JP3371847B2 - インピーダンス／電圧変換装置及びその変換方法 - Google Patents
インピーダンス／電圧変換装置及びその変換方法Info
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Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は、演算増幅器を用いてイン
ピーダンスを対応する電圧に変換するインピーダンス／
電圧（Ｚ／Ｖ）変換装置に関し、特に、温度変化等の環
境変化及び装置自身の発熱等による出力電圧のドリフト
を防止することができるＺ／Ｖ変換装置に関する。
ピーダンスを対応する電圧に変換するインピーダンス／
電圧（Ｚ／Ｖ）変換装置に関し、特に、温度変化等の環
境変化及び装置自身の発熱等による出力電圧のドリフト
を防止することができるＺ／Ｖ変換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、特開昭６１−１４５７８号公報
に開示された静電容量−電圧（Ｃ／Ｖ）変換装置の構成
を示す概略図である。この従来例の装置は、未知の静電
容量ＣｘをＣ／Ｖ変換装置に接続するための信号線に浮
遊容量が重畳されること、及び、該信号線の移動や折り
曲げ等により浮遊容量が変化すること等によって、正確
なＣ／Ｖ変換ができないというという課題を解決するた
めに提案されたものであり、図示のように、交流信号発
生器ＯＳと演算増幅器ＯＰとの間に、信号線Ｌ１及びＬ
２を介して未知の容量Ｃｘを接続し、これらの信号線Ｌ
１及びＬ２をシールド手段ｓ１及びｓ２でシールドする
ことにより、浮遊容量Ｃｓ１、Ｃｓ２、Ｃｓ３の影響を
低減しようとするものである。なお、演算増幅器ＯＰの
出力端子と反転入力端子との間には、抵抗Ｒｆとコンデ
ンサＣｆとの並列回路からなる帰還回路が接続され、反
転増幅器の非反転入力端子、交流信号発生器ＯＳの他
端、及びシールドｓ１及びｓ２は、接地されている。
に開示された静電容量−電圧（Ｃ／Ｖ）変換装置の構成
を示す概略図である。この従来例の装置は、未知の静電
容量ＣｘをＣ／Ｖ変換装置に接続するための信号線に浮
遊容量が重畳されること、及び、該信号線の移動や折り
曲げ等により浮遊容量が変化すること等によって、正確
なＣ／Ｖ変換ができないというという課題を解決するた
めに提案されたものであり、図示のように、交流信号発
生器ＯＳと演算増幅器ＯＰとの間に、信号線Ｌ１及びＬ
２を介して未知の容量Ｃｘを接続し、これらの信号線Ｌ
１及びＬ２をシールド手段ｓ１及びｓ２でシールドする
ことにより、浮遊容量Ｃｓ１、Ｃｓ２、Ｃｓ３の影響を
低減しようとするものである。なお、演算増幅器ＯＰの
出力端子と反転入力端子との間には、抵抗Ｒｆとコンデ
ンサＣｆとの並列回路からなる帰還回路が接続され、反
転増幅器の非反転入力端子、交流信号発生器ＯＳの他
端、及びシールドｓ１及びｓ２は、接地されている。
【０００３】このような構成を有する図６のＣ／Ｖ変換
装置においては、負帰還回路を備えた演算増幅器の性質
上、演算増幅器ＯＰの２つの入力端子はイマジナル・シ
ョート状態であり、これにより、２つの入力端子はほぼ
同一の電位（接地電位）となって浮遊容量Ｃｓ２は充電
されない。また、浮遊容量Ｃｓ３は、２つのシールド手
段ｓ１及びｓ２の結合容量と考えられるが、該シールド
手段は共に接地されているので、これもまた充電される
ことがない。したがって、未知の静電容量Ｃｘを接続す
るケーブルの浮遊容量による影響は低減されるので、静
電容量Ｃｘに誘導される電荷と等しい電荷が帰還回路の
コンデンサＣｆに誘導され、結局、静電容量Ｃｘに比例
する電圧 Ｖｏ＝−（Ｃｘ／Ｃｆ）Ｖｉ ［ただし、Ｖｉは交流信号発生器ＯＳの出力電圧］が得
られる。
装置においては、負帰還回路を備えた演算増幅器の性質
上、演算増幅器ＯＰの２つの入力端子はイマジナル・シ
ョート状態であり、これにより、２つの入力端子はほぼ
同一の電位（接地電位）となって浮遊容量Ｃｓ２は充電
されない。また、浮遊容量Ｃｓ３は、２つのシールド手
段ｓ１及びｓ２の結合容量と考えられるが、該シールド
手段は共に接地されているので、これもまた充電される
ことがない。したがって、未知の静電容量Ｃｘを接続す
るケーブルの浮遊容量による影響は低減されるので、静
電容量Ｃｘに誘導される電荷と等しい電荷が帰還回路の
コンデンサＣｆに誘導され、結局、静電容量Ｃｘに比例
する電圧 Ｖｏ＝−（Ｃｘ／Ｃｆ）Ｖｉ ［ただし、Ｖｉは交流信号発生器ＯＳの出力電圧］が得
られる。
【０００４】
【本発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６
のＣ／Ｖ変換装置においては、未知の静電容量Ｃｘが小
さくなると、浮遊容量の影響が顕在化し、正確なＣ／Ｖ
変換ができないという問題がある。また、静電容量Ｃｘ
の一方の電極がある電位にバイアスされているときに
は、該静電容量に交流を印加することができないため、
Ｃ／Ｖ変換が不可能であるという問題もある。さらに、
温度変化等の環境変化または装置の経年変化等によって
出力電圧Ｖｏがドリフトしてしまう恐れもある。例え
ば、未知の静電容量Ｃｘが変化していないにも拘わら
ず、測定環境が高温時と低温時とで出力電圧Ｖｏのレベ
ルが相違してしまい、結局、未知の静電容量に正確に対
応する出力電圧を得ることができない場合がある。本発
明は、このような問題点を解決するために提案されたも
のであり、その目的は、Ｚ／Ｖ変換装置おいて、被測定
インピーダンスを接続するための線上の浮遊容量による
影響を低減するとともに、周囲環境等によって生じる出
力電圧のドリフトを効果的に低減して、被測定インピー
ダンスに高精度に対応する出力電圧を得ることができる
ようにすることである。
のＣ／Ｖ変換装置においては、未知の静電容量Ｃｘが小
さくなると、浮遊容量の影響が顕在化し、正確なＣ／Ｖ
変換ができないという問題がある。また、静電容量Ｃｘ
の一方の電極がある電位にバイアスされているときに
は、該静電容量に交流を印加することができないため、
Ｃ／Ｖ変換が不可能であるという問題もある。さらに、
温度変化等の環境変化または装置の経年変化等によって
出力電圧Ｖｏがドリフトしてしまう恐れもある。例え
ば、未知の静電容量Ｃｘが変化していないにも拘わら
ず、測定環境が高温時と低温時とで出力電圧Ｖｏのレベ
ルが相違してしまい、結局、未知の静電容量に正確に対
応する出力電圧を得ることができない場合がある。本発
明は、このような問題点を解決するために提案されたも
のであり、その目的は、Ｚ／Ｖ変換装置おいて、被測定
インピーダンスを接続するための線上の浮遊容量による
影響を低減するとともに、周囲環境等によって生じる出
力電圧のドリフトを効果的に低減して、被測定インピー
ダンスに高精度に対応する出力電圧を得ることができる
ようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明のインピーダンス／電圧（Ｚ／Ｖ）変換
装置は、演算増幅器と、演算増幅器の反転入力端子に接
続された既知の値のインピーダンスと、第１の信号線に
よって演算増幅器の反転入力端子と接続されるスイッチ
回路と、スイッチ回路を介して、演算増幅器の反転入力
端子と出力端子との間に選択的に接続される被測定イン
ピーダンス及び既知の値のダミー・インピーダンスと、
第１の信号線の少なくとも一部をシールドし、かつ演算
増幅器の非反転入力端子に接続された第１のシールド
と、演算増幅器の非反転入力端子と第１のシールドとに
接続された発振器とを含んでいることを特徴としてい
る。
ために、本発明のインピーダンス／電圧（Ｚ／Ｖ）変換
装置は、演算増幅器と、演算増幅器の反転入力端子に接
続された既知の値のインピーダンスと、第１の信号線に
よって演算増幅器の反転入力端子と接続されるスイッチ
回路と、スイッチ回路を介して、演算増幅器の反転入力
端子と出力端子との間に選択的に接続される被測定イン
ピーダンス及び既知の値のダミー・インピーダンスと、
第１の信号線の少なくとも一部をシールドし、かつ演算
増幅器の非反転入力端子に接続された第１のシールド
と、演算増幅器の非反転入力端子と第１のシールドとに
接続された発振器とを含んでいることを特徴としてい
る。
【０００６】本発明の好適な実施例においては、インピ
ーダンス／電圧変換装置は、スイッチ回路と被測定イン
ピーダンスとを接続する信号線の少なくとも一部をシー
ルドする第２のシールドと、スイッチ回路とダミー・イ
ンピーダンスとを接続する信号線の少なくとも一部をシ
ールドする第３のシールドと、既知の値のインピーダン
スと演算増幅器の反転入力端子とを接続する信号線の少
なくとも一部をシールドする第４のシールドとを含み、
第２〜第４のシールドの内、少なくとも１つのシールド
が演算増幅器の非反転入力端子に接続されていることが
好ましい。また、被測定インピーダンス及びダミー・イ
ンピーダンスが共に同一特性であり、かつ同一の条件下
にさらされていることが好ましい。
ーダンス／電圧変換装置は、スイッチ回路と被測定イン
ピーダンスとを接続する信号線の少なくとも一部をシー
ルドする第２のシールドと、スイッチ回路とダミー・イ
ンピーダンスとを接続する信号線の少なくとも一部をシ
ールドする第３のシールドと、既知の値のインピーダン
スと演算増幅器の反転入力端子とを接続する信号線の少
なくとも一部をシールドする第４のシールドとを含み、
第２〜第４のシールドの内、少なくとも１つのシールド
が演算増幅器の非反転入力端子に接続されていることが
好ましい。また、被測定インピーダンス及びダミー・イ
ンピーダンスが共に同一特性であり、かつ同一の条件下
にさらされていることが好ましい。
【０００７】さらに、本発明の好適な実施例において
は、インピーダンス／電圧変換装置はさらに、演算増幅
器の出力に接続される交流／直流変換回路と、交流／直
流変換回路の出力に接続されるサンプルホールド回路
と、交流／直流変換回路の出力とサンプルホールド回路
の出力とに接続される減算回路と、スイッチ回路、サン
プルホールド回路、及び減算回路を制御する制御回路と
を備えることが好ましい。これにより、ドリフト成分が
除去された出力を得ることができる。なお、サンプリン
グホールド回路の代わりに、交流／直流変換回路の出力
と絶対値が等しく極性が反対のバイアス電圧を出力する
バイアス電圧発生回路を用い、減算回路の代わりに加算
回路を用いても良い。
は、インピーダンス／電圧変換装置はさらに、演算増幅
器の出力に接続される交流／直流変換回路と、交流／直
流変換回路の出力に接続されるサンプルホールド回路
と、交流／直流変換回路の出力とサンプルホールド回路
の出力とに接続される減算回路と、スイッチ回路、サン
プルホールド回路、及び減算回路を制御する制御回路と
を備えることが好ましい。これにより、ドリフト成分が
除去された出力を得ることができる。なお、サンプリン
グホールド回路の代わりに、交流／直流変換回路の出力
と絶対値が等しく極性が反対のバイアス電圧を出力する
バイアス電圧発生回路を用い、減算回路の代わりに加算
回路を用いても良い。
【０００８】上記した目的を達成するために、本発明の
被測定インピーダンス値を電圧に変換するインピーダン
ス／電圧変換方法においては、反転入力端子に既知の値
のインピーダンスが接続されかつ非反転入力端子に発振
器が接続された演算増幅器の反転入力端子と出力端子と
の間に、ダミー・インピーダンスを接続し、ダミー・イ
ンピーダンス接続時の演算増幅器の出力を交流／直流変
換して、ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧を
得、ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧をサン
プルホールドし、演算増幅器の反転入力端子と出力端子
との間に被測定インピーダンスを接続し、被測定インピ
ーダンス接続時の演算増幅器の出力を交流／直流変換し
て、被測定インピーダンスに対応する直流電圧を得、被
測定インピーダンスに対応する直流電圧からサンプルホ
ールドされたダミー・インピーダンスに対応する電圧を
減算することからなり、ドリフト成分が除去された出力
を得ることができるようにしたことを特徴としている。
なお、ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧をサ
ンプルホールドする代わりに、該直流電圧に絶対値が等
しく極性が反対のバイアス電圧を発生し、かつ、被測定
インピーダンスに対応する直流電圧からサンプルホール
ドされたダミー・インピーダンスに対応する電圧を減算
する代わりに、被測定インピーダンスに対応する直流電
圧と発生されたバイアス電圧とを加算してもよい。
被測定インピーダンス値を電圧に変換するインピーダン
ス／電圧変換方法においては、反転入力端子に既知の値
のインピーダンスが接続されかつ非反転入力端子に発振
器が接続された演算増幅器の反転入力端子と出力端子と
の間に、ダミー・インピーダンスを接続し、ダミー・イ
ンピーダンス接続時の演算増幅器の出力を交流／直流変
換して、ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧を
得、ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧をサン
プルホールドし、演算増幅器の反転入力端子と出力端子
との間に被測定インピーダンスを接続し、被測定インピ
ーダンス接続時の演算増幅器の出力を交流／直流変換し
て、被測定インピーダンスに対応する直流電圧を得、被
測定インピーダンスに対応する直流電圧からサンプルホ
ールドされたダミー・インピーダンスに対応する電圧を
減算することからなり、ドリフト成分が除去された出力
を得ることができるようにしたことを特徴としている。
なお、ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧をサ
ンプルホールドする代わりに、該直流電圧に絶対値が等
しく極性が反対のバイアス電圧を発生し、かつ、被測定
インピーダンスに対応する直流電圧からサンプルホール
ドされたダミー・インピーダンスに対応する電圧を減算
する代わりに、被測定インピーダンスに対応する直流電
圧と発生されたバイアス電圧とを加算してもよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明のＺ／Ｖ変換装置
の原理構成を示している。このＺ／Ｖ変換装置において
は、インピーダンス値Ｚｘを測定すべき対象物である被
測定インピーダンス６が、シールド７が施された信号線
５を介して演算増幅器１の反転入力端子（−）に接続さ
れ、該演算増幅器１の出力端子と反転入力端子との間に
既知のインピーダンス値Ｚｆの帰還インピーダンス３が
接続され、非反転入力端子（＋）に発振器４及びシール
ド７が接続されている。また、演算増幅器１の出力端子
には、整流平滑回路等からなる交流／直流変換回路（Ａ
Ｃ／ＤＣ）２が接続されている。図１に示したＺ／Ｖ変
換装置においては、負帰還回路を有する演算増幅器の性
質上、演算増幅器１の反転及び非反転入力端子はイマジ
ナル・ショート状態であるため、これらは実質的に同電
位となる。したがって、信号線５とシールド７とが同電
位となるから、これらの間に生じる浮遊容量が充電され
ることがなく、演算増幅器１の入力端子には浮遊容量に
よる影響が生じることがない。これは、信号線５の長さ
に無関係に成立し、また、信号線５の移動、折り曲げ等
に関係なく成立する。
の原理構成を示している。このＺ／Ｖ変換装置において
は、インピーダンス値Ｚｘを測定すべき対象物である被
測定インピーダンス６が、シールド７が施された信号線
５を介して演算増幅器１の反転入力端子（−）に接続さ
れ、該演算増幅器１の出力端子と反転入力端子との間に
既知のインピーダンス値Ｚｆの帰還インピーダンス３が
接続され、非反転入力端子（＋）に発振器４及びシール
ド７が接続されている。また、演算増幅器１の出力端子
には、整流平滑回路等からなる交流／直流変換回路（Ａ
Ｃ／ＤＣ）２が接続されている。図１に示したＺ／Ｖ変
換装置においては、負帰還回路を有する演算増幅器の性
質上、演算増幅器１の反転及び非反転入力端子はイマジ
ナル・ショート状態であるため、これらは実質的に同電
位となる。したがって、信号線５とシールド７とが同電
位となるから、これらの間に生じる浮遊容量が充電され
ることがなく、演算増幅器１の入力端子には浮遊容量に
よる影響が生じることがない。これは、信号線５の長さ
に無関係に成立し、また、信号線５の移動、折り曲げ等
に関係なく成立する。
【００１０】更に詳細に説明すると、図１に示したＺ／
Ｖ変換回路において、演算増幅器１の２つの入力端子が
イマジナル・ショート状態であるため、その反転入力端
子の電圧Ｖｍは、発振器４の発振出力電圧Ｖｉと等しく
なる。そして、被測定インピーダンス６に流れる電流ｉ
1及び帰還インピーダンス３に流れる電流ｉ2は、演算増
幅器１から出力される交流電圧をＶｏとすると、以下の
ように表される。 ｉ1＝−Ｖｍ／Ｚｘ＝−Ｖｉ／Ｚｘ ｉ2＝（Ｖｍ−Ｖｏ）／Ｚｆ＝（Ｖｉ−Ｖｏ）／Ｚｆ ここで、演算増幅器がその性質上、高入力インピーダン
ス特性を有しているから、ｉ1＝ｉ2であり、よって Ｖｏ＝Ｖｉ（１＋Ｚｆ／Ｚｘ） （１） が得られる。
Ｖ変換回路において、演算増幅器１の２つの入力端子が
イマジナル・ショート状態であるため、その反転入力端
子の電圧Ｖｍは、発振器４の発振出力電圧Ｖｉと等しく
なる。そして、被測定インピーダンス６に流れる電流ｉ
1及び帰還インピーダンス３に流れる電流ｉ2は、演算増
幅器１から出力される交流電圧をＶｏとすると、以下の
ように表される。 ｉ1＝−Ｖｍ／Ｚｘ＝−Ｖｉ／Ｚｘ ｉ2＝（Ｖｍ−Ｖｏ）／Ｚｆ＝（Ｖｉ−Ｖｏ）／Ｚｆ ここで、演算増幅器がその性質上、高入力インピーダン
ス特性を有しているから、ｉ1＝ｉ2であり、よって Ｖｏ＝Ｖｉ（１＋Ｚｆ／Ｚｘ） （１） が得られる。
【００１１】したがって、図１のＺ／Ｖ変換装置によれ
ば、被測定インピーダンスＺｘに依存して変化する交流
電圧Ｖｏを演算増幅器１から出力することができ、しか
も、演算増幅器１の２つの入力端子のイマジナル・ショ
ート状態により、信号線５に生じる浮遊容量が該入力端
子の間に現れることがないので、被測定インピーダンス
Ｚｘの値に正確に対応した交流電圧Ｖｏを出力すること
ができる。よって、図６に示した従来例のＣ／Ｖ変換装
置に比べて、より正確に被測定インピーダンスＺｘに対
応する交流電圧Ｖｏを出力することができる。そして、
演算増幅器１からの交流電圧Ｖｏを整流平滑回路等の交
流／直流（ＡＣ／ＤＣ）変換回路２を介することによ
り、該交流電圧Ｖｏの振幅に対応した直流電圧Ｖoutが
出力される。この直流出力電圧Ｖoutのレベルの変化に
より、被測定インピーダンスＺｘの変化の状態を検出す
ることができ、更には、必要に応じて適宜の演算手段を
付加することにより、被測定インピーダンスＺｘの値を
逆算することができる。
ば、被測定インピーダンスＺｘに依存して変化する交流
電圧Ｖｏを演算増幅器１から出力することができ、しか
も、演算増幅器１の２つの入力端子のイマジナル・ショ
ート状態により、信号線５に生じる浮遊容量が該入力端
子の間に現れることがないので、被測定インピーダンス
Ｚｘの値に正確に対応した交流電圧Ｖｏを出力すること
ができる。よって、図６に示した従来例のＣ／Ｖ変換装
置に比べて、より正確に被測定インピーダンスＺｘに対
応する交流電圧Ｖｏを出力することができる。そして、
演算増幅器１からの交流電圧Ｖｏを整流平滑回路等の交
流／直流（ＡＣ／ＤＣ）変換回路２を介することによ
り、該交流電圧Ｖｏの振幅に対応した直流電圧Ｖoutが
出力される。この直流出力電圧Ｖoutのレベルの変化に
より、被測定インピーダンスＺｘの変化の状態を検出す
ることができ、更には、必要に応じて適宜の演算手段を
付加することにより、被測定インピーダンスＺｘの値を
逆算することができる。
【００１２】ところで、演算増幅器１の帰還回路に挿入
されたインピーダンス３を被測定インピーダンス（Ｚ
ｘ）とし、反転入力端子とグランドとの間に接続された
インピーダンス６を既知のインピーダンス（Ｚｆ）とし
た場合、演算増幅器１の出力Ｖｏは、式（１）から、 Ｖｏ＝Ｖｉ（１＋Ｚｘ／Ｚｆ） （２） と表される。式（２）から明らかなように、被測定イン
ピーダンスと既知のインピーダンスとの接続位置を取り
替えても、被測定インピーダンス値Ｚｘに対応する交流
電圧Ｖｏ及び直流電圧Ｖoutを得ることができる。
されたインピーダンス３を被測定インピーダンス（Ｚ
ｘ）とし、反転入力端子とグランドとの間に接続された
インピーダンス６を既知のインピーダンス（Ｚｆ）とし
た場合、演算増幅器１の出力Ｖｏは、式（１）から、 Ｖｏ＝Ｖｉ（１＋Ｚｘ／Ｚｆ） （２） と表される。式（２）から明らかなように、被測定イン
ピーダンスと既知のインピーダンスとの接続位置を取り
替えても、被測定インピーダンス値Ｚｘに対応する交流
電圧Ｖｏ及び直流電圧Ｖoutを得ることができる。
【００１３】図２は、本発明のＺ／Ｖ変換装置の第１の
実施例を示す概略図である。この実施例は、図１に原理
構成を示したＺ／Ｖ変換装置に基づいて構成されたもの
であるが、さらに、環境変化や装置自身の発熱による出
力電圧のドリフトを防止することができるよう構成され
ている。図２においては、図１と同一又は同様の構成要
素には、同一の参照符号を付している。図２に示した第
１の実施例においては、図１のＺ／Ｖ変換装置におい
て、値Ｚｘの被測定インピーダンス６と既知の値Ｚｆの
インピーダンス３との接続位置を変更するとともに、既
知の値Ｚｄのダミー・インピーダンス８と、被測定イン
ピーダンス６及びダミー・インピーダンス８を選択的に
演算増幅器１の反転入力端子及び出力端子の間に接続す
るためのスイッチ回路９と、交流／直流変換回路２の出
力をサンプリングしてホールドするサンプルホールド回
路１０と、該サンプルホールド回路の出力並びに交流／
直流変換回路２の出力Ｖoutが入力される減算回路１１
と、スイッチ回路９、サンプルホールド回路（ＳＨ）１
０及び減算回路１１の動作を制御する制御回路１２とを
付加したことを特徴としている。
実施例を示す概略図である。この実施例は、図１に原理
構成を示したＺ／Ｖ変換装置に基づいて構成されたもの
であるが、さらに、環境変化や装置自身の発熱による出
力電圧のドリフトを防止することができるよう構成され
ている。図２においては、図１と同一又は同様の構成要
素には、同一の参照符号を付している。図２に示した第
１の実施例においては、図１のＺ／Ｖ変換装置におい
て、値Ｚｘの被測定インピーダンス６と既知の値Ｚｆの
インピーダンス３との接続位置を変更するとともに、既
知の値Ｚｄのダミー・インピーダンス８と、被測定イン
ピーダンス６及びダミー・インピーダンス８を選択的に
演算増幅器１の反転入力端子及び出力端子の間に接続す
るためのスイッチ回路９と、交流／直流変換回路２の出
力をサンプリングしてホールドするサンプルホールド回
路１０と、該サンプルホールド回路の出力並びに交流／
直流変換回路２の出力Ｖoutが入力される減算回路１１
と、スイッチ回路９、サンプルホールド回路（ＳＨ）１
０及び減算回路１１の動作を制御する制御回路１２とを
付加したことを特徴としている。
【００１４】図２においては、スイッチ回路９は被測定
インピーダンス６と演算増幅器１とを接続する信号線に
挿入されており、スイッチ回路９の両側の信号線５1、
５2にシールド７1、７2を施し、かつこれら信号線とシ
ールドとの間の浮遊容量による影響を低減するために、
シールド７1及び７2を発振器４に接続された演算増幅器
１の非反転入力端子に接続している。そして、ダミー・
インピーダンス８を被測定インピーダンス６と同一環境
に置くことが好ましいため、スイッチ回路９とダミー・
インピーダンス８とを接続する線５dを、信号線５1と同
一長とするとともに演算増幅器１の非反転入力端子（及
び発振器４）に接続したシールド７dでシールドしてい
る。なお、ダミー・インピーダンス８及び被測定インピ
ーダンス６とは、互いに抵抗同士か又は容量同士である
等の同一特性であることが好ましい。また、スイッチ回
路９を、演算増幅器１の反転入力端子の間近、または被
測定インピーダンス６及びダミー・インピーダンス８の
間近に配置することもできる。前者の場合は、信号線５
1及びシールド７1が不要となり、後者の場合は、信号線
５2、５d及びシールド７2、７dが不要となる。
インピーダンス６と演算増幅器１とを接続する信号線に
挿入されており、スイッチ回路９の両側の信号線５1、
５2にシールド７1、７2を施し、かつこれら信号線とシ
ールドとの間の浮遊容量による影響を低減するために、
シールド７1及び７2を発振器４に接続された演算増幅器
１の非反転入力端子に接続している。そして、ダミー・
インピーダンス８を被測定インピーダンス６と同一環境
に置くことが好ましいため、スイッチ回路９とダミー・
インピーダンス８とを接続する線５dを、信号線５1と同
一長とするとともに演算増幅器１の非反転入力端子（及
び発振器４）に接続したシールド７dでシールドしてい
る。なお、ダミー・インピーダンス８及び被測定インピ
ーダンス６とは、互いに抵抗同士か又は容量同士である
等の同一特性であることが好ましい。また、スイッチ回
路９を、演算増幅器１の反転入力端子の間近、または被
測定インピーダンス６及びダミー・インピーダンス８の
間近に配置することもできる。前者の場合は、信号線５
1及びシールド７1が不要となり、後者の場合は、信号線
５2、５d及びシールド７2、７dが不要となる。
【００１５】図３は、図２に示したＺ／Ｖ変換装置の制
御回路１２から出力される制御信号Ｓ9、Ｓ10、Ｓ11の
出力タイミングを示している。制御信号Ｓ9は、スイッ
チ回路９に供給され、高レベルの場合にダミー・インピ
ーダンス８側に、低レベルの場合に被測定インピーダン
ス６側に、演算増幅器１の反転入力端子が接続されるよ
う、スイッチ回路を制御する。制御信号Ｓ10は、サンプ
ルホールド回路１０に供給され、高レベルの場合にサン
プルホールド回路を動作させて、交流／直流変換回路２
の出力Ｖoutのサンプリング・ホールドを行う。制御信
号Ｓ11は、減算回路１１に供給され、高レベルの場合に
減算動作を実行するよう、減算回路１１を制御する。
御回路１２から出力される制御信号Ｓ9、Ｓ10、Ｓ11の
出力タイミングを示している。制御信号Ｓ9は、スイッ
チ回路９に供給され、高レベルの場合にダミー・インピ
ーダンス８側に、低レベルの場合に被測定インピーダン
ス６側に、演算増幅器１の反転入力端子が接続されるよ
う、スイッチ回路を制御する。制御信号Ｓ10は、サンプ
ルホールド回路１０に供給され、高レベルの場合にサン
プルホールド回路を動作させて、交流／直流変換回路２
の出力Ｖoutのサンプリング・ホールドを行う。制御信
号Ｓ11は、減算回路１１に供給され、高レベルの場合に
減算動作を実行するよう、減算回路１１を制御する。
【００１６】図２及び図３を参照して、本発明の第１の
実施例の動作を説明する。まず、測定動作を時点ｔ0で
開始すると、制御回路１２は、制御信号Ｓ9を高レベル
にして、スイッチ回路９をダミー・インピーダンス８側
（点線の位置）に切り替えるとともに、時点ｔ1におい
て制御信号Ｓ10を高レベルにして、サンプルホールド回
路１０中のゲートをオンにしてサンプリング及びホール
ド動作を実行させる。これにより、ダミー・インピーダ
ンスＺｄに対応する直流電圧Ｖout（＝Ｖout-d(t)）が
交流／直流変換回路２から出力されて、サンプルホール
ド回路１０のコンデンサに蓄積すなわちホールドされ
る。次に、時点ｔ2において、制御信号Ｓ9を低レベルに
戻してスイッチ回路９を被測定インピーダンス６側に接
続し、これにより、交流／直流変換回路２から被測定イ
ンピーダンスＺｘに対応する直流電圧Ｖout(=Ｖout-x
(t))が出力される。このとき、制御信号Ｓ10が低レベル
を保持しているので、サンプルホールド回路１０のゲー
トはオフ状態を保持し、したがってホールド電圧はダミ
ー・インピーダンスＺｄに対応する電圧Ｖout-d(t)を保
持する。
実施例の動作を説明する。まず、測定動作を時点ｔ0で
開始すると、制御回路１２は、制御信号Ｓ9を高レベル
にして、スイッチ回路９をダミー・インピーダンス８側
（点線の位置）に切り替えるとともに、時点ｔ1におい
て制御信号Ｓ10を高レベルにして、サンプルホールド回
路１０中のゲートをオンにしてサンプリング及びホール
ド動作を実行させる。これにより、ダミー・インピーダ
ンスＺｄに対応する直流電圧Ｖout（＝Ｖout-d(t)）が
交流／直流変換回路２から出力されて、サンプルホール
ド回路１０のコンデンサに蓄積すなわちホールドされ
る。次に、時点ｔ2において、制御信号Ｓ9を低レベルに
戻してスイッチ回路９を被測定インピーダンス６側に接
続し、これにより、交流／直流変換回路２から被測定イ
ンピーダンスＺｘに対応する直流電圧Ｖout(=Ｖout-x
(t))が出力される。このとき、制御信号Ｓ10が低レベル
を保持しているので、サンプルホールド回路１０のゲー
トはオフ状態を保持し、したがってホールド電圧はダミ
ー・インピーダンスＺｄに対応する電圧Ｖout-d(t)を保
持する。
【００１７】そして、制御回路１２は、時点ｔ3におい
て、制御信号Ｓ11を高レベルとし、これにより、減算回
路１１が、被測定インピーダンスＺｘに対応する直流電
圧Ｖout-x(t)からサンプルホールド回路１０にホールド
された電圧Ｖout-d(t)を差し引いて、差の電圧Ｖ Ｖ＝Ｖout-x(t)−Ｖout-d(t) （３） を出力する。なお、時点ｔ0とｔ1とのタイムラグ及び時
点ｔ2とｔ3とのタイムラグは、スイッチ回路９を切り替
えてから交流／直流変換回路２の出力電圧が安定するま
でに時間を要するために、設けたものである。
て、制御信号Ｓ11を高レベルとし、これにより、減算回
路１１が、被測定インピーダンスＺｘに対応する直流電
圧Ｖout-x(t)からサンプルホールド回路１０にホールド
された電圧Ｖout-d(t)を差し引いて、差の電圧Ｖ Ｖ＝Ｖout-x(t)−Ｖout-d(t) （３） を出力する。なお、時点ｔ0とｔ1とのタイムラグ及び時
点ｔ2とｔ3とのタイムラグは、スイッチ回路９を切り替
えてから交流／直流変換回路２の出力電圧が安定するま
でに時間を要するために、設けたものである。
【００１８】ところで、式（３）におけるＶout-x(t)及
びＶout-d(t)には、環境温度の変化や装置自身の発熱等
によって生じるドリフト成分が含まれているが、該ドリ
フト成分は、Ｖout-x(t)及びＶout-d(t)共に同一の値Δ
Ｖ(t)である。すなわち、 Ｖout-x(t)＝Ｖout-x＋ΔＶ(t) Ｖout-d(t)＝Ｖout-d＋ΔＶ(t) ∴Ｖ＝Ｖout-x−Ｖout-d （４） ただし、Ｖout-x及びＶout-dは、出力電圧Ｖoutにドリ
フト成分が含まない場合の真の被測定インピーダンスＺ
ｘ及びＺｄに対応する出力電圧を表すものとする。これ
は、被測定インピーダンスＺｘ（及びダミー・インピー
ダンスＺｄ）の値に拘わらず成り立つことである。した
がって、Ｖout-x及びＶout-dの差で表される電圧Ｖ（式
（４））には環境変化等によって生じるドリフト成分が
含まれないので、減算回路１１から、被測定インピーダ
ンスＺｘの変化に追随して変化する出力電圧Ｖを得るこ
とができる。なお、被測定インピーダンスＺｘの変化を
継続的に監視する必要がある場合は、サンプルホールド
回路１０のホールド電圧Ｖout-d(t)が自然放電等により
低下することを考慮して、時点ｔ4でスイッチ回路９を
ダミー・インピーダンスＺｄ側に再度接続して、上記し
た動作を適宜の周期で繰り返せばよい。これにより、ホ
ールド電圧Ｖout-d(t)がダミー・インピーダンスＺｄに
常に正確に対応したものとなる。
びＶout-d(t)には、環境温度の変化や装置自身の発熱等
によって生じるドリフト成分が含まれているが、該ドリ
フト成分は、Ｖout-x(t)及びＶout-d(t)共に同一の値Δ
Ｖ(t)である。すなわち、 Ｖout-x(t)＝Ｖout-x＋ΔＶ(t) Ｖout-d(t)＝Ｖout-d＋ΔＶ(t) ∴Ｖ＝Ｖout-x−Ｖout-d （４） ただし、Ｖout-x及びＶout-dは、出力電圧Ｖoutにドリ
フト成分が含まない場合の真の被測定インピーダンスＺ
ｘ及びＺｄに対応する出力電圧を表すものとする。これ
は、被測定インピーダンスＺｘ（及びダミー・インピー
ダンスＺｄ）の値に拘わらず成り立つことである。した
がって、Ｖout-x及びＶout-dの差で表される電圧Ｖ（式
（４））には環境変化等によって生じるドリフト成分が
含まれないので、減算回路１１から、被測定インピーダ
ンスＺｘの変化に追随して変化する出力電圧Ｖを得るこ
とができる。なお、被測定インピーダンスＺｘの変化を
継続的に監視する必要がある場合は、サンプルホールド
回路１０のホールド電圧Ｖout-d(t)が自然放電等により
低下することを考慮して、時点ｔ4でスイッチ回路９を
ダミー・インピーダンスＺｄ側に再度接続して、上記し
た動作を適宜の周期で繰り返せばよい。これにより、ホ
ールド電圧Ｖout-d(t)がダミー・インピーダンスＺｄに
常に正確に対応したものとなる。
【００１９】図２に示した第１の実施例のＺ／Ｖ変換装
置において、ダミー・インピーダンスＺｄに対応し、か
つドリフト成分を含まない出力電圧Ｖout-dは、該装置
を基準温度（例えば、２５℃）等の環境で用いることに
より予め得ることができる。したがって、式（４）より Ｖout-x＝Ｖ−Ｖout-d （５） が得られ、式（５）から、被測定インピーダンスＺｘに
対応し、かつドリフト成分を含まない電圧Ｖout-xを得
ることができる。なお、被測定インピーダンスＺｘの変
化の状態のみを監視すればよい場合は、式（５）で表さ
れる処理を必要とせずに出力Ｖを監視すればよいこと
は、言うまでもない。
置において、ダミー・インピーダンスＺｄに対応し、か
つドリフト成分を含まない出力電圧Ｖout-dは、該装置
を基準温度（例えば、２５℃）等の環境で用いることに
より予め得ることができる。したがって、式（４）より Ｖout-x＝Ｖ−Ｖout-d （５） が得られ、式（５）から、被測定インピーダンスＺｘに
対応し、かつドリフト成分を含まない電圧Ｖout-xを得
ることができる。なお、被測定インピーダンスＺｘの変
化の状態のみを監視すればよい場合は、式（５）で表さ
れる処理を必要とせずに出力Ｖを監視すればよいこと
は、言うまでもない。
【００２０】図４は、本発明の第２の実施例のＺ／Ｖ変
換装置を示している。第２の実施例においては、図２に
示した第１の実施例と相違する点は、サンプルホールド
回路１０及び減算回路１１の替わりにバイアス電圧発生
回路１３及び加算回路１４を用いたことである。バイア
ス電圧発生回路１３は、制御回路１２からの制御信号Ｓ
13が高レベルとなったときに、そのときの交流／直流変
換回路２の出力と絶対値が等しく極性が反対の電圧をバ
イアス電圧として発生するためのものである。制御信号
Ｓ13は、制御信号Ｓ10（図３）と同一のタイミングで発
生され、制御信号Ｓ9が高レベルの状態で高レベルとな
るよう制御されるため、ダミー・インピーダンスＺｄに
対応する出力電圧Ｖout-d(t)と絶対値が同一で符号が反
対の電圧が、バイアス電圧−Ｖout-d(t)として設定され
る。加算回路１４は、制御信号Ｓ11（図３）と同一のタ
イミングで発生され、制御信号Ｓ14が高レベルのときに
加算動作を実行して、被測定インピーダンスＺｘに対応
する電圧Ｖout-x(t)にバイアス電圧−Ｖout-d(t)を加算
する。
換装置を示している。第２の実施例においては、図２に
示した第１の実施例と相違する点は、サンプルホールド
回路１０及び減算回路１１の替わりにバイアス電圧発生
回路１３及び加算回路１４を用いたことである。バイア
ス電圧発生回路１３は、制御回路１２からの制御信号Ｓ
13が高レベルとなったときに、そのときの交流／直流変
換回路２の出力と絶対値が等しく極性が反対の電圧をバ
イアス電圧として発生するためのものである。制御信号
Ｓ13は、制御信号Ｓ10（図３）と同一のタイミングで発
生され、制御信号Ｓ9が高レベルの状態で高レベルとな
るよう制御されるため、ダミー・インピーダンスＺｄに
対応する出力電圧Ｖout-d(t)と絶対値が同一で符号が反
対の電圧が、バイアス電圧−Ｖout-d(t)として設定され
る。加算回路１４は、制御信号Ｓ11（図３）と同一のタ
イミングで発生され、制御信号Ｓ14が高レベルのときに
加算動作を実行して、被測定インピーダンスＺｘに対応
する電圧Ｖout-x(t)にバイアス電圧−Ｖout-d(t)を加算
する。
【００２１】すなわち、測定開始時に、制御信号Ｓ9に
より信号線５dが接地されるようスイッチ回路９を切り
替え、対応する出力電圧Ｖout-d(t)を交流／直流変換回
路２から出力する。出力電圧Ｖout-d(t)が安定した後
に、制御信号Ｓ13によりバイアス電圧発生回路１３に−
Ｖout-d(t)がバイアス電圧として設定される。その後、
スイッチ回路９を被測定インピーダンス６側に切り替
え、交流／直流変換回路２から電圧Ｖout-x(t)を出力
し、加算回路１４において、以下の加算が実行される。 Ｖ＝Ｖout-x(t)＋（−Ｖout-d(t)） ∴Ｖ＝Ｖout-x＋ΔＶ(t)−（Ｖout-d＋ΔＶ(t)） ＝Ｖout-x−Ｖout-d これにより、被測定インピーダンスＺｘに対応し、ドリ
フト成分を含まない電圧Ｖを得ることができる。
より信号線５dが接地されるようスイッチ回路９を切り
替え、対応する出力電圧Ｖout-d(t)を交流／直流変換回
路２から出力する。出力電圧Ｖout-d(t)が安定した後
に、制御信号Ｓ13によりバイアス電圧発生回路１３に−
Ｖout-d(t)がバイアス電圧として設定される。その後、
スイッチ回路９を被測定インピーダンス６側に切り替
え、交流／直流変換回路２から電圧Ｖout-x(t)を出力
し、加算回路１４において、以下の加算が実行される。 Ｖ＝Ｖout-x(t)＋（−Ｖout-d(t)） ∴Ｖ＝Ｖout-x＋ΔＶ(t)−（Ｖout-d＋ΔＶ(t)） ＝Ｖout-x−Ｖout-d これにより、被測定インピーダンスＺｘに対応し、ドリ
フト成分を含まない電圧Ｖを得ることができる。
【００２２】図５は、図２に示した本発明の第１の実施
例のＺ／Ｖ変換装置及び図１に示したＺ／Ｖ変換装置を
用い、被測定インピーダンスＺｘを同一固定値の静電容
量として測定した場合の測定結果を示している。図５の
グラフにおいて、横軸は、図３の期間ｔ0〜ｔ4を一測定
サイクルとしてその反復回数Ｎを表しており、縦軸は被
測定インピーダンスＺｘである静電容量Ｃｘ（ｆＦ）の
変化量を表している。また、（Ａ）は図２に示した本発
明の装置によるテスト結果を、（Ｂ）は図１の装置によ
るテスト結果を示している。図５から明らかなように、
本発明によれば、測定サイクルの反復回数Ｎが増大して
もほぼ一定の測定値を得ることができ、ドリフト補償機
能を有していない場合と対比して、ドリフトが低減され
た出力を得ることができる。
例のＺ／Ｖ変換装置及び図１に示したＺ／Ｖ変換装置を
用い、被測定インピーダンスＺｘを同一固定値の静電容
量として測定した場合の測定結果を示している。図５の
グラフにおいて、横軸は、図３の期間ｔ0〜ｔ4を一測定
サイクルとしてその反復回数Ｎを表しており、縦軸は被
測定インピーダンスＺｘである静電容量Ｃｘ（ｆＦ）の
変化量を表している。また、（Ａ）は図２に示した本発
明の装置によるテスト結果を、（Ｂ）は図１の装置によ
るテスト結果を示している。図５から明らかなように、
本発明によれば、測定サイクルの反復回数Ｎが増大して
もほぼ一定の測定値を得ることができ、ドリフト補償機
能を有していない場合と対比して、ドリフトが低減され
た出力を得ることができる。
【００２３】本発明は、上記したように構成されている
ので、Ｚ／Ｖ変換装置において、測定環境の変化や装置
自身の発熱等による出力ドリフトを補償することがで
き、また、被測定インピーダンスＺｘを接続するための
信号線上の浮遊容量等による影響を低減することができ
るので、極めて高精度のＺ／Ｖ変換が可能となり、実用
性が極めて高い。
ので、Ｚ／Ｖ変換装置において、測定環境の変化や装置
自身の発熱等による出力ドリフトを補償することがで
き、また、被測定インピーダンスＺｘを接続するための
信号線上の浮遊容量等による影響を低減することができ
るので、極めて高精度のＺ／Ｖ変換が可能となり、実用
性が極めて高い。
【図１】本発明のＺ／Ｖ変換装置の原理構成を示す回路
図である。
図である。
【図２】本発明の第１の実施例のＺ／Ｖ変換装置の構成
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図３】図２に示したＺ／Ｖ変換装置における制御信号
の発生タイミングを示すタイミング図である。
の発生タイミングを示すタイミング図である。
【図４】本発明の第２の実施例のＺ／Ｖ変換装置の構成
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図５】図２に示した本発明のドリフト補償手段を備え
たＺ／Ｖ変換装置と図１に示したＺ／Ｖ変換装置とをＣ
／Ｖ変換装置として構成して、それぞれについて実機テ
ストした結果を示すグラフである。
たＺ／Ｖ変換装置と図１に示したＺ／Ｖ変換装置とをＣ
／Ｖ変換装置として構成して、それぞれについて実機テ
ストした結果を示すグラフである。
【図６】従来例のＣ／Ｖ変換装置の構成を示す回路図で
ある。
ある。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０１Ｄ 5/24 Ｋ
(56)参考文献 特開 平９−280806（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−302628（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−82103（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 27/02
G01R 27/26
G01R 35/00
G01D 5/24
Claims (8)
- 【請求項１】 被測定インピーダンス値を電圧に変換す
るインピーダンス／電圧変換装置において、 演算増幅器と、 演算増幅器の反転入力端子に接続された既知の値のイン
ピーダンスと、 第１の信号線によって演算増幅器の反転入力端子と接続
されるスイッチ回路と、 スイッチ回路を介して、演算増幅器の反転入力端子と出
力端子との間に選択的に接続される被測定インピーダン
ス及び既知の値のダミー・インピーダンスと、 第１の信号線の少なくとも一部をシールドし、かつ演算
増幅器の非反転入力端子に接続された第１のシールド
と、 演算増幅器の非反転入力端子と第１のシールドとに接続
された発振器とを含んでいることを特徴とするインピー
ダンス／電圧変換装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のインピーダンス／電圧変
換装置において、該装置はさらに、 スイッチ回路と被測定インピーダンスとを接続する信号
線の少なくとも一部をシールドする第２のシールドと、 スイッチ回路とダミー・インピーダンスとを接続する信
号線の少なくとも一部をシールドする第３のシールド
と、 既知の値のインピーダンスと演算増幅器の反転入力端子
とを接続する信号線の少なくとも一部をシールドする第
４のシールドとを含み、第２〜第４のシールドの内、少
なくとも１つのシールドが演算増幅器の非反転入力端子
に接続されていることを特徴とするインピーダンス／電
圧変換装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のインピーダンス／
電圧変換装置において、被測定インピーダンス及びダミ
ー・インピーダンスが共に同一特性であることを特徴と
するインピーダンス／電圧変換装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３いずれかに記載のインピー
ダンス／電圧変換装置において、被測定インピーダンス
及びダミー・インピーダンスが共に同一の条件下にさら
されていることを特徴とするインピーダンス／電圧変換
装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４いずれかに記載のインピー
ダンス／電圧変換装置において、該装置はさらに、 演算増幅器の出力に接続される交流／直流変換回路と、 交流／直流変換回路の出力に接続されるサンプルホール
ド回路と、 交流／直流変換回路の出力とサンプルホールド回路の出
力とに接続される減算回路と、 スイッチ回路、サンプルホールド回路、及び減算回路を
制御する制御回路とを備えていることを特徴とするイン
ピーダンス／電圧変換装置。 - 【請求項６】 請求項１〜４いずれかに記載のインピー
ダンス／電圧変換装置において、該装置はさらに、 演算増幅器の出力に接続される交流／直流変換回路と、 交流／直流変換回路の出力に接続され、交流／直流変換
回路の出力電圧と極性が反対で絶対値が等しいバイアス
電圧を出力するバイアス電圧発生回路と、 交流／直流変換回路の出力とバイアス電圧発生回路の出
力とに接続される加算回路と、 スイッチ回路、バイアス電圧発生回路、及び加算回路を
制御する制御回路とを備えていることを特徴とするイン
ピーダンス／電圧変換装置。 - 【請求項７】 被測定インピーダンス値を電圧に変換す
るインピーダンス／電圧変換方法において、 反転入力端子に既知の値のインピーダンスが接続されか
つ非反転入力端子に発振器が接続された演算増幅器の反
転入力端子と出力端子との間に、ダミー・インピーダン
スを接続し、 ダミー・インピーダンス接続時の演算増幅器の出力を交
流／直流変換して、ダミー・インピーダンスに対応する
直流電圧を得、 ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧をサンプル
ホールドし、 演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に被測定イ
ンピーダンスを接続し、 被測定インピーダンス接続時の演算増幅器の出力を交流
／直流変換して、被測定インピーダンスに対応する直流
電圧を得、 被測定インピーダンスに対応する直流電圧からサンプル
ホールドされたダミー・インピーダンスに対応する電圧
を減算することからなり、ドリフト成分が除去された出
力を得ることができるようにしたことを特徴とするイン
ピーダンス／電圧変換方法。 - 【請求項８】 被測定インピーダンス値を電圧に変換す
るインピーダンス／電圧変換方法において、 反転入力端子に既知の値のインピーダンスが接続されか
つ非反転入力端子に発振器が接続された演算増幅器の反
転入力端子と出力端子との間に、ダミー・インピーダン
スを接続し、 ダミー・インピーダンス接続時の演算増幅器の出力を交
流／直流変換して、ダミー・インピーダンスに対応する
直流電圧を得、 ダミー・インピーダンスに対応する直流電圧に絶対値が
等しく極性が反対のバイアス電圧を発生し、 演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に被測定イ
ンピーダンスを接続し、 被測定インピーダンス接続時の演算増幅器の出力を交流
／直流変換して、被測定インピーダンスに対応する直流
電圧を得、 被測定インピーダンスに対応する直流電圧と発生された
バイアス電圧とを加算することからなり、ドリフト成分
が除去された出力を得ることができるようにしたことを
特徴とするインピーダンス／電圧変換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11002199A JP3371847B2 (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | インピーダンス／電圧変換装置及びその変換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11002199A JP3371847B2 (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | インピーダンス／電圧変換装置及びその変換方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000304786A JP2000304786A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3371847B2 true JP3371847B2 (ja) | 2003-01-27 |
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ID=14525118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11002199A Expired - Fee Related JP3371847B2 (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | インピーダンス／電圧変換装置及びその変換方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3371847B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP5580709B2 (ja) * | 2010-10-05 | 2014-08-27 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置及び試験方法 |
-
1999
- 1999-04-16 JP JP11002199A patent/JP3371847B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2000304786A (ja) | 2000-11-02 |
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