JP3368599B2 - 非還元性誘電体磁器組成物 - Google Patents

非還元性誘電体磁器組成物

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【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】この発明は非還元性誘電体磁器組
成物に関し、特にたとえば積層セラミックコンデンサな
どに用いられる非還元性誘電体磁器組成物に関する。 【0002】 【従来の技術】積層セラミックコンデンサを製造するに
は、まず、その表面に内部電極となる電極材料を塗布し
たシート状の誘電体材料が準備される。この誘電体材料
としては、たとえばBaTiO3 を主成分とする材料な
どが用いられる。この電極材料を塗布したシート状の誘
電体材料を積層して熱圧着し、一体化したものを自然雰
囲気中において1250〜1350℃で焼成して、内部
電極を有する誘電体磁器が得られる。そして、この誘電
体磁器の端面に、内部電極と導通する外部電極を焼き付
けて、積層セラミックコンデンサが製造される。 【0003】したがって、内部電極の材料としては、次
のような条件を満たす必要がある。 【0004】(a)誘電体磁器と内部電極とが同時に焼
成されるので、誘電体磁器が焼成される温度以上の融点
を有すること。 【0005】(b)酸化性の高温雰囲気中においても酸
化されず、しかも誘電体と反応しないこと。 【0006】このような条件を満足する電極材料として
は、白金,金,パラジウムあるいはこれらの合金などの
ような貴金属が用いられていた。 【0007】しかしながら、これらの電極材料は優れた
特性を有する反面、高価であった。そのため、積層セラ
ミックコンデンサに占める電極材料費の割合は30〜7
0%にも達し、製造コストを上昇させる最大の要因とな
っていた。 【0008】貴金属以外に高融点をもつものとしてN
i,Fe,Co,W,Moなどの卑金属があるが、これ
らの卑金属は高温の酸化性雰囲気中では容易に酸化され
てしまい、電極としての役目を果たさなくなってしま
う。そのため、これらの卑金属を積層セラミックコンデ
ンサの内部電極として使用するためには、誘電体磁器と
ともに中性または還元性雰囲気中で焼成される必要があ
る。しかしながら、従来の誘電体磁器材料では、このよ
うな還元性雰囲気中で焼成すると著しく還元されてしま
い、半導体化してしまうという欠点があった。 【0009】このような欠点を克服するために、たとえ
ば特公昭57−42588号公報に示されるように、チ
タン酸バリウム固溶体において、バリウムサイト/チタ
ンサイトの比を化学量論比より過剰にした誘電体材料が
考え出された。このような誘電体材料を使用することに
よって、還元性雰囲気中で焼成しても半導体化しない誘
電体磁器を得ることができ、内部電極としてニッケルな
どの卑金属を使用した積層セラミックコンデンサの製造
が可能となった。 【0010】 【発明が解決しようとする課題】近年のエレクトロニク
スの発展に伴い電子部品の小型化が急速に進行し、積層
セラミックコンデンサも小型化の傾向が顕著になってき
た。積層セラミックコンデンサを小型化する方法として
は、一般的に大きな誘電率を有する材料を用いるか、誘
電体層を薄膜化することが知られている。しかし、大き
な誘電率を有する材料は結晶粒が大きく、10μm以下
のような薄膜になると、1つの層中に存在する結晶粒の
数が減少し、信頼性が低下してしまう。 【0011】一方、特開昭61−101459号公報に
示されるように、チタン酸バリウム固溶体にLa,N
d,Sm,Dyなどの希土類酸化物を添加した、結晶粒
径の小さい非還元性誘電体磁器が知られている。このよ
うに結晶粒径を小さくすることによって、1つの層中に
存在する結晶粒の数を増やすことができ、信頼性の低下
を防ぐことができる。 【0012】しかしながら、この希土類酸化物を添加し
た材料では、大きな誘電率を得ることができない上、焼
成するときに還元されやすくなり、特性の面で問題があ
った。 【0013】それゆえに、この発明の主たる目的は、還
元性雰囲気中で焼成しても半導体化せず、しかも結晶粒
径が小さいにもかかわらず、大きな誘電率が得られ、こ
れを用いることによって積層セラミックコンデンサを小
型化することができる、非還元性誘電体磁器組成物を提
供することである。 【0014】 【課題を解決するための手段】この発明は、その主成分
がBa,Sr,Ca,Mg,Ti,ZrおよびNbの各
酸化物からなり、次の一般式、{(Ba1-x-y-z Srx
Cay Mgz )O}m(Ti1-o-p Zro Nbp )O
2+p/2 で表され、x,y,z,o,pおよびmが、0.
05≦x≦0.35、0.005≦y≦0.12、0.
0005≦z≦0.05、0<o≦0.20、0.00
05p≦0.02、1.000≦m≦1.04の関係
を満足し、前記主成分100モルに対して、Mn,F
e,Cr,Co,Niの各酸化物をMnO2 ,Fe2
3 ,Cr23 ,CoO,NiOと表したとき、各酸化
物の少なくとも一種類が合計量で0.02〜2.0モル
添加され、前記主成分を100重量部として、BaO−
SrO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化物ガラ
スを0.05重量部〜5.0重量部含む、非還元性誘電
体磁器組成物である。 【0015】 【発明の効果】この発明によれば、還元性雰囲気中で焼
成しても還元されず、半導体化しない非還元性誘電体磁
器組成物を得ることができる。したがって、この非還元
性誘電体磁器組成物を用いて磁器積層コンデンサを製造
すれば、電極材料として卑金属を用いることができ、1
250℃以下と比較的低温で焼成可能であるため、積層
セラミックコンデンサのコストダウンを図ることができ
る。 【0016】また、この非還元性誘電体磁器組成物を用
いた磁器では、誘電率が11000以上あり、しかもこ
のように高誘電率であるにもかかわらず、結晶粒が3μ
m以下と小さい。したがって、積層セラミックコンデン
サを製造するときに、誘電体層を薄膜化しても、従来の
積層セラミックコンデンサのように層中に存在する結晶
粒の量が少なくならない。このため、信頼性が高く、し
かも小型で大容量の積層セラミックコンデンサを得るこ
とができる。 【0017】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、以下の実施例の詳細な説明から一層明
らかとなろう。 【0018】 【実施例】まず、原料として、純度99.8%以上のB
aCO3 ,SrCO3 ,CaCO3 ,MgCO3 ,Ti
2 ,ZrO2 ,Nb2 5 ,MnO2 ,Fe2 3
Cr2 3 ,CoO,NiOを準備した。これらの原料
を{ (Ba1-x-y-z SrxCay Mgz ) O}m ( Ti
1-o-p Zro Nbp ) O2+p/2 の組成式で表され、x,
y,z,m,o,pが表1に示す割合となるように配合
して、配合原料を得た。この配合原料をボールミルで湿
式混合し、粉砕したのち乾燥し、空気中において110
0℃で2時間仮焼して仮焼物を得た。この仮焼物を乾式
粉砕機によって粉砕し、粒径が1μm以下の粉砕物を得
た。この粉砕物に、予め準備した粒径1μm以下のBa
O−SrO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化物
ガラスを秤量し、純水と酢酸ビニルバインダを加えて、
ボールミルで16時間混合して混合物を得た。 【0019】 【表1】【0020】この混合物を乾燥造粒した後、2000k
g/cm2 の圧力で成形し、直径10mm,厚さ0.5
mmの円板を得た。得られた円板を空気中において50
0℃まで加熱して有機バインダを燃焼させたのち、酸素
分圧が3×10-8〜3×10-10 atmのH2 −N2
空気ガスからなる還元雰囲気炉中において表2に示す温
度で2時間焼成し、円板状の磁器を得た。得られた磁器
の表面を、走査型電子顕微鏡で倍率1500倍で観察
し、グレインサイズを測定した。 【0021】 【表2】【0022】そして、得られた磁器の主表面に銀電極を
焼き付けて測定試料(コンデンサ)とした。得られた試
料について、室温での誘電率(ε),誘電損失(tan
δ)および温度変化に対する静電容量(C)の変化率を
測定した。なお、誘電率および誘電損失は、温度25
℃,1kHz,1Vrms の条件で測定した。また、温度
変化に対する静電容量の変化率については、20℃での
静電容量を基準とした−25℃と85℃での変化率(Δ
C/C20)および−25℃から85℃の範囲内で絶対値
としてその変化率が最大である値(|ΔC/C
20max )を示した。 【0023】さらに、また、絶縁抵抗計によって、50
0Vの直流電流を2分間印加したのちの絶縁抵抗値を測
定した。絶縁抵抗は、25℃および85℃の値を測定
し、それぞれの体積抵抗率の対数(logρ)を算出し
た。これらの測定結果を表2に示す。 【0024】次に、各組成の限定理由について説明す
る。 【0025】{ (Ba1-x-y-z Srx Cay Mgz )
O}m ( Ti1-o-p Zro Nbp ) O2+p/2 において、
試料番号1のように、ストロンチウム量xが0.05未
満の場合、誘電率が11000未満で、誘電損失が2.
0%を超え、静電容量の温度変化率も大きくなり好まし
くない。また、試料番号18のように、ストロンチウム
量xが0.35を超えると、磁器の焼結性が悪く、誘電
率が11000未満で、静電容量の温度変化率がJIS
規格のF特性を満足しなくなり好ましくない。 【0026】さらに、試料番号2のように、カルシウム
量yが0.005未満であれば、磁器の焼結性が悪く、
誘電損失が2.0%を超え、絶縁抵抗の低下が生じ好ま
しくない。一方、試料番号19のように、カルシウム量
yが0.12を超えると、焼結性が悪くなり、誘電率が
低下し好ましくない。 【0027】また、試料番号3のように、マグネシウム
量zが0.0005未満であれば、25℃,85℃での
絶縁抵抗値が低下し好ましくない。一方、試料番号20
のように、マグネシウム量zが0.05を超えると、誘
電率が11000未満に低下するだけでなく、絶縁性も
低下し、粒径が3μmより大きくなり好ましくない。 【0028】試料番号4のように、ジルコニウム量oが
0の場合、誘電率が11000未満になり、静電容量の
温度変化率が大きくなり好ましくない。一方、試料番号
21のように、ジルコニウム量oが0.20を超える
と、焼結性が低下し、誘電率が11000未満になり好
ましくない。 【0029】試料番号5のように、ニオブ量pが0.0
005未満の場合、誘電率が11000未満になり、結
晶粒径が3μmより大きくなり、積層セラミックコンデ
ンサにした場合、誘電体層を薄膜化できず好ましくな
い。一方、試料番号22のように、ニオブ量pが0.0
2を超えると、還元性雰囲気で焼成したときに、磁器が
還元され、半導体化して絶縁抵抗が大幅に低下し好まし
くない。 【0030】試料番号6のように、{ (Ba1-x-y-z
x Cay Mgz ) O}m ( Ti1-o-p Zro Nbp )
2+p/2 のモル比mが1.000未満では、還元性雰囲
気中で焼成したときに磁器が還元され、半導体化して絶
縁抵抗が低下してしまい好ましくない。一方、試料番号
23のように、モル比mが1.04を超えると、焼結性
が極端に悪くなり好ましくない。 【0031】さらに、試料番号7のように、添加物
(A)としてのMnO2 ,Fe2 3 ,Cr2 3 ,C
oO,NiOの添加量が0.02モル未満の場合、85
℃以上での絶縁抵抗が小さくなり、高温中における長時
間使用の信頼性が低下し好ましくない。一方、試料番号
24のように、これらの添加物の量が2.0モルを超え
ると、誘電損失が2.0%を超えて大きくなり、同時に
絶縁抵抗も劣化し好ましくない。 【0032】また、試料番号8のように、添加物(B)
としてのBaO−SrO−Li2 O−SiO2 を主成分
とする酸化物ガラスの添加量が0.05重量部未満の場
合、焼結性が悪くなり、誘電損失が2.0%を超えて好
ましくない。一方、試料番号25のように、BaO−S
rO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化物ガラス
の添加量が5.0重量部を超えると、誘電率が1100
0未満に低下するとともに、結晶粒径が3μmより大き
くなり好ましくない。 【0033】それに対して、この発明の非還元性誘電体
磁器組成物を用いれば、誘電率が11000以上と高
く、誘電損失が2.0%以下で、温度に対する静電容量
の変化率が、−25℃〜85℃の範囲でJIS規格に規
定するF特性規格を満足する誘電体磁器を得ることがで
きる。さらに、この誘電体磁器では、25℃,85℃に
おける絶縁抵抗は、体積抵抗率の対数で表したときに1
2以上と高い値を示す。また、この発明の非還元性誘電
体磁器組成物は、焼成温度も1250℃以下と比較的低
温で焼結可能であり、粒径についても3μm以下と小さ
い。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−228019(JP,A) 特開 昭59−138003(JP,A) 特開 昭61−248304(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01B 3/12 303 C04B 35/46 H01G 4/12 358

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 その主成分がBa,Sr,Ca,Mg,
    Ti,ZrおよびNbの各酸化物からなり、次の一般式 {(Ba1-x-y-z Srx Cay Mgz )O}m (Ti1-o-p Zro Nbp )O2+p/2 で表され、x,y,z,o,pおよびmが、 0.05≦x≦0.35 0.005≦y≦0.12 0.0005≦z≦0.05 0<o≦0.20 0.0005p≦0.02 1.000≦m≦1.04 の関係を満足し、前記主成分100モルに対して、M
    n,Fe,Cr,Co,Niの各酸化物をMnO2 ,F
    23 ,Cr23 ,CoO,NiOと表したとき、
    各酸化物の少なくとも一種類が合計量で0.02〜2.
    0モル添加され、前記主成分を100重量部として、B
    aO−SrO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化
    物ガラスを0.05重量部〜5.0重量部含む、非還元
    性誘電体磁器組成物。
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CN113004030A (zh) * 2021-03-17 2021-06-22 太原理工大学 一种高介电常数陶瓷介质材料及其制备方法

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