JP3400821B2 - データ自動監視システム - Google Patents
データ自動監視システムInfo
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- JP3400821B2 JP3400821B2 JP13709293A JP13709293A JP3400821B2 JP 3400821 B2 JP3400821 B2 JP 3400821B2 JP 13709293 A JP13709293 A JP 13709293A JP 13709293 A JP13709293 A JP 13709293A JP 3400821 B2 JP3400821 B2 JP 3400821B2
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- warning
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- monitoring system
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
- G05B23/0224—Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
- G05B23/0227—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions
- G05B23/0232—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions based on qualitative trend analysis, e.g. system evolution
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S706/00—Data processing: artificial intelligence
- Y10S706/902—Application using ai with detail of the ai system
- Y10S706/903—Control
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Alarm Systems (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、装置の異状発生や製品
の歩留り低下が発生することを予測し警告を示す製造管
理システムに関するものである。
の歩留り低下が発生することを予測し警告を示す製造管
理システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、工場がFA、CIM化されるよう
になり、管理項目の測定データがコンピュータで管理さ
れるようになっている。
になり、管理項目の測定データがコンピュータで管理さ
れるようになっている。
【0003】以下図を参照しながら、従来の監視システ
ムの一例について説明する。図8は従来の装置管理を示
すシステムブロック図である。w1は各管理データの入
力部であり、w2は入力データを測定し、管理基準から
外れた値を測定した場合は警戒信号を出力する制御部で
あり、w3は警戒信号を受信すると警告を表示する監視
盤である。図8では、装置の各管理項目である交流電
圧、交流電流、温度に対し各々の管理データが管理基準
から外れていないかどうかを各管理項目別に調べてい
る。たとえば、「オートメーション」第36巻 第9号
の27ページ参照。
ムの一例について説明する。図8は従来の装置管理を示
すシステムブロック図である。w1は各管理データの入
力部であり、w2は入力データを測定し、管理基準から
外れた値を測定した場合は警戒信号を出力する制御部で
あり、w3は警戒信号を受信すると警告を表示する監視
盤である。図8では、装置の各管理項目である交流電
圧、交流電流、温度に対し各々の管理データが管理基準
から外れていないかどうかを各管理項目別に調べてい
る。たとえば、「オートメーション」第36巻 第9号
の27ページ参照。
【0004】また、半導体チップの品質管理では、管理
項目の測定データからその管理項目の管理を行うだけで
なく、管理項目の測定データに対して多変量解析を行い
相関関係の解っている管理項目に関してのみ、1種類の
管理データからもう一方の管理状況を推測している。た
とえば、装置のダストデータが管理基準外に近づくと半
導体の歩留まりが低下していくことから、歩留まりの管
理データからでなく装置ダストの管理データから歩留ま
りの管理データの動きを推測して歩留まりを管理する方
法である。
項目の測定データからその管理項目の管理を行うだけで
なく、管理項目の測定データに対して多変量解析を行い
相関関係の解っている管理項目に関してのみ、1種類の
管理データからもう一方の管理状況を推測している。た
とえば、装置のダストデータが管理基準外に近づくと半
導体の歩留まりが低下していくことから、歩留まりの管
理データからでなく装置ダストの管理データから歩留ま
りの管理データの動きを推測して歩留まりを管理する方
法である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の管理では、装置を管理する上での管理項目間の相関を
利用することが出来なかったり、製品の管理項目の中で
相関関係が解明されていない管理項目では、管理項目の
管理データをその管理項目自身の管理にしか利用するこ
とが出来ない。そのため、1つの製品管理に対して製造
装置の管理項目や製品の管理項目と多くの管理項目が存
在する場合、非常に管理が困難であるという問題点を有
していた。
の管理では、装置を管理する上での管理項目間の相関を
利用することが出来なかったり、製品の管理項目の中で
相関関係が解明されていない管理項目では、管理項目の
管理データをその管理項目自身の管理にしか利用するこ
とが出来ない。そのため、1つの製品管理に対して製造
装置の管理項目や製品の管理項目と多くの管理項目が存
在する場合、非常に管理が困難であるという問題点を有
していた。
【0006】本発明は上記問題点に鑑み、管理項目間の
相関関係が解明されていなくても、複数の管理項目のデ
ータを用いて、ある管理項目データの動きを推測し、装
置や製品の異常事態の発生を予測し、警告を発するデー
タ自動監視システムを提供するものである。
相関関係が解明されていなくても、複数の管理項目のデ
ータを用いて、ある管理項目データの動きを推測し、装
置や製品の異常事態の発生を予測し、警告を発するデー
タ自動監視システムを提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のデータ自動監視システムは、測定器から管理
する項目の数値データを取り込み、二次記憶装置に格納
されているデータ記録ファイルに記録するデータ検出手
段と、二次記憶装置に格納されている管理基準データフ
ァイルから読み込んだ管理基準データと取り込んだ数値
データを比較し、管理基準外の数値データが存在すると
管理基準外のデータが存在することを示す信号を出力す
る管理基準比較手段と、データ記録ファイルのデータを
グラフィックデータに変換するデータ変換手段と、管理
基準比較手段から管理基準外のデータが存在することを
示す信号を受信し二次記憶装置に格納されている警戒デ
ータ履歴ファイルにグラフィックデータを記録する機能
と、グラフィックデータと警戒データ履歴ファイルのデ
ータを比較し類似点を検査した後、警戒信号を出力しグ
ラフィックデータを警戒データ履歴ファイルに記録する
機能をもつ警戒判断手段とを備えたものである。
に本発明のデータ自動監視システムは、測定器から管理
する項目の数値データを取り込み、二次記憶装置に格納
されているデータ記録ファイルに記録するデータ検出手
段と、二次記憶装置に格納されている管理基準データフ
ァイルから読み込んだ管理基準データと取り込んだ数値
データを比較し、管理基準外の数値データが存在すると
管理基準外のデータが存在することを示す信号を出力す
る管理基準比較手段と、データ記録ファイルのデータを
グラフィックデータに変換するデータ変換手段と、管理
基準比較手段から管理基準外のデータが存在することを
示す信号を受信し二次記憶装置に格納されている警戒デ
ータ履歴ファイルにグラフィックデータを記録する機能
と、グラフィックデータと警戒データ履歴ファイルのデ
ータを比較し類似点を検査した後、警戒信号を出力しグ
ラフィックデータを警戒データ履歴ファイルに記録する
機能をもつ警戒判断手段とを備えたものである。
【0008】
【作用】本発明は上記した構成によって、データ検出手
段が測定器から管理する項目の数値データを取り込み、
二次記憶装置に格納されているデータ記録ファイルに記
録し、管理基準比較手段が取り込んだ数値データと二次
記憶装置に格納されている管理基準データファイルのデ
ータと比較し、その数値データが管理基準から外れてい
た場合は警戒判断手段に管理基準外の数値データが存在
することを示す信号を送信する。さらに、データ変換手
段が一定期間におけるデータ記録ファイルの数値データ
をグラフィックデータに変換し、このグラフィックデー
タを警戒判断手段に送る。そして、警戒判断手段が管理
基準比較手段から管理基準外の数値データが存在するこ
とを示す信号を受信した場合は、二次記憶装置に格納さ
れている警戒データ履歴ファイルにグラフィックデータ
を記録し、そうでない場合は、グラフィックデータと警
戒データ履歴ファイルのデータとの類似点を検査し、類
似点の割合が予め設定された割合よりも多いとき警戒信
号を出力し、かつグラフィックデータを警戒データ履歴
ファイルに記録する。
段が測定器から管理する項目の数値データを取り込み、
二次記憶装置に格納されているデータ記録ファイルに記
録し、管理基準比較手段が取り込んだ数値データと二次
記憶装置に格納されている管理基準データファイルのデ
ータと比較し、その数値データが管理基準から外れてい
た場合は警戒判断手段に管理基準外の数値データが存在
することを示す信号を送信する。さらに、データ変換手
段が一定期間におけるデータ記録ファイルの数値データ
をグラフィックデータに変換し、このグラフィックデー
タを警戒判断手段に送る。そして、警戒判断手段が管理
基準比較手段から管理基準外の数値データが存在するこ
とを示す信号を受信した場合は、二次記憶装置に格納さ
れている警戒データ履歴ファイルにグラフィックデータ
を記録し、そうでない場合は、グラフィックデータと警
戒データ履歴ファイルのデータとの類似点を検査し、類
似点の割合が予め設定された割合よりも多いとき警戒信
号を出力し、かつグラフィックデータを警戒データ履歴
ファイルに記録する。
【0009】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。図1は本発明の一実施例のデータ自動
監視システムの機能ブロック図である。図1において、
制御部Aにはデータ検出手段10と管理基準比較手段2
0とデータ変換手段30と警戒判断手段40が設けられ
ている。制御部Aと接続されている二次記憶装置Bに
は、データ記録ファイルaと管理基準データファイルb
と警戒データ履歴ファイルeが格納されている。Eは制
御部Aからの信号を受け取り表示するモニターである。
1つの測定器から1つの管理する項目のデータが測定さ
れる。
ながら説明する。図1は本発明の一実施例のデータ自動
監視システムの機能ブロック図である。図1において、
制御部Aにはデータ検出手段10と管理基準比較手段2
0とデータ変換手段30と警戒判断手段40が設けられ
ている。制御部Aと接続されている二次記憶装置Bに
は、データ記録ファイルaと管理基準データファイルb
と警戒データ履歴ファイルeが格納されている。Eは制
御部Aからの信号を受け取り表示するモニターである。
1つの測定器から1つの管理する項目のデータが測定さ
れる。
【0010】データ検出手段10は、測定器Cと測定器
Dから管理する項目の数値データを取り込み、そのデー
タをデータ記録ファイルaに記録する。データ記録ファ
イルaの構成はたとえば図2に示されている。図2にお
いて、a1は日付フィールド、a2は測定器Cのデータ
フィールド、a3は測定器Dのデータフィールドであ
る。日付フィールドa1には測定した年月日と時間が記
入されている。
Dから管理する項目の数値データを取り込み、そのデー
タをデータ記録ファイルaに記録する。データ記録ファ
イルaの構成はたとえば図2に示されている。図2にお
いて、a1は日付フィールド、a2は測定器Cのデータ
フィールド、a3は測定器Dのデータフィールドであ
る。日付フィールドa1には測定した年月日と時間が記
入されている。
【0011】管理基準比較手段20は、管理基準データ
ファイルbから管理基準のデータを読み取り、測定器C
と測定器Dからの数値データが管理基準の値から外れて
いないかを検査する。たとえば、測定器Cの数値データ
が管理基準値から外れている場合は、測定器Cの数値デ
ータが管理基準から外れていることを示す信号を警戒判
断手段40に送る。管理基準データファイルbの構成は
たとえば図3に示されている。図3において、管理項目
フィールドb1には管理する項目を示す名前が格納さ
れ、管理基準最小値フィールドb2には管理基準の最小
値が格納され、管理基準最大値フィールドb3には管理
基準の最大値が格納される。たとえば、管理基準最小値
は管理項目の規格値より10%増の値であり、管理基準
最大値は管理項目の規格値より10%減の値である。こ
うすることにより、管理する項目の数値データが規格外
の値になる前に検出できる。
ファイルbから管理基準のデータを読み取り、測定器C
と測定器Dからの数値データが管理基準の値から外れて
いないかを検査する。たとえば、測定器Cの数値データ
が管理基準値から外れている場合は、測定器Cの数値デ
ータが管理基準から外れていることを示す信号を警戒判
断手段40に送る。管理基準データファイルbの構成は
たとえば図3に示されている。図3において、管理項目
フィールドb1には管理する項目を示す名前が格納さ
れ、管理基準最小値フィールドb2には管理基準の最小
値が格納され、管理基準最大値フィールドb3には管理
基準の最大値が格納される。たとえば、管理基準最小値
は管理項目の規格値より10%増の値であり、管理基準
最大値は管理項目の規格値より10%減の値である。こ
うすることにより、管理する項目の数値データが規格外
の値になる前に検出できる。
【0012】データ変換手段30は、データ記録ファイ
ルaに記録されている1週間のデータを読み取り、2進
数のデータを用いて構成されたグラフィックデータに変
換する。測定器Dの数値データをグラフィックデータに
変換する手段を図4に示す。図4において、グラフ表示
レイヤーd1には測定器Dの数値データを用いて横軸を
時間軸としたトレンドグラフが表示されており、グラフ
表示レイヤーd1と同じ大きさの2進数表示レイヤーd
0は細かいマス目hを持っていて、各マス目ごとに0ま
たは1の値を持っている。データ値0はグラフ表示レイ
ヤーd1上でグラフの線が描かれていない部分、データ
値1はグラフ表示レイヤーd1上でグラフの線が描かれ
ている部分を示している。この2進数表示レイヤーd0
のデータ値はデータ変換手段30から出力されたもので
ある。
ルaに記録されている1週間のデータを読み取り、2進
数のデータを用いて構成されたグラフィックデータに変
換する。測定器Dの数値データをグラフィックデータに
変換する手段を図4に示す。図4において、グラフ表示
レイヤーd1には測定器Dの数値データを用いて横軸を
時間軸としたトレンドグラフが表示されており、グラフ
表示レイヤーd1と同じ大きさの2進数表示レイヤーd
0は細かいマス目hを持っていて、各マス目ごとに0ま
たは1の値を持っている。データ値0はグラフ表示レイ
ヤーd1上でグラフの線が描かれていない部分、データ
値1はグラフ表示レイヤーd1上でグラフの線が描かれ
ている部分を示している。この2進数表示レイヤーd0
のデータ値はデータ変換手段30から出力されたもので
ある。
【0013】また、測定器Cと測定器Dの管理データを
グラフィックデータに変換する場合、図5に示されるよ
うに、測定器Cのグラフ表示レイヤーc1と測定器Dの
グラフ表示レイヤーd1に対して、両方のグラフ表示レ
イヤーの大きさは同じであり、かつ横軸である測定器C
の時間軸f1と測定器Dの時間軸f2の範囲も両方とも
同じであるが、縦軸である測定器Cの測定値の軸f3と
測定器Dの測定値の軸f4の範囲は両方とも同じである
必要はない。しかし、各管理項目ごとの縦軸の範囲は常
に一定である。
グラフィックデータに変換する場合、図5に示されるよ
うに、測定器Cのグラフ表示レイヤーc1と測定器Dの
グラフ表示レイヤーd1に対して、両方のグラフ表示レ
イヤーの大きさは同じであり、かつ横軸である測定器C
の時間軸f1と測定器Dの時間軸f2の範囲も両方とも
同じであるが、縦軸である測定器Cの測定値の軸f3と
測定器Dの測定値の軸f4の範囲は両方とも同じである
必要はない。しかし、各管理項目ごとの縦軸の範囲は常
に一定である。
【0014】警戒判断手段40では、図6に示される判
断レイヤーg0を用いて、データ変換手段30で変換さ
れたグラフィックデータが警戒するデータであるかどう
かを判断する。図6において、検査レイヤーg1は測定
器Cの2進数表示レイヤーc0と測定器Dの2進数表示
レイヤーd0を用いて作成された2進数表示レイヤーで
ある。警戒レイヤーg2は警戒データ履歴ファイルeか
ら取り出した2進数表示レイヤーである。判断レイヤー
g0は検査レイヤーg1と警戒レイヤーg2を用いて作
成された2進数表示レイヤーである。h1は2進数表示
レイヤーc0のマス目の1つであり、h2は2進数表示
レイヤーd0において、2進数表示レイヤーc0に対す
るh1の位置と同じ位置にあるマス目である。h3は検
査レイヤーg1において、2進数表示レイヤーc0にお
けるh1の位置と同じ位置のマス目であり、このh3も
検査レイヤーg1のマス目の1つである。h4は警戒レ
イヤーg2において、検査レイヤーg1におけるh3の
位置と同じ位置にあるマス目であり、h5も判断レイヤ
ーg0において、検査レイヤーg1におけるh3の位置
と同じ位置のマス目である。
断レイヤーg0を用いて、データ変換手段30で変換さ
れたグラフィックデータが警戒するデータであるかどう
かを判断する。図6において、検査レイヤーg1は測定
器Cの2進数表示レイヤーc0と測定器Dの2進数表示
レイヤーd0を用いて作成された2進数表示レイヤーで
ある。警戒レイヤーg2は警戒データ履歴ファイルeか
ら取り出した2進数表示レイヤーである。判断レイヤー
g0は検査レイヤーg1と警戒レイヤーg2を用いて作
成された2進数表示レイヤーである。h1は2進数表示
レイヤーc0のマス目の1つであり、h2は2進数表示
レイヤーd0において、2進数表示レイヤーc0に対す
るh1の位置と同じ位置にあるマス目である。h3は検
査レイヤーg1において、2進数表示レイヤーc0にお
けるh1の位置と同じ位置のマス目であり、このh3も
検査レイヤーg1のマス目の1つである。h4は警戒レ
イヤーg2において、検査レイヤーg1におけるh3の
位置と同じ位置にあるマス目であり、h5も判断レイヤ
ーg0において、検査レイヤーg1におけるh3の位置
と同じ位置のマス目である。
【0015】マス目h3に格納されているデータ値1は
マス目h1に格納されているデータ値1とマス目h2に
格納されているデータ値0を論理和の計算で求めた値で
ある。すなわち、検査レイヤーg1の全マス目に格納さ
れているデータは同様の論理和の計算で求められてい
る。マス目h5に格納されているデータ値0はマス目h
3に格納されているデータ値1とマス目h4に格納され
ているデータ値0を論理積の計算で求めた値である。す
なわち、判断レイヤーg0の全マス目に格納されている
データは同様の論理積の計算で求められている。
マス目h1に格納されているデータ値1とマス目h2に
格納されているデータ値0を論理和の計算で求めた値で
ある。すなわち、検査レイヤーg1の全マス目に格納さ
れているデータは同様の論理和の計算で求められてい
る。マス目h5に格納されているデータ値0はマス目h
3に格納されているデータ値1とマス目h4に格納され
ているデータ値0を論理積の計算で求めた値である。す
なわち、判断レイヤーg0の全マス目に格納されている
データは同様の論理積の計算で求められている。
【0016】警戒するかどうかの判断は、管理基準比較
手段20から管理基準外の数値データをもつ管理項目が
存在することを示す信号が送信されていれば、警戒する
と判断し、検査レイヤーのデータを警戒データファイル
eに記録する。その信号が送信されていなければ、判断
レイヤーg0を用いて警戒するかどうかを判断する。す
なわち、判断レイヤーg0のマス目の数に対してデータ
値1の個数の割合が予め設定された割合以上ならば警戒
すると判断する。判断レイヤーg0を用いたこの動作
は、警戒データが無くなるまで繰り返される。そして、
警戒すると判断した場合は、図1のモニターEへ警戒信
号が出力されて警戒のメッセージがモニターEに表示さ
れ、検査レイヤーg1は警戒データとして図7に示され
る警戒データ履歴ファイルeに記録される。
手段20から管理基準外の数値データをもつ管理項目が
存在することを示す信号が送信されていれば、警戒する
と判断し、検査レイヤーのデータを警戒データファイル
eに記録する。その信号が送信されていなければ、判断
レイヤーg0を用いて警戒するかどうかを判断する。す
なわち、判断レイヤーg0のマス目の数に対してデータ
値1の個数の割合が予め設定された割合以上ならば警戒
すると判断する。判断レイヤーg0を用いたこの動作
は、警戒データが無くなるまで繰り返される。そして、
警戒すると判断した場合は、図1のモニターEへ警戒信
号が出力されて警戒のメッセージがモニターEに表示さ
れ、検査レイヤーg1は警戒データとして図7に示され
る警戒データ履歴ファイルeに記録される。
【0017】図7において、警戒データ履歴ファイルe
は2進数表示データ領域e0と警戒目録領域e1の2構
造になっており、2進数表示データ領域e0は全警戒デ
ータ領域に対してユニークな警戒データ領域番号が格納
される警戒データ番号フィールドe2とその領域におけ
る2進数表示データが格納される2進数表示データフィ
ールドe3で構成され、警戒目録領域e1は同じく警戒
データ番号フィールドe2と図3に示す耐電圧、耐電流
などのような管理項目を警戒項目として格納する警戒項
目フィールドe4で構成されている。
は2進数表示データ領域e0と警戒目録領域e1の2構
造になっており、2進数表示データ領域e0は全警戒デ
ータ領域に対してユニークな警戒データ領域番号が格納
される警戒データ番号フィールドe2とその領域におけ
る2進数表示データが格納される2進数表示データフィ
ールドe3で構成され、警戒目録領域e1は同じく警戒
データ番号フィールドe2と図3に示す耐電圧、耐電流
などのような管理項目を警戒項目として格納する警戒項
目フィールドe4で構成されている。
【0018】このようにすることによって、1度警戒す
べき状況になったときの全管理項目の数値データの動き
が記録、蓄積されていくので、ある管理項目の数値デー
タの動きから他の管理項目の数値データの動きを予測し
て管理することが出来る。
べき状況になったときの全管理項目の数値データの動き
が記録、蓄積されていくので、ある管理項目の数値デー
タの動きから他の管理項目の数値データの動きを予測し
て管理することが出来る。
【0019】なお、この実施例では2つの管理項目を用
いたが、3つ以上の管理項目でも同様の効果を得ること
ができる。また、管理データは数値データだけでなく数
値データの変動値も管理し、管理基準データファイルに
変動値の管理基準データを、警戒データ履歴ファイルに
変動値の警戒データを加えることによりさらに高精度な
監視システムとなる。また、データ変換手段において1
週間の期間のデータをレイヤーに表示したが、この期間
は1週間以外、例えば1日、一カ月でも同様の効果を得
ることができる。2進数表示レイヤーを作成する場合に
おいて、データの変動の幅をグラフの線幅にしたトレン
ドグラフでの2進数表示レイヤーを作成しても同様の効
果を得ることができる。さらに、警戒判断手段におい
て、警戒すると判断した場合に各測定器からの数値デー
タも保存しておくことにより異常が発生する場合の原因
究明の支援となる。
いたが、3つ以上の管理項目でも同様の効果を得ること
ができる。また、管理データは数値データだけでなく数
値データの変動値も管理し、管理基準データファイルに
変動値の管理基準データを、警戒データ履歴ファイルに
変動値の警戒データを加えることによりさらに高精度な
監視システムとなる。また、データ変換手段において1
週間の期間のデータをレイヤーに表示したが、この期間
は1週間以外、例えば1日、一カ月でも同様の効果を得
ることができる。2進数表示レイヤーを作成する場合に
おいて、データの変動の幅をグラフの線幅にしたトレン
ドグラフでの2進数表示レイヤーを作成しても同様の効
果を得ることができる。さらに、警戒判断手段におい
て、警戒すると判断した場合に各測定器からの数値デー
タも保存しておくことにより異常が発生する場合の原因
究明の支援となる。
【0020】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、測定器か
ら管理する項目の数値データを取り込み、二次記憶装置
のデータ記録ファイルに記録するデータ検出手段と、二
次記憶装置の管理基準データファイルから読み込んだ管
理基準データと取り込んだ数値データを比較し、管理基
準外の数値データが存在すると管理基準外のデータが存
在することを示す信号を出力する管理基準比較手段と、
データ記録ファイルのデータをグラフィックデータに変
換するデータ変換手段と、管理基準比較手段から管理基
準外のデータが存在することを示す信号を受信した場合
はグラフィックデータを二次記憶装置の警戒データ履歴
ファイルに記録し、そうでない場合は、グラフィックデ
ータと二次記憶装置の警戒データ履歴ファイルのデータ
を比較して、警戒すると判断した場合に警戒信号を出力
し、グラフィックデータを警戒データ履歴ファイルに記
録する警戒判断手段を設けることにより、管理項目間の
相関関係が解明されていなくても、複数の管理項目のデ
ータを用いて、ある管理項目データの動きを推測して装
置や製品の異常事態の発生を予測し警告を発することが
出来る。
ら管理する項目の数値データを取り込み、二次記憶装置
のデータ記録ファイルに記録するデータ検出手段と、二
次記憶装置の管理基準データファイルから読み込んだ管
理基準データと取り込んだ数値データを比較し、管理基
準外の数値データが存在すると管理基準外のデータが存
在することを示す信号を出力する管理基準比較手段と、
データ記録ファイルのデータをグラフィックデータに変
換するデータ変換手段と、管理基準比較手段から管理基
準外のデータが存在することを示す信号を受信した場合
はグラフィックデータを二次記憶装置の警戒データ履歴
ファイルに記録し、そうでない場合は、グラフィックデ
ータと二次記憶装置の警戒データ履歴ファイルのデータ
を比較して、警戒すると判断した場合に警戒信号を出力
し、グラフィックデータを警戒データ履歴ファイルに記
録する警戒判断手段を設けることにより、管理項目間の
相関関係が解明されていなくても、複数の管理項目のデ
ータを用いて、ある管理項目データの動きを推測して装
置や製品の異常事態の発生を予測し警告を発することが
出来る。
【図1】本発明の一実施例のデータ自動監視システムの
機能ブロック図
機能ブロック図
【図2】同実施例のデータ自動監視システムにおけるデ
ータ記録ファイルの構成図
ータ記録ファイルの構成図
【図3】同実施例のデータ自動監視システムにおける管
理基準データファイルの構成図
理基準データファイルの構成図
【図4】同実施例のデータ自動監視システムにおいて数
値データの2進数表示データへの変換を説明する図
値データの2進数表示データへの変換を説明する図
【図5】同実施例のデータ自動監視システムにおけるレ
イヤー図
イヤー図
【図6】同実施例のデータ自動監視システムにおける警
戒判断手段で使用する判断レイヤーを作成するための流
れ図
戒判断手段で使用する判断レイヤーを作成するための流
れ図
【図7】同実施例の自動監視システムにおける警戒デー
タ履歴ファイルの構成図
タ履歴ファイルの構成図
【図8】従来例の監視システムのシステムブロック図
10 データ検出手段
20 管理基準比較手段
30 データ変換手段
40 警戒判断手段
A 制御部
B 二次記憶装置
C 測定器1
D 測定器2
E モニター
a データ記録ファイル
a1 日付フィールド
a2、a3 データフィールド
b 管理基準データファイル
b1 管理項目フィールド
b2 管理基準の最小値フィールド
b3 管理基準の最大値フィールド
c1 測定器Cのグラフ表示レイヤー
d1 測定器Dのグラフ表示レイヤー
c0 測定器Cの2進数表示レイヤー
d0 測定器Dの2進数表示レイヤー
e 警戒データ履歴ファイル
e0 2進数表示データ領域
e1 警戒目録領域
e2 警戒データ番号フィールド
e3 2進数表示データフィールド
g0 判断レイヤー
g1 検査レイヤー
g2 警戒レイヤー
h、h1〜h5 マス目
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01D 21/00
G05B 23/02
G08B 23/00
G06F 9/44
Claims (3)
- 【請求項1】 測定器から管理する項目の数値データを
取り込み、二次記憶装置のデータ記録ファイルに記録す
るデータ検出手段と、二次記憶装置の管理基準データフ
ァイルから取り込んだ管理基準データと前記数値データ
を比較して、管理基準外の前記数値データが存在する場
合、前記管理基準外の数値データが存在することを示す
信号を出力する管理基準比較手段と、前記データ記録フ
ァイルのデータをグラフィックデータに変換するデータ
変換手段と、前記管理基準比較手段から管理基準外のデ
ータが存在することを示す前記信号を受信する機能と、
かつ前記グラフィックデータと二次記憶装置にある警戒
データ履歴ファイルのデータを比較する機能をもつ警戒
判断手段を備えたことを特徴とするデータ自動監視シス
テム。 - 【請求項2】 警戒判断手段は、一定期間のデータを表
すグラフィックデータと警戒データ履歴ファイルのデー
タの類似点を検査して警戒信号を出力し、かつ前記グラ
フィックデータを前記警戒データ履歴ファイルに記録す
る機能を備えたことを特徴とする請求項1記載のデータ
自動監視システム。 - 【請求項3】 警戒判断手段は、グラフィックデータと
警戒データ履歴ファイルのデータとの類似点の割合が設
定された割合よりも多い場合に警戒すると判断する機能
を備えたことを特徴とする請求項2記載のデータ自動監
視システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13709293A JP3400821B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | データ自動監視システム |
US08/255,485 US5621668A (en) | 1993-06-08 | 1994-06-08 | Prediction control method and a prediction control device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13709293A JP3400821B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | データ自動監視システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06347300A JPH06347300A (ja) | 1994-12-20 |
JP3400821B2 true JP3400821B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=15190697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13709293A Expired - Fee Related JP3400821B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | データ自動監視システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5621668A (ja) |
JP (1) | JP3400821B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6097887A (en) * | 1997-10-27 | 2000-08-01 | Kla-Tencor Corporation | Software system and method for graphically building customized recipe flowcharts |
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1993
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-
1994
- 1994-06-08 US US08/255,485 patent/US5621668A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06347300A (ja) | 1994-12-20 |
US5621668A (en) | 1997-04-15 |
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