アクリル板の長さが約１００
〔ｍｍ〕で、最下部の透明アクリル板の長さは約１０
〔ｍｍ〕である。そして全体で１０枚の透明アクリル板
９が積層されており、最上部から最下部に向かって１０
〔ｍｍ〕毎に短くなるように形成されている。従って、
図１に示すように、積層された透明アクリル板９の他端
部（図中左側）は階段状になっている。The details will be described below. First, the inspection light irradiation means 3 will be described. In the inspection light irradiation means 3, a plurality of plate-shaped transparent members (hereinafter referred to as “transparent acrylic plates”) 9 as light guides are laminated. These transparent acrylic plates 9 have different lengths from each other, and one end (the right side in FIG. 1) is aligned in a straight line, and the transparent acrylic plates 9 are arranged from the top to the bottom. The length of is gradually decreasing. Specifically, in this embodiment, the length of the uppermost transparent acrylic plate is about 100.
[Mm], the length of the bottom transparent acrylic plate is about 10
[Mm]. A total of 10 transparent acrylic plates 9 are laminated, and 10 from the top to the bottom.
It is formed so that it becomes shorter every [mm]. Therefore,
As shown in FIG. 1, the other end (left side in the figure) of the laminated transparent acrylic plates 9 has a stepped shape.
【００１８】また、各透明アクリル板９の厚みは、約２
〔ｍｍ〕のものを使用している。更に、透明アクリル板
９の幅（紙面と垂直方向）は、約２７０〔ｍｍ〕のもの
を用いている。但し、透明アクリル板９の各寸法につい
ては一例であり、これらに限定されるものではない。ま
た、透明アクリル板９の枚数についても、１０枚に限定
されるものではなく２枚でも良いし、１０枚を超える枚
数であってもよい。The thickness of each transparent acrylic plate 9 is about 2
The one of [mm] is used. Further, the width of the transparent acrylic plate 9 (perpendicular to the paper surface) is about 270 [mm]. However, each dimension of the transparent acrylic plate 9 is an example, and is not limited to these. Further, the number of transparent acrylic plates 9 is not limited to ten, and may be two or more than ten.
【００１９】透明アクリル板９の表裏両面には、反射部
材１７が被覆されている。より詳しくは透明アクリル板
９に反射部材１７としてのアルミ箔が蒸着されている。
以下アルミ箔について符号１７を用いて説明する。この
アルミ箔１７の蒸着は、後述する光源１３から透明アク
リル板９に入力された光が、透明アクリル板９の表裏両
面から放射されるのを防止すると共に、一旦、透明アク
リル板９の他端部から放射された光が、隣接積層されて
いる透明アクリル板のアルミ箔１７に確実に反射され
て、被検査物５側に効率よく反射されるようにするため
のものである。即ち、当該透明アクリル板９に蒸着され
たアルミ箔１７は、反射部材として機能すると共に、隣
接する透明アクリル板９の他端部から出射される光に対
しては、同時に反射面部材１５として機能する。Both the front and back surfaces of the transparent acrylic plate 9 are covered with a reflecting member 17. More specifically, an aluminum foil as the reflecting member 17 is vapor-deposited on the transparent acrylic plate 9.
The aluminum foil will be described below with reference numeral 17. The vapor deposition of the aluminum foil 17 prevents the light input to the transparent acrylic plate 9 from the light source 13 described later from being emitted from both the front and back surfaces of the transparent acrylic plate 9, and once the other end of the transparent acrylic plate 9 is This is for ensuring that the light radiated from the section is reliably reflected by the aluminum foil 17 of the transparent acrylic plate which is adjacently laminated and is efficiently reflected to the inspected object 5 side. That is, the aluminum foil 17 deposited on the transparent acrylic plate 9 functions as a reflecting member and at the same time functions as a reflecting surface member 15 with respect to light emitted from the other end of the adjacent transparent acrylic plate 9. To do.
【００２０】また、透明アクリル板９の一端部（右端）
近傍には、所定の光源１３が配設されている。この光源
１３は、いずれか一枚の透明アクリル板９の内部に向か
って光を入力する役割を有している。このため、光源１
３はランプシールド１９によって周囲が囲まれており、
所定の一箇所（図２における左側）にスリット２１が形
成され、このスリット２１を通して光が照射される。特
に、本実施形態では、透明アクリル板９の厚みが２〔ｍ
ｍ〕であることから、スリット２１の隙間は約１〔ｍ
ｍ〕程度に設定されている。これによって、相互に隣接
する二つの透明アクリル板９に同時に光が照射されるこ
とが有効に防止される。Further, one end (right end) of the transparent acrylic plate 9
A predetermined light source 13 is arranged in the vicinity. The light source 13 has a role of inputting light toward the inside of any one of the transparent acrylic plates 9. Therefore, the light source 1
3 is surrounded by a lamp shield 19,
A slit 21 is formed at a predetermined location (left side in FIG. 2), and light is emitted through this slit 21. In particular, in this embodiment, the thickness of the transparent acrylic plate 9 is 2 [m
m], the gap between the slits 21 is about 1 [m
m] is set. This effectively prevents two transparent acrylic plates 9 adjacent to each other from being simultaneously irradiated with light.
【００２１】また、光源１３として使用されるのは蛍光
灯であり、透明アクリル板９の幅（紙面垂直方向）を充
分カバーできる長さのものが用いられている。尚、蛍光
灯は直流点灯させる。ここで、光源１３を覆うランプシ
ールド１９のスリット２１の隙間の幅は、透明アクリル
板９の厚さに応じて種々設定することができるので、上
記した１〔ｍｍ〕に限定されるものではなく、１〔ｍ
ｍ〕以下であってもよいし、また、１〔ｍｍ〕以上２
〔ｍｍ〕未満であってもよい。A fluorescent lamp is used as the light source 13, and a fluorescent lamp having a length sufficient to cover the width of the transparent acrylic plate 9 (in the direction perpendicular to the paper surface) is used. The fluorescent lamp is turned on by direct current. Here, the width of the gap of the slit 21 of the lamp shield 19 that covers the light source 13 can be variously set according to the thickness of the transparent acrylic plate 9, and is not limited to the above-mentioned 1 [mm]. 1 [m
m] or less, or 1 [mm] or more and 2
It may be less than [mm].
【００２２】ここで図２は、光源１３のスリット２１
が、ある一枚の透明アクリル板９の切り口の近傍に位置
している場合に、透明アクリル板９の他端部から出射さ
れる光の状態を示した説明図である、この図２から判る
ように、透明アクリル板９に入力されて透明アクリル板
９の内部を透過し、透明アクリル板９の他端部から出た
光は様々な方向へ乱反射する。そして、このとき出射さ
れる光の光度は、透明アクリル板９の他端部近傍で高
く、他端部から離れるに従って小さくなる。このため、
説明の便宜のために図２に記載した光度分布曲線Ｙのよ
うになる。本発明の検査用光照射手段３を用いると、検
査用光の照射範囲（便宜上、最高光度の１／２の光度の
範囲）は通常の光源を使う場合と比較して狭くなるが、
光度の変化が大きい領域は逆に広くなっており、欠陥を
検出できる範囲も広がることとなる。FIG. 2 shows the slit 21 of the light source 13.
2 is an explanatory view showing a state of light emitted from the other end of the transparent acrylic plate 9 when it is located in the vicinity of the cut end of one transparent acrylic plate 9, which can be seen from FIG. Thus, the light input to the transparent acrylic plate 9 and transmitted through the transparent acrylic plate 9 and emitted from the other end of the transparent acrylic plate 9 is diffusely reflected in various directions. The luminous intensity of the light emitted at this time is high in the vicinity of the other end of the transparent acrylic plate 9 and becomes smaller as the distance from the other end increases. For this reason,
For convenience of explanation, the light intensity distribution curve Y is shown in FIG. When the inspection light irradiating means 3 of the present invention is used, the irradiation range of the inspection light (for convenience, the range of luminous intensity of 1/2 of the maximum luminous intensity) becomes narrower than the case of using an ordinary light source,
On the contrary, the region where the change of the luminous intensity is large is widened, and the range in which the defect can be detected is also widened.
【００２３】また、図１に示す光源１３及びランプシー
ルド１９は、各透明アクリル板９に対して移動できるよ
うになっている。より具体的には、透明アクリル板９の
積層方向に沿って移動できるように、所定の駆動モータ
を有する駆動機構２３に支持されている。また、駆動機
構２３は、ランプシールド１９のスリット２１を各透明
アクリル板９の厚さ方向の略中央部に停止させることが
できる。The light source 13 and the lamp shield 19 shown in FIG. 1 are movable with respect to each transparent acrylic plate 9. More specifically, the transparent acrylic plate 9 is supported by a drive mechanism 23 having a predetermined drive motor so that the transparent acrylic plate 9 can move in the stacking direction. Further, the drive mechanism 23 can stop the slit 21 of the lamp shield 19 at a substantially central portion in the thickness direction of each transparent acrylic plate 9.
【００２４】次に、透明アクリル板９の階段状の傾斜に
沿って配設されている拡散板２５について説明する。こ
の拡散板２５は、透明アクリル板９の他端部から出射さ
れる光と、反射面部材１５としてのアルミ箔によって反
射される光を、被検査物５に対して照射する場合に、光
度を滑らかにするためのものである。また、この拡散板
２５と各透明アクリル板９との相対的位置関係は変化し
ないようになっており、また拡散板２５の法線が被検査
物５の方向を向くように設定されている。Next, the diffusion plate 25 arranged along the stepwise inclination of the transparent acrylic plate 9 will be described. This diffuser plate 25 has a luminous intensity when the light emitted from the other end of the transparent acrylic plate 9 and the light reflected by the aluminum foil as the reflecting surface member 15 are applied to the inspection object 5. It is for smoothing. Further, the relative positional relationship between the diffuser plate 25 and each transparent acrylic plate 9 does not change, and the normal line of the diffuser plate 25 is set to face the inspection object 5.
【００２５】以上に説明した検査用光照射手段３は、実
際の検査行程においては所定位置に固定されるか、或い
は、いわゆるロボットアーム等に装着されて用いられ
る。例えば、被検査物５の方が移動してくるシステムの
場合には、透明アクリル板９や拡散板２５を所定位置に
固定し、被検査物５が所定範囲に入った場合に表面欠陥
検査をするようにすればよい。また、被検査物５の広い
範囲について表面欠陥の検査をする場合には、検査ライ
ンに配置されているロボットアーム先端に検査用光照射
手段３及びビデオカメラ２７を装着する。そして、この
ロボットアームを制御することによって検査用光照射手
段３及びビデオカメラ２７を被検査物に対して相対移動
させ、各所で欠陥検査を行うようにしてもよい。The inspection light irradiation means 3 described above is used by being fixed at a predetermined position in the actual inspection process, or by being attached to a so-called robot arm or the like. For example, in the case of a system in which the object to be inspected 5 moves, the transparent acrylic plate 9 or the diffusion plate 25 is fixed at a predetermined position, and when the object to be inspected 5 enters a predetermined range, a surface defect inspection is performed. You can do it. Further, when inspecting a surface defect in a wide range of the inspection object 5, the inspection light irradiation means 3 and the video camera 27 are attached to the tip of the robot arm arranged on the inspection line. Then, by controlling this robot arm, the inspection light irradiating means 3 and the video camera 27 may be moved relative to the object to be inspected, and defect inspection may be performed at various places.
【００２６】また、本実施形態の表面欠陥検査装置１で
は、図３に示すように、被検査物の表面の反射画像（反
射光Ｌ２）を取り込むのは、反射画像検出手段としての
所定のビデオカメラ（エリアセンサ）２７である。この
ビデオカメラ２７は常時被検査物５の表面を撮像してお
り、後述する電子計算機２９に反射画像Ｌ２のビデオ信
号を伝達している。従って、ビデオカメラ２７の位置
は、検査用光照射手段３による検査用光Ｌ１が、被検査
物５の表面で反射する方向の下流側となっている。尚、
図３では自動車の天井部分の表面欠陥検査を行う場合を
示している。Further, in the surface defect inspection apparatus 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 3, the reflected image (reflected light L2) of the surface of the object to be inspected is captured by a predetermined video as a reflected image detecting means. The camera (area sensor) 27. The video camera 27 constantly captures an image of the surface of the inspection object 5, and transmits the video signal of the reflection image L2 to the electronic computer 29 described later. Therefore, the position of the video camera 27 is on the downstream side in the direction in which the inspection light L1 from the inspection light irradiation means 3 is reflected by the surface of the inspection object 5. still,
FIG. 3 shows a case where a surface defect inspection of a ceiling portion of an automobile is performed.
【００２７】また、表面欠陥検査装置１は、上記したよ
うに電子計算機２９を備えている。より詳しくは、電子
計算機２９は、ビデオカメラ２７により取り込まれた反
射画像Ｌ２のビデオ信号をＡ／Ｄ変換する画像処理ボー
ド３５を有している。また、電子計算機２９内には画像
処理ボード３５でＡ／Ｄ変換された信号を格納する手段
としての画像メモリ３４を備えると共に、画像メモリ３
４に格納された信号を処理して欠陥を検出する欠陥判定
ソフトウェア３１を有している。The surface defect inspection apparatus 1 is equipped with the electronic calculator 29 as described above. More specifically, the electronic computer 29 has an image processing board 35 for A / D converting the video signal of the reflection image L2 captured by the video camera 27. In addition, the electronic computer 29 is provided with an image memory 34 as a means for storing the signals A / D converted by the image processing board 35, and the image memory 3
4 has a defect determination software 31 for processing the signal stored in 4 to detect a defect.
【００２８】また、電子計算機２９内には、取り込まれ
た反射画像Ｌ２の信号を処理して検査不能領域を検出す
るための検査不能領域検出ソフトウェア３２を備えてい
る。そして、電子計算機２９内には、検査不能領域検出
ソフトウェア３２によって検査不能領域が検出された場
合に、当該領域を検査可能領域とするために、上記した
検査用光照射手段３の光源１３を移動制御する光源移動
用コントローラ３６を備えている。さらに、電子計算機
２９内には、被検査物５の表面に欠陥が検出された場合
に、その検出結果を格納するためのメモリ３３を備え、
外部に接続されているモニタ３７に検査結果を表示でき
るようになっている。このモニタ３７は、同時に反射画
像Ｌ２も表示できるようになっている。Further, the electronic calculator 29 is provided with an uninspectable area detection software 32 for processing the signal of the reflected image L2 taken in and detecting the inspectable area. Then, in the electronic calculator 29, when the non-inspectable area is detected by the non-inspectable area detection software 32, the light source 13 of the inspection light irradiating means 3 is moved to make the area an inspectable area. A light source movement controller 36 for controlling is provided. Further, the electronic calculator 29 is provided with a memory 33 for storing the detection result when a defect is detected on the surface of the inspection object 5,
The inspection result can be displayed on the monitor 37 connected to the outside. The monitor 37 can display the reflection image L2 at the same time.
【００２９】次に、上記した検査用光照射手段によって
形成される光度分布を有する検査用光によって、被検査
物５の表面の欠陥等を検出する検出原理について説明す
る。先ず、図４に示すように、被検査物５の表面に全長
が２Ｗ，最大深さＤの凹欠陥（はじき）がある場合を仮
定して説明する。検査用光は図４における右斜め上方か
ら入射されている。そして、この時、各部の光度分布は
図中の光度分布曲線Ｙに示すとおりとする。また、反射
画像検出手段としてのビデオカメラ２７は、図中の左斜
め上方に設置されている。Next, the principle of detection for detecting defects and the like on the surface of the object 5 to be inspected by the inspection light having the luminous intensity distribution formed by the above-mentioned inspection light irradiation means will be described. First, as shown in FIG. 4, description will be made assuming that the surface of the inspection object 5 has a concave defect (repelling) with a total length of 2 W and a maximum depth D. The inspection light is incident from diagonally above and to the right in FIG. Then, at this time, the luminous intensity distribution of each part is as shown by the luminous intensity distribution curve Y in the figure. A video camera 27 as a reflection image detecting means is installed diagonally above and to the left in the figure.
【００３０】本来、被検査物５の表面に欠陥がない場合
には、図中に示す光度レベルが低い検査用光Ｌ１ａが被
検査物５に照射されてそのまま正反射され、当該領域に
ついての反射画像はＬ１ａの光度レベルに相当する明る
さの画像となる。しかしながら、被検査物５の表面に凹
欠陥がある場合には、この凹欠陥の傾斜面によって、光
度レベルの高い検査用光Ｌ１ｂが凹欠陥の傾斜面によっ
て反射され、これがビデオカメラ２７側に反射されて、
ビデオカメラ２７に反射画像として取り込まれることと
なる。このため、被検査物５の当該凹欠陥がある場所か
らの反射画像（反射光）Ｌ２は、その凹欠陥の周囲から
反射される光と比較して光度レベルが高くなる。この結
果、図５（Ａ）に示すように反射画像中に欠陥が顕著に
現れる。特に、光度レベルの変化が大きい部分（光度分
布曲線Ｙの傾きが大きい部分）では欠陥がより強調され
て現れる。従って、これを画像処理して欠陥の大きさや
位置を検査することができる。尚、図４（Ａ）は凹欠陥
（はじき）を示し、図４（Ｅ）は凸欠陥（ブツ）をそれ
ぞれ示す。Originally, when there is no defect on the surface of the object to be inspected 5, the inspection light L1a having a low luminous intensity level shown in the figure is irradiated to the object to be inspected 5 and directly specularly reflected. The image becomes an image having a brightness corresponding to the luminous intensity level of L1a. However, when there is a concave defect on the surface of the inspection object 5, the inclined surface of the concave defect causes the inspection light L1b having a high light intensity level to be reflected by the inclined surface of the concave defect, which is reflected to the video camera 27 side. Has been
The reflected image is captured by the video camera 27. For this reason, the reflection image (reflected light) L2 from the place where the concave defect of the inspection object 5 exists has a higher luminous intensity level than the light reflected from the periphery of the concave defect. As a result, as shown in FIG. 5 (A), a defect appears prominently in the reflection image. In particular, in a portion where the change in the luminous intensity level is large (a portion where the gradient of the luminous intensity distribution curve Y is large), the defect appears more emphasized. Therefore, the size and position of the defect can be inspected by image-processing this. Note that FIG. 4A shows a concave defect (repelling), and FIG. 4E shows a convex defect (bump).
【００３１】次に、取り込まれた反射画像Ｌ２を用い
て、実際に欠陥を検出するための画像処理について説明
すると、図５（Ａ）における反射画像から判るように、
反射画像における検査用光の照射範囲（明るい領域）の
長手方向の光度変化は極めて微小であることから、メデ
ィアンフィルタ（１×３１画素）により背景画像を作成
する。図５（Ｂ）は、反射画像にメディアンフィルタを
かけた後の、背景画像における欠陥が存在する位置（図
５（Ａ）のＰ−Ｐ線）の光度分布を示す線図である。こ
の図５（Ｂ）に示すように、欠陥のある場所で光度分布
に変化が現れている。即ち、右に行くに従って光度が低
下してゆく途中で、一旦急角度で光度が低下（暗くな
る）した後、再び光度が上昇している。Next, the image processing for actually detecting the defect using the captured reflection image L2 will be described. As can be seen from the reflection image in FIG. 5A,
Since the change in the luminous intensity in the longitudinal direction of the irradiation range (bright region) of the inspection light in the reflection image is extremely small, the background image is created by the median filter (1 × 31 pixels). FIG. 5B is a diagram showing the luminous intensity distribution at the position where there is a defect in the background image (line P-P in FIG. 5A) after applying the median filter to the reflection image. As shown in FIG. 5 (B), a change appears in the luminous intensity distribution at the defective place. That is, while the light intensity is decreasing toward the right, the light intensity once decreases (becomes dark) at a steep angle and then increases again.
【００３２】そして、この背景画像から得られた光度分
布の情報を元に、原反射画像（メディアンフィルタをか
ける前の画像）との差分処理を行う。差分処理を行った
後の欠陥の位置の光度分布は、図５（Ｃ）に示すように
なる。凹欠陥の近傍では、差分処理後の光度分布の符号
が入れ代わることから、正側と負側とでそれぞれ２値化
処理を行い（図５（Ｄ）参照）、検出された領域の近傍
で正負の組み合わせとなる領域を求めることにより、凹
欠陥のみを検出することができる。また、同様の手法に
より凸欠陥（ブツ）の検出もすることができた。以上が
光度分布を有する検査用光Ｌ１によって被検査物５の表
面の欠陥を検査する原理である。Then, based on the information of the luminous intensity distribution obtained from this background image, the difference processing with the original reflection image (the image before applying the median filter) is performed. The luminous intensity distribution at the position of the defect after the difference processing is as shown in FIG. In the vicinity of the concave defect, the signs of the luminous intensity distribution after the difference processing are interchanged, so the binarization processing is performed on the positive side and the negative side (see FIG. 5D), and the positive and negative values are detected near the detected area. Only the concave defect can be detected by obtaining a region that is a combination of In addition, it was possible to detect convex defects (spots) by the same method. The above is the principle of inspecting defects on the surface of the inspection object 5 with the inspection light L1 having the luminous intensity distribution.
【００３３】次に、反射画像Ｌ２中に検査不能領域が含
まれている場合の制御について説明する。ここで、検査
不能領域とは、反射画像検出手段としてのビデオカメラ
によって検出された画像の内、全く検査用光が照射され
ていない領域をいう。この検査不能領域は、被検査物５
の表面が曲面となっているような場合に、検査用光Ｌ１
の反射方向が変化してしまうために生じるものである。Next, the control when the inspection image region is included in the reflection image L2 will be described. Here, the non-inspectable region refers to a region of the image detected by the video camera as the reflection image detecting means, which is not irradiated with the inspection light at all. This non-inspectable area is the inspection object 5
The inspection light L1 when the surface of the
This is caused by the change in the reflection direction of.
【００３４】先ず、被検査物５の表面の反射画像（反射
光）Ｌ２をビデオカメラ２７によって撮像する。このと
き、図６（Ａ）に示すように、反射画像のモニタ画面の
ほぼ全体が検査用光によって照射されている場合には、
正常に欠陥の検査を行うことができる。従って、この場
合は通常の制御に従ってビデオカメラ２７からのビデオ
信号に基づいて所定の画像処理を行い、欠陥を検出す
る。First, the reflected image (reflected light) L2 of the surface of the inspection object 5 is picked up by the video camera 27. At this time, as shown in FIG. 6A, when almost the entire monitor screen of the reflection image is illuminated with the inspection light,
The defect can be inspected normally. Therefore, in this case, the predetermined image processing is performed based on the video signal from the video camera 27 according to the normal control to detect the defect.
【００３５】一方、図６（Ｂ）に示すように、被検査物
５の表面が曲面で構成され、ビデオカメラ２７に取り込
まれた反射画像の内、全く検査用光が照射されていない
領域が多く含まれている場合には、検査用光の照射位置
の補正を行う必要が生じる。On the other hand, as shown in FIG. 6 (B), the surface of the object 5 to be inspected is composed of a curved surface, and in the reflected image taken in by the video camera 27, the region not irradiated with the inspection light at all. If a large amount is included, it is necessary to correct the irradiation position of the inspection light.
【００３６】検査用光の照射位置の補正は、上記した光
源１３を透明アクリル板９に対して移動させることによ
って行われる。即ち、図１又は図２に示す光源１３を透
明アクリル板９の積層方向に沿って移動させる。透明ア
クリル板９はそれぞれ異なる長さで構成されているの
で、光源１３の位置が透明アクリル板９の一枚分の厚さ
だけずれた場合には、最も光度が高い位置が透明アクリ
ル板の長さの差分ずれることとなる。例えば、図２に示
すように、当初最も短い透明アクリル板９に光源１３の
光が入力されている場合に、照射位置を補正するには、
上記した光源移動用の駆動機構２３（図１参照）を作用
させる。これにより、光源１３を隣接する透明アクリル
板９の切り口近傍に移動させる。光源１３が移動した後
は、次に長い透明アクリル板９（図２における２枚目の
透明アクリル板）の他端部から光が出射され、この他端
部の近傍領域が最も光度の高い位置となる。尚、図２に
おいて点線で示したものが、光源が移動したあとの状態
である。The irradiation position of the inspection light is corrected by moving the light source 13 with respect to the transparent acrylic plate 9. That is, the light source 13 shown in FIG. 1 or 2 is moved along the stacking direction of the transparent acrylic plate 9. Since the transparent acrylic plates 9 have different lengths, when the position of the light source 13 is displaced by the thickness of one transparent acrylic plate 9, the position with the highest luminous intensity is the length of the transparent acrylic plate 9. The difference will be deviated. For example, as shown in FIG. 2, when the light from the light source 13 is initially input to the shortest transparent acrylic plate 9, to correct the irradiation position,
The drive mechanism 23 (see FIG. 1) for moving the light source is operated. As a result, the light source 13 is moved to the vicinity of the cut of the adjacent transparent acrylic plate 9. After the light source 13 has moved, light is emitted from the other end of the next longest transparent acrylic plate 9 (the second transparent acrylic plate in FIG. 2), and a region near this other end has the highest luminous intensity. Becomes The dotted line in FIG. 2 shows the state after the light source has moved.
【００３７】本発明では、１０枚の透明アクリル板９を
相互に階段状に積層している。このため、光源の移動に
伴い検査用光Ｌ１の光度分布の曲線位置が上記したよう
に変化する。当該位置補正後の検査用光Ｌ１が拡散板２
５を透過して被検査物５に照射された場合には、光源１
３の移動前と比較してその検査用光Ｌ１の照射位置も僅
かに移動する。特に、本実施形態では、透明アクリル板
の厚さが約２〔ｍｍ〕程度に設定されているので、光源
１３の位置を適切に調整することにより、容易に反射画
像の全体領域を検査可能領域とすることができる。以上
説明した表面欠陥検査及び光源の移動制御についてのフ
ローチャートを図７に示した。In the present invention, ten transparent acrylic plates 9 are laminated in a staircase pattern. Therefore, the curve position of the luminous intensity distribution of the inspection light L1 changes as described above as the light source moves. The inspection light L1 after the position correction is applied to the diffusion plate 2
When the object to be inspected 5 is transmitted through the light source 5, the light source 1
The irradiation position of the inspection light L1 also slightly moves compared to before the movement of No. 3. In particular, in this embodiment, since the thickness of the transparent acrylic plate is set to about 2 mm, the entire area of the reflection image can be easily inspected by appropriately adjusting the position of the light source 13. Can be FIG. 7 shows a flowchart of the above-described surface defect inspection and light source movement control.
【００３８】[0038]
【発明の効果】本発明は以上のように構成され、特に請
求項１記載の発明によれば、板状透明部材と所定の反射
面部材及び光源を用いるので、表面欠陥検査に好適な光
度分布を有する検査用光を容易に形成することができ
る、という優れた効果を生じる。The present invention is configured as described above, and particularly according to the invention of claim 1, since the plate-shaped transparent member, the predetermined reflecting surface member and the light source are used, the luminous intensity distribution suitable for the surface defect inspection is obtained. It is possible to easily form the inspection light having the following effect.
【００３９】また、請求項２記載の発明によれば、板状
透明部材を複数枚設け、この板状透明部材の積層方向に
沿って光源を移動させることとした。このため、仮に反
射画像検出手段によって取り込まれた画像内に検査用光
が全く照射されていない検査不能領域が多く含まれてい
る場合でも、光源の位置を適切に補正することにより、
検査用光照射手段や反射画像検出手段自体を移動させる
こと無く、検査用光の照射位置を補正できる、という優
れた効果を生じる。According to the second aspect of the invention, a plurality of plate-shaped transparent members are provided and the light source is moved along the stacking direction of the plate-shaped transparent members. Therefore, even if the image captured by the reflection image detection unit includes many uninspectable regions that are not irradiated with the inspection light, by appropriately correcting the position of the light source,
The excellent effect that the irradiation position of the inspection light can be corrected without moving the inspection light irradiation unit or the reflected image detection unit itself is produced.
【００４０】更に、請求項３記載の発明によれば、板状
透明部材と被検査物の相互間に所定の拡散板を配設した
ので、検査用光の光度分布が滑らかとなり、結果とし
て、被検査物の表面の検査用光が照射されている領域と
照射されていない領域の中間領域の光度が自然に変化す
る。このため、被検査物の表面に欠陥が存在する場合に
は、この欠陥部がより強調された画像を得ることがで
き、欠陥検査が容易となる、という優れた効果を生じ
る。Further, according to the third aspect of the invention, since the predetermined diffusion plate is arranged between the plate-shaped transparent member and the object to be inspected, the luminous intensity distribution of the inspection light becomes smooth, and as a result, The luminosity of the intermediate area between the area irradiated with the inspection light and the area not irradiated with the inspection light on the surface of the inspection object changes naturally. Therefore, when there is a defect on the surface of the object to be inspected, it is possible to obtain an image in which the defect portion is more emphasized, which facilitates the defect inspection, which is an excellent effect.
【図１】本発明の一実施形態を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１に開示した板状透明部材と光源を示す拡大
側面図である。FIG. 2 is an enlarged side view showing a plate-shaped transparent member and a light source disclosed in FIG.
【図３】本発明の表面欠陥検査装置を自動車の塗装欠陥
の検査に用いる場合の概略説明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory diagram when the surface defect inspection apparatus of the present invention is used for inspecting a coating defect of an automobile.
【図４】表面欠陥を検査するための原理を説明する説明
図である。FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating a principle for inspecting a surface defect.
【図５】表面欠陥検査の画像処理を説明する図であり、
図５（Ａ）は反射画像検出手段により取り込まれた反射
画像を示し、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の欠陥部の光度分
布を示し、図５（Ｃ）は図５（Ｂ）を差分処理した後の
光度分布を示し、図５（Ｄ）は図５（Ｃ）を二値化した
結果を示す図である。また、図５（Ｅ）は反射画像検出
手段により取り込まれた他の反射画像を示し、図５
（Ｆ）は図５（Ｅ）の欠陥部の光度分布を示し、図５
（Ｇ）は図５（Ｆ）を差分処理した後の光度分布を示
し、図５（Ｈ）は図５（Ｆ）を二値化した結果を示す図
である。FIG. 5 is a diagram illustrating image processing of surface defect inspection,
5A shows the reflection image captured by the reflection image detecting means, FIG. 5B shows the luminous intensity distribution of the defect portion of FIG. 5A, and FIG. 5C shows FIG. 5B. 5D shows the luminous intensity distribution after the difference processing, and FIG. 5D is a diagram showing the result of binarizing FIG. 5C. 5E shows another reflection image captured by the reflection image detecting means, and FIG.
5F shows the luminous intensity distribution of the defect portion of FIG.
(G) shows the luminous intensity distribution after the difference processing of FIG. 5 (F), and FIG. 5 (H) is a diagram showing the result of binarizing FIG. 5 (F).
【図６】被検査物の表面の検査用光の照射状態及び反射
画像検出手段による反射画像を示す説明図であり、図６
（Ａ）は平面状の被検査物を検査している状態を示し、
図６（Ｂ）は曲面状の被検査物を検査している状態を示
し、図６（Ｃ）は光源の位置を補正した後の被検査物を
検査している状態を示す図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing an irradiation state of inspection light on the surface of the inspection object and a reflection image by the reflection image detecting means.
(A) shows the state of inspecting a flat object,
FIG. 6B shows a state in which a curved inspection object is inspected, and FIG. 6C shows a state in which the inspection object after the position of the light source is corrected is inspected.
【図７】表面欠陥の検査及び光源の移動制御を示すフロ
ーチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing inspection of surface defects and movement control of a light source.
１ 表面欠陥検査装置 ３ 検査用光照射手段 ５ 被検査物 ７ 反射画像検出手段 ９ 板状透明部材（透明アクリル板） １３ 光源 １５ 反射面部材 １７ 反射部材 ２５ 拡散板 Ｌ１ 検査用光 Ｌ２ 反射画像（反射光） 1 Surface defect inspection equipment 3 Inspection light irradiation means 5 Inspected 7 Reflection image detection means 9 Plate-shaped transparent member (transparent acrylic plate) 13 Light source 15 Reflective surface member 17 Reflective member 25 diffuser L1 inspection light L2 reflection image (reflected light)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 明 東京都調布市小島町１−１−１ (72)発明者 千葉 直樹 東京都八王子市弐分方町316−３ (56)参考文献 特開 平４−204314（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−100903（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−76503（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−222896（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−273066（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/88 ─────────────────────────────────────────────────── (72) Inventor Akira Ishii 1-1-1 Kojima-cho, Chofu-shi, Tokyo (72) Inventor Naoki Chiba 316-3 Nibunkata-cho, Hachioji-shi, Tokyo (56) Reference Japanese Patent Laid-Open No. 4 -204314 (JP, A) JP 62-100903 (JP, A) JP 4-76503 (JP, A) JP 8-222896 (JP, A) Actual development Sho 62-273066 (JP, U) ) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01B 11/00-11/30 G01N 21/88
Claims (3)
る検査用光を照射する検査用光照射手段と、前記被検査
物の表面から反射される反射光を画像として取り込む反
射画像検出手段と、この反射画像検出手段によって取り
込まれた画像を処理する画像処理手段とを備えた表面欠
陥検査装置において、 前記検査用光照射手段を、所定の長さを有する板状透明
部材と、この板状透明部材に対しその一端部の切り口か
ら光を入力する光源と、前記板状透明部材より長い所定
の反射面部材とにより構成し、 前記板状透明部材の表裏両面に光を反射する反射部材を
被覆すると共に、当該板状透明部材と前記反射面部材を
その長さ方向の一端部を揃えて相互に積層し、前記光源
を前記板状透明部材の一端部近傍に配置したことを特徴
とする表面欠陥検査装置。1. An inspection light irradiating means for irradiating the surface of an object to be inspected with an inspection light having a predetermined luminous intensity distribution, and a reflected image detecting means for taking in the reflected light reflected from the surface of the object to be inspected as an image. And a surface defect inspection apparatus including image processing means for processing an image captured by the reflection image detection means, wherein the inspection light irradiation means is a plate-shaped transparent member having a predetermined length, and the plate. A light-reflecting member for inputting light from one end of the plate-shaped transparent member and a predetermined reflecting surface member longer than the plate-shaped transparent member, and a light-reflecting member for reflecting light on both front and back surfaces of the plate-shaped transparent member. And the plate-shaped transparent member and the reflective surface member are laminated on each other with their lengthwise ends aligned, and the light source is arranged near one end of the plate-shaped transparent member. Surface defect inspection Location.
る検査用光を照射する検査用光照射手段と、前記被検査
物の表面から反射される反射光を画像として取り込む反
射画像検出手段と、この反射画像検出手段によって取り
込まれた画像を処理する画像処理手段とを備えた表面欠
陥検査装置において、 前記検査用光照射手段を、相互に長さの異なる複数の板
状透明部材と、この各板状透明部材に対しその一端部の
切り口から光を入力する光源とにより構成し、 前記板状透明部材の表裏両面に光を反射する反射部材を
被覆すると共に、これら各板状透明部材をその長さ方向
の一端部を揃えて相互に階段状に積層し、 前記光源を前記各透明部材の一端部近傍に配置すると共
に、この光源を前記透明部材の積層方向に沿って移動可
能に構成したことを特徴とする表面欠陥検査装置。2. An inspection light irradiating means for irradiating the surface of the object to be inspected with an inspection light having a predetermined luminous intensity distribution, and a reflected image detecting means for taking in the reflected light reflected from the surface of the object to be inspected as an image. And a surface defect inspection apparatus including image processing means for processing an image captured by the reflection image detection means, wherein the inspection light irradiation means is a plurality of plate-shaped transparent members having mutually different lengths, Each of the plate-shaped transparent members is configured by a light source that inputs light from a cut end of the plate-shaped transparent member, and both front and back surfaces of the plate-shaped transparent member are coated with a reflecting member that reflects light, and each of the plate-shaped transparent members is formed. Are stacked in a stepwise manner with their one ends in the length direction aligned, the light sources are arranged in the vicinity of one ends of the respective transparent members, and the light sources are movable along the stacking direction of the transparent members. Configured Surface defect inspection device characterized by.
互間に、前記検査用光を拡散透過させる拡散板を配設し
たことを特徴とする請求項１又は２記載の表面欠陥検査
装置。3. The surface defect inspection according to claim 1, wherein a diffusion plate for diffusing and transmitting the inspection light is arranged between the inspection light irradiation means and the inspection object. apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09011897A JP3405118B2 (en) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | Surface defect inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09011897A JP3405118B2 (en) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | Surface defect inspection equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH10267637A JPH10267637A (en) | 1998-10-09 |
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ID=13989607
Family Applications (1)
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