JP3279383B2 - Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 - Google Patents
Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造Info
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- JP3279383B2 JP3279383B2 JP09783293A JP9783293A JP3279383B2 JP 3279383 B2 JP3279383 B2 JP 3279383B2 JP 09783293 A JP09783293 A JP 09783293A JP 9783293 A JP9783293 A JP 9783293A JP 3279383 B2 JP3279383 B2 JP 3279383B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの天井
に配置されるＨＥＰＡフィルタユニットの配置構造に関
する。
に配置されるＨＥＰＡフィルタユニットの配置構造に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、天井にＨＥＰＡフィルタ（High E
fficiency Particulate Airfilter ）を敷設したクリー
ンルームとしては、例えば、実開昭６３−９５０３６号
公報，特開平２−１０３３２８号公報等に開示されるも
のが知られている。
fficiency Particulate Airfilter ）を敷設したクリー
ンルームとしては、例えば、実開昭６３−９５０３６号
公報，特開平２−１０３３２８号公報等に開示されるも
のが知られている。
【０００３】そして、従来、全面層流型クリーンルーム
においては、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速は、
塵埃の遮断を目的とする場合には、０．４５ｍ／ｓが推
奨されている（例えば、ASHRAE 1982 APPLICATION HAND
BOOK）。
においては、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速は、
塵埃の遮断を目的とする場合には、０．４５ｍ／ｓが推
奨されている（例えば、ASHRAE 1982 APPLICATION HAND
BOOK）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速を、０．４
５ｍ／ｓにして運転する場合には、処理風量が増大し、
イニシャルコストおよびランニングコストが増大すると
いう問題があった。
うに、ＨＥＰＡフィルタからの吹き出し風速を、０．４
５ｍ／ｓにして運転する場合には、処理風量が増大し、
イニシャルコストおよびランニングコストが増大すると
いう問題があった。
【０００５】そこで、従来、イニシャルコストおよびラ
ンニングコストを抑制するため、ＨＥＰＡフィルタから
の吹き出し風速を、０．２５〜０．３５ｍ／ｓにして運
転することが行われているが、この風速では、必ずしも
充分な塵埃の遮断効果を得ることができないという問題
があった。
ンニングコストを抑制するため、ＨＥＰＡフィルタから
の吹き出し風速を、０．２５〜０．３５ｍ／ｓにして運
転することが行われているが、この風速では、必ずしも
充分な塵埃の遮断効果を得ることができないという問題
があった。
【０００６】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができるＨＥＰＡフィルタ
ユニットの配置構造を提供することを目的とする。
めになされたもので、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができるＨＥＰＡフィルタ
ユニットの配置構造を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１のＨＥＰＡフィ
ルタユニットの配置構造は、濾材を波状に折曲して形成
されるＨＥＰＡフィルタを正方形形状に形成し、前記濾
材の両側の波形状を内側の濾材の波形状より大きくして
濾材の両側に大波部を形成してなる同一の大きさの複数
のＨＥＰＡフィルタユニットを、前記大波部が相互に隣
接しないように隣接配置してなるものである。
ルタユニットの配置構造は、濾材を波状に折曲して形成
されるＨＥＰＡフィルタを正方形形状に形成し、前記濾
材の両側の波形状を内側の濾材の波形状より大きくして
濾材の両側に大波部を形成してなる同一の大きさの複数
のＨＥＰＡフィルタユニットを、前記大波部が相互に隣
接しないように隣接配置してなるものである。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【作用】請求項１のＨＥＰＡフィルタユニットの配置構
造では、濾材を波状に折曲して形成されるＨＥＰＡフィ
ルタを正方形形状に形成し、濾材の両側の波形状を内側
の濾材の波形状より大きくして濾材の両側に大波部を形
成してなる同一の大きさの複数のＨＥＰＡフィルタユニ
ットを、大波部が相互に隣接しないように隣接配置した
ので、各ＨＥＰＡフィルタユニットの外周に沿って高流
速域が形成される。
造では、濾材を波状に折曲して形成されるＨＥＰＡフィ
ルタを正方形形状に形成し、濾材の両側の波形状を内側
の濾材の波形状より大きくして濾材の両側に大波部を形
成してなる同一の大きさの複数のＨＥＰＡフィルタユニ
ットを、大波部が相互に隣接しないように隣接配置した
ので、各ＨＥＰＡフィルタユニットの外周に沿って高流
速域が形成される。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、本発明のＨＥＰＡフィルタユ
ニットの配置構造の一実施例に使用されるＨＥＰＡフィ
ルタユニットを示しており、図において符号１１は、ユ
ニット本体を示している。
する。図１および図２は、本発明のＨＥＰＡフィルタユ
ニットの配置構造の一実施例に使用されるＨＥＰＡフィ
ルタユニットを示しており、図において符号１１は、ユ
ニット本体を示している。
【００１４】このユニット本体１１内には、濾材１３を
波状に折曲してなるＨＥＰＡフィルタ１５が収容されて
いる。この実施例では、濾材１３の両側の波形状が、内
側の濾材１３の波形状より大きくされている。
波状に折曲してなるＨＥＰＡフィルタ１５が収容されて
いる。この実施例では、濾材１３の両側の波形状が、内
側の濾材１３の波形状より大きくされている。
【００１５】すなわち、濾材１３の両側に大波部１７が
形成され、これ等の間に小波部１９が形成されている。
従って、ＨＥＰＡフィルタ１５の両側が高流速域Ａとさ
れ、この高流速域Ａの間が低速流域Ｂとされる。
形成され、これ等の間に小波部１９が形成されている。
従って、ＨＥＰＡフィルタ１５の両側が高流速域Ａとさ
れ、この高流速域Ａの間が低速流域Ｂとされる。
【００１６】すなわち、図３の（ａ），（ｂ）に示すよ
うに、小波部１９と大波部１７とを比較すると、濾材１
３自体の通風抵抗が同一で、かつ、濾材１３の内側と外
側との圧力差が同一の場合には、単位長さにおける大波
部１７の濾材１３の表面積が、小波部１９の濾材１３の
表面積より大きくなるため、大波部１７を通過する風量
が、小波部１９を通過する風量より大きくなり、この結
果、大波部１７の下方に風の流れが速い高流速域Ａが形
成され、小波部１９の下方に風の流れが比較的遅い低速
流域Ｂが形成される。
うに、小波部１９と大波部１７とを比較すると、濾材１
３自体の通風抵抗が同一で、かつ、濾材１３の内側と外
側との圧力差が同一の場合には、単位長さにおける大波
部１７の濾材１３の表面積が、小波部１９の濾材１３の
表面積より大きくなるため、大波部１７を通過する風量
が、小波部１９を通過する風量より大きくなり、この結
果、大波部１７の下方に風の流れが速い高流速域Ａが形
成され、小波部１９の下方に風の流れが比較的遅い低速
流域Ｂが形成される。
【００１７】この実施例では、高流速域Ａの風速が、例
えば、０．４５ｍ／ｓとされ、低速流域Ｂの風速が、例
えば、０．１５ｍ／ｓとされ、さらに、高流速域Ａと低
速流域Ｂとを合わせた平均風速が、０．３ｍ／ｓ以下に
なるように大波部１７および小波部１９の波形状が設定
されている。
えば、０．４５ｍ／ｓとされ、低速流域Ｂの風速が、例
えば、０．１５ｍ／ｓとされ、さらに、高流速域Ａと低
速流域Ｂとを合わせた平均風速が、０．３ｍ／ｓ以下に
なるように大波部１７および小波部１９の波形状が設定
されている。
【００１８】図４および図５は、上述したＨＥＰＡフィ
ルタユニットを複数使用したクリーンルームを示すもの
で、このクリーンルームでは、天井２１の下方に、天井
２１から所定間隔を置いて、多数のＨＥＰＡフィルタユ
ニット２３が配置されており、室外に設けた送風機２５
により、天井２１とＨＥＰＡフィルタユニット２３との
間の空間に循環空気が供給され、供給された循環空気
は、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を通過することによ
り清浄度が高められ、クリーンルーム内へ吹き出されて
いる。
ルタユニットを複数使用したクリーンルームを示すもの
で、このクリーンルームでは、天井２１の下方に、天井
２１から所定間隔を置いて、多数のＨＥＰＡフィルタユ
ニット２３が配置されており、室外に設けた送風機２５
により、天井２１とＨＥＰＡフィルタユニット２３との
間の空間に循環空気が供給され、供給された循環空気
は、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を通過することによ
り清浄度が高められ、クリーンルーム内へ吹き出されて
いる。
【００１９】そして、このクリーンルームでは、ＨＥＰ
Ａフィルタユニット２３が、その両側の大波部１７が相
互に隣接しないように隣接配置されている。すなわち、
この実施例では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３が正
方形形状をしており、隣接するＨＥＰＡフィルタユニッ
ト２３において、大波部１７の波方向が相互に垂直な方
向になるように配置されている。
Ａフィルタユニット２３が、その両側の大波部１７が相
互に隣接しないように隣接配置されている。すなわち、
この実施例では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３が正
方形形状をしており、隣接するＨＥＰＡフィルタユニッ
ト２３において、大波部１７の波方向が相互に垂直な方
向になるように配置されている。
【００２０】しかして、以上のように構成されたＨＥＰ
Ａフィルタユニットでは、濾材１３の両側の波形状を、
内側の濾材１３の波形状より大きくしたので、濾材１３
の両側の大波部１７の通過風量が大きくなり、ＨＥＰＡ
フィルタ１５の両側に高流速域Ａが形成され、この高流
速域Ａにより塵埃の拡散が遮断され、一方、低速流域Ｂ
における風量が比較的少ないため、処理風量を増大する
ことなく充分な塵埃の遮断効果を得ることができる。
Ａフィルタユニットでは、濾材１３の両側の波形状を、
内側の濾材１３の波形状より大きくしたので、濾材１３
の両側の大波部１７の通過風量が大きくなり、ＨＥＰＡ
フィルタ１５の両側に高流速域Ａが形成され、この高流
速域Ａにより塵埃の拡散が遮断され、一方、低速流域Ｂ
における風量が比較的少ないため、処理風量を増大する
ことなく充分な塵埃の遮断効果を得ることができる。
【００２１】また、上述したＨＥＰＡフィルタユニット
の配置構造では、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を、大
波部１７が相互に隣接しないように複数隣接配置したの
で、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外周に沿って高
流速域Ａが形成され、この高流速域Ａにより、隣接する
ＨＥＰＡフィルタユニット２３側への塵埃の拡散が遮断
され、一方、低速流域Ｂにおける風量が比較的少ないた
め、処理風量を増大することなく充分な塵埃の遮断効果
を得ることができる。
の配置構造では、ＨＥＰＡフィルタユニット２３を、大
波部１７が相互に隣接しないように複数隣接配置したの
で、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外周に沿って高
流速域Ａが形成され、この高流速域Ａにより、隣接する
ＨＥＰＡフィルタユニット２３側への塵埃の拡散が遮断
され、一方、低速流域Ｂにおける風量が比較的少ないた
め、処理風量を増大することなく充分な塵埃の遮断効果
を得ることができる。
【００２２】すなわち、例えば、図６に示すように、所
謂スペーストンネル方式により、風速が０．４５ｍ／ｓ
の高流速のＨＥＰＡフィルタユニット２７と、風速が
０．１５ｍ／ｓの低流速のＨＥＰＡフィルタユニット２
９を、交互に配置する場合には、矢符で示す図の斜め方
向の塵埃の遮断を行うことが困難になるが、この実施例
の配置方法では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外
周に沿って確実に高流速域Ａが形成されるため、充分な
塵埃の遮断効果を得ることが可能になる。
謂スペーストンネル方式により、風速が０．４５ｍ／ｓ
の高流速のＨＥＰＡフィルタユニット２７と、風速が
０．１５ｍ／ｓの低流速のＨＥＰＡフィルタユニット２
９を、交互に配置する場合には、矢符で示す図の斜め方
向の塵埃の遮断を行うことが困難になるが、この実施例
の配置方法では、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３の外
周に沿って確実に高流速域Ａが形成されるため、充分な
塵埃の遮断効果を得ることが可能になる。
【００２３】図７は、本発明のＨＥＰＡフィルタユニッ
トの配置構造の関連技術を示すもので、この例では、Ｈ
ＥＰＡフィルタユニット２３が、同一の波形状が形成さ
れる通常のＨＥＰＡフィルタ３１を囲んで複数配置され
ている。
トの配置構造の関連技術を示すもので、この例では、Ｈ
ＥＰＡフィルタユニット２３が、同一の波形状が形成さ
れる通常のＨＥＰＡフィルタ３１を囲んで複数配置され
ている。
【００２４】そして、各ＨＥＰＡフィルタユニット２３
の小波部１９および大波部１７の波方向が、通常のＨＥ
ＰＡフィルタ３１に対して垂直な方向になるように配置
されている。
の小波部１９および大波部１７の波方向が、通常のＨＥ
ＰＡフィルタ３１に対して垂直な方向になるように配置
されている。
【００２５】この配置方法では、通常のＨＥＰＡフィル
タ３１の外側に高流速域Ａが形成され、この高流速域Ａ
により塵埃の拡散が遮断されるため、ＨＥＰＡフィルタ
ユニット２３の下方に装置等を配置する場合には、通常
のＨＥＰＡフィルタ３１における風量を比較的少なくす
ることができるため、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができる。
タ３１の外側に高流速域Ａが形成され、この高流速域Ａ
により塵埃の拡散が遮断されるため、ＨＥＰＡフィルタ
ユニット２３の下方に装置等を配置する場合には、通常
のＨＥＰＡフィルタ３１における風量を比較的少なくす
ることができるため、処理風量を増大することなく充分
な塵埃の遮断効果を得ることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１のＨＥＰＡ
フィルタユニットの配置構造では、濾材を波状に折曲し
て形成されるＨＥＰＡフィルタを正方形形状に形成し、
濾材の両側の波形状を内側の濾材の波形状より大きくし
て濾材の両側に大波部を形成してなる同一の大きさの複
数のＨＥＰＡフィルタユニットを、大波部が相互に隣接
しないように隣接配置したので、各ＨＥＰＡフィルタユ
ニットの外周に沿って高流速域が形成され、この高流速
域により塵埃の拡散が遮断されるため、処理風量を増大
することなく充分な塵埃の遮断効果を得ることができ
る。
フィルタユニットの配置構造では、濾材を波状に折曲し
て形成されるＨＥＰＡフィルタを正方形形状に形成し、
濾材の両側の波形状を内側の濾材の波形状より大きくし
て濾材の両側に大波部を形成してなる同一の大きさの複
数のＨＥＰＡフィルタユニットを、大波部が相互に隣接
しないように隣接配置したので、各ＨＥＰＡフィルタユ
ニットの外周に沿って高流速域が形成され、この高流速
域により塵埃の拡散が遮断されるため、処理風量を増大
することなく充分な塵埃の遮断効果を得ることができ
る。
【００２７】
【００２８】
【図１】本発明のＨＥＰＡフィルタユニットの配置構造
の一実施例に使用されるＨＥＰＡフィルタユニットを示
す断面図である。
の一実施例に使用されるＨＥＰＡフィルタユニットを示
す断面図である。
【図２】図１の上面図である。
【図３】図１のＨＥＰＡフィルタユニットの大波部と小
波部とを通過する風量を示す説明図である。
波部とを通過する風量を示す説明図である。
【図４】図１のＨＥＰＡフィルタユニットを使用したク
リーンルームを示す断面図である。
リーンルームを示す断面図である。
【図５】図４のクリーンルームのＨＥＰＡフィルタユニ
ットを示す上面図である。
ットを示す上面図である。
【図６】流速の異なる通常のＨＥＰＡフィルタユニット
を交互に配置した状態を示す説明図である。
を交互に配置した状態を示す説明図である。
【図７】本発明のＨＥＰＡフィルタユニットの配置構造
の関連技術を示す上面図である。
の関連技術を示す上面図である。
１３ 濾材 １５ ＨＥＰＡフィルタ １７ 大波部 １９ 小波部 ２３ ＨＥＰＡフィルタユニット Ａ 高流速域 Ｂ 低速流域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 46/52 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】 濾材を波状に折曲して形成されるＨＥＰ
Ａフィルタを正方形形状に形成し、前記濾材の両側の波
形状を内側の濾材の波形状より大きくして濾材の両側に
大波部を形成してなる同一の大きさの複数のＨＥＰＡフ
ィルタユニットを、前記大波部が相互に隣接しないよう
に隣接配置してなることを特徴とするＨＥＰＡフィルタ
ユニットの配置構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09783293A JP3279383B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09783293A JP3279383B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06304429A JPH06304429A (ja) | 1994-11-01 |
| JP3279383B2 true JP3279383B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=14202697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09783293A Expired - Fee Related JP3279383B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Ｈｅｐａフィルタユニットの配置構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3279383B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
| JP2003148777A (ja) * | 2002-11-11 | 2003-05-21 | Dai-Dan Co Ltd | 局所空気清浄装置 |
| JP5443230B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2014-03-19 | ニッタ株式会社 | ファンフィルタユニット |
| JP2017219219A (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP09783293A patent/JP3279383B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06304429A (ja) | 1994-11-01 |
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