JP2788162B2 - 非接触型測長器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真直度測定や平面度測
定等に用いられる非接触型の測長器に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、真直度測定や平面度測定等に用い
られる非接触型測長器３０（以下、測長器と略称す
る。）は、図１０，１１に示すようなシリンダ型構造を
したもので、ピストン３１の外壁面に設けられたＯリン
グ等のシーリング部材３３によりシリンダ３４を２つの
加圧室に分け、下部加圧室３７をピストン３１より突設
したロッド３２の先端に装着する噴射ノズル３５の内孔
３５ａとチューブ３９を介して連通しており、該内孔３
５ａの外周にはもう一つの外孔３５ｂを形成している。
又、ロッド３２の後端には電気マイクロメータ３６の触
針部３６ａがロッド３２の端面と接触するようにシリン
ダ３４に固定して配置された構造となっている。

【０００３】このような測長器３０は、噴射ノズル３５
の外孔３５ｂに空気を供給して噴射ノズル３５の先端よ
りその空気を被測定物５０の表面に噴出させ、被測定物
５０からの背圧を噴射ノズル３５の内孔３５ａから下部
加圧室３７に取り込むようになっている。そして、上部
加圧室３８には予め基準圧となる圧力を供給しておく
と、下部加圧室３７に取り込んだ背圧と上部加圧室３８
の基準圧とが平衡状態となる位置でピストン３１が停止
する。この時、ロッド３２先端の噴射ノズル３５は被測
定物５０と一定距離を保った状態で静止している。そし
て、ロッド３２の上に配置する電気マイクロメータ３６
の値を基準値として検出しておくと、測長器３０を左右
に移動させた時、被測定物５０の表面形状に沿って背圧
が増加・減少するので、両加圧室３７，３８内の圧力が
再度平衡状態となるまでピストン３１が上下動し、その
ピストン３１の移動変位量を電気マイクロメータ３６に
より検出することで、被測定物５０と接触することな
く、被測定物５０の真直度や平面度を測定することがで
きる。

【０００４】しかし、上記測長器３０の構造では、ピス
トン３１の外壁面に設けたシーリング部材３３がシリン
ダ３４と圧接しているためにピストン３１の始動性が悪
く、移動している時には常時摺動抵抗が発生しているの
で、ピストン３１の追従性が損なわれていた。又、摺動
抵抗により発生する摩擦熱によってシリンダ３４内の温
度が上昇し、作動媒体である空気を膨張させてしまうこ
とから測定値にバラツキを招くことになり、高精度測長
器とは言いがたいものであった。

【０００５】さらに、シーリング部材３３はゴム等の弾
性体で形成されているために摩耗が激しく、短期間のう
ちに交換しなければならないといった問題もあった。

【０００６】そこで、上記問題を解決するものとして、
図９に示すようにピストン４１をシリンダ４４内で静圧
支持するアクチュエータと、上記ピストン４１より突設
したロッド４２の先端に設けたエアマイクロ式ノズル４
５、及び差圧計４６とその差圧計４６からの電気信号に
よりピストン４１を移動させる駆動装置４９とから構成
された測長器４０がある。（実開平４−４３２１０号公
報参照） この測長器４０は、２段絞りのエアマイクロ式ノズル４
５（以下、ノズルと略称する。）の上段室４５ｂに供給
した空気をオリフィス４５ｃを介して下段室４５ａに供
給してノズル４５の先端より被測定物５０に噴射するよ
うになっており、被測定物５０からの背圧を下段室４５
ａに取り込んで、差圧計４６を使って基準圧との差圧を
検出し、その差圧を電気信号に変換する。そして、該電
気信号を駆動装置４９を構成するムービングコイル４９
ａ（以下、コイルと略称する。）に印加するとコイル４
９ａの内部に挿入された磁石４９ｂとコイル４９ａとの
間に磁界が形成され、フレミングの左手の法則に従って
コイル４９ａが移動するので、該コイル４９ａと一体を
なすノズル４５は被測定物５０と常に一定距離に保たれ
るようになっており、コイル４９ａに流れた電流をモニ
ターすることによりノズル４５の変位が検出でき、その
検出値により被測定物５０の表面状態を検知することが
できるというものがあった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構造の
測長器４０では、ピストン４１の摺動抵抗による影響は
解消することができたが、以下のような問題があった。

【０００８】まず、ノズル４５より取り込んだ被測定物
５０からの背圧は非常に微弱な圧力であり、この背圧が
そのまま差圧計４６に入力しても、現在の差圧計４６の
精度では基準圧との差圧を検出できない不感帯を生じる
場合があり、被測定物５０の表面にある微少な凹凸を検
知することができないという問題があった。

【０００９】又、差圧計４６により検出された差圧は電
気信号に変換して、コイル４９ａに印加されるが、コイ
ル４９ａ自体の電気抵抗によってコイル４９ａが発熱
し、熱膨張によって変形してしまうため、磁石４９ｂと
コイル４９ａとの間の磁束密度が変化して、コイル４９
ａに印加する電気信号とピストン４１の移動量との直線
性が得られないことから測定値にバラツキがあった。

【００１０】又、コイル４９ａはフレミングの左手の法
則に従って軸芯方向に移動するが、結局はコイル４９ａ
の移動によって磁束密度が変化するため、コイル４９ａ
に印加する電気信号とピストン４１の移動量との直線性
が得られないばかりか、差圧計４６で検出した差圧をコ
イル４９ａに印加してピストン４１を移動させるまでに
は時間がかかり応答性にも問題があった。

【００１１】さらに、磁石４９ｂはコイル４９ａの軸芯
上に高い位置精度をもって配置しなければならず、駆動
装置４９の取り付けは非常に難しいものであった。

【００１２】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明では上記
問題に鑑み、シリンダ内にピストンを移動自在に配置し
て、該ピストンより突設するロッドの先端には噴射ノズ
ルを取着し、前記シリンダにはピストンとの間隙に気体
を供給してピストンを静圧支持する支持手段とピストン
が移動する変位量を検出する検出手段を具備しており、
上記噴射ノズルはピストンの上下両側に形成される２つ
の加圧室のうち一方の加圧室と連通させ、他方の加圧室
には圧力調整弁を具備して構成した非接触型測長器とし
たものである。

【００１３】

【作用】本発明の非接触型測長器は、シリンダ内でピス
トンが静圧支持されているので摺動抵抗は皆無に等し
く、ピストンはスムーズに移動自在であり、摺動抵抗に
よる摩擦熱の発生もないので作動媒体である気体が膨張
することがない。その為、ピストンの動きにはバラツキ
が殆ど無く追従性に優れている。

【００１４】又、圧力調整弁を具備する加圧室では、ピ
ストンを静圧支持するために供給した圧力の一部が流れ
込んで圧力変化が起こったとしても、上記圧力調整弁に
より常に一定圧となるように制御することができるた
め、従来のように密閉性を考慮する必要がない。

【００１５】さらに、圧力調整弁を具備していない加圧
室では、ピストンを静圧支持するために供給した圧力の
漏れ圧を使って噴射ノズルから気体を噴出させることが
でき、被測定物からの背圧を加圧室へ直接取り込んでピ
ストンを移動させるので、非常に応答性が良い。その
為、微弱な背圧の変化に対しても反応することができる
というように本発明の非接触型測長器は非常に高精度な
測定を行うことができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。

【００１７】図１は本発明の非接触型測長器１を示す縦
断面図であり、図２はその一部を破断した斜視図で、外
壁面に絞り溝３を有するピストン２をシリンダ１０内に
挿入していて、内孔５ａを有する噴射ノズル５を、上記
ピストン２より突設するロッド４の先端に接着又はネジ
止めにて装着している。又、ピストン２の移動変位量を
測定する検出手段としては電気マイクロメータ６などを
用いており、ロッド４の後端の端面と電気マイクロメー
タ６の触針部６ａが当接した状態になるようにシリンダ
１０に固定してある。さらに、上記噴射ノズル５の内孔
５ａはピストン２を挟んでシリンダ１０内に形成される
２つの加圧室のうち一方の下部加圧室７とチューブなど
の管状体１５を介して接続してあり、他方の上部加圧室
８には圧力調整弁９を取着している。

【００１８】又、シリンダ１０の側壁にはピストン２と
の間隙１３ａに空気を供給してピストン２を静圧支持す
るための供給孔１１が設けてある。

【００１９】そして、ピストン２は図３に示すような横
断面が長方形をした角柱体２１の中心からロッド４が垂
直に突設した構造となっており、両端面より内部をくり
抜いたいわゆる中抜き状に形成してある。又、外壁面に
形成した絞り溝３は、移動方向に沿って多数の縦溝３ａ
とこの縦溝３ａに連通するブラスト溝３ｂ、そして上記
縦溝３ａと直交するように一本の横溝３ｃを形成してお
り、この絞り溝３を有するピストン２はシリンダ１０と
３〜１０μｍ、好ましくは３〜４μｍの幅Ｗを有する間
隙１３ａをもって構成してある。

【００２０】ここで上記間隙１３ａの幅Ｗを３〜１０μ
ｍとしているのは、３μｍより小さくすると、間隙１３
ａが狭すぎるために空気層を形成することができず、ピ
ストン２をシリンダ１０内で静圧支持することができな
いためで、逆に間隙１３ａの幅Ｗが１０μｍより大きく
なるとピストン２を支持するだけの空気層を形成するこ
とができず、ピストン２がシリンダ１０の内壁に接触し
てしまうからである。但し、上記ピストン２の形状は角
柱体２１に限る必要はなく、円柱形や楕円柱形をしたピ
ストン２であってもよく、ピストン２の外壁面に形成す
る絞り溝３もピストン２の全周にわたって空気層を形成
することができる形状であればよい。又、図１，２に示
す非接触型測長器１では圧力調整弁９が上部加圧室８に
配置してあるが，下部加圧室７に配置してもよく、どち
らか一方の加圧室に具備し、他方の加圧室は噴射ノズル
５の内孔５ａと連通するようにしていてばよい。又、圧
力調整弁９は上部加圧室８に隣接して配置した構造とな
っているが必ずしも隣接させる必要はなく、上部加圧室
８と連通していればよい。但し、高い精度が要求される
場合には隣接して設けた方が望ましい。

【００２１】さらに、測長器１を構成する材料として
は、金属やプラスチィックを用いることができるが、セ
ラミックスを用いることでより優れた測長器１とするこ
とができる。例えばピストン２、ロッド４、シリンダ１
０、及び噴射ノズル５をアルミナセラミックスで形成す
ると、金属製のものに比べ重量を１／３に軽減すること
ができ、ピストン２の追従性を大幅に向上させることが
できる。又、高温度下で使用する場合でもアルミナセラ
ミックスの熱膨張係数が小さいことから測長器１の変形
を招くことがなく、金属やプラスチィックに比べ非常に
耐蝕性にも優れている。その為、湿気の多い場所での測
定や作動媒体に空気以外の気体を用いるような場合であ
っても測長器１が腐食することがないというように測定
環境を選ばない測長器１とすることができる。

【００２２】なお、測長器１の材質には、上記アルミナ
セラミックスだけでなく、炭化珪素、窒化珪素、サファ
イアといった他のセラミックスを用いたものであっても
よい。

【００２３】次に、本発明の測長器１に用いる圧力調整
弁９について説明する。

【００２４】圧力調整弁９は図４に示すようなダイヤフ
ラム式の圧力調整弁であり、外枠に上部加圧室８（不図
示）と連通する出力ポート９１と、基準となる圧力を供
給する入力ポート９２、さらに上部加圧室８内の増加し
た圧力分を排出する排出ポート９４と減少した圧力分だ
け加圧する供給ポート９３の４つのポートを有してい
る。

【００２５】これら４つのポートのうち出力ポート９１
と排出ポート９４はダイヤフラム９７ａに接続された弁
９９を介して連通しており、更に出力ポート９１はコン
トロール室９５とも連通している。又、コントロール室
９５内にはダイヤフラム９６ａ，９６ｂが形成してあ
り、コントロール室９５を２つの部屋に区分けしてい
る。さらに、上記ダイヤフラム９６ｂには弁９８が接続
してあり、この弁９８を介してコントロール室９５と供
給ポート９３が連通した構造となっている。なお、入力
ポート９２はコントロール室９５の上側の部屋と連通し
ている。

【００２６】ここで圧力調整弁９の入力ポート９２と供
給ポート９３に所定圧力（常に、入力ポート９２の圧力
＜供給ポート９３の圧力の関係に有る。）を加えておい
た時、上部加圧室８内の圧力が入力ポート９２からの基
準圧より低くなると、コントロール室９５内のダイヤフ
ラム９６ｂが引っ張られて下がり、該ダイヤフラム９６
ｂと接続する弁９８が開く。その為、供給ポート９３か
ら空気が供給されて出力ポート９１に連通する上部加圧
室８内の圧力を高め、この圧力が入力ポート９２の基準
圧と等しくなると、弁９８が閉じることになる。逆に上
部加圧室８内の圧力が入力ポート９２からの基準圧より
高くなると、弁９８が完全に閉じ、もう一方のダイヤフ
ラム９７ａが供給ポート９３からの圧力により押し下げ
られて、ダイヤフラム９７ａと接続する弁９９が開くの
で、出力ポート９１と排出ポート９４が連通され、排出
ポート９４から加圧分を排出することになる。

【００２７】このように、微妙な圧力バランスを２組の
ダイヤフラム９６ａ，９６ｂ，９７ａ，９７ｂで調整で
きるので、圧力調整弁９の出力ポート９１と連通する上
部加圧室８では、圧力変化があっても常に入力ポート９
２に加わる圧力と等しくなるように調圧した状態とする
ことができる。

【００２８】なお、上記圧力調整弁９のダイヤフラム９
６ａ，９６ｂ，９７ａ，９７ｂには一般的に金属製のも
のが使用されているが、湿気が多いような環境にあって
は錆が発生する恐れがあり、長期使用の場合には屈曲の
繰り返しによる金属疲労のために変形する恐れがあるこ
とから、上記ダイヤフラム９６ａ，９６ｂ，９７ａ，９
７ｂをＹ₂ Ｏ₃ ，ＭｇＯ，ＣａＯ又はＣｅＯ₂ のうち一
種以上を含有する部分安定化ジルコニアで形成すること
で、長期間にわたって用いることができる圧力調整弁９
とすることができる。特にこの部分安定化ジルコニア
は、セラミックスの中でも非常に曲げ強度が強く耐触性
に優れていることから、ダイヤフラム９６ａ，９６ｂ，
９７ａ，９７ｂとして最適な材料である。

【００２９】次に本発明の測長器１の作動について説明
する。

【００３０】例えば、圧力調整弁９の供給ポート９３と
入力ポート９２にそれぞれＰ１，Ｐ２の圧力を供給し、
供給孔１１からはＰ３の圧力を供給する。但しこれらの
圧力には（Ｐ３＞Ｐ１＞Ｐ２）のような関係があり、入
力ポート９２に加える圧力Ｐ２を基準圧とすると、供給
孔１１からの圧力Ｐ３によりピストン２とシリンダ１０
との間隙１３ａに空気層が形成され、ピストン２はシリ
ンダ１０の内部底面に静圧支持される。

【００３１】そして、供給孔１１から供給した空気圧の
一部が各加圧室７，８に漏れ、下部加圧室７では流れ込
んだ漏れ圧を管状体１５を介して噴射ノズル５より噴出
するようになっている。

【００３２】又、上部加圧室８では供給孔１１からの漏
れ圧が流れ込み、圧力変化が発生するが、上部加圧室８
に取着する圧力調整弁９によって常時一定圧となるよう
に保たれる。

【００３３】そこで、噴射ノズル５に被測定物５０を接
近させると、被測定物５０からの背圧が噴射ノズル５の
内孔５ａを通してシリンダ１０の下部加圧室７に取り込
まれ、下部加圧室７の圧力Ｐ４の上昇とともにピストン
２は上方に押し上げられる。そして、圧力調整弁９によ
る基準圧Ｐ２と下部加圧室７の圧力Ｐ４とが平衡状態に
至ったときピストン２は停止し、噴射ノズル５は被測定
物５０と一定距離を保った状態で静止する。

【００３４】この時、電気マイクロメータ６の値を基準
値として測定することで測定準備が完了する。

【００３５】そこで、測長器１を左右に移動させると、
被測定物５０の表面形状に沿って測長器１のピストン２
が上下動するので、そのピストン２の移動変位量を電気
マイクロメータ６により測定することで被測定物５０の
真直度や平面度を測定することができる。これはシリン
ダ１０内が一種の密閉された状態となっているためで、
被測定物５０の表面に凸部があると背圧が増加するの
で、下部加圧室７の圧力Ｐ４も増加し、基準圧Ｐ２との
平衡状態が崩れて再度平衡状態に至までピストン２が上
方に移動するためで、この時のピストン２の移動量が背
圧の増加分に相当し、そして、被測定物５０の表面の凸
部の高さに相当する。

【００３６】逆に被測定物５０の表面に凹部があると背
圧が減少するため、上部加圧室８の基準圧Ｐ２との平衡
状態が崩れ、背圧の減少分だけピストン２が押し下げら
れて静止するというように噴射ノズル５と被測定物５０
とは常に一定の距離に保たれた状態となるので、ピスト
ン２の移動変位がそのまま被測定物５０の表面状態を示
すことになる。

【００３７】以上のように本発明の非接触型測長器１で
は、ピストン２が静圧支持されているのでピストン２に
は摺動抵抗がなく、下部加圧室７へ流れ込む漏れ圧を使
って噴射ノズル５から空気を噴出させ、被測定物５０か
らの背圧を下部加圧室７へ直接取り込んでピストン２を
移動させるのでピストン２の応答性が良いことから測定
値にバラツキが殆どない。

【００３８】さらに、上部加圧室８での圧力変化は圧力
調整弁９により常に一定の基準圧となるように制御でき
るため、従来のように密閉性を考慮して設計する必要が
全くない。

【００３９】次に他の実施例を説明する。

【００４０】図５は図１の測長器１のシリンダ１０に流
体通路１４を設けて、ロッド４とシリンダ１０との間隙
１３ｂにも供給孔１１からの空気圧を供給するようにし
たものである。

【００４１】このような構造の測長器１とすることで、
ロッド４とシリンダ１０との間隙１３ｂには一種の静圧
軸受け１２を形成することができるので、ピストン２の
移動をより安定なものとすることができ、シール効果も
有している。そして、噴射ノズル５と連通する加圧室７
では、静圧軸受け１２からの漏れ圧も流れ込むのでより
高い圧力を確保することができ、その圧力を被測定物５
０に噴出することができることから、噴射ノズル５から
の噴出圧と被測定物５０からの背圧との圧力変化率を高
めることができ、感度の良い測長器１とすることができ
る。

【００４２】又、図６に示す測長器１は、図１の噴射ノ
ズル５に換えて２重孔を有する噴射ノズル５^' をロッド
４の先端に取着したもので、噴射ノズル５^' の外孔５^'
ｂから別に圧力を供給することで噴射ノズル５^' の噴出
力を高めることができる。その為、噴出力と背圧との圧
力変化率を高めることができることから、測長器１の感
度を高めることができる。又、変形しやすい被測定物５
０を測定する場合には、噴射ノズル５^' の外孔５^' ｂに
供給する空気圧を調整することで、被測定物５０を変形
させることなく、最適な測定感度をもって測定を行うこ
とができる。

【００４３】さらに、図５と図６に示す両方の部分を有
する構造の測長器１としても同様の効果を得ることがで
き、これらの構造は被測定物５０の特性によって選択し
て用いることで、より精度の高い測定を行うことができ
る。

【００４４】さらに、本発明の非接触型測長器１では、
下部加圧室７と噴射ノズル５を連通させる方法として、
ロッド４の内部に流体通路を形成して噴射ノズル５の内
孔５ａと直接連通させたものでもよく、又、ピストン２
の移動変位量を測定する検出手段として、ピストン２の
外壁面にリニアスケールを移動方向に沿って配置し、シ
リンダ１０の側壁には発光器を配置して光学的にリニア
スケールの目盛りを読み取り、ピストン２の変位を検出
するリニアエンコーダなどを用いることもできる。

【００４５】実験例 本発明の非接触型測長器１を用いて測定値のバラツキと
全測定ストロークの直線性について実験を行った。

【００４６】なお、測長器１の主要寸法は以下に示す通
りである。

【００４７】ピストン２ 断面 ２０×１００ｍ
ｍ、受圧面積 ２０ｃｍ² 噴射ノズル５ 内孔面積 ４．１５ｍｍ² 測長ストローク １０ｍｍ そこで、上記測長器１の供給孔１１に０．７ｋｇ／ｃｍ
² の圧力を供給し、圧力調整弁９の入力ポート９２には
０．３４ｋｇ／ｃｍ² の圧力を入力して、図７の実線の
ような表面形状を有する被測定物について１０ｍｍピッ
チで１０点とって測定した。その結果は表１、及び図７
の点線及び一点鎖線で示す通りである。（但し、被測定
物の表面形状を示す実線は、グラフの中心よりずらして
記載しており、点線は測定値のバラツキを示し、一点鎖
線は測定の平均値を示している。）

【００４８】

【表１】

【００４９】図７、及び表１より判るように測定の平均
値は被測定物の表面をほぼトレースしたようになってい
る。又、その測定値のバラツキ巾は大きくとも０．０９
μｍ以下と殆どバラツキがないことが判った。

【００５０】次に、厚み１ｍｍのブロックゲージを順に
積み重ねていき、測定ストロークを１ｍｍ〜１０ｍｍま
で変化させたときの直線性について測定した。その結果
は図８の通りである。

【００５１】この図８より判るように最もずれの大きい
６ｍｍの高さのブロックゲージを測定した場合でも、そ
の検出値は、５．９９９５ｍｍと１／２０００の誤差し
かなく、他の測定ストロークにおいては上記誤差以下と
直線性についても優れていることが判った。

【００５２】

【発明の効果】本発明の非接触型測長器は、ピストンを
シリンダ内で静圧支持する構造としていることから、ピ
ストンの移動の際に発生する摺動抵抗は皆無に等しい。
その為、ピストンは始動性が良く、スムーズに移動自在
であることから追従性に優れるとともに、摩擦熱の発生
がないので作動媒体である気体を膨張させることがな
く、ピストンの動きにはバラツキがない。

【００５３】又、圧力調整弁を具備する加圧室では、供
給孔からの漏れ圧が流れ込んだとしても圧力調整弁を具
備していることから、加圧室を常に一定の基準圧となる
ように制御することができる。

【００５４】さらに、圧力調整弁を具備していない加圧
室では、噴射ノズルと連通させているので、ピストンを
静圧支持するために供給した圧力の漏れ圧をそのまま噴
射ノズルより噴出させることができ、又、被測定物から
の背圧を下部加圧室へ直接取り込んでピストンを移動さ
せるので応答性に優れている。その為、微弱な背圧の変
化に対しても反応することができるというように本発明
の非接触型測長器は非常に高精度な測定を行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の非接触型測長器を示す縦断面図であ
る。

【図２】図１の一部を破断した斜視図である。

【図３】本発明の非接触型測長器のピストンを示す斜視
図である。

【図４】図１中のＡ部を示す拡大断面図である。

【図５】本発明の非接触型測長器の他の実施例を示す縦
断面図である。

【図６】本発明の非接触型測長器の他の実施例を示す縦
断面図である。

【図７】本発明の非接触型測長器を用いて測定した時の
測定値とそのバラツキ巾を示すグラフである。

【図８】本発明の非接触型測長器の直線性を示すグラフ
である。

【図９】従来の非接触型測長器を示す縦断面図である。

【図１０】従来の非接触型測長器を示す縦断面図であ
る。

【図１１】図６の一部を破断した斜視図である。

【符号の説明】

１…非接触型測長器 ２…ピストン ３…絞り溝 ４…ロッド ５…噴射ノズル ６…電気マイクロメータ ７…下部加圧室 ８…上部加圧室 ９…圧力調整弁 １０…シリンダ １１…供給孔

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダ内にピストンを移動自在に配置
   し、該ピストンより突設するロッドの先端には噴射ノズ
   ルを取着してなり、前記シリンダにはピストンを静圧支
   持する支持手段とピストンの変位量を検出する検出手段
   を具備するとともに、上記噴射ノズルはピストンの上下
   両側に形成される２つの加圧室のうち一方の加圧室と連
   通させ、他方の加圧室には該加圧室の圧力を設定するた
   めの圧力調整弁を具備したことを特徴とする非接触型測
   長器。