JP3256490B2 - Gate valve - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造工程等において使用される真空処理室の開口部を開閉
可能でかつ密封可能なゲートバルブに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve capable of opening and closing an opening of a vacuum processing chamber used in, for example, a semiconductor manufacturing process.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体製造工程におけるドライエッチン
グ工程やスパッタリング工程やエピタキシャルウェハ形
成工程等においては、例えば図９に示すような、複数の
真空処理室が接続されたマルチチャンバ構成の真空処理
装置が使用される。図９の真空処理装置１０１は、ウェ
ハＷの搬出入が行われる搬送室１０２の外周に、各種の
処理を行う複数の真空処理室１０５が接続可能となって
いる。ウェハＷの搬送室１０２と各真空処理室１０５と
の間の移動は、ゲートＧを通じて行われる。ゲートＧの
開閉および密封は、図示しないゲートバルブによって行
われる。2. Description of the Related Art In a dry etching process, a sputtering process, an epitaxial wafer forming process, and the like in a semiconductor manufacturing process, a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration in which a plurality of vacuum processing chambers are connected as shown in FIG. 9 is used. Is done. In the vacuum processing apparatus 101 in FIG. 9, a plurality of vacuum processing chambers 105 for performing various processes can be connected to the outer periphery of the transfer chamber 102 in which the wafer W is loaded and unloaded. The movement of the wafer W between the transfer chamber 102 and each vacuum processing chamber 105 is performed through the gate G. The opening and closing and sealing of the gate G are performed by a gate valve (not shown).

【０００３】図９の真空処理装置１０１では、ウェハＷ
を、搬出入路１０４の搬出入口１０３を通じて図示しな
い搬送装置によって搬送室１０２内に搬入し、搬送室１
０２内に設けられた真空搬送ロボット１０７によって保
持する。ウェハＷが真空搬送ロボット１０７によって保
持されると、搬出入口１０３を閉じ、搬送室１０２内を
真空引きする。このとき、上記の各ゲートバルブは各ゲ
ートを密封した状態となっている。搬送室１０２内の真
空引きが完了すると、各ゲートバルブを駆動してゲート
Ｇを開き、真空搬送ロボット１０７によってウェハＷを
所定の真空処理室に搬送する。当該真空処理室におい
て、処理を行うために、各ゲートバルブを駆動してゲー
トＧを閉じ、ウェハＷの所定の処理を行う。ウェハＷの
所定の処理が完了したら、ゲートバルブを駆動してゲー
トＧを開き、再度真空搬送ロボット１０７によってウェ
ハＷを当該真空処理室から取出し、搬出入口１０３を通
じて真空処理装置１０１外に自動的に搬出される。In the vacuum processing apparatus 101 shown in FIG.
Is carried into the transfer chamber 102 by the transfer device (not shown) through the transfer port 103 of the transfer path 104, and the transfer chamber 1
2 is held by a vacuum transfer robot 107 provided in the inside of the apparatus. When the wafer W is held by the vacuum transfer robot 107, the transfer port 103 is closed, and the transfer chamber 102 is evacuated. At this time, each gate valve is in a state where each gate is sealed. When the evacuation in the transfer chamber 102 is completed, each gate valve is driven to open the gate G, and the wafer W is transferred to a predetermined vacuum processing chamber by the vacuum transfer robot 107. In the vacuum processing chamber, in order to perform processing, each gate valve is driven to close the gate G, and a predetermined processing of the wafer W is performed. When the predetermined processing of the wafer W is completed, the gate valve is driven to open the gate G, the wafer W is again taken out of the vacuum processing chamber by the vacuum transfer robot 107, and automatically out of the vacuum processing apparatus 101 through the loading / unloading port 103. It is carried out.

【０００４】上記のような真空処理装置１０１における
ゲートＧを開閉しかつ密封可能なゲートバルブ１０６の
構造として、例えば、図１０および図１１に示すような
構造が知られている。図１０において、搬送室２０２
は、ゲートＧを通じて真空処理室２０３と連通してい
る。このゲートＧの開閉をゲートバルブ２０１によって
行うが、ゲートバルブ２０１は、ゲートＧの開閉および
密封を行う弁体２０５と、この弁体２０５が一端部に固
定され直動可能にかつ所定の軸２０８を中心に傾斜可能
に保持されている弁ロッド２０６と、搬送室２０２と弁
ロッド２０６との間をシーリングするシールベローズ２
０７と、弁ロッド２０６を直動および傾動させる図示し
ない駆動手段とを有している。ゲートバルブ２０１は、
図１０においては、ゲートＧを開いた状態にある。ゲー
トＧを閉じかつ密封するには、図１１に示すように、弁
ロッド２０６を直動させて弁体２０５がゲートＧを閉じ
る位置まで移動し、弁ロッド２０６を軸２０８を中心に
傾斜させることにより行う。この結果、弁体２０５がゲ
ートＧの外周に設けられたＯリング２０４を押圧しゲー
トＧが密封される。As a structure of the gate valve 106 capable of opening and closing and sealing the gate G in the vacuum processing apparatus 101 as described above, for example, a structure as shown in FIGS. 10 and 11 is known. In FIG. 10, the transfer chamber 202
Communicates with the vacuum processing chamber 203 through the gate G. The gate G is opened and closed by a gate valve 201. The gate valve 201 includes a valve body 205 that opens and closes and seals the gate G. And a seal bellows 2 for sealing between the transfer chamber 202 and the valve rod 206.
07 and a drive unit (not shown) for linearly moving and tilting the valve rod 206. The gate valve 201
In FIG. 10, the gate G is open. To close and seal the gate G, as shown in FIG. 11, the valve rod 206 is moved directly to the position where the valve body 205 closes the gate G, and the valve rod 206 is tilted about the axis 208 as shown in FIG. Performed by As a result, the valve body 205 presses the O-ring 204 provided on the outer periphery of the gate G, and the gate G is sealed.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】一般的に、たとえば、
半導体装置の製造装置などのダストを嫌う装置に用いら
れるゲートバルブでは、高いシール性が要求される。上
記の構造のゲートバルブ２０１シールベローズ２０７
は、たとえば、金属材料から伸縮自在に形成され、搬送
室２０２の弁ロッド２０６を挿入する孔および弁ロッド
２０６の外周に溶接によって気密に固着される。このた
め、ゲートバルブ２０１では、シール性が高く、また、
弁ロッド２０７に摺動部分が存在しないためパーティク
ルが発生せず、ウェハのパーティクルによる汚染を極力
避けることが可能となる。Generally, for example,
A gate valve used in a device that dislikes dust, such as a semiconductor device manufacturing device, requires high sealing performance. Gate valve 201 seal bellows 207 having the above structure
For example, is formed of a metal material so as to be extendable and contractible, and is hermetically fixed to a hole of the transfer chamber 202 into which the valve rod 206 is inserted and an outer periphery of the valve rod 206 by welding. For this reason, the gate valve 201 has a high sealing property,
Since there is no sliding portion on the valve rod 207, no particles are generated, and it is possible to minimize contamination of the wafer by particles.

【０００６】しかしながら、上記のシールベローズ２０
７を搬送室２０２および弁ロッド２０６の外周に溶接に
よって直接固着する方法では、一般的に非常にコストが
かかるという不利益が存在する。また、シールベローズ
２０７は、溶接によって搬送室２０２および弁ロッド２
０６に固着されるため、メインテナンスにコストがかか
るという不利益も存在する。However, the above-described seal bellows 20
The method of directly fixing 7 to the outer periphery of the transfer chamber 202 and the valve rod 206 by welding has a disadvantage that it is generally very costly. Further, the seal bellows 207 is connected to the transfer chamber 202 and the valve rod 2 by welding.
There is also a disadvantage that the maintenance is costly because it is fixed at 06.

【０００７】本発明は、かかる従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、シール性が良好でシール部に要する
製造コストを低減することができ、メインテナンスが容
易なゲートバルブを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a gate valve which has good sealability, can reduce the manufacturing cost required for the seal portion, and can be easily maintained. Aim.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブ
は、気密室内に設けられ当該気密室の開口部を開閉可能
でかつ前記開口部に対する傾動により当該開口部を密封
可能な弁体と、所定の軸を中心に回転自在に支持された
保持部材と、前記弁体が一端部に固定され、前記気密室
内から気密室外に突出して設けられ、前記保持部材の挿
入孔に挿入され、直動可能に保持された弁ロッドと、前
記弁ロッドの軸部の外周に設けられ、前記気密室と前記
保持部材との間をシールし、前記弁ロッドの傾動による
変形を受容するシールベローズと、前記弁ロッドの外周
に嵌合し、前記保持部材の気密室寄りの挿入孔内に保持
され、前記保持部材と前記弁ロッドとの間をシールする
シール部材と、前記弁ロッドの外周に嵌合し、前記保持
部材の気密室から離れる側の挿入孔に保持され、前記弁
ロッドの傾動時に前記開口部からの当該弁ロッドを通じ
て作用する反力を受ける潤滑性能を有する軸受部材と、
前記弁ロッドと連結され当該弁ロッドを前記弁体が前記
開口部を閉じる位置で前記所定の軸を支点として傾動さ
せる傾動機構と、前記傾動機構を介して前記弁ロッドと
連結され、前記弁ロッドの直動および傾動に必要な駆動
力を供給する駆動手段とを有し、前記軸受部材は、前記
所定の軸に近い側から順に設けられた、変形可能な材料
から構成される第１の軸受部材と、前記第１の軸受部材
よりも耐荷重性が大きい材料から構成される第２の軸受
部材とからなる。According to the present invention, there is provided a gate valve provided in an airtight chamber, capable of opening and closing an opening of the airtight chamber, and sealing the opening by tilting with respect to the opening. A holding member rotatably supported around the axis of the shaft, and the valve element is fixed to one end, and is provided so as to protrude from the airtight chamber to the outside of the airtight chamber, is inserted into an insertion hole of the holding member, and is linearly movable. And a seal bellows provided on an outer periphery of a shaft portion of the valve rod, for sealing between the hermetic chamber and the holding member, and receiving deformation caused by tilting of the valve rod; and A sealing member that fits on the outer periphery of the rod, is held in the insertion hole of the holding member near the airtight chamber, seals between the holding member and the valve rod, and fits on the outer periphery of the valve rod; Separated from the airtight chamber of the holding member Is held in that side of the insertion hole, the bearing member having a lubricating property to undergo a reaction force acting through the valve rod from said opening during the tilting of the valve rod,
A tilting mechanism that is connected to the valve rod and tilts the valve rod at a position where the valve body closes the opening with the predetermined axis as a fulcrum, and the valve rod connected to the valve rod via the tilting mechanism; A driving means for supplying a driving force necessary for linear movement and tilting of the first bearing, wherein the bearing member is provided in order from a side close to the predetermined axis, and is a first bearing made of a deformable material. A second bearing member made of a material having a higher load-bearing capacity than the first bearing member.

【０００９】本発明のゲートバルブの構造では、弁ロッ
ドの傾動時には、軸受部材に作用する気密室の開口部か
らの反力は弁ロッドの傾動の支点である所定の軸に近い
側から大きく作用する。したがって、所定の軸に近い側
の軸受部材の内周端部に力が集中することになる。この
ため、第１の軸受部材は変形し、第１の軸受部材の変形
による弁ロッドの損傷が抑制される。第２の軸受部材
は、第１の軸受部材よりも小さな力が作用するため、第
２の軸受部材は弁ロッドを通じた開口部からの反力によ
って変形しにくくなり、第２の軸受部材の有する大きな
耐荷重性能が発揮される。In the structure of the gate valve of the present invention, when the valve rod is tilted, the reaction force acting on the bearing member from the opening of the airtight chamber acts greatly from the side close to the predetermined axis which is the fulcrum of the valve rod tilt. I do. Therefore, the force concentrates on the inner peripheral end of the bearing member closer to the predetermined shaft. For this reason, the first bearing member is deformed, and damage to the valve rod due to the deformation of the first bearing member is suppressed. Since the second bearing member exerts a smaller force than the first bearing member, the second bearing member is less likely to be deformed by the reaction force from the opening through the valve rod, and has the second bearing member. Large load capacity is exhibited.

【００１０】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。第１実施形態 図１は本発明に係るゲートバルブの第１実施形態を示す
断面図であり、図２は図１に示すゲートバルブのＡ−Ａ
線方向の断面図である。図１および図２に示すように、
ゲートバルブ１は、弁体２と、連結部材４を介して弁体
２が一端に固定された弁ロッド６と、図示しない気密室
に取り付けられる取り付け部材８と、弁ロッド６が挿入
され取り付け部材８の弁ロッド６が挿入される挿入孔８
ａの周囲の気密室外側にＯリング９ａを介して気密に嵌
合固着された装着部材９と、弁ロッド６に嵌合挿入さ
れ、第１のＯリング１８を保持するためのＯリング保持
用溝１４ｂと、第２のＯリング１９を保持するためのＯ
リング保持用溝１４ｄと、第１の軸受部材１７および第
２軸受部材２１を保持するブッシュ保持部１４ｃとが形
成された保持部材１４と、保持部材１４を軸１５ａを中
心に傾斜可能に保持する支持部材１５と、保持部材１４
と装着部材９との間をシーリングするシールベローズ１
０と、弁ロッド６に嵌合固着された固定部材２６と、支
持部材１５の軸１５ａを回転自在に保持するとともに、
ピストンロッド２０を駆動するエアシリンダ１６と、弁
ロッド６の他端部に回転自在に設けられたローラ２４
と、このローラ２４が設けられた弁ロッド６の他端部に
対向配置されたローラ受け部材２２と、ローラ受け部材
２２とピストンロッド２０とを連結する連結板３０と、
弁ロッド６の他端部に固定された固定部材２６と連結板
３０によって両端部が固定され弁ロッド６の他端部およ
び連結板３０とを連結しているコイルばね２８とを有す
る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. First Embodiment FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a gate valve according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of the gate valve shown in FIG.
It is sectional drawing of a line direction. As shown in FIGS. 1 and 2,
The gate valve 1 includes a valve body 2, a valve rod 6 having the valve body 2 fixed to one end via a connecting member 4, a mounting member 8 mounted to an airtight chamber (not shown), and a mounting member into which the valve rod 6 is inserted. 8 into which the valve rod 6 is inserted
a mounting member 9 airtightly fitted and fixed via an O-ring 9a to the outside of the airtight chamber around the a, and an O-ring holding fit and inserted into the valve rod 6 and holding the first O-ring 18 The groove 14b and the O for holding the second O-ring 19
A holding member 14 in which a ring holding groove 14d, a bush holding portion 14c for holding the first bearing member 17 and the second bearing member 21 are formed, and the holding member 14 is held so as to be tiltable about a shaft 15a. Support member 15 and holding member 14
Bellows 1 for sealing between the mounting member 9
0, the fixing member 26 fitted and fixed to the valve rod 6, and the shaft 15a of the support member 15 are rotatably held,
An air cylinder 16 for driving the piston rod 20 and a roller 24 rotatably provided at the other end of the valve rod 6
A roller receiving member 22 disposed opposite to the other end of the valve rod 6 provided with the roller 24, a connecting plate 30 for connecting the roller receiving member 22 and the piston rod 20,
It has a fixing member 26 fixed to the other end of the valve rod 6 and a coil spring 28 whose both ends are fixed by the connecting plate 30 and connects the other end of the valve rod 6 and the connecting plate 30.

【００１１】弁体２は、平板状の部材から形成され、図
示しない気密室の開口部５０を開閉可能でかつ開口部５
０に対して傾動することにより開口部５０をＯリング５
２を介して密封することができる。本実施形態において
は、弁体２として平板状の部材を示しているが、開口部
が曲面形状を有する場合にこれに併せた形状とすること
も可能である。また、弁体２の形成材料としては、極力
パーティクルを発生せず、ガス等を放出しない金属材料
等の材料が望ましい。弁体２と連結部材４との連結は、
例えばボルトによって行われる。The valve body 2 is formed of a plate-shaped member, and can open and close an opening 50 of an airtight chamber (not shown).
The opening 50 by tilting with respect to the O-ring 5.
2 can be sealed. In the present embodiment, a flat plate-shaped member is shown as the valve body 2. However, when the opening has a curved surface shape, it may be shaped accordingly. Further, as a material for forming the valve body 2, a material such as a metal material which does not generate particles as much as possible and does not emit gas or the like is desirable. The connection between the valve body 2 and the connection member 4 is as follows.
For example, by a bolt.

【００１２】弁ロッド６は、一端に連結部材４を介して
弁体２が固定され、取り付け部材８の挿入孔８ａから図
示しない気密室外に突出するように設けられているとと
もに、保持部材１４に第１および第２のＯリング１８，
１９および第１および第２の軸受部材１７，２１を介し
て直動可能に保持されている。保持部材１４は支持部材
１５によって支持され、支持部材１５は軸１５ａを中心
に回転自在になっていることから、弁ロッド６も軸１５
ａを中心に傾斜可能となっている。弁ロッド６と連結部
材４との連結は、例えば溶接によって行われる。弁ロッ
ド６の形成材料としては、極力パーティクルを発生せ
ず、ガス等を放出しない金属材料等の材料が望ましく、
たとえば、ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３１６Ｌなどを使用す
る。The valve rod 6 has one end to which the valve body 2 is fixed via the connecting member 4, and is provided so as to protrude from an insertion hole 8 a of the mounting member 8 to the outside of an airtight chamber (not shown). First and second O-rings 18,
19 and the first and second bearing members 17 and 21 so as to be able to move directly. The holding member 14 is supported by a support member 15, and the support member 15 is rotatable about a shaft 15a.
It is possible to tilt around a. The connection between the valve rod 6 and the connecting member 4 is performed by, for example, welding. As a material for forming the valve rod 6, a material such as a metal material which does not generate particles as much as possible and does not emit gas or the like is desirable.
For example, SUS304, SUS316L, etc. are used.

【００１３】取り付け部材８は、たとえば、マルチチャ
ンバ構成の真空処理装置の搬送室等の内部を気密状態と
することが可能な気密室に取り付けられる。取り付け部
材８の形成材料としては、極力パーティクルを発生せ
ず、ガス等を放出しない金属材料等の材料が望ましい。The mounting member 8 is mounted, for example, in an airtight chamber capable of sealing the inside of a transfer chamber or the like of a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration. As a material for forming the attachment member 8, a material such as a metal material that does not generate particles as much as possible and does not emit gas or the like is desirable.

【００１４】装着部材９は、シールベローズ１０のゲー
トバルブ１への組付け装着を容易にするために設けられ
ている。装着部材９は、Ｏリング９ａによって取り付け
部材８の挿入孔８ａ側をシールしている。この装着部材
９にシールベローズ１０の一端を固着することにより、
シールベローズ１０の一端を取り付け部材８に直接溶接
する必要がなくなる。The mounting member 9 is provided for facilitating the mounting of the seal bellows 10 on the gate valve 1. The mounting member 9 seals the insertion hole 8a side of the mounting member 8 with an O-ring 9a. By fixing one end of the seal bellows 10 to this mounting member 9,
There is no need to directly weld one end of the seal bellows 10 to the mounting member 8.

【００１５】保持部材１４は、弁ロッド６を第１および
第２のＯリング１８，１９および第１および第２の軸受
部材１７，２１を介して摺動自在に保持する。保持部材
１４は、円筒状の部材であり、内周に弁ロッド６を嵌合
挿入する挿入孔１４ａが形成されるとともに、第１およ
び第２のＯリング保持用溝１４ｂ，１４ｄとブッシュ保
持部１４ｃとが形成されている。外周には、固定用溝１
５ｃが形成され、支持部材１５に嵌合挿入された際に、
固定ネジ１５ｄがこの固定用溝１５ｃに係合して保持部
材１４は支持部材１５に対して固定される。The holding member 14 slidably holds the valve rod 6 via first and second O-rings 18, 19 and first and second bearing members 17, 21. The holding member 14 is a cylindrical member, and has an insertion hole 14a for fitting and inserting the valve rod 6 in the inner periphery thereof, and the first and second O-ring holding grooves 14b and 14d and the bush holding portion. 14c are formed. On the outer circumference, a fixing groove 1
5c is formed, and when fitted and inserted into the support member 15,
The fixing screw 15d is engaged with the fixing groove 15c, and the holding member 14 is fixed to the support member 15.

【００１６】第１および第２のＯリング１８，１９は、
たとえば、樹脂から形成され、無潤滑で弁ロッド６と保
持部材１４の挿入孔１４ａとの間のシールを行なう。こ
れにより、外部から弁ロッド６と保持部材１４の挿入孔
１４ａとの間を通じてダスト等が侵入することが防止さ
れる。また、第１および第２のＯリング１８，１９の２
つのＯリングを並列して配設したことにより、シール性
をより向上させることができる。The first and second O-rings 18, 19 are
For example, it is made of resin and seals between the valve rod 6 and the insertion hole 14a of the holding member 14 without lubrication. This prevents dust and the like from entering from outside through the space between the valve rod 6 and the insertion hole 14a of the holding member 14. In addition, the first and second O-rings 18, 19-2
By arranging the two O-rings in parallel, the sealing performance can be further improved.

【００１７】第１および第２の軸受部材１７，２１は、
スリーブ状の部材からなり、支持部材１５の軸１５ａに
近い側からロッド６の外周の軸方向に隣接して配設され
ている。これら第１および第２の軸受部材１７，２１
は、弁ロッド６の外周面と摺動し、保持部材１４が弁ロ
ッド６から受ける力を支える役割を果たす。The first and second bearing members 17, 21 are
The support member 15 is disposed adjacent to the outer periphery of the rod 6 in the axial direction from the side closer to the shaft 15a. These first and second bearing members 17, 21
Slides on the outer peripheral surface of the valve rod 6 and serves to support the force that the holding member 14 receives from the valve rod 6.

【００１８】また、第１の軸受部材１７は、変形可能で
かつ潤滑性能を有する樹脂材料から形成されており、た
とえば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフロロエチレン）やＰＥ
Ｉ（ポリエーテルイミド）などの材料が好ましい。第２
の軸受部材ブッシュ２１の形成材料には、潤滑性を有
し、耐荷重性が大きく、第１の軸受部材１７よりも剛性
の高い材料を用いる。たとえば、ＰＴＦＥやＰＥＩなど
をベースとして、これに鉛およびその他の充填剤を混入
したものを、たとえば銅などの金属材料からなるスリー
ブ状の基本部材の内周面に摺動層として一体に形成した
ものを用いることができる。具体的には、たとえば、大
同メタル社製の製品名”ＤＵブッシュ”を用いることが
できる。The first bearing member 17 is made of a deformable and lubricating resin material. For example, the first bearing member 17 is made of PTFE (polytetrafluoroethylene) or PE.
Materials such as I (polyetherimide) are preferred. Second
As a material for forming the bearing member bush 21, a material having lubricity, large load resistance, and higher rigidity than the first bearing member 17 is used. For example, based on PTFE, PEI, or the like, a material in which lead and other fillers are mixed is integrally formed as a sliding layer on the inner peripheral surface of a sleeve-shaped basic member made of a metal material such as copper. Can be used. Specifically, for example, a product name “DU bush” manufactured by Daido Metal Co., Ltd. can be used.

【００１９】支持部材１５は、筒状の部材からなり、保
持部材１４を保持固定するとともに、側面に形成された
軸１５ａを介して、エアシリンダ１６によって回転自在
に支持されている。このことから、弁ロッド６は軸１５
ａ中心に傾斜可能となっている。また、支持部材１５の
下端部に内周には、嵌合部１５ｅが形成され、この嵌合
部１５ｅ内にダストシール２３が弁ロッド６に嵌合挿入
された状態で設けられている。嵌合部１５ｅに固定部材
２６のストッパ部２６ｂが嵌合し、ダストシール２３に
当接することにより固定部材２６の軸方向の移動、すな
わち弁ロッド６の直動を規制するストッパとしての機能
する。The support member 15 is formed of a cylindrical member, holds and fixes the holding member 14, and is rotatably supported by an air cylinder 16 via a shaft 15a formed on a side surface. From this, the valve rod 6 is connected to the shaft 15
It is possible to tilt around a. A fitting portion 15e is formed on the inner periphery at the lower end of the support member 15, and a dust seal 23 is provided in the fitting portion 15e in a state fitted and inserted into the valve rod 6. The stopper portion 26b of the fixing member 26 is fitted to the fitting portion 15e and comes into contact with the dust seal 23 to function as a stopper for restricting the axial movement of the fixing member 26, that is, the linear motion of the valve rod 6.

【００２０】ダストシール２３は、外部からのダストの
侵入を防ぐ役割を果たし、たとえば、ウレタン系の樹脂
材料などの比較的軟らかい材料から形成される。また、
ダストシール２３は、比較的軟らかい材料から形成され
るため、固定部材２６のストッパ部２６ｂが当接した際
の衝撃を和らげるように作用する。The dust seal 23 plays a role in preventing dust from entering from outside, and is formed of a relatively soft material such as a urethane resin material. Also,
Since the dust seal 23 is formed from a relatively soft material, the dust seal 23 acts so as to reduce the impact when the stopper 26b of the fixing member 26 comes into contact.

【００２１】シールベローズ１０は、装着部材１０と保
持部材１４との間をシーリングする部材である。また、
弁ロッド６の傾動を受容して、変形可能となっている。
シールベローズ１０は、例えば、金属材料から成形され
る。シールベローズ１０の一端部は、装着部材９の気密
室外側の面に例えば溶接等の接合手段によって気密に固
着されている。シールベローズ１０の他端部は、保持部
材１４の上端面に、たとえば溶接等の接合手段によって
気密に固着されている。これにより、弁ロッド６が傾動
しても、装着部材１０と保持部材１４との間をシーリン
グすることができ、外部からパーティクル等の汚染物質
が侵入するのを防止することができる。The seal bellows 10 is a member for sealing between the mounting member 10 and the holding member 14. Also,
The valve rod 6 is deformable by receiving the tilt of the valve rod 6.
The seal bellows 10 is formed, for example, from a metal material. One end of the seal bellows 10 is air-tightly fixed to a surface of the mounting member 9 outside the airtight chamber by a joining means such as welding. The other end of the seal bellows 10 is air-tightly fixed to an upper end surface of the holding member 14 by a joining means such as welding. Thus, even if the valve rod 6 is tilted, the space between the mounting member 10 and the holding member 14 can be sealed, and contaminants such as particles can be prevented from entering from the outside.

【００２２】固定部材２６は、弁ロッド６の軸部に嵌合
固着され、支持部材１５と対向する側にストッパ部２６
ｂが形成されているとともに、ばね部材２５側にはばね
部材２５を固定する溝状の固定部２６ａが形成されてい
る。The fixing member 26 is fitted and fixed to the shaft of the valve rod 6 and has a stopper 26
b, and a groove-shaped fixing portion 26a for fixing the spring member 25 is formed on the spring member 25 side.

【００２３】ローラ２４は、ばね部材２５によって弁ロ
ッド６の他端部の所定位置に回転自在に設けられてい
る。具体的には、図３（ａ）に示すように、弁ロッド６
の端部に形成された溝状のローラ保持部６ｂによってロ
ーラ２４の外周面の一部が摺動可能に保持されるよう
に、ローラ２４の両端部はばね部材２５によって回転自
在に支持されている。ばね部材２５の一端は、弁ロッド
６に形成された固定部６ａに固定されている。The roller 24 is rotatably provided at a predetermined position at the other end of the valve rod 6 by a spring member 25. Specifically, as shown in FIG.
Both ends of the roller 24 are rotatably supported by a spring member 25 so that a part of the outer peripheral surface of the roller 24 is slidably held by a groove-shaped roller holding portion 6b formed at the end of the roller 24. I have. One end of the spring member 25 is fixed to a fixing portion 6 a formed on the valve rod 6.

【００２４】ローラ受け部材２２は、ローラ２４が保持
された弁ロッド６の他端部に対向するように配置されて
いる。このローラ受け部材２２の先端部には、ローラ２
４を保持可能な第１保持部２２ａと、ローラが回転しな
がら係合可能な傾斜面２２ｂと、ローラ２４を保持可能
な第１保持部２２ｃとが連続して形成されている。第１
保持部２２ａは、溝状に形成されており、弁ロッド６が
開口部５０を開閉する方向に直動する際にローラ２４を
保持する。傾斜面２２ｂは、ローラ２４と係合すること
により弁ロッド６を軸１５ａを中心に傾斜させることが
でき、この傾斜面２２ｂの弁ロッド６に対する傾斜角度
θは、例えば５度程度に形成される。第２保持部２２ｃ
は、ローラ２４の曲率と同じ曲率を持つＲ部からなり、
弁ロッド６が所定の角度まで傾斜するとローラ２４を保
持する。なお、ローラ２４はローラ受け部材２２の第１
保持部２２ａ、傾斜面２２ｂおよび第２保持部２２ｃと
接触するため、ローラ２４およびローラ受け部材２２の
形成材料としては、摩耗を防止するために、例えばＳＵ
Ｊ２等の比較的硬い金属材料を使用するのが望ましい。The roller receiving member 22 is disposed so as to face the other end of the valve rod 6 on which the roller 24 is held. A roller 2 is provided at the tip of the roller receiving member 22.
4, a first holding portion 22a capable of holding the roller 24, an inclined surface 22b capable of engaging the roller while rotating, and a first holding portion 22c capable of holding the roller 24 are formed continuously. First
The holding portion 22a is formed in a groove shape, and holds the roller 24 when the valve rod 6 moves linearly in a direction to open and close the opening 50. The inclined surface 22b can incline the valve rod 6 about the shaft 15a by engaging with the roller 24. The inclined angle θ of the inclined surface 22b with respect to the valve rod 6 is formed, for example, to about 5 degrees. . Second holding part 22c
Is composed of an R portion having the same curvature as the curvature of the roller 24,
When the valve rod 6 is tilted to a predetermined angle, the roller 24 is held. The roller 24 is a first member of the roller receiving member 22.
As a material for forming the roller 24 and the roller receiving member 22, for example, SU may be used in order to prevent abrasion because the holding portion 22 a comes into contact with the inclined surface 22 b and the second holding portion 22 c.
It is desirable to use a relatively hard metal material such as J2.

【００２５】上記したローラ２４を回転自在に支持する
ばね部材２５は、ローラ２４を支持すると同時に、他端
がローラ受け部材２２に形成された固定部２２ｄに固定
されている。これにより、弁ロッド６の端部とローラ受
け部材２２との相対位置がずれて、互いに対向しなくな
るのを防止することができる。The spring member 25 for rotatably supporting the roller 24 supports the roller 24 and has the other end fixed to a fixing portion 22 d formed on the roller receiving member 22. Thereby, it is possible to prevent the relative position between the end portion of the valve rod 6 and the roller receiving member 22 from being shifted and not opposing each other.

【００２６】コイルばね２８は、対向する弁ロッド６の
端部とローラ受け部材２２との外周を囲むように、弁ロ
ッド６に固定された固定部材２６に形成された固定部２
６ａおよび連結板３０に形成された固定部３０ａに両端
部が固定されている。コイルばね２８の果たす役割とし
ては、ローラ２４の第１保持部２２ａからの保持状態の
解除を抑制するように弁ロッド６とローラ受け部材２２
とを連結している。すなわち、コイルばね２８は、第１
保持部２２ａにローラ２４を保持した状態でローラ受け
部材２２が直動した際に、第１保持部２２ａのローラ２
４の保持状態が容易に解除されるのを防止する役割を果
たす。The coil spring 28 is provided on the fixing member 2 formed on the fixing member 26 fixed to the valve rod 6 so as to surround the opposite end of the valve rod 6 and the outer periphery of the roller receiving member 22.
Both ends are fixed to a fixing portion 30a formed on 6a and the connecting plate 30. The role of the coil spring 28 is to prevent the release of the holding state of the roller 24 from the first holding portion 22a.
And are connected. That is, the coil spring 28
When the roller receiving member 22 linearly moves while the roller 24 is held by the holding portion 22a, the roller 2 of the first holding portion 22a
4 serves to prevent the holding state from being easily released.

【００２７】ここで、エアシリンダ１６の構造の一例を
図４に示す。図４に示すように、エアシリンダ１６一端
が連結板３０に固定されるピストンロッド２０と、ピス
トンロッド２０の他端に固定されたピストン７１と、ピ
ストン７１を内周面６２ａに摺動可能に収容するシリン
ダ６１とから基本的に構成されている。Here, an example of the structure of the air cylinder 16 is shown in FIG. As shown in FIG. 4, a piston rod 20 having one end of the air cylinder 16 fixed to the connecting plate 30, a piston 71 fixed to the other end of the piston rod 20, and a piston 71 slidable on the inner peripheral surface 62a. It basically comprises a cylinder 61 to be accommodated.

【００２８】ピストンロッド２０の一端軸部には、後述
する連結板３０との連結のための雌ねじ部２０ａが形成
され、他端軸部２０ｂにはピストン７１を固定するため
の雄ねじ部２０ｃが形成されている。この雄ねじ部２０
ｃにピストン７１が螺合固定されているが、他端軸部２
０ｂはピストン７１の先端面から突出するようになって
いる。他端軸部２０ｂのピストン７１の先端面から突出
した部分に軸受カラー７７が螺合固定されている。A female screw portion 20a for connecting to a connecting plate 30 described later is formed on one end shaft portion of the piston rod 20, and a male screw portion 20c for fixing the piston 71 is formed on the other end shaft portion 20b. Have been. This male screw part 20
c, the piston 71 is screwed and fixed.
Ob protrudes from the distal end surface of the piston 71. A bearing collar 77 is screwed and fixed to a portion of the other end shaft portion 20b protruding from the front end surface of the piston 71.

【００２９】また、ピストンロッド２０の軸部には、ピ
ストン７１の端面と接してクッションラバー７６が固定
されている。このクッションラバー７６は、ピストン７
１とシリンダ６１との端面が直接衝突して摩耗する等の
不具合の発生を防ぐために設けられている。なお、ピス
トンロッド２０の形成材料としては、特に限定されない
が、例えば炭素鋼等の比較的強度の高い材料を用いるこ
とができ、軸受カラー７７の形成材料としては、例え
ば、青銅やりん青銅等のなじみ性が良く、耐疲労性、耐
摩耗性、展延性等に優れた材料を用いることができる。A cushion rubber 76 is fixed to the shaft of the piston rod 20 in contact with the end surface of the piston 71. This cushion rubber 76 is
It is provided in order to prevent the occurrence of problems such as wear due to direct collision of the end surfaces of the cylinder 1 and the cylinder 61. The material for forming the piston rod 20 is not particularly limited. For example, a material having relatively high strength such as carbon steel can be used, and the material for forming the bearing collar 77 is, for example, bronze or phosphor bronze. A material having good conformability and excellent in fatigue resistance, wear resistance, spreadability, and the like can be used.

【００３０】ピストン７１は、上記したように、ピスト
ンロッド２０の他端軸部２０ｂに螺合固定されている。
また、外周には、ピストンシール７２およびウェアリン
グ７３が設けられており、ピストンシール７２によって
シリンダボディ６２の内周面６２ａとの間がシーリング
がされ、ウェアリング７３によってピストン７１とシリ
ンダボディ６２の内周面６２ａとの間の摺動による摩耗
等が抑制される。The piston 71 is screwed and fixed to the other end shaft portion 20b of the piston rod 20, as described above.
In addition, a piston seal 72 and a wear ring 73 are provided on the outer periphery, and the piston seal 72 seals between the inner peripheral surface 62a of the cylinder body 62, and the wear ring 73 forms a seal between the piston 71 and the cylinder body 62. Wear due to sliding between the inner peripheral surface 62a and the like is suppressed.

【００３１】シリンダ６１は、筒状部材であるシリンダ
ボディ６２およびヘッドカバー６３によって構成されて
いる。シリンダボディ６２の一端側には、ピストンロッ
ド２０を挿入する挿入用孔６２ｄが形成されており、こ
の挿入用孔６２ｄとピストンロッド２０との間には、ブ
シュ７４およびロッドシール７５が設けられている。ブ
シュ７４は、シリンダボディ６２の挿入用孔６２ｄとピ
ストンロッド２０との当接による摩耗等を防止し、ロッ
ドシール７５は、ピストンロッド２０を移動可能に挿入
用孔６２ｄとピストンロッド２０との間をシーリングす
る。また、シリンダボディ６２の一端側には、圧縮空気
Ｆの出入を行う流路６２ｂが形成されている。なお、シ
リンダボディ６２の形成材料としては、特に限定されな
いが、例えば、炭素鋼等の比較的強度の高い材料を用い
ることができる。また、ブシュ７４の形成材料も、特に
限定されないが、例えば、銅合金や青銅等の耐疲労性、
耐摩耗性、展延性等に優れた材料を用いることができ
る。The cylinder 61 is constituted by a cylinder body 62 which is a tubular member and a head cover 63. An insertion hole 62d for inserting the piston rod 20 is formed on one end side of the cylinder body 62. A bush 74 and a rod seal 75 are provided between the insertion hole 62d and the piston rod 20. I have. The bush 74 prevents wear or the like caused by the contact between the insertion hole 62d of the cylinder body 62 and the piston rod 20, and the rod seal 75 allows the piston rod 20 to move between the insertion hole 62d and the piston rod 20. Sealing. On one end side of the cylinder body 62, a flow path 62b through which the compressed air F flows is formed. The material for forming the cylinder body 62 is not particularly limited. For example, a material having relatively high strength such as carbon steel can be used. Also, the material for forming the bush 74 is not particularly limited. For example, fatigue resistance of a copper alloy, bronze, or the like,
A material excellent in abrasion resistance, extensibility and the like can be used.

【００３２】ヘッドカバー６３は、上記のシリンダボデ
ィ６２の他端側の開口部に嵌合挿入され、シリンダボデ
ィ６２とヘッドカバー６３との間はＯリング６４によっ
てシーリングされている。ヘッドカバー６３のシリンダ
ボディ６２への固定は、シリンダボディ６２の他端部内
周に形成された溝に止め輪６５を装着することによって
行われている。シリンダボディ６２の他端側には、圧縮
空気Ｆの出入を行う流路６２ｃが形成されている。ま
た、ヘッドカバー６３には、軸受カラー７７が外周に螺
合されたピストンロッド２０の他端軸部２０ｂを支持す
るための支持用穴６３ａが形成されており、この支持用
穴６３ａにはブシュ８０が嵌め込まれている。このブシ
ュ８０に上記の軸受カラー７７が嵌合挿入可能となって
いる。なお、ヘッドカバー６３の形成材料としては、特
に限定されないが、例えばシリンダボディ６２の形成材
料と同様の材料を用いることができ、ブシュ８０の形成
材料としては、たとえば、銅合金やりん青銅等の耐疲労
性、耐摩耗性、展延性等に優れた材料を用いることがで
きる。The head cover 63 is fitted and inserted into the opening at the other end of the cylinder body 62, and the space between the cylinder body 62 and the head cover 63 is sealed by an O-ring 64. The head cover 63 is fixed to the cylinder body 62 by attaching a retaining ring 65 to a groove formed on the inner periphery of the other end of the cylinder body 62. On the other end side of the cylinder body 62, a flow path 62c through which the compressed air F flows in and out is formed. The head cover 63 is provided with a support hole 63a for supporting the other end shaft portion 20b of the piston rod 20 in which the bearing collar 77 is screwed to the outer periphery. Is fitted. The bearing collar 77 can be fitted and inserted into the bush 80. The material for forming the head cover 63 is not particularly limited. For example, the same material as the material for forming the cylinder body 62 can be used. As the material for forming the bush 80, for example, a copper alloy, phosphor bronze, or the like can be used. A material excellent in fatigue property, wear resistance, spreadability, and the like can be used.

【００３３】上記のように構成されるエアシリンダ１６
は、シリンダ６１に形成された２つの圧縮空気Ｆの流路
６２ｂおよび６２ｃから圧縮空気を適宜供給排出するこ
とにより、ピストン７１が直線方向に駆動され、その結
果、ピストンロッド２０が直動する。また、流路６２ｂ
および６２ｃへの圧縮空気Ｆの供給は、例えば、エアコ
ンプレッサ等の一のエア供給源に接続されており、エア
供給源に設けられた切換バルブによっって流路６２ｂお
よび６２ｃへの圧縮空気Ｆの供給を選択的に切り換え
る。上記の切換バルブの選択的な切換動作によって、ピ
ストンロッド２０の往復動が行われる。The air cylinder 16 constructed as described above
By appropriately supplying and discharging compressed air from two compressed air F channels 62b and 62c formed in the cylinder 61, the piston 71 is driven in a linear direction, and as a result, the piston rod 20 moves linearly. The flow path 62b
The compressed air F is supplied to one of the air supply sources such as an air compressor, and the compressed air is supplied to the flow paths 62b and 62c by a switching valve provided in the air supply source. The supply of F is selectively switched. The reciprocating motion of the piston rod 20 is performed by the selective switching operation of the switching valve.

【００３４】次に、上記のゲートバルブ１の動作につい
て説明する。図１および図２に示したゲートバルブ１の
状態は、開口部５０を開いた状態であるが、エアシリン
ダ１６を駆動して、ローラ受け部材２２を開口部５０を
閉じる方向に直動させる。Next, the operation of the gate valve 1 will be described. Although the state of the gate valve 1 shown in FIGS. 1 and 2 is a state in which the opening 50 is opened, the air cylinder 16 is driven to move the roller receiving member 22 directly in a direction in which the opening 50 is closed.

【００３５】エアシリンダ１６の駆動によって、ローラ
受け部材２２は、図３（ａ）に示す第１保持部２２ａで
ローラ２４を保持した状態で、弁ロッド６を直動させ
る。ローラ受け部材２２が移動して、弁ロッド６が所定
の位置に到達すると、図５および図６に示すように、固
定部材２６のストッパ部２６ｂが支持部材１５のストッ
パ部１５ｅに嵌合し、互いの端面が当接して、弁ロッド
６の移動が規制される。同時に、弁体２が開口部５０を
閉じた状態になる。By driving the air cylinder 16, the roller receiving member 22 causes the valve rod 6 to move directly while the roller 24 is held by the first holding portion 22a shown in FIG. When the roller receiving member 22 moves and the valve rod 6 reaches a predetermined position, as shown in FIGS. 5 and 6, the stopper portion 26b of the fixing member 26 is fitted to the stopper portion 15e of the support member 15, and The end faces abut each other, and the movement of the valve rod 6 is regulated. At the same time, the valve element 2 closes the opening 50.

【００３６】このとき、弁ロッド６は、第１および第２
のＯリング１８，１９および第１および第２の軸受部材
１７，２１とは摺動しながら直動する。第１および第２
のＯリング１８，１９によって、気密室側はシーリング
されており、外部からパーティクル等の汚染物質が侵入
することはない。At this time, the valve rod 6 is connected to the first and second
O-rings 18 and 19 and first and second bearing members 17 and 21 linearly move while sliding. First and second
The airtight chamber side is sealed by the O-rings 18 and 19, so that contaminants such as particles do not enter from the outside.

【００３７】さらに、ローラ受け部材２２が直動する
と、弁ロッド６は移動せずローラ受け部材２２のみが移
動して、図３（ｂ）に示すように、第１保持部２２ａに
ローラ２４を保持した状態が解除される。ローラ２４
は、図３（ｂ）に示す矢印方向に回転しながら、傾斜面
２２ｂ上を転がる。これにより、弁ロッド６が支持部材
１５の軸１５ａを中心に傾斜する。Further, when the roller receiving member 22 moves directly, the valve rod 6 does not move but only the roller receiving member 22 moves, and as shown in FIG. 3B, the roller 24 is moved to the first holding portion 22a. The held state is released. Roller 24
Rolls on the inclined surface 22b while rotating in the direction of the arrow shown in FIG. As a result, the valve rod 6 is inclined around the shaft 15a of the support member 15.

【００３８】ローラ２４がローラ受け部材２２の傾斜面
２２ｂ上を転がると、弁ロッド６が傾斜し、図７に示す
ように、弁体２が開口部５０の外周に設けられたＯリン
グ５２を押圧し、押しつぶし、開口部５０の密封が良好
に行われることになる。図３（ｃ）に示すように、ばね
部材２５は、その復元力に抗して弾性変形する。ローラ
受け部材２２のさらなる直動によって、弁ロッド６が所
定の角度傾斜すると、図３（ｃ）に示すように、ローラ
２４はローラ受け部材２２の第２保持部２２ｃに保持さ
れた状態となる。これにより、開口部５０の弁体による
密封動作が完了する。ローラ２４が第２の保持部２２ｃ
によって保持されることにより、ローラ２４が移動せ
ず、開口部５０の密封状態を安定して保つことができ
る。When the roller 24 rolls on the inclined surface 22b of the roller receiving member 22, the valve rod 6 is inclined, and as shown in FIG. Pressing, crushing, and sealing of the opening 50 are performed well. As shown in FIG. 3C, the spring member 25 is elastically deformed against its restoring force. When the valve rod 6 is tilted by a predetermined angle due to the further linear movement of the roller receiving member 22, the roller 24 is held by the second holding portion 22c of the roller receiving member 22, as shown in FIG. . Thereby, the sealing operation of the opening 50 by the valve body is completed. The roller 24 is moved to the second holding portion 22c.
As a result, the roller 24 does not move, and the sealed state of the opening 50 can be stably maintained.

【００３９】ここで、このような弁ロッド６の傾動によ
る弁体２のＯリング５２の押圧動作においては、弁ロッ
ド６にはＯリング５２からの反力が作用する。また、弁
ロッド６の傾動動作の支点である軸１５ａは、支持部材
１５に設けられている。このため、Ｏリング５２からの
反力は、第１および第２のＯリング１８，１９と第１お
よび第２の軸受部材１７，２１に作用することになる。
特に、本実施形態の図７においてＢで示す領域、すなわ
ち、軸１５ａにより近い、第１の軸受部材１７の第２の
Ｏリング１９寄りの内周端部に反力が集中し易い。この
ため、たとえば、第１の軸受部材１７を第２の軸受部材
２１の形成材料と同じく、金属材料からなるスリーブ状
の基本部材の内周に、たとえば、ＰＴＦＥをベースとし
てこれに鉛およびその他の充填剤を混入した潤滑性を有
する摺動層を形成したものを用いると、第２のＯリング
１９寄りの内周端部に反力が集中することにより、摺動
層が剥がれ落ちやすくなる。摺動層が剥がれ落ちると、
基本部材が表出し、この基本部材と弁ロッド６とが擦れ
ることで弁ロッド６に傷が入ったり、摩耗粉が発生し、
この摩耗粉を原因とする傷が弁ロッド６に入ったりする
ため、弁ロッド６に設けられたＯリングのシール性を低
下させる原因となりうる。Here, in the pressing operation of the O-ring 52 of the valve body 2 due to the tilting of the valve rod 6, a reaction force from the O-ring 52 acts on the valve rod 6. Further, a shaft 15 a which is a fulcrum of the tilting operation of the valve rod 6 is provided on the support member 15. Therefore, the reaction force from the O-ring 52 acts on the first and second O-rings 18 and 19 and the first and second bearing members 17 and 21.
In particular, the reaction force tends to concentrate on the region indicated by B in FIG. 7 of the present embodiment, that is, on the inner peripheral end nearer to the second O-ring 19 of the first bearing member 17 closer to the shaft 15a. For this reason, for example, the first bearing member 17 is formed on the inner periphery of a sleeve-shaped basic member made of a metal material in the same manner as the material for forming the second bearing member 21, for example, by using PTFE as a base and adding lead and other When a material having a lubricating sliding layer mixed with a filler is used, the reaction force is concentrated on the inner peripheral end near the second O-ring 19, so that the sliding layer is easily peeled off. When the sliding layer peels off,
When the basic member is exposed and the basic member and the valve rod 6 are rubbed, the valve rod 6 is damaged or wear powder is generated.
Since the scratches caused by the abrasion powder enter the valve rod 6, the O-ring provided on the valve rod 6 may deteriorate the sealing performance.

【００４０】しかしながら、本実施形態では、第１の軸
受部材１７は、変形可能でかつ潤滑性能を有する樹脂材
料から形成されている。このため、第１の軸受部材１７
の第２のＯリング１９寄りの内周端部にＯリング５２か
らの反力が集中すると、第１の軸受部材１７の第２のＯ
リング１９寄りの内周端部領域は変形する。このことか
ら、第１の軸受部材１７の第２のＯリング１９寄りの内
周端部領域は、保持部材１４の内周と弁ロッド６との間
を埋めるように作用する。However, in this embodiment, the first bearing member 17 is formed of a deformable resin material having lubricating performance. For this reason, the first bearing member 17
When the reaction force from the O-ring 52 concentrates on the inner peripheral end near the second O-ring 19, the second O-ring of the first bearing member 17
The inner peripheral end region near the ring 19 is deformed. For this reason, the inner peripheral end region of the first bearing member 17 near the second O-ring 19 acts so as to fill the space between the inner periphery of the holding member 14 and the valve rod 6.

【００４１】一方、第１の軸受部材１７の第２の軸受部
材２１側の内周端部領域は変形しないことから、第２の
軸受部材２１の変形を防止する役割を果たす。このた
め、第２の軸受部材２１は変形することなく、大きな耐
荷重性能を十分に発揮することができる。すなわち、本
実施形態に係るゲートバルブの構造では、Ｏリング５２
からの反力による第２の軸受部材２１の変形を第１の軸
受部材１７によって抑制して第２の軸受部材２１の大き
な耐荷重性能を維持させることができ、第１および第２
のＯリング１８，１９のシール性能を維持することがで
きる。On the other hand, since the inner peripheral end region of the first bearing member 17 on the side of the second bearing member 21 is not deformed, it serves to prevent the deformation of the second bearing member 21. For this reason, the second bearing member 21 can sufficiently exhibit a large load resistance without being deformed. That is, in the structure of the gate valve according to the present embodiment, the O-ring 52
The first bearing member 17 suppresses the deformation of the second bearing member 21 due to the reaction force from the first bearing member 17 to maintain the large load-carrying performance of the second bearing member 21.
The sealing performance of the O-rings 18 and 19 can be maintained.

【００４２】また、本実施形態では、第２の軸受部材２
１に隣接してダストシール２３を設けていることから、
ゲートバルブや他の装置において発生したダスト、特に
金属摩耗粉が第１および第２の軸受部材１７，２１内に
侵入することが防がれているため、上述の第１および第
２の軸受部材１７，２１の有する作用を一層効果的にす
ることができる。In the present embodiment, the second bearing member 2
Since the dust seal 23 is provided adjacent to 1,
Since dust generated in the gate valve and other devices, in particular, metal abrasion powder is prevented from entering the first and second bearing members 17 and 21, the first and second bearing members described above are prevented. The functions of the elements 17 and 21 can be made more effective.

【００４３】また、本実施形態では、第１および第２の
Ｏリング１８，１９を設けていることから、弁ロッド６
と保持部材１４との間のシール性を向上させることがで
き、また、２つのＯリングを備えることにより、シール
性の耐久性能も大幅に向上させることができる。なお、
本発明では、弁ロッド６と保持部材１４との間をシーリ
ングするＯリングの数は２個に限定されず、さらに多く
のＯリングを用いることができるが、構造上の制約から
２個とすることが好ましい。In this embodiment, since the first and second O-rings 18 and 19 are provided, the valve rod 6
And the holding member 14, the sealing performance can be improved, and by providing two O-rings, the durability of the sealing performance can be greatly improved. In addition,
In the present invention, the number of O-rings for sealing between the valve rod 6 and the holding member 14 is not limited to two, and more O-rings can be used. Is preferred.

【００４４】さらに、本実施形態では、シールベローズ
１０を気密室および弁ロッド６に直接溶接して固着する
構成とはせず、装着部材９および保持部材１４に固着
し、保持部材１４と弁ロッド６との間を第１および第２
のＯリング１８，１９によってシーリングする構成とし
たため、ゲートバルブのシール部に要する製造コストを
低減することができ、またメインテナンスも比較的容易
となる。Further, in this embodiment, the seal bellows 10 is not directly welded and fixed to the airtight chamber and the valve rod 6, but is fixed to the mounting member 9 and the holding member 14, and the holding member 14 and the valve rod 6 are fixed. 6 between the first and second
Since the sealing is performed by the O-rings 18 and 19, the manufacturing cost required for the sealing portion of the gate valve can be reduced, and the maintenance is relatively easy.

【００４５】第２実施形態 図８は、本発明の第２の実施形態に係るゲートバルブの
構造を示す断面図である。図８に示すゲートバルブは、
上述した第１実施形態の構成と略同様であるが、本実施
形態に係るゲートバルブ１０１では、第１および第２の
軸受部材１７，２１のうち第２の軸受部材２１を備える
点と、弁ロッド６と保持部材１４との間をシールするＯ
リングが一つのＯリング１８である点と、ダストシール
２３が無い点である。本実施形態に係るゲートバルブ１
０１では、シール性、耐久性等が第１の実施形態に係る
ゲートバルブ１に劣るが、製造コストをより低減するこ
とができる。 Second Embodiment FIG. 8 is a sectional view showing the structure of a gate valve according to a second embodiment of the present invention. The gate valve shown in FIG.
Although the configuration is substantially the same as the configuration of the first embodiment described above, the gate valve 101 according to the present embodiment differs from the gate valve 101 of the first and second bearing members 17 and 21 in that the second bearing member 21 is provided. O for sealing between the rod 6 and the holding member 14
The difference is that the ring is one O-ring 18 and the dust seal 23 is not provided. Gate valve 1 according to the present embodiment
In the case of No. 01, the sealing performance, durability and the like are inferior to those of the gate valve 1 according to the first embodiment, but the manufacturing cost can be further reduced.

【００４６】[0046]

【発明の効果】本発明に係るゲートバルブは、気密室内
と気密室外との間のシール性能を良好にすることがで
き、シール部に要する製造コストを低減することがで
き、メインテナンスを容易とすることができる。According to the gate valve of the present invention, the sealing performance between the airtight chamber and the outside of the airtight chamber can be improved, the manufacturing cost required for the seal portion can be reduced, and the maintenance can be facilitated. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係るゲートバルブの第１実施形態を示
す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a gate valve according to the present invention.

【図２】図１に示すゲートバルブのＡ−Ａ線方向の断面
図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the gate valve shown in FIG. 1 taken along the line AA.

【図３】ローラとローラ受け部材との相対位置関係を示
す説明図であって、（ａ）は弁体が開口部を開いた状態
にあるときの相対位置関係を示しており、（ｂ）は弁体
が開口部を閉じた状態にあるときの相対位置関係を示し
ており、（ｃ）は弁体が開口部を密封した状態にあると
きの相対位置関係を示している。3A and 3B are explanatory diagrams illustrating a relative positional relationship between a roller and a roller receiving member, wherein FIG. 3A illustrates a relative positional relationship when a valve body has an opening portion opened, and FIG. Shows the relative positional relationship when the valve is in the state where the opening is closed, and (c) shows the relative positional relationship when the valve is in a state where the opening is sealed.

【図４】エアシリンダの一例を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing an example of an air cylinder.

【図５】図１に示すゲートバルブによって開口部を閉じ
た状態を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state where an opening is closed by the gate valve shown in FIG. 1;

【図６】図５に示すゲートバルブの動作状態におけるＡ
−Ａ線方向の断面図である。FIG. 6 is a diagram showing an operation state A of the gate valve shown in FIG.
It is sectional drawing of the -A line direction.

【図７】図６に示すゲートバルブの動作状態から弁体を
傾動させて開口部を密封した状態を示す断面図である。7 is a cross-sectional view showing a state in which the opening is sealed by tilting the valve body from the operation state of the gate valve shown in FIG. 6;

【図８】本発明に係るゲートバルブの第２実施形態を示
す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a second embodiment of the gate valve according to the present invention.

【図９】マルチチャンバ構成の真空処理装置の一例を示
す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing an example of a vacuum processing apparatus having a multi-chamber configuration.

【図１０】ゲートバルブの構造の一例を示す説明図であ
る。FIG. 10 is an explanatory view showing an example of the structure of a gate valve.

【図１１】図１０に示すゲートバルブによってゲートを
閉じて密封した状態を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory view showing a state where the gate is closed and sealed by the gate valve shown in FIG. 10;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，１０１…ゲートバルブ、２…弁体、４…連結部材、
６…弁ロッド、８…取り付け部材、９…装着部材、１０
…シールベローズ、１４…保持部材、１５…支持部材、
１６…エアシリンダ、１７…第１の軸受部材、１８…第
１のＯリング、１９…第２のＯリング、、２０…ピスト
ンロッド、２１…第２の軸受部材、２２…ローラ受け部
材、２２ａ…第１保持部、２２ｂ…傾斜面、２２ｃ…第
２保持部、２４…ローラ、２５…ばね部材、２６…固定
部材、２８…コイルばね、３０…連結板、５０…開口
部、５２…Ｏリング。1, 101 gate valve, 2 valve body, 4 connecting member,
6: valve rod, 8: mounting member, 9: mounting member, 10
... seal bellows, 14 ... holding member, 15 ... support member,
Reference Signs List 16 air cylinder, 17 first bearing member, 18 first O ring, 19 second O ring, 20 piston rod, 21 second bearing member, 22 roller receiving member, 22a ... First holding part, 22b. Inclined surface, 22c. Second holding part, 24. Roller, 25. Spring member, 26. Fixing member, 28. Coil spring, 30. Connection plate, 50. ring.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田村 譲 神奈川県藤沢市辻堂新町４−３−１ エ ヌオーケー株式会社内 (56)参考文献 特開 平９−310766（ＪＰ，Ａ) 実開 平７−4967（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 3/00 - 3/36 F16K 51/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Joe Tamura 4-3-1 Tsujido Shinmachi, Fujisawa-shi, Kanagawa NOK Co., Ltd. (56) References JP-A-9-310766 (JP, A) −4967 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) F16K 3/00-3/36 F16K 51/02

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】気密室内に設けられ当該気密室の開口部を
開閉可能でかつ前記開口部に対する傾動により当該開口
部を密封可能な弁体と、 所定の軸を中心に回転自在に支持された保持部材と、 前記弁体が一端部に固定され、前記気密室内から気密室
外に突出して設けられ、前記保持部材の挿入孔に挿入さ
れ、直動可能に保持された弁ロッドと、 前記弁ロッドの軸部の外周に設けられ、前記気密室と前
記保持部材との間をシールし、前記弁ロッドの傾動によ
る変形を受容するシールベローズと、 前記弁ロッドの外周に嵌合し、前記保持部材の気密室寄
りの挿入孔内に保持され、前記保持部材と前記弁ロッド
との間をシールするシール部材と、 前記弁ロッドの外周に嵌合し、前記保持部材の気密室か
ら離れる側の挿入孔に保持され、前記弁ロッドの傾動時
に前記開口部からの当該弁ロッドを通じて作用する反力
を受ける潤滑性能を有する軸受部材と、 前記弁ロッドと連結され当該弁ロッドを前記弁体が前記
開口部を閉じる位置で前記所定の軸を支点として傾動さ
せる傾動機構と、 前記傾動機構を介して前記弁ロッドと連結され、前記弁
ロッドの直動および傾動に必要な駆動力を供給する駆動
手段とを有し、 前記軸受部材は、前記所定の軸に近い側から順に設けら
れた、変形可能な材料から構成される第１の軸受部材
と、前記第１の軸受部材よりも耐荷重性が大きい材料か
ら構成される第２の軸受部材とからなるゲートバルブ。1. A valve body provided in an airtight chamber, capable of opening and closing an opening of the airtight chamber, and capable of sealing the opening by tilting with respect to the opening, and supported rotatably about a predetermined axis. A holding member, a valve rod fixed to one end portion, provided so as to protrude from the airtight chamber to the outside of the airtight chamber, inserted into an insertion hole of the holding member, and held so as to be able to move directly; and the valve rod. A seal bellows provided on an outer periphery of a shaft portion for sealing between the airtight chamber and the holding member and receiving deformation caused by tilting of the valve rod; A sealing member that is held in the insertion hole near the airtight chamber and seals between the holding member and the valve rod; and an insertion that fits on the outer periphery of the valve rod and separates the holding member from the airtight chamber. The valve lock is held in the hole. A bearing member having a lubricating performance for receiving a reaction force acting through the valve rod from the opening at the time of tilting; and a predetermined position at which the valve body is connected to the valve rod and the valve body closes the opening. A tilting mechanism that tilts with a shaft as a fulcrum; and a driving unit that is connected to the valve rod via the tilting mechanism and that supplies a driving force necessary for linear movement and tilting of the valve rod. A first bearing member, which is provided in order from the side closer to the predetermined shaft and is made of a deformable material, and a second bearing member made of a material having a higher load resistance than the first bearing member. Gate valve consisting of a bearing member. 【請求項２】前記シール部材は、複数のシール部材が前
記弁ロッドに対して並設されている請求項１に記載のゲ
ートバルブ。2. The gate valve according to claim 1, wherein a plurality of the sealing members are arranged in parallel with the valve rod. 【請求項３】前記保持部材の挿入孔の前記第２の軸受部
材外側には、前記弁ロッドに嵌合し、前記第１および第
２の軸受部材と前記弁ロッドとの間へのダストの侵入を
防ぐダストシールが設けられている請求項１または２に
記載のゲートバルブ。3. An outside of the second bearing member in an insertion hole of the holding member, the valve rod being fitted to the valve rod, so that dust between the first and second bearing members and the valve rod is removed. 3. The gate valve according to claim 1, further comprising a dust seal for preventing intrusion.