JP3381911B2 - 欠陥修正方法および欠陥修正装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、欠陥修正方法お
よび欠陥修正装置に関し、特に、液晶産業における液晶
表示装置（ＬＣＤ）用カラーフィルタの色抜け欠陥を修
正するための欠陥修正方法および欠陥修正装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥を修正す
るための欠陥修正装置は、たとえば、実開平６−５８１
８７号公報、特開平６−１０９９１９号公報、特開平５
−８８１９１号公報、特開平６−２７４７９号公報に開
示されている。

【０００３】図１２は、このような従来のＬＣＤ用カラ
ーフィルタ修正装置の一例の構成を示す外観斜視図であ
る。

【０００４】図１２において、従来のＬＣＤ用カラーフ
ィルタの修正装置は、ＸＹテーブル２２上に欠陥修正対
象物（ワーク）２を真空チャックテーブル２５によって
固定し、ＣＣＤカメラ２４により欠陥位置を検出する。
次に修正装置は、欠陥位置にＹＡＧレーザ源２０からレ
ーザ光を照射して欠陥箇所を焼き飛ばす。

【０００５】さらに、修正装置は、焼き飛ばしたことに
より生じたカラーフィルタの色抜け部にディスペンサ２
６で修正液を塗布し、欠陥を修正する。

【０００６】図１３は、図１２に示したディスペンサ２
６の構成を模式的に示す図である。図１３において、修
正液を塗布するディスペンサ２６は、コントローラ２７
によって、シリンジ２８内に、一定時間、一定圧力をか
けることにより、ニードル２９先端から、一定量の修正
液を吐出していた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のディスペンサは
上述のように構成されていたため、微少量を吐出する場
合、圧力および圧力印加時間の条件設定は、かなりの時
間を要するという問題点があった。さらに、シリンジ２
８内の修正液残量が変わると、吐出量も変わってしま
い、そのたびに、条件設定が必要となり、作業効率が悪
いという問題点があった。

【０００８】図１４は、微少なインクの滴下を行なおう
とする際のディスペンサ２６のニードル２９の先端部の
様子を模式的に示す図であり、図１５は、ディスペンサ
を用いて微少なインクの滴下を行なったときのディスペ
ンサ２６のニードル２９の先端部の様子を模式的に示す
図である。

【０００９】図１４に示すように、塗布量が少ないと、
表面張力により修正液の自重のみではニードル２９先端
から修正液が離れない（Ｅ）。したがって、図１５に示
すように、塗布中の修正液を、欠陥修正対象物に落とす
ためには、修正液が欠陥修正対象物に付着するように、
ニードル２９と欠陥修正対象物とのギャップａを微妙に
コントロールする必要があった。このギャップａは、極
めて微小なため欠陥修正対象物が大きい場合、欠陥修正
対象物の撓みを考慮に入れなければならず、広範囲にわ
たって常に一定のギャップを維持する必要があり、制御
が困難という問題点があった。

【００１０】特に、修正液が微量になればなるほど、修
正液がニードル２９先端から離れ難くなるため、ディス
ペンサ２６での極微量の修正液の塗布は、困難という問
題点があった。

【００１１】図１６は、ディスペンサのニードル２９内
でインクが乾燥して詰まった状態を模式的に示す図であ
る。

【００１２】修正液の吐出の間隔が比較的長い場合は、
図１６に示すようにディスペンサ２６のニードル２９先
端に付着している修正液が、１回の吐出から次の吐出の
間に乾燥していた。このため、ニードル２９が詰まって
しまい吐出不能になるという問題点があった。

【００１３】さらに、従来のディスペンサは、高価なう
えに、シリンジ２８やニードル２９等の修正液が付着す
る部分は、消耗品のため、ある程度使用したら取り替え
が必要であった。このため、コストが高くなるという問
題点があった。

【００１４】この発明は、以上のような問題点を解決す
るためになされたもので、高価なディスペンサを用いる
ことなく、ＬＣＤ用カラーフィルタの色抜け欠陥のごと
くワークの微細な欠陥を修正する欠陥修正方法および欠
陥修正装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】修正液によりワーク上の
微細な欠陥を修正する欠陥修正方法であって、ワーク上
の欠陥を特定するステップと、針部材の先端部に微細な
欠陥の修正に適した極微量の修正液を付着させるステッ
プと、修正液の付着した針部材の先端部と前記ワークの
欠陥の特定された位置とを精度高く位置決めするステッ
プと、ワークの欠陥に針部材の先端部を接触させ、極微
量の修正液を塗布して欠陥を修正するステップと、一定
の間隔で前記針部材を洗浄するステップとを含むことを
特徴とする。

【００１６】これにより、この発明では、ディスペンサ
ではなく、修正液が先端に付着した針部材を色抜け欠陥
部に接触させることにより修正液を塗布するため、極微
量の修正液の塗布が可能となるとともに、針部材と色抜
け欠陥部とのギャップのコントロールも不要となる。

【００１７】さらに、欠陥を除去するステップを含むこ
とを特徴とする。このように、欠陥を除去することによ
り、より好ましくはレーザ光により欠陥を除去すること
により、欠陥修正のための作業効率が向上する。

【００１８】さらに、他の発明は修正液によりワークの
微細な欠陥を修正する欠陥修正装置であって、ワーク上
の欠陥を特定する欠陥特定手段と、欠陥を修正するため
の修正液を溜めておくための修正液溜部と、その先端部
が平坦状に形成された針部材であって、前記先端部と前
記修正液溜部との接触により微細な欠陥を修正するに適
した極微量の修正液を前記先端部に付着させることがで
きる針部材と、前記先端部を前記修正液溜部の修正液に
接触させて前記極微量の修正液を前記先端部に付着させ
ると共に、前記針部材と前記ワークの欠陥の特定された
位置とを精度高く位置決めし、前記ワークの欠陥に前記
針部材の先端部を接触させ、前記極微量の修正液を前記
欠陥の特定された位置に塗布する移動手段と、一定の間
隔で前記針部材を洗浄する洗浄手段とを備えたことを特
徴とする。

【００１９】これにより、修正液を欠陥に塗布した後、
針部材の先端部を溶液を用いて洗浄するため、塗布回数
が増加しても、針部材の先端部を清浄な状態に保つこと
ができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明による欠陥修正方法
および修正装置について図面を参照しながら説明する。

【００２１】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態による欠陥修正装置を示す概略図であ
る。図１において、欠陥修正装置は、修正液を塗布する
針１と、針１とワーク（欠陥修正対象物）２とを接触さ
せ、また接触時のワーク２への衝撃を緩和するエアシリ
ンダ３とからなり、さらに、ワーク２への針１の接触手
段は、エアシリンダ３、圧力・流量調整およびエア供給
手段（レギュレータ）４、針１の位置決め精度を高くす
るための第１ガイド３０ａ、第２ガイド３０ｂとを備
え、エアシリンダ３はシャフト５を含む。修正液の塗布
は、修正液を先端部に付着させた針１をワーク２に接触
させることにより行なう。エアシリンダ３としては単動
式エアシリンダまた復動式エアシリンダを用いる。

【００２２】図２は、単動式エアシリンダ（イ）、
（ロ）、復動式エアシリンダ（ハ）を示す概略図であ
る。単動式エアシリンダ（イ）および（ロ）は、シリン
ダ６、流入・排気口７、シャフト５、ピストン８、ばね
９、シールリング１０、ストッパ１１、ピストンリング
１２およびＯリング１３からなる。

【００２３】単動式エアシリンダ（イ）において、エア
を流入・排気口７からシリンダ６内に入れ、空気圧がば
ね９の反発力よりも大きな圧力になるとピストン８は、
ばね９の力に打ち勝って、矢印α方向へ動く。

【００２４】エアを抜くと、ばね９は伸びるのでピスト
ン８は矢印βの方向へ動く。矢印βの方向が図１に示す
ワーク２へ針１を近づける方向となる。

【００２５】以上のことから、単動式エアシリンダ
（イ）および（ロ）は、図示しないエアの配管が１本で
すみ、複雑な空気配管や電磁弁等による制御が必要でな
く、ばね９のばね定数を適度に定めることにより、ピス
トン８の動作速度（図１の針１の落とし込み速度）を設
定する。

【００２６】単動式エアシリンダ（ロ）において、図１
に示す針１をワーク２に近づける場合（矢印β方向に動
かす）は、空気を流入・排気口７からシリンダ６内に入
れてシャフト５を動かす。すなわち、空気圧がばね９の
反発力よりも大きな圧力になるとピストン８は、ばね９
の力に打ち勝って、矢印Ｂ方向へ動く。

【００２７】このとき、空気の圧力や流量をコントロー
ルすることにより、図１に示す針１の微妙な動作のコン
トロールが可能となる。また、矢印α方向へシャフト５
を動かす場合は、エアを抜いてばね９の反発力を利用す
る。

【００２８】復動式エアシリンダ（ハ）は、シリンダ
６、第１流入・排気口７ａ、第２流入・排気口７ｂ、シ
ャフト５、ピストン８、シールリング１０、ストッパ１
１、ピストンリング１２およびＯリング１３からなる。

【００２９】復動式エアシリンダ（ハ）において、第１
流入・排気口７ａからエアを入れ、同時に第２流入・排
気口７ｂからエアを抜くと、ピストン８は矢印αの方向
へ動く。

【００３０】第２流入・排気口７ｂからエアを入れ、同
時に第１流入・排気口７ａからエアを抜けば、ピストン
８は矢印βの方向へ動く。

【００３１】矢印βの方向が図１に示すワーク２へ針１
を近づける方向となる。したがって、吸入圧と排気圧の
それぞれを微妙に調整して図１に示す針１の動作をコン
トロールする。

【００３２】たとえば、図２で、ピストン８を矢印βへ
動かす時、ピストン８の作動初期時にシリンダ６の下室
と上室の両方の空気圧を約６ｋｇｆ／ｃｍ２ としてお
き、下室の空気圧を約６〜５〜４〜３ｋｇｆ／ｃｍ２
と徐々に数段階に分けて減圧して、ピストン８を矢印β
へ、すなわち図示しない針をワークへ近づける。

【００３３】さらに、作動初期時にシリンダ６の下室と
上室の両方の空気圧を約３ｋｇｆ／ｃｍ２ とし、上室
の空気圧を徐々に数段階に分けて３〜４〜５〜６ｋｇｆ
／ｃｍ２ と上げることによっても図示しない針をワー
クへ接触させることができる。

【００３４】また、別の例としてシリンダ６の上室の圧
力を約３〜４〜５〜６ｋｇｆ／ｃｍ２ と徐々に上昇さ
せるのと同時にシリンダ６の下室の圧力を６〜５〜４〜
３ｋｇｆ／ｃｍ２ と徐々に数段階に分けて減少させ、
シリンダ６の両方の部屋の圧力の総和を一定に保ちなが
ら、上室と下室に圧力差を持たせ、図１に示す針１をワ
ークへ接触させることができる。圧力は、数段階に分け
て変化させてもよく、また、連続的に変化させてもよ
い。

【００３５】また、たとえば、この圧力差を使用条件に
合わせて、０〜６ｋｇｆ／ｃｍ２以上、または、約０〜
３ｋｇｆ／ｃｍ２ 以上の圧力差で１ｋｇｆ／ｃｍ２ ご
とに最適なピストン８の作動のできる圧力差に設定す
る。圧力差が小さい方が図１に示す針１の微低速のコン
トロールが容易になる。

【００３６】復動式エアシリンダ（ハ）は、図示しない
空気配管が複雑となるが、ピストン８の動作、すなわち
図１に示す針１の動作を細かく調整することができる。

【００３７】ピストンリング１２などの摺動部の摺動抵
抗（シリンダ６とピストンリング１２などの摺動部とが
こすり合わされる場合の摩擦抵抗）が少ないのであれ
ば、シリンダ６の下室、上室のどちらか一方に所定の空
気圧をかけ、反対側の空気は、大気中に排気して復動式
エアシリンダ（ハ）を動作させ、図１に示す針１を制御
することができる。なお、針１は図１のような部位に取
り付ける以外に、シャフト（ロッド）５の真下に取り付
けたり、または、シャフト（ロッド）５の先端を所定の
形状にして針として用いることもできる。

【００３８】次に、単動式エアシリンダ（イ）および
（ロ）と復動式エアシリンダ（ハ）の共通した事項につ
いて説明する。

【００３９】シリンダ６内の空気圧は、ピストン８、シ
リンダ６の性能にもよるが、使用条件により、約１〜１
０ｋｇｆ／ｃｍ２ 程度または約３〜６ｋｇｆ／ｃｍ２
程度が一般的である。

【００４０】使用条件やピストン８とシリンダ６のサイ
ズにもよるが、シリンダ６内の空気圧が所定圧力以下で
あると、シールリング１０やピストンリング１２などの
摺動抵抗に打ち勝てず、エアシリンダが作動不良となる
可能性がある。そのためこれらのシールリング１０やピ
ストンリング１２をたとえば、ポリテトラフルオロエチ
レン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂等の低摩擦材である自
己潤滑性樹脂材料で製作することにより、静摩擦係数や
動摩擦係数を低くし、エアシリンダの動作不良を防ぐこ
とができる。フッ素樹脂は、また、動摩擦係数よりも静
摩擦係数の方が低いという特性をもち、微動する部位に
有利であり、スティックスリップ等も発生しにくい。

【００４１】また、このフッ素樹脂にポリフェニレンサ
ルファイト樹脂（ＰＰＳ）やポリイミド樹脂（ＰＩ）や
ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）、芳香族
ポリエステル樹脂等の耐摩耗性樹脂、黒鉛や炭素繊維等
のカーボン類や有機繊維類、ガラス繊維等の無機繊維類
等の充填材を混入してシールリング１０やピストンリン
グ１２の材料に使用することもできる。

【００４２】フッ素樹脂を固形潤滑用充填材とし、上記
の耐摩耗性の樹脂を主成分としてもよい。フッ素樹脂や
耐摩耗性の樹脂等に混合する充填材の充填量は約３〜３
３重量％の範囲の中で、約３〜１５重量％ごとに充填量
を調整することもでき、２種以上の充填材を、さらに３
〜５重量％ごとに充填することもできる。また、充填材
は一種類のみならず二種類以上を混合したものを用いる
ことができる。充填材の充填量は約３重量％未満では、
充填材による効果の期待が少なく、約３３重量％を超え
ると、主成分の効果の期待が少なくなる。

【００４３】フッ素樹脂にこのような充填材を混入させ
ることにより、耐クリープ性や耐摩耗性が向上されなが
ら、摺動特性はあまり損なわれない。ちなみにフッ素樹
脂に充填材を入れても、充填量や使用用途、条件によっ
ても異なるが、静摩擦係数は、約０．０３〜０．２、動
摩擦係数は約０．０８〜０．２５程度と低く、摩擦特性
を低減させない。

【００４４】シールリング１０などの摺動性のリング
は、エラストマー等のゴム材による弾性材のＯリングに
より適度の緊迫力にて、シリンダ６に押しつけられ、ピ
ストン８とシリンダ６間は、良好な摺動性シールとして
密封でき精度よくエアシリンダを動作させることがで
き、図示しない針の制御の精度が増す。

【００４５】過酷な使用条件下で使用するのでなけれ
ば、部品点数を減らすため、シールはＯリング１３だけ
として摺動、密封することができる。

【００４６】シールリング１０などの摺動部の耐摩耗性
や摩擦係数を改善するために、摺動面にグリース等の半
固形潤滑剤や油等の液体潤滑剤を塗布してもよいが、摺
動速度が速い条件下等の過酷な摺動速度でなければ上記
した自己潤滑性のある摺動材であれば、メンテナンスフ
リーとして液体潤滑剤なしで使用することもできる。

【００４７】半固形の潤滑剤は、粘りがあるので、微動
する場合に若干の抵抗となるが、摺動面に長く付着さ
れ、給油等の回数を減らすことができ、メンテナンスフ
リーに優れる。液体の潤滑剤は、粘度が低く、摺動面か
らかき落とされることも予想され、注油を必要ともする
が、微動する場合に、抵抗が少なく、低摩擦性に好まし
い。

【００４８】ピストン８、シリンダ６、ストッパ１１等
は、それぞれ鋼、鋳鉄、アルミニウム合金、アルミの鋳
物材等を用い、ばね９は、所定のばね鋼を選択する。

【００４９】また、ストッパ１１はＯリング１３のよう
なエラストマー等のゴム材の弾性体とすることもでき
る。

【００５０】微妙に作動させるピストン８は、アルミ等
の軽量金属として軽くすることにより、ピストン８の作
動性をよくし、効率よく図示しない針の制御をすること
ができる。

【００５１】上記したシリンダ６などの材料である鋼、
合金、鋳物、ゴム等の材料に対して最適なシールリング
１０などの摺動材を選択してエアシリンダの制御精度、
すなわち、針１の制御精度を向上させ安定した液状物質
塗布装置、修正装置および液状物質塗布方法を提供する
ことができる。

【００５２】シリンダ６内の空気圧が、使用条件により
変わるが、約６ｋｇｆ／ｃｍ２ 以上や、約１０ｋｇｆ
／ｃｍ２ を超えると、空気圧供給源の図示しない過給
機や図示しないエアーコンプレッサ等に比較的大きな負
荷がかかることになることも予想されるので、注意を要
する。

【００５３】また、シリンダ６内の空気圧が高すぎた
り、シリンダ６内の圧力差が大きすぎたりすると、ピス
トン８の摺動速度が速くなり、図示しない針の微妙な動
作が難しくなることに注意を要する。

【００５４】また、摺動速度が速くなると、ピストンリ
ング１２などの摺動材にかかる負荷も大きくなり、エア
シリンダの制御、つまり、針の制御が精度よく行なわれ
なくなる点に注意を要する。

【００５５】図３は、図１の欠陥修正装置の作動工程を
示す概略図である。図１に示されていないが別途設けら
れたインク溜部１４に針１を落とし込み（状態Ａ）、イ
ンク１５を針１の先端部に付着させ、引き上げる（状態
Ｂ）。そして、ワーク２の色抜け部（欠陥除去部分）の
真上にインク１５の付着した針１がくるようにワーク２
を移動させる。次に針１をワーク２に接触させ（状態
Ｃ）、さらに針１を引き上げることにより色抜け部にイ
ンク１５を塗布（状態Ｄ）する。

【００５６】針１とワーク２の接触時（状態Ｃ）に、ワ
ーク２に傷をつけるのを避けるため、針１の先端部は平
面状になっている。

【００５７】図４は、インク溜部１４の構成を概略的に
示す外観斜視図である。インク溜部１４は、インク溜１
６ａと、開口部１７が中央に形成された蓋１６ｂとから
構成される。インクの液面低下による針１先端部のイン
クの付着量の変動を防止するため、インクの使用量に対
して十分容量が大きく、かつ、インク液面の低下の影響
が少なくなるよう、液面の表面積が大きなインク溜１６
ａを使用する。さらに、インクの乾燥を防ぐため、開口
部１７は極力小さくなっている。

【００５８】また、針１先端部のインクの付着量（図３
のｈ）が常に一定に保たれるように、インク溜１６ａへ
の針１の落とし込みをコントロールする。さらに、針１
の太さを変えることによっても、インクの付着量（塗布
量）を変えることができる。

【００５９】また周辺温度の影響でインクが乾燥してし
まう恐れがあるため、状況によっては温度調節をする。

【００６０】以上により、先端部が平面状の針に、イン
クを付着させ、そのインクの付着した先端部をできるだ
けワークに衝撃がかからないようにワークに接触させ、
欠陥除去部分にインクを塗布し欠陥を修正する。

【００６１】その結果、ワークを傷つけることなく、極
めて微少なインクの塗布を微調整なしに容易に行なうこ
とができ、作業効率が向上する。また、針とワークのギ
ャップのコントロールが不要となり、ワークが大きい場
合でも困難な制御をすることなく、インクの塗布ができ
るようになる。

【００６２】さらに、ディスペンサのニードル内でのイ
ンクの乾燥によるインク詰まりを防ぐことができ、イン
クを塗布する間隔が長いときでも、容易に対応できる。

【００６３】また、構造が簡単なため、ディスペンサを
使用する場合に比べコストが少なくて済む。

【００６４】また、ワークへの落とし込みや衝撃緩和
は、エアシリンダでなく、他の直動アクチュエータや電
磁ソレノイドを用いてもよい。

【００６５】（第２の実施の形態）図５は、本発明の第
２の実施の形態による欠陥修正装置を示す外観斜視図で
ある。

【００６６】図５において、欠陥修正装置は、針１、針
支持台１８および電磁ソレノイド１９からなる。そし
て、インク溜１６ａと、開口部１７が中央に形成された
蓋１６ｂとからなるインク溜部１４に入れられたインク
を針１に付着させ、ワーク２へインクの付着した針１を
接触させることにより、欠陥部へインクを塗布する。

【００６７】図６は、図５の欠陥修正装置の作動工程を
示す概略図である。ワーク（欠陥修正対象物）２に接触
前は、先端部にインク１５の付着した針１はＡの状態に
なっている。そして、電磁ソレノイド（図示せず）によ
り針支持台１８をワーク２に近づけていき、針１をワー
ク２に接触させる（状態Ｂ）ことにより修正液を塗布す
る。

【００６８】ここで、針１は針支持台１８に固定されて
いないため、針１がワーク２に接触した状態Ｂにおい
て、ワーク２には針１の自重のみがかかる。その結果、
針１によるワーク２の損傷を防ぐことができ、ＬＣＤ用
カラーフィルタの生産性を向上させることができる。ま
た、図５の欠陥修正装置は、第１の実施の形態と同様の
効果を奏する。

【００６９】（第３の実施の形態）図７は、本発明の第
３の実施の形態による欠陥修正装置を示す外観斜視図で
ある。

【００７０】図７において、修正装置は、主として、Ｙ
ＡＧレーザ源２０、針１、エアシリンダ３、赤、緑、
青、黒の４つのインク溜部２１、ＸＹステージ２２、Ｚ
軸テーブル２３、ＣＣＤカメラ２４、真空チャックテー
ブル２５を備えている。

【００７１】ワーク２上の欠陥箇所の特定後、ＹＡＧレ
ーザ源２０からのレーザ光によりワーク２上の欠陥箇所
を焼き飛ばし、その焼き飛ばした欠陥除去部分に、イン
ク溜部２１でインクを先端部に付着させた針１を、接触
させインクを塗布し、欠陥を修正する。なお、針１をワ
ーク２に接触させ、また、そのときの衝撃を緩和するた
めに図１の第１の実施の形態と同様にエアシリンダ３を
設けてある。

【００７２】以上のように第３の実施の形態は欠陥を焼
き飛ばすＹＡＧレーザ源２０を有する欠陥除去装置と第
１の実施の形態による欠陥修正装置とを一体として備え
ているため、一連の動作で欠陥を修正する。このため、
ＹＡＧレーザ源２０と欠陥修正装置とが別々に設置され
ている場合に比べ、欠陥箇所の特定の回数が少なく、１
回の特定で欠陥を修正でき、作業効率が向上する。

【００７３】また、図７の欠陥修正装置は、第１の実施
の形態と同様の効果を奏する。 （第４の実施の形態）第１〜３の実施の形態において
は、針状部材（針１）に、液状物質（インク）を付着さ
せ、その次に、塗布対象物（ワーク２）に、その針状部
材（針１）を接触させることにより、液状物質（イン
ク）を塗布するという工程を繰返し行なっている。この
ため、針状部材（針１）の先端に液状物質（インク）の
固りができてくる場合がある。この場合には、安定した
液状物質（インク）の塗布が困難となる。また、液状物
質（インク）の特性により異なるが、粘度が高いものほ
ど、このような状態になりやすい。

【００７４】図８は、針を用いてインクの塗布を繰返し
行なった場合の針の先端部の様子を示す概略図である。
なお、図３と同様の部分について同一の参照符号を付
し、その説明を適宜省略する。

【００７５】図８（ａ）は、インク１５を針１によりワ
ーク２に塗布した後において、針１の先端にインク１５
が付着している様子を示す図である。図８（ｂ）は、針
１を用いて、インク１５の塗布を、繰返し行なった後の
針１の先端部の様子を示す図である。図８（ｂ）に示す
ように、針１の先端部には、インク１５を塗布した後の
インク１５の残りが固りとなっている。

【００７６】図９は、針を用いてインクを繰返し塗布し
た場合において、インクが塗布される様子を示す図であ
る。

【００７７】図９を参照して、●はインクを示し、イン
クが塗布されたワークを上から見た場合を示している。
矢印Ａで示す塗布されたインクは、１回目の塗布により
行なわれたものである。そして、針によるインクの塗布
を繰返し行なうと、インクの塗布量が少なくなっていく
（図９の右に行くほどインクの塗布量が少なくなってい
る）。また、繰返しインクの塗布を行なうと、インクの
塗布量は少なくなっていくが、その反対に、針に残留す
るインクの量は多くなっていく。

【００７８】このように、針によるインクの塗布を繰返
し行なう場合には、針の先端部のインクの固りにより、
インクの塗布が不安定になる。第４の実施の形態は、こ
のような問題を解決し、インクの塗布を繰返し行なって
も、安定なインクの塗布ができる欠陥修正装置および欠
陥修正方法を提供する。

【００７９】図１０は、本発明の第４の実施の形態によ
る欠陥修正装置を示す外観斜視図である。なお、図５と
同様の部分については同一の参照符号を付しその説明を
適宜省略する。

【００８０】図１０を参照して、第４の実施の形態によ
る欠陥修正装置は、針１、インク溜部１４、針支持台１
８、電磁ソレノイド１９、ＸＹテーブル２２および溶液
溜部４０を含む。ＸＹテーブル（移動テーブル）２２の
上には、ワーク２がある。すなわち、図１０の欠陥修正
装置は、図５の欠陥修正装置において、針１を洗浄する
ための溶液溜部４０をさらに設けたものである。

【００８１】図１０を参照して、針１は、電磁ソレノイ
ド１９により上下する機構を有する。インク溜部１４
は、ＸＹステージ２２により針１の下に移動する。そし
て、針１を下降させ、インク溜部１４のインクを付着さ
せる。インクを付着させた後、針１は上昇する。

【００８２】次に、ＸＹステージ２２により、ワーク２
が針１の下に移動する。そして、針１が下降し、ワーク
２にインクを塗布する。

【００８３】次に、針１は、上昇し、ＸＹステージ２２
により、溶液溜部４０が針１の下に移動する。そして、
針１が下降し、針１の先端を、溶液溜部４０の溶液に浸
し、針１の先端に付着したインクの残りを除去する。な
お、溶液溜部４０には、インクの付着した針１を洗浄す
るための溶液が入れてある。

【００８４】また、インクの粘度が高い場合は、電磁ソ
レノイド１９が１回の動作では（１回針１を溶液溜部４
０の溶液に浸すだけでは）、針１の先端に残ったインク
を除去できない場合がある。この場合には、数回電磁ソ
レノイド１９を動作させる（数回針１を溶液溜部４０の
溶液に浸し、針１を洗浄する）。

【００８５】なお、電磁ソレノイド１９のかわりに、第
１の実施の形態で説明したようなエアシリンダを用いる
こともできる。

【００８６】図１１は、図１０の針１に付着したインク
を洗浄する様子を示す概略図である。なお、図８および
図１０と同様の部分については同一の参照符号を付しそ
の説明を適宜省略する。

【００８７】図１１（ａ）は、針１によりインク１５
を、ワーク２に塗布した後の様子を示している。図１１
（ｂ）は、針１によりインクを塗布した後、溶液溜部４
０に入れてある溶液４１に、インクの付着した針１を浸
す様子を示している。図１１（ｃ）は、溶液溜部４０の
溶液４１により針１が洗浄され、針１に付着したインク
の残りが除去された様子を示している。

【００８８】以上のように、本発明の第４の実施の形態
による欠陥修正装置においては、針１によりインクを塗
布した後、インクの付着した針１を洗浄し、付着したイ
ンクを除去している。このため、塗布回数が増加して
も、針１の先端は清浄な状態であり、安定したインクの
塗布が可能となる。また、同様の理由により、インクを
塗布する際に、修正液の特性（粘度、揮発性など）によ
る影響を受けにくい。

【００８９】また、図５と同様の構成を有しているた
め、第２の実施の形態と同様の効果をも奏する。

【００９０】なお、第１〜第４の実施の形態による欠陥
修正装置および欠陥修正方法は、液晶産業の製造工程な
どで利用することができる。すなわち、カラーフィルタ
の白抜けまたは欠陥等の修正のために用いることができ
る。

【００９１】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ディ
スペンサではなく、ワーク上の欠陥を特定し、微細な欠
陥の修正に適した極微量の修正液が先端に付着した針部
材をワークの欠陥の特定された位置にできるだけ衝撃を
与えないように接触させることにより、修正液を塗布し
て欠陥を修正し、一定の間隔で針部材を洗浄することに
より、塗布対象部を傷つけることなく、極めて微少な修
正液の塗布を微調整なしに容易に行なうことができ、作
業効率が向上する。また、針部材と欠陥修正部とのギャ
ップのコントロールが不要となり、塗布対象物が大きい
場合でも、困難な制御をすることなく、修正液を塗布す
ることができる。

【００９２】また、構造が簡単なため、ディスペンサを
使用する場合に比べ、装置も安価でニードルやシリンジ
等の消耗品もないため、コストが少なくて済む。

【００９３】さらに、修正液を塗布した後、修正液の付
着した針部材を洗浄するため、修正液の塗布回数が増加
しても、針部材の先端を清浄な状態に保つことができ
る。その結果、安定した修正液の塗布が可能となる。

【００９４】さらに、欠陥を好ましくはレーザ光で除去
することにより、欠陥修正のための作業効率が向上す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態による欠陥修正装
置を示す概略図である。

【図２】 第１の実施の形態による単動式エアシリンダ
および復動式エアシリンダを示す概略図である。

【図３】 第１の実施の形態による欠陥修正装置の作動
工程を示す概略図である。

【図４】 第１の実施の形態によるインク（液状物質）
溜部を示す外観斜視図である。

【図５】 本発明の第２の実施の形態による欠陥修正装
置を示す外観斜視図である。

【図６】 第２の実施の形態の欠陥修正装置の作動工程
を示す概略図である。

【図７】 本発明の第３の実施の形態による欠陥修正装
置を示す外観斜視図である。

【図８】 針を用いてインクを繰返し塗布する場合にお
いて、針の先端部の様子を示す概略図である。

【図９】 針を用いてインクを繰返し塗布する場合にお
いて、塗布されたインクの量が減少する様子を示す図で
ある。

【図１０】 本発明の第４の実施の形態による欠陥修正
装置を示す外観斜視図である。

【図１１】 インクの付着した針が洗浄される様子を示
す概略図である。

【図１２】 従来の修正装置の一例の構成を示す外観斜
視図である。

【図１３】 従来の欠陥修正装置（ディスペンサ）の構
成を模式的に示す図である。

【図１４】 従来の欠陥修正装置（ディスペンサ）を用
いて、微少なインクの滴下を行なおうとする際のディス
ペンサのニードルの先端部の様子を模式的に示す図であ
る。

【図１５】 従来の欠陥修正装置（ディスペンサ）を用
いて、微少なインクの滴下を行なったときのディスペン
サのニードルの先端部の様子を模式的に示す図である。

【図１６】 従来の欠陥修正装置（ディスペンサ）のニ
ードル内にインクが乾燥して詰まった状態を模式的に示
す図である。

【符号の説明】

１ 針、２ ワーク（欠陥修正対象物）、３ エアシリ
ンダ（駆動・接触手段）、４ 圧力・流量調整およびエ
ア供給手段（レギュレータ）、５ シャフト（ロッ
ド）、６ シリンダ、７ 流入・排出口、７ａ 第１流
入・排出口、７ｂ第２流入・排出口、８ ピストン、９
ばね、１０ シールリング（リップシール）、１１
ストッパ、１２ ピストンリング、１３ Ｏリング、１
４，２１インク溜部、１５ インク、１６ａ インク
溜、１６ｂ 蓋、１７ 開口部、１８ 針支持台、１９
電磁ソレノイド（駆動・接触手段）、２０ ＹＡＧレ
ーザ源、２２ ＸＹテーブル、２３ Ｚ軸テーブル、２
４ ＣＣＤカメラ、２５ 真空チャックテーブル、２６
ディスペンサ、２７ コントローラ、２８ シリン
ジ、２９ ニードル、３０ａ 第１ガイド、３０ｂ 第
２ガイド、４０ 溶液溜部、４１ 溶液。

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 修正液によりワーク上の微細な欠陥を修
   正する欠陥修正方法であって、 前記ワーク上の欠陥を特定するステップと、 針部材の先端部に微細な欠陥の修正に適した極微量の修
   正液を付着させるステップと、 前記修正液の付着した針部材の先端部と前記ワークの欠
   陥の特定された位置とを精度高く位置決めするステップ
   と、 前記ワークの欠陥に前記針部材の先端部を接触させ、前
   記極微量の修正液を塗布して欠陥を修正するステップ
   と、 一定の間隔で前記針部材を洗浄するステップとを含むこ
   とを特徴とする、欠陥修正方法。
2. 【請求項２】 さらに、前記欠陥を除去するステップを
   含むことを特徴とする、請求項１に記載の欠陥修正方
   法。
3. 【請求項３】 前記欠陥の除去はレーザ光を用いて行う
   ことを特徴とする、請求項２に記載の欠陥修正方法。
4. 【請求項４】 修正液によりワークの微細な欠陥を修正
   する欠陥修正装置であって、 前記ワーク上の欠陥を特定する欠陥特定手段と、 前記欠陥を修正するための修正液を溜めておくための修
   正液溜部と、 その先端部が平坦状に形成された針部材であって、前記
   先端部と前記修正液溜部との接触により微細な欠陥を修
   正するに適した極微量の修正液を前記先端部に付着させ
   ることができる針部材と、前記先端部を前記修正液溜部の修正液に接触させて前記
   極微量の修正液を前記先端部に付着させると共に、 前記
   針部材と前記ワークの欠陥の特定された位置とを精度高
   く位置決めし、前記ワークの欠陥に前記針部材の先端部
   を接触させ、前記極微量の修正液を前記欠陥の特定され
   た位置に塗布する移動手段と、 一定の間隔で前記針部材を洗浄する洗浄手段とを備えた
   ことを特徴とする、欠陥修正装置。