JP3275116B2 - 力・モーメントセンサー - Google Patents
力・モーメントセンサーInfo
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- JP3275116B2 JP3275116B2 JP14077193A JP14077193A JP3275116B2 JP 3275116 B2 JP3275116 B2 JP 3275116B2 JP 14077193 A JP14077193 A JP 14077193A JP 14077193 A JP14077193 A JP 14077193A JP 3275116 B2 JP3275116 B2 JP 3275116B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、力・モーメントセン
サーに関するものである。
サーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種のセンサーとしては、既に半導体
の単結晶基板を利用して力乃至モーメントを検出するも
のが知られており、例えば図10〜図13に示すような
構成としてある。このセンサーは、図11に示すよう
に、機械的変形により電気抵抗が変化する4個の歪みゲ
ージR(R1,R2,R3,R4とする)を直線上に備
えた単結晶基板90と、中心部と周辺部のいずれか一方
を入力部とすると共に他方を作用部とした起歪体9とか
ら構成されており、図13に示すように、前記歪みゲー
ジRの配列線が起歪体9の中心線L1と一致する態様
で、単結晶基板90が起歪体9の表面に接着固定してあ
る。
の単結晶基板を利用して力乃至モーメントを検出するも
のが知られており、例えば図10〜図13に示すような
構成としてある。このセンサーは、図11に示すよう
に、機械的変形により電気抵抗が変化する4個の歪みゲ
ージR(R1,R2,R3,R4とする)を直線上に備
えた単結晶基板90と、中心部と周辺部のいずれか一方
を入力部とすると共に他方を作用部とした起歪体9とか
ら構成されており、図13に示すように、前記歪みゲー
ジRの配列線が起歪体9の中心線L1と一致する態様
で、単結晶基板90が起歪体9の表面に接着固定してあ
る。
【0003】このものでは、上記起歪体9の作用部に外
力F(機械的外力)が加わると、図12に示すように、
単結晶基板90が変形すると共に、これに配設された各
歪みゲージRが変形してこれの電気抵抗は変化(引張方
向の歪みが歪みゲージRに加われば抵抗値は増加し、圧
縮方向の歪みが歪みゲージRに加われば抵抗値は減少す
る)することとなる。
力F(機械的外力)が加わると、図12に示すように、
単結晶基板90が変形すると共に、これに配設された各
歪みゲージRが変形してこれの電気抵抗は変化(引張方
向の歪みが歪みゲージRに加われば抵抗値は増加し、圧
縮方向の歪みが歪みゲージRに加われば抵抗値は減少す
る)することとなる。
【0004】したがって、4個の歪みゲージRをそれぞ
れ図14に示す如く電気的ブリッジ回路92を接続する
と、前記抵抗変化を電圧変化として検出することがで
き、歪みゲージRの配列線と直行する軸回りのモーメン
トMxを出力電圧として検出できる。ところが、上記セ
ンサーでは、各歪みゲージRを単結晶基板90の適正
位置に取付けること及び、単結晶基板90を起歪体9の
適正位置に取り付けることに熟練を要し、起歪体9に
おけるダイヤフラム部91の製作(機械加工)には極め
て高い精度が要求されるという問題があった。即ち、上
記力・モーメントセンサーは最重要部分である検出部の
製作が困難であり、このため高コストとなると共に量産
性に欠けるという問題を有するものとなっていた。
れ図14に示す如く電気的ブリッジ回路92を接続する
と、前記抵抗変化を電圧変化として検出することがで
き、歪みゲージRの配列線と直行する軸回りのモーメン
トMxを出力電圧として検出できる。ところが、上記セ
ンサーでは、各歪みゲージRを単結晶基板90の適正
位置に取付けること及び、単結晶基板90を起歪体9の
適正位置に取り付けることに熟練を要し、起歪体9に
おけるダイヤフラム部91の製作(機械加工)には極め
て高い精度が要求されるという問題があった。即ち、上
記力・モーメントセンサーは最重要部分である検出部の
製作が困難であり、このため高コストとなると共に量産
性に欠けるという問題を有するものとなっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、低コストで製造でき、且つ量産性に優れた力・モー
メントセンサーを提供することを課題とする。
は、低コストで製造でき、且つ量産性に優れた力・モー
メントセンサーを提供することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明の力・モーメン
トセンサーは、基板1と、前記基板1に対向配設した基
板2と、前記基板1,2相互間に設けられたシート状の
センサー主体3と、基板1,2のうち少なくとも一方の
基板と前記センサー主体3との間に設けられた弾性板4
とを積層して構成したものであり、前記基板1,2のう
ち少なくとも一方に入力部5を設けると共に、前記セン
サー主体3を、一対の可撓性を有するシート状フィルム
30,30と、前記シート状フィルム30,30の対向
面側にそれぞれ90°角度間隔でスクリーン印刷された
電極Cx+,Cx−,Cy+,Cy−と、対向するシー
ト状フィルム30,30の各電極に塗布された感圧性を
有する抵抗インク31’とから構成されており、対向す
るシート状フィルム30,30の各電極に塗布された抵
抗インク31’,31’の外側面相互が対向する配置に
なっている。
トセンサーは、基板1と、前記基板1に対向配設した基
板2と、前記基板1,2相互間に設けられたシート状の
センサー主体3と、基板1,2のうち少なくとも一方の
基板と前記センサー主体3との間に設けられた弾性板4
とを積層して構成したものであり、前記基板1,2のう
ち少なくとも一方に入力部5を設けると共に、前記セン
サー主体3を、一対の可撓性を有するシート状フィルム
30,30と、前記シート状フィルム30,30の対向
面側にそれぞれ90°角度間隔でスクリーン印刷された
電極Cx+,Cx−,Cy+,Cy−と、対向するシー
ト状フィルム30,30の各電極に塗布された感圧性を
有する抵抗インク31’とから構成されており、対向す
るシート状フィルム30,30の各電極に塗布された抵
抗インク31’,31’の外側面相互が対向する配置に
なっている。
【0007】尚、この発明のセンサーにおいて、シート
状フィルムは、PETフィルム又はポリエステルフィル
ムであることが好ましい。
状フィルムは、PETフィルム又はポリエステルフィル
ムであることが好ましい。
【0008】
【作用】この発明は次のように作用をする。この力・モ
ーメントセンサーの最重要部であるセンサー主体(検出
部)は、各シート状フィルム30にスクリーン印刷によ
って電極を形成させ、この電極相互間に感圧抵抗体31
を介在させるだけで製作できる。即ち、従来の技術の欄
に記載したセンサーの如き熟練や時間を要する作業が全
く不要となる。
ーメントセンサーの最重要部であるセンサー主体(検出
部)は、各シート状フィルム30にスクリーン印刷によ
って電極を形成させ、この電極相互間に感圧抵抗体31
を介在させるだけで製作できる。即ち、従来の技術の欄
に記載したセンサーの如き熟練や時間を要する作業が全
く不要となる。
【0009】したがって、この力・モーメントセンサー
は、低コストで製造でき且つ量産性に優れたものとな
る。
は、低コストで製造でき且つ量産性に優れたものとな
る。
【0010】
【実施例】以下、この発明の構成を実施例として示した
図面に従って説明する。この実施例の力・モーメントセ
ンサーは、図1や図2に示すように、入力軸5を有する
基板1と、前記基板1に対向配設した基板2と、前記基
板1,2相互間に設けられたシート状のセンサー主体3
と、前記センサー主体3と基板1との間に設けられた弾
性板4とを有するもので、これらを積層した状態で基板
1,2相互を小ネジNで結合するようにして構成されて
いる。
図面に従って説明する。この実施例の力・モーメントセ
ンサーは、図1や図2に示すように、入力軸5を有する
基板1と、前記基板1に対向配設した基板2と、前記基
板1,2相互間に設けられたシート状のセンサー主体3
と、前記センサー主体3と基板1との間に設けられた弾
性板4とを有するもので、これらを積層した状態で基板
1,2相互を小ネジNで結合するようにして構成されて
いる。
【0011】基板1は円形樹脂板により構成されてお
り、図3に示すように、その下面における外周部近傍及
び中心部近傍には断面R状の凸部6を具備させてある。
基板2は上記基板1と同径の円形樹脂板により構成され
ており、同図に示すように、その中央部に小ネジNが貫
通する貫通孔20を穿設すると共にその下面中央部に小
ネジNの頭部を没入させる円形凹部21を設けてある。
り、図3に示すように、その下面における外周部近傍及
び中心部近傍には断面R状の凸部6を具備させてある。
基板2は上記基板1と同径の円形樹脂板により構成され
ており、同図に示すように、その中央部に小ネジNが貫
通する貫通孔20を穿設すると共にその下面中央部に小
ネジNの頭部を没入させる円形凹部21を設けてある。
【0012】弾性板4はシリコンゴムにより構成されて
おり、図2や図3に示すように、基板1,2と同径の円
形板状に形成されていると共にその中央部に小ネジNが
貫通する孔40を穿設してある。センサー主体3は、図
3〜図5に示すように、可撓性を有する一対のシート状
フィルム30,30と、前記シート状フィルム30,3
0の対向面側にそれぞれ90°角度間隔で形成された電
極Cx+,Cx−,Cy+,Cy−と、前記電極Cx
+,Cx−,Cy+,Cy−の中央部に形成された電極
Cz と、対向するシート状フィルム30,30の各電極
に塗布された抵抗インク31’(手段の欄の感圧抵抗体
31と対応)とを有している。上記シート状フィルム3
0は、図2や図3に示すように、中央部にビス貫通孔3
0cを有した基板1,2と同径の電極配設部30aとこ
れから突出する端子配設部30bとから成るもので、そ
の厚みが30〜100 μm程度に設定されたPETフィルム
により構成されている。
おり、図2や図3に示すように、基板1,2と同径の円
形板状に形成されていると共にその中央部に小ネジNが
貫通する孔40を穿設してある。センサー主体3は、図
3〜図5に示すように、可撓性を有する一対のシート状
フィルム30,30と、前記シート状フィルム30,3
0の対向面側にそれぞれ90°角度間隔で形成された電
極Cx+,Cx−,Cy+,Cy−と、前記電極Cx
+,Cx−,Cy+,Cy−の中央部に形成された電極
Cz と、対向するシート状フィルム30,30の各電極
に塗布された抵抗インク31’(手段の欄の感圧抵抗体
31と対応)とを有している。上記シート状フィルム3
0は、図2や図3に示すように、中央部にビス貫通孔3
0cを有した基板1,2と同径の電極配設部30aとこ
れから突出する端子配設部30bとから成るもので、そ
の厚みが30〜100 μm程度に設定されたPETフィルム
により構成されている。
【0013】電極Cx+,Cx−,Cy+,Cy−,C
z は、導電性インク(所謂銅インク)をスクリーン印刷
して形成するものとしてある。抵抗インク31’は、二
酸化チタン充填剤,ビニル樹脂結合剤及びブチルセロソ
ルブアセテート溶剤を含有する絶縁インクに、グラファ
イト,ビニル樹脂及びブチルセロソルブアセテートを含
有する導電インクを混入したものである。尚、インクの
抵抗は、塗料の構成成分である絶縁成分と導電成分の相
対的な割合を変えることに容易に変化させることができ
る。
z は、導電性インク(所謂銅インク)をスクリーン印刷
して形成するものとしてある。抵抗インク31’は、二
酸化チタン充填剤,ビニル樹脂結合剤及びブチルセロソ
ルブアセテート溶剤を含有する絶縁インクに、グラファ
イト,ビニル樹脂及びブチルセロソルブアセテートを含
有する導電インクを混入したものである。尚、インクの
抵抗は、塗料の構成成分である絶縁成分と導電成分の相
対的な割合を変えることに容易に変化させることができ
る。
【0014】又、この実施例のセンサー主体3では、図
3に示す如く組立状態において電極配設部30a,30
aにおける外周部近傍及びビス貫通孔30c近傍部分等
を接着剤33で密封してあり、これにより、センサーと
しての機能を低下させる塵等が電極相互間に侵入しない
ようにしてある。この力・モーメントセンサーは上記の
ように構成されているから、操作軸5に力が加わると、
凸部6→弾性板4→センサー主体3の経路で前記力が伝
達される。そして、例えば、図6〜図8に示す如き回路
を使用すると、X軸回りのモーメントMx ,Y軸回りの
モーメントMy ,Z方向の力Fz を電圧VMx,VMy,V
Fzとして検出でき、これら電圧VMx,VMy,VFzの値の
「正」「負」から操作軸5に作用する外力の方向を、電
圧VMx,VMy,VFzの絶対値により操作軸5に作用する
外力の大きさを、それぞれ知ることができる。ここで、
図6〜図8に示した回路において、Rは固定抵抗であ
り、Rx +は抵抗インクを介した電極Cx +と電極C相
互間の抵抗、Rx −は抵抗インクを介した電極Cx −と
電極C相互間の抵抗、Ry +は抵抗インクを介した電極
Cy +と電極C相互間の抵抗、Ry −は抵抗インクを介
した電極Cy −と電極C相互間の抵抗、Rz は抵抗イン
クを介した電極Cz と電極C相互間の抵抗である。
3に示す如く組立状態において電極配設部30a,30
aにおける外周部近傍及びビス貫通孔30c近傍部分等
を接着剤33で密封してあり、これにより、センサーと
しての機能を低下させる塵等が電極相互間に侵入しない
ようにしてある。この力・モーメントセンサーは上記の
ように構成されているから、操作軸5に力が加わると、
凸部6→弾性板4→センサー主体3の経路で前記力が伝
達される。そして、例えば、図6〜図8に示す如き回路
を使用すると、X軸回りのモーメントMx ,Y軸回りの
モーメントMy ,Z方向の力Fz を電圧VMx,VMy,V
Fzとして検出でき、これら電圧VMx,VMy,VFzの値の
「正」「負」から操作軸5に作用する外力の方向を、電
圧VMx,VMy,VFzの絶対値により操作軸5に作用する
外力の大きさを、それぞれ知ることができる。ここで、
図6〜図8に示した回路において、Rは固定抵抗であ
り、Rx +は抵抗インクを介した電極Cx +と電極C相
互間の抵抗、Rx −は抵抗インクを介した電極Cx −と
電極C相互間の抵抗、Ry +は抵抗インクを介した電極
Cy +と電極C相互間の抵抗、Ry −は抵抗インクを介
した電極Cy −と電極C相互間の抵抗、Rz は抵抗イン
クを介した電極Cz と電極C相互間の抵抗である。
【0015】尚、上記実施例では、弾性板4を、センサ
ー主体3と基板1との間にのみ設けるようにしたが、こ
れに限定されることなく、センサー主体3と基板2との
間にのみ設けるようにしてもよく、更には、センサー主
体3の上下側に設けるようにしてもよい。また、上記実
施例の弾性板4にかえて、図9に示すように、中央部の
みを厚肉に形成し、これの厚肉部下面を基板2の上面と
当接させる態様で設けるようにすれば、弾性板4の弾性
復帰機能により、操作軸5の原点復帰が良好なものとな
る。
ー主体3と基板1との間にのみ設けるようにしたが、こ
れに限定されることなく、センサー主体3と基板2との
間にのみ設けるようにしてもよく、更には、センサー主
体3の上下側に設けるようにしてもよい。また、上記実
施例の弾性板4にかえて、図9に示すように、中央部の
みを厚肉に形成し、これの厚肉部下面を基板2の上面と
当接させる態様で設けるようにすれば、弾性板4の弾性
復帰機能により、操作軸5の原点復帰が良好なものとな
る。
【0016】更に、上記実施例ではシート状フィルム3
0をPETフィルムとしたが、これに限定されることな
く、ポリエステルフィルム等も採用できる。他方、上記
実施例では、操作軸5に作用するZ方向の力を電圧とし
て検出するために電極Cz を設けるようにしたが、前記
力を電圧として検出する必要がない場合には電極Cz を
設ける必要はない。
0をPETフィルムとしたが、これに限定されることな
く、ポリエステルフィルム等も採用できる。他方、上記
実施例では、操作軸5に作用するZ方向の力を電圧とし
て検出するために電極Cz を設けるようにしたが、前記
力を電圧として検出する必要がない場合には電極Cz を
設ける必要はない。
【0017】
【発明の効果】この発明は上記のような構成であるか
ら、次の効果を有する。作用の欄の記載から、低コスト
に製造でき且つ量産性に優れた力・モーメントセンサー
を提供することができた。
ら、次の効果を有する。作用の欄の記載から、低コスト
に製造でき且つ量産性に優れた力・モーメントセンサー
を提供することができた。
【図1】この発明の実施例の力・モーメントセンサーの
外観斜視図。
外観斜視図。
【図2】前記力・モーメントセンサーの分解斜視図。
【図3】前記力・モーメントセンサーの断面図。
【図4】前記力・モーメントセンサーの基板に形成され
ている電極を示す図。
ている電極を示す図。
【図5】前記センサー主体等の断面拡大図。
【図6】前記力・モーメントセンサーの操作軸に作用し
たX軸方向のモーメントをこれに相当する電圧に変換す
るための回路図。
たX軸方向のモーメントをこれに相当する電圧に変換す
るための回路図。
【図7】前記力・モーメントセンサーの操作軸に作用し
たY軸方向のモーメントをこれに相当する電圧に変換す
るための回路図。
たY軸方向のモーメントをこれに相当する電圧に変換す
るための回路図。
【図8】前記力・モーメントセンサーの操作軸に作用し
たZ軸方向の力をこれに相当する電圧に変換するための
回路図。
たZ軸方向の力をこれに相当する電圧に変換するための
回路図。
【図9】他の力・モーメントセンサーの断面図。
【図10】従来の力・モーメントセンサーの外観斜視
図。
図。
【図11】従来の力・モーメントセンサーの断面図。
【図12】従来の力・モーメントセンサーに外力(機械
的外力)を加えたときに、起歪体が変形した状態を示す
図。
的外力)を加えたときに、起歪体が変形した状態を示す
図。
【図13】従来の力・モーメントセンサーの歪みゲージ
と中心線との関係を示した図。
と中心線との関係を示した図。
【図14】従来の力・モーメントセンサーに組込む電気
的ブリッジ回路。
的ブリッジ回路。
1 基板 2 基板 3 センサー主体 4 弾性板 5 入力部 6 凸部 30 シート状フィルム 31 感圧抵抗体 Cx+ 電極部 Cx− 電極部 Cy+ 電極部 Cy− 電極部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 5/16 G06F 3/033
Claims (2)
- 【請求項1】 基板(1)と、前記基板(1)に対向配
設した基板(2)と、前記基板(1)(2)相互間に設
けられたシート状のセンサー主体(3)と、基板(1)
(2)のうち少なくとも一方の基板と前記センサー主体
(3)との間に設けられた弾性板(4)とを積層して構
成したものであり、前記基板(1)(2)のうち少なく
とも一方に入力部(5)を設けると共に、前記センサー
主体(3)を、一対の可撓性を有するシート状フィルム
(30)(30)と、前記シート状フィルム(30)
(30)の対向面側にそれぞれ90°角度間隔でスクリ
ーン印刷された電極(Cx+)(Cx−)(Cy+)
(Cy−)と、対向するシート状フィルム(30)(3
0)の各電極に塗布された感圧性を有する抵抗インク
(31’)とから構成されており、対向するシート状フ
ィルム(30)(30)の各電極に塗布された抵抗イン
ク(31’)(31’)の外側面相互が対向する配置に
なっていることを特徴とする力・モーメントセンサー。 - 【請求項2】 シート状フィルムは、PETフィルム又
はポリエステルフィルムであることを特徴とする請求項
1記載の力・モーメントセンサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14077193A JP3275116B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | 力・モーメントセンサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14077193A JP3275116B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | 力・モーメントセンサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06347350A JPH06347350A (ja) | 1994-12-22 |
JP3275116B2 true JP3275116B2 (ja) | 2002-04-15 |
Family
ID=15276372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14077193A Expired - Fee Related JP3275116B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | 力・モーメントセンサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3275116B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3983638B2 (ja) | 2002-09-24 | 2007-09-26 | ニッタ株式会社 | センサシート |
US7819017B2 (en) * | 2004-07-07 | 2010-10-26 | Robert Bosch Gmbh | Dynamometer element |
WO2023281706A1 (ja) * | 2021-07-08 | 2023-01-12 | 日本電信電話株式会社 | 入力システム、入力方法およびプログラム |
WO2023281705A1 (ja) * | 2021-07-08 | 2023-01-12 | 日本電信電話株式会社 | 入力装置、入力システムおよび入力方法 |
JPWO2023058115A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | ||
WO2023058114A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | 日本電信電話株式会社 | 入力装置、入力システムおよび入力方法 |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP14077193A patent/JP3275116B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06347350A (ja) | 1994-12-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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