JP3398244B2 - 非接触型測長器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の形状や寸
法、あるいは平面度や真直度等を測定ために使用する非
接触型の測長器に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、被測定物の形状や寸法、あるいは
平面度や真直度等の測定に用いられる非接触型測長器
（以下、測長器と略称する。）には図７や図８に示すよ
うなものがあった。 【０００３】例えば、図８に示す測長器３０はシリンダ
型構造をしたもので、ピストン３１の外壁面に設けられ
たＯリング等のシーリング部材３３によりシリンダ３４
を２つの加圧室に分け、下部加圧室３７をピストン３１
より突設するロッド３２の先端に装着した噴射ノズル３
５の内孔３５ａとチューブ３９を介して連通させてあ
り、別に設けた噴射ノズル３５の外孔３５ｂに空気を供
給することにより噴射ノズル３５の先端より被測定物５
０に向かって噴射するようになっている。また、ロッド
３２の後端には電気マイクロメータ３６の触針部３６ａ
がロッド３２の端面と接触するようにシリンダ３４に固
定してあり、ピストン３１の移動変位量を検出するよう
にしたものであった。 【０００４】そして、この測長器３０により測定を行う
には、まず、シリンダ３４の上部加圧室３８に基準圧と
なる圧力を供給するとともに、噴射ノズル３５の外孔３
５ｂに空気を供給して噴射ノズル３５より空気を被測定
物５０に噴射すると、その背圧が噴射ノズル３５の内孔
３５ａからチューブ３９を介して下部加圧室３７に取り
込まれるため、下部加圧室３７内の背圧と上部加圧室３
８の基準圧とが釣り合う位置でピストン３１が停止する
ことになる。この時、噴射ノズル３５は被測定物５０と
一定距離を保った状態で静止するため、この時の電気マ
イクロメータ３６の値を基準値として検出しておき、測
長器３０を左右に移動させると被測定物５０の表面形状
に沿って背圧が増加・減少するため、この背圧の変化に
伴ってピストン３１が上下動し、そのピストン３１の移
動変位量を電気マイクロメータ３６により検出すること
で被測定物５０の形状や寸法、あるいは真直度や平面度
を非接触の状態で測定できるようになっていた。 【０００５】また、図７に示す測長器４０はピストン４
１をシリンダ４４内で静圧支持したアクチュエータと、
上記ピストン４１より突設したロッド４２の先端に設け
られたエアマイクロ式ノズル４５、および差圧計４６と
その差圧計４６からの電気信号によりピストン４１を移
動させる駆動装置４９とから構成されていた（実開平４
−４３２１０号公報参照）。 【０００６】この測長器４０は２段絞りのエアマイクロ
式ノズル４５（以下、ノズルと略称する。）の上段室４
５ｂに供給した空気をオリフィス４５ｃを介して下段室
４５ａに供給してノズル４５の先端より被測定物５０に
噴射するようになっており、被測定物５０からの背圧を
下段室４５ａに取り込んで、差圧計４６を使って基準圧
との差圧を検出し、その差圧を電気信号に変換するよう
になっている。そして、該電気信号は駆動装置４９を構
成するムービングコイル４９ａ（以下、コイルと略称す
る。）に印加されることから、電磁力によりコイル４９
ａと一体をなすノズル４５は被測定物５０と常に一定距
離に保たれた状態で移動するとともに、コイル４９ａに
流れた電流をモニターすることによりノズル４５の変位
量、つまり被測定物５０の表面状態を測定するようにな
っていた。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところが、図８に示す
ような測長器３０では、ピストン３１の外壁面に設けた
シーリング部材３３がシリンダ３４と圧接しているため
にピストン３１の始動性が悪く、移動時には常時摺動抵
抗を生じているため、ピストン３１の追従性が非常に悪
かった。また、摺動抵抗により発生する摩擦熱によって
シリンダ３４内の温度が上昇し、作動媒体である空気を
膨張させてしまうことから測定値にバラツキを生じてし
まい高精度の測長器は難しいものであった。しかも、シ
ーリング部材３３はゴム等の弾性体で形成されているた
めに摩耗が激しく、また経年変化によっても大きく特性
が劣化するために短期間で交換しなければならないとい
った課題もあった。 【０００８】一方、図７に示す測長器４０では、被測定
物５０からの背圧が非常に微弱な圧力であるため、現在
の差圧計４６の精度では基準圧との差圧を検出できない
不感帯を生じる場合があり、被測定物５０の表面にある
微少な凹凸を検知することができないといった恐れがあ
った。 【０００９】また、差圧計４６により検出された差圧は
電気信号に変換して、コイル４９ａに印加されるが、コ
イル４９ａ自体の電気抵抗によってコイル４９ａが発熱
し、熱膨張によって変形してしまうため、磁石４９ｂと
コイル４９ａとの間の磁束密度が変化し、コイル４９ａ
に印加する電気信号とピストン４１の移動量との直線性
が得られないことから測定値にバラツキを生じる恐れも
あった。しかも、コイル４９ａの移動によって磁束密度
が変化するため、この点においてもコイル４９ａに印加
する電気信号とピストン４１の移動量との直線性が得難
く、さらに差圧計４６で検出された差圧をコイル４９ａ
に印加してピストン４１を移動させるまでには時間がか
かり応答性にも問題があった。 【００１０】その上、磁石４９ｂはコイル４９ａの軸芯
上に高い位置精度でもって配置しなければならないこと
から、駆動装置４９の取り付けは非常に難しいものであ
った。 【００１１】そこで、本件発明者は上述の課題を解決す
るものとして図６に示すような測長器１を先に提案して
いる（特願平５−７９７７７号）。 【００１２】この測長器１はシリンダ１０の側壁に設け
る供給孔１１より空気を供給してピストン２を静圧支持
するようになっており、ピストン２により仕切られた下
部加圧室７にもれた漏れ圧をチューブ１５を介して噴射
ノズル５より被測定物５０に噴射するようにしてある。
また、ピストン２により仕切られた上部加圧室８には圧
力調整弁１２を配置してあり、上部加圧室８内の圧力を
一定圧に設定するようにしてある。その為、上下部の加
圧室７，８は一種の密閉状態となることから噴射ノズル
５に被測定物５０を接近させると背圧が上昇し、両加圧
室７，８の圧力が等しくなる位置でピストン２が静止す
ることになり、噴射ノズル５は被測定物５０と一定の距
離を保った状態で保持される。そして、測長器１を被測
定物５０上で移動させると、表面状態の変化に伴って背
圧が変化することからピストン２がその変化量に応じて
上下動し、このピストン２の変位量を電気マイクロメー
タ１４で検出することにより被測定物５０の表面状態を
測定するようにしていた。 【００１３】特に、この測長器１はピストン２が非接触
であることから追従性に優れるため、高精度の測定を可
能とするものであった。 【００１４】しかし、上記測長器１では、噴射ノズル５
からの背圧をチューブ１５を介して下部加圧室７に取り
込む構造としてあるため、ピストン２の移動変位量が大
きい場合には、チューブ１５が屈曲するためにチューブ
１５内の圧力が変動し、測定精度に若干のバラツキを生
じるといった課題があった。しかも、噴射ノズル５が上
下動することからチューブ１５の屈曲を防止するために
チューブ１５の長さをある程度長くしておく必要があ
り、測長器１を小型化するには限界があった。 【００１５】また、上記測長器１では、ピストン２を静
圧支持するために供給した空気のもれ圧を下部加圧室７
およびチューブ１５を介して噴射ノズル５より噴出する
ようにしてあるため、大きな噴出圧を得ることが難しか
った。その為、被測定物５０の表面上にある微細な凹凸
に伴う背圧を検知することができず、より高い精度の測
定は難しものであった。 【００１６】本発明の目的は、上記測長器１を改良して
噴射ノズル５からの噴出圧を高めるとともに、チューブ
１５の屈曲により背圧に圧力変動を受けることのない高
精度の測定が可能な測長器１を提供することにある。 【００１７】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明では上記
問題に鑑み、シリンダ内にピストンを移動自在に配置
し、該ピストンより突設したロッドの先端には噴射ノズ
ルを備えてなり、前記シリンダにはピストンの側壁面と
の間隙に気体を供給する静圧支持手段とピストンの変位
量を検出する検出手段、およびピストンにより上下に形
成される２つの加圧室のうち一方の第１加圧室の圧力を
調整する圧力調整手段を具備してなる非接触型の測長器
において、上記ピストンにはロッドの先端と前記ピスト
ンの側壁面とを結ぶ第１の貫通孔と、ロッドの先端と第
２加圧室とを結ぶ第２の貫通孔を形成し、上記噴射ノズ
ルより被測定物に向けて気体を噴射させ、該被測定物の
形状、寸法、表面状態等に応じたピストンの変位量でも
って被測定物の形状、寸法、表面状態等を測定するよう
にしたものである。 【００１８】 【作用】本発明によれば、ピストンに第１の貫通孔を設
けたことにより、ピストンを静圧支持するための静圧支
持手段から供給された高圧の空気圧を直接噴射ノズルよ
り噴出することができるため、噴射ノズルからの噴出圧
を高めることができる。 【００１９】その為、測長器の感度を高めることがで
き、被測定物上の微小な凹凸に対しても測定することが
できる。 【００２０】また、本発明はピストンに第２の貫通孔を
設けて被測定物からの背圧を取り込むようにしてあるた
め、従来のようなチューブの屈曲による背圧の変動を生
じることがない。その為、測定精度のバラツキをさらに
低減することができるとともに、測長器自体をコンパク
トに形成することができる。 【００２１】 【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、図６と同一部分については同一符号で示す。 【００２２】図１は本発明に係る非接触型測長器１の一
部を破断した斜視図で、図２は図１のＸ−Ｘ線断面図で
あり、外壁面に絞り溝３を有するピストン２をシリンダ
１０内に遊嵌し、シリンダ１０の側壁に備える供給孔１
１から高圧の空気圧を供給することによりシリンダ１０
とピストン２との間隙１３ａに空気層を形成してピスト
ン２を静圧支持するようにしてある。また、シリンダ１
０の上部には圧力調整手段として排気絞り弁９を設けて
あり、ピストン２により形成される２つの加圧室のうち
上部の第１加圧室８内の圧力をほぼ一定圧となるように
設定するようにしてある。即ち、第１加圧室８内の圧力
は、ピストン２とシリンダ１０との間隙１３ａにより構
成される絞りの有効断面積と、排気絞り弁９の有効断面
積により決定される。例えば、供給孔１１からの圧力を
Ｐ₂ 、ピストン２とシリンダ１０との間隙１３ａにより
構成される絞りの有効断面積Ａ₁ 、および排気絞り弁９
の有効断面積Ａ₂ とすると、第１加圧室８内の圧力をＰ
₁ は以下の式で表される。 【００２３】Ｐ₁ ＝Ｐ₂ ／（Ａ₁ ＋Ａ₂ ） そして、ピストン２とシリンダ１０との間隙１３ａによ
り構成される絞りの有効断面積Ａ₁ は基本的に一定であ
ることから排気絞り弁９の有効断面積Ａ₂ 、つまり、排
気絞り弁９の絞り弁９ａを調整することにより、第１加
圧室８内の圧力をある一定圧となるように設定すること
ができる。 【００２４】さらに、ピストン２の側壁面にはリニアス
ケール６ａを設けるとともに、シリンダ１０の側壁面に
は光学的に上記ピストン２のリニアスケール６ａの値を
読み取るスケールヘッド６ｂを設けてリニアエンコーダ
６を構成してあり、ピストン２の変位量を検出するよう
にしてある。 【００２５】一方、シリンダ１０内に遊嵌するピストン
２は角柱体２１としてあり、該角柱体２１の中央部から
下方に向かってロッド４を垂直に突設させるとともに、
その先端部には内孔５ａを有する噴射ノズル５を装着し
てある。 【００２６】また、上記ピストン２（ロッド４を含む）
の内部には２重の孔を形成してあり、このうち第１の貫
通孔２ａはロッド４の先端とピストン２の側壁面とを結
ぶとともに、その先端には絞り部２ｃを設けてある。一
方、第２の貫通孔２ｂはロッド４の先端とロッド４の根
本に穿設する開口２ｆを介して第２加圧室７と連通する
ようにしてある。 【００２７】その為、供給孔１１からシリンダ１０とピ
ストン２との間隙１３ａに供給された高圧の空気圧の一
部はピストン２に形成する第１の貫通孔２ａに供給さ
れ、噴射ノズル５より噴出させることができる。その
為、噴射ノズル５からの噴出圧を高め、測長器１の感度
を高めることができる。しかも、第１の貫通孔２ａの先
端には絞り部２ｃを設けてあるため、供給孔１１から供
給された高圧の空気圧が第２加圧室７内に流れ込むこと
を防止し、シリンダ１０内でピストン２を静圧支持でき
るようにしてある。 【００２８】また、被測定物５０からの背圧はピストン
２内に形成した第２の貫通孔２ｂを介して第２加圧室７
に取り込むようにしてあるため、ピストン２の上下動に
伴い背圧に圧力変動を与えることがない。その為、背圧
の増減に対するピストン２の応答性を向上させることが
できるため、測定値のバラツキをさらに低減することが
できる。 【００２９】なお、第２の貫通孔２ｂのロッド４先端に
も絞り２ｄを形成してあり、この絞り２ｄにより測定精
度に影響を与える背圧の圧力変動をさらに抑制すること
ができる。 【００３０】また、上記ピストン２の側壁面には、移動
方向に沿って多数の縦溝３ａとこの縦溝３ａに連通する
ブラスト溝３ｂ、そして上記縦溝３ａと直交するように
一本の横溝３ｃからなる絞り溝３を形成してある。その
為、供給孔１１から供給された空気はシリンダ１０とピ
ストン２との間隙１３ａ全体に供給することができるた
め、均一な空気層をシリンダ１０とピストン２との間隙
１３ａに形成することができ、ピストン２を安定に静圧
支持することができる。 【００３１】ただし、ピストン２をシリンダ１０内で静
圧支持するためには、ピストン２とシリンダ１０との間
隙１３ａの幅Ｗを３〜１０μｍ、好ましくは３〜４μｍ
とすることが重要である。 【００３２】即ち、ピストン２とシリンダ１０との間隙
１３ａの幅Ｗが３μｍより小さくなると、間隙１３ａが
狭すぎるために空気層を形成することができず、ピスト
ン２をシリンダ１０内で静圧支持することができないか
らであり、逆に間隙１３ａの幅Ｗが１０μｍより大きく
なるとピストン２を支持するだけの高圧の空気層を形成
することができず、ピストン２がシリンダ１０の側壁面
と接触してしまうからである。 【００３３】次に、図１，２に示す測長器１の作動原理
について説明する。 【００３４】まず、シリンダ１０の供給孔１１から空気
を供給すると、ピストン２とシリンダ１０との間隙１３
ａに空気層が形成され、ピストン２はシリンダ１０内で
静圧支持されるとともに、その一部は第１の貫通孔２ａ
を通って先端の絞り部２ｃで減圧し、噴射ノズル５より
被測定物５０に向かって噴出させる。この時、本発明で
はピストン２に第１の貫通孔２ａを形成してあるため、
供給孔１１から供給される高圧の空気圧を直接噴射ノズ
ル５に供給することができるため、噴射ノズル５からの
噴射圧を高めることができる。また、第１の貫通孔２ａ
の先端には絞り部２ｃを設けてあることから、供給孔１
１から供給される空気圧の全てが第２加圧室７内に流れ
込むことを防止してピストン２をシリンダ１０内で安定
に静圧支持することができる。なお、この時排気絞り弁
９より若干量の空気を外気に排出するようにしておく。 【００３５】ここで、噴射ノズル５の先端に被測定物５
０を接近させると、背圧が噴射ノズル５の内孔５ａから
ロッド４に穿設する第２の貫通孔２ｂを介して第２加圧
室７内に取り込まれるため、第２加圧室７の圧力の上昇
とともにピストン２は上方に押し上げられる。そして、
第１加圧室８と第２加圧室７との圧力が平衡状態に至っ
たときにピストン２は停止して噴射ノズル５は被測定物
５０と一定距離を保った状態で静止する。この時、噴射
ノズル５と被測定物５０との間隙を調整する時には排気
絞り弁９の絞り弁９ａにより排気量を調整することで間
隙間を自由に設定でき、この時のリニアエンコーダ６の
値を基準値として測定することで測定準備が完了する。 【００３６】そこで、測長器１を左右に移動させると、
被測定物５０の表面形状に沿って背圧が変化するため測
長器１のピストン２が上下動し、そのピストン２の移動
変位量をリニアエンコーダ６により測定することで被測
定物５０の真直度や平面度を測定することができる。こ
れはシリンダ１０内が一種の密閉された状態となってい
るためで、被測定物５０の表面に凸部があると背圧が増
加するため、第２加圧室７の圧力が増加し、第１加圧室
８との平衡状態が崩れて再度平衡状態に至までピストン
２が上方に移動するためで、この時のピストン２の変位
量が背圧の増加分に相当し、被測定物５０の表面の凸部
の高さに相当することになる。 【００３７】逆に、被測定物５０の表面に凹部があると
背圧が減少するため、第１加圧室８の圧力との平衡状態
が崩れ、背圧の減少分だけピストン２が押し下げられて
静止するというように噴射ノズル５と被測定物５０とは
常に一定の距離に保たれた状態となるので、ピストン２
の移動変位がそのまま被測定物５０の表面状態を示すこ
とになる。 【００３８】次に、本発明に係る他の測長器１を図３に
示す。 【００３９】図３に示す測長器１は、第１の貫通孔２ａ
の形状を若干変更したもので、先端部にすすむにつれて
貫通孔２ａの直径が小さくなるように形成することによ
り第１の貫通孔２ａの先端に絞り２ｅを形成したもので
ある。その為、図１の測長器１と同様に供給孔１１から
供給された高圧の空気圧が絞り２ｅで減圧されるため、
供給孔１１から供給された高圧の空気圧が第２加圧室７
内に流れ込むことを防止してピストン２をシリンダ１０
内で安定に静圧支持することができるとともに、供給孔
１１から供給された高圧の空気圧を噴射ノズル５より噴
出させることができるため、測長器１の感度を高めるこ
とができる。 【００４０】さらに、本発明に係る他の例として図１に
示す測長器１より絞り部２ｃを取り除くとともに、第１
の貫通孔２ａの直径を小さくしたものであってもかまわ
ない。即ち、第１の貫通孔２ａの直径を小さくすること
により第１の貫通孔２ａ自体を絞り部と見なすことがで
きるため、第１の貫通孔２ａの直径と長さとを適宜調整
することにより、絞り部２ｃを設けなくてもピストン２
をシリンダ１０内で安定に静圧支持することができると
ともに、供給孔１１から供給された高圧の空気圧を噴射
ノズル５より噴出させることができるため、測長器１の
感度を高めることができる。 【００４１】また、本発明に係る測長器１ではピストン
２の形状を角柱体２１としたものについて示したが、本
発明ではピストン２が静圧支持されるため、その形状に
ついては限定を受けるものではなく、シリンダ１０の内
形をピストン２の外形に合致するような形状としておけ
ば、ピストン２の外形が円柱体や楕円柱体、あるいは角
柱体をしたものても良い。また、ピストン２の側壁面に
形成する絞り溝３も図２に示す絞り溝３だけに限定する
ものではなくピストン２の全周にわたって均一に空気層
を形成することができる形状であれば良い。 【００４２】また、図１，２に示す非接触型の測長器１
では排気絞り弁９を第１加圧室８に配置した実施例につ
いて説明したが、排気絞り弁９を第２加圧室７に配置し
ても良く、この場合、ピストン２に形成する第２の貫通
孔２ｂの一端をピストン２の上部端面まで延設すれば良
い。 【００４３】さらに、図１，２に示す非接触型の測長器
１では、第１加圧室８の圧力を一定圧に設定するための
調整手段として排気絞り弁９を使用したが、本件発明者
により先に提案した測長器１に使用する圧力調整弁であ
っても良い。 【００４４】また、測長器１を構成する材料としては、
金属やプラスチィックを用いることができるが、セラミ
ックスを用いることにより、さらに優れた測長器１とす
ることができる。例えばピストン２、ロッド４、シリン
ダ１０、及び噴射ノズル５をアルミナセラミックスで形
成すれば、金属製のものに比べ重量を１／３に軽減する
ことができることから、ピストン２の追従性を大幅に向
上させることができる。その上、高温度下での使用で
も、アルミナセラミックスは熱膨張係数が小さいことか
ら測長器１の変形を招くことがなく、また、金属やプラ
スチィックに比べ非常に耐蝕性にも優れていることか
ら、湿気の多い場所での測定や作動媒体に空気以外の気
体を用いるような場合であっても測長器１が腐食するこ
とがなく、測定環境や作動媒体を選ばない測長器１とす
ることができる。 【００４５】ただし、測長器１の材質にはアルミナセラ
ミックスだけでなく、炭化珪素、窒化珪素、サファイア
といった他のセラミックスを用いたものであっても良い
ことは言うまでもない。 【００４６】以上のように、本発明の非接触型測長器１
では、供給孔１１からの高圧の空気圧を直接噴射ノズル
５より噴出するようにしてあるため、測長器１の感度を
向上させることができる。しかも、被測定物５０からの
背圧をロッド４内に形成した第２の貫通孔２ｂを介して
第２加圧室７に取り込むとともに、ピストン２を静圧支
持してピストン２の追従性を高めてあることから測定値
のバラツキをさらに低減することができるとともに、従
来のようなチューブを必要としないため、コンパクトな
測長器１を提供することができる。 【００４７】〔実験例〕図１に示す本発明の非接触型測
長器１を用いて測定値のバラツキと測定ストロークの直
線性について実験を行った。 【００４８】なお、測長器１の主要寸法は以下に示す通
りである。 【００４９】ピストン２ 断面 １２×３０ｍｍ、
受圧面積 ３６０ｍｍ² 測長ストローク １０ｍｍ なお、噴射ノズル５の噴射口径は０．５ｍｍ、０．８ｍ
ｍ、２．０ｍｍのものを用意して測定した。 【００５０】そして、上記測長器１の供給孔１１に０．
７ｋｇ／ｃｍ² 程度の圧力を供給し、１〜９ｍｍのブロ
ックゲージを順次測定した。この時の測定ストロークの
直線性については図４に、測定値のバラツキについては
図５にそれぞれ示す通りである。 【００５１】まず、測定値のバラツキを示す図４のグラ
フより判るように、各ブロックゲージの測定において殆
ど測定誤差がなく、非常に高い直線性が得られた。 【００５２】また、直線性を示す図５のグラクから判る
ように、測定値のバラツキ巾は大きくとも０．１５μｍ
以下と殆どバラツキがない。 【００５３】 【発明の効果】以上のように、本発明はシリンダ内にピ
ストンを移動自在に配置し、該ピストンより突設したロ
ッドの先端には噴射ノズルを備えてなり、前記シリンダ
にはピストンを静圧支持する静圧支持手段とピストンの
変位量を検出する検出手段、およびピストンにより上下
に形成される２つの加圧室のうち一方の第１加圧室の圧
力を調整する調整手段を具備するとともに、上記ピスト
ンにはロッドの先端とピストンの側壁面とを結ぶ第１の
貫通孔と、ロッドの先端と第２加圧室とを結ぶ第２の貫
通孔を設けたことにより、ピストンを静圧支持するため
に供給した高圧の空気圧を直接噴射ノズルより噴出する
ことができるため、噴射ノズルからの噴出圧を高め、高
感度の測長器とすることができる。また、被測定物から
の背圧はピストンまたはロッドに形成した第２の貫通孔
を介して取り込むようにしてあるため、ピストンの移動
に伴って背圧に圧力変動をきたすことがなく、測定値の
バラツキをさらに低減することができる。しかも、従来
のようなチューブを必要としないため、大幅に測長器全
体を小型化することもできるなど、微弱な背圧の変化に
対しても検知可能な高精度の非接触型測長器を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係る非接触型測長器の一部を破断した
斜視図である。 【図２】図１のＸ−Ｘ線断面図である。 【図３】本発明に係る他の非接触型測長器を示す縦断面
図である。 【図４】本発明に係る非接触型測長器の直線性を示すグ
ラフである。 【図５】本発明に係る非接触型測長器の測定値のバラツ
キ具合を示すグラフである。 【図６】先に提案した本発明の非接触型測長器を示す縦
断面図である。 【図７】従来の非接触型測長器を示す縦断面図である。 【図８】従来の非接触型測長器を示す縦断面図である。 【符号の説明】 １…非接触型測長器 ２…ピストン ２ａ…第１の貫通孔 ２ｂ…第２の貫通孔 ２ｃ…絞り部 ２ｆ…開口 ３…絞り溝 ４…ロッド ５…噴射ノズル ６…リニアエンコーダ ７…下部加圧室 ８…上部加圧室 ９…排気絞り弁 １０…シリンダ １１…供給孔

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】シリンダ内にピストンを移動自在に配置
   し、該ピストンより突設したロッドの先端には噴射ノズ
   ルを備えてなり、前記シリンダにはピストンの側壁面と
   の間隙に気体を供給する静圧支持手段とピストンの変位
   量を検出する検出手段、およびピストンにより上下に形
   成される２つの加圧室のうち一方の第１加圧室の圧力を
   調整する圧力調整手段を具備するとともに、上記ピスト
   ンにはロッドの先端と前記ピストンの側壁面とを結ぶ第
   １の貫通孔と、ロッドの先端と第２加圧室とを結ぶ第２
   の貫通孔を備え、上記噴射ノズルより被測定物に向けて
   気体を噴射せしめ、該被測定物の形状、寸法、表面状態
   等に応じたピストンの変位量でもって被測定物の形状、
   寸法、表面状態等を測定するようにしてなる非接触型測
   長器。