JP3292009B2 - Method of manufacturing electrode-integrated green sheet and multilayer ceramic electronic component - Google Patents
Method of manufacturing electrode-integrated green sheet and multilayer ceramic electronic componentInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本願発明は、セラミックグリ
ーンシート（以下、単に「グリーンシート」）の所定の
位置に電極パターンが配設された電極一体型グリーンシ
ートの製造方法及びそれを用いた積層セラミック電子部
品の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an electrode-integrated green sheet in which an electrode pattern is disposed at a predetermined position on a ceramic green sheet (hereinafter simply referred to as "green sheet"), and a laminated ceramic using the same. The present invention relates to a method for manufacturing an electronic component.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、その内部にコンデンサ、抵抗、イ
ンダクタ、バリスタなどを構成してなる、いわゆる積層
セラミック電子部品は、例えば、図３に示すように、セ
ラミック２１中に複数層の内部電極２２を所定の間隔を
おいて配設してなる積層体２３の両端側に、内部電極２
２と導通する外部電極２４が配設された構造を有してい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called multilayer ceramic electronic component in which a capacitor, a resistor, an inductor, a varistor and the like are formed, for example, as shown in FIG. Are provided on both ends of a laminated body 23 having a predetermined distance therebetween.
2 has a structure in which external electrodes 24 electrically connected to the second electrode 2 are provided.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の積層セ
ラミック電子部品を製造する場合において、例えば、図
４に示すように、支持体（例えば樹脂フィルム）３０の
表面に形成されたセラミックグリーンシート２１ａ上に
内部電極となる電極パターン２２ａを配設してなるシー
ト（電極配設シート）２５を積層するようにした場合、
図５に示すように、内部電極２２（電極パターン２２
ａ）の厚みによる段差Ａが顕著になり、圧着時の圧力が
不均一に加わることになるため、電極パターン２２ａの
変形や位置ずれ、あるいはそれらに伴う積層精度の低下
などを引き起こすという問題点がある。However, when manufacturing the above-mentioned multilayer ceramic electronic component, for example, as shown in FIG. 4, a ceramic green sheet 21a formed on the surface of a support (for example, a resin film) 30 is formed. When a sheet (electrode disposition sheet) 25 having an electrode pattern 22a serving as an internal electrode disposed thereon is laminated,
As shown in FIG. 5, the internal electrodes 22 (electrode patterns 22
The step A due to the thickness of a) becomes remarkable, and the pressure at the time of pressure bonding is unevenly applied, which causes a problem that the electrode pattern 22a is deformed or displaced, or the lamination accuracy is reduced due to them. is there.
【０００４】また、電極パターン２２ａが積層されてい
る積層部２６とその両端側の引出部２７におけるセラミ
ックのパッキング状態及び各セラミックグリーンシート
層の接着状態にばらつきが生じ、かつ、積層部２６と引
出部２７の間に段差Ａが生じるため、焼成時に積層体２
３の内部に剥がれやクラックなどの内部欠陥が発生する
という問題点がある。In addition, the packing state of the ceramics and the adhesion state of the ceramic green sheet layers in the laminated portion 26 on which the electrode pattern 22a is laminated and the lead portions 27 on both ends thereof vary, and the laminated portion 26 and the drawn out portion 27 Since a step A occurs between the portions 27, the laminate 2
There is a problem that internal defects such as peeling and cracks occur in the inside of No. 3.
【０００５】これらに対応するため、(１) 図６に示すように、内部電極２２（電極パターン２
２ａ）の引出部（電極引出部）２２ｂの厚みを大きくし
たり、(２) 図７に示すように、支持体３０上に電極パターン２
２ａを形成した後、その上に電極パターン２２ａを覆う
ようにセラミックグリーンシート２１ａを形成してなる
電極配設シート２５を用いたりする方法が提案されてい
る。[0005] To cope with these, (1) As shown in FIG.
2a), the thickness of the lead-out portion (electrode lead-out portion) 22b may be increased, or (2) as shown in FIG.
After the formation of the electrode pattern 2a, a method has been proposed in which an electrode arrangement sheet 25 formed by forming a ceramic green sheet 21a on the electrode pattern 22a is used.
【０００６】しかし、(１)の方法には、電極引出方向の
段差を減少させるには有効であるが、電極引出方向と直
交する方向の、電極が積層されている部分と電極が積層
されていない部分との段差を減少させることができない
という問題点がある。However, the method (1) is effective for reducing the level difference in the electrode lead-out direction, but the electrode-laminated portion and the electrode are stacked in the direction perpendicular to the electrode lead-out direction. There is a problem that it is impossible to reduce the level difference from the part without the part.
【０００７】また、(２)の方法は、電極パターン上に形
成されるセラミックグリーンシートがレベリングによっ
て平滑化され、段差が低減されることを期待する方法で
あるが、レベリングによる方法では、コントロールが困
難で、所望の構造精度を得ることができず、また、電極
パターンとセラミックグリーンシートの体積変化率を考
慮することができないという問題点がある。In the method (2) , the ceramic green sheet formed on the electrode pattern is expected to be smoothed by leveling to reduce the level difference. However, in the method by leveling, control is required. However, there is a problem that it is difficult to obtain a desired structural accuracy, and it is not possible to consider a volume change rate of the electrode pattern and the ceramic green sheet.
【０００８】本願発明は、上記の問題点を解決するもの
であり、電極パターンを配設した部分とその周囲との段
差の小さい電極一体型グリーンシートの製造方法、及び
内部電極が積層されている積層部とその両端側の引出部
との間に大きな段差が発生することを防止して、所望の
特性を有する積層セラミック電子部品を確実に製造する
ことが可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供
することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems, and a method of manufacturing an electrode-integrated green sheet having a small step between a portion where an electrode pattern is provided and the periphery thereof, and an internal electrode is laminated. A method for manufacturing a laminated ceramic electronic component capable of reliably producing a laminated ceramic electronic component having desired characteristics by preventing a large step from being generated between a laminated portion and a lead portion on both ends thereof. The purpose is to provide.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の電極一体型グリーンシート
の製造方法は、電極パターンが配設されていないセラミ
ックグリーンシート（全面用グリーンシート）を形成す
る工程と、前記全面用グリーンシートの上面に、表面が
撥水性を有する電極パターンを形成した後、その周囲
に、セラミック原料を水系分散媒に分散させた水系セラ
ミック原料スラリーを用いてセラミックグリーンシート
を形成し、電極パターンの撥水性により水系セラミック
原料スラリーをはじかせることにより、電極パターンの
周囲に、所定の厚みを有するセラミックグリーンシート
（段差排除用グリーンシート）を、前記電極パターンと
重ならないように配設する工程とを具備することを特徴
としている。In order to achieve the above object, a method for manufacturing an electrode-integrated green sheet according to the present invention (claim 1) is a method for manufacturing a ceramic green sheet having no electrode pattern (a green sheet for an entire surface). Sheet), and a step of forming a surface on the upper surface of the green sheet for the entire surface.
After forming a water-repellent electrode pattern , an aqueous ceramic in which a ceramic raw material is dispersed in an aqueous dispersion medium is formed around the electrode pattern.
Ceramic green sheet using mic raw material slurry
Water-based ceramics due to the water repellency of the electrode pattern
By repelling the raw material slurry, the electrode pattern
A step of arranging a ceramic green sheet (a step removing green sheet) having a predetermined thickness around the electrode pattern so as not to overlap the electrode pattern.
【００１０】また、本願発明（請求項２）の電極一体型
グリーンシートの製造方法は、表面が撥水性を有する電
極パターンの周囲に、セラミック原料を水系分散媒に分
散させた水系セラミック原料スラリーを用いてセラミッ
クグリーンシートを形成し、電極パターンの撥水性によ
り水系セラミック原料スラリーをはじかせることによ
り、電極パターンの周囲に、所定の厚みを有するセラミ
ックグリーンシート（段差排除用グリーンシート）を、
前記電極パターンと重ならないように形成して、所定の
位置に電極パターンが配設されたシート（電極配設シー
ト）を形成する工程と、前記電極配設シートの上面にセ
ラミックグリーンシート（全面用グリーンシート）を配
設する工程とを具備することを特徴としている。In the method of manufacturing an electrode-integrated green sheet according to the present invention (claim 2) , the ceramic raw material is divided into an aqueous dispersion medium around an electrode pattern having a water-repellent surface.
Ceramics using the water-based ceramic raw material slurry
Forming a green sheet to improve the water repellency of the electrode pattern
Repelling water-based ceramic raw material slurry
Around the electrode pattern, a ceramic green sheet (step removing green sheet) having a predetermined thickness,
Forming a sheet on which the electrode pattern is provided at a predetermined position by forming the electrode pattern so as not to overlap with the electrode pattern (an electrode providing sheet); and forming a ceramic green sheet (for the entire surface) on the upper surface of the electrode providing sheet. (Green sheet).
【００１１】また、請求項３の電極一体型グリーンシー
トの製造方法は、前記全面用グリーンシートを、表面が
撥水性を有する前記電極パターンとなじみやすい、セラ
ミック原料を有機系分散媒に分散させた有機系セラミッ
ク原料スラリーを用いて形成することを特徴としてい
る。 The electrode-integrated green sheet according to claim 3 is also provided.
The manufacturing method of the present invention is characterized in that the green sheet for the entire surface is formed using an organic ceramic raw material slurry in which a ceramic raw material is dispersed in an organic dispersion medium, the surface of which is easily compatible with the electrode pattern having a water-repellent surface. And
【００１２】また、本願発明（請求項４）の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、セラミック中に内部電極が
配設された構造を有する積層セラミック電子部品の製造
方法において、請求項１〜３のいずれかに記載の方法に
より製造された電極一体型グリーンシートを積層・圧着
して、内部に電極パターンが埋設された積層体を形成す
る工程を具備することを特徴としている。The method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention ( claim 4) is directed to a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are provided in a ceramic . The method further comprises a step of laminating and compressing the electrode-integrated green sheet produced by any of the methods described above to form a laminate in which an electrode pattern is embedded.
【００１３】[0013]
【作用】本願発明（請求項１）の電極一体型グリーンシ
ートの製造方法においては、電極パターンが配設されて
いないセラミックグリーンシート（全面用グリーンシー
ト）上に、表面が撥水性を有する電極パターンを形成す
るとともに、その周囲に、セラミック原料を水系分散媒
に分散させた水系セラミック原料スラリーを用いてセラ
ミックグリーンシートを形成し、電極パターンの撥水性
により水系セラミック原料スラリーをはじかせることに
より、電極パターンの周囲に、所定の厚みを有するセラ
ミックグリーンシート（段差排除用グリーンシート）を
形成するようにしているので、電極パターンとその周囲
との間の段差が小さい電極一体型グリーンシートを確実
に製造することができるようになる。In the method for manufacturing an electrode-integrated green sheet according to the present invention (claim 1) , the electrode pattern having a water-repellent surface is formed on a ceramic green sheet (green sheet for the entire surface ) on which no electrode pattern is provided. And the surrounding ceramic material is dispersed in an aqueous dispersion medium.
Using ceramic slurry dispersed in water
Mic green sheet is formed, and the water repellency of the electrode pattern
Water-based ceramic raw material slurry
A ceramic having a predetermined thickness around the electrode pattern.
Mick green sheet (green sheet for eliminating steps)
Since it is formed, an electrode-integrated green sheet having a small step between the electrode pattern and the periphery thereof can be reliably manufactured.
【００１４】なお、電極パターンとして、その表面が撥
水性を有する電極パターンを形成するとともに、段差排
除用グリーンシートを、セラミック原料を水系分散媒に
分散させた水系セラミック原料スラリーを用いて形成す
るようにしているので、電極パターンが水系セラミック
原料スラリーをはじいて、容易に、電極パターンの周囲
にセラミックグリーンシート（段差排除用グリーンシー
ト）を形成することができる。 The surface of the electrode pattern is repellent.
While forming an aqueous electrode pattern,
Green sheet for removal, ceramic material as aqueous dispersion medium
Formed using dispersed aqueous ceramic raw material slurry
So that the electrode pattern is a water-based ceramic
Flip the raw material slurry and easily around the electrode pattern
The ceramic green sheet (Green sea for step elimination)
G) can be formed.
【００１５】表面が撥水性を有する電極パターンを形成
する方法としては、例えば、導電粉末をシリコーン成分
を含有するワニスと混合することにより製造した導電ペ
ーストをスクリーン印刷法により印刷する方法などを用
いることが可能である。 Forming an electrode pattern having a water-repellent surface
For example, the conductive powder is converted into a silicone component.
Conductive paste manufactured by mixing with a varnish containing
Screen printing by screen printing, etc.
Is possible.
【００１６】また、本願発明（請求項２）の電極一体型
グリーンシートの製造方法においては、表面が撥水性を
有する電極パターンの周囲に、セラミック原料を水系分
散媒に分散させた水系セラミック原料スラリーを用いて
セラミックグリーンシートを形成し、電極パターンの撥
水性により水系セラミック原料スラリーをはじかせるこ
とにより、電極パターンの周囲に、所定の厚みを有する
セラミックグリーンシート（段差排除用グリーンシー
ト）を、電極パターンと重ならないように配設して電極
配設シートを形成した後、この電極配設シート上にセラ
ミックグリーンシート（全面用グリーンシート）を配設
するようにしているので、電極パターンとその周囲との
間の段差が小さい電極一体型グリーンシートを確実に製
造することができるようになる。Further, in the method for manufacturing an electrode-integrated green sheet according to the present invention (claim 2) , the surface has a water-repellent property.
Around the electrode patterns with an aqueous component a ceramic material
Using aqueous ceramic raw material slurry dispersed in a dispersion medium
Form a ceramic green sheet and repel the electrode pattern
Water-based ceramic raw material slurry
Thus , a ceramic green sheet (a step removing green sheet) having a predetermined thickness is provided around the electrode pattern so as not to overlap the electrode pattern to form an electrode placement sheet. Since the ceramic green sheet (green sheet for the entire surface) is provided on the sheet , an electrode-integrated green sheet having a small step between the electrode pattern and the periphery thereof can be reliably manufactured. .
【００１７】また、請求項３の電極一体型グリーンシー
トの製造方法は、全面用グリーンシートを、撥水性を有
する電極パターンとなじみやすい、有機系セラミック原
料スラリーを用いて形成するようにしているので、電極
パターンと段差排除用グリーンシートにより形成される
電極配設シートの全面にセラミックグリーンシート（全
面用グリーンシート）を確実に形成することが可能にな
り、電極パターンとその周囲との間の段差が小さい電極
一体型グリーンシートを確実に製造することができるよ
うになる。 The electrode-integrated green sea according to claim 3 is also provided.
The manufacturing method of the target is that the green sheet for the entire surface is formed by using an organic ceramic raw material slurry that is easily compatible with the electrode pattern having water repellency , and thus is formed by the electrode pattern and the step-eliminating green sheet. A ceramic green sheet (green sheet for the entire surface) can be reliably formed on the entire surface of the electrode mounting sheet, and an electrode-integrated green sheet with a small step between the electrode pattern and the periphery thereof can be reliably manufactured. Will be able to
【００１８】また、本願発明（請求項４）の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、上記方法により製造された
電極一体型グリーンシートを積層・圧着して、内部に電
極パターンが埋設された積層体を形成するようにしてい
るので、内部電極が埋設（積層）されている積層部とそ
の両端側の引出部との間に大きな段差が発生することを
防止して、所望の特性を有する積層セラミック電子部品
を確実に製造することが可能になる。Further, the laminated ceramic of the present invention (claim 4)
Click method of manufacturing an electronic component, are laminated and pressure bonded to the electrode integrated green sheet prepared by the above method, have to form a laminate electrode pattern is embedded in the
Therefore, it is possible to prevent a large step from being generated between the laminated portion in which the internal electrodes are embedded (laminated) and the leading portions on both ends thereof, thereby reliably producing a laminated ceramic electronic component having desired characteristics. It becomes possible to do.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be shown and the features thereof will be described in more detail.
【００２０】［実施形態１］ ここでは、電極一体型グリーンシートの製造方法につい
て説明する。[Embodiment 1] Here, a method for manufacturing an electrode-integrated green sheet will be described.
【００２１】まず、セラミック原料に、有機バインダー
や、溶剤などを加えて混合することにより得られたスラ
リーを、ドクターブレード法によりシート化し、図１
(ａ)に示すように、支持体（樹脂フィルム）１０上に、
セラミックグリーンシート（全面用グリーンシート）１
ａを形成した。First, a slurry obtained by adding an organic binder, a solvent, and the like to a ceramic raw material and mixing the resulting mixture is formed into a sheet by a doctor blade method.
As shown in (a), on a support (resin film) 10,
Ceramic green sheet (green sheet for entire surface) 1
a was formed.
【００２２】次に、図１(ｂ)に示すように、セラミック
グリーンシート（全面用グリーンシート）１ａ上に、金
属粉末とシリコーン成分を含有するワニスとを混合する
ことにより製造した導電ペーストをスクリーン印刷法に
より印刷して、所定の寸法、形状、厚みを有する電極パ
ターン２ａを形成した。次いで、この電極パターン２ａ
を乾燥し、表面が撥水性を有する電極（電極パターン）
を形成した。Next, as shown in FIG. 1B, a conductive paste produced by mixing a metal powder and a varnish containing a silicone component on a ceramic green sheet (green sheet for the entire surface) 1a is screened. Printing was performed by a printing method to form an electrode pattern 2a having a predetermined size, shape, and thickness. Next, this electrode pattern 2a
Is dried and the surface has water repellency (electrode pattern)
Was formed.
【００２３】それから、図１(ｃ)に示すように、電極
（電極パターン）２ａ上に、再度、上記のセラミック原
料スラリーをドクターブレード法によりセラミックグリ
ーンシート（段差排除用グリーンシート）１ｂをコーテ
ィングした。このとき、図１(ｄ)に示すように、２度目
にコーティングされたセラミックグリーンシート（段差
排除用グリーンシート）１ｂの電極パターン２ａ上の部
分は、電極パターン２ａの表面の撥水性によりはじかれ
て、電極パターン２ａ上から除去されるため、その後
に、乾燥することにより、電極パターン２ａとその周囲
との間の段差（表面段差）が小さい電極一体型グリーン
シート５を確実に得ることができる。なお、電極一体型
グリーンシート５は、通常は支持体１０を取り除いた
後、乾燥などの処理に付されるが、場合によっては、支
持体１０を取り除くことなく乾燥などの処理を行うこと
も可能である。Then, as shown in FIG. 1 (c), the above ceramic raw material slurry was coated again on the electrode (electrode pattern) 2a by a doctor blade method with a ceramic green sheet (green sheet for removing a step) 1b. . At this time, as shown in FIG. 1 (d), the portion of the ceramic green sheet (step removing green sheet) 1b coated on the second time on the electrode pattern 2a is repelled by the water repellency of the surface of the electrode pattern 2a. Then, since the electrode pattern 2a is removed from above, the electrode-integrated green sheet 5 having a small step (surface step) between the electrode pattern 2a and its periphery can be reliably obtained by drying thereafter. . The electrode-integrated green sheet 5 is usually subjected to a treatment such as drying after the support 10 is removed, but in some cases, a treatment such as drying can be performed without removing the support 10. It is.
【００２４】上述のようにして得られた電極一体型グリ
ーンシート５について調べた、段差排除用グリーンシー
ト１ｂの厚み（目標値）と表面段差の関係を表１に示
す。なお、ここでいう表面段差は、電極パターン２ａの
表面とその周囲の段差排除用グリーンシート１ｂの表面
の段差（凹凸）を接触式表面粗さ計により測定した結果
であり、その値に＋を付したものは、電極パターンを形
成した部分が周囲より盛り上がっている（凸状となって
いる）ことを示しており、−を付したものは、電極パタ
ーンを形成した部分が周囲よりくぼんでいる（凹状とな
っている）ことを示している。Table 1 shows the relationship between the thickness (target value) of the step-eliminating green sheet 1b and the surface step, which was examined for the electrode-integrated green sheet 5 obtained as described above. Here, the surface step is the result of measuring the step (irregularity) between the surface of the electrode pattern 2a and the surface of the step removing green sheet 1b around the electrode pattern 2a using a contact type surface roughness meter. The suffix indicates that the portion on which the electrode pattern is formed is raised (protruded) from the periphery, and the suffix indicates that the portion on which the electrode pattern is formed is recessed from the periphery. (Concave shape).
【００２５】[0025]
【表１】 [Table 1]
【００２６】なお、表１において、試料番号に*印を付
したものは本願発明の範囲外の比較例である。In Table 1, those marked with an asterisk (*) are the comparative examples outside the scope of the present invention.
【００２７】表１より、段差排除用グリーンシートを形
成した本願発明の試料（試料番号３，４，５）は、段差
排除用グリーンシートを形成していない比較例の試料
（試料番号１，２）に比べて、大幅に表面段差が減少し
ていることがわかる。As shown in Table 1, the samples of the present invention on which the step-removing green sheets were formed (sample Nos. 3, 4, and 5) were comparative samples without the step-removing green sheets (samples Nos. 1 and 2). It can be seen that the surface step is significantly reduced as compared to the case of ()).
【００２８】なお、上記実施形態においては、支持体上
に、水系のセラミック原料スラリーを用いて全面用グリ
ーンシートを形成し、その上に電極パターンを形成した
後、同じく水系のセラミック原料スラリーを用いて段差
排除用グリーンシートを形成するようにした場合につい
て説明したが、上記実施形態の方法以外にも、(１) 支持体上に、電極パターンを形成した後、水系セラ
ミック原料スラリーを用いて段差排除用グリーンシート
を形成し、その後に有機系セラミック原料スラリーを用
いて全面用グリーンシートを形成する方法、(２) 支持体上に、有機系セラミック原料スラリーを用い
て全面用グリーンシートを形成した後、その表面に電極
パターンを形成し、さらに水系セラミック原料スラリー
を用いて段差排除用グリーンシートを形成する方法など
によっても、上記実施形態の場合と同様の効果を得るこ
とができた。In the above embodiment, a green sheet for the entire surface is formed on a support using a water-based ceramic raw material slurry, and an electrode pattern is formed thereon. Although the case where the step-removing green sheet is formed has been described above, in addition to the method of the above-described embodiment, (1) After forming an electrode pattern on the support, the step is formed using an aqueous ceramic raw material slurry. A method of forming a green sheet for exclusion and then forming a green sheet for the entire surface using an organic ceramic raw material slurry; (2) forming a green sheet for the entire surface on the support using the organic ceramic raw material slurry After that, an electrode pattern is formed on the surface, and a step-removing green sheet is further formed using an aqueous ceramic raw material slurry. By a method of forming, it was possible to obtain the same effect as the above embodiment.
【００２９】［実施形態２］ この実施形態においては、上述の実施形態１の方法によ
り製造した電極一体型グリーンシート５（図１(ｄ)）を
用いて、図２に示すような積層セラミック電子部品（す
なわち、セラミック１を誘電体とし、内部電極２を有す
る積層体３の両端に外部電極４を備えた積層セラミック
コンデンサ）を製造する場合を例にとって説明を行う。
なお、この積層セラミックコンデンサの主な仕様は次の
通りである。 誘電体厚（内部電極間のセラミック厚）：４．５μm （但し、セラミックグリーンシートの成形厚：６．０μm） 電極厚 ：１．２μm 層数 ：２００層 外径寸法（長さ（Ｌ）×幅（Ｗ）） ：２．０mm×１．２４mm 段差排除用グリーンシートの厚み（目標値） ：１．０μm，１．５μm，２．０μm ギャップ寸法（目標値） ：１５０μm[Embodiment 2] In this embodiment, a multilayer ceramic electronic device as shown in FIG. 2 is manufactured by using the electrode-integrated green sheet 5 (FIG. 1D) manufactured by the method of Embodiment 1 described above. A description will be given of an example in which a component (that is, a multilayer ceramic capacitor in which the ceramic 1 is a dielectric and the external electrodes 4 are provided at both ends of the multilayer body 3 having the internal electrodes 2).
The main specifications of the multilayer ceramic capacitor are as follows. Dielectric thickness (ceramic thickness between internal electrodes): 4.5 μm (however, ceramic green sheet molding thickness: 6.0 μm) Electrode thickness: 1.2 μm Number of layers: 200 layers Outer diameter (length (L) × Width (W)): 2.0 mm × 1.24 mm Thickness (target value) of step removing green sheet: 1.0 μm, 1.5 μm, 2.0 μm Gap size (target value): 150 μm
【００３０】上述の実施形態１の方法により製造し、支
持体を取り除いた後の電極一体型グリーンシートを積み
重ねた後、加圧成型した。それから、得られた積層体を
切断装置により個々の素子に切断した。そして、このと
きに、内部電極（電極パターン）の引出方向に直交する
方向の端部から、積層体の端面までの距離が設計値の２
０％以下のものを不良（ギャップ不良）と判定した。The electrode-integrated green sheets manufactured by the method of Embodiment 1 described above, from which the support was removed, were stacked, and then molded under pressure. Then, the obtained laminate was cut into individual elements by a cutting device. At this time, the distance from the end of the internal electrode (electrode pattern) in the direction perpendicular to the drawing direction to the end face of the stacked body is 2 times the design value.
Those with 0% or less were judged to be defective (gap defect).
【００３１】さらに、個々の素子を焼成して積層セラミ
ック電子部品素子を得た。そして、得られた積層セラミ
ック電子部品素子について、内部欠陥（すなわち、クラ
ック・剥がれ）の発生の有無を調べるとともに、電極パ
ターンが埋設（積層）されている積層部と電極パターン
が引き出されている部分（引出部）の段差を調べた。そ
の結果を表２に示す。Further, the individual elements were fired to obtain multilayer ceramic electronic component elements. Then, the obtained multilayer ceramic electronic component element is examined for the occurrence of internal defects (that is, cracks and peeling), and a laminated portion where the electrode pattern is embedded (laminated) and a portion where the electrode pattern is drawn out. The step of the (drawing part) was examined. Table 2 shows the results.
【００３２】[0032]
【表２】 [Table 2]
【００３３】なお、表２において、試料番号に*印を付
したものは本願発明の範囲外の比較例である。In Table 2, those marked with an asterisk (*) correspond to comparative examples outside the scope of the present invention.
【００３４】表２により、段差排除用グリーンシートを
形成していない比較例の試料（試料番号１，２）の場
合、積層・圧着時に積層体内部での圧力の加わり方が不
均一になり、積層される電極パターンの変形や位置ずれ
が大きく、切断後のギャップ不良の発生数が増加してい
ることがわかる。さらに、焼成後の素子においては、積
層部とその周囲の段差が大きいため、焼成時に大きな内
部応力が発生してクラックや剥がれなどの内部欠陥の発
生数が増加していることがわかる。According to Table 2, in the case of the comparative example (sample Nos. 1 and 2) in which the step-removing green sheet was not formed, the manner of applying pressure inside the laminate during lamination / compression was non-uniform. It can be seen that the electrode patterns to be laminated are largely deformed and displaced, and the number of gap defects occurring after cutting is increasing. Furthermore, in the element after firing, since the step between the laminated portion and the periphery thereof is large, a large internal stress is generated during firing, and the number of internal defects such as cracks and peeling increases.
【００３５】これに対して、本願発明の実施形態にかか
る試料の場合、積層・圧着時に積層体に均一に圧力が加
わるため、電極パターンの変形や位置ずれが小さく、ギ
ャップ不良の発生数が著しく減少している。また、積層
部とその周囲の段差が小さいため、焼成時に大きな内部
応力が発生せず、クラックや剥がれなどの内部欠陥の発
生が認められなくなっている。On the other hand, in the case of the sample according to the embodiment of the present invention, since pressure is uniformly applied to the laminated body during lamination and pressure bonding, deformation and displacement of the electrode pattern are small, and the number of occurrences of gap defects is remarkable. is decreasing. Further, since the step between the laminated portion and the periphery thereof is small, a large internal stress does not occur at the time of firing, and the occurrence of internal defects such as cracks and peeling is not recognized.
【００３６】なお、上記実施形態では、支持体を取り除
いた後の電極一体型グリーンシートを積層、圧着するよ
うにした場合について説明したが、焼成時に分解したり
燃焼したりして消失するような材料からなる支持体を用
いることにより、電極一体型グリーンシートを支持体ご
と積層、圧着した後、焼成工程で支持体を分解、燃焼さ
せるようにして製造工程を簡略化することができる場合
もある。In the above embodiment , the case where the electrode-integrated green sheets are laminated and pressed after the support is removed has been described. By using a support made of a material, the electrode-integrated green sheet may be laminated and pressed together with the support, and then the support may be decomposed and burned in a firing step, thereby simplifying the manufacturing process in some cases. .
【００３７】なお、本願発明は、上記実施形態に限定さ
れるものではなく、セラミックの種類、電極パターンの
具体的な形状や電極パターンを構成する材料の種類、あ
るいは形成すべき積層セラミック電子部品の種類などに
関し、発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形を
加えることが可能である。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes the type of ceramic, the specific shape of the electrode pattern, the type of material constituting the electrode pattern, and the type of multilayer ceramic electronic component to be formed. With respect to types, various applications and modifications can be made within the scope of the invention.
【００３８】[0038]
【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
電極一体型グリーンシートの製造方法は、電極パターン
が配設されていない全面用グリーンシート上に、表面が
撥水性を有する電極パターンを形成するとともに、その
周囲に、セラミック原料を水系分散媒に分散させた水系
セラミック原料スラリーを用いてセラミックグリーンシ
ートを形成し、電極パターンの撥水性により水系セラミ
ック原料スラリーをはじかせることにより、電極パター
ンの周囲に、所定の厚みを有する段差排除用グリーンシ
ートを形成するようにしているので、電極パターンとそ
の周囲との間の段差が小さい電極一体型グリーンシート
を効率よくかつ確実に製造することができる。As described above, the method for manufacturing an electrode-integrated green sheet according to the present invention (claim 1) has a method in which the surface is formed on the entire surface green sheet on which no electrode pattern is provided.
An aqueous system in which a ceramic material is dispersed in an aqueous dispersion medium around which an electrode pattern having water repellency is formed.
Using ceramic raw material slurry
A water-based ceramic due to the water repellency of the electrode pattern.
By repelling the raw material slurry, the electrode
The step-eliminating green sheet having a predetermined thickness is formed around the electrode, so that an electrode-integrated green sheet having a small step between the electrode pattern and the periphery can be efficiently and reliably manufactured. Can be.
【００３９】また、本願発明（請求項２）の電極一体型
グリーンシートの製造方法は、表面が撥水性を有する電
極パターンの周囲に、セラミック原料を水系分散媒に分
散さ せた水系セラミック原料スラリーを用いてセラミッ
クグリーンシートを形成し、電極パターンの撥水性によ
り水系セラミック原料スラリーをはじかせることによ
り、電極パターンの周囲に、所定の厚みを有する段差排
除用グリーンシートを形成して、所定の位置に電極パタ
ーンが配設された電極配設シートを形成した後、その上
面にセラミックグリーンシート（全面用グリーンシー
ト）を配設するようにしているので、電極パターンとそ
の周囲との間の段差が小さい電極一体型グリーンシート
を効率よくかつ確実に製造することができる。Further, according to the method for manufacturing an electrode-integrated green sheet of the present invention (claim 2), an electrode having a water-repellent surface is provided.
Around the pole pattern, the ceramic raw material is divided into aqueous dispersion media.
Ceramic with was dispersed aqueous ceramic slurry
Forming a green sheet to improve the water repellency of the electrode pattern
Repelling water-based ceramic raw material slurry
Then, a step-removing green sheet having a predetermined thickness is formed around the electrode pattern, an electrode placement sheet having the electrode pattern disposed at a predetermined position is formed, and a ceramic green sheet ( Since the entire-surface green sheet is provided, an electrode-integrated green sheet having a small step between the electrode pattern and the periphery thereof can be efficiently and reliably manufactured.
【００４０】また、請求項３の電極一体型グリーンシー
トの製造方法のように、全面用グリーンシートを、撥水
性を有する電極パターンとなじみやすい、有機系セラミ
ック原料スラリーを用いて形成することにより、電極パ
ターンと段差排除用グリーンシートにより形成される電
極配設シートの全面にセラミックグリーンシート（全面
用グリーンシート）を確実に形成することが可能にな
り、電極一体型グリーンシートを確実に製造することが
できる。 The electrode-integrated green sea according to claim 3 is also provided.
The green sheet for the entire surface is formed by using an organic ceramic raw material slurry that is easily compatible with the water-repellent electrode pattern , as in the manufacturing method of the electrode, thereby forming the electrode formed by the electrode pattern and the step-eliminating green sheet. The ceramic green sheet (green sheet for the entire surface) can be reliably formed on the entire surface of the disposition sheet, and the electrode-integrated green sheet can be reliably manufactured.
【００４１】また、本願発明（請求項４）の積層セラミ
ック電子部品の製造方法においては、請求項１〜３のい
ずれかに記載の方法により製造された電極一体型グリー
ンシートを積層・圧着して、内部に電極パターンが埋設
された積層体を形成するようにしているので、内部電極
が埋設（積層）されている積層部とその両端側の引出部
との間に大きな段差が発生することを防止して、所望の
特性を有する積層セラミック電子部品を確実に製造する
ことができる。Further, in the method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention (claim 4) , any one of claims 1 to 3 is provided.
The electrode-integrated green sheet manufactured by the method described in any one of the above is laminated and pressed to form a laminate in which the electrode pattern is embedded, so that the internal electrodes are embedded (laminated). It is possible to prevent a large step from being generated between the stacked portion and the leading portions on both ends thereof, and to reliably manufacture a multilayer ceramic electronic component having desired characteristics.
【図１】本願発明の電極一体型グリーンシートの製造方
法の一実施形態を示す図である。FIG. 1 is a view showing one embodiment of a method for manufacturing an electrode-integrated green sheet according to the present invention.
【図２】本願発明の方法により製造された電極一体型グ
リーンシートを用いて製造した積層セラミック電子部品
を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a multilayer ceramic electronic component manufactured using an electrode-integrated green sheet manufactured by the method of the present invention.
【図３】積層セラミック電子部品の構造を示す断面図で
ある。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a structure of the multilayer ceramic electronic component.
【図４】従来の電極一体型グリーンシートを示す図であ
る。FIG. 4 is a view showing a conventional electrode-integrated green sheet.
【図５】従来の製造方法により製造された積層セラミッ
ク電子部品を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a multilayer ceramic electronic component manufactured by a conventional manufacturing method.
【図６】従来の他の製造方法により製造された積層セラ
ミック電子部品を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a multilayer ceramic electronic component manufactured by another conventional manufacturing method.
【図７】従来の電極配設シートの他の例を示す図であ
る。FIG. 7 is a view showing another example of a conventional electrode arrangement sheet.
１ａ セラミックグリーンシート（全面用グリ
ーンシート） １ｂ セラミックグリーンシート（段差排除用
グリーンシート） ２ａ 電極パターン ３ 積層体 ４ 外部電極 ５ 電極一体型グリーンシート １０ 支持体1a Ceramic Green Sheet (Entire Green Sheet) 1b Ceramic Green Sheet (Green Sheet for Removing Step) 2a Electrode Pattern 3 Laminate 4 External Electrode 5 Electrode Integrated Green Sheet 10 Support
Claims (4)
クグリーンシート（全面用グリーンシート）を形成する
工程と、 前記全面用グリーンシートの上面に、表面が撥水性を有
する電極パターンを形成した後、その周囲に、セラミッ
ク原料を水系分散媒に分散させた水系セラミック原料ス
ラリーを用いてセラミックグリーンシートを形成し、電
極パターンの撥水性により水系セラミック原料スラリー
をはじかせることにより、電極パターンの周囲に、所定
の厚みを有するセラミックグリーンシート（段差排除用
グリーンシート）を、前記電極パターンと重ならないよ
うに配設する工程とを具備することを特徴とする電極一
体型グリーンシートの製造方法。A step of forming a ceramic green sheet on which no electrode pattern is provided (a green sheet for the entire surface); and a step of forming a water-repellent surface on the upper surface of the green sheet for the entire surface.
After the electrode pattern is formed, a ceramic
Ceramic raw material, in which the raw material is dispersed in an aqueous dispersion medium.
A ceramic green sheet is formed using a rally
Water-based ceramic raw material slurry due to the water repellency of the pole pattern
And disposing a ceramic green sheet (a step eliminating green sheet) having a predetermined thickness around the electrode pattern so as not to overlap with the electrode pattern. A method for producing an electrode-integrated green sheet.
に、セラミック原料を水系分散媒に分散させた水系セラ
ミック原料スラリーを用いてセラミックグリーンシート
を形成し、電極パターンの撥水性により水系セラミック
原料スラリーをはじかせることにより、電極パターンの
周囲に、所定の厚みを有するセラミックグリーンシート
（段差排除用グリーンシート）を、前記電極パターンと
重ならないように形成して、所定の位置に電極パターン
が配設されたシート（電極配設シート）を形成する工程
と、 前記電極配設シートの上面にセラミックグリーンシート
（全面用グリーンシート）を配設する工程とを具備する
ことを特徴とする電極一体型グリーンシートの製造方
法。2. An aqueous ceramic in which a ceramic material is dispersed in an aqueous dispersion medium around an electrode pattern having a water-repellent surface.
Ceramic green sheet using mic raw material slurry
Water-based ceramics due to the water repellency of the electrode pattern
By repelling the raw material slurry, the electrode pattern
Around the periphery, a ceramic green sheet having a predetermined thickness (a green sheet for eliminating a step) is formed so as not to overlap with the electrode pattern, and a sheet having an electrode pattern provided at a predetermined position (an electrode mounting sheet) And a step of disposing a ceramic green sheet (green sheet for the entire surface) on the upper surface of the electrode disposing sheet.
性を有する前記電極パターンとなじみやすい、セラミッ
ク原料を有機系分散媒に分散させた有機系セラミック原
料スラリーを用いて形成することを特徴とする請求項１
又は２記載の電極一体型グリーンシートの製造方法。3. The whole-surface green sheet is formed by using an organic ceramic raw material slurry in which a ceramic raw material is dispersed in an organic dispersion medium and is easily compatible with the electrode pattern having a water-repellent surface. Claim 1
Or the method for producing an electrode-integrated green sheet according to 2 .
を有する積層セラミック電子部品の製造方法において、 請求項１〜３のいずれかに記載の方法により製造された
電極一体型グリーンシートを積層・圧着して、内部に電
極パターンが埋設された積層体を形成する工程を具備す
ることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方
法。4. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component having a structure in which internal electrodes are arranged in the ceramic, laminated electrodes integrated green sheet manufactured by the method according to any one of claims 1 to 3 -A method for producing a multilayer ceramic electronic component, comprising a step of forming a laminate in which an electrode pattern is embedded by crimping.
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