JP4806232B2 - 半導体ガスセンサ及びガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ - Google Patents
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Description
(実施例1)
半導体ガスセンサAとして、図1,2に示すものを作製した。
上記実施例1について、素子温度400℃での種々のガスに対するシリコン被毒前後のガス感度を調査した。
(組成物(a)の調製)
実施例1と同様の手法により得られた平均粒径12μmの粉体状の酸化タングステンに、この酸化タングステンに対して50重量%のα−アルミナ粉末を加えて混合し、これに更にテルピオネールを加えてペースト状として調製した。
酸化タングステン粉末の平均粒径を9μmとした以外は上記組成物(a)と同様にして調製した。
半導体ガスセンサAとして、図1,2に示すものを作製した。
実施例2において、組成物の塗布を、組成物(a)、組成物(a)の順番で行った。それ以外は実施例2と同様にして半導体ガスセンサAを作製した。
実施例2において、組成物の塗布を、組成物(b)、組成物(b)の順番で行った。それ以外は実施例2と同様にして半導体ガスセンサAを作製した。
実施例2において、組成物の塗布を、組成物(b)、組成物(a)の順番で行った。それ以外は実施例2と同様にして半導体ガスセンサAを作製した。
上記実施例2,3及び比較例1,2について、素子温度400℃でのエタノールと水素の各ガス感度を調査した。
1 感ガス体
2 検知用電極
3 コア部
Claims (5)
- 酸化タングステンを含む粉体材料の焼結体にて構成される感ガス体と、一対の検知用電極とを具備し、前記感ガス体が前記一対の検知用電極の互いに対向し合う対向面に接触すると共に前記対向面間に挟まれた空間に配置されるコア部を含み、前記コア部は平均粒径10μm以上20μm以下の酸化タングステン粉末を含む粉体材料の焼結体にて形成されたものであることを特徴とする半導体ガスセンサ。
- 上記感ガス体のコア部に、コア部中の酸化タングステンの含有量に対して20〜100重量%の範囲のアルミナが含有されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体ガスセンサ。
- 上記感ガス体にシリカが添加されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体ガスセンサ。
- 上記コア部が上記酸化タングステンと、この酸化タングステンの含有量に対して20〜100重量%の範囲のアルミナとからなり、更にこのコア部の表面にシリカが添加されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体ガスセンサ。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体ガスセンサにて構成されることを特徴とするガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007057392A JP2007057392A (ja) | 2007-03-08 |
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ID=37921017
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005243457A Active JP4806232B2 (ja) | 2005-08-24 | 2005-08-24 | 半導体ガスセンサ及びガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4806232B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5951980B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2016-07-13 | 日本写真印刷株式会社 | 半導体ガスセンサ素子、半導体ガスセンサ素子の製造方法、及びガス検出装置 |
JP6268484B2 (ja) | 2014-06-11 | 2018-01-31 | 株式会社タニタ | 生体ガス検知装置、方法、及びプログラム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001349858A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Fuji Electric Co Ltd | 窒素酸化物ガスセンサ |
JP4575559B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2010-11-04 | エフアイエス株式会社 | ケトン感応素子 |
JP2002071611A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-12 | Fis Kk | 水素ガスセンサ |
JP2003031615A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置の実装構造体及び実装方法 |
JP2003074928A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-12 | New Cosmos Electric Corp | 室内空気管理装置 |
JP3529048B2 (ja) * | 2002-02-06 | 2004-05-24 | フィガロ技研株式会社 | ガスセンサの製造方法 |
JP3950809B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2007-08-01 | 日本特殊陶業株式会社 | アンモニアガスセンサ |
JP4347641B2 (ja) * | 2003-09-05 | 2009-10-21 | 大阪瓦斯株式会社 | ガス検出器、及びガス検出方法 |
-
2005
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007057392A (ja) | 2007-03-08 |
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