JP3373894B2 - 冷凍装置 - Google Patents

冷凍装置

Info

Publication number
JP3373894B2
JP3373894B2 JP13242893A JP13242893A JP3373894B2 JP 3373894 B2 JP3373894 B2 JP 3373894B2 JP 13242893 A JP13242893 A JP 13242893A JP 13242893 A JP13242893 A JP 13242893A JP 3373894 B2 JP3373894 B2 JP 3373894B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
expansion
compression
guide
piston
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP13242893A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06323667A (ja
Inventor
和男 池上
直秀 谷川
力雄 但野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP13242893A priority Critical patent/JP3373894B2/ja
Priority to US08/239,415 priority patent/US5465579A/en
Publication of JPH06323667A publication Critical patent/JPH06323667A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3373894B2 publication Critical patent/JP3373894B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compressor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、スターリング冷凍機な
どの蓄冷型冷凍機を使用して超低温を実現する冷凍装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】バイオテクノロジーの分野や電子デバイ
スの分野等の先端技術分野において、各種試料や各種材
料の超低温の保存技術の開発が急務になっている。特
に、スターリング冷凍機などの蓄冷型冷凍機は、上記超
低温を実現する手段として注目され各種赤外線センサ
ー、超電導デバイス等の冷却用やバイオメディカル用の
フリーザ、冷凍庫等に広く利用されようとしている。
【0003】ここでは、2ピストン型スターリング冷凍
機について図4を参照して動作原理を説明する。
【0004】スターリング冷凍機1は、ガス圧縮機2と
膨張機3とを、途中に蓄冷器4とを介装したガス流路5
によって連通させ、このガス流路5のガス圧縮機2側に
放熱器6と蓄冷器4の入口側に放熱器7とを配設する一
方、膨張機3の上部に冷凍取り出し部8を形成し、さら
に、ガス圧縮機2の後方で、かつ、膨張機3の下方には
クランク機構部9を配設した構成としている。
【0005】ガス圧縮機2は、ヘリウム等極低温の沸点
の冷媒ガスを所定のサイクルに従って圧縮して圧縮され
た冷媒ガスを膨張機3へ供給するものであり、ガス圧縮
機2では、圧縮シリンダ本体10の内側に冷媒ガスを圧
縮する圧縮空間11を形成し、圧縮ピストン13が圧縮
シリンダ12に摺動自在に嵌装されて後述するクランク
機構部9の作用により圧縮ピストン13が往復運動をす
るようになっている。
【0006】膨張機3は、ガス圧縮機2から蓄冷器4を
介して供給された圧縮冷媒ガスを膨張させるものであ
り、膨張機3は、膨張機本体14の内側に膨張シリンダ
15が上下方向に配設され、この膨張シリンダ15の内
側に膨張ピストン16が上下方向に摺動自在に嵌装さ
れ、膨張機3の内側に低温が発生する膨脹空間として冷
凍発生部17が形成されている。
【0007】蓄冷器4は、膨張機本体14の内周と膨張
シリンダ15の外周との間に円筒形状に形成され、ガス
流路5を介して膨張機3へ供給される圧縮された冷媒ガ
スを冷却する一方、冷凍発生部17で膨脹され冷却され
た冷媒ガスがガス圧縮機2に戻される際に、その冷媒が
冷却されて蓄冷するものであり、その材料としては、比
熱の大きな銅やステンレス鋼、さらに、鉛等が用いら
れ、それらが冷媒ガスを通す微細孔が多数穿設された円
筒形状に形成されたものである。
【0008】ガス流路5は、ガス圧縮機2と膨張機3と
を連通する配管で蓄冷器4の入口側では、圧縮冷媒ガス
が均等に蓄冷器4内を通過するようになっている。放熱
器6と放熱器7は、圧縮された高温の冷媒ガスを室温付
近に下げるもので、放熱器6は圧縮シリンダ本体10の
胴部の外側に多数の円板状フィンを立設され、放熱器7
は、膨張機本体14の胴部の外側に多数の円形状フィン
を立設している。冷凍取り出し部8は、冷凍発生部17
で発生した冷熱を図示省略する低温槽等へ取り出すもの
で、膨張機本体14の上部にステンレス鋼等の板状体で
覆われている。
【0009】クランク機構部9は、圧縮ピストン13と
膨張ピストン16とを図示省略する駆動モータを駆動源
としてクランク運動の作用で往復運動をさせるものであ
り、クランク機構部9は、圧縮シリンダ12の後方に案
内部20を形成すると共に、膨張シリンダ15の下方に
案内部21とを形成したクランク室22を有し、このク
ランク室22の底部に潤滑油23を収納し、さらに、ク
ランク室22の内部にクランク機構24を配設してい
る。そして、このクランク機構24から延設されるコネ
クティングロッド25が案内部20の案内受20aにク
ロスガイド26が摺動自在に嵌装され、このクロスガイ
ド26に連絡するピストンロッド27が案内部20の貫
通穴20bに貫通して圧縮ピストン13の後部に接続す
ると共に、クランク機構24から延設されるコネクティ
ングロッド28が案内部21の案内受21aにクロスガ
イド29が摺動自在に嵌装され、このクロスガイド29
に連絡するピストンロッド30が膨張ピストン16の後
部に接続している。
【0010】なお、31は圧縮空間11と圧縮ピストン
13の後方の空間32を断絶するピストンシールで、3
3はクランク室22の潤滑油23が空間32に侵入する
のを防止するオイルシールを示している。また、34は
冷凍発生部17と膨張ピストン16の後方の空間35を
断絶するピストンシールで、36はクランク室22の潤
滑油23が空間35に侵入するのを防止するオイルシー
ルを示す。
【0011】まず、図示省略する駆動モータの回転によ
ってクランク機構部9のクランク機構24が駆動する
と、ガス圧縮機2の圧縮シリンダ12内の圧縮ピストン
13が圧縮空間11側に移動して圧縮空間11に充満す
るヘリウムや窒素等の液化しにくい冷媒ガスが圧縮され
る。圧縮された冷媒ガスは、圧縮シリンダ本体10の外
周に設けられる放熱器6によって外部に放熱され室温付
近まで冷却され、ガス流路5を通り、さらに、放熱器7
で冷却されて蓄冷器4へ流入する。
【0012】蓄冷器4に流入した冷媒ガスは、比熱の大
きな材料、例えば、銅や鉛の金網状あるいは球からなる
蓄冷材によって冷却され、冷却された冷媒ガスが膨張機
3の冷凍発生部17へ流入され、冷凍発生部17が高圧
状態となる。
【0013】その後、膨張機3の膨張シリンダ15内の
膨張ピストン16が圧縮ピストン13と約90°の位相
差を持って降下してくる。これによって、膨張空間とし
ての冷凍発生部17が拡張されて蓄冷器4から冷凍発生
部17へ流入した高圧の冷媒ガスが、急に膨張されて、
冷凍発生部17の冷媒ガスの圧力が急降下するため冷媒
ガスが低温となる。
【0014】やがて、膨張ピストン16が上昇を開始
し、圧縮ピストン13が後退すると、低温の冷媒ガス
が、蓄冷器4を通り、ガス流路5を経て圧縮空間11へ
戻る。このとき、蓄冷器4では、蓄冷材が冷却され蓄冷
器4に冷熱が蓄えられる。
【0015】上記した工程によって、一つの熱サイクル
が終了し、この工程がクランク機構部9のクランク機構
24の往復運動によって繰り返される。これにより、徐
々に冷凍発生部17の温度と蓄冷器4の温度が降下し、
冷凍発生部17の冷媒ガスが低温とされる。この状態の
とき、冷凍取り出し部8では、冷凍発生部17の冷熱を
外部の図示省略する熱利用部としての低温槽と熱交換を
行って外部の低温槽の冷却負荷を冷凍温度とする。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図4で
説明した従来のスターリング冷凍機1では、クランク室
22の潤滑油23が案内部20および案内部21のシー
ル部から作動空間としてのガス圧縮機2および膨張機3
とに混入して冷凍能力を低下させるという問題がある。
【0017】従来、ガス圧縮機2では、クランク機構2
4から延設されるコネクティングロッド25が案内部2
0の案内受20aにクロスガイド26が摺動自在に嵌装
され、クロスガイド26のピストンロッド27が貫通穴
20bに貫通し、このピストンロッド27には、オイル
シール33が施され、圧縮ピストン13の後部に接続さ
れている。
【0018】この構成で、クランク機構24によるクラ
ンク運動を圧縮ピストン13の往復運動とすると共に、
クランク室22の潤滑油23が圧縮ピストン13の後方
の空間32へ混入することを防止している。
【0019】ところが、上記オイルシール33のみで潤
滑油23を完全にシールすることは困難であり、潤滑油
23が後方の空間32に侵入する。このため侵入した潤
滑油23が冷媒ガスに混入して冷凍能力を低下させ、ま
た、蓄冷器4の蓄冷材に混入して蓄冷能力の劣化をさせ
るという問題がある。
【0020】以上のことは、膨張機3の圧縮ピストン1
3と案内部21についても同様である。
【0021】そこで、本発明は、作動空間へ潤滑油の混
入を極めて効果的に防止した冷凍装置を提供することを
目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、圧縮
シリンダによって圧縮される圧縮空間と膨張シリンダに
よって膨脹される膨張空間とが蓄冷器を介した流路によ
って連通させると共に、前記圧縮シリンダの圧縮ピスト
ンと前記膨張シリンダの膨張ピストンとが相互に所定の
位相差をもって往復駆動されるようにクランク機構部を
介して駆動モータに接続され、前記圧縮空間から前記膨
張空間に導かれる冷媒ガスの膨張過程を含む熱サイクル
によって低温を発生させる冷凍装置において、前記クラ
ンク機構部のクランクからそれぞれ延設されるコネクテ
ィングロッドの他端がそれぞれ対応するクロスガイドに
回動自在に連結され、さらに、前記クロスガイドから延
設されるピストンロッドによってそれぞれの前記圧縮ピ
ストンまたは膨張ピストンの後部に接続される一方、ク
ロスガイドを案内するための案内部に形成される案内凹
部に嵌合する軸受筒に前記クロスガイドが摺動自在に嵌
装され、かつ、前記案内凹部の底部には潤滑油の付着を
防ぐ撥油部が形成され、さらに、前記案内凹部の底部か
ら圧縮シリンダまたは膨張シリンダ方向に前記ピストン
ロッドが貫通し、かつ、オイルシールが施された貫通孔
が形成されるようにしたものである。
【0023】請求項2の発明は、圧縮シリンダによって
圧縮される圧縮空間と膨張シリンダによって膨脹される
膨張空間とが蓄冷器を介した流路によって連通させると
共に、前記圧縮シリンダの圧縮ピストンと前記膨張シリ
ンダの膨張ピストンとが相互に所定の位相差をもって往
復駆動されるようにクランク機構部を介して駆動モータ
に接続され、前記圧縮空間から前記膨張空間に導かれる
冷媒ガスの膨張過程を含む熱サイクルによって低温を発
生させる冷凍装置において、前記クランク機構部のクラ
ンクからそれぞれ延設されるコネクティングロッドの他
端がそれぞれ対応するクロスガイドに回動自在に連結さ
れ、さらに、前記クロスガイドから延設されるピストン
ロッドによってそれぞれ前記圧縮ピストンまたは膨張ピ
ストンの後部に接続される一方、前記クロスガイドを案
内するための案内部に形成される案内凹部に嵌合する潤
滑油を戻す油戻し溝が形成された軸受筒に前記クロスガ
イドが摺動自在に嵌装され、さらに、前記案内凹部の底
部から前記圧縮シリンダまたは膨張シリンダ方向に前記
ピストンロッドが貫通し、かつ、オイルシールが施され
た貫通孔が形成されるようにしたものである。
【0024】
【作用】請求項1の発明は、案内部の案内受凹部の底部
に潤滑油の付着を防ぐ撥油部を設けるようにしたために
潤滑油が圧縮ピストンまたは膨張ピストンを介して、圧
縮シリンダまたは膨張シリンダの作動空間に混入するこ
とが防止される。従って、蓄冷能力の劣化や熱交換能力
の劣化が回避されて冷凍能力の維持が図れる。
【0025】請求項2の発明は、案内部の案内受凹部へ
侵入した潤滑油を戻す油戻し溝を案内受凹部に嵌合する
軸受筒に形成するようにしたため潤滑油が圧縮ピストン
または膨張ピストンを介して、圧縮シリンダまたは膨張
シリンダの作動空間に混入することが防止される。従っ
て、蓄冷能力の劣化や熱交換能力の劣化が回避されて冷
凍能力の維持が図れる。
【0026】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0027】図1は、本発明の第1実施例を示すスター
リング冷凍機1に備える潤滑油シール機構部の概略図で
ある。従来例を示す図4と同一符号は、同一部分または
相当部分を示し図1に示す部分以外の各部は、図4とほ
ぼ同一の構成となっており、本実施例は、ガス圧縮機2
の圧縮シリンダ12側へ潤滑油シール機構部37を適用
した例を説明する。
【0028】図において、潤滑油シール機構部37は案
内部20に形成され、案内部20は円柱形状で後部にク
ロスガイド26が嵌装して摺動自在とする軸受筒38が
嵌合する中空の案内受凹部20aが形成され、そして、
案内受凹部20aに連通してクロスガイド26に接続す
るピストンロッド27が貫通する貫通穴20bが形成さ
れ、この貫通穴20bの中間部に2個の凹部20cが形
成され、これら凹部20cにそれぞれオイルシール33
が施されている。
【0029】そして、案内受凹部20aの底部20a1
には、撥油部39が形成されている。この撥油部39と
しては、例えば、油を弾く性質が強力なテフロンコート
等の薄い膜を用いて、これを塗布または貼り付けるよう
になっている。
【0030】なお、26aはガス抜きのためのガス抜き
孔、40はクロスガイド26とコネクティングロッド2
5とを連結してコネクティングロッド25を回動自在と
する締着具を示している。
【0031】上記構成で、駆動モータを駆動源としてク
ランク機構24が回転してクランク運動をする。このク
ランク機構24に延設されるコネクティングロッド25
が案内部20に形成される案内受凹部20aの軸受筒3
8に摺動自在に嵌装されるクロスガイド26を往復運動
させ、クロスガイド26に連結するピストンロッド27
によって圧縮ピストン13を往復運動させる。
【0032】これによって、クランク室22に充たされ
る潤滑油23がクロスガイド26等を伝わって案内部2
0の案内受凹部20aに侵入し、クロスガイド26の往
復運動に伴って潤滑油23が案内受凹部20aの底部2
0a1に溜まるようになる。この状態のとき、案内受凹
部20aの底部20a1に溜まる潤滑油23が撥油部3
9によって弾かれる。
【0033】従って、潤滑油23が案内部20の貫通穴
20bへ侵入することが防止され、しかも、万一、潤滑
油23が案内部20の貫通穴20bへ侵入したとしても
オイルシール33によって空間32への侵入が防止され
る。
【0034】このように、案内受凹部20aの底部20
a1に侵入した潤滑油23が撥油部39によって弾かれ
るため作動空間としてのガス圧縮機2側に潤滑油23の
侵入を防止することができる。
【0035】従って、ガス圧縮機2への潤滑油23の侵
入によるスターリング冷凍機1の冷凍能力の低下が防止
でき、また、蓄冷器4に潤滑油23の侵入が防止でき蓄
冷材の蓄冷能力の低下を回避することができる。なお、
第1実施例では、ガス圧縮機2に潤滑油シール機構部3
7を適用した例を説明したが、膨張機3に潤滑油シール
機構部37を同様に適用して実施することができる。
【0036】図2は、本発明の第2実施例を示すスター
リング冷凍機1に備える潤滑油シール機構部の概略図で
ある。
【0037】従来例を示す図4と同一符号は、同一部分
または相当部分を示し、図2に示す部分以外の各部は、
図4とほぼ同一の構成となっており、ガス圧縮機2の圧
縮シリンダ12側へ潤滑油シール機構部41を適用した
例を説明する。
【0038】図において、潤滑油シール機構部41は、
案内部20に形成され、案内部20は円柱形状で後部に
クロスガイド26が摺動自在に嵌装する軸受筒42が嵌
合する中空の案内受凹部20aが形成され、そして、案
内受凹部20aに連通してクロスガイド26に接続する
ピストンロッド27が貫通する貫通穴20bが形成さ
れ、この貫通穴20bの中間部に2個の凹部20cが形
成され、これら凹部20cにオイルシール33が施され
ている。
【0039】そして、案内部20に嵌合した軸受筒42
は、図3に示す断面図のように下部に油戻し溝42aが
設けられ、この油戻し溝42aは、案内受凹部20aの
底部20a1から開口部20a2にかけて高低差をもち
傾斜している。また、クロスガイド26には、ガス抜き
孔26aが設けられ、クロスガイド26の下側には油抜
き孔26bが形成されている。
【0040】なお、40は、クロスガイド26とコネク
ティングロッド25とを連結してコネクティングロッド
25を回動自在とする締着具を示している。
【0041】上記構成で、駆動モータを駆動源としてク
ランク機構24が回転してクランク運動をすると、この
クランク機構24に延設されるコネクティングロッド2
5が案内部20に形成される案内受凹部20aの軸受筒
42に摺動自在に嵌装されるクロスガイド26を往復運
動させ、クロスガイド26に連結するピストンロッド2
7によって圧縮ピストン13を往復運動させる。
【0042】これによって、クランク室22に充たされ
る潤滑油23がクロスガイド26等を伝わって案内部2
0の案内受凹部20aの底部20a1に溜まるようにな
る。
【0043】この状態のとき、案内受凹部20aの底部
20a1に溜まった潤滑油23が軸受筒42に形成され
る油戻し溝42aを伝って案内受凹部20aの開口部2
0a2側へ戻される。
【0044】また、クロスガイド26の周辺に溜まった
潤滑油23がクロスガイド26に形成された油抜き孔2
6bに流入し、軸受筒42に形成された油戻し溝42a
を伝って案内受凹部20aの開口部20a2からクラン
ク室22へ戻される。また、万一、潤滑油23が案内部
20の貫通穴20bへ侵入したとしてもオイルシール3
3によって空間32への侵入が防止される。
【0045】このように、案内受凹部20aの底部20
a1に侵入した潤滑油23が軸受筒42の油戻し溝42
aを伝ってクランク室22へ戻されるため作動空間とし
てのガス圧縮機2側に潤滑油23の侵入を防止すること
ができる。
【0046】なお、第2実施例ではガス圧縮機2に潤滑
油シール機構部41を適用した例を説明したが、膨張機
3に潤滑油シール機構部41を適用して同様に実施する
ことができる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように請求項1の発明よれ
ば、案内部の案内受凹部の底部に潤滑油の付着を防ぐ撥
油部を設けるようにしたために潤滑油が圧縮シリンダま
たは膨張シリンダの作動空間に混入することが防止され
る。従って、蓄冷能力の劣化や熱交換能力の劣化が回避
されて冷凍能力の維持が図れる。
【0048】請求項2の発明は、潤滑油を戻す油戻し溝
を案内受凹部に嵌合する軸受筒に形成するようにしたた
め潤滑油が圧縮ピストンまたは膨張ピストンを介して、
圧縮シリンダまたは膨張シリンダの作動空間に混入する
ことが防止される。従って、蓄冷能力の劣化や熱交換能
力の劣化が回避されて冷凍能力の維持が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すスターリング冷凍機
に備える潤滑油シール機構部の要部断面図。
【図2】本発明の第2実施例を示すスターリング冷凍機
に備える潤滑油シール機構部の要部断面図。
【図3】図2の案内受凹部に嵌合した軸受筒の断面図。
【図4】従来例を示すスターリング冷凍機の概略図。
【符号の説明】
1 スターリング冷凍機 2 ガス圧縮機 3 膨張機 4 蓄冷器 5 ガス流路 6 放熱器 7 放熱器 8 冷凍取り出し部 9 クランク機構部 10 圧縮シリンダ本体 11 圧縮空間 12 圧縮シリンダ 13 圧縮ピストン 20 案内部 20a 案内受凹部 20b 貫通孔 21 案内部 22 クランク室 23 潤滑油 24 クランク機構 25 コネクティングロッド 26 クロスガイド 26b 油抜き孔 27 ピストンロッド 28 コネクティングロッド 29 クロスガイド 30 ピストンロッド 32 空間 33 オイルシール 35 空間 36 オイルシール 37 潤滑油シール機構部 38 軸受筒 39 撥油部 40 締着具 41 潤滑油シール機構部 42 軸受筒 42a 油戻し溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−87854(JP,A) 特開 昭61−79848(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F25B 9/14 510 F02G 1/053

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧縮シリンダによって圧縮される圧縮空
    間と膨張シリンダによって膨脹される膨張空間とが蓄冷
    器を介した流路によって連通させると共に、前記圧縮シ
    リンダの圧縮ピストンと前記膨張シリンダの膨張ピスト
    ンとが相互に所定の位相差をもって往復駆動されるよう
    にクランク機構部を介して駆動モータに接続され、前記
    圧縮空間から前記膨張空間に導かれる冷媒ガスの膨張過
    程を含む熱サイクルによって低温を発生させる冷凍装置
    において、 前記クランク機構部のクランクからそれぞれ延設される
    コネクティングロッドの他端がそれぞれ対応するクロス
    ガイドに回動自在に連結され、さらに、前記クロスガイ
    ドから延設されるピストンロッドによってそれぞれの前
    記圧縮ピストンまたは膨張ピストンの後部に接続される
    一方、クロスガイドを案内するための案内部に形成され
    る案内凹部に嵌合する軸受筒に前記クロスガイドが摺動
    自在に嵌装され、かつ、前記案内凹部の底部には潤滑油
    の付着を防ぐ撥油部が形成され、さらに、前記案内凹部
    の底部から前記圧縮シリンダまたは膨張シリンダ方向に
    前記ピストンロッドが貫通し、かつ、オイルシールが施
    された貫通孔が形成されていることを特徴とする冷凍装
    置。
  2. 【請求項2】 圧縮シリンダによって圧縮される圧縮空
    間と膨張シリンダによって膨脹される膨張空間とが蓄冷
    器を介した流路によって連通させると共に、前記圧縮シ
    リンダの圧縮ピストンと前記膨張シリンダの膨張ピスト
    ンとが相互に所定の位相差をもって往復駆動されるよう
    にクランク機構部を介して駆動モータに接続され、前記
    圧縮空間から前記膨張空間に導かれる冷媒ガスの膨張過
    程を含む熱サイクルによって低温を発生させる冷凍装置
    において、 前記クランク機構部のクランクからそれぞれ延設される
    コネクティングロッドの他端がそれぞれ対応するクロス
    ガイドに回動自在に連結され、さらに、前記クロスガイ
    ドから延設されるピストンロッドによってそれぞれ前記
    圧縮ピストンまたは膨張ピストンの後部に接続される一
    方、前記クロスガイドを案内するための案内部に形成さ
    れる案内凹部に嵌合する潤滑油を戻す油戻し溝が形成さ
    れた軸受筒に前記クロスガイドが摺動自在に嵌装され、
    さらに、前記案内凹部の底部から前記圧縮シリンダまた
    は膨張シリンダ方向に前記ピストンロッドが貫通し、か
    つ、オイルシールが施された貫通孔が形成されているこ
    とを特徴とする冷凍装置。
JP13242893A 1993-05-12 1993-05-12 冷凍装置 Expired - Fee Related JP3373894B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13242893A JP3373894B2 (ja) 1993-05-12 1993-05-12 冷凍装置
US08/239,415 US5465579A (en) 1993-05-12 1994-05-06 Gas compression/expansion apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13242893A JP3373894B2 (ja) 1993-05-12 1993-05-12 冷凍装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06323667A JPH06323667A (ja) 1994-11-25
JP3373894B2 true JP3373894B2 (ja) 2003-02-04

Family

ID=15081151

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13242893A Expired - Fee Related JP3373894B2 (ja) 1993-05-12 1993-05-12 冷凍装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3373894B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009236420A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Sumitomo Heavy Ind Ltd 冷凍機用コールドヘッド

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06323667A (ja) 1994-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5927079A (en) Stirling refrigerating system
JPH055568A (ja) パルス管式冷凍機
JPS61256158A (ja) 冷凍装置
JP3373894B2 (ja) 冷凍装置
US4281517A (en) Single stage twin piston cryogenic refrigerator
JP3281762B2 (ja) スタ−リング冷凍装置
JP2000121186A (ja) 蓄冷型冷凍機
JPH06323658A (ja) 冷凍装置
JPH0452468A (ja) 極低温冷凍装置
US5101635A (en) Refrigeration system
JPH0674584A (ja) 極低温冷凍機およびその運転方法
JPH05306846A (ja) スタ−リング冷凍装置
JPH07151411A (ja) 冷凍装置
JPH07151408A (ja) 冷凍装置
JPH08313091A (ja) ガス圧縮/膨張機のオイルシール装置
JP3152542B2 (ja) 冷凍装置
US3487650A (en) Compression apparatus with balanced pressure and dynamic forces on piston
JPH07151404A (ja) オイルシール装置
JP3363697B2 (ja) 冷凍装置
JPH0996480A (ja) 低温貯蔵庫
JP2823534B2 (ja) ガス圧縮膨張機
JP2885529B2 (ja) 極低温冷凍機
JPH05312425A (ja) 極低温冷凍機
JP2823545B2 (ja) ガス圧縮膨張機
JP2877733B2 (ja) ガス圧縮機

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees