JP2001153052A - ベローズを有する流体機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スラリー等の沈殿物質を含む液を使用する場
合もポンプ内で沈殿や凝集を起こすことを防止する。 【解決手段】 ポンプ本体１の内部に、軸線方向に沿っ
て伸縮変形可能なベローズ７がこれの軸線Ｂを縦にして
駆動伸縮変形運動するようにかつ該ベローズ７の内側に
液室９を形成するように備えられる。ポンプ本体１の液
室９に臨む内底面４ａに吸込口１８と吐出口１９が設け
られる。ベローズ７の伸長動作により吸込口１８から液
室９内に液体を吸い込み、ベローズ７の収縮動作により
液室９内の液体を吐出口１９から吐き出すようにしてあ
る。液室９の内底面４ａは吐出口１９に向かって下り傾
斜をつけた円錐状に形成する。したがって、スラリー等
の沈殿物質を含む液も液室の内底面４ａに溜まることな
く、常に内底面４ａの下り傾斜面に沿ってスムーズに吐
出口１９に向かって吐き出すことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ベローズ式のポン
プやこのポンプの脈動を低減するためのアキュムレータ
などで代表されるベローズを有する流体機器に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置におけるＩＣや
液晶の表面洗浄等の各種処理に際して薬液の循環輸送な
どに使用されるポンプは、ポンプの動作によってパーテ
ィクルの発生がないベローズ式のポンプが使用されてい
る（例えば、特開平３−１７９１８４号公報）。また、
この種のポンプはベローズの伸縮による往復運動により
脈動が発生するため、この脈動を低減するためにアキュ
ムレータが併用されている（例えば、特開平６−１７７
５２号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、ベローズを
有する上記ポンプやアキュムレータでは、薬液や純水の
移送液を使用する場合は問題が生じることはないが、半
導体のウエハーやコンピュータ内蔵のハードディスク等
の化学的機械研磨［ケミカルメカニカルポリッシング
（ＣＭＰ）］の研磨液としてシリカ等のスラリーを含む
砥液を使用する場合に問題がある。すなわち、スラリー
などの沈殿する物質を含む液を使用する場合、沈殿物質
がベローズ内の液室の内底、特に内底の吐出口や流出口
付近に溜まって固まる等の問題が生じるのである。

【０００４】本発明の目的は、このような問題を解消す
るためになされたもので、スラリー等の沈殿物質を含む
移送液を使用する場合も沈殿物質をベローズ内の液室の
内底に溜めることなく、常に円滑に吐き出すことのでき
るポンプやアキュムレータなどよりなる、ベローズを有
する流体機器を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、図１に例示するように、ポンプ本体１の内部
に、軸線方向に沿って伸縮変形可能なベローズ７がこれ
の軸線を縦にして駆動伸縮変形運動するようにかつ該ベ
ローズ７の内側に液室９を形成するように備えられると
ともに、ポンプ本体１の前記液室９に臨む内底面４ａに
吸込口１８と吐出口１９が設けられており、前記ベロー
ズ７の伸長動作により前記吸込口１８から前記液室９内
に液体を吸い込み、前記ベローズ７の収縮動作により前
記液室９内の液体を吐出口１９から吐き出すようにして
あるポンプよりなる、流体機器であって、前記液室９の
内底面４ａに前記吐出口１９に向かった下り傾斜を形成
していることに特徴を有するものである。

【０００６】このように構成されたポンプによれば、ポ
ンプ本体１内のベローズ７の軸線を縦にしたうえで、該
ベローズ７内の液室９の内底面４ａを吐出口１９に向か
って下り傾斜する形に形成しているので、スラリー等の
沈殿物質を含む液も沈殿物質を液室９の内底面４ａに溜
めることなく、常に内底面４ａの下り傾斜面に沿ってス
ムーズに吐出口１９に向かって吐き出すことができるこ
とになる。

【０００７】請求項２に係る発明は、図２に例示するよ
うに、アキュムレータ本体２５の内部に、軸線方向に沿
って伸縮変形可能なベローズ２９がこれの軸線を縦にし
て該ベローズ２９の内側に液室３１を、外側に空気室３
２をそれぞれ形成するように備えられるとともに、アキ
ュムレータ本体２５の前記液室３１に臨む内底面２８ａ
に流入口２３と流出口２４が設けられており、前記液室
３１内の液圧に対して空気室３２内の空気圧によってバ
ランスするようにしてあるアキュムレータよりなる、流
体機器であって、前記液室３１の内底面２８ａに前記流
出口２４に向かった下り傾斜を形成していることに特徴
を有するものである。

【０００８】このように構成されたアキュムレータによ
れば、上記ポンプの場合と同様に、アキュムレータ本体
２５内のベローズ２９の軸線を縦にしたうえで、該ベロ
ーズ２９内の液室３１の内底面２８ａを流出口２４に向
かって下り傾斜する形に形成しているので、スラリー等
の沈殿物質を含む液も沈殿物質を液室３１の内底面２８
ａに溜めることなく、常に内底面２８ａの下り傾斜面に
沿ってスムーズに流出口２４に向かって流出させること
ができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】（第１実施例）図１は本発明に係
るベローズを有する流体機器としてポンプに適用した場
合の第１実施例を示す。図１において、１はポンプ本体
で、上端が上壁２で塞がれた筒状のケーシング３と、こ
のケーシング３の開放下端を気密状に塞ぐ底壁４とを有
してなる。その底壁４に液体の流入路５及び流出路６が
形成されている。ケーシング３内にその軸線Ｂ方向に沿
って伸縮変形可能な有底筒状のベローズ７が軸線Ｂを縦
にして配設されている。このベローズ７は耐熱性、耐薬
品性に優れるＰＴＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素樹脂で成形さ
れ、その下端開口周縁部７ａは環状固定板８により底壁
４の上側面に気密状に押付け固定することにより、ポン
プ本体１の内部空間がベローズ７の内側の液室９とベロ
ーズ７の外側の空気室１０とに隔離されている。

【００１０】ポンプ本体１にはベローズ７を駆動伸縮運
動させる往復駆動装置２２が備えられる。この往復駆動
装置２２は、ポンプ本体１の上壁２の上面側にシリンダ
１１をこれの軸線がベローズ７の軸線Ｂと一致するよう
に形成し、シリンダ１１内を往復動するピストン１２を
上壁２を貫通するピストンロッド１３でベローズ７の閉
鎖上端部７ｂの中央部と連結している。そして、コンプ
レッサーなどの加圧空気供給装置（図示省略）から送給
される加圧空気がシリンダ１１及び上壁２にそれぞれ形
成した空気孔１４，１５を介してシリンダ１１の内部と
空気室１０に交互に供給されるようにしている。すなわ
ち、シリンダ１１には近接センサー１６ａ，１６ｂが取
り付けられる一方、ピストン１２にセンサー感知部材１
７が取り付けられ、ピストン１２の往復動に伴いセンサ
ー感知部材１７が近接センサー１６ａ，１６ｂに交互に
近接することにより加圧空気供給装置から送給される加
圧空気のシリンダー１１内への供給と空気室１０への供
給とが自動的に交互に切り替えられるように構成してい
る。

【００１１】上記液室９に臨む底壁４の内底面４ａには
吸込口１８及び吐出口１９がそれぞれ、上記流入路５及
び流出路６と連通するように開口されている。吸込口１
８には吸込用逆止弁２０が、流出路６には吐出用逆止弁
２１がそれぞれ設けられている。

【００１２】図６に示すように、吸込用逆止弁２０は筒
状の弁ケーシング２０１とボールよりなる弁体２０２よ
りなり、弁ケーシング２０１はこれの軸線Ｄを縦にして
吸込口１８にねじ込みと係合手段などにより堅固に固定
されている。図示例の吸込用逆止弁２０は弁体２０２を
上下二段に備える構造としている。弁ケーシング２０１
は上下に二分割されて第１弁ケーシング２０１ａと第２
弁ケーシング２０１ｂよりなり、第１弁ケーシング２０
１ａと第２弁ケーシング２０１ｂにそれぞれ第１弁体２
０２ａ、第２弁体２０２ｂを内装している。

【００１３】第１弁ケーシング２０１ａは筒状に形成さ
れて下端に入口２０３を開口し、その外周に設けた雄ね
じ２０４を底壁４の吸込口１８の内周下段側に設けた雌
ねじ２０５にねじ込むことによりその軸線Ｄを縦にして
底壁４に固定される。第２弁ケーシング２０１ｂは第１
弁ケーシング２０１ａよりも径大な筒状に形成されて上
端に出口２０６を開口し、その下端外周に設けた雄ねじ
２０７を底壁４の吸込口１８の内周上段側に前記雌ねじ
２０５の内径よりも径大に設けた雌ねじ２０８にねじ込
むとともに、その下端内周に設けた雌ねじ２０９を第１
弁ケーシング２０１ａの外周上端の雄ねじ２１０にねじ
込むことにより第１弁ケーシング２０１ａと同心状にか
つ底壁４に液室９内に突出するよう固定される。その
際、第１弁ケーシング２０１ａの上端と第２弁ケーシン
グ２０１ｂの内周下端との間に、弁座２１１を有する弁
座体２１２が組み込まれる。また第１弁ケーシング２０
１ａ下端の入口２０３に臨む流入路５の開口端に弁座２
１３が設けられている。なお、第１，２弁ケーシング２
０１ａ，２０１ｂ及び第１，２弁体２０２ａ，２０２ｂ
は、ベローズ７の材質と同様に耐熱性、耐薬品性に優れ
るＰＴＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素樹脂で成形されている。

【００１４】しかるときは、第１弁ケーシング２０１ａ
内の弁座２１３に第１弁体２０２ａが自重により密着
し、第２弁ケーシング２０１ｂ内の弁座２１１には第２
弁体２０２ｂが自重により密着して液体の逆流を防ぐ。
液体の吸込み時には第１，２弁体２０２ａ，２０２ｂが
弁座２１３，２１１からそれぞれ上方へ離されて開弁
し、流入路５からの液体が第１弁ケーシング２０１ａの
内周に設けた縦溝２１４と第１弁体２０２ａとの間、及
び第２弁ケーシング２０１ｂの内周に設けた縦溝２１５
と第２弁体２０２ｂとの間を通って第２弁ケーシング２
０１ｂの出口２０６から液室９内に吸い込まれる。ま
た、吐出用逆止弁２１においても、吸込用逆止弁２０の
構造と同様に上下に二分割可能な弁ケーシング内に弁体
を上下２段に組み込むものとしている。このように吸込
用逆止弁２０及び吐出用逆止弁２１がそれぞれ、弁体を
上下２段に備えて二重閉止構造にされていると、移送液
の確実な定量送りを保証できて有利であるが、必ずしも
これに限定されるものではなく、単一の弁体を備えるも
のであってもよい。また、上記自重式ボールによる弁構
造に代えて、図７に示すように、弁体２０２と、この弁
体２０２を弁座に押し付けるスプリング３００とが弁ケ
ーシング２０１に組み込まれた弁構造からなる吸込用逆
止弁２０及び吐出用逆止弁２１を採用することもでき
る。

【００１５】いま、コンプレッサーなどの加圧空気供給
装置（図示省略）から加圧空気をシリンダ１１の内部に
空気孔１４を介して供給すると、ピストン１２は図１の
ｘ方向へ上昇し、ベローズ７が同一方向に伸長動作して
流入路５内の移送液を吸込用逆止弁２０を経て液室９内
に吸い込む。上記加圧空気を空気室１０内に空気孔１５
を介して供給し、空気孔１４から排気すると、ピストン
１２は図１のｙ方向へ下降し、ベローズ７が同一方向に
収縮動作して液室９内の移送液を吐出用逆止弁２１を経
て吐出する。このように、シリンダ１１内のピストン１
２の往復運動によってベローズ７が駆動伸縮変形運動す
ることにより、吸込用逆止弁２０と吐出用逆止弁２１と
が交互に開閉作動して流入路５から液室９への移送液の
吸込みと、液室９内から流出路６への移送液の吐出しと
を交互に繰り返して所定のポンプ作用が行われる。

【００１６】上記構成のポンプにおいて、本発明は上記
液室９の内底面４ａが吐出口１９に向かって下り傾斜を
つけた形に形成され、好ましくは円錐状に形成される内
底面４ａの最も低い位置に吐出口１９が形成され得るも
のとする。ただし、吐出口１９はベローズ７の軸線Ｂ上
にあること、あるいは該軸線Ｂより偏した位置にあるこ
とは問うものではない。上記内底面４ａの下り傾斜角度
は、１〜４５゜、より好ましくは５〜１５゜である。し
かるときは、移送液としてスラリー等の沈殿物質を含む
液を使用する場合もこの液は内底面４ａの下り傾斜面に
沿ってスムーズに吐出口１９に向かって吐き出され、沈
殿物質が内底面４ａに溜まって固まるという問題を解消
することができる。

【００１７】また、図４に示すごとく、上記ベローズ７
の山折り部７１と谷折り部７２を上下に交互に連続形成
してなる伸縮部分が伸長状態のときはもとより、収縮状
態のときも各山折り部７１の上下の襞状部７１ａ，７１
ｂのうち下側の襞状部７１ｂが前記軸線Ｂに向かって下
り傾斜する形に形成することが、ベローズ７の伸縮部分
での沈殿物質の停留をもよく防止できて、前記内底面４
ａでの沈殿物の滞留防止と相俟ってポンプ内での沈殿物
の沈殿や凝集をより一層効果的に防止できる点で好まし
い。上記襞状部７１ｂの下り傾斜角度は、１〜４５゜、
より好ましくは５〜１５゜である。

【００１８】（第２実施例）図２は本発明に係るベロー
ズを有する流体機器としてアキュムレータＡに適用した
場合の第２実施例を示す。図２において、２５はアキュ
ムレータ本体で、上端が上壁２６で塞がれた筒状のケー
シング２７と、このケーシング２７の開放下端を気密状
に塞ぐ底壁２８とを有してなる。ケーシング２７内にそ
の軸線Ｃ方向に沿って伸縮変形可能な有底筒状のベロー
ズ２９が軸線Ｃを縦にして配設されている。このベロー
ズ２９は耐熱性、耐薬品性に優れるＰＴＦＥ、ＰＦＡ等
のフッ素樹脂で成形され、その下端開口周縁部２９ａは
環状固定板３０により底壁２８の上側面に気密状に押付
け固定することにより、アキュムレータ本体２５の内部
空間がベローズ２９の内側の液室３１とベローズ２９の
外側の空気室３２とに隔離される。アキュムレータ本体
２５の底壁２８には液体の流入路３３及び流出路３４が
形成され、底壁２８の液室３１に臨む内底面２８ａには
流入口２３及び流出口２４がそれぞれ流入路３３及び流
出路３４と連通するよう開口されている。

【００１９】このアキュムレータＡは、例えば、上記第
１実施例のポンプＰの脈動を低減するために該ポンプＰ
の移送液配管路内に配置して使用される。したがって、
この場合は、流入路３３は上記ポンプＰの流出路６の下
流端側に接続されてポンプＰの吐出用逆止弁２１を介し
て吐出される移送液が液室３１に一時的に貯溜され、空
気室３２にはポンプＰの脈動低減用の空気が封入される
ようにしている。したがって、ベローズ２９の伸縮変形
に伴う液室３１の容量変化によりポンプＰの液室９から
吐出される移送液の吐出圧による脈動を吸収減衰させる
ように構成される。

【００２０】図３に示すように、アキュムレータＡの上
記ケーシング２７の上壁２６の外面中央付近には空気出
入口３５を形成し、この空気出入口３５内にフランジ３
６付きのバルブケース３７を嵌合するとともに、フラン
ジ３６を上壁２６の外側にボルト３８等で着脱可能に締
結固定している。

【００２１】バルブケース３７には給気口３９と排気口
４０とを平行に並べて形成している。給気口３９には、
上記液室３１の容量が所定範囲を越えて増大したとき、
上記空気室３２内へ移送液の最大圧力値以上の圧力の空
気を供給して空気室３２内の封入圧を上昇させる自動給
気バルブ機構４１が設けられる。排気口４０には、液室
３１の容量が所定範囲を越えて減少したとき、空気室３
２内から排気して該空気室３２内の封入圧を下降させる
自動排気バルブ機構４２が設けられる。

【００２２】自動給気バルブ機構４１は、バルブケース
３７に給気口３９と連通状に形成した給気弁室４３と、
この弁室４３内でその軸線方向に沿って摺動自在で給気
口３９を開閉作動する給気弁体４４と、この弁体４４を
常に閉成位置に付勢するスプリング４５と、内端部に給
気弁体４４の弁座４６を備えるとともに給気弁室４３と
空気室３２とを連通させる貫通孔４７を有してバルブケ
ース３７にねじ込み固定されたガイド部材４８と、この
ガイド部材４８の貫通孔４７内にスライド自在に挿通さ
れた弁押し棒４９と、を有してなる。液室３１内の液圧
が平均圧の状態でベローズ２９が基準位置Ｓにある状態
では、給気弁体４４がガイド部材４８の弁座４６に密接
して給気口３９を閉成するとともに、弁押し棒４９の空
気室３２内に臨む端部４９ａがベローズ２９の閉鎖上端
部２９ｂとストロークＥだけ離間している。

【００２３】一方、自動排気バルブ機構４２は、バルブ
ケース３７に排気口４０と連通状に形成した排気弁室５
０と、この弁室５０内でその軸線方向に沿って摺動自在
で排気口４０を開閉作動する排気弁体５１と、この弁体
５１を先端に、鍔部５２を後端にそれぞれ備えた排気弁
棒５３と、排気弁室５０内にねじ込み固定され、排気弁
棒５３が挿通される貫通孔５４を有するスプリング受体
５５と、排気弁棒５３の後端側にスライド自在に挿通さ
れ、鍔部５２で抜止めされている筒形のスライダー５６
と、排気弁体５１とスプリング受体５５との間に配設さ
れた閉成用スプリング５７と、スプリング受体５５とス
ライダー５６との間に配された開成用スプリング５８
と、を有してなる。スプリング受体５５の貫通孔５４の
内径は排気弁棒５３の軸径よりも大きくて両者間に隙間
５９が形成され、この隙間５９を介して排気弁室５０と
空気室３２とが連通している。ベローズ２９が基準位置
Ｓにある状態において、排気弁体５１は排気口４０を閉
成するとともに排気弁棒５３の後端の鍔部５２はスライ
ダー５６の閉鎖端部５６ａの内面からストロークＦだけ
離間している。

【００２４】バルブケース３７の空気室側端は図３に仮
想線６０で示すごとく空気室３２内の方向に延長させ、
この延長端に、ベローズ２９が液室３１を拡大させる方
向に所定のストロークＥを越えて上記弁押し棒４９を動
作させるまで移動したときにベローズ２９のそれ以上の
移動を規制するためのストッパー６１を設けている。

【００２５】次に、上記構成のアキュムレータの動作に
ついて説明する。たとえば、上記ポンプＰの作動により
移送液が所定の部位に向けて送給されると、ポンプ吐出
圧は山部と谷部との繰り返しによる脈動を発生する。こ
こで、上記ポンプＰにおける液室９内から吐出用逆止弁
２１を経て吐出される移送液は、アキュムレータの流入
路３３及び流入口２３を経て液室３１内に送られ、この
液室３１に一時的に貯溜されたのち流出口２４から流出
路３４へと流出される。このとき、移送液の吐出圧が吐
出圧曲線の山部にある場合、移送液は液室３１の容量を
増大するようにベローズ２９を伸長変形させるので、そ
の圧力が吸収される。この時、液室３１から流出される
移送液の流量はポンプＰから送給されてくる流量よりも
少なくなる。

【００２６】また、上記移送液の吐出圧が吐出圧曲線の
谷部にさしかかると、アキュムレータのベローズ２９の
伸長変形に伴い圧縮された空気室３２内の封入圧よりも
移送液の圧力が低くなるので、ベローズ２９は収縮変形
する。この時、ポンプＰから液室３１内に流入する移送
液の流量よりも液室３１から流出する流量が多くなる。
この繰り返し動作、つまり液室３１の容量変化によって
上記脈動が吸収され低減されることになる。

【００２７】ところで、上記のような動作中において、
ポンプＰからの吐出圧が上昇変動すると、移送液によっ
て液室３１の容量が増大し、ベローズ２９が大きく伸長
変形することになる。このベローズ２９の伸長変形量が
所定範囲Ｅを越えると、ベローズ２９の閉鎖上端部２９
ｂが弁押し棒４９を弁室内方向へ押す。これによって、
自動給気バルブ機構４１における給気弁体４４がスプリ
ング４５に抗して開成されて給気口３９を通じて高い空
気圧が空気室３２内へ供給され、該空気室３２内の封入
圧が上昇する。したがって、ベローズ２９のストローク
Ｅを越えての伸長変形量が規制されて、液室３１の容量
が過度に増大することが抑えられる。その際、バルブケ
ース３７の空気室側端に上記ストッパー６１を設けてお
くと、ベローズ２９の閉鎖上端部２９ｂが該ストッパー
６１に当接し、ベローズ２９が過剰に伸長変形するのを
確実に防止できるため、その破損予防に有利である。そ
して、空気室３２内の封入圧の上昇に伴いベローズ２９
が基準位置Ｓに向けて収縮するので、弁押し棒４９がベ
ローズ２９の閉鎖上端部２９ｂから離れ、給気弁体４４
が再び閉成位置に戻って空気室３２内の封入圧が調整状
態に固定される。

【００２８】一方、ポンプＰからの吐出圧が下降変動す
ると、移送液によって液室３１の容量が減少し、ベロー
ズ２９が大きく収縮変形することになる。このベローズ
２９の収縮変形量が所定範囲Ｆを越えると、ベローズ２
９の閉鎖上端部２９ｂの収縮方向ｂへの移動に伴って自
動排気バルブ機構４２のスライダー５６が開成用スプリ
ング５８の付勢作用によりベローズ２９の収縮方向ｂへ
移動し、スライダー５６の閉鎖端部５６ａの内面が排気
弁棒５３の鍔部５２に係合する。これによって、排気弁
棒５３がｂ方向に移動して排気弁体５１が排気口４０を
開成するので、空気室３２内の封入空気が排気口４０か
ら大気中に排出されて空気室３２内の封入圧が低下す
る。したがって、ベローズ２９のストロークＦを越えて
の収縮変形量が規制されて、液室３１の容量が過度に減
少することが抑えられる。そして、空気室３２内の封入
圧の減少に伴いベローズ２９が基準位置Ｓに向けて伸長
するので、スライダー５６がベローズ２９の閉鎖上端部
２９ｂで押されてａ方向に移動しながら開成用スプリン
グ５８を圧縮させ、排気弁体５１が閉成用スプリング５
７の付勢作用で再び排気口４０を閉成する。これによっ
て空気室３２内の封入圧が調整状態に固定される。その
結果、ポンプＰの液室９からの吐出圧の変動にかかわら
ず、脈動を効率的に吸収して脈動幅が小さく抑えられる
ことになる。

【００２９】上記構成のアキュムレータＡにおいて、本
発明は上記液室３１の内底面２８ａが流出口２４に向か
って下り傾斜をつけた形に形成され、好ましくは円錐状
に形成される内底面２８ａの最も低い位置に流出口２４
が形成され得るものとする。ただし、流出口２４はベロ
ーズ２９の軸線Ｃ上にあること、あるいは該軸線Ｃより
偏した位置にあることは問うものではない。上記内底面
２８ａの下り傾斜角度は、１〜４５゜、より好ましくは
５〜１５゜である。しかるときは、上記ポンプＰの場合
と同様に移送液としてスラリー等の沈殿物質を含む液を
使用する場合もこの液は内底面２８ａの下り傾斜面に沿
ってスムーズに流出口２４に向かって流出し、沈殿物質
が内底面２８ａに溜まって固まるようなことが無くな
る。

【００３０】また、図５に示すごとく、上記ベローズ２
９の山折り部２９１と谷折り部２９２を上下に交互に連
続形成してなる伸縮部分が伸長状態のときはもとより、
収縮状態のときも各山折り部２９１の上下の襞状部２９
１ａ，２９１ｂのうち下側の襞状部２９１ｂが前記軸線
Ｃに向かって下り傾斜する形に形成することが、ベロー
ズ２９の伸縮部分での沈殿物質の停留をもよく防止でき
て、前記内底面２９ａでの沈殿物の滞留防止と相俟って
アキュムレータ内での沈殿物の沈殿や凝集をより一層効
果的に防止できる点で好ましい。上記襞状部２９１ｂの
下り傾斜角度は、１〜４５゜、より好ましくは５〜１５
゜である。

【００３１】上記実施例のアキュムレータでは空気室３
２に自動給気バルブ機構４１及び自動排気バルブ機構４
２よりなる圧力自動調整機構を付けているが、空気室３
２は空気出入口３５さえあればよく、圧力自動調整機構
は必ずしも必要とするものではない。その圧力調整は手
動で行うものであってもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スラリー等の沈殿物質を含む液を使用する場合もポンプ
内やアキュムレータ内で沈殿や凝集を起こすことを防止
できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例のポンプの全体縦断正面図である。

【図２】第２実施例のアキュムレータの全体縦断正面図
である。

【図３】第２実施例のアキュムレータの圧力自動調整機
構の拡大縦断正面図である。

【図４】第１実施例のポンプの他の変形例を示す全体縦
断正面図である。

【図５】第２実施例のアキュムレータの他の変形例を示
す全体縦断正面図である。

【図６】第１実施例のポンプに組み込んである吸込用逆
止弁の断面図である。

【図７】第１実施例のポンプに組み込まれる吸込用逆止
弁の他の変形例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ポンプ本体 ４ａ ポンプの内底面 ７ ポンプのベローズ ９ ポンプの液室 １８ ポンプの吸込口 １９ ポンプの吐出口 Ｂ ポンプのベローズの軸線 ２３ アキュムレータの流入口 ２４ アキュムレータの流出口 ２５ アキュムレータ本体 ２８ａ アキュムレータの内底面 ２９ アキュムレータのベローズ ３１ アキュムレータの液室 ３２ アキュムレータの空気室 Ｃ アキュムレータのベローズの軸線

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポンプ本体の内部に、軸線方向に沿って
   伸縮変形可能なベローズがこれの軸線を縦にして駆動伸
   縮変形運動するようにかつ該ベローズの内側に液室を形
   成するように備えられるとともに、ポンプ本体の前記液
   室に臨む内底面に吸込口と吐出口が設けられており、前
   記ベローズの伸長動作により前記吸込口から前記液室内
   に液体を吸い込み、前記ベローズの収縮動作により前記
   液室内の液体を吐出口から吐き出すようにしたポンプよ
   りなる、流体機器であって、 前記液室の内底面に前記吐出口に向かった下り傾斜を形
   成していることを特徴とするベローズを有する流体機
   器。
2. 【請求項２】 アキュムレータ本体の内部に、軸線方向
   に沿って伸縮変形可能なベローズがこれの軸線を縦にし
   て該ベローズの内側に液室を、外側に空気室をそれぞれ
   形成するように備えられるとともに、アキュムレータ本
   体の前記液室に臨む内底面に流入口と流出口が設けられ
   ており、前記液室内の液圧に対して空気室内の空気圧に
   よってバランスするようにしたアキュムレータよりな
   る、流体機器であって、 前記液室の内底面に前記流出口に向かった下り傾斜を形
   成していることを特徴とするベローズを有する流体機
   器。