JP3381911B2 - 欠陥修正方法および欠陥修正装置 - Google Patents
欠陥修正方法および欠陥修正装置Info
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Description
よび欠陥修正装置に関し、特に、液晶産業における液晶
表示装置(LCD)用カラーフィルタの色抜け欠陥を修
正するための欠陥修正方法および欠陥修正装置に関す
る。
るための欠陥修正装置は、たとえば、実開平6−581
87号公報、特開平6−109919号公報、特開平5
−88191号公報、特開平6−27479号公報に開
示されている。
ーフィルタ修正装置の一例の構成を示す外観斜視図であ
る。
ィルタの修正装置は、XYテーブル22上に欠陥修正対
象物(ワーク)2を真空チャックテーブル25によって
固定し、CCDカメラ24により欠陥位置を検出する。
次に修正装置は、欠陥位置にYAGレーザ源20からレ
ーザ光を照射して欠陥箇所を焼き飛ばす。
より生じたカラーフィルタの色抜け部にディスペンサ2
6で修正液を塗布し、欠陥を修正する。
6の構成を模式的に示す図である。図13において、修
正液を塗布するディスペンサ26は、コントローラ27
によって、シリンジ28内に、一定時間、一定圧力をか
けることにより、ニードル29先端から、一定量の修正
液を吐出していた。
上述のように構成されていたため、微少量を吐出する場
合、圧力および圧力印加時間の条件設定は、かなりの時
間を要するという問題点があった。さらに、シリンジ2
8内の修正液残量が変わると、吐出量も変わってしま
い、そのたびに、条件設定が必要となり、作業効率が悪
いという問題点があった。
とする際のディスペンサ26のニードル29の先端部の
様子を模式的に示す図であり、図15は、ディスペンサ
を用いて微少なインクの滴下を行なったときのディスペ
ンサ26のニードル29の先端部の様子を模式的に示す
図である。
表面張力により修正液の自重のみではニードル29先端
から修正液が離れない(E)。したがって、図15に示
すように、塗布中の修正液を、欠陥修正対象物に落とす
ためには、修正液が欠陥修正対象物に付着するように、
ニードル29と欠陥修正対象物とのギャップaを微妙に
コントロールする必要があった。このギャップaは、極
めて微小なため欠陥修正対象物が大きい場合、欠陥修正
対象物の撓みを考慮に入れなければならず、広範囲にわ
たって常に一定のギャップを維持する必要があり、制御
が困難という問題点があった。
正液がニードル29先端から離れ難くなるため、ディス
ペンサ26での極微量の修正液の塗布は、困難という問
題点があった。
でインクが乾燥して詰まった状態を模式的に示す図であ
る。
図16に示すようにディスペンサ26のニードル29先
端に付着している修正液が、1回の吐出から次の吐出の
間に乾燥していた。このため、ニードル29が詰まって
しまい吐出不能になるという問題点があった。
えに、シリンジ28やニードル29等の修正液が付着す
る部分は、消耗品のため、ある程度使用したら取り替え
が必要であった。このため、コストが高くなるという問
題点があった。
るためになされたもので、高価なディスペンサを用いる
ことなく、LCD用カラーフィルタの色抜け欠陥のごと
くワークの微細な欠陥を修正する欠陥修正方法および欠
陥修正装置を提供することを目的とする。
微細な欠陥を修正する欠陥修正方法であって、ワーク上
の欠陥を特定するステップと、針部材の先端部に微細な
欠陥の修正に適した極微量の修正液を付着させるステッ
プと、修正液の付着した針部材の先端部と前記ワークの
欠陥の特定された位置とを精度高く位置決めするステッ
プと、ワークの欠陥に針部材の先端部を接触させ、極微
量の修正液を塗布して欠陥を修正するステップと、一定
の間隔で前記針部材を洗浄するステップとを含むことを
特徴とする。
ではなく、修正液が先端に付着した針部材を色抜け欠陥
部に接触させることにより修正液を塗布するため、極微
量の修正液の塗布が可能となるとともに、針部材と色抜
け欠陥部とのギャップのコントロールも不要となる。
とを特徴とする。このように、欠陥を除去することによ
り、より好ましくはレーザ光により欠陥を除去すること
により、欠陥修正のための作業効率が向上する。
微細な欠陥を修正する欠陥修正装置であって、ワーク上
の欠陥を特定する欠陥特定手段と、欠陥を修正するため
の修正液を溜めておくための修正液溜部と、その先端部
が平坦状に形成された針部材であって、前記先端部と前
記修正液溜部との接触により微細な欠陥を修正するに適
した極微量の修正液を前記先端部に付着させることがで
きる針部材と、前記先端部を前記修正液溜部の修正液に
接触させて前記極微量の修正液を前記先端部に付着させ
ると共に、前記針部材と前記ワークの欠陥の特定された
位置とを精度高く位置決めし、前記ワークの欠陥に前記
針部材の先端部を接触させ、前記極微量の修正液を前記
欠陥の特定された位置に塗布する移動手段と、一定の間
隔で前記針部材を洗浄する洗浄手段とを備えたことを特
徴とする。
針部材の先端部を溶液を用いて洗浄するため、塗布回数
が増加しても、針部材の先端部を清浄な状態に保つこと
ができる。
および修正装置について図面を参照しながら説明する。
1の実施の形態による欠陥修正装置を示す概略図であ
る。図1において、欠陥修正装置は、修正液を塗布する
針1と、針1とワーク(欠陥修正対象物)2とを接触さ
せ、また接触時のワーク2への衝撃を緩和するエアシリ
ンダ3とからなり、さらに、ワーク2への針1の接触手
段は、エアシリンダ3、圧力・流量調整およびエア供給
手段(レギュレータ)4、針1の位置決め精度を高くす
るための第1ガイド30a、第2ガイド30bとを備
え、エアシリンダ3はシャフト5を含む。修正液の塗布
は、修正液を先端部に付着させた針1をワーク2に接触
させることにより行なう。エアシリンダ3としては単動
式エアシリンダまた復動式エアシリンダを用いる。
(ロ)、復動式エアシリンダ(ハ)を示す概略図であ
る。単動式エアシリンダ(イ)および(ロ)は、シリン
ダ6、流入・排気口7、シャフト5、ピストン8、ばね
9、シールリング10、ストッパ11、ピストンリング
12およびOリング13からなる。
を流入・排気口7からシリンダ6内に入れ、空気圧がば
ね9の反発力よりも大きな圧力になるとピストン8は、
ばね9の力に打ち勝って、矢印α方向へ動く。
ン8は矢印βの方向へ動く。矢印βの方向が図1に示す
ワーク2へ針1を近づける方向となる。
(イ)および(ロ)は、図示しないエアの配管が1本で
すみ、複雑な空気配管や電磁弁等による制御が必要でな
く、ばね9のばね定数を適度に定めることにより、ピス
トン8の動作速度(図1の針1の落とし込み速度)を設
定する。
に示す針1をワーク2に近づける場合(矢印β方向に動
かす)は、空気を流入・排気口7からシリンダ6内に入
れてシャフト5を動かす。すなわち、空気圧がばね9の
反発力よりも大きな圧力になるとピストン8は、ばね9
の力に打ち勝って、矢印B方向へ動く。
ルすることにより、図1に示す針1の微妙な動作のコン
トロールが可能となる。また、矢印α方向へシャフト5
を動かす場合は、エアを抜いてばね9の反発力を利用す
る。
6、第1流入・排気口7a、第2流入・排気口7b、シ
ャフト5、ピストン8、シールリング10、ストッパ1
1、ピストンリング12およびOリング13からなる。
流入・排気口7aからエアを入れ、同時に第2流入・排
気口7bからエアを抜くと、ピストン8は矢印αの方向
へ動く。
時に第1流入・排気口7aからエアを抜けば、ピストン
8は矢印βの方向へ動く。
を近づける方向となる。したがって、吸入圧と排気圧の
それぞれを微妙に調整して図1に示す針1の動作をコン
トロールする。
動かす時、ピストン8の作動初期時にシリンダ6の下室
と上室の両方の空気圧を約6kgf/cm2 としてお
き、下室の空気圧を約6〜5〜4〜3kgf/cm2
と徐々に数段階に分けて減圧して、ピストン8を矢印β
へ、すなわち図示しない針をワークへ近づける。
上室の両方の空気圧を約3kgf/cm2 とし、上室
の空気圧を徐々に数段階に分けて3〜4〜5〜6kgf
/cm2 と上げることによっても図示しない針をワー
クへ接触させることができる。
力を約3〜4〜5〜6kgf/cm2 と徐々に上昇さ
せるのと同時にシリンダ6の下室の圧力を6〜5〜4〜
3kgf/cm2 と徐々に数段階に分けて減少させ、
シリンダ6の両方の部屋の圧力の総和を一定に保ちなが
ら、上室と下室に圧力差を持たせ、図1に示す針1をワ
ークへ接触させることができる。圧力は、数段階に分け
て変化させてもよく、また、連続的に変化させてもよ
い。
合わせて、0〜6kgf/cm2以上、または、約0〜
3kgf/cm2 以上の圧力差で1kgf/cm2 ご
とに最適なピストン8の作動のできる圧力差に設定す
る。圧力差が小さい方が図1に示す針1の微低速のコン
トロールが容易になる。
空気配管が複雑となるが、ピストン8の動作、すなわち
図1に示す針1の動作を細かく調整することができる。
抗(シリンダ6とピストンリング12などの摺動部とが
こすり合わされる場合の摩擦抵抗)が少ないのであれ
ば、シリンダ6の下室、上室のどちらか一方に所定の空
気圧をかけ、反対側の空気は、大気中に排気して復動式
エアシリンダ(ハ)を動作させ、図1に示す針1を制御
することができる。なお、針1は図1のような部位に取
り付ける以外に、シャフト(ロッド)5の真下に取り付
けたり、または、シャフト(ロッド)5の先端を所定の
形状にして針として用いることもできる。
(ロ)と復動式エアシリンダ(ハ)の共通した事項につ
いて説明する。
リンダ6の性能にもよるが、使用条件により、約1〜1
0kgf/cm2 程度または約3〜6kgf/cm2
程度が一般的である。
ズにもよるが、シリンダ6内の空気圧が所定圧力以下で
あると、シールリング10やピストンリング12などの
摺動抵抗に打ち勝てず、エアシリンダが作動不良となる
可能性がある。そのためこれらのシールリング10やピ
ストンリング12をたとえば、ポリテトラフルオロエチ
レン(PTFE)等のフッ素樹脂等の低摩擦材である自
己潤滑性樹脂材料で製作することにより、静摩擦係数や
動摩擦係数を低くし、エアシリンダの動作不良を防ぐこ
とができる。フッ素樹脂は、また、動摩擦係数よりも静
摩擦係数の方が低いという特性をもち、微動する部位に
有利であり、スティックスリップ等も発生しにくい。
ルファイト樹脂(PPS)やポリイミド樹脂(PI)や
ポリエーテルエーテルケトン樹脂(PEEK)、芳香族
ポリエステル樹脂等の耐摩耗性樹脂、黒鉛や炭素繊維等
のカーボン類や有機繊維類、ガラス繊維等の無機繊維類
等の充填材を混入してシールリング10やピストンリン
グ12の材料に使用することもできる。
の耐摩耗性の樹脂を主成分としてもよい。フッ素樹脂や
耐摩耗性の樹脂等に混合する充填材の充填量は約3〜3
3重量%の範囲の中で、約3〜15重量%ごとに充填量
を調整することもでき、2種以上の充填材を、さらに3
〜5重量%ごとに充填することもできる。また、充填材
は一種類のみならず二種類以上を混合したものを用いる
ことができる。充填材の充填量は約3重量%未満では、
充填材による効果の期待が少なく、約33重量%を超え
ると、主成分の効果の期待が少なくなる。
ることにより、耐クリープ性や耐摩耗性が向上されなが
ら、摺動特性はあまり損なわれない。ちなみにフッ素樹
脂に充填材を入れても、充填量や使用用途、条件によっ
ても異なるが、静摩擦係数は、約0.03〜0.2、動
摩擦係数は約0.08〜0.25程度と低く、摩擦特性
を低減させない。
は、エラストマー等のゴム材による弾性材のOリングに
より適度の緊迫力にて、シリンダ6に押しつけられ、ピ
ストン8とシリンダ6間は、良好な摺動性シールとして
密封でき精度よくエアシリンダを動作させることがで
き、図示しない針の制御の精度が増す。
ば、部品点数を減らすため、シールはOリング13だけ
として摺動、密封することができる。
や摩擦係数を改善するために、摺動面にグリース等の半
固形潤滑剤や油等の液体潤滑剤を塗布してもよいが、摺
動速度が速い条件下等の過酷な摺動速度でなければ上記
した自己潤滑性のある摺動材であれば、メンテナンスフ
リーとして液体潤滑剤なしで使用することもできる。
する場合に若干の抵抗となるが、摺動面に長く付着さ
れ、給油等の回数を減らすことができ、メンテナンスフ
リーに優れる。液体の潤滑剤は、粘度が低く、摺動面か
らかき落とされることも予想され、注油を必要ともする
が、微動する場合に、抵抗が少なく、低摩擦性に好まし
い。
は、それぞれ鋼、鋳鉄、アルミニウム合金、アルミの鋳
物材等を用い、ばね9は、所定のばね鋼を選択する。
なエラストマー等のゴム材の弾性体とすることもでき
る。
の軽量金属として軽くすることにより、ピストン8の作
動性をよくし、効率よく図示しない針の制御をすること
ができる。
合金、鋳物、ゴム等の材料に対して最適なシールリング
10などの摺動材を選択してエアシリンダの制御精度、
すなわち、針1の制御精度を向上させ安定した液状物質
塗布装置、修正装置および液状物質塗布方法を提供する
ことができる。
変わるが、約6kgf/cm2 以上や、約10kgf
/cm2 を超えると、空気圧供給源の図示しない過給
機や図示しないエアーコンプレッサ等に比較的大きな負
荷がかかることになることも予想されるので、注意を要
する。
り、シリンダ6内の圧力差が大きすぎたりすると、ピス
トン8の摺動速度が速くなり、図示しない針の微妙な動
作が難しくなることに注意を要する。
ング12などの摺動材にかかる負荷も大きくなり、エア
シリンダの制御、つまり、針の制御が精度よく行なわれ
なくなる点に注意を要する。
示す概略図である。図1に示されていないが別途設けら
れたインク溜部14に針1を落とし込み(状態A)、イ
ンク15を針1の先端部に付着させ、引き上げる(状態
B)。そして、ワーク2の色抜け部(欠陥除去部分)の
真上にインク15の付着した針1がくるようにワーク2
を移動させる。次に針1をワーク2に接触させ(状態
C)、さらに針1を引き上げることにより色抜け部にイ
ンク15を塗布(状態D)する。
ーク2に傷をつけるのを避けるため、針1の先端部は平
面状になっている。
示す外観斜視図である。インク溜部14は、インク溜1
6aと、開口部17が中央に形成された蓋16bとから
構成される。インクの液面低下による針1先端部のイン
クの付着量の変動を防止するため、インクの使用量に対
して十分容量が大きく、かつ、インク液面の低下の影響
が少なくなるよう、液面の表面積が大きなインク溜16
aを使用する。さらに、インクの乾燥を防ぐため、開口
部17は極力小さくなっている。
のh)が常に一定に保たれるように、インク溜16aへ
の針1の落とし込みをコントロールする。さらに、針1
の太さを変えることによっても、インクの付着量(塗布
量)を変えることができる。
まう恐れがあるため、状況によっては温度調節をする。
クを付着させ、そのインクの付着した先端部をできるだ
けワークに衝撃がかからないようにワークに接触させ、
欠陥除去部分にインクを塗布し欠陥を修正する。
めて微少なインクの塗布を微調整なしに容易に行なうこ
とができ、作業効率が向上する。また、針とワークのギ
ャップのコントロールが不要となり、ワークが大きい場
合でも困難な制御をすることなく、インクの塗布ができ
るようになる。
ンクの乾燥によるインク詰まりを防ぐことができ、イン
クを塗布する間隔が長いときでも、容易に対応できる。
使用する場合に比べコストが少なくて済む。
は、エアシリンダでなく、他の直動アクチュエータや電
磁ソレノイドを用いてもよい。
2の実施の形態による欠陥修正装置を示す外観斜視図で
ある。
支持台18および電磁ソレノイド19からなる。そし
て、インク溜16aと、開口部17が中央に形成された
蓋16bとからなるインク溜部14に入れられたインク
を針1に付着させ、ワーク2へインクの付着した針1を
接触させることにより、欠陥部へインクを塗布する。
示す概略図である。ワーク(欠陥修正対象物)2に接触
前は、先端部にインク15の付着した針1はAの状態に
なっている。そして、電磁ソレノイド(図示せず)によ
り針支持台18をワーク2に近づけていき、針1をワー
ク2に接触させる(状態B)ことにより修正液を塗布す
る。
いないため、針1がワーク2に接触した状態Bにおい
て、ワーク2には針1の自重のみがかかる。その結果、
針1によるワーク2の損傷を防ぐことができ、LCD用
カラーフィルタの生産性を向上させることができる。ま
た、図5の欠陥修正装置は、第1の実施の形態と同様の
効果を奏する。
3の実施の形態による欠陥修正装置を示す外観斜視図で
ある。
AGレーザ源20、針1、エアシリンダ3、赤、緑、
青、黒の4つのインク溜部21、XYステージ22、Z
軸テーブル23、CCDカメラ24、真空チャックテー
ブル25を備えている。
ーザ源20からのレーザ光によりワーク2上の欠陥箇所
を焼き飛ばし、その焼き飛ばした欠陥除去部分に、イン
ク溜部21でインクを先端部に付着させた針1を、接触
させインクを塗布し、欠陥を修正する。なお、針1をワ
ーク2に接触させ、また、そのときの衝撃を緩和するた
めに図1の第1の実施の形態と同様にエアシリンダ3を
設けてある。
き飛ばすYAGレーザ源20を有する欠陥除去装置と第
1の実施の形態による欠陥修正装置とを一体として備え
ているため、一連の動作で欠陥を修正する。このため、
YAGレーザ源20と欠陥修正装置とが別々に設置され
ている場合に比べ、欠陥箇所の特定の回数が少なく、1
回の特定で欠陥を修正でき、作業効率が向上する。
の形態と同様の効果を奏する。 (第4の実施の形態)第1〜3の実施の形態において
は、針状部材(針1)に、液状物質(インク)を付着さ
せ、その次に、塗布対象物(ワーク2)に、その針状部
材(針1)を接触させることにより、液状物質(イン
ク)を塗布するという工程を繰返し行なっている。この
ため、針状部材(針1)の先端に液状物質(インク)の
固りができてくる場合がある。この場合には、安定した
液状物質(インク)の塗布が困難となる。また、液状物
質(インク)の特性により異なるが、粘度が高いものほ
ど、このような状態になりやすい。
行なった場合の針の先端部の様子を示す概略図である。
なお、図3と同様の部分について同一の参照符号を付
し、その説明を適宜省略する。
ーク2に塗布した後において、針1の先端にインク15
が付着している様子を示す図である。図8(b)は、針
1を用いて、インク15の塗布を、繰返し行なった後の
針1の先端部の様子を示す図である。図8(b)に示す
ように、針1の先端部には、インク15を塗布した後の
インク15の残りが固りとなっている。
た場合において、インクが塗布される様子を示す図であ
る。
クが塗布されたワークを上から見た場合を示している。
矢印Aで示す塗布されたインクは、1回目の塗布により
行なわれたものである。そして、針によるインクの塗布
を繰返し行なうと、インクの塗布量が少なくなっていく
(図9の右に行くほどインクの塗布量が少なくなってい
る)。また、繰返しインクの塗布を行なうと、インクの
塗布量は少なくなっていくが、その反対に、針に残留す
るインクの量は多くなっていく。
し行なう場合には、針の先端部のインクの固りにより、
インクの塗布が不安定になる。第4の実施の形態は、こ
のような問題を解決し、インクの塗布を繰返し行なって
も、安定なインクの塗布ができる欠陥修正装置および欠
陥修正方法を提供する。
る欠陥修正装置を示す外観斜視図である。なお、図5と
同様の部分については同一の参照符号を付しその説明を
適宜省略する。
る欠陥修正装置は、針1、インク溜部14、針支持台1
8、電磁ソレノイド19、XYテーブル22および溶液
溜部40を含む。XYテーブル(移動テーブル)22の
上には、ワーク2がある。すなわち、図10の欠陥修正
装置は、図5の欠陥修正装置において、針1を洗浄する
ための溶液溜部40をさらに設けたものである。
ド19により上下する機構を有する。インク溜部14
は、XYステージ22により針1の下に移動する。そし
て、針1を下降させ、インク溜部14のインクを付着さ
せる。インクを付着させた後、針1は上昇する。
が針1の下に移動する。そして、針1が下降し、ワーク
2にインクを塗布する。
により、溶液溜部40が針1の下に移動する。そして、
針1が下降し、針1の先端を、溶液溜部40の溶液に浸
し、針1の先端に付着したインクの残りを除去する。な
お、溶液溜部40には、インクの付着した針1を洗浄す
るための溶液が入れてある。
レノイド19が1回の動作では(1回針1を溶液溜部4
0の溶液に浸すだけでは)、針1の先端に残ったインク
を除去できない場合がある。この場合には、数回電磁ソ
レノイド19を動作させる(数回針1を溶液溜部40の
溶液に浸し、針1を洗浄する)。
1の実施の形態で説明したようなエアシリンダを用いる
こともできる。
を洗浄する様子を示す概略図である。なお、図8および
図10と同様の部分については同一の参照符号を付しそ
の説明を適宜省略する。
を、ワーク2に塗布した後の様子を示している。図11
(b)は、針1によりインクを塗布した後、溶液溜部4
0に入れてある溶液41に、インクの付着した針1を浸
す様子を示している。図11(c)は、溶液溜部40の
溶液41により針1が洗浄され、針1に付着したインク
の残りが除去された様子を示している。
による欠陥修正装置においては、針1によりインクを塗
布した後、インクの付着した針1を洗浄し、付着したイ
ンクを除去している。このため、塗布回数が増加して
も、針1の先端は清浄な状態であり、安定したインクの
塗布が可能となる。また、同様の理由により、インクを
塗布する際に、修正液の特性(粘度、揮発性など)によ
る影響を受けにくい。
め、第2の実施の形態と同様の効果をも奏する。
修正装置および欠陥修正方法は、液晶産業の製造工程な
どで利用することができる。すなわち、カラーフィルタ
の白抜けまたは欠陥等の修正のために用いることができ
る。
スペンサではなく、ワーク上の欠陥を特定し、微細な欠
陥の修正に適した極微量の修正液が先端に付着した針部
材をワークの欠陥の特定された位置にできるだけ衝撃を
与えないように接触させることにより、修正液を塗布し
て欠陥を修正し、一定の間隔で針部材を洗浄することに
より、塗布対象部を傷つけることなく、極めて微少な修
正液の塗布を微調整なしに容易に行なうことができ、作
業効率が向上する。また、針部材と欠陥修正部とのギャ
ップのコントロールが不要となり、塗布対象物が大きい
場合でも、困難な制御をすることなく、修正液を塗布す
ることができる。
使用する場合に比べ、装置も安価でニードルやシリンジ
等の消耗品もないため、コストが少なくて済む。
着した針部材を洗浄するため、修正液の塗布回数が増加
しても、針部材の先端を清浄な状態に保つことができ
る。その結果、安定した修正液の塗布が可能となる。
することにより、欠陥修正のための作業効率が向上す
る。
置を示す概略図である。
および復動式エアシリンダを示す概略図である。
工程を示す概略図である。
溜部を示す外観斜視図である。
置を示す外観斜視図である。
を示す概略図である。
置を示す外観斜視図である。
いて、針の先端部の様子を示す概略図である。
いて、塗布されたインクの量が減少する様子を示す図で
ある。
装置を示す外観斜視図である。
す概略図である。
視図である。
成を模式的に示す図である。
いて、微少なインクの滴下を行なおうとする際のディス
ペンサのニードルの先端部の様子を模式的に示す図であ
る。
いて、微少なインクの滴下を行なったときのディスペン
サのニードルの先端部の様子を模式的に示す図である。
ードル内にインクが乾燥して詰まった状態を模式的に示
す図である。
ンダ(駆動・接触手段)、4 圧力・流量調整およびエ
ア供給手段(レギュレータ)、5 シャフト(ロッ
ド)、6 シリンダ、7 流入・排出口、7a 第1流
入・排出口、7b第2流入・排出口、8 ピストン、9
ばね、10 シールリング(リップシール)、11
ストッパ、12 ピストンリング、13 Oリング、1
4,21インク溜部、15 インク、16a インク
溜、16b 蓋、17 開口部、18 針支持台、19
電磁ソレノイド(駆動・接触手段)、20 YAGレ
ーザ源、22 XYテーブル、23 Z軸テーブル、2
4 CCDカメラ、25 真空チャックテーブル、26
ディスペンサ、27 コントローラ、28 シリン
ジ、29 ニードル、30a 第1ガイド、30b 第
2ガイド、40 溶液溜部、41 溶液。
Claims (4)
- 【請求項1】 修正液によりワーク上の微細な欠陥を修
正する欠陥修正方法であって、 前記ワーク上の欠陥を特定するステップと、 針部材の先端部に微細な欠陥の修正に適した極微量の修
正液を付着させるステップと、 前記修正液の付着した針部材の先端部と前記ワークの欠
陥の特定された位置とを精度高く位置決めするステップ
と、 前記ワークの欠陥に前記針部材の先端部を接触させ、前
記極微量の修正液を塗布して欠陥を修正するステップ
と、 一定の間隔で前記針部材を洗浄するステップとを含むこ
とを特徴とする、欠陥修正方法。 - 【請求項2】 さらに、前記欠陥を除去するステップを
含むことを特徴とする、請求項1に記載の欠陥修正方
法。 - 【請求項3】 前記欠陥の除去はレーザ光を用いて行う
ことを特徴とする、請求項2に記載の欠陥修正方法。 - 【請求項4】 修正液によりワークの微細な欠陥を修正
する欠陥修正装置であって、 前記ワーク上の欠陥を特定する欠陥特定手段と、 前記欠陥を修正するための修正液を溜めておくための修
正液溜部と、 その先端部が平坦状に形成された針部材であって、前記
先端部と前記修正液溜部との接触により微細な欠陥を修
正するに適した極微量の修正液を前記先端部に付着させ
ることができる針部材と、前記先端部を前記修正液溜部の修正液に接触させて前記
極微量の修正液を前記先端部に付着させると共に、 前記
針部材と前記ワークの欠陥の特定された位置とを精度高
く位置決めし、前記ワークの欠陥に前記針部材の先端部
を接触させ、前記極微量の修正液を前記欠陥の特定され
た位置に塗布する移動手段と、 一定の間隔で前記針部材を洗浄する洗浄手段とを備えた
ことを特徴とする、欠陥修正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000320263A JP3381911B2 (ja) | 1994-10-31 | 2000-10-20 | 欠陥修正方法および欠陥修正装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26750494 | 1994-10-31 | ||
JP6-267504 | 1994-10-31 | ||
JP2000320263A JP3381911B2 (ja) | 1994-10-31 | 2000-10-20 | 欠陥修正方法および欠陥修正装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21884995A Division JPH08182949A (ja) | 1994-10-31 | 1995-08-28 | 液状物質塗布装置、液状物質塗布方法および修正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001166129A JP2001166129A (ja) | 2001-06-22 |
JP3381911B2 true JP3381911B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=26547904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000320263A Expired - Lifetime JP3381911B2 (ja) | 1994-10-31 | 2000-10-20 | 欠陥修正方法および欠陥修正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3381911B2 (ja) |
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JP6134181B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-05-24 | 住友理工株式会社 | スライドドアストッパ |
-
2000
- 2000-10-20 JP JP2000320263A patent/JP3381911B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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