JP3315168B2 - Pallets for electronic components - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、サーモトロピック液晶
ポリマーからなる電子部品用パレットに関する。さらに
詳しくは、電子部品の製造工程または組立工程に使用す
ると共に、電子部品を運搬する際にも使用することがで
きる、サーモトロピック液晶ポリマーからなる電子部品
用パレットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pallet for electronic parts made of a thermotropic liquid crystal polymer. More specifically, the present invention relates to a pallet for an electronic component made of a thermotropic liquid crystal polymer, which can be used in a manufacturing process or an assembling process of the electronic component, and can be used for transporting the electronic component.

【０００２】[0002]

【従来の技術】チップ形状の電子部品は小型であり、か
つ複数個の部品を同時に扱うことが便利であるために、
製造または組立などの工程では、パレットまたはトレー
などの治具に収納されまたは保持されて作業が行われ
る。近年、電子部品の小型化や製造工程の省力化に伴
い、製造や組立にはロボットの採用が進められている。
製造や組立をロボットにより自動化するには、その前提
条件として、各工程において繰り返される作業動作が、
全ての点において正確に再現し得ることが必要である。
このようにロボットによる自動化のために工程の作業を
正確に再現するという要求は、電子部品を所定の位置に
収納するパレットにも及び、このためパレットは、正確
に同一の形状のものを多数製造し得ることが必要とな
る。2. Description of the Related Art Since chip-shaped electronic components are small and it is convenient to handle a plurality of components simultaneously,
In processes such as manufacturing or assembly, work is carried out by being housed or held in a jig such as a pallet or a tray. 2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization of electronic components and labor saving of manufacturing processes, adoption of robots for manufacturing and assembly has been promoted.
In order to automate manufacturing and assembly by robots, as a prerequisite, work operations that are repeated in each process,
It must be able to reproduce exactly at all points.
As described above, the need to accurately reproduce the work of the process for automation by a robot extends to pallets for storing electronic components in predetermined positions. For this reason, many pallets are manufactured with exactly the same shape. Need to be able to do so.

【０００３】また、電子部品の製造、組立などの工程に
おいては、フロン洗浄やベーキングなどの工程も含むた
め、アルミニウム製のパレットが開発され使用されてい
る。しかし、アルミニウム製のものでは十分に軽量であ
るとはいえず、そのためプラスチック製のパレットの開
発が望まれていた。パレットをプラスチックで製造する
場合には、射出成形法を用いることが安価に大量生産し
得る点で有利であるが、これまでは射出成形により寸法
精度良く製造するために適した熱可塑性樹脂は得られな
かった。ポリスチレンやポリプロピレンなどの従来の熱
可塑性樹脂では、たとえ寸法精度良く射出成形できたと
しても、製品に反りが生じたり、あるいはベーキング工
程などの加熱工程における温度変化により変形を起こし
て、結局寸法精度に狂いを生じる結果となる。[0003] Further, in the steps of manufacturing and assembling electronic parts, pallets made of aluminum are developed and used because they include steps such as chlorofluorocarbon cleaning and baking. However, aluminum pallets cannot be said to be sufficiently lightweight, and therefore development of a plastic pallet has been desired. When pallets are made of plastic, the use of injection molding is advantageous in that mass production can be carried out at low cost, but until now, thermoplastic resins suitable for manufacturing with high dimensional accuracy by injection molding have not been obtained. I couldn't. With conventional thermoplastic resins such as polystyrene and polypropylene, even if injection molding can be performed with high dimensional accuracy, the product may be warped or deformed due to temperature changes in a heating process such as a baking process, resulting in poor dimensional accuracy. This will result in madness.

【０００４】一方、完成した製品としての電子部品の出
荷、納入などの運搬用としても、収納用治具としてパレ
ットが使用されている。このような運搬用のパレットに
は、製造工程用パレットの場合ほど寸法精度が要求され
ず、またより多量の製品を運搬することが望ましいとこ
ろから、アルミニウム製などの重量のある金属製パレッ
トよりも、軽量な熱可塑性樹脂製パレットが多く使用さ
れている。そのため、製品の電子部品を製造工程から運
搬工程へ移行する際には、わざわざパレットの移し替え
作業が行われていた。On the other hand, pallets are also used as storage jigs for transporting electronic parts as finished products, such as shipping and delivery. Such pallets for transportation do not require as much dimensional accuracy as pallets for manufacturing processes, and it is desirable to transport a larger amount of products. Pallets made of lightweight thermoplastic resin are often used. Therefore, when shifting the electronic components of the product from the manufacturing process to the transporting process, a pallet transfer operation has been performed.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のよう
な事情に鑑み、ロボットによる自動化に適合できるよう
に寸法精度が良く、耐熱性、耐溶剤性を兼ね備え、かつ
軽量であり、従って製造工程用と運搬用の両方に兼用す
ることができる電子部品用パレットを提供することを目
的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, the present invention has good dimensional accuracy, heat resistance and solvent resistance, and is lightweight, so that it can be adapted to automation by a robot. It is an object of the present invention to provide a pallet for electronic components that can be used for both processes and transportation.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の課題
を解決するために、特定のサーモトロピック液晶ポリマ
ーが材料として好適であることを見出した。すなわち、
本発明の第１は、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、テレフタル
酸、ビフェノール、イソフタル酸からそれぞれ誘導され
る繰返し単位を基本構造とするサーモトロピック液晶ポ
リマーからなり、平板状で、その上面に電子部品を固定
配置するための凹溝、孔、あるいは枠としてのリブを複
数個設け、表面抵抗を１０⁷Ω以下としたことを特徴と
する電子部品用パレットを提供するものである。また、
本発明の第２は、前記サーモトロピック液晶ポリマーに
導電性カーボンブラックを配合した、第１の発明に記載
した電子部品用パレットを提供するものである。Means for Solving the Problems The present inventor has found that a specific thermotropic liquid crystal polymer is suitable as a material for solving the above-mentioned problems. That is,
A first aspect of the present invention is p-hydroxybenzoic acid, terephthal
Consists of a thermotropic liquid crystal polymer whose basic structure is a repeating unit derived from an acid, biphenol, or isophthalic acid, and has a flat plate shape, with grooves, holes, or ribs as frames for fixing electronic components on the upper surface. Are provided, and the surface resistance is set to 10 ⁷ Ω or less. Also,
A second aspect of the present invention provides the electronic component pallet according to the first aspect, wherein the thermotropic liquid crystal polymer is mixed with a conductive carbon black.

【０００７】以下、本発明をさらに説明する。本発明で
いうサーモトロピック液晶ポリマーとは、溶融時に光学
的異方性を示し、かつ熱可塑性を有するポリマーであ
る。このように溶融時に光学的異方性を示すポリマー
は、溶融状態でポリマー分子鎖が規則的な平行配列をと
る性質を示す。光学的異方性溶融相の性質は、直交偏光
子を利用した通常の偏光検査法により確認することがで
きる。上記液晶ポリマーとしては、例えば、液晶性ポリ
エステル、液晶性ポリカーボネート、液晶性ポリエステ
ルイミド等、具体的には、(全）芳香族ポリエステル、ポ
リエステルアミド、ポリアミドイミド、ポリエステルカ
ーボネート、ポリアゾメチン等が挙げられる。サーモト
ロピック液晶ポリマーは、一般に細長く、偏平な分子構
造からなり、分子の長鎖に沿って剛性が高く、同軸また
は平行のいずれかの関係にある複数の連鎖伸長結合を有
している。本発明において用いるサーモトロピック液晶
ポリマーには、一つの高分子鎖の一部が異方性溶融相を
形成するポリマーのセグメントで構成され、残りの部分
が異方性溶融相を形成しないポリマーのセグメントから
構成されるポリマーも含まれる。また、複数のサーモト
ロピック液晶ポリマーを複合したものも含まれる。Hereinafter, the present invention will be further described. The thermotropic liquid crystal polymer in the present invention is a polymer that exhibits optical anisotropy when melted and has thermoplasticity. As described above, a polymer that exhibits optical anisotropy at the time of melting exhibits a property that the polymer molecular chains take a regular parallel arrangement in a molten state. The properties of the optically anisotropic molten phase can be confirmed by a usual polarization inspection method using a crossed polarizer. Examples of the liquid crystal polymer include liquid crystalline polyester, liquid crystalline polycarbonate, liquid crystalline polyesterimide and the like, and specific examples thereof include (whole) aromatic polyester, polyesteramide, polyamideimide, polyestercarbonate and polyazomethine. Thermotropic liquid crystal polymers generally have an elongated, flat molecular structure, are rigid along the long chain of the molecule, and have a plurality of chain-extended bonds in either a coaxial or parallel relationship. In the thermotropic liquid crystal polymer used in the present invention, a part of one polymer chain is composed of a polymer segment forming an anisotropic molten phase, and the remaining portion is a polymer segment not forming an anisotropic molten phase. Also included are polymers composed of Further, a composite of a plurality of thermotropic liquid crystal polymers is also included.

【０００８】サーモトロピック液晶ポリマーを構成する
モノマーの代表例としては （Ａ）芳香族ジカルボン酸の少なくとも１種、 （Ｂ）芳香族ヒドロキシカルボン酸系化合物の少なくと
も１種、 （Ｃ）芳香族ジオール系化合物の少なくとも１種、 （Ｄ）（Ｄ1）芳香族ジチオール、（Ｄ2）芳香族チオフ
ェノール、（Ｄ3）芳香族チオールカルボン酸化合物の
少なくとも１種、 （Ｅ）芳香族ヒドロキシアミン、 芳香族ジアミン系化
合物の少なくとも１種等の芳香族化合物が挙げられる。 これらは単独で用いられる場合もあるが、 多くは
（Ａ）と（Ｃ）； （Ａ）と（Ｄ）； （Ａ）、（Ｂ）と
（Ｃ）； （Ａ）、（Ｂ）と（Ｅ）； あるいは（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）と（Ｅ）等のように組合せて構成され
る。Representative examples of the monomers constituting the thermotropic liquid crystal polymer include (A) at least one aromatic dicarboxylic acid, (B) at least one aromatic hydroxycarboxylic acid compound, and (C) an aromatic diol compound. (D) (D1) aromatic dithiol, (D2) aromatic thiophenol, (D3) at least one aromatic thiol carboxylic acid compound, (E) aromatic hydroxyamine, aromatic diamine Aromatic compounds such as at least one of the compounds are exemplified. These may be used alone, but in many cases (A) and (C); (A) and (D); (A), (B) and (C); (A), (B) and ( E); or (A),
(B), (C) and (E) are combined.

【０００９】上記（Ａ）芳香族ジカルボン酸系化合物と
しては、テレフタル酸、４,４'−ジフェニルジカルボン
酸、４,４'−トリフェニルジカルボン酸、 ２,６−ナフ
タレンジカルボン酸、１,４−ナフタレンジカルボン
酸、２,７−ナフタレンジカルボン酸、 ジフェニルエー
テル−４,４'−ジカルボン酸、ジフェノキシエタン−
４,４'−ジカルボン酸、ジフェノキシブタン−４,４'−
ジカルボン酸、 ジフェニルエタン−４,４'−ジカルボ
ン酸、イソフタル酸、ジフェニルエーテル−３,３'−ジ
カルボン酸、ジフェノキシエタン−３,３'−ジカルボン
酸、ジフェニルエタン−３,３'−ジカルボン酸、 １,６
−ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸、
またはクロロテレフタル酸、 ジクロロテレフタル酸、
ブロモテレフタル酸、メチルテレフタル酸、ジメチルテ
レフタル酸、エチルテレフタル酸、メトキシテレフタル
酸、エトキシテレフタル酸等で代表される上記芳香族ジ
カルボン酸のアルキル、アルコキシまたはハロゲン置換
体が挙げられる。The aromatic dicarboxylic acid compound (A) includes terephthalic acid, 4,4'-diphenyldicarboxylic acid, 4,4'-triphenyldicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, and 1,4- Naphthalenedicarboxylic acid, 2,7-naphthalenedicarboxylic acid, diphenylether-4,4'-dicarboxylic acid, diphenoxyethane-
4,4'-dicarboxylic acid, diphenoxybutane-4,4'-
Dicarboxylic acid, diphenylethane-4,4′-dicarboxylic acid, isophthalic acid, diphenylether-3,3′-dicarboxylic acid, diphenoxyethane-3,3′-dicarboxylic acid, diphenylethane-3,3′-dicarboxylic acid, 1,6
-Aromatic dicarboxylic acids such as naphthalenedicarboxylic acid,
Or chloroterephthalic acid, dichloroterephthalic acid,
Alkyl, alkoxy or halogen substituents of the above aromatic dicarboxylic acids represented by bromoterephthalic acid, methylterephthalic acid, dimethylterephthalic acid, ethylterephthalic acid, methoxyterephthalic acid, ethoxyterephthalic acid and the like.

【００１０】（Ｂ）芳香族ヒドロキシカルボン酸系化合
物としては、４−ヒドロキシ安息香酸、３−ヒドロキシ
安息香酸、６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸、６−ヒド
ロキシ−１−ナフトエ酸等の芳香族ヒドロキシカルボン
酸、または３−メチル−４−ヒドロキシ安息香酸、３,
５−ジメチル−４−ヒドロキシ安息香酸、２,６−ジメ
チル−４−ヒドロキシ安息香酸、 ３−メトキシ−４−
ヒドロキシ安息香酸、３,５−ジメトキシ−４−ヒドロ
キシ安息香酸、６−ヒドロキシ−５−メチル−２−ナフ
トエ酸、６−ヒドロキシ−５−メトキシ−２−ナフトエ
酸、２−クロロ−４−ヒドロキシ安息香酸、３−クロロ
−４−ヒドロキシ安息香酸、 ２,３−ジクロロ−４−ヒ
ドロキシ安息香酸、３,５−ジクロロ−４−ヒドロキシ
安息香酸、２,５−ジクロロ−４−ヒドロキシ安息香
酸、 ３−ブロモ−４−ヒドロキシ安息香酸、６−ヒド
キシ−５−クロロ−２−ナフトエ酸、６−ヒドロキシ−
７−クロロ−２−ナフトエ酸、 ６−ヒドロキシ−５,７
−ジクロロ−２−ナフトエ酸等の芳香族ヒドロキシカル
ボン酸のアルキル、アルコキシまたはハロゲン置換体が
挙げられる。(B) The aromatic hydroxycarboxylic acid compound includes aromatic hydroxycarboxylic acids such as 4-hydroxybenzoic acid, 3-hydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-2-naphthoic acid and 6-hydroxy-1-naphthoic acid. Carboxylic acid, or 3-methyl-4-hydroxybenzoic acid, 3,
5-dimethyl-4-hydroxybenzoic acid, 2,6-dimethyl-4-hydroxybenzoic acid, 3-methoxy-4-
Hydroxybenzoic acid, 3,5-dimethoxy-4-hydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-5-methyl-2-naphthoic acid, 6-hydroxy-5-methoxy-2-naphthoic acid, 2-chloro-4-hydroxybenzoic acid Acid, 3-chloro-4-hydroxybenzoic acid, 2,3-dichloro-4-hydroxybenzoic acid, 3,5-dichloro-4-hydroxybenzoic acid, 2,5-dichloro-4-hydroxybenzoic acid, 3- Bromo-4-hydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-5-chloro-2-naphthoic acid, 6-hydroxy-
7-chloro-2-naphthoic acid, 6-hydroxy-5,7
And alkyl-, alkoxy-, or halogen-substituted aromatic hydroxycarboxylic acids such as -dichloro-2-naphthoic acid.

【００１１】（Ｃ）芳香族ジオールとしては、４,４'−
ジヒドロキシジフェニル、３,３'−ジヒドロキシジフェ
ニル、 ４,４'−ジヒドロキシトリフェニル、 ハイドロ
キノン、レゾルシン、２,６−ナフタレンジオール、
４,４'−ジヒドロキシジフェニルエーテル、ビス(４−
ヒドロキシフェノキシ)エタン、３,３'−ジヒドロキシ
ジフェニルエーテル、１,６−ナフタレンジオール、
２,２−ビス(４−ヒドロキシフェニル)プロパン、ビス
(４−ヒドロキシフェニル)メタン等の芳香族ジオール、
またはクロロハイドロキノン、メチルハイドロキノン、
tert−ブチルハイドロキノン、フェニルハイドロキノ
ン、メトキシハイドロキノン、フェノキシハイドロキノ
ン、４−クロロレゾルシン、４−メチルレゾルシン等の
芳香族ジオールのアルキル、アルコキシまたはハロゲン
置換体が挙げられる。(C) As the aromatic diol, 4,4'-
Dihydroxydiphenyl, 3,3′-dihydroxydiphenyl, 4,4′-dihydroxytriphenyl, hydroquinone, resorcinol, 2,6-naphthalenediol,
4,4'-dihydroxydiphenyl ether, bis (4-
(Hydroxyphenoxy) ethane, 3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 1,6-naphthalenediol,
2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane, bis
Aromatic diols such as (4-hydroxyphenyl) methane,
Or chlorohydroquinone, methylhydroquinone,
Alkyl, alkoxy or halogen-substituted aromatic diols such as tert-butylhydroquinone, phenylhydroquinone, methoxyhydroquinone, phenoxyhydroquinone, 4-chlororesorcin and 4-methylresorcin are exemplified.

【００１２】（Ｄ1）芳香族ジチオールとしては、ベン
ゼン−１,４−ジチオール、ベンゼン−１,３−ジチオー
ル、２,６−ナフタレン−ジチオール、 ２,７−ナフタ
レン−ジチオール等が挙げられる。 （Ｄ2）芳香族チオフェノールとしては、 ４−メルカプ
トフエノール、３−メルカプトフェノール、２−メルカ
プトフェノール等が挙げられる。 （Ｄ3）芳香族チオールカルボン酸としては、 ４−メル
カプト安息香酸、３−メルカプト安息香酸、６−メルカ
プト−２−ナフトエ酸、７−メルカプト−２−ナフトエ
酸等が挙げられる。(D1) Examples of the aromatic dithiol include benzene-1,4-dithiol, benzene-1,3-dithiol, 2,6-naphthalene-dithiol, and 2,7-naphthalene-dithiol. (D2) Examples of the aromatic thiophenol include 4-mercaptophenol, 3-mercaptophenol, and 2-mercaptophenol. (D3) Examples of the aromatic thiol carboxylic acid include 4-mercaptobenzoic acid, 3-mercaptobenzoic acid, 6-mercapto-2-naphthoic acid, and 7-mercapto-2-naphthoic acid.

【００１３】（Ｅ）芳香族ヒドロキシルアミン、芳香族
ジアミン系化合物としては、４−アミノフェノール、Ｎ
−メチル−４−アミノフェノール、 １,４−フェニレン
ジアミン、Ｎ−メチル−１,４−フェニレンジアミン、
Ｎ,Ｎ'−ジメチル−１,４−フェニレンジアミン、 ３−
アミノフェノール、 ３−メチル−４−アミノフェノー
ル、２−クロロ−４−アミノフェノール、４−アミノ−
１−ナフトール、４−アミノ−４'−ヒドロキシジフェ
ニル、４−アミノ−４'−ヒドロキシジフェニルエーテ
ル、４−アミノ−４'−ヒドロキシジフェニルメタン、
４−アミノ−４'−ヒドロキシジフェニルスルフィド、
４,４'−ジアミノジフェニルスルフィド（チオジアニリ
ン）、４,４'−ジアミノジフェニルスルホン、 ２,５−
ジアミノトルエン、４,４'−エチレンジアニリン、４,
４'−ジアミノジフェノキシエタン、 ４,４'−ジアミノ
ジフェニルメタン（メチレンジアニリン)、４,４'−ジ
アミノジフェニルエーテル（オキシジアニリン）等が挙
げられる。(E) As aromatic hydroxylamine and aromatic diamine compounds, 4-aminophenol, N
-Methyl-4-aminophenol, 1,4-phenylenediamine, N-methyl-1,4-phenylenediamine,
N, N'-dimethyl-1,4-phenylenediamine, 3-
Aminophenol, 3-methyl-4-aminophenol, 2-chloro-4-aminophenol, 4-amino-
1-naphthol, 4-amino-4'-hydroxydiphenyl, 4-amino-4'-hydroxydiphenyl ether, 4-amino-4'-hydroxydiphenylmethane,
4-amino-4'-hydroxydiphenyl sulfide,
4,4'-diaminodiphenyl sulfide (thiodianiline), 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 2,5-
Diaminotoluene, 4,4'-ethylenedianiline, 4,
4'-diaminodiphenoxyethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane (methylenedianiline), 4,4'-diaminodiphenylether (oxydianiline) and the like.

【００１４】本発明で用いるサーモトロピック液晶ポリ
マーは、上記モノマーから溶融アシドリシス法やスラリ
ー重合法等の多様なエステル形成法などにより製造する
ことができる。通常、分子量は２,０００〜２００,００
０の範囲内にある。これらのモノマーから得られるサー
モトロピック液晶ポリマーのうち、一般式化１で表わさ
れるｐ−ヒドロキシ安息香酸から誘導されるモノマー単
位を必須成分として含む重合体または共重合体である芳
香族ポリエステルが好ましい。The thermotropic liquid crystal polymer used in the present invention can be produced from the above monomers by various ester forming methods such as a melt acidification method and a slurry polymerization method. Usually, the molecular weight is between 2,000 and 200,00
It is in the range of 0. Among the thermotropic liquid crystal polymers obtained from these monomers, an aromatic polyester which is a polymer or a copolymer containing a monomer unit derived from p-hydroxybenzoic acid represented by the general formula 1 as an essential component is preferable.

【００１５】[0015]

【化１】 Embedded image

【００１６】本発明の特に好ましい全芳香族ポリエステ
ルは、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、フタル酸およびビフェ
ノールの３種の化合物からそれぞれ誘導される繰返し単
位を有する化２で表わされるポリエステル、ｐ−ヒドロ
キシ安息香酸、フタル酸、ビフェノールおよびハイドロ
キノンの４種の化合物からそれぞれ誘導される繰返し単
位を有する化３で表わされるポリエステル、またはｐ−
ヒドロキシ安息香酸およびヒドロキシナフトエ酸の２種
の化合物からそれぞれ誘導される繰返し単位を有する化
４で表わされるポリエステルである。A particularly preferred wholly aromatic polyester of the present invention is a polyester represented by the general formula (2) having a repeating unit derived from each of three compounds of p-hydroxybenzoic acid, phthalic acid and biphenol, p-hydroxybenzoic acid , A phthalic acid, a polyester represented by the formula (III) having a repeating unit derived from four compounds of biphenol and hydroquinone, or p-
A polyester represented by Chemical Formula 4 having a repeating unit derived from two kinds of compounds, hydroxybenzoic acid and hydroxynaphthoic acid.

【００１７】[0017]

【化２】 Embedded image

【化３】 Embedded image

【化４】 Embedded image

【００１８】パレットに収納または保持される電子部品
としては、例えば、ＩＣ、トランジスター、ダイオー
ド、コイルなどのインダクター、コンデンサー、抵抗
器、コネクター、ＬＳＩなどの電子部品、特にチップ形
状の小型電子部品が挙げられる。完成した製品としての
電子部品のほか、製造あるいは組立工程における部分
品、半製品なども含まれる。電子部品は、一般に静電気
の発生により悪影響を受けることがよく知られており、
特に小型電子部品では、静電気を帯電することによるゴ
ミの付着が問題となる。そのため、本発明のパレットに
は帯電防止処理を施す。帯電防止処理法としては特に限
定はなく、パレットの表面抵抗が１０⁷Ω以下、好まし
くは１０⁵Ω以下となる処理であればいずれの方法も使
用できる。表面抵抗の下限値は特に限定されないが、低
すぎると通電し易くなり、かえって外部電流の影響を受
けることがある。従って、通常は１０²Ω以上の表面抵
抗を有することが好ましい。Examples of the electronic parts stored or held on the pallet include electronic parts such as inductors such as ICs, transistors, diodes, and coils, capacitors, resistors, connectors, and LSIs, and in particular, chip-shaped small electronic parts. Can be This includes not only electronic components as finished products, but also parts and semi-finished products in the manufacturing or assembly process. It is well known that electronic components are generally adversely affected by the generation of static electricity.
In particular, in the case of small electronic components, adhesion of dust due to charging of static electricity poses a problem. Therefore, the pallet of the present invention is subjected to an antistatic treatment. There is no particular limitation on the antistatic treatment method, and any method can be used as long as the surface resistance of the pallet is 10 ⁷ Ω or less, preferably 10 ⁵ Ω or less. The lower limit of the surface resistance is not particularly limited. However, if it is too low, it becomes easy to conduct electricity and may be affected by an external current. Therefore, it is usually preferable to have a surface resistance of 10 ² Ω or more.

【００１９】このような帯電防止処理としては、例え
ば、適宜の導電性物質をパレット表面に塗布することも
できる。しかしながら、表面塗布は後処理として行うた
め、コストの上昇を避けることができない。また、基質
がサーモトロピック液晶ポリマーであるため、十分な密
着強度を有する塗膜を形成することが難しいなどの問題
もあるので、サーモトロピック液晶ポリマーにあらかじ
め導電性の充填材を配合しておくことが好ましい。特開
平３ー９５９５４号公報には、フッ素樹脂により表面被
覆したサーモトロピック液晶ポリマーからなるシリコン
ウェーハー用のキャリアーが提案されているが、フッ素
樹脂を被覆したものは帯電防止効果が不十分である。た
だし、上記公報に記載されたキャリアーは、単に高純度
シリコンなどの板に、高温酸化処理などを行う際に使用
されており、通常は帯電防止を考慮する必要性は少な
い。As such an antistatic treatment, for example, an appropriate conductive substance can be applied to the pallet surface. However, since the surface coating is performed as a post-treatment, an increase in cost cannot be avoided. In addition, since the substrate is a thermotropic liquid crystal polymer, it is difficult to form a coating film with sufficient adhesion strength.Therefore, it is necessary to mix a conductive filler in advance with the thermotropic liquid crystal polymer. Is preferred. Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 3-95954 proposes a carrier for a silicon wafer made of a thermotropic liquid crystal polymer whose surface is coated with a fluororesin, but a carrier coated with a fluororesin has an insufficient antistatic effect. However, the carrier described in the above-mentioned publication is used only when a high-purity silicon plate or the like is subjected to a high-temperature oxidation treatment or the like, and usually there is little need to consider antistatic.

【００２０】帯電防止のためサーモトロピック液晶ポリ
マーに配合する導電性充填材としては、導電性カーボン
ブラック、グラファイト、酸化錫粉、または銀、銅、ニ
ッケル、ステンレススチール等の各粉末、あるいは銅−
銀、ニッケル−銀などの合金属粉、カーボンバルーンな
どの導電性粒子状充填材；アルミニウムフレーク、ステ
ンレススチールフレーク、青銅フレーク、ニッケルフレ
ークなどの金属フレーク； 炭素繊維、 アルミニウム繊
維、黄銅繊維、銅繊維、ステンレススチール繊維、アル
ミニウムリボンなどの導電性繊維；銀被覆ガラスビー
ズ、金属化ガラス繊維、金属化炭素繊維、カーボン被覆
ガラス繊維などの非導電性充填材の表面を導電性物質で
導電処理を施した充填材などが例示される。これらは単
独または混合して使用することができる。これらの導電
性充填材のなかでは、帯電防止性能および配合後のサー
モトロピック液晶ポリマーの機械的性質、その他の物性
を考慮すると、アセチレンブラック、ファーネスブラッ
クなどの導電性カーボンブラックが特に好ましい。ファ
ーネスブラックとしては、ケッチェンブラック（商品
名、オランダ アクゾ社製)、旭ＨＳ−５００（商品名、
旭カーボン社製）、バルカンＸＣ７２（商品名、米国CA
BOT社製）などの市販品が例示される。The conductive filler to be added to the thermotropic liquid crystal polymer for antistatic purposes includes conductive carbon black, graphite, tin oxide powder, powders of silver, copper, nickel, stainless steel and the like, and copper powder.
Silver, nickel-silver and other mixed metal powders, conductive particulate fillers such as carbon balloons; aluminum flakes, stainless steel flakes, bronze flakes, nickel flakes and other metal flakes; carbon fiber, aluminum fiber, brass fiber, copper fiber Conductive treatment of conductive fiber such as stainless steel fiber, aluminum ribbon, etc .; non-conductive filler surface such as silver-coated glass beads, metallized glass fiber, metallized carbon fiber, carbon-coated glass fiber with conductive material And the like. These can be used alone or in combination. Among these conductive fillers, conductive carbon black such as acetylene black and furnace black is particularly preferable in consideration of the antistatic performance, the mechanical properties of the thermotropic liquid crystal polymer after compounding, and other physical properties. Furnace black includes Ketjen Black (trade name, manufactured by Akzo Holland) and Asahi HS-500 (trade name,
Asahi Carbon Co., Ltd., Vulcan XC72 (trade name, CA, USA)
Commercially available products such as BOT are available.

【００２１】一般に、導電性充填剤の配合により帯電防
止能が発揮される理由は、充填剤同士が接触して電気の
導通路が形成されることによると考えられている。充填
剤の形態について比較すると、同一の量を添加した場合
には、導通路の形成の容易さに従って、粒子、フレー
ク、繊維の順に帯電防止能が高くなるといわれている。
しかしながら、上述の導電性カーボンブラックは、スト
ラクチャー（カーボン粒子の結合状態）が十分に発達し
ているものを選択しているため、粒子状であってもフレ
ークや繊維などよりも帯電防止能が良好である。しか
も、本発明のサーモトロピック液晶ポリマーは溶融時に
は低粘度となるために、カーボンブラックを配合する際
に比較的応力が加わらず、カーボンブラックのストラク
チャーを破壊することが少なく、帯電防止能がよく発現
され得るという特徴がある。Generally, it is considered that the reason why the antistatic ability is exhibited by the blending of the conductive filler is that the fillers come into contact with each other to form a conduction path of electricity. Comparing the forms of the fillers, it is said that when the same amount is added, the antistatic ability increases in the order of particles, flakes, and fibers in accordance with the ease of formation of the conductive path.
However, since the conductive carbon black is selected to have a sufficiently developed structure (bonding state of carbon particles), the conductive carbon black has a better antistatic ability than flakes or fibers even in the form of particles. It is. Moreover, since the thermotropic liquid crystal polymer of the present invention has a low viscosity when melted, relatively little stress is applied when compounding the carbon black, the structure of the carbon black is hardly destroyed, and the antistatic ability is well expressed. There is a feature that can be.

【００２２】導電性充填材の配合量は、配合後のサーモ
トロピック液晶ポリマーの表面抵抗が前記範囲に入るよ
う適宜に決定するが、通常は、サーモトロピック液晶ポ
リマー組成物中に３〜４０重量％、好ましくは１０〜３
０重量％である。３重量％未満では表面固有抵抗が下が
らず帯電防止効果が不十分であり、一方４０重量％を越
えると機械的物性が低下するので好ましくない。The compounding amount of the conductive filler is appropriately determined so that the surface resistance of the thermotropic liquid crystal polymer after compounding falls within the above range. Usually, 3 to 40% by weight in the thermotropic liquid crystal polymer composition is used. , Preferably 10-3
0% by weight. If the amount is less than 3% by weight, the surface resistivity is not lowered and the antistatic effect is insufficient.

【００２３】なお、本発明の目的を損なわない範囲で、
機械的物性を向上させることなどのために、公知の無機
または有機の充填材を適宜に混合することができる。こ
のようなな充填材としては、例えば、二硫化モリブデ
ン、タルク、マイカ、クレー、セリサイト、炭酸カルシ
ウム、珪酸カルシウム、シリカ、アルミナ、水酸化カル
シウム、非晶質炭素、チタン酸カルシウム、ガラス繊
維、ガラスビーズ、ガラスフレーク、各種金属ウィスカ
ーなどが例示される。これらの配合量は、通常、組成物
全体に対して５０重量％以下である。５０重量％を越え
ると機械的物性が低下するので好ましくない。It should be noted that, within a range not to impair the object of the present invention,
Known inorganic or organic fillers can be appropriately mixed for improving mechanical properties and the like. Such fillers include, for example, molybdenum disulfide, talc, mica, clay, sericite, calcium carbonate, calcium silicate, silica, alumina, calcium hydroxide, amorphous carbon, calcium titanate, glass fiber, Examples include glass beads, glass flakes, and various metal whiskers. These blending amounts are usually 50% by weight or less based on the whole composition. If it exceeds 50% by weight, the mechanical properties are undesirably reduced.

【００２４】本発明のパレットは前述のように、例え
ば、ＩＣ、トランジスター、ダイオード、コイルなどの
インダクター、コンデンサー、抵抗器、コネクター、Ｌ
ＳＩなどの電子部品、特にチップ形状の小型電子部品、
あるいは完成した製品としての電子部品のほか、製造あ
るいは組立工程における部分品、半製品などの製造また
は組立工程において、これらを収納または保持するため
の治具である。これはトレーとも称されることがある。
通常、パレットには電子部品が複数個載荷され、さら
に、出荷または納品などのための単なる運搬用に使用す
ることもできる。As described above, the pallet of the present invention may be, for example, an inductor such as an IC, a transistor, a diode, or a coil, a capacitor, a resistor, a connector, an L
Electronic components such as SI, especially chip-shaped small electronic components,
Alternatively, it is a jig for accommodating or holding electronic components as completed products, as well as parts or semi-finished products in the manufacturing or assembly process in the manufacturing or assembly process. This is sometimes called a tray.
Usually, a plurality of electronic components are loaded on the pallet, and the pallet can be used for mere transportation for shipping or delivery.

【００２５】パレット上の正確な位置に電子部品を収
納、保持することができるように、通常はパレット面上
に電子部品の形状に対応した凹部もしくは孔、あるいは
枠としてのリブが設けられている。このように凹部、
孔、枠内に電子部品を収納、保持しているため、製造工
程、組立工程においてパレットが水平方向あるいは垂直
方向に移動しても、さらに回転作業を受けても、パレッ
ト上の電子部品は正確に固定した位置を保つことができ
る。電子部品の製造工程をロボットにより自動化するた
めには、パレットの寸法精度が ０.０４％以下であるこ
とが要求されるが、本発明のパレットはサーモトロピッ
ク液晶ポリマーからなるものであるために、成形収縮率
や線膨張係数が小さく寸法精度は優れている。すなわ
ち、設計値に対する製品寸法の偏倚は、平均して０.０
１〜０.０４％の範囲である。A recess or hole corresponding to the shape of the electronic component or a rib as a frame is usually provided on the pallet surface so that the electronic component can be stored and held at an accurate position on the pallet. . Thus the recess,
Since electronic components are stored and held in holes and frames, the electronic components on the pallets are accurate even if the pallets move in the horizontal or vertical direction during the manufacturing process and assembly process, and even if they are rotated. Can be maintained in a fixed position. In order to automate the electronic component manufacturing process by a robot, the dimensional accuracy of the pallet is required to be 0.04% or less. However, since the pallet of the present invention is made of a thermotropic liquid crystal polymer, The molding shrinkage and the coefficient of linear expansion are small and the dimensional accuracy is excellent. That is, the deviation of the product dimension from the design value is 0.0 on average.
It is in the range of 1-0.04%.

【００２６】さらに、パレット面上の電子部品を収納、
保持する部位以外の場所、例えばパレット下側のパレッ
ト運搬台との接触面などは、摩擦抵抗が少ない方がパレ
ット自体の運搬台上での移動が容易であるために好まし
い。本発明のパレットはサーモトロピック液晶ポリマー
からなるために、特に表面の平滑化処理を行わなくても
摩擦係数は０.１〜０.５の範囲にあり、この点において
も有利である。Further, electronic parts on the pallet surface are stored.
It is preferable that a portion other than the holding portion, for example, a contact surface of the lower side of the pallet with the pallet carrier has less frictional resistance because the pallet itself can be easily moved on the carrier. Since the pallet of the present invention is made of a thermotropic liquid crystal polymer, the friction coefficient is in the range of 0.1 to 0.5 even without performing a surface smoothing treatment, which is advantageous in this respect.

【００２７】そのほか、電子部品の種類によっては、高
温環境下で使用される場合に、主として吸湿水分に起因
するアウトガスの発生により、電子部品の一部にフクレ
などの現象がみられることがある。このような現象を防
止するためには、製造または組立工程の一部として、乾
燥のために空気雰囲気下または窒素などの不活性ガス雰
囲気下において、１００〜２００℃の温度で、１〜１２
時間ベーキングを行うことがある。ベーキング工程にお
ける加熱はかなり過酷であるが、本発明のパレットは、
一般の熱可塑性樹脂のなかで最高の耐熱性を有するサー
モトロピック液晶ポリマーからなるものであるため、ベ
ーキング処理に十分耐えることができる。In addition, depending on the type of electronic component, when used in a high-temperature environment, a phenomenon such as blistering may be observed in a part of the electronic component due to generation of outgas mainly due to moisture absorption. In order to prevent such a phenomenon, as a part of the manufacturing or assembly process, a temperature of 100 to 200 ° C. and a temperature of 1 to 12 ° C. in an air atmosphere or an inert gas atmosphere such as nitrogen for drying.
Time baking may be performed. Although the heating in the baking process is quite harsh, the pallets of the present invention
Since it is made of a thermotropic liquid crystal polymer having the highest heat resistance among general thermoplastic resins, it can sufficiently withstand baking treatment.

【００２８】また、完成した製品としての電子部品ある
いは中間の半製品は、製造あるいは組立中に付着した汚
れを洗浄するために、Ｒ−２２（モノクロロジフルオロ
メタン）、Ｒ−１３４ａ（１,１,１,２−テトラフルオ
ロエタン)、Ｒ−５０２（Ｒ２２とＲ１１５(モノクロロ
ペンタフルオロエタン)との共沸混合物）などのフロン
類、アルコールなどの極性溶剤または無極性溶剤などの
液または蒸気により洗浄を行うことがある。この洗浄は
一般に、温度７０〜９０℃で、５〜１０分間行われる。
本発明のパレットは、サーモトロピック液晶ポリマーか
らなるものであるために、このような洗浄剤により特に
影響を受けることがなく、優れた耐薬品性を有するので
好ましい。The finished electronic parts or intermediate semi-finished products are manufactured using R-22 (monochlorodifluoromethane) and R-134a (1,1,1,2) in order to clean dirt attached during manufacturing or assembly. Cleaning with a liquid or vapor such as a fluorocarbon such as 1,2-tetrafluoroethane) or R-502 (azeotropic mixture of R22 and R115 (monochloropentafluoroethane)), a polar solvent such as alcohol, or a nonpolar solvent. May be done. This washing is generally performed at a temperature of 70 to 90 ° C. for 5 to 10 minutes.
Since the pallet of the present invention is made of a thermotropic liquid crystal polymer, it is not particularly affected by such a cleaning agent, and has excellent chemical resistance.

【００２９】パレットは、必要に応じ複数枚を重ねて多
層で使用することが好ましい。複数枚重ねる場合（重層
載荷）には、各パレットが精度良く所定形状に成形され
たものであることが必要である。本発明のパレットは、
前述のように寸法精度良く製造することができるため、
重層載荷が可能である。重ねて使用する場合には、パレ
ットの表面のみならず、裏面にも電子部品の形状に対応
した凹部、凸部または孔を設けることにより、重ねた上
下のパレットにより電子部品を固定保持することがで
き、このためパレットの振動その他による電子部品の位
置ずれを減少させることが可能となる。It is preferable that a plurality of pallets are used in a multilayer structure as necessary. When a plurality of pallets are stacked (multi-layer loading), it is necessary that each pallet be accurately formed into a predetermined shape. The pallet of the present invention
Because it can be manufactured with high dimensional accuracy as described above,
Multi-layer loading is possible. In the case where the electronic components are used in a stacked manner, the concave and convex portions or holes corresponding to the shape of the electronic component are provided not only on the front surface of the pallet but also on the rear surface, so that the electronic components can be fixed and held by the stacked upper and lower pallets. Therefore, it is possible to reduce the displacement of the electronic component due to vibration of the pallet or the like.

【００３０】サーモトロピック液晶ポリマーにより、本
発明のパレットを製造するには、射出成形によるのが有
利である。射出成形の条件は、サーモトロピック液晶ポ
リマーの射出成形に使用する公知の条件から適宜に選択
することができ、例えば、樹脂温度２００〜４２０℃、
金型温度６０〜２００℃、射出圧力１００〜２０００kg
/cm²、射出速度５〜５００mm/secの範囲から選ばれる。
また、射出成形後に保圧を行う場合は、通常０.５〜６
０secの範囲から適宜に時間を選択することができる。In order to produce the pallets of the present invention from thermotropic liquid crystal polymers, it is advantageous to use injection molding. The injection molding conditions can be appropriately selected from known conditions used for injection molding of the thermotropic liquid crystal polymer. For example, the resin temperature is 200 to 420 ° C.
Mold temperature 60 ~ 200 ℃, injection pressure 100 ~ 2000kg
/ cm ² and an injection speed of 5 to 500 mm / sec.
In addition, when holding pressure is performed after injection molding, usually 0.5 to 6
The time can be appropriately selected from the range of 0 sec.

【００３１】パレットの形状は、平板、筒状など任意の
形状とすることができるが、通常は平板状のものが用い
られ、その上面に電子部品を固定配置するための凹溝、
孔、あるいは枠としてのリブなどが複数個設けられてい
る。The shape of the pallet can be any shape such as a flat plate or a cylindrical shape. Usually, a pallet is used, and the pallet is provided with a concave groove for fixing and disposing electronic components on the upper surface thereof.
A plurality of holes or ribs as frames are provided.

【００３２】[0032]

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳述す
る。 ＜実施例１＞ｐ−ヒドロキシ安息香酸／テレフタル酸／
ビフェノール／イソフタル酸からそれぞれ誘導される繰
返し構成単位を有するサーモトロピック液晶性４元コポ
リエステルを調製した。使用したモノマーの重量比は
２、０.６、１および０.４である。なお、得られた４元
コポリエステルはＤＳＣによる融点が３５０℃であり、
溶融時に光学的異方性を示した。上記４元コポリエステ
ルの７０重量部に、ガラス繊維３０重量部をあらかじめ
配合し、得られた組成物を常法により射出成形して、図
１に示すように下部が平面であり、上面に矩形の凹部２
を格子状に有する正方形のパレット１（長さ１０cm×幅
１０cm×厚さ５mm）を成形した。パレット下面に対応す
る金型の面は、通常の平滑面である。なお、このパレッ
トはチップインダクターの製造工程、組立工程および運
搬に兼用する目的で設計されたものである。得られたパ
レットについて測定した結果、反りが０.３mm 以上であ
る部位は見られず、各部の寸法精度も設計値との差が
０.０２％以下であった。 また、パレット下面の摩擦抵
抗は０.３であり、 パレット自体をパレット運搬台上で
滑らせながら容易に移動することができた。上記パレッ
トを、耐薬品性の促進試験として、フロンＲ−２２を用
い、１４０℃で１００時間蒸気洗浄したが、パレットに
特に異常は認められなかった。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. <Example 1> p-hydroxybenzoic acid / terephthalic acid /
A thermotropic liquid crystalline quaternary copolyester having repeating structural units each derived from biphenol / isophthalic acid was prepared. The weight ratios of the monomers used are 2, 0.6, 1 and 0.4. Incidentally, the obtained quaternary copolyester has a melting point of 350 ° C. by DSC,
It showed optical anisotropy when melted. 30 parts by weight of glass fiber was previously blended with 70 parts by weight of the above quaternary copolyester, and the obtained composition was injection-molded by a conventional method. As shown in FIG. Recess 2
Was formed into a square pallet 1 (length 10 cm × width 10 cm × thickness 5 mm) having a lattice shape. The surface of the mold corresponding to the lower surface of the pallet is a normal smooth surface. This pallet was designed for the purpose of manufacturing, assembling, and transporting the chip inductor. As a result of measurement of the obtained pallet, no portion having a warp of 0.3 mm or more was found, and the dimensional accuracy of each portion was 0.02% or less from the design value. The friction resistance of the lower surface of the pallet was 0.3, and the pallet itself could be easily moved while sliding on the pallet carrier. The above-mentioned pallet was subjected to steam cleaning at 140 ° C. for 100 hours using Freon R-22 as a test for promoting chemical resistance, and no particular abnormality was found in the pallet.

【００３３】＜実施例２＞サーモトロピック液晶ポリマ
ーの８５重量部に、ガラス繊維に代えて導電性カーボン
ブラックであるアセチレンブラック１５重量部を配合し
た以外は、実施例１と同様にして組成物を調製し、さら
に図１に示すパレットを射出成形により成形した。得ら
れたパレットについて測定した結果、反りが０.３mm 以
上である部位は見られず、各部の寸法精度も設計値との
差が０.０２％以下であった。 また、パレット下面の摩
擦抵抗は０.３であり、 パレット自体をパレット運搬台
上で滑らせながら容易に移動することができた。上記パ
レットを、耐薬品性の促進試験として、フロンＲ−２２
を用い、１４０℃で１００時間蒸気洗浄したが、パレッ
トに特に異常は認められなかった。さらに、同一の組成
物を別に射出成形してシート状とし、その試験片につい
て表面抵抗を測定したところ１０⁶ Ωであり、静電気の
発生を防止し得ることがわかった。<Example 2> A composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 85 parts by weight of the thermotropic liquid crystal polymer was mixed with 15 parts by weight of acetylene black as a conductive carbon black instead of glass fiber. After the preparation, the pallet shown in FIG. 1 was molded by injection molding. As a result of the measurement of the obtained pallet, no portion having a warp of 0.3 mm or more was found, and the dimensional accuracy of each portion was 0.02% or less from the design value. The frictional resistance of the lower surface of the pallet was 0.3, and the pallet itself could be easily moved while sliding on the pallet carrier. The above-mentioned pallets were used as a test for accelerating chemical resistance.
And steam cleaning was performed at 140 ° C. for 100 hours. No abnormality was found on the pallet. Further, the same composition was separately injection-molded to form a sheet, and the surface resistance of the test piece was measured. As a result, it was 10 ⁶ Ω, and it was found that the generation of static electricity could be prevented.

【００３４】[0034]

【発明の効果】本発明のパレットは、特定のサーモトロ
ピック液晶ポリマーから構成されていることにより、以
下のような効果を有する。 （１）軽量かつ安価で、反りが少なく寸法精度のよい製
品が得られる。そのためロボットによる自動化に適して
いる。 （２）反りが少なく寸法精度の良い製品であるために、
多数枚のパレットを重ね合わせて使用することができる
ので、保管その他の作業効率が向上する。 （３）フロンなどの洗浄剤に対して十分な耐性を有す
る。さらに、耐熱性が優れているため、ベーキング工程
などにおいても劣化することがない。 （４）安価で、かつ軽量であるため、製造工程用以外に
運搬用にも兼用することができる。 （５）適宜の導電処理を施すことにより表面抵抗を低下
させ、静電気の発生を防止することができる。The pallet of the present invention has the following effects by being made of a specific thermotropic liquid crystal polymer. (1) A product that is lightweight, inexpensive, has little warpage, and has good dimensional accuracy can be obtained. Therefore, it is suitable for automation by a robot. (2) Because it is a product with little warpage and high dimensional accuracy,
Since a large number of pallets can be used in an overlapping manner, storage and other work efficiency is improved. (3) Sufficient resistance to cleaning agents such as CFCs. Furthermore, since it has excellent heat resistance, it does not deteriorate even in a baking step or the like. (4) Since it is inexpensive and lightweight, it can be used not only for the manufacturing process but also for transportation. (5) By performing an appropriate conductive treatment, the surface resistance can be reduced and generation of static electricity can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明によるパレットの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a pallet according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ パレット ２ 凹部 1 pallet 2 recess

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 ｐ−ヒドロキシ安息香酸、テレフタル
酸、ビフェノール、イソフタル酸からそれぞれ誘導され
る繰返し単位を基本構造とするサーモトロピック液晶ポ
リマーからなり、平板状で、その上面に電子部品を固定
配置するための凹溝、孔、あるいは枠としてのリブを複
数個設け、表面抵抗を１０⁷Ω以下としたことを特徴と
する電子部品用パレット。1. p-hydroxybenzoic acid, terephthal
Consists of a thermotropic liquid crystal polymer whose basic structure is a repeating unit derived from an acid, biphenol, or isophthalic acid, and has a flat plate shape, with grooves, holes, or ribs as frames for fixing electronic components on the upper surface. Pallets for electronic components, wherein a plurality of pallets are provided and the surface resistance is set to 10 ⁷ Ω or less. 【請求項２】 前記サーモトロピック液晶ポリマーに導
電性カーボンブラックを配合したことを特徴とする請求
項１に記載の電子部品用パレット。2. The electronic component pallet according to claim 1, wherein conductive carbon black is blended with the thermotropic liquid crystal polymer.