JP3310578B2 - Gate valve - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造工程等において使用される真空処理室の開口部を開閉
可能でかつ密封可能なゲートバルブに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve capable of opening and closing an opening of a vacuum processing chamber used in, for example, a semiconductor manufacturing process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造工程におけるドライエッチン
グ工程やスパッタリング工程やエピタキシャルウェハ形
成工程等においては、例えば図１７に示すような、複数
の真空処理室が接続されたマルチチャンバ構成の真空処
理装置が使用される。図１７の真空処理装置１０１は、
ウェハＷの搬出入が行われる搬送室１０２の外周に、各
種の処理を行う複数の真空処理室１０５が接続可能とな
っている。ウェハＷの搬送室１０２と各真空処理室１０
５との間の移動は、ゲートＧを通じて行われる。ゲート
Ｇの開閉および密封は、図示しないゲートバルブによっ
て行われる。2. Description of the Related Art In a dry etching step, a sputtering step, an epitaxial wafer forming step, and the like in a semiconductor manufacturing process, a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration in which a plurality of vacuum processing chambers are connected as shown in FIG. Is done. The vacuum processing apparatus 101 in FIG.
A plurality of vacuum processing chambers 105 for performing various processes can be connected to the outer periphery of the transfer chamber 102 where the wafer W is loaded and unloaded. Wafer W transfer chamber 102 and each vacuum processing chamber 10
The movement between 5 and 5 is performed through the gate G. The opening and closing and sealing of the gate G are performed by a gate valve (not shown).
【０００３】図１７の真空処理装置１０１では、ウェハ
Ｗを、搬出入路１０４の搬出入口１０３を通じて図示し
ない搬送装置によって搬送室１０２内に搬入し、搬送室
１０２内に設けられた真空搬送ロボット１０７によって
保持する。ウェハＷが真空搬送ロボット１０７によって
保持されると、搬出入口１０３を閉じ、搬送室１０２内
を真空引きする。このとき、上記の各ゲートバルブは各
ゲートを密封した状態となっている。搬送室１０２内の
真空引きが完了すると、各ゲートバルブを駆動してゲー
トＧを開き、真空搬送ロボット１０７によってウェハＷ
を所定の真空処理室に搬送する。当該真空処理室におい
て、処理を行うために、各ゲートバルブを駆動してゲー
トＧを閉じ、ウェハＷの所定の処理を行う。ウェハＷの
所定の処理が完了したら、ゲートバルブを駆動してゲー
トＧを開き、再度真空搬送ロボット１０７によってウェ
ハＷを当該真空処理室から取出し、搬出入口１０３を通
じて真空処理装置１０１外に自動的に搬出される。[0003] In the vacuum processing apparatus 101 shown in FIG. 17, a wafer W is loaded into the transfer chamber 102 by a transfer device (not shown) through the transfer port 103 of the transfer path 104, and a vacuum transfer robot 107 provided in the transfer chamber 102. Hold by. When the wafer W is held by the vacuum transfer robot 107, the transfer port 103 is closed, and the transfer chamber 102 is evacuated. At this time, each gate valve is in a state where each gate is sealed. When the evacuation in the transfer chamber 102 is completed, each gate valve is driven to open the gate G, and the wafer W is moved by the vacuum transfer robot 107.
Is transported to a predetermined vacuum processing chamber. In the vacuum processing chamber, in order to perform processing, each gate valve is driven to close the gate G, and a predetermined processing of the wafer W is performed. When the predetermined processing of the wafer W is completed, the gate valve is driven to open the gate G, the wafer W is again taken out of the vacuum processing chamber by the vacuum transfer robot 107, and automatically out of the vacuum processing apparatus 101 through the loading / unloading port 103. It is carried out.
【０００４】上記のような真空処理装置１０１における
ゲートＧを開閉しかつ密封可能なゲートバルブ１０６の
構造として、例えば、図１８および図１９に示すような
構造が知られている。図１８において、搬送室２０２
は、ゲートＧを通じて真空処理室２０３と連通してい
る。このゲートＧの開閉をゲートバルブ２０１によって
行うが、ゲートバルブ２０１は、ゲートＧの開閉および
密封を行う弁体２０５と、この弁体２０５が一端部に固
定され直動可能にかつ所定の軸２０８を中心に傾斜可能
に保持されている弁ロッド２０６と、搬送室２０２と弁
ロッド２０６との間をシーリングするシールベローズ２
０７と、弁ロッド２０６を直動および傾動させる図示し
ない駆動手段とを有している。ゲートバルブ２０１は、
図１８においては、ゲートＧを開いた状態にある。ゲー
トＧを閉じかつ密封するには、図１９に示すように、弁
ロッド２０６を直動させて弁体２０５がゲートＧを閉じ
る位置まで移動し、弁ロッド２０６を軸２０８を中心に
傾斜させることにより行う。この結果、弁体２０５がゲ
ートＧの外周に設けられたＯリング２０４を押圧しゲー
トＧが密封される。As a structure of the gate valve 106 capable of opening and closing and sealing the gate G in the vacuum processing apparatus 101 as described above, for example, a structure as shown in FIGS. 18 and 19 is known. In FIG. 18, the transfer chamber 202
Communicates with the vacuum processing chamber 203 through the gate G. The gate G is opened and closed by a gate valve 201. The gate valve 201 includes a valve body 205 that opens and closes and seals the gate G. And a seal bellows 2 for sealing between the transfer chamber 202 and the valve rod 206.
07 and a drive unit (not shown) for linearly moving and tilting the valve rod 206. The gate valve 201
In FIG. 18, the gate G is open. To close and seal the gate G, as shown in FIG. 19, the valve rod 206 is moved directly to the position where the valve body 205 closes the gate G, and the valve rod 206 is tilted about the axis 208 as shown in FIG. Performed by As a result, the valve body 205 presses the O-ring 204 provided on the outer periphery of the gate G, and the gate G is sealed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記したような構造の
ゲートバルブ２０１においては、弁体２０５によってゲ
ートＧをシーリングする際のシール性が良好であるこ
と、搬送室２０２内に設けられた弁体２０５および弁ロ
ッド２０７にパーティクルを発生する摺動部分が無いこ
と、上記の図示しない駆動手段による弁体２０５の動き
がスムーズでかつ高速であること、およびＯリング２０
４を押しつぶすための弁体２０５を傾動させる力が十分
であること、構造が簡素で安価であること等が要求され
る。しかしながら、従来においては、上記のような構造
のゲートバルブ２０１では、弁ロッド２０７の直動およ
び傾動を行い、弁体２０５を傾動させる力を十分得るこ
とができ、弁体２０５の動きをスムーズでかつ高速にす
るためには、弁ロッド２０７を駆動する駆動手段の構造
が複雑になり、部品点数が多くなり、このため、ゲート
バルブ２０１が高価になるという問題があった。In the gate valve 201 having the above-described structure, the sealing performance when sealing the gate G by the valve element 205 is good, and the valve element provided in the transfer chamber 202 is provided. 205 and the valve rod 207 have no sliding portion for generating particles, the movement of the valve body 205 by the above-mentioned driving means (not shown) is smooth and high speed, and the O-ring 20
It is required that the force for tilting the valve body 205 for crushing 4 be sufficient, that the structure be simple and inexpensive, and the like. However, conventionally, in the gate valve 201 having the above-described structure, the valve rod 207 can be directly moved and tilted, and a sufficient force for tilting the valve body 205 can be obtained, and the movement of the valve body 205 can be smoothly performed. In order to increase the speed, the structure of the driving means for driving the valve rod 207 becomes complicated, the number of parts increases, and the gate valve 201 becomes expensive.
【０００６】本発明は、かかる従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、構造が簡素化されて安価であり、弁
体の動きがスムーズで高速であり、弁体を傾動させる力
が強く開口部のシール性を向上させることができるゲー
トバルブを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such conventional problems, and has a simple structure, is inexpensive, has a smooth and high-speed movement of a valve body, and has a strong force for tilting the valve body. An object of the present invention is to provide a gate valve capable of improving the sealing property of an opening.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブ
は、気密室内に設けられ当該気密室の開口部を開閉可能
でかつ前記開口部に対して傾動することにより当該開口
部を密封可能な弁体と、一端部に前記弁体が固定され、
直動および傾動可能に保持され、前記気密室内から気密
室外に突出するようにかつシーリング手段によって前記
気密室の気密状態を保つように設けられた弁ロッドと、
前記弁ロッドと連結され当該弁ロッドを傾動させる傾動
機構と、前記傾動機構を介して前記弁ロッドと連結さ
れ、前記弁ロッドの直動および傾動に必要な駆動力を供
給する駆動手段と、前記弁体による前記開口部の密封状
態を保持するロック機構とを有するゲートバルブであっ
て、前記駆動手段は、一端が連結板を介して前記傾動機
構と連結されたピストンロッドと、当該ピストンロッド
の他端に固定されたピストンと、このピストンを内部に
収容するシリンダとを有するエアシリンダであり、前記
ロック機構は、前記ピストンロッドの駆動方向に沿って
前記連結板に固定され、一方面に傾斜案内面が形成され
かつ前記ピストンロッドの駆動方向に直交する方向にロ
ック用孔が形成されたロック用プレートと、前記エアシ
リンダに対して所定の位置に設けられた小シリンダと、
前記小シリンダ内に収容され、一端に前記傾斜案内面に
よって案内されて前記ロック用孔に嵌合可能なロックピ
ンが形成され、前記ロックピンが前記小シリンダから前
記ロック用プレートの一方面に当接可能な位置まで突出
するように他端が弾性部材によって付勢されたロック用
ピストンとを有し、前記小シリンダには、前記ロックピ
ンが小シリンダ内に収容される方向に前記ロック用ピス
トンを駆動する圧縮空気を前記小シリンダ内に供給する
供給ポートが形成され、前記供給ポートは、前記弁体を
開方向に駆動させる圧縮空気を前記エアシリンダのシリ
ンダ内に供給する供給路と連通しており、前記弁体によ
って開口部を密封する方向に前記エアシリンダが駆動さ
れると、前記ロックピンは前記ロック用プレートの傾斜
案内面に案内されて前記ロック用孔に嵌合し、前記連結
板の移動がロックされて前記弁体による密封状態が保持
され、前記弁体が開口部を開く方向に前記エアシリンダ
が駆動されると、前記小シリンダ内には前記エアシリン
ダの供給路を通じて圧縮空気が供給され、前記ロックピ
ンと前記ロック用孔との嵌合が解除される。SUMMARY OF THE INVENTION A gate valve according to the present invention is provided in an airtight chamber, and is capable of opening and closing an opening of the airtight chamber and sealing the opening by tilting with respect to the opening. Body, the valve body is fixed to one end,
A valve rod that is held so as to be able to move linearly and tiltably, and is provided so as to protrude from the hermetic chamber to the outside of the hermetic chamber and to maintain the hermetic state of the hermetic chamber by sealing means;
A tilting mechanism that is connected to the valve rod and tilts the valve rod, and a driving unit that is connected to the valve rod via the tilting mechanism and supplies a driving force required for linear movement and tilting of the valve rod; A gate valve having a lock mechanism for maintaining a sealed state of the opening by a valve body, wherein the driving means includes a piston rod having one end connected to the tilting mechanism via a connection plate; An air cylinder having a piston fixed to the other end and a cylinder accommodating the piston therein, wherein the lock mechanism is fixed to the connection plate along a driving direction of the piston rod, and is inclined on one surface. A locking plate having a guide surface formed therein and a locking hole formed in a direction orthogonal to the driving direction of the piston rod; And a small cylinder provided at a position,
A lock pin which is accommodated in the small cylinder and is fitted at one end to the lock hole by being guided by the inclined guide surface is formed, and the lock pin contacts the one surface of the lock plate from the small cylinder. A locking piston whose other end is urged by an elastic member so as to protrude to a position where the locking pin can be brought into contact with the locking piston. A supply port for supplying compressed air for driving the valve into the small cylinder, the supply port being in communication with a supply path for supplying compressed air for driving the valve body in the opening direction into the cylinder of the air cylinder; and which, when the air cylinder in a direction to seal the opening by the valve body is driven, the lock pin is guided to the inclined guide surface of the locking plate Fitted into the locking hole, and the connecting plate sealed movement by the valve body is locked in is held, when the air cylinder is driven the valve body in the direction of opening the opening portion, said small cylinder Compressed air is supplied to the inside through a supply path of the air cylinder, and the engagement between the lock pin and the lock hole is released.
【０００８】[0008]
【０００９】[0009]
【００１０】[0010]
【００１１】[0011]
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。第１実施形態 図１は本発明に係るゲートバルブの第１実施形態を示す
断面図であり、図２は図１に示すゲートバルブのＡ−Ａ
線方向の断面図である。図１および図２に示すように、
ゲートバルブ１は、弁体２と、連結部材４を介して弁体
２が一端に固定された弁ロッド６と、図示しない気密室
に取り付けられる取り付け部材８と、取り付け部材８の
弁ロッド６が挿入される挿入孔８ａと弁ロッドとの間を
シーリングするシールベローズ１０と、弁ロッド６を直
動可能にかつ軸１４ａを中心に傾斜可能に保持する保持
部材１４と、保持部材１４の軸１４ａを回転自在に保持
するとともに、ピストンロッド２０を駆動するエアシリ
ンダ６０と、弁ロッド６の外周に固定された２つのスト
ッパ１８と、弁ロッド６の他端部に回転自在に設けられ
たローラ２４と、このローラ２４が設けられた弁ロッド
６の他端部に対向配置されたローラ受け部材２２と、ロ
ーラ受け部材２２とピストンロッド２０とを連結する連
結板３０と、弁ロッド６の他端部に固定された固定部材
２６と連結板３０によって両端部が固定され弁ロッド６
の他端部および連結板３０とを連結しているコイルばね
２８とから基本的に構成されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. First Embodiment FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a gate valve according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of the gate valve shown in FIG.
It is sectional drawing of a line direction. As shown in FIGS. 1 and 2,
The gate valve 1 includes a valve body 2, a valve rod 6 to which the valve body 2 is fixed at one end via a connecting member 4, an attachment member 8 attached to an airtight chamber (not shown), and a valve rod 6 of the attachment member 8. A seal bellows 10 for sealing between the insertion hole 8a to be inserted and the valve rod, a holding member 14 for holding the valve rod 6 so as to be able to move linearly and tiltable about a shaft 14a, and a shaft 14a of the holding member 14 And a stopper 24 fixed to the outer periphery of the valve rod 6, and a roller 24 rotatably provided at the other end of the valve rod 6. A roller receiving member 22 disposed opposite to the other end of the valve rod 6 provided with the roller 24; a connecting plate 30 for connecting the roller receiving member 22 to the piston rod 20; Both end portions by a connecting plate 30 and the fixed member 26 fixed to the other end of the de-6 are fixed valve rod 6
And a coil spring 28 connecting the other end and the connecting plate 30.
【００１３】弁体２は、平板状の部材から形成され、図
示しない気密室の開口部５０を開閉可能でかつ開口部５
０に対して傾動することにより開口部５０をＯリング５
２を介して密封することができる。本実施形態において
は、弁体２として平板状の部材を示しているが、開口部
が曲面形状を有する場合にこれに併せた形状とすること
も可能である。また、弁体２の形成材料としては、極力
パーティクルを発生せず、ガス等を放出しない金属材料
等の材料が望ましい。弁体２と連結部材４との連結は、
例えばボルトによって行われる。The valve body 2 is formed of a plate-shaped member, and can open and close an opening 50 of an airtight chamber (not shown).
The opening 50 by tilting with respect to the O-ring 5.
2 can be sealed. In the present embodiment, a flat plate-shaped member is shown as the valve body 2. However, when the opening has a curved surface shape, it may be shaped accordingly. Further, as a material for forming the valve body 2, a material such as a metal material which does not generate particles as much as possible and does not emit gas or the like is desirable. The connection between the valve body 2 and the connection member 4 is as follows.
For example, by a bolt.
【００１４】弁ロッド６は、一端に連結部材４を介して
弁体２が固定され、取り付け部材８の挿入孔８ａから図
示しない気密室外に突出するように設けられているとと
もに、保持部材１４にＯリング１４ｂを介して直動可能
に保持されている。また、保持部材１４は軸１４ａを中
心に回転自在になっていることから、弁ロッド６も軸１
４ａを中心に傾斜可能となっている。弁ロッド６と連結
部材４との連結は、例えば溶接によって行われる。弁ロ
ッド６の形成材料としては、極力パーティクルを発生せ
ず、ガス等を放出しない金属材料等の材料が望ましい。The valve rod 6 has one end to which the valve body 2 is fixed via the connecting member 4, and is provided so as to protrude from an insertion hole 8 a of the mounting member 8 to the outside of an airtight chamber (not shown). It is movably held via an O-ring 14b. Since the holding member 14 is rotatable about the shaft 14a, the valve rod 6 is also rotatable about the shaft 1a.
4a can be tilted. The connection between the valve rod 6 and the connecting member 4 is performed by, for example, welding. As a material for forming the valve rod 6, a material such as a metal material which does not generate particles as much as possible and does not emit gas or the like is desirable.
【００１５】取り付け部材８は、例えばマルチチャンバ
構成の真空処理装置の搬送室等の内部を気密状態とする
ことが可能な気密室に取り付けられる。取り付け部材８
の形成材料としては、極力パーティクルを発生せず、ガ
ス等を放出しない金属材料等の材料が望ましい。The mounting member 8 is mounted, for example, in an airtight chamber capable of sealing the inside of a transfer chamber or the like of a multi-chamber vacuum processing apparatus. Mounting member 8
As a material for forming the above, a material such as a metal material which does not generate particles as much as possible and does not emit gas or the like is desirable.
【００１６】シールベローズ１０は、取り付け部材８の
挿入孔８ａと弁ロッド６との間をシーリングする部材で
あり、弁ロッド６の直動および傾動に伴って伸縮可能と
なっている。また、シールベローズ１０は、例えば、金
属材料から形成され、シールベローズ１０の一端部は、
取り付け部材８の挿入孔８ａの外周に気密状態を保っ
て、例えば溶接等の接合手段によって固定され、シール
ベローズ１０の他端部は、弁ロッド６に嵌合固定された
固定リング１２に、例えば溶接等の接合手段によって固
定されている。これにより、弁ロッド６が直動および傾
動しても、上記の気密室をシーリングすることができ、
外部からパーティクル等の汚染物質が侵入するのを防止
することができる。The seal bellows 10 is a member for sealing between the insertion hole 8a of the mounting member 8 and the valve rod 6, and is expandable and contractable as the valve rod 6 moves linearly and tilts. The seal bellows 10 is formed of, for example, a metal material, and one end of the seal bellows 10 is
The other end of the seal bellows 10 is fixed to the outer periphery of the insertion hole 8a of the attachment member 8 by a joining means such as welding while maintaining the airtight state. It is fixed by joining means such as welding. Thereby, even if the valve rod 6 moves linearly and tilts, the airtight chamber can be sealed,
It is possible to prevent contaminants such as particles from entering from outside.
【００１７】保持部材１４は、有底の円筒状の部材であ
り、有底部には弁ロッド６を挿入する挿入孔１４ｃが形
成され、外周には互いに対向する位置に軸１４ａがそれ
ぞれ形成されている。保持部材１４は、挿入孔１４ｃに
挿入された弁ロッド６をＯリング１４ｂを介して直動自
在に保持し、軸１４ａはエアシリンダ６０に回転自在に
支持されていることから弁ロッド６を傾斜可能に保持し
ている。また、保持部材１４は、円筒状の部材であるこ
とから、弁ロッド６の直動によって伸縮するシールベロ
ーズ１０を内部に収容可能となっている。The holding member 14 is a cylindrical member having a bottom. An insertion hole 14c into which the valve rod 6 is inserted is formed in the bottom, and shafts 14a are formed in the outer periphery at positions opposed to each other. I have. The holding member 14 holds the valve rod 6 inserted into the insertion hole 14c so as to be able to move linearly via an O-ring 14b. Since the shaft 14a is rotatably supported by the air cylinder 60, the valve rod 6 is inclined. Holding as possible. Further, since the holding member 14 is a cylindrical member, the seal bellows 10 which can be expanded and contracted by the direct movement of the valve rod 6 can be accommodated therein.
【００１８】ストッパ１８は、弁ロッド６の軸部に弁ロ
ッド６の外周に突出するように固定されたピン状の部材
である。弁ロッド６が、図２に示す開口部５０を閉じる
方向に直動した際に、保持部材１４の端面１４ｄに当接
することによって、弁ロッド６の移動を規制する。な
お、保持部材１４の端面１４ｄに直接ストッパ１８を当
接させるのではなく、保持部材１４の端面１４ｄに当接
用の溝部を形成してもよい。The stopper 18 is a pin-shaped member fixed to the shaft of the valve rod 6 so as to protrude from the outer periphery of the valve rod 6. When the valve rod 6 moves straight in the direction to close the opening 50 shown in FIG. 2, the movement of the valve rod 6 is regulated by contacting the end surface 14 d of the holding member 14. Instead of directly contacting the stopper 18 with the end surface 14d of the holding member 14, a groove for contact may be formed on the end surface 14d of the holding member 14.
【００１９】ローラ２４は、ばね部材２５によって弁ロ
ッド６の他端部の所定位置に回転自在に設けられてい
る。具体的には、図３（ａ）に示すように、弁ロッド６
の端部に形成された溝状のローラ保持部６ｂによってロ
ーラ２４の外周面の一部が摺動可能に保持されるよう
に、ローラ２４の両端部はばね部材２５によって回転自
在に支持されている。ばね部材２５の一端は、弁ロッド
６に形成された固定部６ａに固定されている。The roller 24 is rotatably provided at a predetermined position at the other end of the valve rod 6 by a spring member 25. Specifically, as shown in FIG.
Both ends of the roller 24 are rotatably supported by a spring member 25 so that a part of the outer peripheral surface of the roller 24 is slidably held by a groove-shaped roller holding portion 6b formed at the end of the roller 24. I have. One end of the spring member 25 is fixed to a fixing portion 6 a formed on the valve rod 6.
【００２０】ローラ受け部材２２は、ローラ２４が保持
された弁ロッド６の他端部に対向するように配置されて
いる。このローラ受け部材２２の先端部には、ローラ２
４を保持可能な第１保持部２２ａと、ローラが回転しな
がら係合可能な傾斜面２２ｂと、ローラ２４を保持可能
な第１保持部２２ｃとが連続して形成されている。第１
保持部２２ａは、溝状に形成されており、弁ロッド６が
開口部５０を開閉する方向に直動する際にローラ２４を
保持する。傾斜面２２ｂは、ローラ２４と係合すること
により弁ロッド６を軸１４ｂを中心に傾斜させることが
でき、この傾斜面２２ｂの弁ロッド６に対する傾斜角度
θは、例えば５度程度に形成される。第２保持部２２ｃ
は、ローラ２４の曲率と同じ曲率を持つＲ部からなり、
弁ロッド６が所定の角度まで傾斜するとローラ２４を保
持する。なお、ローラ２４はローラ受け部材２２の第１
保持部２２ａ、傾斜面２２ｂおよび第２保持部２２ｃと
接触するため、ローラ２４およびローラ受け部材２２の
形成材料としては、摩耗を防止するために、例えばＳＵ
Ｊ２等の比較的硬い金属材料を使用するのが望ましい。The roller receiving member 22 is disposed so as to face the other end of the valve rod 6 on which the roller 24 is held. A roller 2 is provided at the tip of the roller receiving member 22.
4, a first holding portion 22a capable of holding the roller 24, an inclined surface 22b capable of engaging the roller while rotating, and a first holding portion 22c capable of holding the roller 24 are formed continuously. First
The holding portion 22a is formed in a groove shape, and holds the roller 24 when the valve rod 6 moves linearly in a direction to open and close the opening 50. The inclined surface 22b can incline the valve rod 6 about the shaft 14b by engaging with the roller 24. The inclined angle θ of the inclined surface 22b with respect to the valve rod 6 is formed, for example, to about 5 degrees. . Second holding part 22c
Is composed of an R portion having the same curvature as the curvature of the roller 24,
When the valve rod 6 is tilted to a predetermined angle, the roller 24 is held. The roller 24 is a first member of the roller receiving member 22.
As a material for forming the roller 24 and the roller receiving member 22, for example, SU may be used in order to prevent abrasion because the holding portion 22 a comes into contact with the inclined surface 22 b and the second holding portion 22 c.
It is desirable to use a relatively hard metal material such as J2.
【００２１】上記したローラ２４を回転自在に支持する
ばね部材２５は、ローラ２４を支持すると同時に、他端
がローラ受け部材２２に形成された固定部２２ｄに固定
されている。これにより、弁ロッド６の端部とローラ受
け部材２２との相対位置がずれて、互いに対向しなくな
るのを防止することができる。The spring member 25 rotatably supporting the roller 24 supports the roller 24 and has the other end fixed to a fixing portion 22 d formed on the roller receiving member 22. Thereby, it is possible to prevent the relative position between the end portion of the valve rod 6 and the roller receiving member 22 from being shifted and not opposing each other.
【００２２】コイルばね２８は、対向する弁ロッド６の
端部とローラ受け部材２２との外周を囲むように、弁ロ
ッド６に固定された固定部材２６に形成された固定部２
６ａおよび連結板３０に形成された固定部３０ａに両端
部が固定されている。コイルばね２８の果たす役割とし
ては、ローラ２４の第１保持部２２ａからの保持状態の
解除を抑制するように弁ロッド６とローラ受け部材２２
とを連結している。すなわち、コイルばね２８は、第１
保持部２２ａにローラ２４を保持した状態でローラ受け
部材２２が直動した際に、第１保持部２２ａのローラ２
４の保持状態が容易に解除されるのを防止する役割を果
たす。The coil spring 28 surrounds the end of the opposing valve rod 6 and the outer periphery of the roller receiving member 22. The coil spring 28 is fixed to the fixing member 26 formed on the fixing member 26 fixed to the valve rod 6.
Both ends are fixed to a fixing portion 30a formed on 6a and the connecting plate 30. The role of the coil spring 28 is to prevent the release of the holding state of the roller 24 from the first holding portion 22a.
And are connected. That is, the coil spring 28
When the roller receiving member 22 linearly moves while the roller 24 is held by the holding portion 22a, the roller 2 of the first holding portion 22a
4 serves to prevent the holding state from being easily released.
【００２３】ここで、エアシリンダ６０の構造の一例を
図４に示す。図４に示すように、エアシリンダ６０一端
が連結板３０に固定されるピストンロッド２０と、ピス
トンロッド２０の他端に固定されたピストン７１と、ピ
ストン７１を内周面６２ａに摺動可能に収容するシリン
ダ６１とから基本的に構成されている。Here, an example of the structure of the air cylinder 60 is shown in FIG. As shown in FIG. 4, a piston rod 20 having one end fixed to the connecting plate 30, a piston 71 fixed to the other end of the piston rod 20, and the piston 71 slidable on the inner peripheral surface 62 a. It basically comprises a cylinder 61 to be accommodated.
【００２４】ピストンロッド２０の一端軸部には、後述
する連結板３０との連結のための雌ねじ部２０ａが形成
され、他端軸部２０ｂにはピストン７１を固定するため
の雄ねじ部２０ｃが形成されている。この雄ねじ部２０
ｃにピストン７１が螺合固定されているが、他端軸部２
０ｂはピストン７１の先端面から突出するようになって
いる。他端軸部２０ｂのピストン７１の先端面から突出
した部分に軸受カラー７７が螺合固定され、これが本発
明の支持用軸として作用する。軸受カラー７７の先端部
は、所定の曲率を持つＲ形状に形成されているが、これ
は後述するブシュ８０への嵌合挿入を容易にするためで
ある。A female screw portion 20a for connecting to a connecting plate 30 described later is formed on one end shaft portion of the piston rod 20, and a male screw portion 20c for fixing the piston 71 is formed on the other end shaft portion 20b. Have been. This male screw part 20
c, the piston 71 is screwed and fixed.
Ob protrudes from the distal end surface of the piston 71. A bearing collar 77 is screwed and fixed to a portion of the other end shaft portion 20b protruding from the front end surface of the piston 71, and this functions as a support shaft of the present invention. The distal end of the bearing collar 77 is formed in an R shape having a predetermined curvature, for the purpose of facilitating fitting insertion into a bush 80 described later.
【００２５】また、ピストンロッド２０の軸部には、ピ
ストン７１の端面と接してクッションラバー７６が固定
されている。このクッションラバー７６は、ピストン７
１とシリンダ６１との端面が直接衝突して摩耗する等の
不具合の発生を防ぐために設けられている。なお、ピス
トンロッド２０の形成材料としては、特に限定されない
が、例えば炭素鋼等の比較的強度の高い材料を用いるこ
とができ、軸受カラー７７の形成材料としては、例え
ば、青銅やりん青銅等のなじみ性が良く、耐疲労性、耐
摩耗性、耐摩耗性、展延性等に優れた材料を用いること
ができる。A cushion rubber 76 is fixed to the shaft of the piston rod 20 in contact with the end surface of the piston 71. This cushion rubber 76 is
It is provided in order to prevent the occurrence of problems such as wear due to direct collision of the end surfaces of the cylinder 1 and the cylinder 61. The material for forming the piston rod 20 is not particularly limited. For example, a material having relatively high strength such as carbon steel can be used, and the material for forming the bearing collar 77 is, for example, bronze or phosphor bronze. A material having good conformability and excellent in fatigue resistance, wear resistance, wear resistance, spreadability, and the like can be used.
【００２６】ピストン７１は、上記したように、ピスト
ンロッド２０の他端軸部２０ｂに螺合固定されている。
また、外周には、ピストンシール７２およびウェアリン
グ７３が設けられており、ピストンシール７２によって
シリンダボディ６２の内周面６２ａとの間がシーリング
がされ、ウェアリング７３によってピストン７１とシリ
ンダボディ６２の内周面６２ａとの間の摺動による摩耗
等が抑制される。As described above, the piston 71 is screwed and fixed to the other end shaft portion 20b of the piston rod 20.
In addition, a piston seal 72 and a wear ring 73 are provided on the outer periphery, and the piston seal 72 seals between the inner peripheral surface 62a of the cylinder body 62, and the wear ring 73 forms a seal between the piston 71 and the cylinder body 62. Wear due to sliding between the inner peripheral surface 62a and the like is suppressed.
【００２７】シリンダ６１は、筒状部材であるシリンダ
ボディ６２およびヘッドカバー６３によって構成されて
いる。シリンダボディ６２の一端側には、ピストンロッ
ド２０を挿入する挿入用孔６２ｄが形成されており、こ
の挿入用孔６２ｄとピストンロッド２０との間には、ブ
シュ７４およびロッドシール７５が設けられている。ブ
シュ７４は、シリンダボディ６２の挿入用孔６２ｄとピ
ストンロッド２０との当接による摩耗等を防止し、ロッ
ドシール７５は、ピストンロッド２０を移動可能に挿入
用孔６２ｄとピストンロッド２０との間をシーリングす
る。また、シリンダボディ６２の一端側には、圧縮空気
Ｆの出入を行う流路６２ｂが形成されている。なお、シ
リンダボディ６２の形成材料としては、特に限定されな
いが、例えば、炭素鋼等の比較的強度の高い材料を用い
ることができる。また、ブシュ７４の形成材料も、特に
限定されないが、例えば、銅合金や青銅等の耐疲労性、
耐摩耗性、耐摩耗性、展延性等に優れた材料を用いるこ
とができる。The cylinder 61 comprises a cylinder body 62 which is a cylindrical member and a head cover 63. An insertion hole 62d for inserting the piston rod 20 is formed on one end side of the cylinder body 62. A bush 74 and a rod seal 75 are provided between the insertion hole 62d and the piston rod 20. I have. The bush 74 prevents wear or the like caused by the contact between the insertion hole 62d of the cylinder body 62 and the piston rod 20, and the rod seal 75 allows the piston rod 20 to move between the insertion hole 62d and the piston rod 20. Sealing. On one end side of the cylinder body 62, a flow path 62b through which the compressed air F flows is formed. The material for forming the cylinder body 62 is not particularly limited. For example, a material having relatively high strength such as carbon steel can be used. Also, the material for forming the bush 74 is not particularly limited. For example, fatigue resistance of a copper alloy, bronze, or the like,
A material excellent in wear resistance, wear resistance, spreadability, and the like can be used.
【００２８】ヘッドカバー６３は、上記のシリンダボデ
ィ６２の他端側の開口部に嵌合挿入され、シリンダボデ
ィ６２とヘッドカバー６３との間はＯリング６４によっ
てシーリングされている。ヘッドカバー６３のシリンダ
ボディ６２への固定は、シリンダボディ６２の他端部内
周に形成された溝に止め輪６５を装着することによって
行われている。シリンダボディ６２の他端側には、圧縮
空気Ｆの出入を行う流路６２ｃが形成されている。ま
た、ヘッドカバー６３には、軸受カラー７７が外周に螺
合されたピストンロッド２０の他端軸部２０ｂを支持す
るための支持用穴６３ａが形成されており、この支持用
穴６３ａにはブシュ８０が嵌め込まれている。このブシ
ュ８０に上記の軸受カラー７７が嵌合挿入可能となって
いる。なお、ヘッドカバー６３の形成材料としては、特
に限定されないが、例えばシリンダボディ６２の形成材
料と同様の材料を用いることができ、ブシュ８０の形成
材料としては、例えば銅合金やりん青銅等の耐疲労性、
耐摩耗性、耐摩耗性、展延性等に優れた材料を用いるこ
とができる。The head cover 63 is fitted and inserted into the opening at the other end of the cylinder body 62, and the space between the cylinder body 62 and the head cover 63 is sealed by an O-ring 64. The head cover 63 is fixed to the cylinder body 62 by attaching a retaining ring 65 to a groove formed on the inner periphery of the other end of the cylinder body 62. On the other end side of the cylinder body 62, a flow path 62c through which the compressed air F flows in and out is formed. The head cover 63 is provided with a support hole 63a for supporting the other end shaft portion 20b of the piston rod 20 in which the bearing collar 77 is screwed to the outer periphery. Is fitted. The bearing collar 77 can be fitted and inserted into the bush 80. The material for forming the head cover 63 is not particularly limited. For example, the same material as the material for forming the cylinder body 62 can be used. As the material for forming the bush 80, for example, a fatigue resistant material such as a copper alloy or phosphor bronze is used. sex,
A material excellent in wear resistance, wear resistance, spreadability, and the like can be used.
【００２９】上記のように構成されるエアシリンダ６０
は、シリンダ６１に形成された２つの圧縮空気Ｆの流路
６２ｂおよび６２ｃから圧縮空気を適宜供給排出するこ
とにより、ピストン７１が直線方向に駆動され、その結
果、ピストンロッド２０が直動する。また、流路６２ｂ
および６２ｃへの圧縮空気Ｆの供給は、例えば、エアコ
ンプレッサ等の一のエア供給源に接続されており、エア
供給源に設けられた切換バルブによっって流路６２ｂお
よび６２ｃへの圧縮空気Ｆの供給を選択的に切り換え
る。上記の切換バルブの選択的な切換動作によって、ピ
ストンロッド２０の往復動が行われる。The air cylinder 60 constructed as described above
By appropriately supplying and discharging compressed air from two compressed air F channels 62b and 62c formed in the cylinder 61, the piston 71 is driven in a linear direction, and as a result, the piston rod 20 moves linearly. The flow path 62b
The compressed air F is supplied to one of the air supply sources such as an air compressor, and the compressed air is supplied to the flow paths 62b and 62c by a switching valve provided in the air supply source. The supply of F is selectively switched. The reciprocating motion of the piston rod 20 is performed by the selective switching operation of the switching valve.
【００３０】次に、上記のゲートバルブ１の動作につい
て説明する。図１および図２に示したゲートバルブ１の
状態は、開口部５０を開いた状態であるが、エアシリン
ダ６０を駆動して、ローラ受け部材２２を開口部５０を
閉じる方向に直動させる。Next, the operation of the gate valve 1 will be described. Although the state of the gate valve 1 shown in FIGS. 1 and 2 is a state in which the opening 50 is opened, the air cylinder 60 is driven to move the roller receiving member 22 directly in a direction in which the opening 50 is closed.
【００３１】ローラ受け部材２２の開口部５０を閉じる
方向への直動は、図４に示すエアシリンダ６０の状態に
おいて、圧縮空気Ｆの流路６２ｂから圧縮空気を供給
し、ピストン７１の移動にともなって圧縮空気Ｆの流路
６２ｃから空気を外部に放出することによって行う。The linear movement of the roller receiving member 22 in the direction of closing the opening 50 is performed by supplying compressed air from the flow path 62 b of the compressed air F in the state of the air cylinder 60 shown in FIG. This is performed by discharging air from the flow path 62c of the compressed air F to the outside.
【００３２】上記のようなエアシリンダ６０の駆動によ
って、ローラ受け部材２２は、図３（ａ）に示す第１保
持部２２ａでローラ２４を保持した状態で、弁ロッド６
を直動させる。このとき、ローラ受け部材２２を高速で
移動させたような場合に、上記コイルばね２８およびば
ね部材２５の復元力によって、第１保持部２２ａのロー
ラ２４の保持状態は保たれ、解除されることはない。ま
た、ローラ受け部材２２からローラ２４への推進力は、
摩擦力等によってではなく直接第１保持部２２ａから伝
達されるため、ローラ受け部材２２を高速に移動するこ
とができる。By driving the air cylinder 60 as described above, the roller receiving member 22 holds the roller 24 with the first holding portion 22a shown in FIG.
Linearly. At this time, when the roller receiving member 22 is moved at a high speed, the holding state of the roller 24 of the first holding portion 22a is maintained and released by the restoring force of the coil spring 28 and the spring member 25. There is no. Further, the driving force from the roller receiving member 22 to the roller 24 is
Since the power is transmitted directly from the first holding portion 22a, not by a frictional force or the like, the roller receiving member 22 can be moved at a high speed.
【００３３】ローラ受け部材２２が移動して、弁ロッド
６が所定の位置に到達すると、図５および図６に示すよ
うに、上記したストッパ１８が保持部材１４の端面１４
ｄに当接し、弁ロッド６の移動が規制されるとともに、
弁体２が開口部５０を閉じた状態になる。When the roller receiving member 22 moves and the valve rod 6 reaches a predetermined position, as shown in FIGS. 5 and 6, the stopper 18 is moved to the end surface 14 of the holding member 14.
d, and the movement of the valve rod 6 is regulated.
The valve element 2 is in a state where the opening 50 is closed.
【００３４】このとき、エアシリンダ６０は、図７に示
すように、軸受カラー７７の一部がシリンダ６１のヘッ
ドカバー６３の支持用穴６３ａに嵌め込まれたブシュ８
０に嵌合挿入された状態となる。At this time, as shown in FIG. 7, the air cylinder 60 has a bush 8 in which a part of the bearing collar 77 is fitted into the support hole 63a of the head cover 63 of the cylinder 61.
0 is inserted and inserted.
【００３５】図７に示すエアシリンダ６０の状態からさ
らに、ピストン７１がブシュ８０の方向に移動して、ロ
ーラ受け部材２２が直動すると、弁ロッド６は移動せず
ローラ受け部材２２のみが移動して、図３（ｂ）に示す
ように、第１保持部２２ａにローラ２４を保持した状態
が解除される。ローラ２４は、図３（ｂ）に示す矢印方
向に回転しながら、傾斜面２２ｂ上を転がる。これによ
り、弁ロッド６が保持部材１４の軸１４ａを中心に傾斜
する。このとき、ローラ２４は、ローラ受け部材２２に
対して摺動するのではなく転がるため、ローラ２４とロ
ーラ受け部材２２との間の摩耗の発生が極力抑制され
る。When the piston 71 further moves in the direction of the bush 80 from the state of the air cylinder 60 shown in FIG. 7 and the roller receiving member 22 moves directly, the valve rod 6 does not move and only the roller receiving member 22 moves. Then, as shown in FIG. 3B, the state in which the first holding unit 22a holds the roller 24 is released. The roller 24 rolls on the inclined surface 22b while rotating in the direction of the arrow shown in FIG. As a result, the valve rod 6 is tilted about the axis 14a of the holding member 14. At this time, since the roller 24 rolls instead of sliding with respect to the roller receiving member 22, the occurrence of wear between the roller 24 and the roller receiving member 22 is suppressed as much as possible.
【００３６】ローラ２４がローラ受け部材２２の傾斜面
２２ｂ上を転がると、弁ロッド６が傾斜し、図８に示す
ように、弁体２が開口部５０の外周に設けられたＯリン
グ５２を押圧し、押しつぶす。このとき、エアシリンダ
６０によるローラ受け部材２２の直動力は、傾斜面２２
ｂのくさび効果によって増幅され、弁体２のＯリング５
２を押圧する力は当該直動力の、例えば１０倍程度とな
る。これにより、弁体２がＯリング５２を十分に押圧す
ることができ、開口部５０の密封が良好に行われること
になる。図３（ｃ）に示すように、ばね部材２５は、そ
の復元力に抗して弾性変形し、また、図８に示すよう
に、コイルばね２８も同様に弾性変形する。When the roller 24 rolls on the inclined surface 22b of the roller receiving member 22, the valve rod 6 is inclined, and as shown in FIG. Press and crush. At this time, the direct power of the roller receiving member 22 by the air cylinder 60 is
b is amplified by the wedge effect, and the O-ring 5 of the valve body 2
2 is, for example, about 10 times the direct power. As a result, the valve body 2 can sufficiently press the O-ring 52, and the opening 50 is sealed well. As shown in FIG. 3 (c), the spring member 25 is elastically deformed against its restoring force, and as shown in FIG. 8, the coil spring 28 is also elastically deformed.
【００３７】一方、弁ロッド６が保持部材の軸１４ａを
中心に傾斜を開始すると、ローラ受け部材２２には、弁
ロッド６から反力としてモーメントが作用することにな
る。すなわち、弁ロッド６の傾斜角度に応じて増大する
モーメントがローラ受け部材２２に作用し、このモーメ
ントはローラ受け部材２２から連結板３０を通じてピス
トンロッド２０に作用する。本実施形態では、ピストン
ロッド２０に作用するモーメントは、弁ロッド６の傾斜
角度に応じて増大し、開口部５０の密封を良好に行うた
めには、例えば数十ｋｇｆ・ｍ程度の大きなモーメント
が作用することになる。On the other hand, when the valve rod 6 starts to tilt about the shaft 14a of the holding member, a moment acts on the roller receiving member 22 from the valve rod 6 as a reaction force. That is, a moment that increases according to the inclination angle of the valve rod 6 acts on the roller receiving member 22, and this moment acts on the piston rod 20 from the roller receiving member 22 through the connecting plate 30. In the present embodiment, the moment acting on the piston rod 20 increases according to the inclination angle of the valve rod 6, and in order to seal the opening 50 well, a large moment of, for example, about several tens kgf · m is required. Will work.
【００３８】本実施形態に係るエアシリンダ６０におい
ては、弁ロッド６の傾斜開始時点、すなわち、ピストン
ロッド２０にモーメントが印加された時点で、上記した
ように、ピストンロッド２０の他端軸部２０ｂに螺合さ
れた軸受カラー７７がシリンダ６１のヘッドカバー６３
に形成された支持用穴６３ａに嵌め込まれたブシュ８０
に嵌合挿入された状態となっている。したがって、ピス
トンロッド２０の他端軸部２０ｂは、ブシュ８０を介し
て支持用穴６３ａによって支持されているため、ピスト
ンロッド２０に大きなモーメントが印加されても、ピス
トンロッド２０は傾斜することなく強固に支持される。
このため、エアシリンダ６０の構成部品が摩耗や疲労す
るのを防止でき、エアシリンダ６０の耐久性を向上させ
ることができる。また、軸受カラー７７とブシュ８０と
の当接によって、これらの部材が摩耗等した場合には、
これらの部材のみを交換すればよいだけであり、メイン
テナンスが非常に容易となる。さらに、ピストンロッド
２０は傾斜することなく強固に支持されるため、弁ロッ
ド６の傾斜に必要な十分な力を発生させることができ
る。In the air cylinder 60 according to the present embodiment, when the valve rod 6 starts tilting, that is, when a moment is applied to the piston rod 20, as described above, the other end shaft portion 20b of the piston rod 20 The bearing collar 77 screwed to the head cover 63 of the cylinder 61
Bush 80 fitted in the support hole 63a formed in
In a state of being fitted and inserted. Therefore, since the other end shaft portion 20b of the piston rod 20 is supported by the supporting hole 63a via the bush 80, even if a large moment is applied to the piston rod 20, the piston rod 20 is firmly held without tilting. Supported by
Therefore, the components of the air cylinder 60 can be prevented from being worn or fatigued, and the durability of the air cylinder 60 can be improved. When these members are worn due to the contact between the bearing collar 77 and the bush 80,
It is only necessary to replace these members, and maintenance becomes very easy. Further, since the piston rod 20 is firmly supported without tilting, a sufficient force necessary for tilting the valve rod 6 can be generated.
【００３９】ローラ受け部材２２のさらなる直動によっ
て、弁ロッド６が所定の角度傾斜すると、図３（ｃ）に
示すように、ローラ２４はローラ受け部材２２の第２保
持部２２ｃに保持された状態となる。これにより、開口
部５０の弁体による密封動作が完了する。ローラ２４が
第２の保持部２２ｃによって保持されることにより、ロ
ーラ２４が移動せず、開口部５０の密封状態を安定して
保つことができる。When the valve rod 6 is tilted by a predetermined angle due to the further linear movement of the roller receiving member 22, the roller 24 is held by the second holding portion 22c of the roller receiving member 22, as shown in FIG. State. Thereby, the sealing operation of the opening 50 by the valve body is completed. Since the roller 24 is held by the second holding portion 22c, the roller 24 does not move, and the sealed state of the opening 50 can be stably maintained.
【００４０】このとき、エアシリンダ６０は、図８に示
すように、ピストン７１の先端面がヘッドカバー６３の
端面に当接し、軸受カラー７７が全てブシュ８０に嵌合
挿入された状態となる。At this time, as shown in FIG. 8, the air cylinder 60 is in a state in which the distal end surface of the piston 71 abuts against the end surface of the head cover 63, and all the bearing collars 77 are fitted and inserted into the bush 80.
【００４１】開口部５０を開く動作は、図９に示すエア
シリンダ６０の状態から、シリンダ６１の圧縮空気Ｆの
流路６２ｃから圧縮空気を供給し、流路６２ｂから排出
することにより、ローラ受け部材２２を開口部５０を開
く方向に直動させる。このとき、ローラ２４は第２の保
持部２２ｃによって保持された状態から、ばね部材２５
およびコイルばねの復元力によって、傾斜面２２ｂを転
がって再度第１保持部に保持され、弁ロッド６は直立す
る。The operation of opening the opening 50 is performed by supplying compressed air from the flow path 62c of the compressed air F of the cylinder 61 and discharging the compressed air from the flow path 62b from the state of the air cylinder 60 shown in FIG. The member 22 is moved linearly in a direction to open the opening 50. At this time, the roller 24 is moved from the state held by the second holding portion 22c to the spring member 25.
And, by the restoring force of the coil spring, it rolls on the inclined surface 22b and is again held by the first holding portion, and the valve rod 6 stands upright.
【００４２】以上のように、本実施形態に係るゲートバ
ルブによれば、ローラ受け部材２２の第１保持部２２ａ
によってローラ２４を保持した状態で、弁ロッド６を直
動させることができるため、弁ロッド６を確実に直動運
動させることができ動作の信頼性が高いとともに、弁ロ
ッド６の高速移動が可能になる。このため、弁体２によ
り開口部５０の開閉動作を高速化することができる。ま
た、本実施形態に係るゲートバルブによれば、ローラ受
け部材２２の第１保持部２２ａと傾斜面２２ｂと第２保
持部２２ｃとが連続して形成されているため、弁ロッド
６の直動運動から傾動運動への移行がスムーズである。
また、本実施形態に係るゲートバルブによれば、ローラ
２４はローラ受け部材２２の第１保持部２２ａ、傾斜面
２２ｂおよび第２保持部２２ｃ上を転がりながら移動す
るため、摺動摩擦がなく、摩耗によるパーティクルの発
生を極力抑えることができるとともに、摩耗によるゲー
トバルブの寿命の短縮化を防止することができる。さら
に、弁ロッド６の直動および傾動をローラ２４を介して
ピストンシリンダによって直動されるローラ受け部材２
２によって行うことができるためゲートバルブ１の構造
が非常に簡素化される。As described above, according to the gate valve of this embodiment, the first holding portion 22a of the roller receiving member 22 is provided.
The valve rod 6 can be moved linearly while the roller 24 is held, so that the valve rod 6 can be moved linearly with high reliability, and the valve rod 6 can be moved at high speed. become. For this reason, the opening and closing operation of the opening 50 can be accelerated by the valve element 2. Further, according to the gate valve according to the present embodiment, since the first holding portion 22a, the inclined surface 22b, and the second holding portion 22c of the roller receiving member 22 are formed continuously, the linear movement of the valve rod 6 is achieved. The transition from exercise to tilting exercise is smooth.
Further, according to the gate valve according to the present embodiment, since the roller 24 moves while rolling on the first holding portion 22a, the inclined surface 22b, and the second holding portion 22c of the roller receiving member 22, there is no sliding friction and wear. The generation of particles due to the wear can be suppressed as much as possible, and shortening of the life of the gate valve due to wear can be prevented. Further, the roller receiving member 2 which is directly moved by the piston cylinder via the roller 24 for the linear movement and the tilting of the valve rod 6.
2, the structure of the gate valve 1 is greatly simplified.
【００４３】第２実施形態 図１０は、本発明に係るゲートバルブの第２実施形態を
示す断面図である。通常、液晶パネルの製造工程におい
ては、上記したようなマルチチャンバが使用され、液晶
パネルを水平状態に保持してマルチチャンバ内を搬送す
ると、液晶パネルを構成するガラス板が撓むため、液晶
パネルの製造上不具合となる場合がある。このため、上
記の撓みを防ぐため、例えば、液晶パネルを垂直方向に
保持してマルチチャンバ内を搬送する方法が知られてい
る。 Second Embodiment FIG. 10 is a sectional view showing a second embodiment of the gate valve according to the present invention. Usually, in the manufacturing process of a liquid crystal panel, a multi-chamber as described above is used. When the liquid crystal panel is held in a horizontal state and transported in the multi-chamber, the glass plate constituting the liquid crystal panel is bent. May cause manufacturing problems. For this reason, in order to prevent the above-described bending, for example, there is known a method of transporting the liquid crystal panel in a multi-chamber while holding the liquid crystal panel in a vertical direction.
【００４４】液晶パネルを垂直方向に保持してマルチチ
ャンバ内を搬送する場合、マルチチャンバ内のゲートは
縦長のゲートである必要がある。このような縦長のゲー
トを開閉および密封するゲートバルブは、水平方向に配
置され、弁体２を水平方向に駆動する必要がある。図１
０に示すゲートバルブ３０１は、上記したような縦長の
ゲートを開閉および密封するのに適したゲートバルブで
ある。すなわち、水平方向に配置され、弁体２を水平方
向に駆動するのに適したゲートバルブである。When the liquid crystal panel is held in the vertical direction and transported in the multi-chamber, the gate in the multi-chamber must be a vertically long gate. A gate valve that opens and closes and seals such a vertically long gate is disposed in a horizontal direction, and it is necessary to drive the valve body 2 in a horizontal direction. FIG.
A gate valve 301 indicated by reference numeral 0 is a gate valve suitable for opening and closing and sealing a vertically long gate as described above. That is, the gate valve is arranged in the horizontal direction and is suitable for driving the valve body 2 in the horizontal direction.
【００４５】以下、図１０に示すゲートバルブ３０１に
ついて説明する。なお、第１実施形態において説明した
ゲートバルブ１とゲートバルブ３０１とは、同一構成部
分は同一符号で示されている。図１０において、水平配
置されたゲートバルブ３０１は、弁体２と、弁ロッド６
と、取り付け部材８と、シールベローズ１０と、エアシ
リンダ６０と、弁ロッド６の下端部が固定され、弁ロッ
ド６を直動および傾動自在に保持するハウジング部材４
１と、ハウジング部材４１の下端部に回転自在に設けら
れたローラ２４と、ハウジング部材４１の下端部に対向
配置されたローラ受け部材２２と、ローラ受け部材２２
とピストンロッド２０とを連結する連結板３０と、ハウ
ジング部材４１の下端部および連結板３０とを連結して
いるコイルばね２８と、ハウジング部材４１および連結
板３０をそれぞれ保持する第１および第２の移動ブロッ
ク４３および４４と、第１および第２の移動ブロック４
３，４４が移動自在に設けられ、下側のエアシリンダ６
０の側面に設けられたレール４２とから基本的に構成さ
れている。Hereinafter, the gate valve 301 shown in FIG. 10 will be described. The same components of the gate valve 1 and the gate valve 301 described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. In FIG. 10, the gate valve 301 disposed horizontally includes a valve body 2 and a valve rod 6.
A housing member 4 to which the lower end of the valve rod 6 is fixed, and the valve rod 6 is linearly and tiltably movable.
1, a roller 24 rotatably provided at the lower end of the housing member 41, a roller receiving member 22 disposed opposite to the lower end of the housing member 41, and a roller receiving member 22.
Connecting plate 30 for connecting the housing member 41 and the connecting plate 30, a coil spring 28 connecting the lower end of the housing member 41 and the connecting plate 30, and first and second holding members for the housing member 41 and the connecting plate 30, respectively. Moving blocks 43 and 44 and first and second moving blocks 4
3 and 44 are provided movably, and the lower air cylinder 6
And a rail 42 provided on the side surface of the zero.
【００４６】ハウジング部材４１は、弁ロッド６の下端
部が挿入固定される挿入穴４１ｃが形成されており、ま
た、下端部４１ｄは上記したローラ２４を保持してお
り、図３に示した弁ロッド６の端部と同様の構造となっ
ている。ハウジング部材４１の有底部には、固定部４１
ｅが形成されており、コイルばね２８は、ハウジング部
材４１の下端部とローラ受け部材２２との外周を囲むよ
うに、および連結板３０に形成された固定部３０ａに両
端部が固定されている。The housing member 41 has an insertion hole 41c into which the lower end of the valve rod 6 is inserted and fixed, and the lower end 41d holds the roller 24 described above. It has the same structure as the end of the rod 6. A fixing portion 41 is provided on the bottomed portion of the housing member 41.
e is formed, and both ends of the coil spring 28 are fixed so as to surround the lower end of the housing member 41 and the outer periphery of the roller receiving member 22 and to a fixing portion 30 a formed on the connecting plate 30. .
【００４７】ハウジング部材４１の側部には軸部４１ａ
および４１ｂが形成されており、軸部４１ｂは軸受４８
を介して移動部材４９によって回転自在に保持されてい
る。この移動部材４９は、上側のエアシリンダ６０の側
部に直動方向に沿って形成された溝部６０ａを移動自在
となっている。ハウジング部材４１の軸部４１ｂは、軸
受４７を介して摺動部材４６によって回転自在に保持さ
れている。これにより、ハウジング部材４１は傾動可能
になっており、ハウジング部材４１の傾動によって弁ロ
ッド６が傾動することになる。A shaft 41a is provided on the side of the housing member 41.
And 41b are formed, and the shaft portion 41b is
And is rotatably held by the moving member 49 via the. The moving member 49 is movable in a groove 60 a formed along the direction of linear movement on the side of the upper air cylinder 60. The shaft portion 41b of the housing member 41 is rotatably held by a sliding member 46 via a bearing 47. Thereby, the housing member 41 can be tilted, and the tilting of the housing member 41 causes the valve rod 6 to tilt.
【００４８】摺動部材４６は、摺動面４６ａでハウジン
グ部材４１の側面を保持するようハウジング部材４１の
側面と当接している。摺動部材４６の摺動面４６ａは、
ハウジング部材４１が軸部４１ａおよび４１ｂを中心と
して傾動した際には、ハウジング部材４１の側面が摺動
する。ハウジング部材の傾斜角度は、例えば１度程度で
あり、ハウジング部材４１の側面と摺動部材４６の摺動
面４６ａとの摺動距離は最大２〜３ｍｍである。摺動部
材４６は、第１の移動ブロック４３に、例えばボルト等
の締結手段によって固定されており、摺動部材４６に回
転自在に保持されたハウジング部材４１やピストンロッ
ド６、弁体２等の荷重は主に第１の移動ブロック４３上
にかかることになる。The sliding member 46 is in contact with the side surface of the housing member 41 so that the sliding surface 46a holds the side surface of the housing member 41. The sliding surface 46a of the sliding member 46 is
When the housing member 41 is tilted about the shaft portions 41a and 41b, the side surface of the housing member 41 slides. The inclination angle of the housing member is, for example, about 1 degree, and the sliding distance between the side surface of the housing member 41 and the sliding surface 46a of the sliding member 46 is a maximum of 2-3 mm. The sliding member 46 is fixed to the first moving block 43 by a fastening means such as a bolt, for example, and includes the housing member 41, the piston rod 6, and the valve body 2, which are rotatably held by the sliding member 46. The load mainly acts on the first moving block 43.
【００４９】摺動部材４６には、摺動面４６ａに潤滑作
用があり、低摩耗性の部材を使用する。例えば、金属部
材に固体潤滑剤を埋め込んだものや、金属部材にＰＴＦ
Ｅ（四フッ化エチレン樹脂）をベースとして潤滑材を混
ぜたもの等を使用することができる。As the sliding member 46, a member having a lubricating effect on the sliding surface 46a and having low wear is used. For example, a metal member with a solid lubricant embedded therein, or a metal member with PTF
A mixture of a lubricant based on E (ethylene tetrafluoride resin) and the like can be used.
【００５０】第１の移動ブロック４３は、エアシリンダ
６０の側面に直動方向に沿って固定された一本のレール
４２上を図示しない軸受機構によって移動可能に保持さ
れている。また、レール４２上には、第２の移動ブロッ
ク４４が図示しない軸受機構によって移動可能に保持さ
れており、第２の移動ブロック４４は第１の移動ブロッ
ク４３とは独立にレール４２上を移動可能となってい
る。The first moving block 43 is movably held on a single rail 42 fixed to the side surface of the air cylinder 60 in the direction of linear movement by a bearing mechanism (not shown). On the rail 42, a second moving block 44 is movably held by a bearing mechanism (not shown), and the second moving block 44 moves on the rail 42 independently of the first moving block 43. It is possible.
【００５１】第２の移動ブロック４４上には、Ｌ型部材
４５が例えばボルト等の締結手段によって固定されてお
り、このＬ型部材４５は、上記した連結板３０に例えば
ボルト等の締結手段によって固定されている。これによ
り、第２の移動ブロック４４と連結板３０とは連結さ
れ、連結板３０およびこれに連結された部材の荷重が第
２の移動ブロック４４にかかることになる。An L-shaped member 45 is fixed on the second moving block 44 by, for example, a fastening means such as a bolt. The L-shaped member 45 is fixed to the connecting plate 30 by a fastening means such as a bolt. Fixed. Thus, the second moving block 44 and the connecting plate 30 are connected, and the load of the connecting plate 30 and the members connected thereto is applied to the second moving block 44.
【００５２】次に、図１０に示すゲートバルブ３０１の
動作について説明する。なお、ゲートバルブ３０１の傾
動動作は、第１実施形態のゲートバルブ１と同様であ
る。図１０に示す状態から、エアシリンダ６０を駆動す
ると、弁体２、弁ロッド６、ハウジング部材４１等の荷
重を支える第１の移動ブロック４３および連結板３０等
からかかる荷重を支える第２の移動ブロック４４は、レ
ール４２上を移動する。弁体２がゲートを閉じる位置ま
で到達すると、図１１に示すように、上記した移動部材
４９および摺動部材４６の一端面が、エアシリンダ６０
の側部の所定の位置に設けられたストッパ４８および５
３にそれぞれ当接する。これにより、ハウジング部材４
１の移動は停止する。Next, the operation of the gate valve 301 shown in FIG. 10 will be described. The tilting operation of the gate valve 301 is the same as that of the gate valve 1 of the first embodiment. When the air cylinder 60 is driven from the state shown in FIG. 10, when the air cylinder 60 is driven, the first moving block 43 that supports the load of the valve body 2, the valve rod 6, the housing member 41, and the like, and the second movement that supports the load applied from the connecting plate 30 and the like. The block 44 moves on the rail 42. When the valve body 2 reaches the position to close the gate, one end surfaces of the moving member 49 and the sliding member 46 are connected to the air cylinder 60 as shown in FIG.
Stoppers 48 and 5 provided at predetermined positions on the side portions of
3 respectively. Thereby, the housing member 4
The movement of 1 stops.
【００５３】さらに、エアシリンダ６０を駆動すること
により、第２の移動ブロック４４のみが移動し、第１実
施形態において説明したと同様の作用によって、ハウジ
ング部材４１がローラ２４を介してローラ受け部材２２
によって押圧され、軸部４１ａ，４１ｂを中心として傾
動する。ハウジング部材４１が傾動すると、ハウジング
部材４１の側面は、摺動部材４６の摺動面４６ａに対し
て摺動する。このとき、摺動部材４６の摺動面４６ａ
は、上記したように潤滑作用があるため、ハウジング部
材４１の側面は摺動部材４６の摺動面４６ａに対してス
ムースに移動する。このため、弁ロッド６の傾動がスム
ースに行われる。また、摺動部材４６の摺動面４６ａに
は、ハウジング部材４１を通じてかなりの荷重かかる
が、上記したように、摺動部材４６の摺動面４６ａには
低摩耗性の部材を使用しているため、ハウジング部材４
１のの側面が対して繰り返し摺動しても摩耗を極力抑え
ることができ、耐久性が向上する。Further, by driving the air cylinder 60, only the second moving block 44 moves, and the housing member 41 is moved by the roller receiving member via the roller 24 by the same operation as described in the first embodiment. 22
And tilted around the shaft portions 41a and 41b. When the housing member 41 tilts, the side surface of the housing member 41 slides on the sliding surface 46 a of the sliding member 46. At this time, the sliding surface 46a of the sliding member 46
Has a lubricating action as described above, so that the side surface of the housing member 41 moves smoothly with respect to the sliding surface 46a of the sliding member 46. Therefore, the tilting of the valve rod 6 is performed smoothly. Although a considerable load is applied to the sliding surface 46a of the sliding member 46 through the housing member 41, as described above, a low wear member is used for the sliding surface 46a of the sliding member 46. Therefore, the housing member 4
Even if the side surface of the first member slides repeatedly, abrasion can be suppressed as much as possible, and the durability is improved.
【００５４】以上のように、第２実施形態に係るゲート
バルブ３０１によれば、第１実施形態に係るゲートバル
ブ１の奏する効果に加えて、水平方向に配置して使用し
た場合に、弁体２の開閉動作および傾動動作をスムース
に行うことができる。また、ハウジング部材４１が摺動
部材４６によって傾動可能に保持されており、傾動の際
に生じる摩耗を極力抑えることができ、耐久性の向上し
た水平配置型のゲートバルブが得られる。また、一本の
レール４２上に独立に移動自在に配置された第１および
第２の移動ブロック４３，４４によって連結板３０、弁
ロッド６等の可動部分を支持することができるため、ゲ
ートバルブをコンパクトにすることができる。As described above, according to the gate valve 301 according to the second embodiment, in addition to the effects of the gate valve 1 according to the first embodiment, when the valve is used in a horizontal direction, the valve 2 can smoothly perform the opening and closing operation and the tilting operation. Further, the housing member 41 is held so as to be tiltable by the sliding member 46, so that abrasion generated at the time of tilting can be suppressed as much as possible, and a horizontally arranged gate valve with improved durability can be obtained. In addition, since the movable parts such as the connecting plate 30 and the valve rod 6 can be supported by the first and second moving blocks 43 and 44 independently and movably disposed on one rail 42, the gate valve is provided. Can be made compact.
【００５５】第３実施形態 図１２は、本発明に係るゲートバルブの第３実施形態を
示す断面図である。ゲートバルブの機能として、気密室
の開口部（ゲート）の開閉および密封に加えて、弁体を
駆動する駆動力を供給しなくとも気密室（チャンバ）を
弁体によって気密状態に保持できるロック機構が要求さ
れている。これは、ゲートバルブを使用中に弁体を駆動
する駆動源が故障した場合や、チャンバの搬送時等にお
いて駆動源から駆動力を供給できない場合であっても、
弁体による気密室の真空状態の保持が必要な場合が存在
するからである。本実施形態に係るゲートバルブ４０１
は、弁体を駆動する駆動源が故障した場合や、チャンバ
の搬送時等においても、弁体による気密室の真空状態を
保持可能なロック機構を有する。 Third Embodiment FIG. 12 is a sectional view showing a third embodiment of the gate valve according to the present invention. As a function of the gate valve, in addition to opening and closing and sealing the opening (gate) of the hermetic chamber, a lock mechanism capable of holding the hermetic chamber (chamber) in an airtight state by the valve body without supplying a driving force for driving the valve body. Is required. This is because even if the drive source for driving the valve body breaks down while the gate valve is in use, or even if the drive source cannot supply the driving force at the time of transporting the chamber or the like,
This is because there are cases where it is necessary to maintain the vacuum state of the airtight chamber by the valve element. Gate valve 401 according to the present embodiment
Has a lock mechanism that can maintain the vacuum state of the airtight chamber by the valve element even when the drive source for driving the valve element breaks down or when the chamber is transported.
【００５６】図１２に示すゲートバルブ４０１は、上記
したロック機構を有している以外は、第１実施形態に係
るゲートバルブ１の構成と同じである。図１２におい
て、連結板３０には連結板３０の移動方向に沿う方向
に、２つのエアシリンダ６０に近接する位置に２つのロ
ック用プレート４０２が設けられている。また、エアシ
リンダ６０のシリンダブロック６２内には、上記のロッ
ク用プレート４０２にそれぞれ対応して、ロック用シリ
ンダ部４０３が内蔵されている。ロック用プレート４０
２およびロック用シリンダ部４０３によって、弁体によ
る気密室の真空状態を保持可能なロック機構が構成され
ている。The gate valve 401 shown in FIG. 12 has the same configuration as the gate valve 1 according to the first embodiment except that it has the above-described lock mechanism. In FIG. 12, two locking plates 402 are provided on the connecting plate 30 at positions close to the two air cylinders 60 in a direction along the moving direction of the connecting plate 30. In the cylinder block 62 of the air cylinder 60, a locking cylinder portion 403 is incorporated corresponding to the locking plate 402, respectively. Lock plate 40
The lock mechanism that can maintain the vacuum state of the airtight chamber by the valve body is constituted by the lock cylinder 2 and the lock cylinder portion 403.
【００５７】本実施形態に係るロック機構の一例を図１
３に示す。図１３に示すように、連結板３０上にはロッ
ク用プレート４０２が直立して設けられており、このロ
ック用プレート４０２は、一方面に傾斜案内面４０２ｂ
が形成され、この傾斜案内面４０２ｂに隣接する位置に
は後述するロック用ピストンのロックピンが嵌合するロ
ック用孔４０２ａが形成されている。傾斜案内面４０２
ｂは、後述するロック用ピストンのロックピンと当接
し、ロックピンをロック用孔４０２ａに嵌合させるため
に形成されている。また、傾斜案内面４０２ｂの傾斜角
度は、３０度以内とする必要があり、１０〜１５度とす
るのが好ましい。ロック用孔４０２ａは、弁体２が気密
室の開口部を密封した状態において、ロック用ピストン
のロックピンと嵌合する位置に形成されている。FIG. 1 shows an example of the lock mechanism according to the present embodiment.
3 is shown. As shown in FIG. 13, a lock plate 402 is provided upright on the connecting plate 30, and the lock plate 402 has an inclined guide surface 402b on one surface.
A lock hole 402a is formed at a position adjacent to the inclined guide surface 402b, into which a lock pin of a lock piston described later is fitted. Inclined guide surface 402
“b” is formed to be in contact with a lock pin of a lock piston to be described later, and to fit the lock pin into the lock hole 402a. Further, the inclination angle of the inclined guide surface 402b needs to be within 30 degrees, and is preferably 10 to 15 degrees. The lock hole 402a is formed at a position where the valve body 2 fits with the lock pin of the lock piston when the valve body 2 seals the opening of the airtight chamber.
【００５８】一方、シリンダブロック６２の内周面６２
ａと干渉しない所定位置には、エアシリンダ６０のシリ
ンダと比較してかなり小さいシリンダ室４０４が形成さ
れており、このシリンダ室４０４の内部にロック用ピス
トン４０５が移動自在に収容されており、カバー部材４
０８によってシリンダ室４０４は閉塞されている。な
お、図１３に示すシリンダブロック６２は、図４に示し
たエアシリンダ６０のシリンダブロック６２である。On the other hand, the inner peripheral surface 62 of the cylinder block 62
A cylinder chamber 404, which is considerably smaller than the cylinder of the air cylinder 60, is formed at a predetermined position not interfering with the cylinder a. A locking piston 405 is movably accommodated in the cylinder chamber 404, Member 4
08, the cylinder chamber 404 is closed. The cylinder block 62 shown in FIG. 13 is the cylinder block 62 of the air cylinder 60 shown in FIG.
【００５９】ロック用ピストン４０５の外周には、シリ
ンダ室４０４との間をシーリングするシーリング部材４
１２が設けられている。また、ロック用ピストン４０５
の一方端には、ロックピン４０５ａが形成されており、
他方端には、ばね部材４１１を受容する受容部４０５ｂ
が形成されている。A sealing member 4 for sealing between the outer periphery of the locking piston 405 and the cylinder chamber 404 is provided.
12 are provided. Also, the locking piston 405
A lock pin 405a is formed at one end of
A receiving portion 405b for receiving the spring member 411 is provided at the other end.
Are formed.
【００６０】シリンダ室４０４内には、ロック用ピスト
ン４０５の移動量を規制する規制部材４０６が設けられ
ており、ロック用ピストン４０５が規制部材４０６に当
接することにより、ロック用ピストン４０５の移動が規
制される。ロック用ピストン４０５のロックピン４０５
ａの外周には、シリンダ室４０４をシーリングするシー
リング部材４０７が設けられているとともに、ロックピ
ン４０５ａは、カバー部材４０８に形成された貫通孔を
通じて、ロックピン４０５ａの先端部が外部に突出可能
となっている。図１３に示す状態では、ロックピン４０
５ａが外部に突出してロック用プレートのロック用孔４
０２ｂに嵌合している。A regulating member 406 for regulating the movement of the locking piston 405 is provided in the cylinder chamber 404. When the locking piston 405 comes into contact with the regulating member 406, the movement of the locking piston 405 is restricted. Be regulated. Lock pin 405 of locking piston 405
A sealing member 407 for sealing the cylinder chamber 404 is provided on the outer periphery of the lock member 405. The lock pin 405a is configured such that the tip end of the lock pin 405a can protrude to the outside through a through hole formed in the cover member 408. Has become. In the state shown in FIG.
5a protrudes to the outside and the locking hole 4 of the locking plate
02b.
【００６１】シリンダブロック６２には、シリンダ室４
０４に圧縮空気Ｆを供給する供給ポート４０９が形成さ
れている。供給ポート４０９から圧縮空気Ｆが供給され
ると、ロック用ピストン４０５は、ばね部材４１１によ
るばね付勢力に抗してロックピン４０５ａがシリンダ室
４０４内に押し込まれる方向に移動する。また、この供
給ポート４０９は、図４において説明したエアシリンダ
６０の流路６２ｃと連通している。エアシリンダ６０の
ピストンロッド２０の往復動作は、エアシリンダ６０の
流路６２ｂおよび６２ｃへの圧縮空気Ｆの供給を選択的
に行うことによって行われ、流路６２ｃから圧縮空気Ｆ
をエアシリンダ６０のシリンダ内に供給すると、弁体２
は開口部を開く方向に駆動する。したがって、エア供給
源からのエアシリンダ６０の流路６２ｂおよび６２ｃへ
の圧縮空気Ｆの供給を選択的に切り換える切換バルブを
操作して、弁体２を開口部を開く方向に駆動させるため
の流路６２ｃに空気を供給すると、同時に上記の供給ポ
ート４０９からシリンダ室４０４に圧縮空気Ｆが供給さ
れる。The cylinder block 62 has a cylinder chamber 4
A supply port 409 for supplying the compressed air F to 04 is formed. When the compressed air F is supplied from the supply port 409, the locking piston 405 moves in a direction in which the lock pin 405a is pushed into the cylinder chamber 404 against the spring urging force of the spring member 411. The supply port 409 is in communication with the flow path 62c of the air cylinder 60 described with reference to FIG. The reciprocating operation of the piston rod 20 of the air cylinder 60 is performed by selectively supplying the compressed air F to the flow paths 62b and 62c of the air cylinder 60, and the compressed air F is supplied from the flow path 62c.
Is supplied into the cylinder of the air cylinder 60, the valve body 2
Is driven in a direction to open the opening. Therefore, the switching valve for selectively switching the supply of the compressed air F from the air supply source to the flow paths 62b and 62c of the air cylinder 60 is operated to drive the valve body 2 in a direction to open the opening. When air is supplied to the passage 62c, compressed air F is supplied from the supply port 409 to the cylinder chamber 404 at the same time.
【００６２】また、シリンダブロック６２には、シリン
ダ室４０４とシリンダブロック６２の外部とを連通する
息抜き孔４１０が形成されている。ロックピン４０５ａ
がシリンダ室４０４の内部に押し込まれる方向にロック
用ピストン４０５が移動したとき、シリンダ室４０４内
の空気はロック用ピストン４０５によって圧縮され、息
抜き孔４１０から外部に排出される。The cylinder block 62 has a vent hole 410 for communicating the cylinder chamber 404 with the outside of the cylinder block 62. Lock pin 405a
When the lock piston 405 moves in a direction in which the air is pushed into the inside of the cylinder chamber 404, the air in the cylinder chamber 404 is compressed by the lock piston 405 and discharged to the outside through the breathing hole 410.
【００６３】次に、上記のように構成されるロック機構
の動作の一例について説明する。まず、図１６に示すよ
うに、ゲートバルブ４０１の弁体２の開状態から、エア
シリンダ６０を駆動して閉状態にする。なお、図１６に
示す状態では、ロックピン４０５ａは、ばね部材４１１
によって付勢されてエアシリンダ６０の側面から一部が
突出した状態となっている。エアシリンダ６０の駆動に
よって、突出したロックピン４０５ａとロック用プレー
ト４０２とが接近する方向に連結板３０は移動し、図１
５に示すように、ロックピン４０５ａの先端部がロック
用プレート４０２の傾斜案内面４０２ｂとが当接した状
態となる。Next, an example of the operation of the lock mechanism configured as described above will be described. First, as shown in FIG. 16, the air cylinder 60 is driven to be closed from the open state of the valve body 2 of the gate valve 401. In the state shown in FIG. 16, the lock pin 405a is
And a part of the air cylinder 60 is projected from the side surface of the air cylinder 60. By driving the air cylinder 60, the connecting plate 30 moves in a direction in which the protruding lock pin 405a and the locking plate 402 approach each other.
As shown in FIG. 5, the tip of the lock pin 405a is in contact with the inclined guide surface 402b of the lock plate 402.
【００６４】図１５に示す状態から、さらに連結板３０
が矢印方向に移動を続けると、ロックピン４０５ａは、
ばね部材４１１の付勢力に抗してシリンダ室４０４内方
向に押し込まれる。そして、ロック用プレートのロック
用孔４０２ｂがロックピン４０５ａと対向する位置に達
すると、ロックピン４０５ａは再度突出してロックピン
４０５ａがロック用孔４０２ｂに嵌合する。この状態が
図１３に示す状態である。一方、ロックピン４０５ａが
ロック用孔４０２ｂに嵌合すると同時に、弁体２によっ
て気密室の開口部は密封されている。From the state shown in FIG.
When the lock pin 405a keeps moving in the direction of the arrow,
It is pushed into the cylinder chamber 404 against the urging force of the spring member 411. Then, when the lock hole 402b of the lock plate reaches a position facing the lock pin 405a, the lock pin 405a protrudes again, and the lock pin 405a fits into the lock hole 402b. This state is the state shown in FIG. On the other hand, at the same time that the lock pin 405a is fitted into the lock hole 402b, the opening of the airtight chamber is sealed by the valve body 2.
【００６５】ロックピン４０５ａがロック用孔４０２ｂ
に嵌合することによって、連結板３０の移動は規制さ
れ、弁体２は気密室の開口部を密封した状態を保持する
ことができる。このため、エアシリンダ６０の流路６２
ｂへ圧縮空気Ｆが供給されなくなっても、弁体２は気密
室の開口部を密封した状態を保持することができる。The lock pin 405a is connected to the lock hole 402b.
, The movement of the connecting plate 30 is restricted, and the valve body 2 can maintain a state in which the opening of the airtight chamber is sealed. Therefore, the flow path 62 of the air cylinder 60
Even if the compressed air F is no longer supplied to the valve b, the valve body 2 can maintain the state in which the opening of the airtight chamber is sealed.
【００６６】次に、図１３に示すロック状態を解除する
動作について説明する。この場合は、弁体２が開口部を
開くように、エア供給源の切換バルブを切り換えて、エ
アシリンダ６０の流路６２ｃに圧縮空気Ｆを供給する。
エアシリンダ６０の流路６２ｃに圧縮空気Ｆを供給する
と、同時に、シリンダ室４０４に圧縮空気Ｆを供給する
供給ポート４０９にも圧縮空気Ｆが供給される。供給ポ
ート４０９に圧縮空気Ｆが供給されると、ロック用ピス
トン４０は、図１４に示すように、ばね部材４１１の付
勢力に抗してばね部材４１１を圧縮しながら、シリンダ
室４０４の一方端面位置まで移動し、ロックピン４０５
ａはシリンダ室４０４内に押し込まれる。これにより、
ロックピン４０５ａとロック用孔４０２ａとの嵌合が解
除され、ロック用プレート４０２が固定された連結板３
０は移動可能になり、弁体２による開口部の密封状態は
解除され、開口部が開状態となる。Next, the operation for releasing the locked state shown in FIG. 13 will be described. In this case, the switching valve of the air supply source is switched so that the valve body 2 opens the opening, and the compressed air F is supplied to the flow path 62 c of the air cylinder 60.
When the compressed air F is supplied to the flow path 62c of the air cylinder 60, the compressed air F is also supplied to the supply port 409 that supplies the compressed air F to the cylinder chamber 404. When the compressed air F is supplied to the supply port 409, the locking piston 40 compresses the spring member 411 against the urging force of the spring member 411 as shown in FIG. Move to the position and lock pin 405
a is pushed into the cylinder chamber 404. This allows
The engagement between the lock pin 405a and the lock hole 402a is released, and the connection plate 3 on which the lock plate 402 is fixed.
0 becomes movable, the sealing state of the opening by the valve body 2 is released, and the opening is opened.
【００６７】ここで、供給ポート４０９にも圧縮空気Ｆ
が供給され、ピストン７１がロック用ピストン４０５の
移動と同時に移動を開始すると、ロックピン４０５ａと
ロック用孔４０２ａとの嵌合が首尾よく解除されなくな
ることも考えられる。しかしながら、本実施形態に係る
ゲートバルブ４０１では、ロック用ピストン４０５の移
動を開始してから、エアシリンダ６０のピストン７１が
移動を開始するまである程度のタイムラグが存在する。
このため、エアシリンダ６０のピストン７１が移動を開
始するまでのタイムラグの間に、ロックピン４０５ａと
ロック用孔４０２ａとの嵌合は解除される。Here, the compressed air F is also supplied to the supply port 409.
Is supplied, and when the piston 71 starts to move at the same time as the movement of the locking piston 405, the engagement between the lock pin 405a and the locking hole 402a may not be successfully released. However, in the gate valve 401 according to the present embodiment, there is a certain time lag from the start of the movement of the locking piston 405 to the start of the movement of the piston 71 of the air cylinder 60.
Therefore, the engagement between the lock pin 405a and the lock hole 402a is released during a time lag until the piston 71 of the air cylinder 60 starts moving.
【００６８】すなわち、エア供給源の切換バルブの切換
時点においては、エアシリンダ６０は、図９に示した状
態にある。図９において、シリンダ６１内のピストンロ
ッド７１側の空間には、エア供給源の切換バルブの切換
時点においては、高圧の圧縮空気Ｆが存在している。ま
た、ピストン７１とシリンダ６１の内周面６２ａとの間
には、かなりの摺動抵抗が存在する。さらに、ロック用
ピストン４０５の慣性とピストン７１の慣性とでは、ピ
ストン７１の慣性のほうが十分に大きい。このため、エ
ア供給源の切換バルブの切り換えによって、エアシリン
ダ６０の流路６２ｃおよび供給ポート４０９に同時に圧
縮空気Ｆが供給されても、ロックピン４０５ａとロック
用孔４０２ａとの嵌合の解除が妨げられることはない。That is, when the switching valve of the air supply source is switched, the air cylinder 60 is in the state shown in FIG. In FIG. 9, high-pressure compressed air F exists in the space on the piston rod 71 side in the cylinder 61 when the switching valve of the air supply source is switched. Further, there is considerable sliding resistance between the piston 71 and the inner peripheral surface 62a of the cylinder 61. Furthermore, the inertia of the piston 405 is sufficiently larger than the inertia of the piston 71 for locking. Therefore, even if the compressed air F is supplied to the flow path 62c and the supply port 409 of the air cylinder 60 simultaneously by switching the switching valve of the air supply source, the engagement between the lock pin 405a and the lock hole 402a is released. There is no hindrance.
【００６９】以上のように、本実施形態に係るゲートバ
ルブ４０１によれば、弁体２を駆動するエアシリンダ６
０のエア供給源が故障した場合や、チャンバの搬送時等
においエア供給源から圧縮空気をエアシリンダ６０に供
給できない場合でも、弁体２による気密室の真空状態を
保持可能となる。As described above, according to the gate valve 401 of this embodiment, the air cylinder 6 that drives the valve body 2
Even when the air supply source 0 is out of order, or when compressed air cannot be supplied from the air supply source to the air cylinder 60 when the chamber is transported, the vacuum state of the airtight chamber by the valve body 2 can be maintained.
【００７０】また、本実施形態に係るロック機構は、エ
アシリンダ６０に供給される圧縮空気Ｆによって駆動さ
れ、かつ弁体２の開動作と同時にロック機構によるロッ
クが解除されるため、ロック機構の動作をスムーズとす
ることができ、結果的にゲートバルブ４０１の動作を高
速化することができる。Further, the lock mechanism according to the present embodiment is driven by the compressed air F supplied to the air cylinder 60, and the lock by the lock mechanism is released simultaneously with the opening operation of the valve body 2. The operation can be performed smoothly, and as a result, the operation of the gate valve 401 can be speeded up.
【００７１】[0071]
【発明の効果】本発明に係るゲートバルブは、ローラ受
け部材の第１保持部によってローラを保持した状態で、
弁ロッドを直動させることができるため、弁ロッドを確
実に直動運動させることができ動作の信頼性が高いとと
もに、弁ロッドの高速移動が可能になる。このため、弁
体により気密室の開口部の開閉動作を高速化するとがで
きる。また、本発明に係るゲートバルブは、弁ロッドの
直動および傾動をローラを介して駆動手段によって直動
されるローラ受け部材によって行うことができるためゲ
ートバルブの構造が非常に簡素化されて安価である。ま
た、本発明に係るゲートバルブは、ローラ受け部材の第
１保持部と傾斜面と第２保持部とが連続して形成されて
いるため、弁ロッドの直動運動から傾動運動への移行が
スムーズである。また、本発明に係るゲートバルブは、
ローラはローラ受け部材の第１保持部、傾斜面および第
２保持部上を転がりながら移動するため、摺動摩擦がな
く、摩耗によるパーティクルの発生を極力抑えることが
できるとともに、摩耗によるゲートバルブの寿命の短縮
化を防止することができる。さらに、本発明に係るゲー
トバルブは、傾斜面によって弁ロッドを傾斜させる構成
であるので、そのくさび効果により弁体を傾動させる力
が強く開口部のシール性を向上させることができる。According to the gate valve of the present invention, the roller is held by the first holding portion of the roller receiving member.
Since the valve rod can be linearly moved, the valve rod can be linearly moved reliably, the operation is highly reliable, and the valve rod can be moved at high speed. Therefore, the opening and closing operation of the opening of the airtight chamber can be accelerated by the valve element. Further, in the gate valve according to the present invention, since the linear movement and the tilting of the valve rod can be performed by the roller receiving member which is linearly moved by the driving means via the roller, the structure of the gate valve is extremely simplified and the cost is reduced. It is. Further, in the gate valve according to the present invention, since the first holding portion, the inclined surface, and the second holding portion of the roller receiving member are continuously formed, the transition from the linear motion to the tilt motion of the valve rod is prevented. It is smooth. Further, the gate valve according to the present invention,
Since the roller moves while rolling on the first holding portion, the inclined surface, and the second holding portion of the roller receiving member, there is no sliding friction, the generation of particles due to wear can be suppressed as much as possible, and the life of the gate valve due to wear is reduced. Can be prevented from being shortened. Furthermore, since the gate valve according to the present invention has a configuration in which the valve rod is inclined by the inclined surface, the force for inclining the valve body is strong due to the wedge effect, and the sealing performance of the opening can be improved.
【００７２】本発明に係るゲートバルブによれば、弁体
の開閉動作および傾動動作をスムースに行うことがで
き、傾動の際に生じる摩耗を極力抑えることができ、耐
久性の向上した水平配置型のゲートバルブとすることが
できる。According to the gate valve of the present invention, the opening / closing operation and the tilting operation of the valve body can be smoothly performed, the abrasion generated at the time of tilting can be suppressed as much as possible, and the horizontal arrangement type with improved durability can be provided. Gate valve.
【００７３】本発明に係るゲートバルブによれば、弁体
を駆動する流体シリンダの流体供給源が故障した場合
や、チャンバの搬送時等において流体供給源から圧縮流
体を流体シリンダに供給できない場合でも、弁体による
気密室の真空状態を保持可能となる。また、本発明に係
るロック機構によれば、流体シリンダに供給される圧縮
流体によって駆動され、かつ弁体の開動作と同時にロッ
ク機構によるロックが解除されるため、ロック機構の動
作をスムーズとすることができ、結果的にゲートバルブ
の動作を高速化することができる。According to the gate valve of the present invention, even when the fluid supply source of the fluid cylinder for driving the valve body breaks down, or when the compressed fluid cannot be supplied from the fluid supply source to the fluid cylinder at the time of transporting the chamber, etc. Thus, a vacuum state of the airtight chamber by the valve body can be maintained. According to the lock mechanism of the present invention, the lock is driven by the compressed fluid supplied to the fluid cylinder, and the lock by the lock mechanism is released simultaneously with the opening operation of the valve body, so that the operation of the lock mechanism is smooth. As a result, the operation of the gate valve can be accelerated.
【図１】本発明に係るゲートバルブの第１実施形態を示
す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a gate valve according to the present invention.
【図２】図１に示すゲートバルブのＡ−Ａ線方向の断面
図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the gate valve shown in FIG. 1 taken along the line AA.
【図３】ローラとローラ受け部材との相対位置関係を示
す説明図であって、（ａ）は弁体が開口部を開いた状態
にあるときの相対位置関係を示しており、（ｂ）は弁体
が開口部を閉じた状態にあるときの相対位置関係を示し
ており、（ｃ）は弁体が開口部を密封した状態にあると
きの相対位置関係を示している。3A and 3B are explanatory diagrams illustrating a relative positional relationship between a roller and a roller receiving member, wherein FIG. 3A illustrates a relative positional relationship when a valve body has an opening portion opened, and FIG. Shows the relative positional relationship when the valve is in the state where the opening is closed, and (c) shows the relative positional relationship when the valve is in a state where the opening is sealed.
【図４】エアシリンダの一例を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing an example of an air cylinder.
【図５】図１に示すゲートバルブによって開口部を閉じ
た状態を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state where an opening is closed by the gate valve shown in FIG. 1;
【図６】図５に示すゲートバルブの動作状態におけるＡ
−Ａ線方向の断面図である。FIG. 6 is a diagram showing an operation state A of the gate valve shown in FIG.
It is sectional drawing of the -A line direction.
【図７】図４に示すエアシリンダの軸受カラーの一部が
ヘッドカバーに嵌め込まれたブシュに嵌合挿入された状
態を示す断面図である。7 is a cross-sectional view showing a state in which a part of the bearing collar of the air cylinder shown in FIG. 4 is fitted and inserted into a bush fitted into a head cover.
【図８】図６に示すゲートバルブの動作から弁体を傾動
させて開口部を密封した状態を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state where the valve body is tilted from the operation of the gate valve shown in FIG. 6 and the opening is sealed.
【図９】図４に示すエアシリンダの軸受カラーの全部が
ヘッドカバーに嵌め込まれたブシュに嵌合挿入された状
態を示す断面図である。9 is a cross-sectional view showing a state in which the entire bearing collar of the air cylinder shown in FIG. 4 is fitted and inserted into a bush fitted into a head cover.
【図１０】本発明に係るゲートバルブの第２実施形態を
示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing a second embodiment of the gate valve according to the present invention.
【図１１】図１０に示すゲートバルブによって開口部を
閉じた状態を示す断面図である。11 is a cross-sectional view showing a state where an opening is closed by the gate valve shown in FIG.
【図１２】本発明に係るゲートバルブの第３実施形態を
示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing a third embodiment of the gate valve according to the present invention.
【図１３】本発明に係るロック機構の構造の一例を示す
断面図である。FIG. 13 is a sectional view showing an example of the structure of the lock mechanism according to the present invention.
【図１４】本発明に係るロック機構によるロックを解除
した状態を示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view showing a state where the lock by the lock mechanism according to the present invention is released.
【図１５】ロックピンとロック用プレートの傾斜案内面
が当接している状態を示す断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view showing a state where a lock pin and an inclined guide surface of a lock plate are in contact with each other.
【図１６】図１０に示すゲートバルブの開状態を示す断
面図である。FIG. 16 is a sectional view showing an open state of the gate valve shown in FIG. 10;
【図１７】マルチチャンバ構成の真空処理装置の一例を
示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view illustrating an example of a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration.
【図１８】ゲートバルブの構造の一例を示す説明図であ
る。FIG. 18 is an explanatory view showing an example of the structure of a gate valve.
【図１９】図１１に示すゲートバルブによってゲートを
閉じて密封した状態を示す説明図である。FIG. 19 is an explanatory view showing a state where the gate is closed and sealed by the gate valve shown in FIG. 11;
１，３０１，４０１…ゲートバルブ、２…弁体、４…連
結部材、６…弁ロッド、８…取り付け部材、１０…シー
ルベローズ、１２…固定リング、１４…保持部材、１８
…ストッパ、２０…ピストンロッド、２２…ローラ受け
部材、２２ａ…第１保持部、２２ｂ…傾斜面、２２ｃ…
第２保持部、２４…ローラ、２５…ばね部材、２６…固
体部材、２８…コイルばね、３０…連結板、５０…開口
部、５２…Ｏリング。1, 301, 401: gate valve, 2: valve body, 4: connecting member, 6: valve rod, 8: mounting member, 10: seal bellows, 12: fixing ring, 14: holding member, 18
... Stopper, 20 ... Piston rod, 22 ... Roller receiving member, 22a ... First holding part, 22b ... Slope surface, 22c ...
2nd holding | maintenance part, 24 ... roller, 25 ... spring member, 26 ... solid member, 28 ... coil spring, 30 ... connecting plate, 50 ... opening part, 52 ... O-ring.
Claims (3)
開閉可能でかつ前記開口部に対して傾動することにより
当該開口部を密封可能な弁体と、一端部に前記弁体が固
定され、直動および傾動可能に保持され、前記気密室内
から気密室外に突出するようにかつシーリング手段によ
って前記気密室の気密状態を保つように設けられた弁ロ
ッドと、前記弁ロッドと連結され当該弁ロッドを傾動さ
せる傾動機構と、前記傾動機構を介して前記弁ロッドと
連結され、前記弁ロッドの直動および傾動に必要な駆動
力を供給する駆動手段と、前記弁体による前記開口部の
密封状態を保持するロック機構とを有するゲートバルブ
であって、 前記駆動手段は、一端が連結板を介して前記傾動機構と
連結されたピストンロッドと、当該ピストンロッドの他
端に固定されたピストンと、このピストンを内部に収容
するシリンダとを有するエアシリンダであり、 前記ロック機構は、 前記ピストンロッドの駆動方向に沿って前記連結板に固
定され、一方面に傾斜案内面が形成されかつ前記ピスト
ンロッドの駆動方向に直交する方向にロック用孔が形成
されたロック用プレートと、 前記エアシリンダに対して所定の位置に設けられた小シ
リンダと、 前記小シリンダ内に収容され、一端に前記傾斜案内面に
よって案内されて前記ロック用孔に嵌合可能なロックピ
ンが形成され、前記ロックピンが前記小シリンダから前
記ロック用プレートの一方面に当接可能な位置まで突出
するように他端が弾性部材によって付勢されたロック用
ピストンとを有し、 前記小シリンダには、前記ロックピンが小シリンダ内に
収容される方向に前記ロック用ピストンを駆動する圧縮
空気を前記小シリンダ内に供給する供給ポートが形成さ
れ、 前記供給ポートは、前記弁体を開方向に駆動させる圧縮
空気を前記エアシリンダのシリンダ内に供給する供給路
と連通しており、 前記弁体によって開口部を密封する方向に前記エアシリ
ンダが駆動されると、前記ロックピンは前記ロック用プ
レートの傾斜案内面に案内されて前記ロック用孔に嵌合
し、前記連結板の移動がロックされて前記弁体による密
封状態が保持され、前記弁体が開口部を開く方向に前記
エアシリンダが駆動されると、前記小シリンダ内には前
記エアシリンダの供給路を通じて圧縮空気が供給され、
前記ロックピンと前記ロック用孔との嵌合が解除される
ゲートバルブ。1. A valve body provided in an airtight chamber, capable of opening and closing an opening of the airtight chamber and capable of sealing the opening by tilting with respect to the opening, and the valve body being fixed to one end. A valve rod that is held so as to be able to move linearly and tiltably, protrudes from the hermetic chamber to the outside of the hermetic chamber, and is provided so as to maintain the hermetic state of the hermetic chamber by sealing means. A tilting mechanism for tilting the valve rod, a driving unit coupled to the valve rod via the tilting mechanism, and supplying a driving force necessary for linear movement and tilting of the valve rod; and A gate mechanism having a lock mechanism for maintaining a sealed state, wherein the driving means is fixed to a piston rod having one end connected to the tilting mechanism via a connection plate, and the other end of the piston rod. An air cylinder having a fixed piston and a cylinder accommodating the piston therein, wherein the lock mechanism is fixed to the connecting plate along a driving direction of the piston rod, and an inclined guide surface is provided on one surface. A locking plate formed and having a locking hole formed in a direction perpendicular to the driving direction of the piston rod; a small cylinder provided at a predetermined position with respect to the air cylinder; and a small cylinder housed in the small cylinder. At one end, a lock pin guided by the inclined guide surface and fittable in the lock hole is formed, and the lock pin protrudes from the small cylinder to a position where it can abut on one surface of the lock plate. And a lock piston biased by an elastic member at the other end, and the lock pin is housed in the small cylinder in the small cylinder. Compression for driving said locking piston in the direction
A supply port for supplying air into the small cylinder is formed, and the supply port is configured to compress the valve body in an opening direction.
The air is passed through the supply passage and the communication to be supplied to the cylinder of the air cylinder, when the air Siri <br/> Sunda is driven in the direction to seal the opening by the valve body, wherein the locking pin is the lock Is guided by the inclined guide surface of the plate for fitting into the locking hole, the movement of the connection plate is locked, the hermetically sealed state by the valve body is maintained, and the valve body opens in the opening direction.
When the air cylinder is driven, compressed air is supplied into the small cylinder through a supply path of the air cylinder,
A gate valve in which the engagement between the lock pin and the lock hole is released.
蔵されている請求項１に記載のゲートバルブ。2. The gate valve according to claim 1, wherein said small cylinder is built in said air cylinder.
回転自在に設けられたローラと、 前記弁ロッドの他端部に対向して設けられ、前記ローラ
を保持可能で前記弁ロッドが前記開口部を開閉する方向
に直動する際に前記ローラを保持する第１の保持部と、
この第１の保持部に連続し前記ローラと係合可能で当該
ローラと係合することにより前記弁ロッドを傾斜させる
傾斜面と、この傾斜面と連続し前記ローラを保持可能で
前記弁ロッドが所定の角度まで傾斜すると当該ローラを
保持する第２の保持部とが形成され、前記駆動手段によ
って直動されるローラ受け部材と、 前記弁体が前記開口部を閉じる所定の位置で前記弁ロッ
ドの直動を規制し、かつ前記ローラの前記ローラ受け部
材の第１の保持部による保持状態を解除させる規制手段
とを有する請求項１または２に記載のゲートバルブ。3. The tilting mechanism includes a roller rotatably provided at the other end of the valve rod, and a roller provided opposite to the other end of the valve rod, the valve rod being capable of holding the roller. A first holding unit that holds the roller when the device linearly moves in a direction to open and close the opening;
An inclined surface that is continuous with the first holding portion and can engage with the roller and inclines the valve rod by engaging with the roller, and a valve rod that can hold the roller continuously with the inclined surface and hold the roller. A second holding portion that holds the roller when inclined to a predetermined angle, a roller receiving member that is directly moved by the driving unit, and the valve rod at a predetermined position where the valve element closes the opening. 3. The gate valve according to claim 1, further comprising a regulating unit that regulates the linear movement of the roller and releases the roller from the holding state of the roller receiving member by the first holding unit. 4.
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