JP2000337530A - Gate valve - Google Patents
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- JP2000337530A JP2000337530A JP11152827A JP15282799A JP2000337530A JP 2000337530 A JP2000337530 A JP 2000337530A JP 11152827 A JP11152827 A JP 11152827A JP 15282799 A JP15282799 A JP 15282799A JP 2000337530 A JP2000337530 A JP 2000337530A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造工程等において使用される真空処理室の開口部を開閉
可能でかつ密封可能なゲートバルブに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve capable of opening and closing an opening of a vacuum processing chamber used in, for example, a semiconductor manufacturing process.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体製造工程におけるドライエッチン
グ工程やスパッタリング工程やエピタキシャルウェハ形
成工程等においては、例えば図10に示すような、複数
の真空処理室が接続されたマルチチャンバ構成の真空処
理装置が使用される。図10の真空処理装置101は、
ウェハWの搬出入が行われる搬送室102の外周に、各
種の処理を行う複数の真空処理室105が接続可能とな
っている。ウェハWの搬送室102と各真空処理室10
5との間の移動は、ゲートGを通じて行われる。ゲート
Gの開閉および密封は、図示しないゲートバルブによっ
て行われる。2. Description of the Related Art In a dry etching process, a sputtering process, an epitaxial wafer forming process, and the like in a semiconductor manufacturing process, a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration in which a plurality of vacuum processing chambers are connected as shown in FIG. Is done. The vacuum processing apparatus 101 of FIG.
A plurality of vacuum processing chambers 105 for performing various processes can be connected to the outer periphery of the transfer chamber 102 where the wafer W is loaded and unloaded. Wafer W transfer chamber 102 and each vacuum processing chamber 10
The movement between 5 and 5 is performed through the gate G. The opening and closing and sealing of the gate G are performed by a gate valve (not shown).
【0003】図10の真空処理装置101では、ウェハ
Wを、搬出入路104の搬出入口103を通じて図示し
ない搬送装置によって搬送室102内に搬入し、搬送室
102内に設けられた真空搬送ロボット107によって
保持する。ウェハWが真空搬送ロボット107によって
保持されると、搬出入口103を閉じ、搬送室102内
を真空引きする。このとき、上記の各ゲートバルブは各
ゲートを密封した状態となっている。搬送室102内の
真空引きが完了すると、各ゲートバルブを駆動してゲー
トGを開き、真空搬送ロボット107によってウェハW
を所定の真空処理室に搬送する。当該真空処理室におい
て、処理を行うために、各ゲートバルブを駆動してゲー
トGを閉じ、ウェハWの所定の処理を行う。ウェハWの
所定の処理が完了したら、ゲートバルブを駆動してゲー
トGを開き、再度真空搬送ロボット107によってウェ
ハWを当該真空処理室から取出し、搬出入口103を通
じて真空処理装置101外に自動的に搬出される。In a vacuum processing apparatus 101 shown in FIG. 10, a wafer W is carried into a transfer chamber 102 by a transfer device (not shown) through a transfer port 103 of a transfer path 104, and a vacuum transfer robot 107 provided in the transfer chamber 102. Hold by. When the wafer W is held by the vacuum transfer robot 107, the transfer port 103 is closed, and the transfer chamber 102 is evacuated. At this time, each gate valve is in a state where each gate is sealed. When the evacuation in the transfer chamber 102 is completed, each gate valve is driven to open the gate G, and the wafer W is moved by the vacuum transfer robot 107.
Is transported to a predetermined vacuum processing chamber. In the vacuum processing chamber, in order to perform processing, each gate valve is driven to close the gate G, and a predetermined processing of the wafer W is performed. When the predetermined processing of the wafer W is completed, the gate G is opened by driving the gate valve, the wafer W is again taken out of the vacuum processing chamber by the vacuum transfer robot 107, and automatically out of the vacuum processing apparatus 101 through the loading / unloading port 103. It is carried out.
【0004】上記のような真空処理装置101における
ゲートGを開閉しかつ密封可能なゲートバルブ106の
構造として、例えば、図11および図12に示すような
構造が知られている。図11において、搬送室202
は、ゲートGを通じて真空処理室203と連通してい
る。このゲートGの開閉をゲートバルブ201によって
行うが、ゲートバルブ201は、ゲートGの開閉および
密封を行う弁体205と、この弁体205が一端部に固
定され直動可能にかつ所定の軸208を中心に傾斜可能
に保持されている弁ロッド206と、搬送室202と弁
ロッド206との間をシーリングするシールベローズ2
07と、弁ロッド206を直動および傾動させる図示し
ない駆動手段とを有している。ゲートバルブ201は、
図11においては、ゲートGを開いた状態にある。ゲー
トGを閉じかつ密封するには、図12に示すように、弁
ロッド206を直動させて弁体205がゲートGを閉じ
る位置まで移動し、弁ロッド206を軸208を中心に
傾斜させることにより行う。この結果、弁体205がゲ
ートGの外周に設けられたOリング204を押圧しゲー
トGが密封される。As a structure of the gate valve 106 capable of opening and closing and sealing the gate G in the vacuum processing apparatus 101 as described above, for example, a structure as shown in FIGS. 11 and 12 is known. In FIG. 11, the transfer chamber 202
Communicates with the vacuum processing chamber 203 through the gate G. The gate G is opened and closed by a gate valve 201. The gate valve 201 includes a valve body 205 that opens and closes and seals the gate G. And a seal bellows 2 for sealing between the transfer chamber 202 and the valve rod 206.
07 and a drive unit (not shown) for linearly moving and tilting the valve rod 206. The gate valve 201
In FIG. 11, the gate G is open. In order to close and seal the gate G, as shown in FIG. 12, the valve rod 206 is moved directly to the position where the valve body 205 closes the gate G, and the valve rod 206 is tilted about the axis 208 as shown in FIG. Performed by As a result, the valve body 205 presses the O-ring 204 provided on the outer periphery of the gate G, and the gate G is sealed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記したような構造の
ゲートバルブ201においては、弁体205によってゲ
ートGをシーリングする際のシール性が良好であること
が要求される。ゲートGのシール性を確保するために
は、Oリング204を弁体205によって圧縮変形させ
る必要がある。さらに、弁体205の密閉状態を解除す
る方向に大気圧がかかる状態である逆圧状態においても
シール性を確保するためには、逆圧状態によって弁体2
05に逃げが生じる分Oリング204をさらに大きく圧
縮変形させる必要がある。このためには、Oリング20
4を押しつぶすための弁体205を傾動させる力が十分
である必要がある。従来においては、弁体205を傾動
させる機構として、たとえば、弁ロッド206を直動さ
せる、たとえば、エアシリンダ等の駆動源と弁ロッド2
06との間に傾動機構を設け、ゲートGを閉じる位置ま
で弁体205を直動させたのち、傾動機構によって直動
力を傾動力に変換して弁体205を傾動させ、Oリング
204を押しつぶしていた。たとえば、特開平8−42
715号公報に開示されたゲートバルブでは、弁ロッド
の端部に設けたカムフォロアとエアシリンダによって直
動されるカム体に直線的に傾斜して形成されたカム孔と
を係合させ、カム体に与えられた直動力を傾動力に変換
して弁ロッドを傾動させる構成の傾動機構を有してい
る。カム体に形成されたカム孔は一種のくさびとして作
用し、カム体に与えられた直動力が比較的小さくても、
カム体に作用する弁ロッドからの大きな力を支持可能と
なっている。The gate valve 201 having the above-described structure is required to have good sealing performance when the gate G is sealed by the valve element 205. In order to ensure the sealing performance of the gate G, the O-ring 204 needs to be compressed and deformed by the valve body 205. Further, in order to ensure the sealing performance even in a reverse pressure state in which atmospheric pressure is applied in a direction in which the closed state of the valve element 205 is released, the valve element 2 is controlled by the reverse pressure state.
It is necessary to further compress and deform the O-ring 204 by an amount corresponding to the escape at the position 05. For this purpose, the O-ring 20
It is necessary that the force for tilting the valve body 205 for crushing 4 is sufficient. Conventionally, as a mechanism for tilting the valve element 205, for example, a drive source such as an air cylinder for directly moving the valve rod 206 and the valve rod 2
06, the valve body 205 is linearly moved to a position where the gate G is closed, and then the direct power is converted to tilting power by the tilting mechanism to tilt the valve body 205 and crush the O-ring 204. I was For example, JP-A-8-42
In the gate valve disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 715, a cam follower provided at an end of a valve rod is engaged with a cam hole formed to be linearly inclined in a cam body directly moved by an air cylinder. Has a tilting mechanism configured to convert the direct power provided to the valve rod into tilting power to tilt the valve rod. The cam hole formed in the cam body acts as a kind of wedge, and even if the direct power applied to the cam body is relatively small,
A large force from the valve rod acting on the cam body can be supported.
【0006】一方、弁体205によってOリング204
を圧縮していくと、弁体205がOリング204から受
ける反力は、圧縮率の増加とともに非線形に増大してい
く。通常、Oリングはアリ溝とよばれる脱落防止用の溝
に嵌め込まれており、特に、この状態においては圧縮率
の増加とともに反力が急激に増大していく。たとえば、
特開平8−42715号公報に開示されたゲートバルブ
では、カム孔が直線的に形成されているため、カムフォ
ロアの直動方向の移動量に対する傾動方向の移動量の割
合が一定であり、弁体205がOリング204から受け
る反力が増大すると、カム体に作用する直動方向の反力
も増大する。この増大する直動方向の反力に抗してカム
体を直動させるには、直動駆動源としてのエアシリンダ
のボア径を大きくして推進力を増大させる必要がある。
あるいは、カム体に直線的に形成されたカム孔の直動方
向に対する傾きを小さく、すなわち、カムフォロアの直
動方向の移動量に対する傾動方向の移動量の割合を小さ
くし、かつ、エアシリンダのストローク長を長くとる必
要がある。エアシリンダは、幅やストローク等の寸法上
の制約から極力小型化されたものが要求されており、推
進力を増大させたり、ストローク長を長くとるとこの要
求を満たすことができないという不利益が存在した。On the other hand, the O-ring 204
, The reaction force that the valve element 205 receives from the O-ring 204 increases nonlinearly as the compression ratio increases. Normally, the O-ring is fitted in a groove for preventing falling off, which is called a dovetail groove. In this state, in particular, the reaction force rapidly increases with an increase in the compression ratio. For example,
In the gate valve disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-42715, the ratio of the amount of movement in the tilting direction to the amount of movement in the linear movement direction of the cam follower is constant because the cam holes are formed linearly. When the reaction force that the 205 receives from the O-ring 204 increases, the reaction force acting on the cam body in the direct acting direction also increases. In order to linearly move the cam body against the increasing reaction force in the linear motion direction, it is necessary to increase the propulsive force by increasing the bore diameter of the air cylinder as the linear drive source.
Alternatively, the inclination of the cam hole linearly formed in the cam body with respect to the translation direction is reduced, that is, the ratio of the movement amount in the tilt direction to the translation amount of the cam follower is reduced, and the stroke of the air cylinder is reduced. It needs to be long. Air cylinders are required to be as small as possible due to dimensional restrictions such as width and stroke, and the disadvantage that increasing the propulsion force or increasing the stroke length cannot satisfy this requirement. Were present.
【0007】本発明は、かかる従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、駆動源の出力を増大させることな
く、弁体によってシール部材を効率的に押しつぶすこと
ができ、サイズが小型化され、密封性が安定、向上した
ゲートバルブを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and a seal member can be efficiently crushed by a valve body without increasing the output of a driving source, and the size can be reduced. It is an object of the present invention to provide a gate valve having stable and improved sealing performance.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブ
は、気密室の開口部を開閉可能でかつシール部材を圧縮
しながら前記開口部に対して傾動することにより当該開
口部を密封する弁体と、一端部に前記弁体が固定され、
前記開口部を開閉する所定の直動方向に移動可能に保持
され、かつ、所定の軸を中心に傾動可能に保持された弁
ロッドと、前記弁ロッドの直動を前記弁体が前記開口部
を閉じる位置で規制する規制手段と、前記弁ロッドの他
端部側に設けられた従動部と、前記従動部と係合するカ
ム面を備えるカム部材とを有し、前記カム部材の直動に
よって前記従動部を傾動方向に案内移動させて前記弁ロ
ッドを傾動させる傾動手段と、前記傾動手段を介して前
記弁ロッドに連結され、前記カム部材に所定の直動力を
供給する駆動手段と、を具備するゲートバルブであっ
て、前記カム部材の前記カム面は、連続曲面からなり、
当該カム面の各位置における接線の前記直動方向に対す
る傾きが、前記弁体による前記シール部材の圧縮動作に
伴って前記従動部が移動する方向に沿って減少してい
る。A gate valve according to the present invention is capable of opening and closing an opening of an airtight chamber, and sealing the opening by tilting with respect to the opening while compressing a sealing member. And the valve body is fixed to one end,
A valve rod held movably in a predetermined linear movement direction for opening and closing the opening, and held so as to be tiltable about a predetermined axis; and the valve body directing the valve rod for linear movement of the opening. Regulating means for regulating the position of the valve rod at a closed position, a driven part provided on the other end side of the valve rod, and a cam member having a cam surface engaged with the driven part. A tilting unit that guides the driven unit in the tilting direction to tilt the valve rod, and a driving unit that is connected to the valve rod through the tilting unit and supplies a predetermined direct power to the cam member; Wherein the cam surface of the cam member comprises a continuous curved surface,
The inclination of the tangent line at each position of the cam surface with respect to the translation direction decreases along the direction in which the follower moves along with the compression operation of the seal member by the valve body.
【0009】前記カム面の傾きは、前記シール部材の反
力特性に基づいて決定されている。The inclination of the cam surface is determined based on the reaction force characteristics of the seal member.
【0010】前記カム面の傾きは、前記シール部材と前
記弁体との接触時まで、あるいは、前記シール部材と前
記弁体との接触初期段階まで前記従動部が移動する領域
において比較的大きく、その後の領域においては比較的
小さく設定されている。[0010] The inclination of the cam surface is relatively large in a region where the driven portion moves until the contact between the seal member and the valve body or until the initial stage of contact between the seal member and the valve body. In the subsequent area, it is set relatively small.
【0011】本発明では、駆動手段によって傾動機構を
介してカム部材を直動させると、弁ロッドは所定の位置
まで直動し、規制手段によって直動が規制される。この
状態で、開口部は弁体によって閉じられた状態となる。
さらに、カム部材に直動力を供給すると、弁ロッドは傾
動手段によって傾動し、弁体が開口部に設けられたシー
ル部材を押しつぶす。シール部材の圧縮の進行にしたが
って、シール部材から弁体に作用する反力は増大する。
このとき、カム部材のカム面の傾きは、従動部の移動方
向に向かって減少しているため、従動部からカム部材に
作用する力のうち、傾動方向成分は増大し、直動方向成
分は軽減される。このため、シール部材から弁体を通じ
て弁ロッドに作用する反力の大部分は、カム部材に傾動
方向から作用する。したがって、駆動手段からカム部材
に供給される直動力が一定の値に限られていても、弁ロ
ッドに作用する反力に抗して弁ロッドを傾動させること
ができ、シール部材を押しつぶすことができる。また、
カム面を構成する連続曲面の傾きをシール部材の反力特
性に基づいて設定することにより、弁ロッドからカム部
材に作用する力の直動方向成分が駆動手段から供給され
る直動力を越えないようにすることができ、確実にシー
ル部材から弁体に作用する反力に抗して弁ロッドを傾動
させることができる。さらに、カム面の傾きをシール部
材と弁体との接触時まで、あるいは、接触初期段階まで
は比較的大きくし、その後は小さくすることで、シール
部材からの反力が小さいシール部材と弁体との接触時ま
たは接触初期段階までは弁体の傾動量が大きくとれ、そ
の後においては、シール部材からの反力が増大しても駆
動手段の直動力を増加させずに弁体によるシール部材の
圧縮が確実に行われる。In the present invention, when the cam member is linearly moved by the driving means via the tilting mechanism, the valve rod is linearly moved to a predetermined position, and the linear movement is regulated by the regulating means. In this state, the opening is closed by the valve body.
Further, when direct power is supplied to the cam member, the valve rod is tilted by the tilting means, and the valve body crushes the seal member provided in the opening. As the compression of the seal member progresses, the reaction force acting on the valve body from the seal member increases.
At this time, since the inclination of the cam surface of the cam member decreases in the moving direction of the driven portion, the component in the tilt direction of the force acting on the cam member from the driven portion increases, and the component in the linear motion direction increases. It is reduced. For this reason, most of the reaction force acting on the valve rod from the seal member through the valve body acts on the cam member from the tilt direction. Therefore, even if the direct power supplied from the driving means to the cam member is limited to a certain value, the valve rod can be tilted against the reaction force acting on the valve rod, and the seal member can be crushed. it can. Also,
By setting the inclination of the continuous curved surface constituting the cam surface based on the reaction force characteristic of the seal member, the direct acting component of the force acting on the cam member from the valve rod does not exceed the direct power supplied from the drive means. As a result, the valve rod can be tilted reliably against the reaction force acting on the valve body from the seal member. Further, the inclination of the cam surface is made relatively large until the contact between the seal member and the valve body, or until the initial stage of contact, and then made small, so that the reaction force from the seal member is small and the valve body is made small. At the time of contact or until the initial stage of contact, the amount of tilt of the valve body can be large, and thereafter, even if the reaction force from the seal member increases, the direct force of the drive means does not increase even if the reaction force from the seal member increases. Compression is ensured.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。図1は本発明が適用される
ゲートバルブの構造の一例を示す断面図であり、図2は
図1に示すゲートバルブのA−A線方向の断面図であ
る。図1および図2に示すように、ゲートバルブ1は、
弁体2と、連結部材4を介して弁体2が一端に固定され
た弁ロッド6と、図示しない気密室に取り付けられる取
り付け部材8と、取り付け部材8の弁ロッド6が挿入さ
れる挿入孔8aと弁ロッドとの間をシーリングするシー
ルベローズ10と、弁ロッド6を直動可能にかつ軸14
aを中心に傾斜可能に保持する保持部材14と、保持部
材14の軸14aを回転自在に保持するとともに、ピス
トンロッド20を駆動するエアシリンダ60と、弁ロッ
ド6の外周に固定された2つのストッパ18と、弁ロッ
ド6の他端部に回転自在に設けられたローラ24と、こ
のローラ24が設けられた弁ロッド6の他端部に対向配
置されたカム部材22と、カム部材22とピストンロッ
ド20とを連結する連結板30と、弁ロッド6の他端部
に固定された固定部材26と連結板30によって両端部
が固定され弁ロッド6の他端部および連結板30とを連
結しているコイルばね28とから基本的に構成されてい
る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an example of the structure of a gate valve to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a sectional view of the gate valve shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the gate valve 1
The valve body 2, a valve rod 6 to which the valve body 2 is fixed at one end via a connecting member 4, an attachment member 8 attached to an airtight chamber (not shown), and an insertion hole into which the valve rod 6 of the attachment member 8 is inserted. 8a and a seal bellows 10 for sealing between the valve rod,
a, an air cylinder 60 for driving the piston rod 20 while rotatably holding the shaft 14 a of the holding member 14, and a holding member 14 fixed to the outer periphery of the valve rod 6. The stopper 18, a roller 24 rotatably provided at the other end of the valve rod 6, a cam member 22 opposed to the other end of the valve rod 6 provided with the roller 24, and a cam member 22. A connecting plate 30 connecting the piston rod 20, a fixing member 26 fixed to the other end of the valve rod 6, and both ends are fixed by the connecting plate 30 to connect the other end of the valve rod 6 and the connecting plate 30. And a coil spring 28.
【0013】弁体2は、平板状の部材から形成され、図
示しない気密室の開口部50を開閉可能でかつ開口部5
0に対して傾動することにより開口部50をOリング5
2を介して密封することができる。また、開口部50の
周囲に設けられたOリング52は、脱落防止用のいわゆ
るアリ溝51に嵌入されている。The valve body 2 is formed of a plate-shaped member, and can open and close an opening 50 of an airtight chamber (not shown).
The opening 50 by tilting with respect to the O-ring 5.
2 can be sealed. The O-ring 52 provided around the opening 50 is fitted in a so-called dovetail groove 51 for preventing falling off.
【0014】弁ロッド6は、一端に連結部材4を介して
弁体2が固定され、取り付け部材8の挿入孔8aから図
示しない気密室外に突出するように設けられているとと
もに、保持部材14にOリング14bを介して直動可能
に保持されている。また、保持部材14は軸14aを中
心に回転自在になっていることから、弁ロッド6も軸1
4aを中心に傾斜可能となっている。取り付け部材8
は、例えばマルチチャンバ構成の真空処理装置の搬送室
等の内部を気密状態とすることが可能な気密室に取り付
けられる。The valve rod 6 has one end to which the valve body 2 is fixed via the connecting member 4, and is provided so as to protrude from an insertion hole 8 a of the mounting member 8 to the outside of an airtight chamber (not shown). It is movably held via an O-ring 14b. Since the holding member 14 is rotatable about the shaft 14a, the valve rod 6 is also rotatable about the shaft 1a.
4a can be tilted. Mounting member 8
Is mounted in an airtight chamber capable of sealing the inside of a transfer chamber or the like of a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration.
【0015】シールベローズ10は、取り付け部材8の
挿入孔8aと弁ロッド6との間をシーリングする部材で
あり、弁ロッド6の直動および傾動に伴って伸縮可能と
なっている。保持部材14は、有底の円筒状の部材であ
り、有底部には弁ロッド6を挿入する挿入孔14cが形
成され、外周には互いに対向する位置に軸14aがそれ
ぞれ形成されている。保持部材14は、挿入孔14cに
挿入された弁ロッド6をOリング14bを介して直動自
在に保持し、軸14aはエアシリンダ60に回転自在に
支持されていることから弁ロッド6を傾斜可能に保持し
ている。また、保持部材14は、円筒状の部材であるこ
とから、弁ロッド6の直動によって伸縮するシールベロ
ーズ10を内部に収容可能となっている。The seal bellows 10 is a member for sealing between the insertion hole 8a of the mounting member 8 and the valve rod 6, and is expandable and contractable as the valve rod 6 moves linearly and tilts. The holding member 14 is a cylindrical member having a bottom, and an insertion hole 14c for inserting the valve rod 6 is formed in the bottom, and a shaft 14a is formed on the outer periphery at a position facing each other. The holding member 14 holds the valve rod 6 inserted into the insertion hole 14c so as to be able to move linearly via an O-ring 14b. Since the shaft 14a is rotatably supported by the air cylinder 60, the valve rod 6 is inclined. Holding as possible. Further, since the holding member 14 is a cylindrical member, the seal bellows 10 which can be expanded and contracted by the direct movement of the valve rod 6 can be accommodated therein.
【0016】ストッパ18は、弁ロッド6の軸部に弁ロ
ッド6の外周に突出するように固定されたピン状の部材
である。弁ロッド6が、図2に示す開口部50を閉じる
方向に直動した際に、保持部材14の端面14dに当接
することによって、弁ロッド6の移動を規制する。ロー
ラ24は、ばね部材25によって弁ロッド6の他端部の
所定位置に回転自在に設けられている。具体的には、図
3(a)に示すように、弁ロッド6の端部に形成された
溝状のローラ保持部6bによってローラ24の外周面の
一部が摺動可能に保持されるように、ローラ24の両端
部はばね部材25によって回転自在に支持されている。
ばね部材25の一端は、弁ロッド6に形成された固定部
6aに固定されている。The stopper 18 is a pin-shaped member fixed to the shaft of the valve rod 6 so as to protrude from the outer periphery of the valve rod 6. When the valve rod 6 moves straight in the direction to close the opening 50 shown in FIG. 2, the movement of the valve rod 6 is regulated by contacting the end surface 14 d of the holding member 14. The roller 24 is rotatably provided at a predetermined position at the other end of the valve rod 6 by a spring member 25. Specifically, as shown in FIG. 3A, a part of the outer peripheral surface of the roller 24 is slidably held by the groove-shaped roller holding portion 6b formed at the end of the valve rod 6. Both ends of the roller 24 are rotatably supported by a spring member 25.
One end of the spring member 25 is fixed to a fixing portion 6 a formed on the valve rod 6.
【0017】カム部材22は、ローラ24が保持された
弁ロッド6の他端部に対向するように配置されている。
このカム部材22の先端部には、ローラ24を保持可能
な第1保持部22aと、ローラが回転しながら係合可能
なカム面22bと、ローラ24を保持可能な第1保持部
22cとが連続して形成されている。第1保持部22a
は、溝状に形成されており、弁ロッド6が開口部50を
開閉する方向に直動する際にローラ24を保持する。第
2保持部22cは、ローラ24の曲率と同じ曲率を持つ
R部からなり、弁ロッド6が所定の角度まで傾斜すると
ローラ24を保持する。カム面22bは、ローラ24と
係合することにより弁ロッド6を軸14bを中心に傾斜
させることができる。なお、カム面22bの形状につい
ては後述する。The cam member 22 is disposed so as to face the other end of the valve rod 6 on which the roller 24 is held.
At the tip of the cam member 22, a first holding portion 22a capable of holding the roller 24, a cam surface 22b capable of engaging the roller while rotating, and a first holding portion 22c capable of holding the roller 24 are provided. It is formed continuously. First holding part 22a
Is formed in a groove shape, and holds the roller 24 when the valve rod 6 linearly moves in a direction to open and close the opening 50. The second holding portion 22c is formed of an R portion having the same curvature as the curvature of the roller 24, and holds the roller 24 when the valve rod 6 is inclined to a predetermined angle. The cam surface 22b can incline the valve rod 6 about the shaft 14b by engaging with the roller 24. The shape of the cam surface 22b will be described later.
【0018】上記したローラ24を回転自在に支持する
ばね部材25は、ローラ24を支持すると同時に、他端
がカム部材22に形成された固定部22dに固定されて
いる。これにより、弁ロッド6の端部とカム部材22と
の相対位置がずれて、互いに対向しなくなるのを防止す
ることができる。The spring member 25 rotatably supporting the roller 24 supports the roller 24 and has the other end fixed to a fixing portion 22 d formed on the cam member 22. Thereby, it is possible to prevent the relative position between the end portion of the valve rod 6 and the cam member 22 from being shifted and not opposing each other.
【0019】コイルばね28は、対向する弁ロッド6の
端部とカム部材22との外周を囲むように、弁ロッド6
に固定された固定部材26に形成された固定部26aお
よび連結板30に形成された固定部30aに両端部が固
定されている。コイルばね28の果たす役割としては、
ローラ24の第1保持部22aからの保持状態の解除を
抑制するように弁ロッド6とカム部材22とを連結して
いる。すなわち、コイルばね28は、第1保持部22a
にローラ24を保持した状態でカム部材22が直動した
際に、第1保持部22aのローラ24の保持状態が容易
に解除されるのを防止する役割を果たす。エアシリンダ
60は、本体が取り付け部材8に固定され、ピストンロ
ッド20が連結板30に固定されている。The coil spring 28 surrounds the end of the valve rod 6 and the outer periphery of the cam member 22 so as to surround the valve rod 6.
Both ends are fixed to a fixing portion 26a formed on the fixing member 26 fixed to the fixing member 26 and a fixing portion 30a formed on the connecting plate 30. The role that the coil spring 28 plays is
The valve rod 6 and the cam member 22 are connected so as to suppress the release of the holding state of the roller 24 from the first holding portion 22a. That is, the coil spring 28 is connected to the first holding portion 22a.
When the cam member 22 linearly moves while holding the roller 24, the first holding portion 22a prevents the holding state of the roller 24 from being easily released. The air cylinder 60 has a main body fixed to the mounting member 8 and a piston rod 20 fixed to the connecting plate 30.
【0020】ここで、上記のゲートバルブ1の基本的な
動作について説明する。図1および図2に示したゲート
バルブ1の状態は、開口部50を開いた状態であるが、
エアシリンダ60を駆動して、カム部材22を開口部5
0を閉じる方向に直動させる。上記のようなエアシリン
ダ60の駆動によって、カム部材22は、図3(a)に
示す第1保持部22aでローラ24を保持した状態で、
弁ロッド6を直動させる。カム部材22が移動して、弁
ロッド6が所定の位置に到達すると、図4および図5に
示すように、上記したストッパ18が保持部材14の端
面14dに当接し、弁ロッド6の移動が規制されるとと
もに、弁体2が開口部50を閉じた状態になる。この状
態からさらにカム部材22が直動すると、弁ロッド6は
移動せずカム部材22のみが移動して、図3(b)に示
すように、第1保持部22aにローラ24を保持した状
態が解除される。ローラ24は、図3(b)に示す矢印
方向に回転しながら、カム面22b上を案内されて転が
る。これにより、弁ロッド6が保持部材14の軸14a
を中心に傾斜する。Here, the basic operation of the gate valve 1 will be described. The state of the gate valve 1 shown in FIGS. 1 and 2 is a state in which the opening 50 is opened,
The air cylinder 60 is driven to move the cam member 22 to the opening 5.
0 is linearly moved in the closing direction. By driving the air cylinder 60 as described above, the cam member 22 holds the roller 24 with the first holding portion 22a shown in FIG.
The valve rod 6 is moved directly. When the cam member 22 moves and the valve rod 6 reaches a predetermined position, as shown in FIGS. 4 and 5, the stopper 18 contacts the end surface 14d of the holding member 14, and the movement of the valve rod 6 is stopped. While being regulated, the valve element 2 is in a state where the opening 50 is closed. When the cam member 22 further linearly moves from this state, the valve rod 6 does not move and only the cam member 22 moves, and as shown in FIG. 3B, a state where the roller 24 is held by the first holding portion 22a. Is released. The roller 24 is guided on the cam surface 22b and rolls while rotating in the direction of the arrow shown in FIG. Thereby, the valve rod 6 is connected to the shaft 14a of the holding member 14.
Tilt around.
【0021】ローラ24がカム部材22のカム面22b
上を転がると、弁ロッド6が傾斜し、図6に示すよう
に、弁体2が開口部50の外周に設けられたOリング5
2を押圧し、押しつぶす。これにより、開口部50の密
封が行われる。図3(c)に示すように、ばね部材25
は、その復元力に抗して弾性変形し、また、図6に示す
ように、コイルばね28も同様に弾性変形する。カム部
材22のさらなる直動によって、弁ロッド6が所定の角
度傾斜すると、図3(c)に示すように、ローラ24は
カム部材22の第2保持部22cに保持された状態とな
る。これにより、開口部50の弁体2による密封動作が
完了する。ローラ24が第2の保持部22cによって保
持されることにより、ローラ24が移動せず、開口部5
0の密封状態を安定して保つことができる。The roller 24 is connected to the cam surface 22b of the cam member 22.
When it rolls up, the valve rod 6 is inclined, and as shown in FIG.
Press 2 and crush. Thus, the opening 50 is sealed. As shown in FIG.
Are elastically deformed against the restoring force, and the coil spring 28 is also elastically deformed as shown in FIG. When the valve rod 6 is tilted by a predetermined angle due to the further linear movement of the cam member 22, the roller 24 is held by the second holding portion 22c of the cam member 22, as shown in FIG. Thus, the sealing operation of the opening 50 by the valve body 2 is completed. Since the roller 24 is held by the second holding portion 22c, the roller 24 does not move and the opening 5
0 can be stably maintained.
【0022】開口部50を開く動作は、カム部材22を
開口部50を開く方向に直動させる。このとき、ローラ
24は第2の保持部22cによって保持された状態か
ら、ばね部材25およびコイルばねの復元力によって、
カム面22bを転がって再度第1保持部に保持され、弁
ロッド6は直立する。The operation of opening the opening 50 causes the cam member 22 to move directly in the direction in which the opening 50 is opened. At this time, the roller 24 is changed from the state held by the second holding portion 22c to the restoring force of the spring member 25 and the coil spring.
The cam surface 22b is rolled and held by the first holding portion again, and the valve rod 6 stands upright.
【0023】図7は、本実施形態に係るカム部材22の
カム面22bの構造を示す図である。図7に示すよう
に、弁ロッド6の直動方向をy、これに直交するローラ
24が移動する傾動方向をxとする。カム部材22のカ
ム面22bは、第1の保持部22a側に位置する位置P
sをカム面22bの開始位置とし、第2の保持部22c
側に位置する位置Peを終点位置とすると、開始位置P
sから終点位置Peに向かって連続した曲面で構成され
ている。また、開始位置Psと終点位置Peとの間の任
意の位置Pにおける接線Sの直動方向yに対する傾きθ
は、開始位置Psから終点位置Peに向かって次第に減
少している。すなわち、傾きθは、開始位置Ps付近で
は比較的大きいが、終点位置Peでは非常に小さくなっ
ており、終点位置Pe付近での接線Sは直動方向yに略
平行となっている。FIG. 7 is a view showing the structure of the cam surface 22b of the cam member 22 according to this embodiment. As shown in FIG. 7, the direction in which the valve rod 6 moves linearly is defined as y, and the direction in which the roller 24 moves perpendicular to the direction is defined as x. The cam surface 22b of the cam member 22 is positioned at a position P located on the first holding portion 22a side.
s is the start position of the cam surface 22b, and the second holding portion 22c
If the position Pe located on the side is the end point position, the start position P
It is composed of a curved surface that is continuous from s to the end point Pe. Further, the inclination θ of the tangent line S at an arbitrary position P between the start position Ps and the end point position Pe with respect to the translation direction y.
Gradually decreases from the start position Ps toward the end point position Pe. That is, the inclination θ is relatively large near the start position Ps, but extremely small near the end point Pe, and the tangent S near the end point Pe is substantially parallel to the translation direction y.
【0024】さらに、開始位置Ps近傍の位置Ptは、
弁体2がOリング52に接触開始するときのローラ24
が到達する位置である。カム面22bの傾きθは、開始
位置Psから上記の位置Ptを少し過ぎた領域までがそ
の後の終点位置Peに向かう領域よりも大きく設定され
ている。Further, the position Pt near the start position Ps is:
Roller 24 when valve body 2 starts contacting O-ring 52
Is the position to reach. The inclination θ of the cam surface 22b is set to be larger from the start position Ps to a region slightly past the above-mentioned position Pt than to a region going to the end point position Pe thereafter.
【0025】上記のカム部材22のカム面22bの曲面
の位置Pt付近から終点位置Peにかけての傾きθは、
Oリング52の反力特性に基づいて決定される。図8
は、アリ溝51に嵌入された状態のOリング52を弁体
2によって押し潰した際の、Oリング52の圧縮率と弁
体2がOリングから受ける反力との相関を示すグラフで
ある。図8に示すように、Oリング52から弁体2が受
ける反力Nは、圧縮率の増加に伴って、非線形に増大し
ているのがわかる。なお、カム面22bにおいて、Oリ
ング52の圧縮率が2.5%となるときのローラ24の
位置は、位置Ptから若干終点位置Pe寄りの位置であ
り、圧縮率が17.5%になるときのローラ24の位置
は、終点位置Pe付近である。また、図8は、Oリング
52がアリ溝51に嵌入された状態でのデータである
が、Oリング52がアリ溝51に嵌入されていない場合
にも、反力Nの大きさは小さいが同様な傾向をもつ。本
実施形態では、カム部材22のカム面22bの曲面の傾
きθを、Oリング52から弁体2が受ける反力Nの増大
に応じて徐々に減少させている。The inclination θ from the vicinity of the curved surface position Pt of the cam surface 22b of the cam member 22 to the end point position Pe is:
It is determined based on the reaction force characteristics of the O-ring 52. FIG.
Is a graph showing the correlation between the compression ratio of the O-ring 52 and the reaction force received from the O-ring when the O-ring 52 fitted in the dovetail groove 51 is crushed by the valve body 2. . As shown in FIG. 8, it can be seen that the reaction force N received by the valve element 2 from the O-ring 52 increases nonlinearly with an increase in the compression ratio. In the cam surface 22b, the position of the roller 24 when the compression ratio of the O-ring 52 becomes 2.5% is slightly closer to the end point Pe from the position Pt, and the compression ratio becomes 17.5%. The position of the roller 24 at that time is near the end point position Pe. FIG. 8 shows data in a state where the O-ring 52 is fitted in the dovetail groove 51. Even when the O-ring 52 is not fitted in the dovetail groove 51, the magnitude of the reaction force N is small. It has a similar tendency. In the present embodiment, the inclination θ of the curved surface of the cam surface 22b of the cam member 22 is gradually reduced in accordance with an increase in the reaction force N received by the valve body 2 from the O-ring 52.
【0026】ここで、上記のような反力特性を有するO
リング52を弁体2を傾動させて押しつぶしたときのロ
ーラ24からカム部材22のカム面22bに作用する力
について図9を参照して説明する。図9において、カム
面22b上の上記した開始位置Ps寄りの位置をP1と
し、終点位置Peよりの位置をP2とすると、上述した
ように位置P1における接線S1の傾きθ1は、位置P
2における接線S2の傾きθ2よりも大きくなってい
る。たとえば、エアシリンダ60からの推進力Fでカム
部材22が直動され、ローラ24が開始位置Ps側から
位置P1に移動すると、カム面22bの位置P1には、
接線S1に直交する方向に力R1が作用する。さらに、
カム部材22が直動され、ローラ24が位置P2に移動
すると、カム面22bの位置P2には、接線S2に直交
する方向に力R2が作用する。Here, O having the above-mentioned reaction force characteristics is obtained.
The force acting on the cam surface 22b of the cam member 22 from the roller 24 when the ring 52 is crushed by tilting the valve body 2 will be described with reference to FIG. In FIG. 9, assuming that the position on the cam surface 22b near the start position Ps is P1 and the position from the end point Pe is P2, the inclination θ1 of the tangent S1 at the position P1 is the position P1 as described above.
2 is larger than the inclination θ2 of the tangent line S2. For example, when the cam member 22 is linearly moved by the propulsive force F from the air cylinder 60 and the roller 24 moves from the start position Ps to the position P1, the position P1 of the cam surface 22b is
A force R1 acts in a direction orthogonal to the tangent S1. further,
When the cam member 22 is linearly moved and the roller 24 moves to the position P2, a force R2 acts on the position P2 of the cam surface 22b in a direction orthogonal to the tangent S2.
【0027】位置P1で作用する力R1は、弁体2によ
るOリング52の圧縮の初期段階でありOリング52か
らの反力Nが小さいため、比較的小さい。位置P2で作
用する力R2は、弁体2によるOリング52の圧縮が進
行しており、弁体2がOリング52から受ける反力Nが
大きいため、非常に大きくなる。位置P1で作用する力
R1の直動方向成分をR1y、傾動方向成分をR1xと
し、位置P2で作用する力R2の直動方向成分をR2
y、傾動方向成分をR2xとすると、直動方向成分R1
yや直動方向成分R2yよりも推進力Fが大きければ、
推進力Fによってカム部材22を直動させることができ
る。The force R1 acting at the position P1 is relatively small because the reaction N from the O-ring 52 is small at the initial stage of the compression of the O-ring 52 by the valve body 2. The force R2 acting at the position P2 becomes very large because the compression of the O-ring 52 by the valve body 2 is progressing and the reaction force N received by the valve body 2 from the O-ring 52 is large. Let R1y be the translational direction component of the force R1 acting at the position P1, R1x be the tilting direction component, and R2 be the translational direction component of the force R2 acting at the position P2.
Assuming that y and the tilt direction component are R2x, the linear motion direction component R1
If the propulsion force F is larger than y or the linear motion direction component R2y,
The cam member 22 can be linearly moved by the propulsive force F.
【0028】図9から分かるように、位置P2で作用す
る力R2のように大きな力がカム部材22に作用して
も、この位置での傾きθ2を小さくしておけば、力R2
の直動方向成分R2yを小さな値に抑えることができ
る。この場合に、傾動方向成分R2xが大きくなって
も、この力R2xは、カム部材22によって支持するこ
とができる。すなわち、カム面22b上の各位置でロー
ラ24からカム部材22に作用する力は、図8に示した
Oリング52の反力特性から得られ、ローラ24から各
位置に作用する力の直動方向成分がエアシリンダ60の
推進力Fを越えないように、各位置の直動方向θに対す
る傾きθを設定すれば、エアシリンダ60の推進力Fを
増加させなくても、Oリング52の所定の押し潰し量を
得ることができる。As can be seen from FIG. 9, even if a large force such as the force R2 acting at the position P2 acts on the cam member 22, if the inclination θ2 at this position is reduced, the force R2
Can be suppressed to a small value. In this case, even if the tilt direction component R2x increases, the force R2x can be supported by the cam member 22. That is, the force acting on the cam member 22 from the roller 24 at each position on the cam surface 22b is obtained from the reaction force characteristic of the O-ring 52 shown in FIG. If the inclination θ with respect to the translation direction θ of each position is set so that the directional component does not exceed the propulsion force F of the air cylinder 60, the predetermined value of the O-ring 52 can be obtained without increasing the propulsion force F of the air cylinder 60. Can be obtained.
【0029】上記したカム面22bの曲面を形成するに
は、たとえば、カム面22bの複数位置で必要な傾きθ
を決定し、たとえば、ワイヤカット放電加工機を用いて
複数位置間を加工することで、滑らかな曲面が得られ
る。In order to form the above-mentioned curved surface of the cam surface 22b, for example, the inclination θ required at a plurality of positions of the cam surface 22b is determined.
Is determined, and a smooth curved surface can be obtained by machining between a plurality of positions using, for example, a wire-cut electric discharge machine.
【0030】以上のように、本実施形態によれば、カム
部材22のカム面22bの各位置における接線の直動方
向yに対する傾きθを、Oリング52から弁体2が受け
る反力Nの増大に応じて減少するように設定しているの
で、カム部材22がローラ24から受ける力の直動方向
成分が反力Nの増大に応じて軽減される。したがって、
エアシリンダ60の推進力Fが一定でもカム部材22を
直動させることができ、Oリング52の所定の押し潰し
量を得ることができる。また、本実施形態によれば、カ
ム面22bの傾きθは、開始位置Psから上記の位置P
tを少し過ぎた領域までがその後の終点位置Peに向か
う領域よりも大きく設定されているため、Oリング52
からの反力が小さい状態にある弁体2の傾動初期、すな
わち、Oリング52と弁体2との接触時まで、あるいは
接触初期段階までにおいて大きな傾動量を得ることがで
き、Oリング52の所定の押し潰し量を得るのに必要な
カム面22bの長さを伸ばす必要がなく、結果として、
エアシリンダ60のストロークを長くする必要がない。As described above, according to the present embodiment, the inclination θ of the tangent at each position of the cam surface 22b of the cam member 22 with respect to the translation direction y is determined by the reaction force N received by the valve body 2 from the O-ring 52. Since the setting is made so as to decrease as the increase, the direct-movement component of the force that the cam member 22 receives from the roller 24 is reduced as the reaction force N increases. Therefore,
Even when the propulsion force F of the air cylinder 60 is constant, the cam member 22 can be moved directly, and a predetermined amount of crushing of the O-ring 52 can be obtained. Further, according to the present embodiment, the inclination θ of the cam surface 22b is calculated from the start position Ps to the position P
Since the region up to a little after t is set to be larger than the region toward the subsequent end point Pe, the O-ring 52
A large amount of tilt can be obtained at the initial stage of tilting of the valve element 2 in a state where the reaction force from the valve element 2 is small, that is, at the time of contact between the O-ring 52 and the valve element 2 or up to the initial stage of contact. There is no need to increase the length of the cam surface 22b required to obtain a predetermined crush amount, and as a result,
There is no need to lengthen the stroke of the air cylinder 60.
【0031】また、本実施形態によれば、カム部材22
のカム面22bをOリング52の反力特性に応じて最適
に形成するため、Oリング52の所定の押し潰し量を得
るのに要するエアシリンダ60の推進力Fを低減するこ
とができる。すなわち、Oリング52の所定の押し潰し
量を得るのに、カム部材22のカム面22bの形状をい
かに小さい推進力でOリング52の十分な押しつぶしが
可能かを決定できるので、必要最低限のエアシリンダ6
0の推進力Fを決定することができる。具体的には、た
とえば、従来において、エアシリンダ60のエア供給圧
力が5kgf/cm2 必要であったものが、4kgf/
cm2 に低減することができた。According to the present embodiment, the cam member 22
The cam surface 22b is optimally formed according to the reaction force characteristics of the O-ring 52, so that the propulsive force F of the air cylinder 60 required to obtain a predetermined amount of crushing of the O-ring 52 can be reduced. That is, in order to obtain a predetermined amount of crushing of the O-ring 52, it is possible to determine how much the shape of the cam surface 22b of the cam member 22 can be sufficiently crushed with a small propulsion force. Air cylinder 6
A thrust F of zero can be determined. Specifically, for example, the air supply pressure of the air cylinder 60 conventionally required 5 kgf / cm 2 , but 4 kgf / cm 2
cm 2 .
【0032】[0032]
【発明の効果】本発明に係るゲートバルブによれば、駆
動手段からの直動力を増加させなくても開口部に設けら
れたシール部材の必要な押しつぶし量が得られ、シール
性を安定、向上させることができる。According to the gate valve of the present invention, the required squeezing amount of the sealing member provided at the opening can be obtained without increasing the direct power from the driving means, and the sealing performance is stabilized and improved. Can be done.
【図1】本発明が適用されるゲートバルブの構造の一例
を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an example of the structure of a gate valve to which the present invention is applied.
【図2】図1に示すゲートバルブのA−A線方向の断面
図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the gate valve shown in FIG. 1 taken along the line AA.
【図3】ローラとカム部材との相対位置関係を示す説明
図であって、(a)は弁体が開口部を開いた状態にある
ときの相対位置関係を示しており、(b)は弁体が開口
部を閉じた状態にあるときの相対位置関係を示してお
り、(c)は弁体が開口部を密封した状態にあるときの
相対位置関係を示している。3A and 3B are explanatory diagrams showing a relative positional relationship between a roller and a cam member, wherein FIG. 3A shows a relative positional relationship when a valve body has an opening portion opened, and FIG. The relative positional relationship when the valve element is in a state in which the opening is closed is shown, and (c) shows the relative positional relationship when the valve element is in a state in which the opening is sealed.
【図4】図1に示すゲートバルブによって開口部を閉じ
た状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where an opening is closed by the gate valve shown in FIG. 1;
【図5】図4に示すゲートバルブの動作状態におけるA
−A線方向の断面図である。FIG. 5 shows A in the operating state of the gate valve shown in FIG. 4;
It is sectional drawing of the -A line direction.
【図6】図4に示すゲートバルブの動作から弁体を傾動
させて開口部を密封した状態を示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing a state in which the opening is sealed by tilting the valve body from the operation of the gate valve shown in FIG. 4;
【図7】本発明に係るカム部材のカム面の一実施形態を
示す図である。FIG. 7 is a view showing one embodiment of a cam surface of a cam member according to the present invention.
【図8】アリ溝に嵌入されたOリングを弁体による圧縮
率と、Oリングから受ける反力との相関を示すグラフで
ある。FIG. 8 is a graph showing a correlation between a compression rate of an O-ring fitted in a dovetail groove by a valve body and a reaction force received from the O-ring.
【図9】Oリング52を弁体2を傾動させて押しつぶし
たときのローラ24からカム部材22のカム面22bに
作用する力を説明するための図である。FIG. 9 is a view for explaining a force acting on the cam surface 22b of the cam member 22 from the roller 24 when the O-ring 52 is crushed by tilting the valve body 2;
【図10】マルチチャンバ構成の真空処理装置の一例を
示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an example of a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration.
【図11】ゲートバルブの構造の一例を示す説明図であ
る。FIG. 11 is an explanatory view showing an example of the structure of a gate valve.
【図12】図11に示すゲートバルブによってゲートを
閉じて密封した状態を示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory view showing a state in which the gate is closed and sealed by the gate valve shown in FIG. 11;
1…ゲートバルブ、2…弁体、4…連結部材、6…弁ロ
ッド、8…取り付け部材、10…シールベローズ、12
…固定リング、14…保持部材、18…ストッパ、20
…ピストンロッド、22…カム部材、22a…第1保持
部、22b…カム面、22c…第2保持部、24…ロー
ラ、25…ばね部材、26…固体部材、28…コイルば
ね、30…連結板、50…開口部、51…アリ溝、52
…Oリング。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Gate valve, 2 ... Valve element, 4 ... Connection member, 6 ... Valve rod, 8 ... Mounting member, 10 ... Seal bellows, 12
... fixing ring, 14 ... holding member, 18 ... stopper, 20
... Piston rod, 22 ... Cam member, 22a ... First holding part, 22b ... Cam surface, 22c ... Second holding part, 24 ... Roller, 25 ... Spring member, 26 ... Solid member, 28 ... Coil spring, 30 ... Connection Plate, 50: Opening, 51: Dovetail, 52
... O-ring.
Claims (3)
材を圧縮しながら前記開口部に対して傾動することによ
り当該開口部を密封する弁体と、 一端部に前記弁体が固定され、前記開口部を開閉する所
定の直動方向に移動可能に保持され、かつ、所定の軸を
中心に傾動可能に保持された弁ロッドと、 前記弁ロッドの直動を前記弁体が前記開口部を閉じる位
置で規制する規制手段と、 前記弁ロッドの他端部側に設けられた従動部と、前記従
動部と係合するカム面を備えるカム部材とを有し、前記
カム部材の直動によって前記従動部を傾動方向に案内移
動させて前記弁ロッドを傾動させる傾動手段と、 前記傾動手段を介して前記弁ロッドに連結され、前記カ
ム部材に所定の直動力を供給する駆動手段と、を具備す
るゲートバルブであって、 前記カム部材の前記カム面は、連続曲面からなり、当該
カム面の各位置における接線の前記直動方向に対する傾
きが、前記弁体による前記シール部材の圧縮動作に伴っ
て前記従動部が移動する方向に沿って減少しているゲー
トバルブ。A valve body for opening and closing the opening of the airtight chamber and sealing the opening by tilting with respect to the opening while compressing a sealing member; and the valve body is fixed to one end. A valve rod that is held movably in a predetermined linear movement direction for opening and closing the opening, and that is held so as to be tiltable about a predetermined axis; Regulating means for regulating the position at which the part is closed, a driven part provided on the other end side of the valve rod, and a cam member having a cam surface engaged with the driven part. A tilting means for guiding the driven portion in the tilting direction by movement to tilt the valve rod, and a driving means connected to the valve rod via the tilting means and supplying a predetermined direct power to the cam member; A gate valve comprising: The cam surface of the cam member has a continuous curved surface, and the inclination of the tangent line at each position of the cam surface with respect to the translation direction is the direction in which the follower moves along with the compression operation of the seal member by the valve body. Gate valves that are decreasing along.
力特性に基づいて決定されている請求項2に記載のゲー
トバルブ。2. The gate valve according to claim 2, wherein the inclination of the cam surface is determined based on a reaction force characteristic of the seal member.
記弁体との接触時まで、あるいは、前記シール部材と前
記弁体との接触初期段階まで前記従動部が移動する領域
において比較的大きく、その後の領域においては比較的
小さく設定されている請求項1または2に記載のゲート
バルブ。3. The inclination of the cam surface is relatively small in a region where the driven portion moves until the contact between the seal member and the valve body or until an initial stage of contact between the seal member and the valve body. The gate valve according to claim 1, wherein the gate valve is set to be large and relatively small in a subsequent region.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11152827A JP2000337530A (en) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | Gate valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11152827A JP2000337530A (en) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | Gate valve |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000337530A true JP2000337530A (en) | 2000-12-05 |
Family
ID=15549017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11152827A Pending JP2000337530A (en) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | Gate valve |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000337530A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102147019A (en) * | 2010-01-29 | 2011-08-10 | 东京毅力科创株式会社 | Gate valve and substrate processing apparatus using the same |
-
1999
- 1999-05-31 JP JP11152827A patent/JP2000337530A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102147019A (en) * | 2010-01-29 | 2011-08-10 | 东京毅力科创株式会社 | Gate valve and substrate processing apparatus using the same |
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