JP3294372B2 - Detecting agent - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は金属アルコキシド化合物
系ガスの検知剤に関し、さらに詳細には、半導体製造工
程におけるＣＶＤや液晶の製造プロセスなどで特殊材料
ガスとして使用される金属アルコキシド化合物系ガスの
検知剤に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal alkoxide compound-based gas detecting agent, and more particularly to a metal alkoxide compound-based gas used as a special material gas in a CVD process or a liquid crystal manufacturing process in a semiconductor manufacturing process. Regarding the detection agent.
【０００２】近年、半導体工業の発展とともに高集積化
・微細化が進み、従来から使用されてきた水素化物系ガ
スに代わり、テトラエトキシシランを代表とする種々の
金属アルコキシド化合物が使用されるようになってき
た。また、水素化物ガスでは供給できない新化合物など
による半導体素子、例えば層間絶縁膜などに使用される
酸化タンタル膜の原料として、金属アルコキシド化合物
であるペンタエトキシタンタルもＣＶＤに使用されるよ
うになってきた。これら金属アルコキシド化合物は、そ
の毒性が高いか、安全性の確認されていないものが多
く、また、そのほとんどが可燃性であることが知られて
いる。これらの金属アルコキシド化合物は、シリコン半
導体や液晶の製造プロセスにおいて、原料ガスあるいは
ドーピングガスとして不可欠となりつつあるが、その取
り扱いに際しては絶えず作業環境の測定をおこなわなく
てはならず、万一これらのガスが漏れた場合には的確に
作業者に知らせるような処置を講ずる必要がある。 ま
た、半導体プロセスなどから排出される排ガスにはこれ
らの金属アルコキシド化合物系ガスが含有されているた
め、除害装置などを用いて浄化した後、外部に放出され
るが、放出に先立ってこれらの金属アルコキシド化合物
系ガスの有無を確認する必要がある。In recent years, with the development of the semiconductor industry, high integration and miniaturization have advanced, and various metal alkoxide compounds represented by tetraethoxysilane have been used in place of hydride-based gases conventionally used. It has become. Further, pentaethoxy tantalum, which is a metal alkoxide compound, has also been used for CVD as a raw material for a semiconductor element using a new compound or the like that cannot be supplied by a hydride gas, for example, a tantalum oxide film used for an interlayer insulating film or the like. . Many of these metal alkoxide compounds have high toxicity or have not been confirmed to be safe, and it is known that most of them are flammable. These metal alkoxide compounds are becoming indispensable as raw material gases or doping gases in the production process of silicon semiconductors and liquid crystals.However, when handling them, the working environment must be constantly measured. In case of leakage, it is necessary to take measures to properly inform the worker. In addition, since the exhaust gas discharged from a semiconductor process or the like contains these metal alkoxide compound-based gases, they are released to the outside after being purified using a detoxification device or the like. It is necessary to confirm the presence or absence of a metal alkoxide compound-based gas.
【０００３】[0003]
【従来の技術】これらの金属アルコキシド化合物系ガス
の検知方法としては、テトラエトキシシラン用のものと
して固定式の検知器が、また、最近では燃焼法によりテ
トラエトキシシランを分解し、発生した酸化硅素を検知
する固定式検知器も市販されている程度である。2. Description of the Related Art As a method for detecting these metal alkoxide compound-based gases, a fixed type detector for tetraethoxysilane is used, and recently, silicon oxide generated by decomposing tetraethoxysilane by a combustion method is used. Fixed type detectors that detect are also commercially available.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定式
の検知器は高価であるばかりでなく、アルコールによる
誤作動が発生するなどの問題がある。また、燃焼法によ
るものは燃焼させるために高温となり、やはり、高価で
あるという問題がある。従って、種々の金属アルコキシ
ド化合物を簡便に検知しうる手段が強く要望されてる。However, fixed detectors are not only expensive but also have problems such as malfunction due to alcohol. In addition, the method using the combustion method has a problem that the temperature is high due to combustion, and it is also expensive. Therefore, means for easily detecting various metal alkoxide compounds are strongly demanded.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、多種類の
金属アルコキシド化合物の検知に適用できるとともに感
度が高く、変色速度の大きい検知剤を得るべく研究を続
けた結果、銅（ＩＩ）塩と金塩との混合物がこれらの変
色成分として極めて優れていることを見いだし、本発明
を完成した。すなわち本発明は、一般化学式、Ｍ（Ｏ
Ｒ）ｎ〔Ｍは金属またはこれに酸素が結合したもの、Ｏ
Ｒはアルコキシ基、ｎは正の整数〕で表される金属アル
コキシドの検知剤であって、銅（ＩＩ）塩と金塩との混
合物を変色成分とする検知剤である。本発明の検知剤
は、窒素、水素、アルゴン、ヘリウムおよび空気などに
前記の金属アルコキシド化合物系ガスを含有するガスの
検知に共通して使用することができる。検知剤は、これ
らのガスと接触することにより変色成分はレモン色〜黄
色から紫色〜黒色へと敏感に変色する。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have conducted research to obtain a detection agent which can be applied to detection of various kinds of metal alkoxide compounds, has high sensitivity, and has a high discoloration rate. The inventors have found that a mixture of a salt and a gold salt is extremely excellent as a discoloration component thereof, and completed the present invention. That is, the present invention provides a compound represented by the general chemical formula: M (O
R) n [M is a metal or oxygen bonded thereto, O
R is an alkoxy group, n is a positive integer], and a mixture of a copper (II) salt and a gold salt is used as a color-changing component. The detecting agent of the present invention can be commonly used for detecting a gas containing the above-mentioned metal alkoxide compound-based gas in nitrogen, hydrogen, argon, helium, air and the like. When the detecting agent comes into contact with these gases, the discoloring component is sensitively discolored from lemon to yellow to purple to black.
【０００６】本発明の検知剤が適用される金属アルコキ
シドは、一般化学式、Ｍ（ＯＲ）ｎ〔Ｍは金属またはこ
れに酸素が結合したもの、ＯＲはアルコキシ基、ｎは正
の整数〕で表される金属アルコキシドであり、通常は、
半導体工業などで特殊材料ガスとして用いられているも
のである。これらを構成する金属としてはＳｉ、Ｂ、
Ｐ、Ａｓ、Ｔａ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒなどであり、また、
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロ
ポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキ
シ基、セカンダリーブトキシ基、ターシャリーブトキシ
基などである。これらの具体例としては、テトラメトキ
シシラン、テトラエトキシシラン、トリメトキシほう
素、トリエトキシほう素、トリメチルりん酸〔（ＣＨ3
Ｏ）3 ＰＯ〕、トリエチルりん酸〔（Ｃ2 Ｈ5 Ｏ）3 Ｐ
Ｏ〕、トリメチル亜りん酸〔（ＣＨ3 Ｏ）3 Ｐ〕、トリ
エチル亜りん酸〔（Ｃ2 Ｈ5 Ｏ）3 Ｐ〕、トリメトキシ
ひ素、トリエトキシひ素、トリイソプロポキシひ素、ト
リブトキシひ素、ペンタエトキシタンタル、テトライソ
プロポキシチタン、セカンダリーブトキシアルミニウ
ム、セカンダリーブトキシジルコニウム、ターシャリー
ブトキシジルコニウムなどが挙げられる。The metal alkoxide to which the detecting agent of the present invention is applied is represented by a general chemical formula: M (OR) n [M is a metal or an oxygen bonded thereto, OR is an alkoxy group, and n is a positive integer]. Metal alkoxide, which is usually
It is used as a special material gas in the semiconductor industry and the like. The metals constituting these are Si, B,
P, As, Ta, Ti, Al, Zr, etc.
Examples of the alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, a secondary butoxy group, and a tertiary butoxy group. Specific examples thereof include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, trimethoxyboron, triethoxyboron, trimethylphosphoric acid ((CH 3
O) 3 PO], triethylphosphoric acid [(C 2 H 5 O) 3 P
O], trimethyl phosphite [(CH 3 O) 3 P], triethyl phosphite [(C 2 H 5 O) 3 P], trimethoxy arsenic, triethoxy arsenic, triisopropoxy arsenic, tributoxy arsenic, pentaethoxy tantalum , Tetraisopropoxytitanium, secondary butoxyaluminum, secondary butoxyzirconium, tertiary butoxyzirconium, and the like.
【０００７】本発明において検知剤の変色成分の一方の
成分として無機酸または有機酸の銅（ＩＩ）塩が用いら
れる。無機酸の塩としてはオキソ酸の塩およびハロゲン
化塩などであり、オキソ酸の塩としては、例えば炭酸、
硅酸、硝酸、硫酸、ひ酸、ほう酸、塩素酸、過塩素酸、
亜塩素酸、次亜塩素酸などの銅（ＩＩ）塩、ハロゲン化
塩としては例えば塩化銅（ＩＩ）、臭化銅（ＩＩ）、よ
う化銅（ＩＩ）など、また、有機酸の銅（ＩＩ）塩とし
ては蟻酸、酢酸、プロピオン酸、オレイン酸、ステアリ
ン酸などの脂肪族モノカルボン酸やしゅう酸、アジピン
酸、セバシン酸などの脂肪族ジカルボン酸、乳酸、酒石
酸のようなオキシ酸、安息香酸、トルイル酸などの芳香
族やナフテン酸のような種々の酸の銅（ＩＩ）塩が挙げ
られる。これらのうちでも硝酸銅、硫酸銅、塩化銅、臭
化銅および酢酸銅などが水溶性で扱い易さなどの点で好
ましい。In the present invention, a copper (II) salt of an inorganic acid or an organic acid is used as one of the discoloring components of the detecting agent. Salts of inorganic acids include oxo acid salts and halogenated salts, and oxo acid salts include, for example, carbonic acid,
Silicic acid, nitric acid, sulfuric acid, arsenic acid, boric acid, chloric acid, perchloric acid,
Examples of copper (II) salts such as chlorous acid and hypochlorous acid, and halides such as copper (II) chloride, copper (II) bromide, and copper (II) iodide; II) Salts include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, oleic acid and stearic acid, oxalic acids, aliphatic dicarboxylic acids such as adipic acid and sebacic acid, oxyacids such as lactic acid and tartaric acid, and benzoic acid. Copper (II) salts of aromatic acids such as acid, toluic acid and various acids such as naphthenic acid may be mentioned. Among them, copper nitrate, copper sulfate, copper chloride, copper bromide, copper acetate and the like are preferable because they are water-soluble and easy to handle.
【０００８】また、変色成分の他方の成分として金塩が
用いられる。金塩についても種々の無機酸および有機酸
の塩が使用できるが、入手の容易さおよび水溶性などの
点で塩化金酸およびそのナトリウム塩、カリウム塩およ
びアンモニウム塩などが好ましい。[0008] A gold salt is used as the other component of the discoloration component. Various inorganic and organic acid salts can be used as the gold salt, but chloroauric acid and its sodium, potassium, and ammonium salts are preferred in view of availability and water solubility.
【０００９】銅（ＩＩ）塩に対する金塩の混合割合には
特に制限はないが、銅（ＩＩ）塩中の銅に対する金塩中
の金の割合が重量比で、通常は１：０．００１〜１０．
０、好ましくは１：０．０５〜１０．０、より好ましく
は１：０．１〜１０である。銅（ＩＩ）塩中の銅に対す
る金塩中の金の割合が０．００１よりも少なくなると、
金属アルコキシド化合物の種類によっては変色が認め難
くなることがある。また、感度、変色速度を充分に高め
るには金の割合を多くすることが一般的に好ましいが、
割合が１０を越えてもそれ以上の効果は得られず、金は
高価でもあることから上記の範囲で選択することが好ま
しい。The mixing ratio of the gold salt to the copper (II) salt is not particularly limited, but the ratio of the gold in the gold salt to the copper in the copper (II) salt is usually in the ratio of 1: 0.001 by weight. -10.
0, preferably 1: 0.05 to 10.0, more preferably 1: 0.1 to 10. When the ratio of gold in the gold salt to copper in the copper (II) salt is less than 0.001,
Discoloration may be difficult to recognize depending on the type of the metal alkoxide compound. In addition, it is generally preferable to increase the ratio of gold to sufficiently increase the sensitivity and the discoloration speed,
If the ratio exceeds 10, no further effect is obtained, and gold is expensive, so that it is preferable to select from the above range.
【００１０】本発明において、変色成分である銅（Ｉ
Ｉ）塩と金塩との混合物自体を粉末状のまま、またはペ
レット状などに成型して検知剤としてもよく、または担
体などに担持させて検知剤としてもよいが、担持体が好
ましく、特に多孔質担体に担持させたものが好ましい。
担体の種類は広い範囲から選択することができるが、例
えばシリカゲル、シリカアルミナ、アルミナ、ジルコニ
アなどの触媒担体、中でも白色ないしは無色のものが好
適に使用され、これらの内でもシリカゲルが特に好まし
い。シリカゲルとしては、乾燥剤用として一般に市販さ
れているものは４５０〜８００ｍ2 ／ｇ程度の比表面積
を有するものであり、これらを用いてもよいが本発明の
目的をより高度に達成するためには水熱合成法などで得
られる比表面積５０〜４００ｍ2 ／ｇの範囲のものが好
ましい。比表面積が大きすぎると変色成分を担体に含浸
させるときに割れが生じ易くなるほか、変色の速度が小
さくなることもあり、一方、比表面積が小さくなりすぎ
るとやはり変色速度が小さくなることがある。In the present invention, the discoloring component copper (I
I) The mixture of the salt and the gold salt itself may be used as a detecting agent in powder form or molded into a pellet or the like, or may be used as a detecting agent by being supported on a carrier or the like. Those supported on a porous carrier are preferred.
The type of the carrier can be selected from a wide range. For example, catalyst carriers such as silica gel, silica alumina, alumina and zirconia, among which white or colorless ones are preferably used, silica gel is particularly preferred. As silica gel, those which are generally commercially available for desiccants have a specific surface area of about 450 to 800 m 2 / g, and these may be used, but in order to achieve the object of the present invention more highly. Is preferably in the range of 50 to 400 m 2 / g specific surface area obtained by a hydrothermal synthesis method or the like. If the specific surface area is too large, cracks are liable to occur when the discoloring component is impregnated into the carrier, and the discoloring speed may be reduced.On the other hand, if the specific surface area is too small, the discoloring speed may also be decreased. .
【００１１】担体を用いる場合の変色成分の担持方法と
しては、例えば変色成分を水や各種の有機溶媒などに溶
解またはけん濁させた液に担体を浸漬させてもよく、ま
た、液を担体表面に散布して担持させてもよい。なお、
エタノールなどの有機溶媒を用いた場合には、１００℃
以上において乾燥させると、変色成分が黒化したり、検
知剤としたときの感度や変色速度が低下したりすること
があるので、このような場合には８０℃以下の不活性ガ
スの雰囲気下において減圧乾燥することが好ましい。担
体に対する変色成分の担持量は、金属銅および金の合計
として、通常は担体１００重量部に対して１．０〜５
０．０重量部、好ましくは２．０〜１０．０重量部とさ
れる。When a carrier is used, the color-changing component may be supported by, for example, immersing the carrier in a solution in which the color-changing component is dissolved or suspended in water or various organic solvents, or the solution is placed on the surface of the carrier. May be scattered and carried. In addition,
When an organic solvent such as ethanol is used, 100 ° C
When dried as described above, the discoloration component may be blackened, or the sensitivity or discoloration speed when used as a detection agent may be reduced. In such a case, the color is changed under an inert gas atmosphere at 80 ° C. or lower. Drying under reduced pressure is preferred. The amount of the discoloring component carried on the carrier is usually from 1.0 to 5 parts per 100 parts by weight of the carrier as a total of metallic copper and gold.
0.0 parts by weight, preferably 2.0 to 10.0 parts by weight.
【００１２】本発明の検知剤によって検知される金属ア
ルコキシド化合物系ガスの濃度は通常は５０ｐｐｍ以下
であり、例えば、テトラエトキシシランでは１０ｐｐ
ｍ、トリメチルりん酸、トリエトキシひ素では５ｐｐｍ
である。検知剤と接触させるガスの速度は、通常、半導
体プロセス装置内や排ガス処理装置内では、空筒線速度
で０．０１〜１００ｃｍ／ｓｅｃとされる。ただし、こ
れらの装置のパージの時などでは１００ｃｍ／ｓｅｃを
越える空筒線速度となる場合がある。接触時のガスの温
度は通常は−２０〜１００℃、また、圧力は０．００１
〜２０Ｋｇ／ｃｍ2 ａｂｓである。The concentration of the metal alkoxide compound-based gas detected by the detecting agent of the present invention is usually 50 ppm or less, for example, 10 pp for tetraethoxysilane.
m, 5 ppm for trimethyl phosphate and triethoxy arsenic
It is. In general, the velocity of the gas that is brought into contact with the detection agent is 0.01 to 100 cm / sec as a linear velocity in a semiconductor process device or an exhaust gas treatment device. However, when these devices are purged or the like, the linear velocity of the cylinder may exceed 100 cm / sec. The temperature of the gas at the time of contact is usually −20 to 100 ° C., and the pressure is 0.001.
２０20 Kg / cm 2 abs.
【００１３】本発明の検知剤は固形であり、通常はガラ
ス製の検知管や透明プラスチック製などの透明な容器ま
たはガスの浄化筒などに設けられた透明な覗き窓部に充
填して使用され、系内の金属アルコキシド化合物ガスの
存在を検知剤の変色により知ることができる。浄化剤な
どとともに使用する場合には浄化筒内の浄化剤の層の下
流側または複数の浄化剤層の間に充填したり、検知剤を
充填した検知筒を浄化筒の後ろに接続した形態などで使
用される。The detection agent of the present invention is solid, and is usually used by filling it into a transparent inspection window provided in a glass detection tube, a transparent container made of transparent plastic or the like, or a gas purification column. The presence of the metal alkoxide compound gas in the system can be known from the color change of the detecting agent. When used with a purifying agent, etc., it is filled downstream of the purifying agent layer in the purifying cylinder or between plural purifying agent layers, or a detection tube filled with a detecting agent is connected behind the purifying tube. Used in.
【００１４】[0014]
実施例１〜８ （検知剤の調製）粒の大きさが８〜１０ｍｅｓｈ、比表
面積２８０ｍ2 ／ｇ、細孔容積１．０５ｍｌ／ｇ、平均
細孔径１００Ａ、充填密度０．４ｇ／ｍｌの粒状シリカ
ゲル（富士デビソン（株）製 、キャリアクトー１０）
１００ｇに、硫酸銅０．３４ｇおよび塩化金酸０．５０
ｇを水およびエタノール混合溶液１００ｍｌに溶解した
溶液を含浸させた後、８０℃の温度で乾燥させて検知剤
を調製した。 （検知能力の測定）この検知剤１．０ｇを内径８ｍｍの
ガラス管に充填し、これに５０ｐｐｍおよび１０ｐｐｍ
のテトラエトキシシラン、５０ｐｐｍおよび５ｐｐｍの
トリメチルりん酸、５０ｐｐｍおよび５ｐｐｍのトリエ
トキシひ素ならびに５０ｐｐｍおよび１０ｐｐｍのペン
タエトキシタンタルを含有する窒素ガスをそれぞれ線速
度１０ｃｍ／ｓｅｃで通して接触させ、完全に変色する
までの時間を測定した。結果を表１に示す。Examples 1 to 8 (Preparation of a detecting agent) Granules having a particle size of 8 to 10 mesh, a specific surface area of 280 m 2 / g, a pore volume of 1.05 ml / g, an average pore diameter of 100 A, and a packing density of 0.4 g / ml. Silica gel (Fuji Devison Co., Ltd., Carrier Cocteau 10)
To 100 g, 0.34 g of copper sulfate and 0.50 g of chloroauric acid
g was dissolved in 100 ml of a mixed solution of water and ethanol, and then impregnated with the solution, and dried at a temperature of 80 ° C. to prepare a detection agent. (Measurement of detection ability) 1.0 g of this detection agent was filled in a glass tube having an inner diameter of 8 mm, and 50 ppm and 10 ppm were added thereto.
Of tetraethoxysilane, 50 ppm and 5 ppm of trimethylphosphoric acid, 50 ppm and 5 ppm of triethoxy arsenic, and 50 ppm and 10 ppm of pentaethoxytantalum at a linear velocity of 10 cm / sec, respectively, until they are completely discolored. Was measured. Table 1 shows the results.
【００１５】[0015]
【表１】 表 １ 実施例 ガス名 ガス濃度 変色までの時間 （ｐｐｍ） （ｍｉｎ） １ テトラエトキシシラン ５０ １５ ２ テトラエトキシシラン １０ ３０ ３ トリメチルりん酸 ５０ １８ ４ トリメチルりん酸 ５ ２６ ５ トリエトキシひ素 ５０ ２０ ６ トリエトキシひ素 ５ ２７ ７ ペンタエトキシタンタル ５０ １１ ８ ペンタエトキシタンタル １０ ２２Table 1 Example 1 Gas Name Gas Concentration Time to Discoloration (ppm) (min) 1 Tetraethoxysilane 50 15 2 Tetraethoxysilane 10 30 3 Trimethylphosphoric acid 50 18 4 Trimethylphosphoric acid 5265 5 Triethoxyarsenic 50 20 6 triethoxyarsenic 5 277 pentaethoxy tantalum 50 11 8 pentaethoxy tantalum 10 22
【００１６】実施例９、１０ （アルコールによる干渉の確認）次に、この検知剤１．
０ｇを内径８ｍｍのガラス管に充填し、これに１％およ
び１００ｐｐｍのエチルアルコールを含有する窒素ガス
を線速度１０ｃｍ／ｓｅｃで通して接触させ、変色の有
無を確認した。結果を表２に示す。Examples 9 and 10 (Confirmation of Interference by Alcohol)
0 g was filled in a glass tube having an inner diameter of 8 mm, and a nitrogen gas containing 1% and 100 ppm of ethyl alcohol was passed through the glass tube at a linear velocity of 10 cm / sec to make contact therewith, and the presence or absence of discoloration was confirmed. Table 2 shows the results.
【００１７】[0017]
【表２】 表 ２ 実施例 ガス導入時間 ガス濃度 備考 ９ １８０分 １％ 変化なし １０ １８０分 １００ｐｐｍ 変化なし[Table 2] Example 2 Gas introduction time Gas concentration Remarks 9 180 minutes 1% No change 10 180 minutes 100 ppm No change
【００１８】[0018]
【発明の効果】本発明の検知剤は以下のような優れた特
長を有している。 半導体製造工程などで使用される金属アルコキシド化
合物系ガスに共通して使用でき、感度が高く、しかも、
変色速度が大きい。 金属アルコキシド化合物の加水分解などによって生じ
る副生成物のアルコール類に対しては変色しないので、
副生成物による誤検出、誤作動がない。 従来、ガス流量の多いパージラインなどでは、サンプ
リングによる金属アルコキシド化合物系ガスの検知しか
方法はなかったが、ライン内に本検知剤を組み込んだ状
態で検知が可能となった。 ガスの浄化筒などの覗き窓部や除害装置の出口部など
に設けて金属アルコキシド化合物系ガスの破過の検知に
用いてもよく、また、作業場における漏れの検知などに
用いてもよく利用範囲は広い。The detection agent of the present invention has the following excellent features. Can be used commonly for metal alkoxide compound gases used in semiconductor manufacturing processes, etc., has high sensitivity, and
High discoloration speed. As it does not discolor to alcohol by-products generated by hydrolysis of metal alkoxide compounds, etc.,
There is no erroneous detection or malfunction due to by-products. Conventionally, in a purge line or the like having a large gas flow rate, there has been only a method of detecting a metal alkoxide compound-based gas by sampling. However, detection has become possible in a state where the present detection agent is incorporated in the line. It can be installed at the viewing window of a gas purifier or at the exit of an abatement system to detect breakthrough of a metal alkoxide compound-based gas, or used to detect leaks in a workplace. The range is wide.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−110370（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−322876（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−186264（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−32254（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−273408（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 31/00 - 31/22 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-2-110370 (JP, A) JP-A-5-322876 (JP, A) JP-A-2-186264 (JP, A) JP-A-2-110 32254 (JP, A) JP-A-6-273408 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 31/00-31/22
Claims (11)
たはこれに酸素が結合したもの、ＯＲはアルコキシ基、
ｎは正の整数〕で表される金属アルコキシドの検知剤で
あって、銅（ＩＩ）塩と金塩との混合物を変色成分とす
る検知剤。[Claim 1] A general chemical formula, M (OR) n [M is a metal or an oxygen bonded thereto, OR is an alkoxy group,
n is a positive integer], wherein the mixture of a copper (II) salt and a gold salt is a color-changing component.
Ｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｔａ、Ｔｉ、ＡｌまたはＺｒである請求
項１に記載の検知剤。2. The method according to claim 1, wherein the metal M of the metal alkoxide is Si,
The detection agent according to claim 1, which is B, P, As, Ta, Ti, Al, or Zr.
エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキ
シ基、イソブトキシ基、セカンダリーブトキシ基または
ターシャリーブトキシ基である請求項１に記載の検知
剤。3. An alkoxy group (OR) is a methoxy group,
The detection agent according to claim 1, which is an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, a secondary butoxy group, or a tertiary butoxy group.
ラン、テトラエトキシシラン、トリメトキシほう素、ト
リエトキシほう素、トリメチルりん酸、トリエチルりん
酸、トリメチル亜りん酸、トリエチル亜りん酸、トリメ
トキシひ素、トリエトキシひ素、トリイソプロポキシひ
素、トリブトキシひ素、ペンタエトキシタンタル、テト
ライソプロポキシチタン、セカンダリーブトキシアルミ
ニウム、セカンダリーブトキシジルコニウムまたはター
シャリーブトキシジルコニウムである請求項２または３
に記載の検知剤。4. The method according to claim 1, wherein the metal alkoxide is tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, trimethoxyboron, triethoxyboron, trimethylphosphoric acid, triethylphosphoric acid, trimethylphosphorous acid, triethylphosphorous acid, trimethoxyarsenic, triethoxyarsenic, triethoxyarsenic. 4. The method of claim 2, wherein the arsenic is isopropoxy arsenic, tributoxy arsenic, pentaethoxy tantalum, tetraisopropoxy titanium, secondary butoxy aluminum, secondary butoxy zirconium or tertiary butoxy zirconium.
The detecting agent according to the above.
は有機酸の銅塩である請求項１に記載の検知剤。5. The detecting agent according to claim 1, wherein the copper (II) salt is a copper salt of an oxo acid, a halogen or an organic acid.
銅、臭化銅または酢酸銅である請求項５に記載の検知
剤。6. The detecting agent according to claim 5, wherein the copper (II) salt is copper nitrate, copper sulfate, copper chloride, copper bromide or copper acetate.
ム塩、カリウム塩、アンモニウム塩である請求項１に記
載の検知剤。7. The detecting agent according to claim 1, wherein the gold salt is chloroauric acid, or a sodium salt, a potassium salt, or an ammonium salt thereof.
の割合が、重量比で１：０．００１〜１０．０である請
求項１に記載の検知剤。8. The detecting agent according to claim 1, wherein the ratio of gold in the gold salt to copper in the copper (II) salt is 1: 0.001 to 10.0 by weight.
てなる請求項１に記載の検知剤。9. The detecting agent according to claim 1, wherein the color change component is carried on a porous carrier.
面積が５０〜４００ｍ2 ／ｇである請求項９に記載の検
知剤。10. The detecting agent according to claim 9, wherein the porous carrier is white or colorless and has a specific surface area of 50 to 400 m 2 / g.
ナ、アルミナまたはジルコニアである請求項９に記載の
検知剤。11. The detecting agent according to claim 9, wherein the porous carrier is silica gel, silica alumina, alumina or zirconia.
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