JP3400821B2 - データ自動監視システム - Google Patents

データ自動監視システム

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    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
    • G05B23/0224—Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
    • G05B23/0227—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions
    • G05B23/0232—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions based on qualitative trend analysis, e.g. system evolution
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    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、装置の異状発生や製品
の歩留り低下が発生することを予測し警告を示す製造管
理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、工場がＦＡ、ＣＩＭ化されるよう
になり、管理項目の測定データがコンピュータで管理さ
れるようになっている。
【０００３】以下図を参照しながら、従来の監視システ
ムの一例について説明する。図８は従来の装置管理を示
すシステムブロック図である。ｗ１は各管理データの入
力部であり、ｗ２は入力データを測定し、管理基準から
外れた値を測定した場合は警戒信号を出力する制御部で
あり、ｗ３は警戒信号を受信すると警告を表示する監視
盤である。図８では、装置の各管理項目である交流電
圧、交流電流、温度に対し各々の管理データが管理基準
から外れていないかどうかを各管理項目別に調べてい
る。たとえば、「オートメーション」第３６巻 第９号
の２７ページ参照。
【０００４】また、半導体チップの品質管理では、管理
項目の測定データからその管理項目の管理を行うだけで
なく、管理項目の測定データに対して多変量解析を行い
相関関係の解っている管理項目に関してのみ、１種類の
管理データからもう一方の管理状況を推測している。た
とえば、装置のダストデータが管理基準外に近づくと半
導体の歩留まりが低下していくことから、歩留まりの管
理データからでなく装置ダストの管理データから歩留ま
りの管理データの動きを推測して歩留まりを管理する方
法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の管理では、装置を管理する上での管理項目間の相関を
利用することが出来なかったり、製品の管理項目の中で
相関関係が解明されていない管理項目では、管理項目の
管理データをその管理項目自身の管理にしか利用するこ
とが出来ない。そのため、１つの製品管理に対して製造
装置の管理項目や製品の管理項目と多くの管理項目が存
在する場合、非常に管理が困難であるという問題点を有
していた。
【０００６】本発明は上記問題点に鑑み、管理項目間の
相関関係が解明されていなくても、複数の管理項目のデ
ータを用いて、ある管理項目データの動きを推測し、装
置や製品の異常事態の発生を予測し、警告を発するデー
タ自動監視システムを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のデータ自動監視システムは、測定器から管理
する項目の数値データを取り込み、二次記憶装置に格納
されているデータ記録ファイルに記録するデータ検出手
段と、二次記憶装置に格納されている管理基準データフ
ァイルから読み込んだ管理基準データと取り込んだ数値
データを比較し、管理基準外の数値データが存在すると
管理基準外のデータが存在することを示す信号を出力す
る管理基準比較手段と、データ記録ファイルのデータを
グラフィックデータに変換するデータ変換手段と、管理
基準比較手段から管理基準外のデータが存在することを
示す信号を受信し二次記憶装置に格納されている警戒デ
ータ履歴ファイルにグラフィックデータを記録する機能
と、グラフィックデータと警戒データ履歴ファイルのデ
ータを比較し類似点を検査した後、警戒信号を出力しグ
ラフィックデータを警戒データ履歴ファイルに記録する
機能をもつ警戒判断手段とを備えたものである。
【０００８】
【作用】本発明は上記した構成によって、データ検出手
段が測定器から管理する項目の数値データを取り込み、
二次記憶装置に格納されているデータ記録ファイルに記
録し、管理基準比較手段が取り込んだ数値データと二次
記憶装置に格納されている管理基準データファイルのデ
ータと比較し、その数値データが管理基準から外れてい
た場合は警戒判断手段に管理基準外の数値データが存在
することを示す信号を送信する。さらに、データ変換手
段が一定期間におけるデータ記録ファイルの数値データ
をグラフィックデータに変換し、このグラフィックデー
タを警戒判断手段に送る。そして、警戒判断手段が管理
基準比較手段から管理基準外の数値データが存在するこ
とを示す信号を受信した場合は、二次記憶装置に格納さ
れている警戒データ履歴ファイルにグラフィックデータ
を記録し、そうでない場合は、グラフィックデータと警
戒データ履歴ファイルのデータとの類似点を検査し、類
似点の割合が予め設定された割合よりも多いとき警戒信
号を出力し、かつグラフィックデータを警戒データ履歴
ファイルに記録する。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。図１は本発明の一実施例のデータ自動
監視システムの機能ブロック図である。図１において、
制御部Ａにはデータ検出手段１０と管理基準比較手段２
０とデータ変換手段３０と警戒判断手段４０が設けられ
ている。制御部Ａと接続されている二次記憶装置Ｂに
は、データ記録ファイルａと管理基準データファイルｂ
と警戒データ履歴ファイルｅが格納されている。Ｅは制
御部Ａからの信号を受け取り表示するモニターである。
１つの測定器から１つの管理する項目のデータが測定さ
れる。
【００１０】データ検出手段１０は、測定器Ｃと測定器
Ｄから管理する項目の数値データを取り込み、そのデー
タをデータ記録ファイルａに記録する。データ記録ファ
イルａの構成はたとえば図２に示されている。図２にお
いて、ａ１は日付フィールド、ａ２は測定器Ｃのデータ
フィールド、ａ３は測定器Ｄのデータフィールドであ
る。日付フィールドａ１には測定した年月日と時間が記
入されている。
【００１１】管理基準比較手段２０は、管理基準データ
ファイルｂから管理基準のデータを読み取り、測定器Ｃ
と測定器Ｄからの数値データが管理基準の値から外れて
いないかを検査する。たとえば、測定器Ｃの数値データ
が管理基準値から外れている場合は、測定器Ｃの数値デ
ータが管理基準から外れていることを示す信号を警戒判
断手段４０に送る。管理基準データファイルｂの構成は
たとえば図３に示されている。図３において、管理項目
フィールドｂ１には管理する項目を示す名前が格納さ
れ、管理基準最小値フィールドｂ２には管理基準の最小
値が格納され、管理基準最大値フィールドｂ３には管理
基準の最大値が格納される。たとえば、管理基準最小値
は管理項目の規格値より１０％増の値であり、管理基準
最大値は管理項目の規格値より１０％減の値である。こ
うすることにより、管理する項目の数値データが規格外
の値になる前に検出できる。
【００１２】データ変換手段３０は、データ記録ファイ
ルａに記録されている１週間のデータを読み取り、２進
数のデータを用いて構成されたグラフィックデータに変
換する。測定器Ｄの数値データをグラフィックデータに
変換する手段を図４に示す。図４において、グラフ表示
レイヤーｄ１には測定器Ｄの数値データを用いて横軸を
時間軸としたトレンドグラフが表示されており、グラフ
表示レイヤーｄ１と同じ大きさの２進数表示レイヤーｄ
０は細かいマス目ｈを持っていて、各マス目ごとに０ま
たは１の値を持っている。データ値０はグラフ表示レイ
ヤーｄ１上でグラフの線が描かれていない部分、データ
値１はグラフ表示レイヤーｄ１上でグラフの線が描かれ
ている部分を示している。この２進数表示レイヤーｄ０
のデータ値はデータ変換手段３０から出力されたもので
ある。
【００１３】また、測定器Ｃと測定器Ｄの管理データを
グラフィックデータに変換する場合、図５に示されるよ
うに、測定器Ｃのグラフ表示レイヤーｃ１と測定器Ｄの
グラフ表示レイヤーｄ１に対して、両方のグラフ表示レ
イヤーの大きさは同じであり、かつ横軸である測定器Ｃ
の時間軸ｆ１と測定器Ｄの時間軸ｆ２の範囲も両方とも
同じであるが、縦軸である測定器Ｃの測定値の軸ｆ３と
測定器Ｄの測定値の軸ｆ４の範囲は両方とも同じである
必要はない。しかし、各管理項目ごとの縦軸の範囲は常
に一定である。
【００１４】警戒判断手段４０では、図６に示される判
断レイヤーｇ０を用いて、データ変換手段３０で変換さ
れたグラフィックデータが警戒するデータであるかどう
かを判断する。図６において、検査レイヤーｇ１は測定
器Ｃの２進数表示レイヤーｃ０と測定器Ｄの２進数表示
レイヤーｄ０を用いて作成された２進数表示レイヤーで
ある。警戒レイヤーｇ２は警戒データ履歴ファイルｅか
ら取り出した２進数表示レイヤーである。判断レイヤー
ｇ０は検査レイヤーｇ１と警戒レイヤーｇ２を用いて作
成された２進数表示レイヤーである。ｈ１は２進数表示
レイヤーｃ０のマス目の１つであり、ｈ２は２進数表示
レイヤーｄ０において、２進数表示レイヤーｃ０に対す
るｈ１の位置と同じ位置にあるマス目である。ｈ３は検
査レイヤーｇ１において、２進数表示レイヤーｃ０にお
けるｈ１の位置と同じ位置のマス目であり、このｈ３も
検査レイヤーｇ１のマス目の１つである。ｈ４は警戒レ
イヤーｇ２において、検査レイヤーｇ１におけるｈ３の
位置と同じ位置にあるマス目であり、ｈ５も判断レイヤ
ーｇ０において、検査レイヤーｇ１におけるｈ３の位置
と同じ位置のマス目である。
【００１５】マス目ｈ３に格納されているデータ値１は
マス目ｈ１に格納されているデータ値１とマス目ｈ２に
格納されているデータ値０を論理和の計算で求めた値で
ある。すなわち、検査レイヤーｇ１の全マス目に格納さ
れているデータは同様の論理和の計算で求められてい
る。マス目ｈ５に格納されているデータ値０はマス目ｈ
３に格納されているデータ値１とマス目ｈ４に格納され
ているデータ値０を論理積の計算で求めた値である。す
なわち、判断レイヤーｇ０の全マス目に格納されている
データは同様の論理積の計算で求められている。
【００１６】警戒するかどうかの判断は、管理基準比較
手段２０から管理基準外の数値データをもつ管理項目が
存在することを示す信号が送信されていれば、警戒する
と判断し、検査レイヤーのデータを警戒データファイル
ｅに記録する。その信号が送信されていなければ、判断
レイヤーｇ０を用いて警戒するかどうかを判断する。す
なわち、判断レイヤーｇ０のマス目の数に対してデータ
値１の個数の割合が予め設定された割合以上ならば警戒
すると判断する。判断レイヤーｇ０を用いたこの動作
は、警戒データが無くなるまで繰り返される。そして、
警戒すると判断した場合は、図１のモニターＥへ警戒信
号が出力されて警戒のメッセージがモニターＥに表示さ
れ、検査レイヤーｇ１は警戒データとして図７に示され
る警戒データ履歴ファイルｅに記録される。
【００１７】図７において、警戒データ履歴ファイルｅ
は２進数表示データ領域ｅ０と警戒目録領域ｅ１の２構
造になっており、２進数表示データ領域ｅ０は全警戒デ
ータ領域に対してユニークな警戒データ領域番号が格納
される警戒データ番号フィールドｅ２とその領域におけ
る２進数表示データが格納される２進数表示データフィ
ールドｅ３で構成され、警戒目録領域ｅ１は同じく警戒
データ番号フィールドｅ２と図３に示す耐電圧、耐電流
などのような管理項目を警戒項目として格納する警戒項
目フィールドｅ４で構成されている。
【００１８】このようにすることによって、１度警戒す
べき状況になったときの全管理項目の数値データの動き
が記録、蓄積されていくので、ある管理項目の数値デー
タの動きから他の管理項目の数値データの動きを予測し
て管理することが出来る。
【００１９】なお、この実施例では２つの管理項目を用
いたが、３つ以上の管理項目でも同様の効果を得ること
ができる。また、管理データは数値データだけでなく数
値データの変動値も管理し、管理基準データファイルに
変動値の管理基準データを、警戒データ履歴ファイルに
変動値の警戒データを加えることによりさらに高精度な
監視システムとなる。また、データ変換手段において１
週間の期間のデータをレイヤーに表示したが、この期間
は１週間以外、例えば１日、一カ月でも同様の効果を得
ることができる。２進数表示レイヤーを作成する場合に
おいて、データの変動の幅をグラフの線幅にしたトレン
ドグラフでの２進数表示レイヤーを作成しても同様の効
果を得ることができる。さらに、警戒判断手段におい
て、警戒すると判断した場合に各測定器からの数値デー
タも保存しておくことにより異常が発生する場合の原因
究明の支援となる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、測定器か
ら管理する項目の数値データを取り込み、二次記憶装置
のデータ記録ファイルに記録するデータ検出手段と、二
次記憶装置の管理基準データファイルから読み込んだ管
理基準データと取り込んだ数値データを比較し、管理基
準外の数値データが存在すると管理基準外のデータが存
在することを示す信号を出力する管理基準比較手段と、
データ記録ファイルのデータをグラフィックデータに変
換するデータ変換手段と、管理基準比較手段から管理基
準外のデータが存在することを示す信号を受信した場合
はグラフィックデータを二次記憶装置の警戒データ履歴
ファイルに記録し、そうでない場合は、グラフィックデ
ータと二次記憶装置の警戒データ履歴ファイルのデータ
を比較して、警戒すると判断した場合に警戒信号を出力
し、グラフィックデータを警戒データ履歴ファイルに記
録する警戒判断手段を設けることにより、管理項目間の
相関関係が解明されていなくても、複数の管理項目のデ
ータを用いて、ある管理項目データの動きを推測して装
置や製品の異常事態の発生を予測し警告を発することが
出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のデータ自動監視システムの
機能ブロック図
【図２】同実施例のデータ自動監視システムにおけるデ
ータ記録ファイルの構成図
【図３】同実施例のデータ自動監視システムにおける管
理基準データファイルの構成図
【図４】同実施例のデータ自動監視システムにおいて数
値データの２進数表示データへの変換を説明する図
【図５】同実施例のデータ自動監視システムにおけるレ
イヤー図
【図６】同実施例のデータ自動監視システムにおける警
戒判断手段で使用する判断レイヤーを作成するための流
れ図
【図７】同実施例の自動監視システムにおける警戒デー
タ履歴ファイルの構成図
【図８】従来例の監視システムのシステムブロック図
【符号の説明】
１０ データ検出手段 ２０ 管理基準比較手段 ３０ データ変換手段 ４０ 警戒判断手段 Ａ 制御部 Ｂ 二次記憶装置 Ｃ 測定器１ Ｄ 測定器２ Ｅ モニター ａ データ記録ファイル ａ１ 日付フィールド ａ２、ａ３ データフィールド ｂ 管理基準データファイル ｂ１ 管理項目フィールド ｂ２ 管理基準の最小値フィールド ｂ３ 管理基準の最大値フィールド ｃ１ 測定器Ｃのグラフ表示レイヤー ｄ１ 測定器Ｄのグラフ表示レイヤー ｃ０ 測定器Ｃの２進数表示レイヤー ｄ０ 測定器Ｄの２進数表示レイヤー ｅ 警戒データ履歴ファイル ｅ０ ２進数表示データ領域 ｅ１ 警戒目録領域 ｅ２ 警戒データ番号フィールド ｅ３ ２進数表示データフィールド ｇ０ 判断レイヤー ｇ１ 検査レイヤー ｇ２ 警戒レイヤー ｈ、ｈ１〜ｈ５ マス目
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01D 21/00 G05B 23/02 G08B 23/00 G06F 9/44

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 測定器から管理する項目の数値データを
    取り込み、二次記憶装置のデータ記録ファイルに記録す
    るデータ検出手段と、二次記憶装置の管理基準データフ
    ァイルから取り込んだ管理基準データと前記数値データ
    を比較して、管理基準外の前記数値データが存在する場
    合、前記管理基準外の数値データが存在することを示す
    信号を出力する管理基準比較手段と、前記データ記録フ
    ァイルのデータをグラフィックデータに変換するデータ
    変換手段と、前記管理基準比較手段から管理基準外のデ
    ータが存在することを示す前記信号を受信する機能と、
    かつ前記グラフィックデータと二次記憶装置にある警戒
    データ履歴ファイルのデータを比較する機能をもつ警戒
    判断手段を備えたことを特徴とするデータ自動監視シス
    テム。
  2. 【請求項２】 警戒判断手段は、一定期間のデータを表
    すグラフィックデータと警戒データ履歴ファイルのデー
    タの類似点を検査して警戒信号を出力し、かつ前記グラ
    フィックデータを前記警戒データ履歴ファイルに記録す
    る機能を備えたことを特徴とする請求項１記載のデータ
    自動監視システム。
  3. 【請求項３】 警戒判断手段は、グラフィックデータと
    警戒データ履歴ファイルのデータとの類似点の割合が設
    定された割合よりも多い場合に警戒すると判断する機能
    を備えたことを特徴とする請求項２記載のデータ自動監
    視システム。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6097887A (en) * 1997-10-27 2000-08-01 Kla-Tencor Corporation Software system and method for graphically building customized recipe flowcharts
ITTO980593A1 (it) * 1998-07-06 2000-01-06 Olivetti Lexicon S P A Dispositivo elettronico per il controllo di elementi in movimento di apparecchiature per il trattamento di testi e/o immagini
JP2000028393A (ja) * 1998-07-08 2000-01-28 Canon Inc 測定ユニット、管理ユニット、駆動ユニット、駆動システム、及び測定装置
US7136465B2 (en) * 2000-08-31 2006-11-14 Lamson Holdings Llc Voice activated, voice responsive product locator system, including product location method utilizing product bar code and product-situated, location-identifying bar code
US6859765B2 (en) * 2002-12-13 2005-02-22 Lam Research Corporation Method and apparatus for slope to threshold conversion for process state monitoring and endpoint detection
US7146243B2 (en) 2003-10-28 2006-12-05 Lamson Holdings Llc Product location method utilizing product bar code and aisle-situated, aisle-identifying bar code
CA2469975C (en) * 2004-06-04 2013-09-17 Falconbridge Limited System and method for furnace monitoring and control
JP2006139581A (ja) * 2004-11-12 2006-06-01 Fujitsu Ltd ディスク制御装置およびディスク制御プログラム
JP2006277298A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム
US20070208510A1 (en) * 2006-03-02 2007-09-06 Deere & Company, A Delaware Corporation Method of identifying and localizing drainage tile problems
JP4687992B2 (ja) * 2006-11-21 2011-05-25 横河電機株式会社 プラント運転支援装置
US8145490B2 (en) * 2007-10-24 2012-03-27 Nuance Communications, Inc. Predicting a resultant attribute of a text file before it has been converted into an audio file
US8914134B2 (en) * 2011-11-09 2014-12-16 General Electric Company Systems and methods for predicting transient operational characteristics of a power plant
CN103794006B (zh) * 2012-10-31 2016-12-21 国际商业机器公司 用于处理多个传感器的时序数据的方法和装置
CN106335760A (zh) * 2016-08-30 2017-01-18 中国神华能源股份有限公司 卸料小车格雷母线数据的检测方法和***

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0734162B2 (ja) * 1985-02-06 1995-04-12 株式会社日立製作所 類推制御方法
JPS61218323A (ja) * 1985-03-20 1986-09-27 株式会社東芝 事故判定方法
US4847749A (en) * 1986-06-13 1989-07-11 International Business Machines Corporation Job interrupt at predetermined boundary for enhanced recovery
EP0360206A3 (en) * 1988-09-21 1990-12-19 Hitachi, Ltd. Self-tuning controller apparatus and process control system
US5233545A (en) * 1989-09-19 1993-08-03 Hewlett-Packard Company Time interval triggering and hardware histogram generation
WO1991008535A1 (en) * 1989-11-27 1991-06-13 Olin Corporation Method and apparatus for providing backup process control
CA2031765C (en) * 1989-12-08 1996-02-20 Masahide Nomura Method and system for performing control conforming with characteristics of controlled system
US5142612A (en) * 1990-08-03 1992-08-25 E. I. Du Pont De Nemours & Co. (Inc.) Computer neural network supervisory process control system and method
JP3061289B2 (ja) * 1990-11-30 2000-07-10 株式会社日立製作所 プロセスの予測制御方法および予測制御システム
JPH04295905A (ja) * 1991-03-25 1992-10-20 Toshiba Corp プラント監視制御装置
JPH0812090B2 (ja) * 1991-04-25 1996-02-07 山武ハネウエル株式会社 故障診断方法
JP3040853B2 (ja) * 1991-08-23 2000-05-15 株式会社日立製作所 プラント監視システム

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Publication number Publication date
JPH06347300A (ja) 1994-12-20
US5621668A (en) 1997-04-15

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