JP3284797B2 - 試料水の採取装置 - Google Patents
試料水の採取装置Info
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- JP3284797B2 JP3284797B2 JP30419594A JP30419594A JP3284797B2 JP 3284797 B2 JP3284797 B2 JP 3284797B2 JP 30419594 A JP30419594 A JP 30419594A JP 30419594 A JP30419594 A JP 30419594A JP 3284797 B2 JP3284797 B2 JP 3284797B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子工業用超純水な
ど不純物濃度が非常に低い水（試料水）に含まれている
不純物濃度を分析測定するために採取容器に採水する採
取装置に関する。
ど不純物濃度が非常に低い水（試料水）に含まれている
不純物濃度を分析測定するために採取容器に採水する採
取装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は蛇口から出る試料水を直接に採取
容器に採取するか、蛇口にチューブをつなぎ、このチュ
ーブから採取容器に試料水を採水している。
容器に採取するか、蛇口にチューブをつなぎ、このチュ
ーブから採取容器に試料水を採水している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように蛇口から直
接、又はチューブから採取容器に試料水を採水すると、
蛇口、或いはチューブから出る試料水は空気に接触して
空気中の採取容器に入るため、空気中の塩化物イオン
や、ナトリウムイオンなどの不純物が僅かながら試料水
に混入する。試料水に本来含まれている不純物の濃度は
数ｐｐｂから数ｐｐｔのオーダで極めて低いため、採取
のために空気中から混入した不純物の濃度は本来含まれ
ている不純物の濃度と同等、又はそれ以上になってしま
い、試料水が本来含んでいる不純物の正確な濃度を測定
することができない。
接、又はチューブから採取容器に試料水を採水すると、
蛇口、或いはチューブから出る試料水は空気に接触して
空気中の採取容器に入るため、空気中の塩化物イオン
や、ナトリウムイオンなどの不純物が僅かながら試料水
に混入する。試料水に本来含まれている不純物の濃度は
数ｐｐｂから数ｐｐｔのオーダで極めて低いため、採取
のために空気中から混入した不純物の濃度は本来含まれ
ている不純物の濃度と同等、又はそれ以上になってしま
い、試料水が本来含んでいる不純物の正確な濃度を測定
することができない。
【０００４】空気中からの不純物の混入を防止するため
に、窒素ガスや、アルゴンガスなどの不純物を含まない
不活性ガスを充満した密閉容器中に採取容器を収納し、
この採取容器に試料水を採水することも行われている
が、これには採取場所に窒素ガスや、アルゴンガスなど
の不活性ガスの供給設備を設ける必要があり、設備にコ
ストが嵩む。
に、窒素ガスや、アルゴンガスなどの不純物を含まない
不活性ガスを充満した密閉容器中に採取容器を収納し、
この採取容器に試料水を採水することも行われている
が、これには採取場所に窒素ガスや、アルゴンガスなど
の不活性ガスの供給設備を設ける必要があり、設備にコ
ストが嵩む。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上述した問
題点を解消し、空気中の不純物を混入させることなく試
料水を採取容器、採水容器に採水できるようにしたので
あって、採取容器が室内に出入可能であると共に、外部
から室内の採取容器に試料水を供給でき、且つ採取容器
から溢れる試料水を貯える貯水部を備えた採水室と、採
水室へ送気する送気装置と、採水室への送気路中に設け
られ、下面が前記採水室の貯水部に連通した気液接触装
置と、採水室の貯水部にある水を上記気液供給装置に供
給して循環させるポンプを含む循環装置と、採水室に送
気された空気を送気装置に循環させる空気循環路とを備
えていることを特徴とする。尚、採水室への送気路中に
は気液接触装置のほかにエアフィルタを設けることが好
ましい。
題点を解消し、空気中の不純物を混入させることなく試
料水を採取容器、採水容器に採水できるようにしたので
あって、採取容器が室内に出入可能であると共に、外部
から室内の採取容器に試料水を供給でき、且つ採取容器
から溢れる試料水を貯える貯水部を備えた採水室と、採
水室へ送気する送気装置と、採水室への送気路中に設け
られ、下面が前記採水室の貯水部に連通した気液接触装
置と、採水室の貯水部にある水を上記気液供給装置に供
給して循環させるポンプを含む循環装置と、採水室に送
気された空気を送気装置に循環させる空気循環路とを備
えていることを特徴とする。尚、採水室への送気路中に
は気液接触装置のほかにエアフィルタを設けることが好
ましい。
【０００６】
【実施例】図示の実施例において、１０は採水室、２０
は送気装置、３０は気液接触装置、４０は水の循環装
置、５０は空気の循環路を示す。
は送気装置、３０は気液接触装置、４０は水の循環装
置、５０は空気の循環路を示す。
【０００７】採水室１０は前面に両開きの観音扉１１，
１１を有し、この扉を開けて室内に採取容器１を出入す
ることができる。採水室はパンチングプレートによる多
孔の床板１２を有し、底板の上に採取容器を載置し、床
板１２の下は貯水部１３になっている。採水室の上壁
は、超純水の流路に設けた蛇口に一端を接続したチュー
ブ２を挿入する開口１４を有し、この開口１４に挿通し
たチューブの他端を底板１２上に載置した採取容器１の
底の近傍まで挿入することができる。開口１４の内径は
チューブ２の外径とほゞ等しく、その間から採水室内に
外気は殆ど進入しない。
１１を有し、この扉を開けて室内に採取容器１を出入す
ることができる。採水室はパンチングプレートによる多
孔の床板１２を有し、底板の上に採取容器を載置し、床
板１２の下は貯水部１３になっている。採水室の上壁
は、超純水の流路に設けた蛇口に一端を接続したチュー
ブ２を挿入する開口１４を有し、この開口１４に挿通し
たチューブの他端を底板１２上に載置した採取容器１の
底の近傍まで挿入することができる。開口１４の内径は
チューブ２の外径とほゞ等しく、その間から採水室内に
外気は殆ど進入しない。
【０００８】図示の実施例では、採水室１０の開放した
背面にはデミスター１５の収容室、その背後に気液接触
装置３０の収容室、エアフィルタ６０の収容室、送気装
置２０としての送風ファン２１を内蔵した送風室２２が
連接してある。デミスター１５は採水室１０に送入する
空気の水滴除去用であって周知のものである。気液接触
装置３０は、ラシヒリング、レッシングリング、ベルル
サドルなどを充填した充填塔式でも、スプレー塔式、濡
れ壁式等の公知の任意なものでよい。又、エアフィルタ
６０はガラス繊維、合成繊維などのマットを積層状、濾
紙状、メンブレン状にしたものを室に充填してある。
背面にはデミスター１５の収容室、その背後に気液接触
装置３０の収容室、エアフィルタ６０の収容室、送気装
置２０としての送風ファン２１を内蔵した送風室２２が
連接してある。デミスター１５は採水室１０に送入する
空気の水滴除去用であって周知のものである。気液接触
装置３０は、ラシヒリング、レッシングリング、ベルル
サドルなどを充填した充填塔式でも、スプレー塔式、濡
れ壁式等の公知の任意なものでよい。又、エアフィルタ
６０はガラス繊維、合成繊維などのマットを積層状、濾
紙状、メンブレン状にしたものを室に充填してある。
【０００９】送風ファン２１を運転すると、送風室２２
の空気はエアフィルタ６０、気液接触装置３０、デミス
ター１５を吹抜けて採水室１０に入り、多孔の底板１２
から底板と貯水部１３の水面との間の空間である空気の
循環路５０を経て送風室２２に循環する。つまり貯水部
１３は採水室１０の下から送風室２２の背後にまで延在
して水面上に空気の循環路５０を形成し、この循環路５
０を通過した空気は送風室の背後と装置の後壁５１との
間の空間５２を上昇し、送風室の後壁の吸込口２３から
送風室に流入する。そして、デミスターの収容室、及び
気液接触装置の収容室の下面も多孔の底板を有し、室内
の水を貯水部１３に排水するようにしてある。
の空気はエアフィルタ６０、気液接触装置３０、デミス
ター１５を吹抜けて採水室１０に入り、多孔の底板１２
から底板と貯水部１３の水面との間の空間である空気の
循環路５０を経て送風室２２に循環する。つまり貯水部
１３は採水室１０の下から送風室２２の背後にまで延在
して水面上に空気の循環路５０を形成し、この循環路５
０を通過した空気は送風室の背後と装置の後壁５１との
間の空間５２を上昇し、送風室の後壁の吸込口２３から
送風室に流入する。そして、デミスターの収容室、及び
気液接触装置の収容室の下面も多孔の底板を有し、室内
の水を貯水部１３に排水するようにしてある。
【００１０】空気の循環路５０を確保するため、貯水部
１３には溢水管１６を設け、溢水管のレベル以上に水位
が上昇しないようにしてある。貯水部の水は循環ポンプ
４１と、循環管４２とからなる水の循環装置４０により
気液装置３０の上部の散水管３１に供給される。
１３には溢水管１６を設け、溢水管のレベル以上に水位
が上昇しないようにしてある。貯水部の水は循環ポンプ
４１と、循環管４２とからなる水の循環装置４０により
気液装置３０の上部の散水管３１に供給される。
【００１１】試料水を採取するには、採水室１０の扉１
１，１１を開き、多孔の底板１２上に採取容器１を載
せ、開口１４を通じ採水室の内部に突入したチューブ２
を採取容器に挿入し、その先端を容器内底部に位置させ
たのち扉を閉じ、チューブ２から採取容器内に試料水を
供給する。試料水の供給は、試料水が採取容器の口部か
ら溢れ出ても続け、これにより採取容器を試料水で洗浄
する。容器から溢れ出た試料水は採水室の多孔の底板１
２から貯水部１３に流れ落ちて貯まる。貯水部には予め
試料水の一部を入れておいてもよい。
１，１１を開き、多孔の底板１２上に採取容器１を載
せ、開口１４を通じ採水室の内部に突入したチューブ２
を採取容器に挿入し、その先端を容器内底部に位置させ
たのち扉を閉じ、チューブ２から採取容器内に試料水を
供給する。試料水の供給は、試料水が採取容器の口部か
ら溢れ出ても続け、これにより採取容器を試料水で洗浄
する。容器から溢れ出た試料水は採水室の多孔の底板１
２から貯水部１３に流れ落ちて貯まる。貯水部には予め
試料水の一部を入れておいてもよい。
【００１２】こうして採取容器への試料水の供給を続け
て貯水部内に試料水が貯り、循環ポンプ４１の運転が可
能になったら循環ポンプ、送風ファン２１を運転する。
この運転は貯水部に設けた水位計で自動的に開始するこ
とができる。循環ポンプの運転により貯水部の試料水は
循環管４２で気液接触装置３０の上部の散水管３１に供
給され、気液接触装置の内部を下向流して貯水部に排水
され、循環する。送風ファン２１の運転により送風室２
２内の空気は前述したようにエアフィルタ６０、気液接
触装置３０、デミスター１５を吹抜けて採水室１０に入
り、循環路５０、送風室の背後の空間５２を経て送風室
に循環する。採水室に入る空気は、エアフィルタ６０を
通過する際に含んでいる０．５μｍ以上の微細な粒子を
エアフィルタに捕捉除去され、気液接触装置３１を通過
する際に装置を下向流する水と接触し、含んでいる不純
物は水に溶解するか、水側に移行して除去されるため、
清浄である。
て貯水部内に試料水が貯り、循環ポンプ４１の運転が可
能になったら循環ポンプ、送風ファン２１を運転する。
この運転は貯水部に設けた水位計で自動的に開始するこ
とができる。循環ポンプの運転により貯水部の試料水は
循環管４２で気液接触装置３０の上部の散水管３１に供
給され、気液接触装置の内部を下向流して貯水部に排水
され、循環する。送風ファン２１の運転により送風室２
２内の空気は前述したようにエアフィルタ６０、気液接
触装置３０、デミスター１５を吹抜けて採水室１０に入
り、循環路５０、送風室の背後の空間５２を経て送風室
に循環する。採水室に入る空気は、エアフィルタ６０を
通過する際に含んでいる０．５μｍ以上の微細な粒子を
エアフィルタに捕捉除去され、気液接触装置３１を通過
する際に装置を下向流する水と接触し、含んでいる不純
物は水に溶解するか、水側に移行して除去されるため、
清浄である。
【００１３】清浄な空気が供給される採水室内で採取容
器に試料水を供給し、２０〜６０分程度、容器から貯水
部にオーバーフローさせたら試料水の供給、及び循環ポ
ンプ４１、送風ファン２１の運転を停止する。この停止
はタイマーによって自動的に制御することができる。
器に試料水を供給し、２０〜６０分程度、容器から貯水
部にオーバーフローさせたら試料水の供給、及び循環ポ
ンプ４１、送風ファン２１の運転を停止する。この停止
はタイマーによって自動的に制御することができる。
【００１４】次いで採水室の扉を開き、試料水が満水に
なった採取容器にキャップをして採水室から外に取出
し、採取を終了する。そして、試料水が入った採取容器
を分析装置がある場所に移動し、分析に供する。
なった採取容器にキャップをして採水室から外に取出
し、採取を終了する。そして、試料水が入った採取容器
を分析装置がある場所に移動し、分析に供する。
【００１５】採取容器内の試料水は、エアフィルタと気
液接触装置とで清浄化された空気が採水室に吹込んでい
る間に採取容器に採取されているため不純物の混入は少
ない。従って、試料水が本来含んでいる極く低濃度の不
純物濃度を正確に分析、測定することができる。
液接触装置とで清浄化された空気が採水室に吹込んでい
る間に採取容器に採取されているため不純物の混入は少
ない。従って、試料水が本来含んでいる極く低濃度の不
純物濃度を正確に分析、測定することができる。
【００１６】図示の実施例では送風室２２、エアフィル
タ６０、気液接触装置３０、デミスター１５、採水室１
０の順に配置したが、その順序を変え、気液接触装置、
送風室、エアフィルタ、デミスター、採水室の順に配置
し、空気循環路５０で空気を気液接触装置に循環させる
ようにしてもよい。更に、エアフィルタは省略してもよ
い。
タ６０、気液接触装置３０、デミスター１５、採水室１
０の順に配置したが、その順序を変え、気液接触装置、
送風室、エアフィルタ、デミスター、採水室の順に配置
し、空気循環路５０で空気を気液接触装置に循環させる
ようにしてもよい。更に、エアフィルタは省略してもよ
い。
【００１７】採取容器に採水した試料水を陽イオン用イ
オンクロマトグラフ、及び陰イオン用イオンクロマトグ
ラフに供給して分析した結果は次の通りである。 空気中で蛇口から採取容器に採水した場合の、塩化物
のイオン濃度は１４０ｐｐｔ、ナトリウムのイオン濃度
は６３ｐｐｔ、 空気中で蛇口から清浄なチューブで試料水を採取した
場合の塩化物のイオン濃度は５３ｐｐｔ、ナトリウムの
イオン濃度は３８ｐｐｔであった。これに対し、図示の
実施例により採水した場合の、塩化物のイオン濃度は３
０ｐｐｔ、ナトリウムのイオン濃度は２２ｐｐｔであ
り、，の採取方法にくらべて各イオンとも低い値を
示し、採取中の空気からの汚染が大幅に抑制されている
ことを明らかに示した。
オンクロマトグラフ、及び陰イオン用イオンクロマトグ
ラフに供給して分析した結果は次の通りである。 空気中で蛇口から採取容器に採水した場合の、塩化物
のイオン濃度は１４０ｐｐｔ、ナトリウムのイオン濃度
は６３ｐｐｔ、 空気中で蛇口から清浄なチューブで試料水を採取した
場合の塩化物のイオン濃度は５３ｐｐｔ、ナトリウムの
イオン濃度は３８ｐｐｔであった。これに対し、図示の
実施例により採水した場合の、塩化物のイオン濃度は３
０ｐｐｔ、ナトリウムのイオン濃度は２２ｐｐｔであ
り、，の採取方法にくらべて各イオンとも低い値を
示し、採取中の空気からの汚染が大幅に抑制されている
ことを明らかに示した。
【００１８】
【発明の効果】本発明によって超純水などの試料水を、
空気からの汚染を防いで採取容器に採水できる。従っ
て、試料水が本来含んでいる極く低濃度の不純物濃度を
正確に求めることができ、電子工業、医薬等に安心して
使用できる基準が得られる。
空気からの汚染を防いで採取容器に採水できる。従っ
て、試料水が本来含んでいる極く低濃度の不純物濃度を
正確に求めることができ、電子工業、医薬等に安心して
使用できる基準が得られる。
【図１】本発明の採取装置の一実施例の断面図である。
【図２】図１の装置の斜視図である。
１ 採取容器 ２ 採取用チューブ １０ 採水室 １１ 扉 １２ 多孔の床板 １３ 貯水部 １４ チューブ用開口 １５ デミスター ２０ 送気装置 ２１ 送風ファン ２２ 送風室 ２３ 吸込口 ３０ 気液接触装置 ３１ 散水管 ４０ 水の循環装置 ４２ 循環管 ５０ 空気の循環路 ５１ 装置の後壁 ５２ 上下方向の空間 ６０ エアフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−5523（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−231984（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−130007（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−3229（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−59287（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−136550（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−2647（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−115168（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 1/00 - 1/44 G01N 33/18 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 採取容器が室内に出入可能であると共
に、外部から室内の採取容器に試料水を供給でき、且つ
採取容器から溢れる試料水を貯える貯水部を備えた採水
室と、採水室へ送気する送気装置と、採水室への送気路
中に設けられ、下面が前記採水室の貯水部に連通した気
液接触装置と、採水室の貯水部にある水を上記気液供給
装置に供給して循環させるポンプを含む循環装置と、採
水室に送気された空気を送気装置に循環させる空気循環
路とを備えていることを特徴とする試料水の採取装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の試料水の採取装置にお
いて、採水室への送気路中には気液接触装置のほかにエ
アフィルタを設けたことを特徴とする試料水の採取装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30419594A JP3284797B2 (ja) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | 試料水の採取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30419594A JP3284797B2 (ja) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | 試料水の採取装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145983A JPH08145983A (ja) | 1996-06-07 |
| JP3284797B2 true JP3284797B2 (ja) | 2002-05-20 |
Family
ID=17930169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30419594A Expired - Fee Related JP3284797B2 (ja) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | 試料水の採取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3284797B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003004600A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Santoku Kagaku Kogyo Kk | 微量分析用液体サンプリング装置および微量分析用液体試料のサンプリング方法、分析機器への導入方法 |
| JP4507659B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-07-21 | 栗田工業株式会社 | 超純水の評価方法 |
| JP5464009B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-04-09 | 栗田工業株式会社 | 採水器 |
| CN104596798A (zh) * | 2015-01-20 | 2015-05-06 | 同济大学 | 一种降雨径流采集器 |
| JP6467577B2 (ja) * | 2015-12-16 | 2019-02-13 | 特定非営利活動法人 日本環境監視協会 | 土壌間隙水の採取装置、土壌間隙水の硫化物測定装置及び土壌間隙水の溶存イオン測定装置 |
-
1994
- 1994-11-15 JP JP30419594A patent/JP3284797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08145983A (ja) | 1996-06-07 |
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Legal Events
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