JP3343728B2 - ハロゲンガス検出器 - Google Patents
ハロゲンガス検出器Info
- Publication number
- JP3343728B2 JP3343728B2 JP19133099A JP19133099A JP3343728B2 JP 3343728 B2 JP3343728 B2 JP 3343728B2 JP 19133099 A JP19133099 A JP 19133099A JP 19133099 A JP19133099 A JP 19133099A JP 3343728 B2 JP3343728 B2 JP 3343728B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- halogen gas
- gas detector
- pin
- wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 title claims description 23
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims description 23
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 17
- GROMGGTZECPEKN-UHFFFAOYSA-N sodium metatitanate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Ti](=O)O[Ti](=O)O[Ti]([O-])=O GROMGGTZECPEKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 38
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- -1 silica metal oxide Chemical class 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N thorium dioxide Chemical compound O=[Th]=O ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003452 thorium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0052—Gaseous halogens
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
の他のガスを、物質の電気特性に対するこれらのガスの
作用によって検出するガス検出器に関する。
種の物質の電気特性に対するこれらのガスの作用によっ
て検出するガス検出器が知られている。このタイプのガ
ス検出器としては、「固体センサ」という名称のロー
(Loh)他の米国特許第3,751,968号、「ガ
ス検出器」という名称のロー(Loh)の米国特許第
4,045,729号、そして「ガスセンサ」という名
称のリー(Lee)他の米国特許第5,104,513
号の特許に記載されているものがある。
ルと、該コイル内に位置するピンとを使用しており、コ
イルとピンとは、検出されるべきガスの存在時において
電気抵抗が変化する材料によって互いに離間されてお
り、この電気抵抗の変化は電流又は電圧の変化によって
測定される。
においては、特に、冷媒蒸気に対する感度、寿命、電力
消費、及びコストの改善が要求される。検出器がR−1
34a,R−12及びR−22タイプの冷媒蒸気を検出
しなければならないことは非常に重要である。また、こ
のタイプの従来のセンサでは、消費電力が大きいという
問題があった。
良好であり、低い消費電力で作動し、寿命が長く、さら
に冷媒蒸気に対しても良好な感度を有するハロゲンガス
検出器を提供することにある。
結果、従来のガス検出器よりも消費電力が少なく、した
がって、電池の寿命を伸ばすことができる熱効率の高い
ガス検出器を提供することができた。
は、 a)筒状空間を形成する螺旋状に巻回された、非反応性
酸化物コーティングを有する耐酸化性金属ワイヤからな
るコイル、 b)前記筒状空間内に配置され、前記コイルと電気接触
しない導電性金属ピン、 c)前記コイルと前記ピンとの間の空間を満たす、原位
置で(in place)焼結した、細かく分割された
チタン酸ナトリウム、 d)前記コイルの温度を高めるべく前記コイルに電流を
流すための手段、 e)前記コイルとピンとの間に電圧を印加する手段、そ
して、 f)ハロゲンガスの存在を示す、前記コイルとピンとの
間の電気抵抗の変化を感知する手段、を有することを特
徴とする。
イヤは、好ましくは、多層コイルとなるように、更に好
ましくは、二層コイルとなるように巻回形成されてい
る。また、前記コイルワイヤの直径と長さとは、少なく
とも10オームの抵抗値を提供するように選択するのが
好ましい。好ましくは、前記細かく分割されたチタン酸
ナトリウムは、非シリカ性充填剤と混合される。
であって、 a)筒状空間を形成する螺旋状に、かつ、多層コイル状
に巻回形成される、非反応性酸化物コーティングを有す
る耐酸化性金属ワイヤからなるコイル、 b)前記筒状空間内に配置され、前記コイルと電気接触
しない導電性金属ピン、 c)前記コイルと前記ピンとの間の空間を満たす、原位
置で(in place)焼結した、細かく分割された
反応性材料、 d)前記コイルの温度を高めるべく前記コイルに電流を
流すための手段、 e)前記コイルとピンとの間に電圧を印加する手段、そ
して、 f)ハロゲンガスの存在を示す、前記コイルとピンとの
間の電気抵抗の変化を感知する手段、を有する、ハロゲ
ンガス検出器も本発明の特徴構成である。
も、好ましくは、前記ワイヤは、二層コイルとなるよう
に巻回形成されており、前記コイルワイヤの直径と長さ
とが、少なくとも10オームの抵抗値を提供するように
選択される。
来のガス検出器よりも消費電力が少なく、したがって、
電池の寿命を伸ばすことができる熱効率の高いガス検出
器が提供されることにある。本発明の更なる利点は、よ
り高い電圧で作動し、従って、電池からの電流の流出
(draw)がより少ないガス検出器が提供されること
にある。本発明の更に別の利点は、実質的にシリカを使
用しないガス検出器が提供されることにある。本発明の
更に別の利点は、容易に製造できるガス検出器が提供さ
れることにある。
器の好ましい実施形態について簡単に説明する。なお、
本発明はここに記載する実施形態に限定されるものでな
く、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で変形実施できる
構成を含む。
を有する螺旋コイルを形成するように巻回され、非反応
性電気絶縁酸化物でコーティングされた耐酸化性貴金属
ワイヤから成るコレクタ、および、前記円筒空間内に位
置する導電性貴金属ピン、を有する。前記コイルと前記
ピンとの間の空間は、原位置で(in place)焼
結した、細かく分割されたチタン酸ナトリウムで満たさ
れる。前記チタン酸ナトリウムに、酸化チタンまたはそ
の他の不活性材料が任意に混合される。前記コイルに電
流を流してコイルの温度を上昇させるために、電池に接
続したリード線を有する回路が設けられる。また、前記
コイルとピンとの間に電圧を印加するため、そして、ハ
ロゲンガスの存在を示すものであるこれらコイルとピン
との間の電流変化を感知するための、リード線を備えた
別の回路が設けられる。
上の層を有するように巻回される。後述する一実施例に
依れば、前記コイルは、1ミルのワイヤを、そのコイル
の内径が少なくとも11ミルになるように、10ターン
上にさらに10ターンを巻回した約20ターン(巻き付
け回数)から成る二層コイルに巻回することによって形
成される。好ましくは、コイルワイヤとピンとは、非酸
化性貴金属からなり、特に好ましくは前記コイルワイヤ
とピンとは、プラチナ又はプラチナ合金からなる。ま
た、好ましくは、前記貴金属ワイヤは、コイルに沿った
短絡を防止するために、非シリカ性絶縁酸化物コーティ
ングによってプレコーティングされている。
ス検出器を具体化した好ましい実施形態について詳細に
説明する。その他の特徴及び課題、利点は図面を参照し
て以下の詳細説明から明らかになるであろう。図面に於
いて、図1は、本発明に依る、ガスセンサの破断平面
図、図2は、本発明に依るガスセンサの破断側面図、図
3及び図4は、それぞれ、本発明に依るガスセンサに使
用される二層コイルの詳細断面図と端面図、そして図5
は、本発明の作動原理を説明するための電気回路図であ
る。
ゲンガスセンサは、電気絶縁基体10を有し、前記基体
10には三つの導電性ポストが固定されている。前記ポ
ストの内の二つ11、12は、二層コイル形態のコイル
15のリード線16,17の端部を支持している(二層
コイルは、図3および図4に図示されているように、一
つの層が他の層上に巻回されている)。
ム)でプレコーティングされた1ミルのワイヤを20タ
ーンからなる二層コイルとなるように巻回して形成され
ている。即ち、10ターン上にさらに10ターンを巻回
して20ターンとし、プレコーティングされたワイヤコ
イルの内径が少なくとも11ミルとなるように形成され
ている。このコイルワイヤは、プラチナ(最も一般
的)、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウ
ム、イリジウム、及びこれらの合金、等の貴金属又は耐
酸化性金属から成る。前記ワイヤの直径と前記ワイヤの
長さ(コイルおよびリード線)とは、約10オーム以上
の抵抗値を提供するように選択される。前記コイルワイ
ヤは、アルミナ(酸化アルミニウム)、チタニア(二酸
化チタン)、トリア(酸化トリウム)、又は安定化ジル
コニア(酸化ジルコニウム)、及びこれらの混合物等
の、非シリカ性金属酸化物によってプレコーティングさ
れている。前記耐火性酸化物、好ましくはアルミナ、
は、微細粉体状であって、これが結合剤によって前記ワ
イヤに固着され、焼結される。この(プレ)コーティン
グの厚みは、1ないし3ミルである。(プレ)コーティ
ングを施しても、前記ワイヤは、前記二層コイルに成形
されるのに十分な柔軟性を維持している。
これ(ポスト20)は、前記コイル15の内部によって
形成される前記筒状空間内に延出するピン21を支持し
ている。このピン21は、貴金属又は耐酸化性金属から
成り、前記コイルの形成に使用された前記ワイヤと同様
にプレコーティングすることが可能である。前記基体1
0の周部24には部分カバー23が固定されている。
ナトリウムのスラリーが、前記アルミナによってプレコ
ーティングされたワイヤコイルおよびピンに塗布され、
乾燥される。これは、そのスラリーによるコーティング
が前記ピンの周囲で前記コイルのコアを満たし、個々の
コイルのターンが識別不能になる程度にまで行われる。
前記チタン酸ナトリウムと、ハロゲンガスの存在下に於
けるチタン酸ナトリウムの電気特性変化の障害にならな
い非シリカ性酸化物、最も好適にはチタニア(二酸化チ
タン)、から選択される充填剤とを混合することが可能
である。前記充填剤の量は、前記電気特性変化に悪影響
を与えない限り、重要ではない。好ましくは、前記チタ
ン酸ナトリウムは、前記スラリーの固体含有量の少なく
とも80重量%である。通常、チタン酸ナトリウムは、
滑らかな粉体であり、たとえば、325メッシュを全部
通過する。前記ワイヤのアルミナによるプレコーティン
グは、多孔性であり、チタン酸ナトリウムは、このプレ
コーティングに浸透するように見える。
ングされたコイルとピンは、加熱されてそのコーティン
グが予備焼結される。この予備焼結は、予備焼結温度を
得るべく前記コイルに電流を流すことによって行われ、
この温度が非常に短い時間、たとえば1分間、保持され
る。この活性(active)コーティングにおいて
は、ガラス質又はガラス隗は形成されず、細かく分割さ
れたチタン酸ナトリウムの粒子が、互いに接触するよう
に結合する。この予備焼結工程の直後に、前記コイルと
ピンとの間に作動バイアスを印加することによって、作
動コイル温度で、追加の焼結と時効(エイジング)工程
を行い、所定の時間、たとえば3ないし12時間保持す
る。
たピン/コイルの配置(構造)に於いて、前記チタン酸
塩コーティングのアルカリ金属イオンは、陰イオン(こ
の例に於いては、ハロゲン化蒸気のハライドイオン)の
受容体である。前記印加バイアスでの加熱によって、イ
オンが空乏した(depleted)外層が、前記チタ
ン酸塩コーティングと前記両電極(ピンとコイル)との
間の境界に沿って形成される。このイオン空乏層をハロ
ゲン等の反応性ガスに晒すと、イオンが前記空乏ゾーン
を渡って流れ、装置の導電性を増加させる。
る。前記印加バイアスは、間にあるチタン酸塩コーティ
ングにとって重要ではないが、これは、通常、前記ピン
を前記コイルに対してマイナスにするように構成され
る。抵抗器27と並列にある電圧計26によって測定さ
れる、前記コイルとピンとの間を流れる電流が、ハロゲ
ン含有ガスの存在又は不在を示す。
号比(即ち高いS/N比)で、冷媒蒸気(R−134
a,R−12及びR−22)に対して良好な感度を有す
る。その感度は、100時間の連続使用後に於いてもま
だ許容可能な範囲にある。これは、断続的な現場使用で
の約1年間に相当する。前記高いS/N比は、前記特定
のコーティング材料と、塗布されるコーティングがコン
パクトであることに依るものと考えられる。作動中に於
いて、その消費電力は、約4.1ボルトの動作電圧に於
いて、約600ないし650mWである。これによって
電流の流出(drain)が非常に低くなる。これとは
対照的に、ある一般的な従来のセンサは、約1.2ボル
トで約800mWを消費し、重いコイルヒータを備えた
別のセンサは約6Wを消費する。
ルの詳細断面図
ルの詳細端面図
Claims (5)
- 【請求項1】 a)筒状空間を形成する螺旋状に巻回さ
れた、非反応性酸化物コーティングを有する耐酸化性金
属ワイヤからなるコイル、 b)前記筒状空間内に配置され、前記コイルと電気接触
しない導電性金属ピン、 c)前記コイルと前記ピンとの間の空間を満たす、原位
置で(in place)焼結した、細かく分割された
チタン酸ナトリウム、 d)前記コイルの温度を高めるべく前記コイルに電流を
流すための手段、 e)前記コイルとピンとの間に電圧を印加する手段、そ
して、 f)ハロゲンガスの存在を示す、前記コイルとピンとの
間の電気抵抗の変化を感知する手段、を有する、ハロゲ
ンガス検出器。 - 【請求項2】 前記ワイヤが、多層コイルとなるように
巻回形成されている、請求項1記載のハロゲンガス検出
器。 - 【請求項3】 前記ワイヤが、二層コイルとなるように
巻回形成されている、請求項1記載のハロゲンガス検出
器。 - 【請求項4】 前記コイルワイヤの直径と長さとが、少
なくとも10オームの抵抗値を提供するように選択され
る、請求項2記載のハロゲンガス検出器。 - 【請求項5】 前記細かく分割されたチタン酸ナトリウ
ムが、非シリカ性充填剤と混合される、請求項1記載の
ハロゲンガス検出器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/110,705 US5932176A (en) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | Halogen gas detector |
US09/110705 | 1998-07-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000039422A JP2000039422A (ja) | 2000-02-08 |
JP3343728B2 true JP3343728B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=22334459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19133099A Expired - Fee Related JP3343728B2 (ja) | 1998-07-07 | 1999-07-06 | ハロゲンガス検出器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5932176A (ja) |
JP (1) | JP3343728B2 (ja) |
CA (1) | CA2276351C (ja) |
DE (1) | DE19930750A1 (ja) |
FR (1) | FR2781571A1 (ja) |
GB (1) | GB2342451B (ja) |
MX (1) | MXPA99005862A (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6644098B2 (en) | 2001-01-18 | 2003-11-11 | Advanced Test Products, Inc. | Heated electrode refrigerant detector utilizing one or more control loop |
US6703840B2 (en) | 2001-04-19 | 2004-03-09 | Advanced Test Products, Inc. | Methods and apparatuses for automatic process control for biasing and testing heated electrode refrigerant sensors |
US6649876B2 (en) | 2001-04-19 | 2003-11-18 | Advanced Test Products, Inc. | Methods and apparatuses for automatic process control for firing and biasing heated electrode refrigerant sensors |
AU2002357857A1 (en) * | 2001-12-13 | 2003-06-23 | The University Of Wyoming Research Corporation Doing Business As Western Research Institute | Volatile organic compound sensor system |
US7080545B2 (en) * | 2002-10-17 | 2006-07-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems |
US20040163445A1 (en) * | 2002-10-17 | 2004-08-26 | Dimeo Frank | Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems |
US20050211949A1 (en) * | 2003-11-13 | 2005-09-29 | Bivens Donald B | Detectable refrigerant compositions and uses thereof |
US7051577B2 (en) * | 2003-12-12 | 2006-05-30 | Radiaulics, Inc. | Multi-functional leak detection instrument along with sensor mounting assembly and methodology utilizing the same |
US20060211253A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-21 | Ing-Shin Chen | Method and apparatus for monitoring plasma conditions in an etching plasma processing facility |
US8418530B1 (en) | 2005-04-08 | 2013-04-16 | Mainstream Engineering Corporation | Compositions and methods for detecting leaks in HVAC/R systems |
US8074490B2 (en) * | 2006-08-03 | 2011-12-13 | Ut-Battelle Llc | Clandestine grave detector |
US8468874B2 (en) * | 2008-02-06 | 2013-06-25 | Radiaulics, Inc. | Laser indicator for remote measuring devices and methods therefor |
WO2011163604A1 (en) | 2010-06-25 | 2011-12-29 | Industrial Scientific Corporation | A multi-sense environmental monitoring device and method |
US8726719B2 (en) | 2010-07-31 | 2014-05-20 | Ut-Battelle, Llc | Light-weight analyzer for odor recognition |
CN105651827A (zh) * | 2015-12-19 | 2016-06-08 | 成都尼奥尔电子科技有限公司 | 一种基于自增益放大电路的高精度无线天燃气检测仪 |
US10533965B2 (en) * | 2016-04-19 | 2020-01-14 | Industrial Scientific Corporation | Combustible gas sensing element with cantilever support |
CA3018763C (en) | 2016-04-19 | 2024-01-23 | Industrial Scientific Corporation | Worker safety system |
US11246187B2 (en) | 2019-05-30 | 2022-02-08 | Industrial Scientific Corporation | Worker safety system with scan mode |
WO2022214293A1 (en) | 2021-04-07 | 2022-10-13 | Inficon Gmbh | Halogenated gas sensor |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3751968A (en) * | 1971-01-22 | 1973-08-14 | Inficon Inc | Solid state sensor |
US3991360A (en) * | 1975-05-16 | 1976-11-09 | General Electric Company | Sensor assembly for a halogen gas leak detector |
US3979625A (en) * | 1975-06-10 | 1976-09-07 | General Electric Company | Ceramic spaced sensor assembly for a gas leak detector |
US4045729A (en) * | 1976-07-26 | 1977-08-30 | Loh Jack C | Gas detector |
US4196427A (en) * | 1976-07-28 | 1980-04-01 | Rudberg Harry I A | Method and apparatus for measuring low concentrations of chlorine and chlorine oxide |
SE404353B (sv) * | 1976-12-15 | 1978-10-02 | Forberg Sevald | Sett att framstella som jonbytarmaterial lempade titanater |
US4296399A (en) * | 1977-12-21 | 1981-10-20 | A-T-O Inc. | Microminiature palladium oxide gas detector and method of making same |
US4151641A (en) * | 1978-02-21 | 1979-05-01 | General Electric Company | Methods of making an improved sensing element and an improved sensor assembly for a halogen gas leak detector |
US4447397A (en) * | 1982-08-05 | 1984-05-08 | Bacharach Instrument Company | Catalytic gas sensor |
JPS6021963U (ja) * | 1983-07-21 | 1985-02-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
US4916935A (en) * | 1983-11-09 | 1990-04-17 | Bacharach, Inc. | Low power solid state gas sensor with linear output and method of making the same |
GB8427004D0 (en) * | 1984-10-25 | 1984-11-28 | Atomic Energy Authority Uk | Sensors |
JPS61155947A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Fuigaro Giken Kk | 排ガスセンサ |
JPS6451331A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Proton-conductive substance and its production |
US5224972A (en) * | 1990-09-11 | 1993-07-06 | Frye Gregory C | Coatings with controlled porosity and chemical properties |
US5104513A (en) * | 1990-10-18 | 1992-04-14 | Leybold Inficon Inc. | Gas sensor |
JP3146111B2 (ja) * | 1993-11-08 | 2001-03-12 | 新コスモス電機株式会社 | ガスの検知方法及びガス検知装置 |
DE4339737C1 (de) * | 1993-11-22 | 1995-01-19 | Siemens Ag | Gassensor |
-
1998
- 1998-07-07 US US09/110,705 patent/US5932176A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-06-21 MX MXPA99005862A patent/MXPA99005862A/es unknown
- 1999-06-25 CA CA002276351A patent/CA2276351C/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-07-02 DE DE19930750A patent/DE19930750A1/de not_active Withdrawn
- 1999-07-02 GB GB9915619A patent/GB2342451B/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-07-06 FR FR9908684A patent/FR2781571A1/fr active Pending
- 1999-07-06 JP JP19133099A patent/JP3343728B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MXPA99005862A (es) | 2003-07-21 |
GB9915619D0 (en) | 1999-09-01 |
FR2781571A1 (fr) | 2000-01-28 |
DE19930750A1 (de) | 2000-01-13 |
JP2000039422A (ja) | 2000-02-08 |
GB2342451A (en) | 2000-04-12 |
CA2276351A1 (en) | 2000-01-07 |
GB2342451B (en) | 2003-08-13 |
US5932176A (en) | 1999-08-03 |
CA2276351C (en) | 2007-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3343728B2 (ja) | ハロゲンガス検出器 | |
US3607084A (en) | Combustible gas measurement | |
US3644795A (en) | Gas detecting element and method of making it | |
US3732519A (en) | Semiconductor gas detecting device | |
US4228128A (en) | Exhaust gas sensor having porous, metal-impregnated ceramic element | |
JPH11153571A (ja) | 酸素センサ素子 | |
US20020046947A1 (en) | Combined oxygen and nox sensor | |
JP2008286810A (ja) | 酸素センサ素子 | |
JP6224311B2 (ja) | 半導体ガスセンサ素子 | |
US4916935A (en) | Low power solid state gas sensor with linear output and method of making the same | |
JPS5968190A (ja) | ヒ−タ− | |
JPH0468586B2 (ja) | ||
US4509034A (en) | Gas sensor | |
JP2003504604A (ja) | ヒータ回路、殊にセンサ用のヒータ回路及び該ヒータ回路の製造法 | |
JP4041228B2 (ja) | フロンガスセンサおよびその製造方法 | |
JP2008281584A (ja) | 酸素センサ素子 | |
JP5951980B2 (ja) | 半導体ガスセンサ素子、半導体ガスセンサ素子の製造方法、及びガス検出装置 | |
JP4637375B2 (ja) | 酸素センサの製造方法 | |
JP2955583B2 (ja) | ガスセンサ用検知素子 | |
JP4806232B2 (ja) | 半導体ガスセンサ及びガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ | |
WO2016174988A1 (ja) | 半導体式ガスセンサ、およびこれを備えたガス検知装置 | |
JPS6155064B2 (ja) | ||
JPH03120456A (ja) | 酸素センサ | |
JP3174150B2 (ja) | 湿度センサ | |
SU879288A1 (ru) | Устройство дл измерени шероховатости микропроволоки |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100830 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100830 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110830 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110830 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120830 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120830 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130830 Year of fee payment: 11 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |