JP3379301B2 - Method for producing low thermal expansion alloy thin plate for shadow mask excellent in plate shape and heat shrink resistance - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、微細なエッチング
加工を施す電子部品用として使用されるＦｅ−Ｎｉ系低
熱膨張合金薄板に関するものであり、テレビジョンやコ
ンピュータディスプレイに使用されるシャドウマスク用
として好適な板形状や耐熱収縮性およびエッチング性に
優れた鋼板の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to Fe-Ni-based low thermal expansion alloy sheet which is used for electronic parts for applying a fine etching, as for a shadow mask used in a television or a computer display The present invention relates to a method for producing a steel plate having a preferable plate shape, heat shrinkage resistance, and etching property.

【０００２】[0002]

【従来の技術】シャドウマスクはテレビジョンおよびコ
ンピュータディスプレイのブラウン管に配設されてお
り、電子銃から発射された電子ビームをガラス体によっ
て支持された蛍光面上の所定の点に正確に照射して特定
の色調を与えるための細孔を有している。この時、発射
されたビームのうち蛍光体に照射される量は約２割で、
残りの約８割はシャドウマスクに衝突してしまうため、
シャドウマスクは蛍光面を支持するガラス体に比べて高
温になる。その上、シャドウマスク用素材として従来よ
り用いられてきた低炭素リムド鋼や低炭素アルミキルド
鋼等の軟鋼板は、蛍光面を支持するガラス体に比べて熱
膨張率がはるかに大きいため、発射されたビ−ムがシャ
ドウマスクに衝突し、シャドウマスク本体が高温になる
と、相互に位置ずれを生じて電子ビームを蛍光面上の所
定の点へ正確に照射することができなくなり、画像が不
鮮明になることが多かった。画像が不鮮明になることを
防止するために、シャドウマスクの懸架装置となる支持
体の構造を工夫して、相互の位置ずれを補償することも
試みられているが、必ずしも十分とはいえない。さらに
近年は、テレビジョン画面の大型化およびコンピュータ
のディスプレイへの適用拡大とともに画像のきめの細か
さや高輝度化への要求が一段と高まり、位置ずれ、色ず
れの問題が顕在化してきた。このために電子ビームの通
過孔をより微細で高精度に穿孔するようなエッチング加
工が必要になってきた。特に、コンピュータディスプレ
イに使用される高精細シャドウマスクでは主として板厚
０．１５mm以下の素材が使用され、例えば直径１２０μ
m の孔が２７０μm ピッチで穿孔されており、さらにフ
ァインピッチ化が試行されている。このような微細な孔
をエッチング面内において精度よく穿孔するために、今
まで以上のエッチング技術の向上とともに原板形状の向
上と、熱処理と加工を繰り返す製造過程における熱収縮
を低下させる検討が行われている。2. Description of the Related Art A shadow mask is arranged in a cathode ray tube of a television and a computer display, and an electron beam emitted from an electron gun accurately irradiates a predetermined point on a fluorescent surface supported by a glass body. It has pores for giving a specific color tone. At this time, about 20% of the emitted beam is applied to the phosphor,
The remaining 80% collides with the shadow mask, so
The shadow mask has a higher temperature than the glass body that supports the fluorescent screen. Moreover, mild steel sheets such as low carbon rimmed steel and low carbon aluminum killed steel that have been conventionally used as materials for shadow masks have a much higher coefficient of thermal expansion than glass bodies that support fluorescent screens, and therefore are fired. If the beam collides with the shadow mask and the temperature of the shadow mask main body becomes high, the positions of the shadow mask are displaced from each other and the electron beam cannot be accurately irradiated to a predetermined point on the phosphor screen, resulting in an unclear image. It was often In order to prevent the image from becoming unclear, attempts have been made to compensate for the mutual positional deviation by devising the structure of the support serving as the suspension device of the shadow mask, but this is not always sufficient. Further, in recent years, with the increase in the size of television screens and the expansion of application to computers, the demands for finer image quality and higher brightness have increased further, and the problems of misalignment and color misregistration have become apparent. For this reason, it has become necessary to carry out an etching process for making the electron beam passage holes finer and with higher precision. In particular, in high-definition shadow masks used for computer displays, materials with a plate thickness of 0.15 mm or less are mainly used.
Holes of m are punched at a pitch of 270 μm, and further fine pitch is being tried. In order to make such fine holes with high precision in the etching surface, studies have been conducted to improve the etching technology, improve the shape of the original plate, and reduce the heat shrinkage in the manufacturing process in which heat treatment and processing are repeated. ing.

【０００３】そこで、シャドウマスク用素材として、３
６wt% のＮｉを含有するＦｅ−Ｎｉ系合金が検討され始
め、使用が拡大している。この合金は従来の低炭素鋼に
比べて熱膨張係数が約１／１０と小さく、高輝度型画面
における電子ビームによる加熱に対してもその低熱膨張
性は維持されるため、これを素材として作られたシャド
ウマスクでは、熱膨張による色ずれは生じにくい。Therefore, as a material for a shadow mask, 3
Fe-Ni based alloys containing 6 wt% Ni have begun to be studied and their use is expanding. This alloy has a small thermal expansion coefficient of about 1/10 compared to conventional low carbon steel, and its low thermal expansion property is maintained even when heated by an electron beam in a high brightness type screen. The generated shadow mask is less likely to cause color shift due to thermal expansion.

【０００４】シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板
は、通常、連続鋳造法または造塊法によって合金鋼塊を
調製し、次いで、分塊圧延、熱間圧延、冷間圧延、焼鈍
を施して製造される。さらに、この合金薄板にフォトエ
ッチング加工で電子ビームの通過孔を形成した後、焼
鈍、成形加工および黒化処理等の各工程を施してシャド
ウマスクが製造される。The Fe-Ni alloy thin plate for a shadow mask is usually produced by preparing an alloy steel ingot by a continuous casting method or an ingot making method, and then subjecting it to slab rolling, hot rolling, cold rolling and annealing. To be done. Furthermore, after forming electron beam passage holes in this thin alloy plate by photo-etching, each step such as annealing, forming and blackening is performed to manufacture a shadow mask.

【０００５】シャドウマスクのエッチング孔には高い精
度が必要とされるため、エッチング前の原板においても
良好な板形状すなわち平坦であることが要求される。ま
た、シャドウマスクのエッチング後、再結晶焼鈍されプ
レス成型される際の熱処理と加工を施す製造過程におい
て、寸法変化（熱収縮）が小さいことも必要とされる。
熱収縮が大きい場合にはプレス成型後におけるエッチン
グ孔の孔径の縦と横の比率が、エッチング段階での縦横
比からずれるため解像度不良の一因となる。また、図２
に示すようにプレス型とシャドウマスク側の位置決め穴
の位置がずれてがたつき生産性を損なう問題が生じる。Since the etching holes of the shadow mask are required to have high accuracy, the original plate before etching is also required to have a good plate shape, that is, flat. In addition, it is also necessary that a dimensional change (heat shrinkage) is small in a manufacturing process in which heat treatment and processing are performed when the recrystallization annealing is performed and the press molding is performed after the shadow mask is etched.
If the heat shrinkage is large, the ratio of the vertical to horizontal diameters of the etching holes after press molding deviates from the vertical to horizontal ratio in the etching step, which is one of the causes of poor resolution. Also, FIG.
As shown in (1), the positions of the press die and the positioning holes on the shadow mask side are deviated from each other, causing a problem of impairing productivity.

【０００６】すなわち、エッチングの精度を高めるため
に、鋼板の平坦性を高め、加工と熱処理を繰り返す際の
熱収縮を抑えるシャドウマスク鋼板が求められていた。That is, in order to improve the accuracy of etching, there has been a demand for a shadow mask steel sheet which enhances the flatness of the steel sheet and suppresses thermal contraction during repeated processing and heat treatment.

【０００７】これまで、板によるシャドウマスクの原板
の形状矯正については、Ｆｅ−Ｎｉ合金ではなく、アル
ミキルド鋼を対象としたものではあるが、特開平２−１
７５８２０号公報に、冷間圧延時の圧下率を７０〜８５
％とし、歪み取り焼鈍における焼鈍温度を４５０〜５０
０℃と規定することにより、冷間圧延後の板形状の改善
する技術が開示されている。Up to now, the shape correction of the original plate of the shadow mask by the plate has been aimed at the aluminum killed steel, not the Fe-Ni alloy.
No. 75820, the reduction ratio during cold rolling is 70-85.
%, And the annealing temperature in the strain relief annealing is 450 to 50
A technique for improving the plate shape after cold rolling is disclosed by defining 0 ° C.

【０００８】一方、熱収縮の低下と板形状の改善につい
ては、リードフレーム用素材を対象として、特開平６−
２７１９３６号公報に、炭素、窒素、クロム、ボロンな
どを微量含み、さらにニオブ、ジルコニウム、銅、チタ
ンなどを単独または複合で添加することで鋼板の硬度を
確保し、７２０〜９５０℃で再結晶焼鈍し、２０％以上
の圧下率で冷間圧延し０.３〜８.０ kgf/mm²の張力下で
６５０〜８００℃で１０秒以上のテンションアニールを
行い、板形状と耐熱収縮性を改善する技術が開示されて
いる。On the other hand, regarding the reduction of heat shrinkage and the improvement of the plate shape, a material for a lead frame is used as a target.
Japanese Patent No. 271936 contains trace amounts of carbon, nitrogen, chromium, boron, and the like, and further adds niobium, zirconium, copper, titanium, and the like alone or in combination to secure the hardness of the steel sheet, and recrystallization annealing at 720 to 950 ° C. Then, cold rolling at a reduction rate of 20% or more and tension annealing at 650 to 800 ° C for 10 seconds or more under a tension of 0.3 to 8.0 kgf / mm ² improve the plate shape and heat shrinkage resistance. Techniques for doing so are disclosed.

【０００９】また、特開平６−２１６３０４号公報で
は、薄板リードフレーム材において、最終の焼鈍を温度
５３０〜７００℃、好ましくは６３０〜６７０℃、張力
３kgf/mm² 以下、好ましくは１kgf/mm² 以下の条件でテ
ンションアニールすることで、歪みとバネ限界値を向上
させ二段プレスの中間で行う焼鈍による収縮を抑える技
術が開示されている。Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 6-216304, the final annealing of a thin lead frame material is performed at a temperature of 530 to 700 ° C., preferably 630 to 670 ° C., and a tension of 3 kgf / mm ² or less, preferably 1 kgf / mm ² A technique has been disclosed in which tension annealing is performed under the following conditions to improve strain and a spring limit value and suppress shrinkage due to annealing performed in the middle of a two-step press.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところがこれらの従来
技術を、高精度の微細エッチング孔が穿孔されるシャド
ウマスク用、熱膨張係数の低いＦｅ−Ｎｉ系合金薄板に
転用しても板形状と熱収縮性を改善するには不十分であ
った。However, even if these conventional techniques are applied to a Fe-Ni alloy thin plate having a low thermal expansion coefficient for a shadow mask in which highly precise fine etching holes are drilled, the plate shape and the heat can be reduced. It was insufficient to improve the shrinkability.

【００１１】例えば、特開平２−１７５８２０号公報で
は、鋼板形状の改善は歪み取り焼鈍条件を規定すること
により改善されるとしても熱収縮は全く考慮されていな
い。For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2-175820, heat shrinkage is not considered at all even if the improvement of the steel plate shape is improved by defining the strain relief annealing conditions.

【００１２】また、特開平６−２７１９３６号公報で
は、板形状および熱収縮をともに改善する方策を示して
いるが、あくまでもリードフレーム用素材にのみ適用で
きる技術で、製品としての製造方法が異なるシャドウマ
スク用素材には適用できない問題があった。すなわち、
この技術では硬度を確保するために、ニオブやジルコニ
ウムなどの微量元素を単独または複合で添加している。
ところが、これらの元素はシャドウマスクでは黒化処理
性を損なうためシャドウマスク用素材として添加でき
ず、Ｈｖ１７０以下の低硬度となる問題がある。また、
この技術ではリードフレーム用素材としての６５０℃再
結晶温度以下での熱収縮の改善のみに着目し、シャドウ
マスク用素材に不可欠な再結晶温度域（８００℃以上）
での熱収縮について考慮していない問題がある。Further, Japanese Patent Laid-Open No. 6-271936 discloses a method for improving both the plate shape and the heat shrinkage, but it is a technique which can be applied only to the material for the lead frame and a shadow produced by a different manufacturing method as a product. There was a problem that it could not be applied to mask material. That is,
In this technique, trace elements such as niobium and zirconium are added alone or in combination to secure hardness.
However, since these elements impair the blackening processability in the shadow mask, they cannot be added as a material for the shadow mask, and there is a problem that the hardness becomes Hv 170 or less. Also,
This technology focuses only on the improvement of heat shrinkage below 650 ° C recrystallization temperature as a lead frame material, and the recrystallization temperature range (800 ° C or above) indispensable for shadow mask materials.
There is a problem that does not consider the heat shrinkage in.

【００１３】また特開平６−２１６３０４号公報もリー
ドフレーム素材に関するものであり、６００℃×５分間
と再結晶温度よりも低温での熱収縮のみに着目している
のみで、鋼板の平坦度を表す急峻度については考慮して
いない問題があった。Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 6-216304 also relates to a lead frame material, and only pays attention to heat shrinkage at 600 ° C. × 5 minutes, which is lower than the recrystallization temperature, to determine the flatness of a steel sheet. There was a problem in which the steepness was not taken into consideration.

【００１４】熱収縮について述べられたこれらの従来技
術についてさらに詳細にその問題を明らかにする。すな
わち、特開平６−２７１９３６号公報と特開平６−２１
６３０４号公報のいずれの従来技術もリードフレームの
未再結晶熱処理後の熱収縮を改善しようとしたものであ
る。従って、特開平６−２７１９３６号公報本文中の歪
み取り焼鈍（テンションアニール）の説明に示されるよ
うに、冷間圧延時に発生した残留歪みを張力付与によっ
て除去すると同時に、圧延方向の残留圧縮応力の減少を
通じて熱収縮を抑制している。このことは、張力がある
限度未満では残留圧縮応力を緩和できないため熱収縮を
防止できないと記載されていることを考慮すると、テン
ションアニールの張力を増加するほど熱収縮を抑制でき
ることを意味している。The problem will be elucidated in more detail with respect to these prior art techniques mentioned for heat shrinkage. That is, JP-A-6-271936 and JP-A-6-21
All of the conventional techniques disclosed in Japanese Patent No. 6304 are intended to improve the heat shrinkage of the lead frame after the non-recrystallization heat treatment. Therefore, as described in the description of strain relief annealing (tension annealing) in the text of JP-A-6-271936, residual strain generated during cold rolling is removed by applying tension, and at the same time, residual compressive stress in the rolling direction is reduced. It suppresses heat shrinkage through reduction. This means that the thermal shrinkage can be suppressed as the tension of tension annealing is increased, considering that the thermal shrinkage cannot be prevented because the residual compressive stress cannot be relaxed if the tension is less than a certain limit. .

【００１５】ところが、本発明のようにシャドウマスク
では再結晶焼鈍しプレス加工が容易なように軟化させる
用途では、後述するようにテンションアニールにおける
張力が増加するほど再結晶焼鈍後の熱収縮が増加する。
これは再結晶によって結晶粒およびそれらの粒界にテン
ションアニール時導入されたミクロな残留応力が解放さ
れるため、大きな熱収縮が発生するためである。このよ
うなミクロな残留応力に起因する熱収縮は張力が高いほ
ど増加し、単に張力を高くするだけでは回避することが
できないのである。再結晶温度以上の温度に加熱する
と、結晶粒の再配列によってミクロな残留応力が解放さ
れるために、熱収縮率は未再結晶温度以下のものよりも
顕著に大きくなる問題がある。However, in applications such as the present invention where a shadow mask is recrystallized and annealed to soften it so that it can be easily pressed, the thermal contraction after recrystallization annealing increases as the tension in tension annealing increases, as will be described later. To do.
This is because recrystallization releases the microscopic residual stress introduced into the crystal grains and their grain boundaries during tension annealing, resulting in large thermal shrinkage. The heat shrinkage due to such micro residual stress increases as the tension increases, and cannot be avoided by merely increasing the tension. When heated to a temperature higher than the recrystallization temperature, there is a problem that the thermal shrinkage rate becomes remarkably higher than that of the non-recrystallization temperature because the residual microscopic stress is released by the rearrangement of the crystal grains.

【００１６】さらに、これらの従来技術は製品寸法が１
００mm程度の長さのリードフレーム素材に適用されるも
のであり、一定の張力以下でテンションアニールを行い
未再結晶温度での熱収縮を防止できれば板形状について
配慮する必要はない。ところが、シャドウマスク素材は
大型ディスプレイやブラウン管に使用されるため６００
〜８００mm以上の寸法で厳しい板形状の管理が必要とさ
れ、従来技術を転用し張力を小さくすれば板形状が悪化
する問題があった。Further, these prior arts have a product size of 1
It is applied to a lead frame material having a length of about 00 mm, and it is not necessary to consider the plate shape as long as it can prevent thermal contraction at a non-recrystallization temperature by performing tension annealing at a certain tension or less. However, since the shadow mask material is used for large displays and CRTs, 600
It is necessary to strictly control the plate shape with a dimension of up to 800 mm or more, and there is a problem that the plate shape deteriorates if the conventional technique is applied to reduce the tension.

【００１７】すなわち、高張力では増加する熱収縮と低
張力では劣化する板形状の両特性をともに改善すること
がシャドウマスク素材に要求されるようになり、シャド
ウマスクにおける高精度のエッチング孔を熱処理と成型
後も得るための、原板の歪み取り焼鈍における対策が求
められている。That is, it becomes necessary for the shadow mask material to improve both the heat shrinkage that increases at high tension and the plate shape that deteriorates at low tension, and heat treatment of highly accurate etching holes in the shadow mask is performed. Therefore, it is necessary to take measures against strain relief annealing of the original plate to obtain it even after forming.

【００１８】本発明は上記の実情を鑑みて、シャドウマ
スク用として好適な板形状や耐熱収縮性およびエッチン
グ性に優れた鋼板の製造方法を提供することを目的とす
るものである。In view of the above situation, it is an object of the present invention to provide a method for producing a steel plate having a plate shape suitable for a shadow mask, excellent heat shrinkage resistance and etching property.

【００１９】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明者らはＦｅ−Ｎｉ
系低熱膨張合金薄板の板形状と再結晶焼鈍後の熱収縮に
およぼす歪み取り焼鈍条件の影響について種々の検討を
行った。その結果、テンションアニールによる歪み取り
焼鈍において、鋼板温度と鋼板に付与される張力が複合
的に関わりあって残留応力が発生し、鋼板の平坦度を劣
化させたり、シャドウマスク成型工程の再結晶焼鈍後に
熱収縮を生じさせることが明らかとなった。また、歪み
取り焼鈍の際の加熱時間が長いか冷却速度が小さいと、
原板が再結晶し軟化が著しいため、シャドウマスクのエ
ッチング過程での通板時に座屈あるいは変形が生じるた
め、生産歩留まりが低下することを見いだした。The present inventors have found that Fe--Ni
Various studies were conducted on the effect of strain relief annealing conditions on the sheet shape and heat shrinkage after recrystallization annealing of the low-expansion alloy system alloy sheets. As a result, in strain relief annealing by tension annealing, the temperature of the steel sheet and the tension applied to the steel sheet are involved in a complex manner to generate residual stress, which deteriorates the flatness of the steel sheet and causes recrystallization annealing in the shadow mask forming process. It was later found to cause heat shrinkage. Also, if the heating time during strain relief annealing is long or the cooling rate is low,
It was found that the original plate is recrystallized and markedly softened, so that buckling or deformation occurs during plate passing during the etching process of the shadow mask, which lowers the production yield.

【００２０】本発明は上記のような知見に基づいてなさ
れたものであり、以下を構成の要旨とするものである。The present invention has been made on the basis of the above findings, and the following is the gist of the configuration.

【００２１】請求項１に記載の発明は、Ｎｉを３２〜３
８ｗｔ％ 含むＦｅ−Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、歪み
取り焼鈍を行なう際、図１の斜線部内で示される温度・
張力条件で行うことを特徴とする板形状および耐熱収縮
性に優れたシャドウマスク用低熱膨張合金薄板の製造方
法である。ただし、図１において 点Ａ：張力 ０. ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０
℃ 点Ｂ：張力０. ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６１０℃ 点Ｃ：張力 ３ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｄ：張力 １２ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｅ：張力 ７ ｋｇｆ／ｍｍ２、 鋼板温度 ６９０℃ である。According to the first aspect of the invention, the Ni content is 32 to 3.
When the Fe—Ni alloy containing 8 wt% is cold rolled and then strain relief annealing is performed, the temperature
It is a method for producing a low thermal expansion alloy thin plate for a shadow mask , which is excellent in plate shape and heat shrinkage, which is performed under a tension condition. However, in FIG. 1, point A: tension 0.5 kgf / mm ² , steel plate temperature 690
℃ Point B: Tension 0.5 kgf / mm ² , Steel plate temperature 610 ℃ Point C: Tension 3 kgf / mm ² , Steel plate temperature 550 ℃ Point D: Tension 12 kgf / mm ² , Steel plate temperature 550 ℃ Point E: Tension 7 kgf / mm2, steel plate temperature 690 ° C.

【００２２】請求項２に記載の発明は、Ｎｉを３２〜３
８ｗｔ％ 含むＦｅ−Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、テン
ションアニ−ルによる歪み取り焼鈍を行なう際、図１の
斜線部内で示される温度・張力条件で５〜６０秒間の均
熱処理を行い、さらに２０〜３００℃／秒の冷却速度で
冷却することを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優
れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の
製造方法である。According to the second aspect of the invention, Ni is added in the range of 32 to 3
When the Fe-Ni alloy containing 8 wt% is cold rolled and then subjected to strain relief annealing by a tension anneal, soaking is performed for 5 to 60 seconds under the temperature and tension conditions shown in the shaded area in FIG. Further, it is a method for producing an Fe— Ni-based low thermal expansion alloy thin plate for a shadow mask , which is excellent in plate shape and heat shrinkage, and is characterized by cooling at a cooling rate of 20 to 300 ° C./sec.

【００２３】請求項３に記載の発明は、Ｎｉを２３〜３
８ｗｔ％ 、Ｃｏを７ｗｔ％ 以下含み、かつＮｉ＋Ｃｏ
を３０〜３８ｗｔ％ とするＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
を、冷間圧延後、歪み取り焼鈍を行なう際、図１の斜線
部内で示される温度・張力条件で行うことを特徴とする
板形状および耐熱収縮性に優れたシャドウマスク用低熱
膨張合金薄板の製造方法である。According to the third aspect of the invention, the Ni content is 23 to 3
8wt%, Co less than 7wt%, and Ni + Co
Of a Fe-Ni-Co alloy containing 30 to 38 wt% of the steel sheet after cold rolling and strain relief annealing under the temperature and tension conditions shown in the shaded area of FIG. A method for producing a low thermal expansion alloy thin plate for a shadow mask , which is excellent in heat shrinkage resistance.

【００２４】請求項４に記載の発明は、Ｎｉを２３〜３
８ｗｔ％ 、Ｃｏを７ｗｔ％ 以下含み、かつＮｉ＋Ｃｏ
を３０〜３８ｗｔ％ とするＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
を、冷間圧延後、テンションアニ−ルによる歪み取り焼
鈍を行なう際、図１の斜線部内で示される温度・張力条
件で５〜６０秒間の均熱処理を行い、さらに２０〜３０
０℃／秒の冷却速度で冷却することを特徴とする板形状
および耐熱収縮性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ
系低熱膨張合金薄板の製造方法である。In the invention according to claim 4, Ni is contained in an amount of 23 to 3
8wt%, Co less than 7wt%, and Ni + Co
When the Fe-Ni-Co based alloy containing 30 to 38 wt% is subjected to strain relief annealing with a tension anneal after cold rolling, the temperature and tension conditions shown in the shaded area in FIG. 20 ~ 30
Fe- Ni for shadow mask excellent in plate shape and heat shrinkage characterized by cooling at a cooling rate of 0 ° C./second
It is a manufacturing method of a low-thermal expansion alloy thin plate.

【００２５】以下に本発明を詳細に説明する。図３は、
テンションアニールでの均熱時間が５〜６０秒間および
冷却速度が２０℃／秒以上の条件で、鋼板に付与される
張力と急峻度の関係を示した図である。The present invention will be described in detail below. Figure 3
It is the figure which showed the relationship between the tension | tensile_strength applied to a steel plate and steepness on condition that the soaking time in tension annealing is 5 to 60 seconds, and the cooling rate is 20 degreeC / second or more.

【００２６】ここで、急峻度は鋼板の平坦度を表すパラ
メータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次
式により求めた。 急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００Here, the steepness is a parameter representing the flatness of the steel sheet, and the height and pitch of the selvage and medium elongation are measured and calculated by the following equation. Steepness (%) = height (mm) / pitch (mm) x 100

【００２７】図３から鋼板温度570 ℃、610 ℃、650 ℃
いずれの場合も張力が増加すると急峻度は改善され、逆
に低張力の場合には急峻度が劣ることが分かる。高張力
ほど急峻度が低下する傾向は、鋼板の冷間圧延後におい
て板幅方向に存在する中伸びなどの歪みが、張力を付与
されることによって局部的な降伏伸びを生じ均一に伸ば
されるためと考えられる。また、570 ℃、610 ℃、650
℃と３種の鋼板温度の異なる鋼板を比較すると、急峻度
の増加には張力と鋼板温度が複合して関係し、鋼板温度
が低いほど急峻度は増す傾向が見られる。本結果より鋼
板の平坦性が確保される急峻度０. ５％以下にするに
は、鋼板温度が５７０℃では張力が２kgf/mm² 以上、６
１０℃および６５０℃では張力が０. ５kgf/mm² 以上と
なる。From FIG. 3, steel plate temperatures of 570 ° C., 610 ° C. and 650 ° C.
In each case, it can be seen that the steepness is improved when the tension is increased, and conversely, the steepness is deteriorated when the tension is low. The higher the tensile strength, the lower the steepness is because the strain such as medium elongation existing in the width direction of the steel sheet after cold rolling causes local yield elongation and is uniformly stretched by applying tension. it is conceivable that. Also, 570 ℃, 610 ℃, 650
Comparing steel sheets having different steel sheet temperatures of 3 ° C. and the steel sheet temperature, the steepness increases in combination with the tension and the steel sheet temperature, and the steepness tends to increase as the steel sheet temperature decreases. From the above results, it can be seen that the steepness of 0.5% or less for ensuring the flatness of the steel sheet is such that the tension is 2 kgf / mm ² or more and 6 at the steel sheet temperature of 570 ° C.
At 10 ° C and 650 ° C, the tension becomes 0.5 kgf / mm ² or more.

【００２８】図４はテンションアニールでの均熱時間が
５〜６０秒間および冷却速度が２０℃／秒以上の条件
で、張力と熱収縮の関係を示した図である。図４におい
て、熱収縮率は鋼板の板幅中央部と鋼板端部から１００
mmの部分から、鋼板の長手方向に３００mml ×１００mm
w ×全厚の試験片を採取し、シャドウマスクの成型前の
焼鈍工程をシミュレートした８５０〜９００℃×３０分
間の熱処理を行い、熱処理前後の試験片の長さの差をノ
ギスにて測定することで求めた。ここで、８５０〜９０
０℃の加熱温度はアンバー材が再結晶し軟化する温度域
である。図から張力が増加する程、熱収縮率は増す傾向
である。また、鋼板温度が高い程、熱収縮率が増加する
傾向も見られた。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between tension and heat shrinkage under the condition that the soaking time in tension annealing is 5 to 60 seconds and the cooling rate is 20 ° C./second or more. In FIG. 4, the heat shrinkage ratio is 100 from the center of the width of the steel plate and the end of the steel plate.
From the mm part, 300mml x 100mm in the longitudinal direction of the steel plate
w x All thickness test pieces are taken and heat treatment is performed at 850 to 900 ° C for 30 minutes simulating the annealing process before forming the shadow mask, and the difference in length between the test pieces before and after heat treatment is measured with a caliper. Sought by doing. Where 850-90
The heating temperature of 0 ° C. is a temperature range in which the amber material is recrystallized and softened. From the figure, the heat shrinkage tends to increase as the tension increases. It was also observed that the higher the steel plate temperature, the higher the heat shrinkage rate.

【００２９】張力が高くなると鋼板の急峻度は減少する
のに対し、熱収縮率は高張力ほど増加するが、この熱収
縮の発生にはミクロな残留応力（転位の蓄積）が関与す
ると考えられる。すなわち、高張力ほど熱収縮率が増加
する現象の詳細なメカニズムは不明であるが、張力が付
与されることによって、結晶粒界や結晶粒内外での塑性
変形の差によるミクロな残留応力が結晶粒に蓄積され、
シャドウマスク製造工程の再結晶焼鈍において粒が再結
晶される際にミクロな残留応力が解放され熱収縮を引き
起こすと考えられる。なお、ミクロな残留応力の発生源
として １）結晶粒の異方性によるもの、（結晶の熱膨張係数、
弾性定数などの異方性や結晶粒間の方位差）、 ２）結晶粒内外での塑性変形によるもの、 ３）不純物、析出物、あるいは変態による異相の出現、
がある（引用：米谷茂：残留応力の発生と対策, P13
［養賢堂］）。Although the steepness of the steel sheet decreases as the tension increases, the heat shrinkage increases as the tension increases, but it is considered that microscopic residual stress (accumulation of dislocations) is involved in the occurrence of this heat shrinkage. . That is, the detailed mechanism of the phenomenon that the thermal contraction rate increases as the tension increases is unknown, but by applying tension, the micro residual stress due to the difference in plastic deformation between the grain boundaries and inside and outside the crystal grains causes the crystal Accumulated in the grains,
It is considered that when the grains are recrystallized in the recrystallization annealing in the shadow mask manufacturing process, the micro residual stress is released to cause the heat shrinkage. The sources of micro residual stress are 1) due to anisotropy of crystal grains, (coefficient of thermal expansion of crystal,
Anisotropy such as elastic constants and misorientation between crystal grains), 2) due to plastic deformation inside and outside of crystal grains, 3) appearance of foreign phase due to impurities, precipitates, or transformation,
There is (Quotation: Shigeru Yoneya: Occurrence and Countermeasures of Residual Stress, P13
[Yosendo]).

【００３０】以上の結果をもとに、歪み取り焼鈍におけ
る張力、温度と急峻度、熱収縮率について更なる検討を
重ねたところ、下記の知見を得た。すなわち、図１の斜
線部内で示される温度、張力条件で歪み取り焼鈍を行う
ことにより、板形状と熱収縮の問題が解決され、優れた
鋼板が製造される。Based on the above results, further investigations were conducted on the tension, temperature and steepness, and heat shrinkage in strain relief annealing, and the following findings were obtained. That is, by performing strain relief annealing under the temperature and tension conditions shown in the shaded area of FIG. 1, the problems of plate shape and heat shrinkage are solved, and an excellent steel plate is manufactured.

【００３１】続いて、図１、斜線部内の限定理由につい
て次に述べる。歪み取り焼鈍の条件は第１図の斜線部内
部で示させる領域に限定した。点Ｄと点Ｅを結ぶ直線よ
り高張力の場合には熱収縮率が０. ０８％を超えるため
不可とした。また点Ａ、点Ｂ、点Ｃを結ぶ線より低張力
では鋼板の形状が悪く急峻度が０. ５％を超えるため不
可とした。点Ａと点Ｅを結ぶ鋼板温度より高い温度でテ
ンションアニールを行う場合には鋼板の再結晶により鋼
板が急激に軟化しシャドウマスク成型時に座屈や変形が
生じるため不可とした。また、点Ｃと点Ｄを結ぶ直線よ
り低温では歪み取り焼鈍の効果が小さく、急峻度が０.
５％を超えるため不可とした。Next, the reason for limitation within the shaded area in FIG. 1 will be described. The conditions for strain relief annealing were limited to the region shown inside the shaded area in FIG. When the tensile strength was higher than the straight line connecting the points D and E, the heat shrinkage ratio was more than 0.08%, so that it was judged as impossible. Further, when the tension is lower than the line connecting points A, B, and C, the shape of the steel sheet is poor and the steepness exceeds 0.5%, so that it is not possible. When tension annealing is performed at a temperature higher than the temperature of the steel plate connecting points A and E, recrystallization of the steel plate causes the steel plate to be suddenly softened and buckled or deformed during the shadow mask molding. Further, at a temperature lower than the straight line connecting the points C and D, the effect of strain relief annealing is small, and the steepness is 0.
Since it exceeds 5%, it was determined to be impossible.

【００３２】なお、本願では焼鈍温度を鋼板温度で表す
ものとする。加熱炉の温度は鋼板温度と数十〜百数十℃
のバイアスがあることが一般的であり、また季節によっ
てそのバイアスが異なる。従って、今回のようなミクロ
な残留応力に対応するためには温度管理を厳密に行う必
要があり、鋼板温度を用いた。この鋼板温度の測定には
放射温度計を利用することでオンライン計測が可能であ
るが、予めダミー材となる鋼板表面にスポット溶接で熱
電対を取り付け測温することでも計測できる。In the present application, the annealing temperature is represented by the steel plate temperature. The temperature of the heating furnace is several tens to one hundred and several tens of degrees Celsius.
There is generally a bias of, and the bias varies depending on the season. Therefore, it is necessary to strictly control the temperature in order to cope with the micro residual stress as in this case, and the steel plate temperature was used. Online measurement is possible by using a radiation thermometer to measure the steel plate temperature, but it can also be measured by attaching a thermocouple to the surface of the steel plate, which is a dummy material, by spot welding in advance and measuring the temperature.

【００３３】さらに、本発明は歪み取り焼鈍において、
温度、張力条件の他に均熱時間、冷却速度をもコントロ
−ルすることにより板形状及び熱収縮に優れた鋼板を製
造することができる。Furthermore, the present invention provides strain relief annealing
By controlling not only the temperature and tension conditions but also the soaking time and cooling rate, it is possible to manufacture a steel sheet excellent in plate shape and heat shrinkage.

【００３４】均熱時間として５〜６０秒間が推奨され
る。５秒未満では歪み取り焼鈍の効果が認められず、６
０秒を過大に超えると鋼板が軟化するからである。A soaking time of 5 to 60 seconds is recommended. If less than 5 seconds, the effect of strain relief annealing is not recognized, and
This is because the steel sheet softens if it exceeds 0 seconds.

【００３５】冷却速度として２０〜３００℃／秒が好ま
しい。２０℃／秒未満の遅い冷却速度では、再結晶によ
る鋼板の軟化が生じ、一方、３００℃／秒を超える冷却
速度では熱応力が発生し熱収縮率が増加する。The cooling rate is preferably 20 to 300 ° C./sec. At a slow cooling rate of less than 20 ° C./sec, softening of the steel sheet occurs due to recrystallization, while at a cooling rate of more than 300 ° C./sec, thermal stress occurs and the heat shrinkage rate increases.

【００３６】次に本発明の成分限定理由について述べ
る。まず、本材料に必須な成分としてＮｉを３２〜３８
wt% 含むものとする。これは、製品性能を低下させる電
子部品の寸法変化や位置ずれが起こらないような十分な
低熱膨張特性を得るためである。これにより、室温〜１
００℃の平均熱膨張係数が２．０×１０−６／℃以下で
あるような合金薄板を得ることができる。Next, the reasons for limiting the components of the present invention will be described. First, Ni is 32 to 38 as an essential component for this material.
wt% is included. This is to obtain a sufficiently low thermal expansion characteristic that does not cause dimensional changes or positional displacement of electronic components that deteriorate product performance. This allows room temperature to 1
It is possible to obtain an alloy thin plate having an average coefficient of thermal expansion at 00 ° C. of 2.0 × 10 −6 / ° C. or less.

【００３７】また、７wt％以下のＣｏを添加した場合で
も同様の低熱膨張性を得ることができるが、この場合に
は（Ｎｉ＋Ｃｏ）を３０〜３８wt％とする必要がある。
なお、Ｃｏは７wt％を超えて添加するとエッチング性の
著しい低下をもたらすため、これを上限とする。Similar low thermal expansion can be obtained even if Co of 7 wt% or less is added, but in this case, (Ni + Co) needs to be 30 to 38 wt%.
If Co is added in an amount of more than 7 wt%, the etching property is remarkably deteriorated, so this is the upper limit.

【００３８】さらに、本合金はＳｉ≦０．０７wt％、Ｍ
ｎ≦０．５wt％の範囲で含有しても効果は損なわれな
い。Ｓｉは本合金の溶製時に脱酸元素として用いるもの
であるが、０. ０７wt% を超えるとシャドウマスクのプ
レス成型前の焼鈍時に合金表面にＳｉの酸化膜が形成さ
れ、この酸化膜によりプレス成型時の金型とのなじみが
悪くなり、合金が金型をかじるようになる。従って、Ｓ
ｉ量は０. ０７wt% 以下であることが望ましい。Ｓｉ量
をさらに低減することにより合金板と金型とのなじみを
さらに良くすることができ、本発明では０wt％を含むも
のとする。Further, the present alloy has Si ≦ 0.07 wt%, M
Even if it is contained in the range of n ≦ 0.5 wt%, the effect is not impaired. Si is used as a deoxidizing element during melting of this alloy, but if it exceeds 0.07 wt%, an oxide film of Si is formed on the alloy surface during annealing before press molding of the shadow mask, and this oxide film presses it. Familiarity with the mold at the time of molding becomes poor, and the alloy begins to bite the mold. Therefore, S
It is desirable that the i amount is 0.07 wt% or less. By further reducing the amount of Si, the compatibility between the alloy plate and the mold can be further improved, and in the present invention, 0 wt% is included.

【００３９】Ｍｎは高Ｎｉ鋼において製造性の観点から
重要な元素であり、不純物であるＳと結びつき熱間加工
性を良好にするため、少なくとも０. １wt% 添加されて
いることが望ましい。しかし、０.５wt%を越えると高Ｎ
ｉ鋼のもつ本来の物理的特性が損なわれるばかりでな
く、最終的な冷圧・焼鈍時に酸化膜が表面に形成されや
すくなる。また、Ｍｎは高い黒色度を有する黒化膜の形
成のためには有害な元素であり、Ｍｎ量が０. ５wt% を
超えるとＭｎを含むスピネル酸化物が形成され、黒色度
の優れた黒化膜が形成されにくくなるため、０. ５w%以
下が望ましい。なお、このＭｎ量は０. ５wt% 以下で低
ければ低いほど黒色度は高まり、熱輻射率も高くするこ
とができる。Mn is an important element from the viewpoint of manufacturability in high Ni steel, and is preferably added in an amount of at least 0.1 wt% so as to combine with S which is an impurity to improve hot workability. However, if it exceeds 0.5 wt%, high N
Not only is the original physical property of i-steel impaired, but an oxide film is likely to be formed on the surface during the final cold pressing and annealing. Further, Mn is a harmful element for forming a blackened film having a high blackness, and when the Mn content exceeds 0.5 wt%, a spinel oxide containing Mn is formed and a black with an excellent blackness is formed. Since it is difficult to form the oxide film, 0.5 w% or less is desirable. The lower the Mn content is 0.5 wt% or less, the higher the blackness and the higher the thermal emissivity.

【００４０】[0040]

【発明の実施の形態】次に、上記のような歪み取り焼鈍
条件を満足し低熱膨張特性が得られる製品原板を製造す
る方法について述べる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, a method for producing a product original plate which satisfies the above-mentioned strain relief annealing conditions and has a low thermal expansion characteristic will be described.

【００４１】歪み取り焼鈍工程に至る工程は特に規定し
ない。Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
薄板を製造する常法でよい。一例を述べると下記のとお
りである。The steps leading to the strain relief annealing step are not particularly specified. An ordinary method for producing an Fe-Ni-based alloy and an Fe-Ni-Co-based alloy thin plate may be used. An example is as follows.

【００４２】溶解後、インゴットもしくは連続鋳造によ
り鋼塊とする。インゴットの場合必要であれば分塊圧延
を行なう。また、インゴットもしくは連続鋳造スラブの
段階で均熱処理を行い、成分偏析を軽減しておくことが
望ましい。次いで所定の温度に加熱後熱間圧延を行な
う。加熱温度は１０５０〜１２５０℃が好ましく、３０
分以上の保持が推奨される。得られた熱延板を酸洗後、
冷間圧延する。鋼塊から最終板厚までの圧下率を９９．
９％以上とすることが望ましい。また、中間焼鈍を実施
する際には７５０℃以上とすることが望まれる。After melting, a steel ingot is formed by ingot or continuous casting. For ingots, slabbing is performed if necessary. Further, it is desirable to carry out soaking at the stage of the ingot or continuous casting slab to reduce the component segregation. Then, after heating to a predetermined temperature, hot rolling is performed. The heating temperature is preferably 1050 to 1250 ° C., 30
A hold of more than a minute is recommended. After pickling the obtained hot rolled sheet,
Cold rolling. The reduction ratio from the steel ingot to the final plate thickness is 99.
It is desirable to be 9% or more. Moreover, when carrying out an intermediate annealing, it is desirable to make it 750 degreeC or more.

【００４３】本発明は、高精度のエッチング加工と低熱
膨張性が要求されるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金
薄板全般を対象とする。低熱膨張特性のＦｅ−Ｎｉ系合
金薄板を素材とするシャドウマスクは熱膨張による位置
ずれが少ないので、これを用いたブラウン管の画像は一
段と鮮明になる。The present invention provides high-precision etching processing and low heat treatment.
Shall be the subject of Fe-Ni alloy sheet General for a shadow mask expansion is required. Since a shadow mask made of a Fe-Ni alloy thin plate having a low thermal expansion characteristic has a small positional displacement due to thermal expansion, an image of a cathode ray tube using this shadow mask becomes clearer.

【００４４】[0044]

【実施例】以下に、本発明鋼をシャドウマスク用素材と
して使用する場合の実施例を示す。EXAMPLES Examples of using the steel of the present invention as a material for a shadow mask are shown below.

【００４５】本発明例および比較例の合金鋼の化学組成
を第１表に示す。成分組成は、シャドウマスク用素材と
して必要な低熱膨張特性、黒化処理性およびプレス成形
性が得られるものとし、鋼Ｎｏ．Ａ〜Ｃの３種類を溶製
した。Table 1 shows the chemical compositions of the alloy steels of the present invention and comparative examples. The composition of the components is such that low thermal expansion characteristics, blackening processability and press formability required for a shadow mask material can be obtained. Three types of A to C were melted.

【００４６】[0046]

【表１】 [Table 1]

【００４７】次に表１に示す成分組成で溶製した鋼塊を
１１５０〜１２５０℃×１〜５０時間の熱処理後に分塊
圧延し、１１００℃×１〜５時間の熱処理後に熱間圧延
して厚さ２．０mmの熱延鋼板を得た。さらに冷間圧延と
７５０℃以上の焼鈍と所定の歪み取り焼鈍を行い、板厚
０．１２〜０．２２mmの薄板Ｎｏ．１〜３５を製造し
た。Ｎｏ．１〜２７が本発明例であり、Ｎｏ．２８〜３
５が比較例である。Next, a steel ingot melted with the composition shown in Table 1 was heat-treated at 1150 to 1250 ° C. for 1 to 50 hours, then slab-rolled, and heat-treated at 1100 ° C. for 1 to 5 hours, then hot-rolled. A hot rolled steel sheet having a thickness of 2.0 mm was obtained. Further, cold rolling, annealing at 750 ° C. or higher, and predetermined strain relief annealing were performed to obtain a thin plate No. No. having a thickness of 0.12 to 0.22 mm. 1-35 were produced. No. 1 to 27 are examples of the present invention, and No. 28-3
5 is a comparative example.

【００４８】表２に、Ｎｏ．１〜３５の薄板についてテ
ンションアニールによる歪み取り焼鈍条件を示し、板形
状、熱収縮率および表面硬度を評価した結果を示す。な
お、表２に示す硬度は板形状のパラメ−タの一つであ
る。硬度が低いと張力増加時に鋼板表面にしわができ、
板形状が均一にならず、好ましくない。そのため、硬度
は高いほど好ましい。本発明例のＮｏ．１〜２７では急
峻度が０. ５％以下の良好な板形状、０. ０８％以下の
熱収縮率を示し、歪み取り焼鈍後に再結晶による軟化も
生じなかった。一方、比較として用いた鋼板ではそれぞ
れ以下の問題が発生した。すなわち、Ｎｏ．２８鋼板で
は鋼板温度が低く、Ｎｏ．２９鋼板とＮｏ．３２鋼板で
は張力が低く、所定の急峻度が得られなかった。Ｎｏ．
３０鋼板、Ｎｏ．３１鋼板およびＮｏ．３３鋼板では張
力が各鋼板温度での所定の張力よりも過大であり、熱収
縮率が基準値を超えた。Ｎｏ．３４鋼板では鋼板温度が
高すぎるために所定の硬度が得られなかった。また、Ｎ
ｏ．３５鋼板では鋼板温度が高すぎるために鋼板が軟ら
かくネッキングを起こし鋼板形状と熱収縮率の測定は不
可能であった。In Table 2, No. The conditions for strain relief annealing by tension annealing are shown for the thin plates of 1 to 35, and the results of evaluation of the plate shape, thermal shrinkage and surface hardness are shown. The hardness shown in Table 2 is one of the plate-shaped parameters. If the hardness is low, wrinkles will form on the steel plate surface when the tension increases,
The plate shape is not uniform, which is not preferable. Therefore, the higher the hardness, the more preferable. No. 1 of the present invention example. In Nos. 1 to 27, the steepness showed a good plate shape of 0.5% or less and the heat shrinkage rate of 0.08% or less, and softening due to recrystallization did not occur after the strain relief annealing. On the other hand, the steel sheets used for comparison each had the following problems. That is, No. No. 28 steel plate has a low steel plate temperature, and 29 steel plate and No. With the No. 32 steel plate, the tension was low, and a predetermined steepness could not be obtained. No.
No. 30 steel plate, No. 30 No. 31 steel plate and No. 31 steel plate. In the 33 steel plate, the tension was higher than the predetermined tension at each steel plate temperature, and the heat shrinkage ratio exceeded the reference value. No. With the No. 34 steel plate, the predetermined hardness could not be obtained because the steel plate temperature was too high. Also, N
o. In the No. 35 steel plate, the steel plate temperature was too high, so that the steel plate was soft and caused necking, and it was impossible to measure the steel plate shape and heat shrinkage ratio.

【００４９】[0049]

【表２】 [Table 2]

【００５０】本発明によれば、板形状および耐熱収縮性
に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系低熱膨張合金薄
板の製造方法を提供することができ、特にテレビジョン
やコンピュータディスプレイに使用されるシャドウマス
ク用素材として好適である。According to the present invention, it is possible to provide a method for producing an Fe- Ni-based low thermal expansion alloy thin plate for a shadow mask , which is excellent in plate shape and heat shrinkage resistance, and in particular a shadow used for a television or a computer display. It is suitable as a mask material.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】歪み取り焼鈍における温度、張力条件範囲を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing temperature and tension condition ranges in strain relief annealing.

【図２】シャドウマスクにおけるプレス型のセット状態
を示した模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a set state of a press die in a shadow mask.

【図３】張力と急峻度の関係を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a relationship between tension and steepness.

【図４】張力と熱収縮率の関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between tension and heat shrinkage.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾崎 大介 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 丸山 俊明 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (72)発明者 井上 正 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−271936（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−214821（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−290828（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−251227（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−73452（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C21D 9/46 - 9/48 C21D 8/00 - 8/04 C22C 38/00 - 38/60 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Daisuke Ozaki 1-2-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Japan Steel Pipe Co., Ltd. (72) Toshiaki Maruyama 1-2-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Steel Pipe Incorporated (72) Inventor Tadashi Inoue 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Within Nihon Kokan Co., Ltd. (56) Reference JP-A-6-271936 (JP, A) JP-A-4-214821 (JP , A) JP 62-290828 (JP, A) JP 60-251227 (JP, A) JP 6-73452 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. ⁷ , DB) Name) C21D 9/46-9/48 C21D 8/00-8/04 C22C 38/00-38/60

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】Ｎｉを３２−３８ｗｔ％ 含むＦｅ−Ｎｉ
系合金を、冷間圧延後、歪み取り焼鈍を行なう際、図１
の斜線部内で示される温度・張力条件で行うことを特徴
とする板形状および耐熱収縮性に優れたシャドウマスク
用低熱膨張合金薄板の製造方法。図１において 点Ａ：張力０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０
℃ 点Ｂ：張力 ０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６１０
℃ 点Ｃ：張力 ３ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｄ：張力 １２ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｅ：張力 ７ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０℃ を示す。1. Fe-Ni containing 32-38 wt% Ni
When a strain-relief annealing is performed after cold rolling a system alloy, as shown in FIG.
Shadow mask with excellent plate shape and heat shrinkage, which is performed under the temperature and tension conditions shown in the shaded area
Of low thermal expansion alloy sheet for automobiles. In FIG. 1, point A: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 690
C point B: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 610
℃ point C: tension 3 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point D: tension 12 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point E: tension 7 kgf / mm ² , steel plate temperature 690 ° C. 【請求項２】Ｎｉを３２−３８ｗｔ％ 含むＦｅ−Ｎｉ
系合金を、冷間圧延後、テンションアニ−ルによる歪み
取り焼鈍を行なう際、図１の斜線部内で示される温度・
張力条件で５−６０秒間の均熱処理を行い、さらに２０
−３００℃／秒の冷却速度で冷却することを特徴とする
板形状および耐熱収縮性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ
−Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。図１において 点Ａ：張力 ０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０
℃ 点Ｂ：張力 ０． ５ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６１０
℃ 点Ｃ：張力 ３ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｄ：張力 １２ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｅ：張力 ７ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０℃ を示す。2. Fe-Ni containing 32-38 wt% Ni.
When cold-rolling the strain-based alloy and performing strain relief annealing with a tension anneal, the temperature and temperature shown in the shaded area in FIG.
Perform soaking for 5-60 seconds under tension, and
Fe for a shadow mask excellent in plate shape and heat shrinkage characterized by cooling at a cooling rate of −300 ° C./second
-A method for manufacturing a Ni-based low thermal expansion alloy sheet. In FIG. 1, point A: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 690
C point B: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 610
C point C: tension 3 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point D: tension 12 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point E: tension 7 kgf / mm ² , steel plate temperature 690 ° C. 【請求項３】Ｎｉを２３−３８ｗｔ％ 、Ｃｏを７ｗｔ
％ 以下含み、かつＮｉ＋Ｃｏを３０−３８ｗｔ％ とす
るＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金を、冷間圧延後、歪み取り焼
鈍を行なう際、図１の斜線部内で示される温度・張力条
件で行うことを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優
れたシャドウマスク用低熱膨張合金薄板の製造方法。図
１において 点Ａ：張力 ０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度６９０
℃ 点Ｂ：張力 ０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６１０
℃ 点Ｃ：張力 ３ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｄ：張力 １２ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｅ：張力 ７ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０℃ を示す。3. Ni-23-38 wt%, Co 7 wt.
%, And Fe—Ni—Co alloy containing Ni + Co of 30-38 wt% is subjected to strain relief annealing after cold rolling under the temperature and tension conditions shown in the shaded area of FIG. A method for producing a low thermal expansion alloy thin plate for a shadow mask , which is excellent in plate shape and heat shrinkage resistance. In FIG. 1, point A: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 690
C point B: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 610
℃ point C: tension 3 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point D: tension 12 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point E: tension 7 kgf / mm ² , steel plate temperature 690 ° C. 【請求項４】Ｎｉを２３−３８ｗｔ％ 、Ｃｏを７ｗｔ
％ 以下含み、かつＮｉ＋Ｃｏを３０−３８ｗｔ％ とす
るＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金を、冷間圧延後、テンション
アニ−ルによる歪み取り焼鈍を行なう際、図１の斜線部
内で示される温度・張力条件で５−６０秒間の均熱処理
を行い、さらに２０−３００℃／秒の冷却速度で冷却す
ることを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優れたシ
ャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方
法。図１において 点Ａ：張力 ０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０
℃ 点Ｂ：張力 ０． ５ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６１０
℃ 点Ｃ：張力 ３ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｄ：張力 １２ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ５５０℃ 点Ｅ：張力 ７ ｋｇｆ／ｍｍ²、 鋼板温度 ６９０℃ を示す。4. Ni-23-38 wt% and Co 7 wt.
% Or less, and when the Fe-Ni-Co alloy containing Ni + Co of 30-38 wt% is cold rolled and then strain relief annealing is performed by a tension anneal, the temperature and tension shown in the shaded area in FIG. perform soaking 5-60 seconds under the condition, excellent further 20-300 ° C. / sec plate-shaped and heat-shrinkable, characterized in that at a cooling rate of sheet
A method for manufacturing an Fe- Ni-based low thermal expansion alloy thin plate for a metal mask . In FIG. 1, point A: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 690
C point B: tension 0. 5 kgf / mm ² , steel plate temperature 610
℃ point C: tension 3 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point D: tension 12 kgf / mm ² , steel plate temperature 550 ° C. point E: tension 7 kgf / mm ² , steel plate temperature 690 ° C.