JP3356554B2 - 多極子レンズ電子光学装置 - Google Patents
多極子レンズ電子光学装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多極子レンズ電子光学
装置に係り、特に複数の静電型多極子レンズによって集
光するとともに、静電型多極子レンズの出口を出た荷電
粒子ビームを減速電界によって減速させて試料台上の試
料へ照射する走査型電子顕微鏡等の多極子レンズ電子光
学装置に関する。
装置に係り、特に複数の静電型多極子レンズによって集
光するとともに、静電型多極子レンズの出口を出た荷電
粒子ビームを減速電界によって減速させて試料台上の試
料へ照射する走査型電子顕微鏡等の多極子レンズ電子光
学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の走査型電子顕微鏡等の多極
子レンズ電子光学装置の概略構成の一例を示す。電子銃
１から放出された電子ビーム９は３個の静電型多極子レ
ンズ１１、１３、１５から構成される静電型三重四極子
電極１０によって集光され、試料台１７上の試料へ照射
される。静電型多極子レンズ１１、１３、１５は、それ
ぞれ電源１２、１４、１６によって電圧が印加される。
静電型多極子レンズ１１、１３、１５は略同一の構成を
有し、それぞれ互いに９０度の角度をおいた４個の円柱
状の構成電極から構成された四極子レンズである。
子レンズ電子光学装置の概略構成の一例を示す。電子銃
１から放出された電子ビーム９は３個の静電型多極子レ
ンズ１１、１３、１５から構成される静電型三重四極子
電極１０によって集光され、試料台１７上の試料へ照射
される。静電型多極子レンズ１１、１３、１５は、それ
ぞれ電源１２、１４、１６によって電圧が印加される。
静電型多極子レンズ１１、１３、１５は略同一の構成を
有し、それぞれ互いに９０度の角度をおいた４個の円柱
状の構成電極から構成された四極子レンズである。
【０００３】図３（ｂ）に、例として静電型多極子レン
ズ１５の構成を示す。構成電極１５ａと構成電極１５ｃ
とが対向配置され、これらの電極の間に電源１６ａによ
って電圧が印加されている。同様に、構成電極１５ｂと
構成電極１５ｄとが対向配置され、これらの電極の間に
は電源１６ａとは極性が逆で等しい大きさの電圧を電源
１６ｂによって印加されている。通常、電子銃１から放
出された電子ビーム９は、レンズ収差を小さくするため
に静電型三重四極子電極１０によって高加速度で加速さ
れる。
ズ１５の構成を示す。構成電極１５ａと構成電極１５ｃ
とが対向配置され、これらの電極の間に電源１６ａによ
って電圧が印加されている。同様に、構成電極１５ｂと
構成電極１５ｄとが対向配置され、これらの電極の間に
は電源１６ａとは極性が逆で等しい大きさの電圧を電源
１６ｂによって印加されている。通常、電子銃１から放
出された電子ビーム９は、レンズ収差を小さくするため
に静電型三重四極子電極１０によって高加速度で加速さ
れる。
【０００４】また、試料台１７には電源１８によって負
の減速電圧が印加されており、静電型多極子レンズ１５
と試料との間に減圧電界が発生しており、この減速電界
によって静電型多極子レンズ１５の出口１９を出た電子
ビームが減速される。静電型三重四極子電極１０によっ
て高加速度した後、出口１９を出た電子ビームを減速す
るのは次の理由からである。電子ビームが高加速度で試
料台１７の試料に照射されると、試料が導体でないとき
は特に電荷が蓄積されて、いわゆるチャージアップが生
じ、この結果デバイス等の試料が破壊されることがあ
る。このようなチャージアップを防止する必要があるか
らである。
の減速電圧が印加されており、静電型多極子レンズ１５
と試料との間に減圧電界が発生しており、この減速電界
によって静電型多極子レンズ１５の出口１９を出た電子
ビームが減速される。静電型三重四極子電極１０によっ
て高加速度した後、出口１９を出た電子ビームを減速す
るのは次の理由からである。電子ビームが高加速度で試
料台１７の試料に照射されると、試料が導体でないとき
は特に電荷が蓄積されて、いわゆるチャージアップが生
じ、この結果デバイス等の試料が破壊されることがあ
る。このようなチャージアップを防止する必要があるか
らである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４は、静電型多極子
レンズ１５の出口１９近傍から試料台１７との間の光軸
上の電界分布を示す。横軸はｚ軸、縦軸は電位を任意単
位で示す。
レンズ１５の出口１９近傍から試料台１７との間の光軸
上の電界分布を示す。横軸はｚ軸、縦軸は電位を任意単
位で示す。
【０００６】Ｄ（ｚ）は、四極子レンズである静電型多
極子レンズ１５の位置に対応して四極子レンズ成分Ｄ
（ｚ）が発生し、また静電型多極子レンズ１５の端部２
０と試料台１７との間に減速電界ФR （ｚ）が発生して
いる。これらの二つの成分Ｄ（ｚ）、ФR （ｚ）の他
に、高次成分である八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）が静電
型多極子レンズ１５の端部２０の近傍に発生しフリンジ
電界を形成している。通常、試料台１７へ印加される電
圧は−１ｋＶ以上であるため、八極子レンズ成分Ｄ
1 （ｚ）の値は非常に大きい。
極子レンズ１５の位置に対応して四極子レンズ成分Ｄ
（ｚ）が発生し、また静電型多極子レンズ１５の端部２
０と試料台１７との間に減速電界ФR （ｚ）が発生して
いる。これらの二つの成分Ｄ（ｚ）、ФR （ｚ）の他
に、高次成分である八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）が静電
型多極子レンズ１５の端部２０の近傍に発生しフリンジ
電界を形成している。通常、試料台１７へ印加される電
圧は−１ｋＶ以上であるため、八極子レンズ成分Ｄ
1 （ｚ）の値は非常に大きい。
【０００７】この八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフ
リンジ電界は、四極子レンズである静電型多極子レンズ
１５の収差特性に影響を与える。また八極子レンズ成分
Ｄ1（ｚ）の値は試料台１７の印加電圧である減速電位
Ｖs の値によって変動する。
リンジ電界は、四極子レンズである静電型多極子レンズ
１５の収差特性に影響を与える。また八極子レンズ成分
Ｄ1（ｚ）の値は試料台１７の印加電圧である減速電位
Ｖs の値によって変動する。
【０００８】このように試料台１７に印加される減速電
界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズ１５等の四極子レン
ズ成分Ｄ（ｚ）とを組み合わされた電子光学系において
は、八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフリンジ電界の
存在は、静電型多極子レンズ１５等にレンズ収差が生
じ、電子ビームを微小に集光できないという問題点があ
った。
界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズ１５等の四極子レン
ズ成分Ｄ（ｚ）とを組み合わされた電子光学系において
は、八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフリンジ電界の
存在は、静電型多極子レンズ１５等にレンズ収差が生
じ、電子ビームを微小に集光できないという問題点があ
った。
【０００９】なお、フリンジ電界がレンズ収差を生じさ
せることについて四極子レンズの場合について述べた
が、静電型多極子レンズが四極子レンズではなく一般の
多極子レンズである場合にも同様に、フリンジ電界がレ
ンズ収差を生じ電子ビームを微小に集光できないという
問題点があった。
せることについて四極子レンズの場合について述べた
が、静電型多極子レンズが四極子レンズではなく一般の
多極子レンズである場合にも同様に、フリンジ電界がレ
ンズ収差を生じ電子ビームを微小に集光できないという
問題点があった。
【００１０】そこで、本発明の目的は、上記従来技術の
有する問題を解消し、フリンジ電界によるレンズ収差を
縮減した多極子レンズ電子光学装置を提供することであ
る。
有する問題を解消し、フリンジ電界によるレンズ収差を
縮減した多極子レンズ電子光学装置を提供することであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による多極子レンズ電子光学装置は、荷電粒
子銃から放出された荷電粒子ビームを複数の静電型多極
子レンズによって集光するとともに、前記静電型多極子
レンズの出口を出た荷電粒子ビームを試料台に印加する
減速電界によって減速させて試料台上の試料へ照射する
多極子レンズ電子光学装置において、前記静電型多極子
レンズの出口と前記試料台との間に、前記減速電圧を試
料台に印加することによって前記静電型多極子レンズの
出口と試料台との間で生じるフリンジ電界を調整するた
めに、荷電粒子ビームが通過する開口が形成され所定の
調整電圧が印加される電位分布調整電極を設けたことを
特徴とする。
に、本発明による多極子レンズ電子光学装置は、荷電粒
子銃から放出された荷電粒子ビームを複数の静電型多極
子レンズによって集光するとともに、前記静電型多極子
レンズの出口を出た荷電粒子ビームを試料台に印加する
減速電界によって減速させて試料台上の試料へ照射する
多極子レンズ電子光学装置において、前記静電型多極子
レンズの出口と前記試料台との間に、前記減速電圧を試
料台に印加することによって前記静電型多極子レンズの
出口と試料台との間で生じるフリンジ電界を調整するた
めに、荷電粒子ビームが通過する開口が形成され所定の
調整電圧が印加される電位分布調整電極を設けたことを
特徴とする。
【００１２】また、前記電位分布調整電極は、回転対称
の形状を有し前記静電型多極子レンズの光軸に対して回
転対称に配設されていることを特徴とする。
の形状を有し前記静電型多極子レンズの光軸に対して回
転対称に配設されていることを特徴とする。
【００１３】また、前記電位分布調整電極は、前記開口
が中心部に形成されたドウーナツ状の円板形状を有し、
前記静電型多極子レンズを構成する構成電極を前記光軸
に沿って前記電位分布調整電極へ射影した断面射影部
が、前記円板形状の内円および外円の円周に接すること
を特徴とする。
が中心部に形成されたドウーナツ状の円板形状を有し、
前記静電型多極子レンズを構成する構成電極を前記光軸
に沿って前記電位分布調整電極へ射影した断面射影部
が、前記円板形状の内円および外円の円周に接すること
を特徴とする。
【００１４】
【作用】静電型多極子レンズの出口と試料台との間に電
位分布調整電極を設けたので、電位分布調整電極に所定
の電圧を印加することによって、試料台に印加される減
速電界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズの四極子レンズ
成分Ｄ（ｚ）等の多極子レンズ成分とを組み合わされた
電子光学系において、静電型多極子レンズの出口近傍に
発生する八極子レンズ成分等によるフリンジ電界を縮減
してこのフリンジ電界によるレンズ収差を縮小させる。
位分布調整電極を設けたので、電位分布調整電極に所定
の電圧を印加することによって、試料台に印加される減
速電界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズの四極子レンズ
成分Ｄ（ｚ）等の多極子レンズ成分とを組み合わされた
電子光学系において、静電型多極子レンズの出口近傍に
発生する八極子レンズ成分等によるフリンジ電界を縮減
してこのフリンジ電界によるレンズ収差を縮小させる。
【００１５】
【実施例】本発明による静電型多極子レンズの実施例を
図面参照をして説明する。図１に本実施例の多極子レン
ズ電子光学装置の概略構成を示す。電子銃１は、偏平な
直方体形状であり先端の電子放出面が４個の矩形面に分
割されたＬａＢ6 からなる陰極２と、ウェーネルト電極
３と、接地された陽極４とから構成されている。陰極２
は電源５を介して加熱され、ウェーネルト電極３は電源
６によって負電圧が印加され電子ビームの発散を抑制す
るようにしている。陰極２およびウェーネルト電極３は
電源７によって印加される負電圧によって電子ビームの
加速電圧を制御している。
図面参照をして説明する。図１に本実施例の多極子レン
ズ電子光学装置の概略構成を示す。電子銃１は、偏平な
直方体形状であり先端の電子放出面が４個の矩形面に分
割されたＬａＢ6 からなる陰極２と、ウェーネルト電極
３と、接地された陽極４とから構成されている。陰極２
は電源５を介して加熱され、ウェーネルト電極３は電源
６によって負電圧が印加され電子ビームの発散を抑制す
るようにしている。陰極２およびウェーネルト電極３は
電源７によって印加される負電圧によって電子ビームの
加速電圧を制御している。
【００１６】電子銃１から放出された電子ビーム９は３
個の静電型多極子レンズ１１、１３、１５から構成され
る静電型三重四極子電極１０によって集光され、試料台
１７上の試料へ照射される。静電型多極子レンズ１１、
１３、１５は、それぞれ電源１２、１４、１６によって
電圧が印加される。
個の静電型多極子レンズ１１、１３、１５から構成され
る静電型三重四極子電極１０によって集光され、試料台
１７上の試料へ照射される。静電型多極子レンズ１１、
１３、１５は、それぞれ電源１２、１４、１６によって
電圧が印加される。
【００１７】静電型多極子レンズ１１、１３、１５は略
同一の構成を有し、各静電型多極子レンズは互いに９０
度の角度をおいて配設された４個の円柱状の構成電極を
有し、四極子レンズを構成している。
同一の構成を有し、各静電型多極子レンズは互いに９０
度の角度をおいて配設された４個の円柱状の構成電極を
有し、四極子レンズを構成している。
【００１８】試料台１７に最も近い静電型多極子レンズ
１５の出口１９と試料台１７との間に、ドウーナツ状の
円板形状の電位分布調整電極３０が配設されている。電
位分布調整電極３０の中央部には電子ビームが通過する
円形の開口３０ａが形成されている。電位分布調整電極
３０は静電型多極子レンズ１１、１３、１５の光軸に対
して回転対称に配設されている。また、図１（ｂ）に示
すように、静電型多極子レンズ１５を構成する構成電極
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄを光軸に沿って電位分
布調整電極３０の面上へ射影した場合の断面射影部は、
電位分布調整電極３０の内円３０ｂおよび外円３０ｃの
円周に接するような位置にあり、四極子レンズである静
電型多極子レンズ１５等のボア径は内円３０ｂの径に等
しいようになっている。
１５の出口１９と試料台１７との間に、ドウーナツ状の
円板形状の電位分布調整電極３０が配設されている。電
位分布調整電極３０の中央部には電子ビームが通過する
円形の開口３０ａが形成されている。電位分布調整電極
３０は静電型多極子レンズ１１、１３、１５の光軸に対
して回転対称に配設されている。また、図１（ｂ）に示
すように、静電型多極子レンズ１５を構成する構成電極
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄを光軸に沿って電位分
布調整電極３０の面上へ射影した場合の断面射影部は、
電位分布調整電極３０の内円３０ｂおよび外円３０ｃの
円周に接するような位置にあり、四極子レンズである静
電型多極子レンズ１５等のボア径は内円３０ｂの径に等
しいようになっている。
【００１９】電位分布調整電極３０には電源３１によっ
て電圧ＶA が印加されるようになっており、電源３１は
電圧ＶA を減速電圧Ｖs や静電型多極子レンズ１５に印
加される電圧とは独立に制御できる。電圧ＶA の制御
は、以下に述べるように、静電型多極子レンズ１５の端
部２０近傍の八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフリン
ジ電界を減少させ、このフリンジ電界によるレンズ収差
をできるだけ小さくなるように制御される。
て電圧ＶA が印加されるようになっており、電源３１は
電圧ＶA を減速電圧Ｖs や静電型多極子レンズ１５に印
加される電圧とは独立に制御できる。電圧ＶA の制御
は、以下に述べるように、静電型多極子レンズ１５の端
部２０近傍の八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフリン
ジ電界を減少させ、このフリンジ電界によるレンズ収差
をできるだけ小さくなるように制御される。
【００２０】図２は、静電型多極子レンズ１５の出口１
９近傍と試料台１７との間の光軸上の電界分布を示す。
横軸はｚ軸、縦軸は電位を任意単位で示す。
９近傍と試料台１７との間の光軸上の電界分布を示す。
横軸はｚ軸、縦軸は電位を任意単位で示す。
【００２１】四極子レンズである静電型多極子レンズ１
５等のボア内には四極子レンズ成分Ｄ（ｚ）が発生して
おり、静電型多極子レンズ１５の端部２０と試料台１７
との間には減速電界ФR （ｚ）が発生している。また、
静電型多極子レンズ１５の端部２０の近傍には高次成分
である八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）が発生しフリンジ電
界を形成している。
５等のボア内には四極子レンズ成分Ｄ（ｚ）が発生して
おり、静電型多極子レンズ１５の端部２０と試料台１７
との間には減速電界ФR （ｚ）が発生している。また、
静電型多極子レンズ１５の端部２０の近傍には高次成分
である八極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）が発生しフリンジ電
界を形成している。
【００２２】さらに、端部２０と試料台１７との間には
電位分布調整電極３０に印加された調整電圧によって、
回転対称な強度分布を有する調整電界ФA （ｚ）が発生
している。
電位分布調整電極３０に印加された調整電圧によって、
回転対称な強度分布を有する調整電界ФA （ｚ）が発生
している。
【００２３】図２において、図４と比較するとわかるよ
うに電位分布調整電極３０が配設されていない場合に比
べて減速電界ФR （ｚ）は試料台１７側へシフトしてい
る。また、調整電界ФA （ｚ）の存在によって、静電型
多極子レンズ１５の端部２０近傍の八極子レンズ成分Ｄ
1 （ｚ）によるフリンジ電界は大幅に減少していること
がわかる。
うに電位分布調整電極３０が配設されていない場合に比
べて減速電界ФR （ｚ）は試料台１７側へシフトしてい
る。また、調整電界ФA （ｚ）の存在によって、静電型
多極子レンズ１５の端部２０近傍の八極子レンズ成分Ｄ
1 （ｚ）によるフリンジ電界は大幅に減少していること
がわかる。
【００２４】以上説明したように、本実施例の構成によ
れば、静電型多極子レンズ１５の出口１９と試料台１７
との間に電位分布調整電極３０を設けたので、減速電界
ФR（ｚ）を試料台１７側へシフトさせるとともに、八
極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフリンジ電界を大幅に
減少させることができる。この結果、試料台１７に印加
される減速電界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズの四極
子レンズ成分Ｄ（ｚ）とを組み合わされた電子光学系に
おいて、フリンジ電界によるレンズ収差を縮小させるこ
とができる。
れば、静電型多極子レンズ１５の出口１９と試料台１７
との間に電位分布調整電極３０を設けたので、減速電界
ФR（ｚ）を試料台１７側へシフトさせるとともに、八
極子レンズ成分Ｄ1 （ｚ）によるフリンジ電界を大幅に
減少させることができる。この結果、試料台１７に印加
される減速電界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズの四極
子レンズ成分Ｄ（ｚ）とを組み合わされた電子光学系に
おいて、フリンジ電界によるレンズ収差を縮小させるこ
とができる。
【００２５】また、電位分布調整電極３０は、回転対称
の形状を有し静電型多極子レンズの光軸に対して回転対
称に配設されているので、調整電界ФA （ｚ）を回転対
称な強度分布を有するように形成することができる。こ
の結果、レンズ収差に影響を与え易い出口１９と試料台
１７との間の電界分布を非回転対称的に乱すことを防止
することができる。
の形状を有し静電型多極子レンズの光軸に対して回転対
称に配設されているので、調整電界ФA （ｚ）を回転対
称な強度分布を有するように形成することができる。こ
の結果、レンズ収差に影響を与え易い出口１９と試料台
１７との間の電界分布を非回転対称的に乱すことを防止
することができる。
【００２６】また、電位分布調整電極３０では静電型多
極子レンズ１５等のボア径が内円３０ｂの径に等しいよ
うに開口３０ａが形成されているので、八極子レンズ成
分Ｄ1 （ｚ）によるフリンジ電界を効率的に減少させる
ことができる電位分布調整電極３０をコンパクトに形成
することができる。
極子レンズ１５等のボア径が内円３０ｂの径に等しいよ
うに開口３０ａが形成されているので、八極子レンズ成
分Ｄ1 （ｚ）によるフリンジ電界を効率的に減少させる
ことができる電位分布調整電極３０をコンパクトに形成
することができる。
【００２７】以上の実施例の説明において、静電型多極
子レンズ１１、１３、１５が四極子レンズとして説明し
てきたが、本発明はこれに限らず、静電型多極子レンズ
１１、１３、１５が四極子レンズ以外の多極子レンズで
ある場合にも適用できる。
子レンズ１１、１３、１５が四極子レンズとして説明し
てきたが、本発明はこれに限らず、静電型多極子レンズ
１１、１３、１５が四極子レンズ以外の多極子レンズで
ある場合にも適用できる。
【００２８】また、３個の静電型多極子レンズ１１、１
３、１５がシリーズに配設場合について説明したが、静
電型多極子レンズの数は３個に限らない。
３、１５がシリーズに配設場合について説明したが、静
電型多極子レンズの数は３個に限らない。
【００２９】また、荷電粒子銃として電子銃として説明
したが本発明はこれに限らず、イオン銃等の他の荷電粒
子銃であってもよい。
したが本発明はこれに限らず、イオン銃等の他の荷電粒
子銃であってもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の構成によ
れば、静電型多極子レンズの出口と試料台との間に電位
分布調整電極を設けたので、電位分布調整電極に所定の
電圧を印加することによって、試料台に印加される減速
電界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズの四極子レンズ成
分Ｄ（ｚ）等の多極子レンズ成分とを組み合わされた電
子光学系において、静電型多極子レンズの出口近傍に発
生する八極子レンズ成分等によるフリンジ電界を縮減し
てこのフリンジ電界によるレンズ収差を縮小させること
ができる。
れば、静電型多極子レンズの出口と試料台との間に電位
分布調整電極を設けたので、電位分布調整電極に所定の
電圧を印加することによって、試料台に印加される減速
電界ФR （ｚ）と静電型多極子レンズの四極子レンズ成
分Ｄ（ｚ）等の多極子レンズ成分とを組み合わされた電
子光学系において、静電型多極子レンズの出口近傍に発
生する八極子レンズ成分等によるフリンジ電界を縮減し
てこのフリンジ電界によるレンズ収差を縮小させること
ができる。
【図１】本発明による多極子レンズ電子光学装置の一実
施例の概略構成を示す断面図（ａ）とＡ−Ａから見た断
面図（ｂ）。
施例の概略構成を示す断面図（ａ）とＡ−Ａから見た断
面図（ｂ）。
【図２】本発明の多極子レンズ電子光学装置において静
電型多極子レンズの出口近傍と試料台との間の光軸上の
電界分布を示す図。
電型多極子レンズの出口近傍と試料台との間の光軸上の
電界分布を示す図。
【図３】従来の多極子レンズ電子光学装置の概略構成を
示す断面図（ａ）とＡ−Ａから見た断面図（ｂ）。
示す断面図（ａ）とＡ−Ａから見た断面図（ｂ）。
【図４】従来の多極子レンズ電子光学装置において静電
型多極子レンズの出口近傍と試料台との間の光軸上の電
界分布を示す図。
型多極子レンズの出口近傍と試料台との間の光軸上の電
界分布を示す図。
１ 電子銃 ９ 電子ビーム １０ 静電型三重四極子電極 １１ 静電型多極子レンズ １２ 静電型多極子レンズ １５ 静電型多極子レンズ １５ａ、１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ 構成電極 １７ 試料台 １９ 静電型多極子レンズの出口 ３０ 電位分布調整電極 ３０ａ 開口 ３０ｂ 内円 ３０ｃ 外円
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 37/00 - 37/153 H01J 37/252 - 37/295
Claims (3)
- 【請求項１】荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビーム
を複数の静電型多極子レンズによって集光するととも
に、前記静電型多極子レンズの出口を出た荷電粒子ビー
ムを試料台に印加する減速電界によって減速させて試料
台上の試料へ照射する多極子レンズ電子光学装置におい
て、 前記静電型多極子レンズの出口と前記試料台との間に、
前記減速電圧を試料台に印加することによって前記静電
型多極子レンズの出口と試料台との間で生じるフリンジ
電界を調整するために、荷電粒子ビームが通過する開口
が形成され所定の調整電圧が印加される電位分布調整電
極を設けたことを特徴とする多極子レンズ電子光学装
置。 - 【請求項２】前記電位分布調整電極は、回転対称の形状
を有し前記静電型多極子レンズの光軸に対して回転対称
に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の多
極子レンズ電子光学装置。 - 【請求項３】前記電位分布調整電極は、前記開口が中心
部に形成されたドウーナツ状の円板形状を有し、前記静
電型多極子レンズを構成する構成電極を前記光軸に沿っ
て前記電位分布調整電極へ射影した断面射影部が、前記
円板形状の内円および外円の円周に接することを特徴と
する請求項２に記載の多極子レンズ電子光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17526694A JP3356554B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 多極子レンズ電子光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17526694A JP3356554B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 多極子レンズ電子光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0845461A JPH0845461A (ja) | 1996-02-16 |
| JP3356554B2 true JP3356554B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=15993151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17526694A Expired - Fee Related JP3356554B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 多極子レンズ電子光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3356554B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002184336A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-28 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線顕微鏡装置、荷電粒子線応用装置、荷電粒子線顕微方法、荷電粒子線検査方法、及び電子顕微鏡装置 |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP17526694A patent/JP3356554B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0845461A (ja) | 1996-02-16 |
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