JP3335537B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP3335537B2 JP30808996A JP30808996A JP3335537B2 JP 3335537 B2 JP3335537 B2 JP 3335537B2 JP 30808996 A JP30808996 A JP 30808996A JP 30808996 A JP30808996 A JP 30808996A JP 3335537 B2 JP3335537 B2 JP 3335537B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路に関
し、特に、位相同期した制御信号を使用する半導体集積
回路に関する。近年、半導体集積回路は高速化および高
集積化が進み、クロック信号に対しても、位相の同期し
たクロック信号を所定の回路へ供給することが必要にな
って来ている。具体的に、例えば、シンクロナスDRA
M(SDRAM)においては、DLL(Delay Locked Lo
op) 回路を使用して外部クロックに位相同期した信号を
複数の出力バッファ回路に対して供給するようになって
いる。そして、クロック信号の高速化に伴い、DLL回
路の位相比較回路において、ダミー回路で遅延を与えた
信号と位相比較を行うクロック信号としては、1クロッ
ク後の信号から2クロック(nクロック)後の信号を使
用することが必要となって来ている。
【0002】
【従来の技術】近年のメモリ・デバイスは、例えば、1
00MHzを超える動作速度を達成しており、DLL等の
技術を利用して外部入力クロック信号と内部出力クロッ
ク信号との位相を合わせることにより、内部のクロック
配線による遅れの影響を除いてアクセス時間の遅れやバ
ラツキを抑える方法が用いられている。
【0003】このようなDLL技術では、内部出力クロ
ック信号線の負荷による伝搬遅延を見積もるために、ダ
ミーの回路を設けるようになっている。図1は関連技術
としての半導体集積回路の一例を示すブロック図であ
る。図1において、参照符号1はクロック入力パッド、
21は入力回路(クロックバッファ)、22はダミー入
力回路(クロックバッファ)、そして、3はDLL回路
を示している。さらに、参照符号41はクロック配線
(リアル配線)、42はダミー配線、51は出力回路
(出力バッファ)、52はダミー出力回路(出力バッフ
ァ)、6はデータ出力パッド、そして、7はダミー負荷
容量を示している。
【0004】図1に示されるように、DLL回路3は、
位相比較回路(ディジタル位相比較器)31、遅延制御
回路32、遅延回路33、および、ダミー遅延回路34
を備えて構成されている。位相比較回路31には、外部
クロック(外部入力クロック信号)CLKが入力回路2
1を介して供給される(信号S1)と共に、外部クロッ
クCLKがダミー遅延回路34,ダミー配線42,ダミ
ー出力回路52並びにダミー入力回路22を介して供給
され(信号S0)、これらの信号S1およびS0の位相
比較を行って遅延制御回路32を制御するようになって
いる。ここで、ダミー入力回路22を介して位相比較回
路31に供給される信号S0は、ダミー配線42等によ
り、ちょうど1クロック分の時間だけ外部クロックCL
Kを遅延した信号であり、この1クロック分だけ遅延し
た信号S0が入力回路21を介して供給される信号S1
と位相比較されることになる。
【0005】遅延制御回路32は、位相比較回路31か
らの出力に応じて、遅延回路33およびダミー遅延回路
34に対して同じ遅延量を与えるようにそれぞれ制御す
るようになっている。従って、出力回路51におけるク
ロック信号(内部クロック信号)は、入力回路21,遅
延回路33,クロック配線(リアル配線)41および出
力回路51による遅延が、見かけ上、存在しないような
タイミングで供給されることになる。
【0006】ところで、例えば、SDRAMの動作周波
数がさらに速くなり、外部クロックCLKの周期がさら
に短くなると、上述したダミー配線42等による遅延時
間が該外部クロックCLKの1周期よりも長くなる。具
体的に、入力回路21の遅延時間,遅延回路33の最小
の遅延時間,リアル配線41の遅延時間,および,出力
回路51の遅延時間の合計(ダミー入力回路22の遅延
時間,ダミー遅延回路34の最小の遅延時間,ダミー配
線42の遅延時間,および,ダミー出力回路52の遅延
時間の合計に対応)が、外部クロックCLKの1クロッ
ク分の時間(1クロックサイクル)よりも長くなると、
位相比較回路31では、入力回路21を介して供給され
る信号S1と、ダミー入力回路22の出力信号S0との
位相比較を行うことができない。すなわち、1クロック
サイクル前の外部クロックから位相同期した内部クロッ
クを生成することができないことになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、図1
に示す関連技術の半導体集積回路は、該半導体集積回路
に使用する制御信号の周波数がさらに速くなると、DL
L回路3により1クロックサイクル前の外部クロックか
ら位相同期した内部クロックを生成することができない
ことになる。
【0008】また、位相比較回路31により位相比較を
クロックの各週期毎(各クロックサイクル毎)に行う
と、例えば、ロウアドレスストローブ信号(RAS信
号)やコラムアドレスストローブ信号(CAS信号)の
出力による電源電圧の変動、或いは、ノイズ等による電
源電圧の変動等のために、遅延制御回路32による遅延
回路33(ダミー遅延回路34)の制御が頻繁に行わ
れ、内部出力クロック信号が微妙に振れることになっ
て、好ましくない。
【0009】本発明は、使用する制御信号の周波数がさ
らに高速化した場合での位相同期した制御信号を生成す
ることのできる半導体集積回路の提供を目的とする。さ
らに、位相比較を所定のタイミングで行って、出力する
制御信号を安定させることも目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の形態によ
れば、第1の周波数を有するクロック信号を受け取り、
該第1の周波数を有する遅延クロック信号を内部回路へ
供給する第1の遅延回路と、前記クロック信号を受け取
り、該クロック信号のエッジに対応したタイミングの第
1出力信号と、該エッジをX周期(Xは2以上の整数)
遅延した第2出力信号を出力する信号生成回路と、前記
第1出力信号を遅延する第の遅延回路と、前記信号生
成回路の前記第2出力信号からの第1の入力および前記
の遅延回路の出力からの第2の入力を有し、該第1
および第2の入力における信号の位相を比較する位相比
較回路と、該位相比較回路の出力信号を受け取り、前記
第1および第の遅延回路の遅延量を制御する遅延制御
回路とを具備することを特徴とする半導体集積回路が提
供される。
【0011】また、本発明の第2の形態によれば、第1
の周波数を有するクロック信号を受け取り、該第1の周
波数を有する遅延クロック信号を内部回路へ供給する第
1の遅延回路と、前記クロック信号を受け取り、前記第
1の周波数を当該第1の周波数よりも低い第2の周波数
を有する第1および第2の出力信号に分周する分周回路
と、前記分周回路の前記第1の出力信号につながれた入
力を有し、当該入力を遅延する第2の遅延回路と、前記
分周回路の第2の出力信号からの第1の入力および前記
第2の遅延回路の出力からの第2の入力を有し、該第1
および第2の入力における信号の位相を比較する位相比
較回路と、該位相比較回路の出力信号を受け取り、前記
第1および第2の遅延回路の遅延量を制御する遅延制御
回路とを具備することを特徴とする半導体集積回路が提
供される。
【0012】本発明の半導体集積回路の第1の形態によ
れば、クロック信号を2周期以上遅延させさらに可変遅
延させた信号と、クロック信号とを位相比較し、使用す
る制御信号の周波数がさらに高速化した場合にも、位相
同期した制御信号を生成することができるようになって
いる。また、本発明の半導体集積回路の第2の形態によ
れば、分周回路で分周したクロック信号を位相比較し、
出力する制御信号を安定させることがきるようになって
いる
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る半導体集積回路の実施例を説明する。図2は本発明に
係る半導体集積回路の一実施例を示すブロック図であ
る。図2において、参照符号1はクロック入力パッド、
21は入力回路(クロックバッファ)、22はダミー入
力回路(クロックバッファ)、そして、3はDLL回路
を示している。さらに、参照符号41はクロック配線
(リアル配線)、42はダミー配線、51は出力回路
(出力バッファ:対象回路)、52はダミー出力回路
(出力バッファ)、6はデータ出力パッド、そして、7
はダミー負荷容量を示している。
【0014】図2に示されるように、DLL回路3は、
分周回路30、位相比較回路(ディジタル位相比較器)
31、遅延制御回路32、遅延回路33、および、ダミ
ー遅延回路34を備えて構成されている。分周回路30
には、入力回路21を介して外部クロックCLK(信号
S1:第1の制御信号)が供給され、該外部クロックC
LKを分周した信号を出力するようになっている。すな
わち、分周回路30は、第1の出力信号(信号S2)を
ダミー遅延回路34へ出力すると共に、第2の出力信号
(信号S3)を位相比較回路31の第1の入力へ出力す
るようになっている。位相比較回路31の第2の入力に
は、分周回路30の第1の出力信号(信号S2)が、ダ
ミー遅延回路34,ダミー配線42,ダミー出力回路5
2並びにダミー入力回路22を介して供給(信号S0)
され、該位相比較回路31は、これらの信号S3および
信号S0の位相比較を行って遅延制御回路32を制御す
るようになっている。なお、遅延回路33の出力信号
(第2の制御信号)は、DLL回路3の出力信号として
クロック配線(リアル配線)41を介して出力回路(対
象回路)51に供給されることになる。
【0015】遅延制御回路32は、位相比較回路31か
らの出力(位相比較結果)に応じて、遅延回路33およ
びダミー遅延回路34に対して同じ遅延量を与えるよう
に、各遅延回路33,34を制御するようになってい
る。従って、出力回路51におけるクロック信号(内部
クロック信号)は、入力回路21,遅延回路33,リア
ル配線41および出力回路51による遅延が、見かけ
上、存在しないようなタイミングで供給されることにな
る。
【0016】ところで、クロックの周期が入力回路21
と出力回路51とそれらの間の配線(クロック配線4
1)等の遅延よりも短くなると、1つ前の外部クロック
からDLL回路3を用いて内部クロックを生成すること
ができなくなる。そこで、本実施例では、クロックの周
期が配線遅延等よりも短くなる場合には、1つ前の外部
クロックではなく、2つ前の外部クロックから内部クロ
ックを生成するようになっている。すなわち、外部クロ
ックCLKの2周期だけ遅延したタイミングで位相比較
回路31の位相比較処理を行うようになっている。
【0017】本実施例では、以下に説明する分周回路3
0により、位相比較回路31で位相を比較する時に、
「DLL回路3から出力されたクロック」の立上りエッ
ジと「DLL回路3に入力された外部クロックの2周期
だけ遅延した外部クロック」の立上りエッジで同期をと
る(ロックする)ようになっている。すなわち、本実施
例では、図2に示されるように、入力回路21の出力が
供給される分周回路30を設け、該分周回路30の第1
の出力信号S2をダミー遅延回路34に供給し、且つ、
第2の出力信号S3を位相比較回路31の第1の入力に
供給するようになっている。
【0018】図3は図2の半導体集積回路における分周
回路の一例を示す回路図であり、図4は図3の分周回路
の各ノードの信号波形を示す図である。ここで、図3に
示す分周回路30は、図4の波形図から明らかなよう
に、入力信号S1(外部クロックCLK)を8分周し
て、外部クロックCLKの2クロックサイクル分の期間
が高レベル“H”(または、低レベル“L”)で、6サ
イクル分の期間が低レベル“L”(または、高レベル
“H”)となる信号S2(信号S3)を生成するもので
ある。
【0019】図3に示されるように、分周回路30は、
複数のナンドゲートおよびインバータより成る3段のカ
ウンタ301〜303として構成され、該分周回路30
に対して信号S1(入力回路21を介した外部クロック
CLK)を供給して、図4に示すような第1および第2
の出力信号S2およびS3を生成するようになってい
る。なお、図4において、参照符号Aは1つ目のカウン
タ301の出力信号、Bは2つ目のカウンタ302の出
力信号であり、各信号波形は、図4に示す通りである。
また、分周回路30は、複数のナンドゲートおよびイン
バータより成る3段のカウンタで構成するものに限定さ
れず、様々な論理ゲートの組み合わせとして構成するこ
とができるのはいうまでもない。
【0020】図5は図3の分周回路を使用した半導体集
積回路の動作を説明するためのタイミング図である。図
5に示されるように、分周回路30は、入力回路21の
出力である信号S1(外部クロックCLK)を受けて、
2周期の間(図5中の期間a)だけ高レベル“H”で、
6周期の間(図5中の期間b)だけ低レベル“L”とな
る8分周(a+b)した信号S2(第1の出力信号)
と、その逆相の信号S3(第2の出力信号)を出力す
る。ここで、第1の出力信号S2はダミー遅延回路34
に供給され、第2の出力信号S3は位相比較回路31の
一方の入力に供給される。なお、信号S0は、分周回路
30の第1の出力信号S2がダミー遅延回路34,ダミ
ー配線4,ダミー出力回路52およびダミー入力回路2
2により遅延され、位相比較回路31の他方の入力に供
給された信号である。
【0021】位相比較回路(ディジタル位相比較器)3
1は、分周回路30の第2の出力信号S3の立ち上がり
タイミングと信号S0の立ち上がりタイミングとの位相
を比較し、該比較結果に応じて遅延制御回路(シフトレ
ジスタ)32が遅延回路33およびダミー遅延回路34
に対して同じ遅延量を与えるように制御する。すなわ
ち、DLL回路3は、入力回路21からの信号S1(外
部クロックCLK)に対して、遅延回路33による遅延
量が与えられたクロック信号(内部クロック信号)を出
力するようになっている。これにより、DLL回路3で
2クロックサイクル前の外部クロックから位相同期した
内部クロックを生成することができ、DLL回路3を高
速動作可能なSDRAMに対応させることができる。
【0022】なお、分周回路30の第1の出力信号S2
における期間aを変化させることにより、何クロック前
の外部クロックから、DLL回路3で内部クロックをつ
くるかを調節することができる。具体的に、信号S2の
期間aを3クロック分の長さとすることにより、DLL
回路3で3クロックサイクル前の外部クロックから位相
同期した内部クロックを生成することができる。また、
分周回路30の第1の出力信号S2における期間bを変
える(a+b)ことによって、何周期毎に位相比較を行
なうかを調節することができる。
【0023】従って、本実施例において、分周回路30
は、Yを2以上の整数でZを正の整数として、信号S1
(外部クロックCLK)をY周期だけ高レベル“H”
で、該信号S1のZ周期だけ低レベル“L”となる第1
の出力信号S2を生成し、外部クロックCLKのY周期
だけ遅延したタイミングで位相比較回路31の位相比較
処理を行うようになっている。また、本実施例におい
て、分周回路30は、Xを2以上の整数として、信号S
1(外部クロックCLK)をX分周した第1および第2
の出力信号S2,S3を生成し、外部クロックCLKの
X周期毎に位相比較回路31の位相比較処理を行うよう
にもなっている。
【0024】図6は図2の半導体集積回路における分周
回路の他の例を示す回路図であり、図7は図6の分周回
路の各ノードの信号波形を示す図である。ここで、図6
に示す分周回路30は、図7の波形図から明らかなよう
に、入力信号S1を8分周して、外部クロックCLKの
1クロックサイクル分の期間が高レベル“H”で、7サ
イクル分の期間が低レベル“L”となる信号S2を生成
するものである。
【0025】図6および図3の比較から明らかなよう
に、図6に示す分周回路30は、図3に示す分周回路と
同様に、複数のナンドゲートおよびインバータより成る
3段のカウンタ301〜303として構成され、2つ目
のカウンタ302の出力B’を取り出すノードが図3の
ものと異なるだけである。図8は図6の分周回路を使用
した半導体集積回路の動作を説明するためのタイミング
図である。
【0026】図8に示すタイミング図は、単に、位相比
較を行なう周期を、各周期毎に行うのではなく、例え
ば、8周期に1回の割合で行う場合に対応するものであ
る。ここで、図8は、入力回路21の遅延時間,遅延回
路33の最小の遅延時間,リアル配線41の遅延時間,
および,出力回路51の遅延時間の合計が、外部クロッ
クCLKの1クロック分の時間(1クロックサイクル)
よりも短い場合、すなわち、DLL回路3で1クロック
サイクル前の外部クロックから位相同期した内部クロッ
クを生成することが可能な場合を示すものである。
【0027】このように、本実施例において、分周回路
30は、Xを2以上の整数として、信号S1(外部クロ
ックCLK)をX分周した第1および第2の出力信号S
2,S3を生成し、外部クロックCLKのX周期毎に位
相比較回路31の位相比較処理を行うようにもなってい
る。このように、位相比較回路31による位相比較をn
周期に1回(例えば、8周期に1回)の割合で行うこと
により、遅延制御回路32による遅延回路33(ダミー
遅延回路34)の制御をn周期に1回の頻度で行い、例
えば、ロウアドレスストローブ信号(RAS信号)やコ
ラムアドレスストローブ信号(CAS信号)の出力によ
る電源電圧の変動、或いは、ノイズ等による電源電圧の
変動等に起因する内部出力クロック信号の振れを防止す
ることができる。すなわち、位相比較を所定のタイミン
グで行うことにより、出力するクロック信号(制御信
号)を安定させることができる。
【0028】図9は本発明の半導体集積回路における遅
延回路33,34の一構成例を説明するための図であ
り、同図(a)は1ビット分の遅延回路の構成を示し、
同図(b)は該1ビット分の遅延回路の動作のタイムチ
ャートを示し、そして、同図(c)は1ビット分の遅延
回路を複数段接続した時の構成と動作説明を示すもので
ある。
【0029】図9(a)に示されるように、1ビット分
の遅延回路は2個のNANDゲート401と402、お
よび、インバータ403を備えて構成される。この1ビ
ット分の遅延回路の動作を図9(b)を参照して説明す
ると、入力φEは活性化信号(イネーブル信号)で、高
レベル“H”の時に遅延回路が動作する。図9(b)で
は、イネーブル信号φEが高レベル“H”になって信号
のアクセスが可能になった状態が示されている。なお、
図9(b)において、INは1ビット分の遅延回路への
入力信号を示し、また、φNは複数段接続された遅延回
路のうち隣接する右側の遅延回路からの信号、OUTは
1ビット分の遅延回路の出力信号、そして、4a−1お
よび4a−2は図9(a)の回路において対応するノー
ドの波形を示している。従って、OUTは左側に隣接す
る1ビット分の遅延回路における信号φNに対応する。
【0030】信号φNが低レベル“L”の時には、出力
信号OUTは常に低レベル“L”になり、また、信号φ
Nが高レベル“H”で信号φEが低レベル“L”の時に
は、出力信号OUTは高レベル“H”になる。信号φN
が高レベル“H”で信号φEが高レベル“H”の時に、
入力信号INが低レベル“L”であれば出力信号OUT
は高レベル“H”になり、INが高レベル“H”であれ
ば低レベル“L”になる。
【0031】図9(a)の回路によれば、イネーブル信
号φEが高レベル“H”の状態で入力信号INが立ち上
がると、その入力信号は矢印の経路に伝播するが、イネ
ーブル信号φEが低レベル“L”の状態では、入力信号
INが出力OUTに矢印の経路で伝播しないようになっ
ている。図9(c)は、図9(a)に示す1ビット分の
遅延回路を複数段カスケード接続した例であり、実際の
遅延回路に相当する。ここで、図9(c)では3段しか
描いていないが、実際には多数段接続されている。ま
た、イネーブル信号φEの信号線は、回路要素毎に、φ
E−1、φE−2、φE−3のように複数本あり、これ
らの信号は遅延制御回路(32)によって制御される。
【0032】図9(c)では、中央の1ビット分の遅延
回路が活性化されており、イネーブル信号φE−2が高
レベル“H”になっている。この場合、入力信号INが
低レベル“L”から高レベル“H”に変化すると、左端
の1ビット分の遅延回路と右端の1ビット分の遅延回路
のイネーブル信号φE−1およびφE−3は低レベル
“L”であるから、太線のように入力信号INはNAN
Dゲート401−1および401−3で止められてしま
う。
【0033】一方、活性化されている中央の1ビット分
の遅延回路のイネーブル信号φE−2は高レベル“H”
レベルであるから、入力信号INはNANDゲート40
1−2を通過する。右側の1ビット分の遅延回路の出力
信号OUTは高レベル“H”であるから、入力信号IN
はNANDゲート402−2も通過して、出力信号OU
Tとして低レベル“L”の信号が伝達されることにな
る。上記のように、右側の出力信号OUT、すなわち、
イネーブル信号φNが低レベル“L”の時には、出力信
号OUTは常に低レベル“L”になるので、この低レベ
ル“L”の信号が左側の1ビット分の遅延回路のNAN
Dゲートおよびインバータに順次伝達され、最終的な出
力信号として取り出される。
【0034】このように、活性化された1ビット分の遅
延回路を介して、入力信号INは折り返されるように信
号伝達され、最終的な出力信号になる。つまり、どの部
分のイネーブル信号φEを高レベル“H”にするかによ
り、遅延量を制御することができる。1ビット分の遅延
量は、NANDゲートとインバータの合計の信号伝搬時
間で決定され、この時間がDLL回路の遅延単位時間に
なり、そして、全体の遅延時間は、1ビット分の遅延量
に通過する段数を乗じた量になる。
【0035】図10は本発明の半導体集積回路における
遅延制御回路の一構成例を説明するための図である。図
10に示されるように、遅延制御回路も点線で囲った1
ビット分の遅延制御回路430−2を遅延回路の段数分
接続した構成になっており、各段の出力が遅延回路の各
段のイネーブル信号φEになる。
【0036】具体的に、1ビット分の遅延制御回路43
0−2は、NANDゲート432−2と、インバータ4
33−2で構成されるフリップフロップの両端にそれぞ
れ直列に接続されたトランジスタ435−2、437−
2、438−2、439−2、および、NORゲート4
31−2を有している。トランジスタ438−2のゲー
トは、前段の1ビット分の遅延制御回路のノード5a−
2に、トランジスタ439−2のゲートは、後段の1ビ
ット分の遅延制御回路のノード5a−5に接続されて、
前段と後段の信号を受けるようになっている。一方、直
列接続されている他方のトランジスタには、カウントア
ップする時のセット信号φSEおよびφSOと、カウン
トダウンする時のリセット信号φREおよびφROが1
ビット置きの回路に接続されている。
【0037】図10に示されるように、中央の1ビット
分の遅延制御回路430−2では、トランジスタ435
−2のゲートにセット信号φSOが供給され、トランジ
スタ437−2にリセット信号φROが供給され、ま
た、遅延制御回路430−2の前段および後段の両側の
回路の各対応するトランジスタのゲートにはそれぞれセ
ット信号φSEおよびリセット信号φREが供給されて
いる。また、NORゲート431−2には、左側の(前
段の)回路のノード5a−1と回路430−2のノード
5a−4の信号が入力される構成になっている。なお、
φRは遅延制御回路をリセットする信号で、電源投入後
に一時的に低レベル“L”レベルになり、その後は高レ
ベル“H”に固定される。
【0038】図11は図10の遅延制御回路の動作を説
明するためのタイミング図である。図11に示されるよ
うに、まず、リセット信号φRが一時的に低レベル
“L”になり、ノード5a−1,5a−3,5a−5が
高レベル“H”、また、5a−2,5a−4,5a−6
が低レベル“L”にリットされる。そして、カウントア
ップする時には、カウントアップ信号(セット信号)φ
SEおよびφSOが交互に高レベル“H”と低レベル
“L”を繰り返す。
【0039】セット信号φSEが低レベル“L”から高
レベル“H”になると、ノード5a−1は接地されて低
レベル“L”になり、また、ノード5a−2は高レベル
“H”に変化する。ノード5a−2が高レベル“H”に
変化したのを受けて、出力信号(イネーブル信号)φE
−1は高レベル“H”から低レベル“L”に変化する。
この状態はフリップフロップにラッチされるので、セッ
ト信号φSEが低レベル“L”に戻ったとしても、イネ
ーブル信号φE−1は低レベル“L”のままである。そ
して、ノード5a−1が低レベル“L”に変化したこと
を受けて、イネーブル信号(出力信号)φE−2が低レ
ベル“L”から高レベル“H”に変化する。ノード5a
−2が高レベル“H”に変化したのでトランジスタ43
8─2はオン状態になり、セット信号φSOが低レベル
“L”から高レベル“H”になると、ノード5a−3は
接地されて低レベル“L”に、また、ノード5a−4は
高レベル“H”に変化する。さらに、ノード5a−4が
高レベル“H”に変化したのを受けて、イネーブル信号
φE−2は高レベル“H”から低レベル“L”に変化す
る。この状態はフリップフロップにラッチされるので、
セット信号φSOが低レベル“L”に戻ったとしても、
イネーブル信号φE−2は低レベル“L”のままであ
る。
【0040】そして、ノード5a−3が低レベル“L”
に変化したことを受けて、イネーブル信号φE−3が低
レベル“L”から高レベル“H”に変化する。図11で
は、セット信号φSEおよびφSOが1パルスずつ出て
いるだけであるが、遅延制御回路が何段にも接続されて
おり、セット信号φSEおよびφSOが交互に高レベル
“H”と低レベル“L”を繰り返せば、出力信号(イネ
ーブル信号)φEが高レベル“H”になる段の位置が順
次右側にシフトする。従って、位相比較回路31の比較
結果により遅延量を増加させる必要がある場合には、交
互にセット信号φSEおよびφSOのパルスを入力すれ
ばよい。
【0041】カウントアップ信号(セット信号)φSE
およびφSOと、カウントダウン信号(リセット信号)
φREおよびφROとが出力されない状態、すなわち低
レベル“L”である状態が維持されれば、イネーブル信
号φEは高レベル“H”になる段の位置は固定される。
従って、位相比較回路31の比較結果により遅延量を維
持する必要がある場合には、信号φSE、φSO、φR
EおよびφROのパルスを入力しないようにする。
【0042】カウントダウンする時には、リセット信号
φREおよびφROのパルスを交互に入力すると、カウ
ントアップ時と逆に出力φEが高レベル“H”になる段
の位置が順次左側にシフトする。以上説明したように、
図10に示した遅延制御回路では、パルスを入力するこ
とにより、イネーブル信号φEが高レベル“H”になる
段の位置を1つずつ移動させることが可能であり、これ
らのイネーブル信号φEで図9(c)に示した遅延回路
を制御すれば遅延量を1単位ずつ制御することができ
る。
【0043】図12は本発明の半導体集積回路における
位相比較回路(位相比較部)の一構成例を説明するため
の図であり、図13は図12の位相比較回路の動作を説
明するためのタイミング図である。位相比較回路(3
1)は、図12に示す位相比較部と後述する図14に示
す増幅回路部の2つの回路部分で構成されている。
【0044】図12において、参照符号φoutおよび
φextは、この位相比較回路で比較する出力信号と外
部クロック信号を示し、信号φextを基準として信号
φoutの位相が判定され、また、φa〜φeは増幅回
路に接続される出力信号を示している。図12に示され
るように、位相比較回路31の位相比較部は、2個のN
ANDゲートで構成されたフリップフロップ回路421
並びに422、その状態をラッチするラッチ回路425
並びに426、ラッチ回路の活性化信号を生成する回路
424、および、外部クロック信号φextの位相許容
値を得る1遅延分の遅延回路423を備えて構成されて
いる。
【0045】図13(a)は比較対象信号φoutが比
較基準信号φextよりも位相が進んでいる場合、すな
わち、信号φoutが信号φextより先に低レベル
“L”から高レベル“H”になる場合を示している。信
号φoutと信号φextが共に低レベル“L”の時に
は、フリップフロップ回路421および422のノード
6a−2、6a−3、6a−4、6a−5は全て高レベ
ル“H”になっている。信号φoutが低レベル“L”
から高レベル“H”に変化すると、ノード6a−2およ
び6a−4は共に高レベル“H”から低レベル“L”に
変化する。その後、信号φextが低レベル“L”から
高レベル“H”になり、また、1遅延分遅れてノード6
a−1が低レベル“L”から高レベル“H”になるが、
フリップフロップの両端の電位はすでに確定しているの
で、何ら変化は生じない。結局、ノード6a−2は低レ
ベル“L”、ノード6a−3は高レベル“H”、ノード
6a−4は低レベル“L”、そして、ノード6a−5は
高レベル“H”を維持する。
【0046】一方、信号φextが低レベル“L”から
高レベル“H”に変化したのに応じて、回路424の出
力信号φaは低レベル“L”から高レベル“H”に変化
し、ノード6a−6には、一時的に高レベル“H”レベ
ルになるパルスが印加される。このノード6a−6はラ
ッチ回路425および426のNANDゲートの入力と
なっているので、該NANDゲートが一時的に活性化さ
れて、フリップフロップ回路421および422の両端
の電位状態をラッチ回路425および426に取り込む
ことになる。最終的には、出力信号φbが高レベル
“H”、出力信号φcが低レベル“L”、出力信号φd
が高レベル“H”、そして、出力信号φeが低レベル
“L”になる。
【0047】次に、図13(b)は比較対象信号φou
tと比較基準信号φextの位相がほぼ同じで、信号φ
outが信号φextとほぼ同時に低レベル“L”から
高レベル“H”になる場合を示している。信号φout
の立ち上がり時点とノード6a−1の立ち上がり時点と
の時間差内に、信号φoutが低レベル“L”から高レ
ベル“H”に変化した時、まず、信号φextが低レベ
ル“L”から高レベル“H”になることによってフリッ
プフロップ421のノード6a−3が低レベル“L”か
ら高レベル“H”に変化する。フリップフロップ422
では、ノード6a−1が低レベル“L”のままなので、
逆に、ノード6a−4が高レベル“H”から低レベル
“L”に変化する。その後、ノード6a−1が高レベル
“H”から低レベル“L”に変化するが、フリップフロ
ップ422の状態はすでに決まっているので、何ら変化
は生じない。その後、ノード6a−6が一時的に高レベ
ル“H”になるので、ラッチ回路にはこの状態が記憶さ
れ、結局、出力信号φbが低レベル“L”、出力信号φ
cが高レベル“H”、出力信号φdが高レベル“H”、
そして、出力信号φeが低レベル“L”になる。
【0048】更に、図13(c)は比較対象信号φou
tが比較基準信号φextよりも位相が遅れており、φ
outがφextより後に低レベル“L”から高レベル
“H”になる場合を示している。この場合は、φext
によって2個のフリップフロップ回路421と422に
変化が生じて、6a−3と6a−5が高レベル“H”か
ら低レベル“L”に変化する。そして、最終的には、φ
bが低レベル“L”、φcが高レベル“H”、φdが低
レベル“L”、φeが高レベル“H”になる。
【0049】このように、信号(比較基準信号)φex
tの立ち上がり時間を基準として、信号(比較対象信
号)φoutの立ち上がり時間がそれ以前に高レベル
“H”になったか、ほぼ同時であったか、或いは、遅れ
て高レベル“H”になったかを検出することが可能にな
る。これらの検出結果を出力信号φb、φc、φd、お
よび、φeの値としてラッチしておき、その値に基づい
て遅延制御回路をカウントアップするか、カウントダウ
ンするかを決めることになる。
【0050】図14は本発明の半導体集積回路における
位相比較回路(増幅回路部)の一構成例を説明するため
の図であり、図15は図14の位相比較回路におけるJ
Kフリップフロップの動作を説明するためのタイミング
図である。図14に示されるように、位相比較回路31
の増幅回路部は、JKフリップフロップ427と、NA
NDゲートおよびインバータで構成される増幅部428
との2つの部分を備えて構成されている。JKフリップ
フロップ427には、図12の位相比較部からの出力信
号φaが入力され、信号φaが低レベル“L”であるか
高レベル“H”であるかに応じてノード7a−9および
7a−11の電位が交互に低レベル“L”と高レベル
“H”を繰り返す仕組みになている。増幅部428は、
JKフリップフロップ427の出力信号と、信号φbお
よびφdの信号を受けて増幅して出力する。
【0051】まず、JKフリップフロップ427の動作
を図15のタイミングチャートを参照して説明する。時
間T1で、信号φaが高レベル“H”から低レベル
“L”に変化すると、ノード7a−1および7a−10
が低レベル“L”から高レベル“H”に変化する。一
方、ノード7a−1の変化に応じて、ノード7a−5,
7a−6および7a−7が変化するが、信号φaが低レ
ベル“L”であるために、ノード7a−8は変化しな
い。結局、出力(ノード)7a−9は変化せず、出力7
a−11のみが低レベル“L”から高レベル“H”にな
る。次に、時間T2になって、φaが低レベル“L”か
ら高レベル“H”に変化すると、時間T1での動きと逆
にノード7a−8は高レベル“H”から低レベル“L”
に、7a−10は7a−7が変化しないので変化せず、
出力7a−9は低レベル“L”から高レベル“H”に変
化し、出力7a−11は変化しない。このように、JK
フリップフロップ回路427は、信号φaの動きに応じ
て出力7a−9および7a−11が交互に高レベル
“H”と低レベル“L”を繰り返す動きをする。
【0052】図16は図14の位相比較回路における増
幅回路部の動作を説明するためのタイミング図(カウン
トアップ時)であり、図17は図14の位相比較回路に
おける増幅回路部の動作を説明するためのタイミング図
(カウント維持時)であり、そして、図18は図14の
位相比較回路における増幅回路部の動作を説明するため
のタイミング図(カウントダウン時)である。次に、増
幅部428の動作を、図16〜図18を参照して説明す
る。
【0053】図16は、比較基準信号φextの立ち上
がりに対して、比較対象信号φoutが先に低レベル
“L”から高レベル“H”になる場合を示している。こ
の場合の位相比較部からの入力信号は、信号φbが高レ
ベル“H”、信号φcが低レベル“L”、信号φdが高
レベル“H”、そして、信号φeが低レベル“L”であ
る。結局、ノード7a−12が高レベル“H”になり、
ノード7a−13が低レベル“L”に固定され、セット
信号φSOおよびφSEはJKフリップフロップの状態
に応じて変化するが、リセット信号φROおよびφRE
は7a−13が低レベル“L”のために変化しない。
【0054】図17は、比較対象信号φoutが比較基
準信号φextとほぼ同時に低レベル“L”から高レベ
ル“H”になる場合を示している。この場合の位相比較
部からの入力信号は、信号φbが低レベル“L”、信号
φcが高レベル“H”、信号φdが高レベル“H”、そ
して、信号φeが低レベル“L”である。結局、ノード
7a−12および7a−13が低レベル“L”に固定さ
れ、リセット信号φSOおよびφSEはJKフリップフ
ロップの出力が増幅部に影響することはなく、信号φS
O,φSE,φROおよびφREは低レベル“L”に固
定されたままになる。
【0055】図18は、比較対象信号φoutが比較基
準信号φextの立ち上がりに対して遅れて低レベル
“L”から高レベル“H”になる場合を示している。こ
の場合の位相比較部からの入力信号は、信号φbが低レ
ベル“L”、信号φcが高レベル“H”、信号φdが低
レベル“L”、そして、信号φeが高レベル“H”であ
る。結局、ノード7a−12が低レベル“L”に固定さ
れ、ノード7a−13が高レベル“H”に固定され、リ
セット信号φROおよびφREはJKフリップフロップ
の状態に応じて変化するが、セット信号φSOおよびφ
SEはノード7a−13が低レベル“L”のために変化
しない。
【0056】図19は本発明に係る半導体集積回路が適
用される一例としてのシンクロナスDRAMの構成を示
す図であり、図20は図19のシンクロナスDRAMの
動作を説明するためのタイミング図である。本発明が適
用される半導体集積回路の一例としてのシンクロナスD
RAM(SDRAM)は、例えば、パイプライン方式が
採用され、16M・2バンク・8ビット幅のものとして
構成されている。
【0057】図19に示されるように、SDRAMは、
汎用DRAMのDRAMコア108a、108bの他
に、クロックバッファ101、コマンドデコーダ10
2、アドレスバッファ/レジスタ&バンクアドレスセレ
クト(アドレスバッファ)103、I/Oデータバッフ
ァ/レジスタ104、制御信号ラッチ105a,105
b、モードレジスタ106、コラムアドレスカウンタ1
07a,107bを備えている。ここで、/CS、/R
AS、/CAS、/WE端子は、従来の動作とは異な
り、その組み合わせで各種コマンドを入力することによ
って動作モードが決定されるようになっている。各種コ
マンドは、コマンドデコーダで解読されて、動作モード
に応じて各回路を制御することになる。また、/CS、
/RAS、/CAS、/WE信号は、制御信号ラッチ1
05aと105bにも入力されて次のコマンドが入力さ
れるまで、その状態がラッチされる。
【0058】アドレス信号は、アドレスバッファ103
で増幅されて各バンクのロードアドレスとして使用され
る他、コラムアドレスカウンタ107aおよび107b
の初期値として使用される。クロックバッファ101
は、内部クロック生成回路121および出力タイミング
制御回路122を備えている。内部クロック生成回路1
21は、外部クロックCLKから通常の内部クロック信
号を生成するものであり、また、出力タイミング制御回
路122は、前述したようなDLL回路を適用して正確
な遅延制御(位相制御)を行ったクロック信号を発生す
るためのものである。
【0059】I/Oデータバッファ/レジスタ104
は、データ入力バッファ13およびデータ出力バッファ
(出力回路)51を備え、DRAMコア108aおよび
108bから読み出された信号は、データ出力バッファ
51により所定のレベルに増幅され、出力タイミング制
御回路122からのクロック信号に従ったタイミングで
データがパッドDQ0〜DQ7を介して出力される。ま
た、入力データに関しても、パッドDQ0〜DQ7から
入力されたデータは、データ入力バッファ13を介して
取り込まれる。ここで、本発明の半導体集積回路が対象
としているリアル配線(RL)は、この出力タイミング
制御回路122から各データ出力バッファ51までの配
線に対応している。
【0060】上記のSDRAMの読み取り動作を図20
を参照して説明する。まず、外部クロックCLKは、こ
のSDRAMが使用されるシステムから供給される信号
であり、このCLKの立ち上がりに同期して、各種コマ
ンド、アドレス信号、入力データを取込み、又は出力デ
ータを出力するように動作する。SDRAMからデータ
を読み出す場合、コマンド信号(/CS、/RAS、/
CAS、/WE信号)の組み合わせからアクティブ(A
CT)コマンドをコマンド端子に入力し、アドレス端子
にはローアドレス信号を入力する。このコマンド、ロー
アドレスが入力されると、SDRAMは活性状態にな
り、ローアドレスに応じたワード線を選択して、ワード
線上のセル情報をビット線に出力し、センスアンプで増
幅する。
【0061】さらに、ローアドレスに関係した部分の動
作時間(tRCD)後に、リードコマンド(Read)
とコラムアドレスを入力する。コラムアドレスに従っ
て、選択されたセンスアンプデータをデータバス線に出
力し、データバスアンプで増幅し、出力バッファでさら
に増幅して出力端子(DQ)にデータが出力される。こ
れら一連の動作は汎用DRAMとまったく同じ動作であ
るが、SDRAMの場合、コラムアドレスに関係する回
路がパイプライン動作するようになっており、リードデ
ータは毎サイクル連続して出力されることになる。これ
により、データ転送速度は外部クロックの周期になる。
【0062】SDRAMでのアクセス時間には3種類あ
り、いずれもCLKの立ち上がり時点を基準にして定義
される。図20において、tRACはローアドレスアク
セス時間、tCACはコラムアドレスアクセス時間、t
ACはクロックアクセス時間を示している。このSDR
AMを高速メモリシステムで使用する場合、コマンドを
入力してから最初にデータが得られるまでの時間である
tRACやtCACも重要であるが、図3で説明したよ
うに、クロックアクセス時間tACも重要なものであ
る。
【0063】図21は図19のシンクロナスDRAMの
要部構成を概略的に示すブロック図であり、SDRAM
におけるパイプライン動作を説明するためのもので、一
例としてパイプが3段設けられている場合を示してい
る。SDRAMでのコラムアドレスに関係する処理回路
は、処理の流れに沿って複数段に分割されており、分割
された各段の回路をパイプと呼んでいる。
【0064】クロックバッファ101は、図19を参照
して説明したように、内部クロック生成回路121およ
び出力タイミング制御回路122を備え、内部クロック
生成回路121の出力(通常の内部クロック信号)がパ
イプ−1およびパイプ−2に供給され、出力タイミング
制御回路122の出力(位相制御された内部クロック信
号)がパイプ−3の出力回路51(データ出力バッフ
ァ)に供給されるようになっている。
【0065】各パイプは供給された内部クロック信号に
従って制御され、各パイプの間には、パイプ間の信号の
伝達タイミングを制御するスイッチが設けられており、
これらのスイッチも、クロックバッファ101(内部ク
ロック生成回路121)で生成された内部クロック信号
により制御される。図21に示す例では、パイプ−1に
おいて、コラムアドレスバッファ116でアドレス信号
を増幅してコラムデコーダ118にアドレス信号を送
り、コラムデコーダ118で選択されたアドレス番地に
相当するセンスアンプ回路117の情報をデータバスに
出力し、データバスの情報をデータバスアンプ119で
増幅するまで行われる。また、パイプ−2にはデータバ
ス制御回路120のみが設けられ、パイプ−3はI/O
バッファ104(出力回路51)で構成されている。な
お、I/Oバッファ104におけるデータ入力バッファ
13は図21では省略されている。
【0066】そして、各パイプ内の回路も、クロックサ
イクル時間内で動作完了するならば、パイプとパイプと
の間にあるスイッチをクロック信号に同期して開閉する
ことで、リレー式にデータを送り出す。これにより、各
パイプでの処理が並行に行われることになり、出力端子
にはクロック信号に同期して連続的にデータが出力され
ることになる。
【0067】図22は本発明に係る半導体集積回路にお
ける出力回路(データ出力バッファ回路:51)の一構
成例を説明するための図である。図21および図22に
示されるように、図22におけるData1およびDa
ta2は、セルアレイ115から読み出され、センスア
ンプ117とデータバスアンプ119とデータバス制御
回路120を介して出力された記憶データに対応する信
号であり、Data1およびData2は、出力データ
が高レベル“H”の場合には共に低レベル“L”であ
り、出力データが低レベル“L”の場合には共に高レベ
ル“H”である。なお、出力データが高レベル“H”で
も低レベル“L”でもないハイインピーダンス状態(ハ
イゼット状態)をとることも可能であり、その場合には
データバス制御回路120において、Data1が高レ
ベル“H”に、Data2が低レベル“L”になるよう
に変換される。信号φoeは、出力タイミング制御回路
122(図2中の遅延回路33)の出力信号(クロック
信号)に対応するもので、出力回路51のイネーブル信
号として機能するものである。
【0068】クロック信号φoeが高レベル“H”にな
ると、Data1とData2の情報がデータ出力パッ
ド6(DQ0〜DQ7)に現出するように動作する。例
えば、データ出力パッド6に高レベル“H”を出力する
場合を想定すると、クロック信号φoeが低レベル
“L”から高レベル“H”に変化し、ノード8a−1が
低レベル“L”に、ノード8a−2が高レベル“H”に
なって、トランスファーゲートがオンしてData1お
よびData2がノード8a−3および8a−6に伝達
される。その結果、ノード8a−5が低レベル“L”
に、ノード8a−8が高レベル“H”になると、出力用
のPチャンネルトランジスタ81はオンとなり、また、
Nチャンネルトランジスタ82はオフとなって、データ
出力パッド6には高レベル“H”の出力が現れることに
なる。また、クロック信号φoeが低レベル“L”にな
ると、トランスファーゲートはオフして、それまでの出
力状態が保持される。
【0069】以上の説明では、本発明の半導体集積回路
をシンクロナスDRAMとして説明したが、本発明はシ
ンクロナスDRAMに限らず、外部から入力される信号
に同期して出力信号が出力される半導体集積回路であれ
ばどのようなものにも適用可能である。図23は本発明
に係る半導体集積回路におけるダミーの内部出力クロッ
ク配線42(ダミー配線DL)の一構成例を説明するた
めの図である。図23から明らかなように、ダミー配線
DLは、リアル配線41(RL)と同じ線幅の配線によ
り形成され、図2に示されるように、ダミー遅延回路3
4とダミー出力回路52との間のチップ上に形成され
る。なお、このダミー配線の代わりに、所定の値を有す
る容量素子或いは抵抗素子等を組み合わせて代用するこ
とも可能である。
【0070】以上の説明では、メモリ(SDRAM)を
例として説明したが、本発明は、他の様々な半導体集積
回路に対しても幅広く適用することができる。さらに、
上記各実施例では、制御信号としてクロック信号を例に
取って説明したが、制御信号としてはクロック信号に限
定されるものでないのはもちろんである。
【0071】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明の半導体
集積回路によれば、使用する制御信号の周波数がさらに
高速化した場合での位相同期した制御信号を生成するこ
とができる。さらに、本発明の半導体集積回路によれ
ば、位相比較を所定のタイミングで行うことにより、出
力する制御信号を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】関連技術としての半導体集積回路の一例を示す
ブロック図である。
【図2】本発明に係る半導体集積回路の一実施例を示す
ブロック図である。
【図3】図2の半導体集積回路における分周回路の一例
を示す回路図である。
【図4】図3の分周回路の各ノードの信号波形を示す図
である。
【図5】図3の分周回路を使用した半導体集積回路の動
作を説明するためのタイミング図である。
【図6】図2の半導体集積回路における分周回路の他の
例を示す回路図である。
【図7】図6の分周回路の各ノードの信号波形を示す図
である。
【図8】図6の分周回路を使用した半導体集積回路の動
作を説明するためのタイミング図である。
【図9】本発明の半導体集積回路における遅延回路の一
構成例を説明するための図である。
【図10】本発明の半導体集積回路における遅延制御回
路の一構成例を説明するための図である。
【図11】図10の遅延制御回路の動作を説明するため
のタイミング図である。
【図12】本発明の半導体集積回路における位相比較回
路(位相比較部)の一構成例を説明するための図であ
る。
【図13】図12の位相比較回路の動作を説明するため
のタイミング図である。
【図14】本発明の半導体集積回路における位相比較回
路(増幅回路部)の一構成例を説明するための図であ
る。
【図15】図14の位相比較回路におけるJKフリップ
フロップの動作を説明するためのタイミング図である。
【図16】図14の位相比較回路における増幅回路部の
動作を説明するためのタイミング図(カウントアップ
時)である。
【図17】図14の位相比較回路における増幅回路部の
動作を説明するためのタイミング図(カウント維持時)
である。
【図18】図14の位相比較回路における増幅回路部の
動作を説明するためのタイミング図(カウントダウン
時)である。
【図19】本発明に係る半導体集積回路が適用される一
例としてのシンクロナスDRAMの構成を示す図であ
る。
【図20】図19のシンクロナスDRAMの動作を説明
するためのタイミング図である。
【図21】図19のシンクロナスDRAMの要部構成を
概略的に示すブロック図である。
【図22】本発明に係る半導体集積回路における出力回
路(データ出力バッファ回路)の一構成例を説明するた
めの図である。
【図23】本発明に係る半導体集積回路におけるダミー
の内部出力クロック配線(ダミー配線)の一構成例を説
明するための図である。
【符号の説明】
1…クロック入力パッド 3…DLL回路 6…データ出力パッド 7…ダミー負荷容量 21…入力回路(クロックバッファ) 22…ダミー入力回路(クロックバッファ) 31…位相比較回路(ディジタル位相比較器) 32…遅延制御回路 33…遅延回路(第1の遅延回路) 34…ダミー遅延回路(第2の遅延回路) 41…クロック配線(リアル配線) 42…ダミー配線 51…出力回路(出力バッファ) 52…ダミー出力回路(出力バッファ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−203553(JP,A) 特開 昭62−261216(JP,A) 特開 平2−2214(JP,A) 特開 平10−144074(JP,A) 特開 平10−112182(JP,A) 特開 平10−74390(JP,A) 特開 平10−69769(JP,A) 特開 平10−55668(JP,A) 特開 平9−261018(JP,A) 特開 平8−237091(JP,A) 特開 平7−98617(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G06F 1/10 G11C 11/407 H03K 5/135 H03K 5/26 H03L 7/00

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の周波数を有するクロック信号を受
    け取り、該第1の周波数を有する遅延クロック信号を内
    部回路へ供給する第1の遅延回路と、 前記クロック信号を受け取り、該クロック信号のエッジ
    に対応したタイミングの第1出力信号と、該エッジを
    周期(Xは2以上の整数)遅延した第2出力信号を出力
    する信号生成回路と、 前記第1出力信号を遅延する第の遅延回路と、前記信号生成回路の前記第2出力 信号からの第1の入力
    および前記第の遅延回路の出力からの第2の入力を有
    し、該第1および第2の入力における信号の位相を比較
    する位相比較回路と、 該位相比較回路の出力信号を受け取り、前記第1および
    の遅延回路の遅延量を制御する遅延制御回路とを具
    備することを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記第1および第の遅延回路の遅延量
    は同じであることを特徴とする請求項1に記載の半導体
    集積回路。
  3. 【請求項3】 前記第1および第の遅延回路の遅延量
    は、前記遅延制御回路の出力信号に基づいて増減するこ
    とを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回
    路。
  4. 【請求項4】 前記信号生成回路の遅延量は固定である
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の
    半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記第1の遅延回路および前記信号生成
    回路は、入力バッファ回路を介して前記クロック信号を
    受け取ることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積
    回路。
  6. 【請求項6】 前記第の遅延回路と前記位相比較回路
    の前記第2の入力の間に、 前記第1の遅延回路と前記内部回路とをつなぐクロック
    配線と同等の遅延量を有するダミー配線と、 前記内部回路と同等の遅延量を有するダミー内部回路
    と、 前記入力バッファ回路と同等の遅延量を有するダミー入
    力回路とを設けたことを特徴とする請求項5に記載の半
    導体集積回路。
  7. 【請求項7】 前記第の遅延回路、前記ダミー配線、
    前記ダミー内部回路および前記ダミー入力回路の遅延量
    の和は、前記X周期よりも長いことを特徴とする請求項
    6に記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記内部回路はデータ出力回路であるこ
    とを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半
    導体集積回路。
  9. 【請求項9】 第1の周波数を有するクロック信号を受
    け取り、該第1の周波数を有する遅延クロック信号を内
    部回路へ供給する第1の遅延回路と、 前記クロック信号を受け取り、前記第1の周波数を当該
    第1の周波数よりも低い第2の周波数を有する第1およ
    び第2の出力信号に分周する分周回路と、 前記分周回路の前記第1の出力信号につながれた入力を
    有し、当該入力を遅延する第2の遅延回路と、 前記分周回路の第2の出力信号からの第1の入力および
    前記第2の遅延回路の出力からの第2の入力を有し、該
    第1および第2の入力における信号の位相を比較する位
    相比較回路と、 該位相比較回路の出力信号を受け取り、前記第1および
    第2の遅延回路の遅延量を制御する遅延制御回路とを具
    備することを特徴とする半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 前記位相比較回路は、前記第2の周波
    数に対応する周期で位相比較動作を行うことを特徴とす
    る請求項9に記載の半導体集積回路。
  11. 【請求項11】 前記第1および第2の遅延回路の遅延
    量は同じであることを特徴とする請求項9または10に
    記載の半導体集積回路。
  12. 【請求項12】 前記第1および第2の遅延回路の遅延
    量は、前記遅延制御回路の出力信号に基づいて増減する
    ことを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載
    の半導体集積回路。
  13. 【請求項13】 前記分周回路の前記第1および第2の
    出力信号は相補信号であることを特徴とする請求項9〜
    12のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
  14. 【請求項14】 前記分周回路は、Yを2以上の整数、
    Zを正の整数として、前記クロック信号のY周期の期間
    が第1のレベルで該クロック信号のZ周期の期間が第2
    のレベルとなる前記第1の出力信号を生成し、該クロッ
    ク信号をY周期だけ遅延したタイミングで前記位相比較
    回路の位相比較処理を行うようにしたことを特徴とする
    請求項9〜13のいずれか1項に記載の半導体集積回
    路。
  15. 【請求項15】 前記第1の遅延回路および前記分周回
    路は、入力バッファ回路を介して前記クロック信号を受
    け取ることを特徴とする請求項9〜14のいずれか1項
    に記載の半導体集積回路。
  16. 【請求項16】 前記第2の遅延回路と前記位相比較回
    路の前記第2の入力の間に、 前記第1の遅延回路と前記内部回路とをつなぐクロック
    配線と同等の遅延量を有するダミー配線と、 前記内部回路と同等の遅延量を有するダミー内部回路
    と、 前記入力バッファ回路と同等の遅延量を有するダミー入
    力回路とを設けたことを特徴とする請求項15に記載の
    半導体集積回路。
  17. 【請求項17】 前記内部回路はデータ出力回路である
    ことを特徴とする請求項9〜16のいずれか1項に記載
    の半導体集積回路。
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