JP3297887B2 - 静電容量式センサー - Google Patents
静電容量式センサーInfo
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- JP3297887B2 JP3297887B2 JP15036593A JP15036593A JP3297887B2 JP 3297887 B2 JP3297887 B2 JP 3297887B2 JP 15036593 A JP15036593 A JP 15036593A JP 15036593 A JP15036593 A JP 15036593A JP 3297887 B2 JP3297887 B2 JP 3297887B2
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- electrode
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はセンサー、特に、静電
容量式センサーに関するものである。
容量式センサーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】静電容量式センサーとしては、例えば、
図９に示すようなものがある。このセンサーは、同図に
示すように、中央部にダイヤフラム部９０を有し且つ前
記ダイヤフラム部９０の中央に操作軸９１を有した起歪
体９ａと、前記起歪体９ａに略気密状態に取付けられた
蓋体９ｂとを具備し、前記起歪体９ａと蓋体９ｂ相互間
に空室Ｋを形成させると共にその空室Ｋ内において、起
歪体９ａ側に電極板１が、蓋体９ｂ側に絶縁板９４を介
して電極板２がそれぞれ取付けられた構成としてある。
そして、前記蓋体９ｂの外壁に取付け台９３を介して電
子装置９２を取付け、更に、これら取付け台９３及び電
子装置９２を包囲するようにしてキャップ９ｃを取付け
てある。
図９に示すようなものがある。このセンサーは、同図に
示すように、中央部にダイヤフラム部９０を有し且つ前
記ダイヤフラム部９０の中央に操作軸９１を有した起歪
体９ａと、前記起歪体９ａに略気密状態に取付けられた
蓋体９ｂとを具備し、前記起歪体９ａと蓋体９ｂ相互間
に空室Ｋを形成させると共にその空室Ｋ内において、起
歪体９ａ側に電極板１が、蓋体９ｂ側に絶縁板９４を介
して電極板２がそれぞれ取付けられた構成としてある。
そして、前記蓋体９ｂの外壁に取付け台９３を介して電
子装置９２を取付け、更に、これら取付け台９３及び電
子装置９２を包囲するようにしてキャップ９ｃを取付け
てある。
【０００３】上記電極板１と電極板２との対向面にはそ
れぞれ電極部を設けてあり、具体的には、図１０に示す
如く前記電極板１側に電極部Ｃを、図１１に示す如く前
記電極板２側に電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−，Ｃｚを、それぞれ設けてある。また、上記した電子
装置９２は、電極板１，２相互間のギャップＧの変化に
伴う電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互間，
電極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間，電極部Ｃと電極部
Ｃｚ相互間における静電容量の変化を電圧の変化に変換
するものとしてある。
れぞれ電極部を設けてあり、具体的には、図１０に示す
如く前記電極板１側に電極部Ｃを、図１１に示す如く前
記電極板２側に電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−，Ｃｚを、それぞれ設けてある。また、上記した電子
装置９２は、電極板１，２相互間のギャップＧの変化に
伴う電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互間，
電極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間，電極部Ｃと電極部
Ｃｚ相互間における静電容量の変化を電圧の変化に変換
するものとしてある。
【０００４】したがって、このセンサーでは、上記操作
軸９１に作用する力の大きさ及び方向を電圧として検出
し得る。しかしながら、この力センサーでは、起歪体９
ａや蓋９ｂがそれぞれ所謂立体構造であることから嵩高
なものとなってしまい、更に電極板１，２相互間は空気
が存在するためにゴミ等の影響を受けやすい。
軸９１に作用する力の大きさ及び方向を電圧として検出
し得る。しかしながら、この力センサーでは、起歪体９
ａや蓋９ｂがそれぞれ所謂立体構造であることから嵩高
なものとなってしまい、更に電極板１，２相互間は空気
が存在するためにゴミ等の影響を受けやすい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、ゴミ等の影響を受けにくく且つ嵩の低い静電容量式
センサーを提供することを課題とする。
は、ゴミ等の影響を受けにくく且つ嵩の低い静電容量式
センサーを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】この発明の静電容量式セン
サーは、軸部１１を有した平板状の電極板１とこの電極
板１と対向する平板状の電極板２との間のギャップの変
化によって生じる静電容量変化により、上記軸部１１に
作用している外力の大きさ及び方向が検出できるセンサ
ーであって、電極板１と電極板２との間に薄い弾性体３
を介在させると共に電極板１の外周部に等角度間隔で複
数の支持軸４を垂設し、この支持軸４の下端を電極板２
側に設けた貫通孔２０に抜止め状態に遊挿し、前記支持
軸４が電極板２に対して抜止め位置にあるときには上記
弾性体３が電極板１，２と密着している。
サーは、軸部１１を有した平板状の電極板１とこの電極
板１と対向する平板状の電極板２との間のギャップの変
化によって生じる静電容量変化により、上記軸部１１に
作用している外力の大きさ及び方向が検出できるセンサ
ーであって、電極板１と電極板２との間に薄い弾性体３
を介在させると共に電極板１の外周部に等角度間隔で複
数の支持軸４を垂設し、この支持軸４の下端を電極板２
側に設けた貫通孔２０に抜止め状態に遊挿し、前記支持
軸４が電極板２に対して抜止め位置にあるときには上記
弾性体３が電極板１，２と密着している。
【０００７】また、この発明の静電容量式センサーは、
軸部１１を有した平板状の電極板１とこの電極板１と対
向する平板状の電極板２との間のギャップの変化によっ
て生じる静電容量変化により、上記軸部１１に作用して
いる外力の大きさ及び方向が検出できるセンサーであっ
て、電極板１と電極板２との間に薄い弾性体３を介在さ
せると共に電極板２の外周部に等角度間隔で複数の支持
軸４を立設し、この支持軸４の上端を電極板１側に設け
た貫通孔１０に抜止め状態に遊挿し、前記支持軸４が電
極板１に対して抜止め位置にあるときには上記弾性体３
が電極板１，２と密着している。
軸部１１を有した平板状の電極板１とこの電極板１と対
向する平板状の電極板２との間のギャップの変化によっ
て生じる静電容量変化により、上記軸部１１に作用して
いる外力の大きさ及び方向が検出できるセンサーであっ
て、電極板１と電極板２との間に薄い弾性体３を介在さ
せると共に電極板２の外周部に等角度間隔で複数の支持
軸４を立設し、この支持軸４の上端を電極板１側に設け
た貫通孔１０に抜止め状態に遊挿し、前記支持軸４が電
極板１に対して抜止め位置にあるときには上記弾性体３
が電極板１，２と密着している。
【０００８】更に、この発明の静電容量式センサーは、
軸部１１を有した平板状の電極板１とこの電極板１と対
向する平板状の電極板２との間のギャップの変化によっ
て生じる静電容量変化により、上記軸部１１に作用して
いる外力の大きさ及び方向が検出できるセンサーであっ
て、電極板１と電極板２との間に薄い弾性体３を介在さ
せると共に電極板１，２相互を繋ぐ支持軸４を設け、こ
の支持軸４の上端を電極板１側に設けた貫通孔１０に、
下端を電極板２側に設けた貫通孔２０に、それぞれ抜止
状態に遊挿し、前記支持軸４が電極板１，２に対して抜
止め位置にあるときには上記弾性体３が電極板１，２と
密着している。
軸部１１を有した平板状の電極板１とこの電極板１と対
向する平板状の電極板２との間のギャップの変化によっ
て生じる静電容量変化により、上記軸部１１に作用して
いる外力の大きさ及び方向が検出できるセンサーであっ
て、電極板１と電極板２との間に薄い弾性体３を介在さ
せると共に電極板１，２相互を繋ぐ支持軸４を設け、こ
の支持軸４の上端を電極板１側に設けた貫通孔１０に、
下端を電極板２側に設けた貫通孔２０に、それぞれ抜止
状態に遊挿し、前記支持軸４が電極板１，２に対して抜
止め位置にあるときには上記弾性体３が電極板１，２と
密着している。
【０００９】
【作用】この発明は次のように作用する。電極板１，２
は立体構造ではなく、これら相互間に介在せしめられた
弾性体３は薄く設定されているから、従来のセンサーと
比較して非常に嵩が低い。また、前記電極板１と電極板
２との間に薄い弾性体２をこれらに支持軸４等の構成に
より密着させる態様で介在させているから、従来の技術
の欄に記載したセンサーのようにごみ等の影響は全く受
けない。
は立体構造ではなく、これら相互間に介在せしめられた
弾性体３は薄く設定されているから、従来のセンサーと
比較して非常に嵩が低い。また、前記電極板１と電極板
２との間に薄い弾性体２をこれらに支持軸４等の構成に
より密着させる態様で介在させているから、従来の技術
の欄に記載したセンサーのようにごみ等の影響は全く受
けない。
【００１０】
【実施例】この発明の構成を実施例として示した図面に
従って説明する。この実施例では電極板２をプリント基
板で形成させてあり、センサーは、図１に示すように、
基本的には、電極板１と、前記電極板１の下方に設けら
れたプリント基板２’と、前記電極１とプリント基板
２’相互間に設けられた弾性体３と、前記プリント基板
２’の下面に設けられた電子装置５とから構成されてい
る。
従って説明する。この実施例では電極板２をプリント基
板で形成させてあり、センサーは、図１に示すように、
基本的には、電極板１と、前記電極板１の下方に設けら
れたプリント基板２’と、前記電極１とプリント基板
２’相互間に設けられた弾性体３と、前記プリント基板
２’の下面に設けられた電子装置５とから構成されてい
る。
【００１１】基板１は円形状板により構成されており、
図１に示すように、その上面中央部に軸部１１を設ける
と共に下面に、図１や図２に示すように、スクリーン印
刷により円形状の電極部Ｃを形成させてある。また、こ
の基板１の外周部分には９０°角度間隔でスタッドボル
ト４０を垂設してある。プリント基板２’は、図１や図
３に示すように、上記したそれぞれのスタッドボルト４
０と対応する位置にこれよりも大きな径の貫通孔２０を
設けると共に、前記貫通孔２０が囲む部分に図３に示す
ような電極部群Ｃ’（電極部Ｃｘ＋、電極部Ｃｘ−、電
極部Ｃｙ＋、電極部Ｃｙ−、電極部Ｃz から成る）をス
クリーン印刷により形成してある。
図１に示すように、その上面中央部に軸部１１を設ける
と共に下面に、図１や図２に示すように、スクリーン印
刷により円形状の電極部Ｃを形成させてある。また、こ
の基板１の外周部分には９０°角度間隔でスタッドボル
ト４０を垂設してある。プリント基板２’は、図１や図
３に示すように、上記したそれぞれのスタッドボルト４
０と対応する位置にこれよりも大きな径の貫通孔２０を
設けると共に、前記貫通孔２０が囲む部分に図３に示す
ような電極部群Ｃ’（電極部Ｃｘ＋、電極部Ｃｘ−、電
極部Ｃｙ＋、電極部Ｃｙ−、電極部Ｃz から成る）をス
クリーン印刷により形成してある。
【００１２】弾性体３は平面視円形状のゴム板（0.2mm
〜1.0mm 程度）により構成されており、その外径は図１
に示すように、電極部Ｃとほぼ同径としている。電子装
置５は、電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃ
と電極部Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互
間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｚ相互間における静電容量の変化をそれぞれ電圧
Ｖｘ＋，Ｖｘ−，Ｖｙ＋，Ｖｙ−，Ｖｚに変換するもの
としてある。
〜1.0mm 程度）により構成されており、その外径は図１
に示すように、電極部Ｃとほぼ同径としている。電子装
置５は、電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃ
と電極部Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互
間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｚ相互間における静電容量の変化をそれぞれ電圧
Ｖｘ＋，Ｖｘ−，Ｖｙ＋，Ｖｙ−，Ｖｚに変換するもの
としてある。
【００１３】そして、このセンサーでは、図１に示す組
立状態では、電極板１に設けたスタッドボルト４０をプ
リント基板２’に設けた貫通孔２０に挿入し、貫通孔２
０から貫通突出したスタッドボルト４０部分にナット４
１を螺合するようにして、弾性体３が基板１の下面及び
プリント基板２’の上面と密着させるようにしてある。
尚、この実施例では、上記ナット４１の存在により、ス
タッドボルト４０がプリント基板２’の貫通孔２０から
抜けない構造になっている。
立状態では、電極板１に設けたスタッドボルト４０をプ
リント基板２’に設けた貫通孔２０に挿入し、貫通孔２
０から貫通突出したスタッドボルト４０部分にナット４
１を螺合するようにして、弾性体３が基板１の下面及び
プリント基板２’の上面と密着させるようにしてある。
尚、この実施例では、上記ナット４１の存在により、ス
タッドボルト４０がプリント基板２’の貫通孔２０から
抜けない構造になっている。
【００１４】この実施例の静電容量デンサーは上記のよ
うな構成としてあるから、以下に示すような働きをす
る。〔軸部１１がＸ−Ｘ方向の外力Ｆを受けた場合〕 図４に
示すように、弾性体３が変形（厚みが部分によってｄ−
Δｄや≒ｄに変形）せしめられて、電極Ｃと電極Ｃｘ＋
相互間の静電容量は大きく増加し、電極Ｃと電極Ｃｘ−
相互間の静電容量は少しだけ増加し、電極Ｃと電極Ｃｙ
＋相互間及び電極Ｃと電極Ｃｙ−相互間の静電容量は同
程度増加し、電極Ｃと電極Ｃｚ相互間の静電容量は少し
だけ増加する。
うな構成としてあるから、以下に示すような働きをす
る。〔軸部１１がＸ−Ｘ方向の外力Ｆを受けた場合〕 図４に
示すように、弾性体３が変形（厚みが部分によってｄ−
Δｄや≒ｄに変形）せしめられて、電極Ｃと電極Ｃｘ＋
相互間の静電容量は大きく増加し、電極Ｃと電極Ｃｘ−
相互間の静電容量は少しだけ増加し、電極Ｃと電極Ｃｙ
＋相互間及び電極Ｃと電極Ｃｙ−相互間の静電容量は同
程度増加し、電極Ｃと電極Ｃｚ相互間の静電容量は少し
だけ増加する。
【００１５】したがって、Ｃ／Ｖ変換したときＶｘ＝
（Ｖｘ＋）＋（Ｖｘ−）は大きく変化し、Ｖｙ＝（Ｖｙ
＋）＋（Ｖｙ−）＝０で変化せず、Ｖｚは大きく変化し
ない。 〔軸部１１がＹ−Ｙ方向の外力Ｆを受けた場合〕 この場
合も上記と同様であり、Ｖｙ＝（Ｖｙ＋）＋（Ｖｙ−）
は大きく変化し、Ｖｘ＝（Ｖｘ＋）＋（Ｖｘ−）＝０で
変化せず、Ｖｚは大きく変化しない。〔軸部１１の軸線方向に外力Ｆが作用した場合〕 図５に
示すように、弾性体３が変形（厚みｄが全体的にｄ−Δ
ｄに変形）せしめられるから、電極部Ｃと電極部Ｃｘ
＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−、Ｃz 相互間の静電容量は
同程度増加する。
（Ｖｘ＋）＋（Ｖｘ−）は大きく変化し、Ｖｙ＝（Ｖｙ
＋）＋（Ｖｙ−）＝０で変化せず、Ｖｚは大きく変化し
ない。 〔軸部１１がＹ−Ｙ方向の外力Ｆを受けた場合〕 この場
合も上記と同様であり、Ｖｙ＝（Ｖｙ＋）＋（Ｖｙ−）
は大きく変化し、Ｖｘ＝（Ｖｘ＋）＋（Ｖｘ−）＝０で
変化せず、Ｖｚは大きく変化しない。〔軸部１１の軸線方向に外力Ｆが作用した場合〕 図５に
示すように、弾性体３が変形（厚みｄが全体的にｄ−Δ
ｄに変形）せしめられるから、電極部Ｃと電極部Ｃｘ
＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−、Ｃz 相互間の静電容量は
同程度増加する。
【００１６】したがって、Ｃ／Ｖ変換したときＶｘ及び
Ｖｙは変化せず、Ｖｚは大きく変化する。このように大
きく変化する電圧成分の正負から軸部１１に外力が作用
する方向が検出でき、前記電圧成分の電圧値から外力の
大きさが検出できる。そして、この静電容量式センサー
では、上記した作用の欄に記載したように、ゴミ等の影
響を受けにくく且つ嵩が低く、ナット４１の締め込み具
合により簡単に静電容量のバランス調整ができる。
Ｖｙは変化せず、Ｖｚは大きく変化する。このように大
きく変化する電圧成分の正負から軸部１１に外力が作用
する方向が検出でき、前記電圧成分の電圧値から外力の
大きさが検出できる。そして、この静電容量式センサー
では、上記した作用の欄に記載したように、ゴミ等の影
響を受けにくく且つ嵩が低く、ナット４１の締め込み具
合により簡単に静電容量のバランス調整ができる。
【００１７】尚、上記実施例では、支持軸４をスタット
ボルト４０により構成させたが、支持軸４を樹脂で構成
させ、図６に示すように、その下端部を溶融させて拡げ
るようにした構成を採用することもできる。また、上記
実施例の電極板１の下面に導電性を有する金属板を張設
した場合、電極Ｃをスクリーン印刷する必要はないもの
となる。
ボルト４０により構成させたが、支持軸４を樹脂で構成
させ、図６に示すように、その下端部を溶融させて拡げ
るようにした構成を採用することもできる。また、上記
実施例の電極板１の下面に導電性を有する金属板を張設
した場合、電極Ｃをスクリーン印刷する必要はないもの
となる。
【００１８】更に、上記実施例にかえて、図７に示すよ
うに、電極板１に貫通孔１０を設け、この貫通孔１０に
支持軸４の上端部を遊挿する構成としてもよく、また、
図７に示すように、電極板１，２にそれぞれ、貫通孔１
０，２０を設け、支持軸４の上端部を貫通孔１０に、下
端部を貫通孔２０に、それぞれ遊挿する構成としてもよ
い。
うに、電極板１に貫通孔１０を設け、この貫通孔１０に
支持軸４の上端部を遊挿する構成としてもよく、また、
図７に示すように、電極板１，２にそれぞれ、貫通孔１
０，２０を設け、支持軸４の上端部を貫通孔１０に、下
端部を貫通孔２０に、それぞれ遊挿する構成としてもよ
い。
【００１９】そして、上記実施例にかえて、電極板１側
に電極部Ｃ’を設け、電極板２側に電極部Ｃを設けるよ
うにしてもよく、前記電極部群Ｃ’は電極Ｃｘ＋、Ｃｘ
−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−のみから構成させてもよい。
に電極部Ｃ’を設け、電極板２側に電極部Ｃを設けるよ
うにしてもよく、前記電極部群Ｃ’は電極Ｃｘ＋、Ｃｘ
−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−のみから構成させてもよい。
【００２０】
【発明の効果】作用の欄に記載した内容から、ゴミ等の
影響を受けにくく且つ嵩の低い静電容量式センサーを提
供できた。
影響を受けにくく且つ嵩の低い静電容量式センサーを提
供できた。
【図１】この発明の実施例の静電容量式センサーの断面
図。
図。
【図２】前記静電容量式センサーの基板の上面図。
【図３】前記静電容量式センサーのプリント基板の上面
図。
図。
【図４】前記静電容量式センサーの軸部にＸ−Ｘ方向に
外力が作用したときの状態を示す図。
外力が作用したときの状態を示す図。
【図５】前記静電容量式センサーの軸部にＺ方向に外力
が作用したときの状態を示す図。
が作用したときの状態を示す図。
【図６】この発明の他の実施例の要部断面図。
【図７】この発明の他の実施例の要部断面図。
【図８】この発明の他の実施例の要部断面図。
【図９】先行技術の静電容量式センサーの断面図。
【図１０】前記静電容量式センサーにおける上側の電極
板に形成された電極の平面図。
板に形成された電極の平面図。
【図１１】前記静電容量式センサーにおける下側の電極
板に形成された電極の平面図。
板に形成された電極の平面図。
Ｃ 電極部 Ｃ’ 電極部群 １ 電極板 ２ 電極板 ３ 弾性体 ４ 支持軸 １０ 貫通孔 １１ 軸部 ２０ 貫通孔 ４０ スタッドボルト ４１ ナット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−201491（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−123814（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−164129（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−226030（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−24044（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−115941（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−12646（ＪＰ，Ｕ) 米国特許4719538（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 1/14 G01L 5/16 G06F 3/033 330 G01N 27/22 G01L 9/12 G01L 13/06 G01D 5/24 G01P 15/125
Claims (3)
- 【請求項１】 軸部（１１）を有した平板状の電極板
（１）とこの電極板（１）と対向する平板状の電極板
（２）との間のギャップの変化によって生じる静電容量
変化により、上記軸部（１１）に作用している外力の大
きさ及び方向が検出できるセンサーであって、電極板
（１）と電極板（２）との間に薄い弾性体（３）を介在
させると共に電極板（１）の外周部に等角度間隔で複数
の支持軸（４）を垂設し、この支持軸（４）の下端を電
極板（２）側に設けた貫通孔（２０）に抜止め状態に遊
挿し、前記支持軸（４）が電極板（２）に対して抜止め
位置にあるときには上記弾性体（３）が電極板（１）
（２）と密着していることを特徴とする静電容量式セン
サー。 - 【請求項２】 軸部（１１）を有した平板状の電極板
（１）とこの電極板（１）と対向する平板状の電極板
（２）との間のギャップの変化によって生じる静電容量
変化により、上記軸部（１１）に作用している外力の大
きさ及び方向が検出できるセンサーであって、電極板
（１）と電極板（２）との間に薄い弾性体（３）を介在
させると共に電極板（２）の外周部に等角度間隔で複数
の支持軸（４）を立設し、この支持軸（４）の上端を電
極板（１）側に設けた貫通孔（１０）に抜止め状態に遊
挿し、前記支持軸（４）が電極板（１）に対して抜止め
位置にあるときには上記弾性体（３）が電極板（１）
（２）と密着していることを特徴とする静電容量式セン
サー。 - 【請求項３】 軸部（１１）を有した平板状の電極板
（１）とこの電極板（１）と対向する平板状の電極板
（２）との間のギャップの変化によって生じる静電容量
変化により、上記軸部（１１）に作用している外力の大
きさ及び方向が検出できるセンサーであって、電極板
（１）と電極板（２）との間に薄い弾性体（３）を介在
させると共に電極板（１）（２）相互を繋ぐ支持軸
（４）を設け、この支持軸（４）の上端を電極板（１）
側に設けた貫通孔（１０）に、下端を電極板（２）側に
設けた貫通孔（２０）に、それぞれ抜止状態に遊挿し、
前記支持軸（４）が電極板（１）（２）に対して抜止め
位置にあるときには上記弾性体（３）が電極板（１）
（２）と密着していることを特徴とする静電容量式セン
サー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15036593A JP3297887B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 静電容量式センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15036593A JP3297887B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 静電容量式センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712775A JPH0712775A (ja) | 1995-01-17 |
| JP3297887B2 true JP3297887B2 (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=15495406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15036593A Expired - Fee Related JP3297887B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 静電容量式センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3297887B2 (ja) |
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1993
- 1993-06-22 JP JP15036593A patent/JP3297887B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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