JP3272642B2 - Inspection equipment for liquid crystal display - Google Patents
Inspection equipment for liquid crystal displayInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ドライバーを実装
前のパネル形態やドライバー実装後のモジュール形態を
問わず、信号入力や、抵抗測定を行うために液晶表示パ
ネルを点灯検査する際に利用されるものであり、特に、
プロジェクション用などの使用温度条件が厳しく、小型
高精細の反射型液晶表示装置を点灯検査する際に利用で
きる液晶表示装置の検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is applicable to lighting inspection of a liquid crystal display panel for signal input and resistance measurement regardless of a panel form before mounting a driver or a module form after mounting a driver. In particular,
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device for a liquid crystal display device which is used when a small and high-definition reflective liquid crystal display device is subjected to lighting inspection under severe operating temperature conditions such as for projection.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に液晶表示装置は、液晶パネルにド
ライバーや駆動回路を実装することによりモジュール化
する。その後、それぞれの用途により、プロジェクショ
ンとして使用されるものは、光源ランプや投影レンズ等
の光学系と組み合わせたり、また、透過型の液晶表示装
置を用いた液晶ＴＶや液晶ディスプレーとして使用され
るものは、バックライトを組み合わせたりすることが多
い。2. Description of the Related Art Generally, a liquid crystal display device is modularized by mounting a driver or a driving circuit on a liquid crystal panel. After that, depending on the application, those used as projections may be combined with optical systems such as light source lamps and projection lenses, and those used as liquid crystal TVs and liquid crystal displays using transmission type liquid crystal display devices Often, a backlight is combined.
【０００３】これらの液晶表示装置は、パネル形態、モ
ジュール形態のそれぞれの工程で点灯不良品の流出を防
止するために点灯検査を実施している。しかし、常温で
の点灯検査のみでは、市場に出荷した後で発生する点灯
不良があるのが実状で、その原因としては、点灯不良の
中には高温状態という条件下でのみ発生する不良（以
下、エージング不良）があることが分かっており、製品
の種類によっては、その使用条件により、非常に高温と
なることがあるためである。特に、プロジェクション用
のパネルでは、ランプ光からの発熱によりパネル温度が
６０℃以上という高温となることがあり、大きな問題と
なる。[0003] In these liquid crystal display devices, a lighting test is performed in each of a panel mode and a module mode in order to prevent outflow of defective lighting products. However, in the lighting inspection at room temperature alone, it is a fact that there is a lighting failure that occurs after the product is shipped to the market. Aging failure), and the temperature of the product may become extremely high depending on the use conditions depending on the type of the product. Particularly, in a projection panel, the panel temperature may be as high as 60 ° C. or more due to heat generated from lamp light, which is a serious problem.
【０００４】そのため、従来は、モジュール工程やパネ
ル工程において、液晶表示装置を点灯させたままで強制
的に高温状態（６０℃〜８０℃）下、長時間（６時間程
度）放置する（以下、エージング）ことによりエージン
グ不良を発生させ、その後点灯検査装置にて検査する
（以下、エージング検査）ことにより、点灯不良品の流
出を防止する方法を用いていた。Therefore, conventionally, in a module process or a panel process, a liquid crystal display device is forcibly left for a long time (about 6 hours) under a high temperature state (60 ° C. to 80 ° C.) while being lit (hereinafter referred to as aging). ) To generate an aging defect, and then inspect it with a lighting inspection device (hereinafter, referred to as aging inspection) to prevent outflow of defective lighting products.
【０００５】従来のエージング検査装置としては、以下
の１〜３のようなものがある。 １．液晶表示装置の直視型点灯検査装置 図５に示すものは、バックライト組込前のモジュール形
態での液晶表示装置１の検査に用いる直視型点灯検査装
置である。液晶表示装置１は、予め、信号発生器１８に
より点灯されたまま、エージング装置に放置されてお
り、図５に示すように、エージングの完了した液晶表示
装置１を支持台２４上の位置決め板２を基準にして据え
付ける。支持台２４の下方には、バックライト２５が配
置されており、検査員１３は、点灯された液晶表示装置
１を直接目視により確認して点灯不良の検査を行ってい
る。なお、液晶表示装置１は符号１ａのパネル、１ｂの
駆動回路からなっている。また、１８ａは信号発生器１
８からの信号を液晶表示装置１に通電する端子台であ
る。[0005] Conventional aging inspection devices include the following 1 to 3. 1. FIG. 5 shows a direct-view type lighting inspection device used for testing the liquid crystal display device 1 in a module form before incorporating a backlight. The liquid crystal display device 1 is left in an aging device while being turned on by the signal generator 18 in advance, and as shown in FIG. Install with reference to A backlight 25 is provided below the support 24, and the inspector 13 directly checks the turned-on liquid crystal display device 1 by visual inspection to check for a lighting failure. The liquid crystal display device 1 includes a panel 1a and a drive circuit 1b. 18a is the signal generator 1
8 is a terminal block for supplying a signal from the liquid crystal display 8 to the liquid crystal display device 1.
【０００６】２．透過型液晶表示パネルの拡大点灯検査
装置 拡大点灯検査装置は、例えば特開平４−５８１３１や特
開平４−２４８４３５に示されている。すなわち、この
検査装置は、小型高精細液晶表示パネルの上下にそれぞ
れ光源ランプと投影レンズを配置し、点灯画像をスクリ
ーンに投影して、拡大投影検査を行える装置である。[0006] 2. Enlarged lighting inspection device for transmission type liquid crystal display panel An enlarged lighting inspection device is disclosed in, for example, JP-A-4-58131 and JP-A-4-248435. That is, this inspection apparatus is an apparatus in which a light source lamp and a projection lens are arranged above and below a small high-definition liquid crystal display panel, and a lit image is projected on a screen to perform an enlarged projection inspection.
【０００７】３．透過型液晶表示パネルの加熱検査装置 加熱検査装置は、例えば特開平８−２３３６９０に示さ
れている。すなわち、この検査装置は、熱風発生装置が
内部に設けられた断熱性を有するトランク室の上方に透
過型液晶表示パネルを配置して、加熱しながら点灯検査
を行える装置である。[0007] 3. Heating inspection device for transmission type liquid crystal display panel A heating inspection device is disclosed, for example, in JP-A-8-233690. That is, this inspection apparatus is an apparatus in which a transmission type liquid crystal display panel is arranged above a heat insulating trunk room in which a hot air generator is provided, and a lighting inspection can be performed while heating.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】一方、昨今の液晶業界
の商品動向を鑑みると、低消費電力、セット形態での小
型化への要求が高まることから透過型から反射型の液晶
表示装置への生産が増加する方向性がある。また、パネ
ルサイズも小型化が進むだけでなく、ますます高精細化
が進んでおり、パネル画素数はＸＧＡ（１０２４×７６
８ドット）からＳＸＧＡ（１２８０×１０２４ドット）
へとますます高精細化する傾向である。これに伴い、１
画素のピッチも極小化し、最近のパネルでは、２８μｍ
というレベルまで微細化している。On the other hand, in view of the recent trend of products in the liquid crystal industry, demands for low power consumption and miniaturization in a set form are increasing. There is a tendency for production to increase. In addition, the panel size is not only reduced, but also the definition is further improved, and the number of panel pixels is XGA (1024 × 76).
8 dots) to SXGA (1280 x 1024 dots)
There is a tendency for higher definition. Accordingly, 1
The pixel pitch has also been reduced to a minimum of 28 μm
Down to the level of.
【０００９】そのため、上記の従来のような検査装置で
は、以下のような課題があった。 １．液晶表示装置の直視型点灯検査装置 高温、長時間エージングを実施した液晶表示装置１を
エージング装置から移動させて本検査装置にて点灯検査
を行う際には、いくら短時間の間であっても高温状態の
エージング装置から出して比較的低温の支持台２４上に
据え付けた瞬間からパネル温度が急激に降下する。その
ため、エージング不良が出現した液晶表示装置１の中に
は、温度降下によって再び正常な点灯をする状態に戻っ
てしまうものがあり、検査員１３が点灯不良と認識でき
ずに市場に流出するおそれがあるという問題があった。Therefore, the above-described conventional inspection apparatus has the following problems. 1. Direct View Lighting Inspection Apparatus for Liquid Crystal Display When moving the liquid crystal display 1 which has been subjected to aging for a long time at a high temperature from the aging apparatus and performing the lighting inspection with the present inspection apparatus, no matter how short the time is, The panel temperature drops sharply from the moment when the panel is taken out of the aging device in a high temperature state and installed on the support base 24 having a relatively low temperature. For this reason, some of the liquid crystal display devices 1 in which aging failure has occurred return to a state in which normal lighting is performed again due to a temperature drop, and the inspector 13 may not recognize the lighting failure and may flow out to the market. There was a problem that there is.
【００１０】人間の視力によって視覚確認できる限界
は、通常、視力が１．０の場合、角度で約１分（１／６
０度）程度とされている。従って、人間の目から３０ｃ
ｍの距離をおいて認識できる物体の大きさは８７μｍ程
度となり、それより小さいものに対しては、人間の目視
によって認識ができないと言われている。本検査装置に
おいて、検査員１３は直視にて検査を行うため、前述の
２８μｍピッチのような小型、高精細なプロジェクショ
ン用の液晶表示装置では、検査員１３が画素として認識
できず、各種の欠陥不良を検査できない。[0010] The limit of visual recognition by human vision is usually about 1 minute (1/6) when the vision is 1.0.
0 degrees). Therefore, 30c from human eyes
The size of an object that can be recognized at a distance of m is about 87 μm, and it is said that a smaller object cannot be recognized by human eyes. In the present inspection apparatus, since the inspector 13 performs the inspection by direct vision, the inspector 13 cannot recognize the pixel as a pixel in the small and high-definition liquid crystal display device having a pitch of 28 μm as described above, and various defects are generated. Failure cannot be inspected.
【００１１】２．透過型液晶表示パネルの拡大点灯検査
装置 上記１．と同様に移動中のパネル温度の降下によ
り、十分な検査が行えない。 本装置は、光源ランプからの照射光を液晶表示パネル
に入射してスクリーンに映しだした画像により検査す
る。光源ランプは、照射光とともに発熱を伴うため、液
晶表示パネルに直接、熱が伝わることになる。概して光
源ランプは、照射光エリアのセンター付近が明るくなる
ように設計されており、そのため、温度もセンター付近
が最も高くなる。それに対して、被検査物である液晶表
示パネルは、拡大投影点灯検査時にスクリーン上で光弾
性効果と呼ばれるむらが発生することがある。この原因
としては、液晶表示パネル表面温度分布が大きな影響を
及ぼしており、光弾性の生じやすいものでは、パネルの
センターと周辺部との温度差が５°Ｃ程度になると発生
する。すなわち、前の工程でエージングを行ってもラン
プ光により液晶表示パネルの表面温度分布に差が生じる
ため、光弾性効果を発生させる原因となり、検査に支障
をきたす要因となっていた。2. Enlarged lighting inspection device for transmissive liquid crystal display panel In the same way as described above, sufficient inspection cannot be performed due to a drop in panel temperature during movement. In this device, the light emitted from the light source lamp is incident on the liquid crystal display panel and inspected by the image projected on the screen. Since the light source lamp generates heat together with the irradiation light, heat is directly transmitted to the liquid crystal display panel. Generally, the light source lamp is designed to be bright near the center of the irradiation light area, so that the temperature also becomes highest near the center. On the other hand, the liquid crystal display panel to be inspected may have unevenness called a photoelastic effect on the screen during the enlarged projection lighting inspection. The cause of this is that the temperature distribution on the surface of the liquid crystal display panel has a great effect. In the case where photoelasticity is likely to occur, the temperature difference between the center and the peripheral portion of the panel becomes about 5 ° C. In other words, even if aging is performed in the previous step, a difference occurs in the surface temperature distribution of the liquid crystal display panel due to the lamp light, which causes a photoelastic effect to occur, thereby hindering the inspection.
【００１２】３．透過型液晶表示パネルの加熱検査装置 上記１．と同様に検査員が点灯する画素を直接、目
視検査を行うため、微細ピッチの液晶表示パネルは、検
査できない。 たとえ、本方式を上記２．で示すような拡大点灯検査
装置に採用できたとしても液晶表示パネルの下面から熱
風を吹き付けるだけであるので、上記２．に示すのと
同様に表面温度分布に対する管理ができず、光弾性効果
によるむらを発生させることになる。3. Heating inspection device for transmission type liquid crystal display panel Since the visual inspection is directly performed on the pixels to be lit by the inspector, the liquid crystal display panel having a fine pitch cannot be inspected. For example, if this method is used in 2. Even if it can be adopted in the enlarged lighting inspection device as shown in the above, it is only necessary to blow hot air from the lower surface of the liquid crystal display panel. In the same manner as shown in FIG. 6, the control of the surface temperature distribution cannot be performed, and unevenness due to the photoelastic effect occurs.
【００１３】本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、容易にかつ確実に、エージング不良
を検出でき、しかも、スクリーン投影時にむらを発生さ
せることのない液晶表示装置の検査装置を提供すること
を目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device which can easily and surely detect an aging defect and does not cause unevenness when projecting a screen. It is intended to provide an inspection device.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、次の構成を有する。請求項１の発明は、液晶
表示装置に点灯信号を入力して、出力された画像を確認
して検査するための検査装置において、液晶表示装置を
配置する保持機構に液晶表示装置を加熱制御する手段
と、 液晶表示装置の局部的な温度上昇防止のために局部
冷却手段とを備えて、液晶表示装置自体を加熱しながら
検査することを特徴とする液晶表示装置の検査装置であ
る。The present invention has the following configuration to achieve the above object. According to a first aspect of the present invention, in an inspection apparatus for inputting a lighting signal to a liquid crystal display device and checking and inspecting an output image, heating control of the liquid crystal display device is performed by a holding mechanism for arranging the liquid crystal display device. means
To prevent local temperature rise of the LCD
An inspection apparatus for a liquid crystal display device, comprising: a cooling unit for performing an inspection while heating the liquid crystal display device itself.
【００１５】請求項２の発明は、液晶表示装置に点灯信
号を入力して、出力された画像を確認して検査するため
の検査装置において、液晶表示装置を配置する保持機構
に液晶表示装置を加熱制御する手段と、液晶表示装置の
局部的な温度上昇防止のために局部冷却手段と、液晶表
示装置に出力された画像に光を照射して、該表示装置の
画像が拡大されるように保持された光学系とを備えて、
液晶表示装置自体を加熱しながら検査することを特徴と
する液晶表示装置の検査装置である。請求項３の発明
は、請求項１または２における被検査用液晶表示装置
は、反射型液晶表示装置であることを特徴とする液晶表
示装置の検査装置である。請求項４の発明は、請求項１
または２において、反射型液晶表示装置を保持し、加熱
手段及び温度制御手段を有する保持機構と該表示装置に
点灯信号を入力する信号入力手段とから構成され、さら
に、前記保持手段に保持された反射型液晶表示装置に光
を照射して、該表示装置の画像が拡大されるように配置
された光学手段と、拡大された該表示装置の画像を投射
するためのスクリーンとを具備することを特徴とする反
射型液晶表示装置の検査装置である。[0015] According to a second aspect of the invention, by inputting a lighting signal to the liquid crystal display device, for inspecting to confirm the output image
Holding mechanism for arranging the liquid crystal display device in the inspection device of
Means for controlling the heating of the liquid crystal display device,
Local cooling means for preventing local temperature rise , and irradiating light to the image output to the liquid crystal display device, comprising an optical system held so that the image of the display device is enlarged,
An inspection device for a liquid crystal display device, wherein the inspection is performed while heating the liquid crystal display device itself. According to a third aspect of the present invention, in the inspection apparatus for a liquid crystal display device, the liquid crystal display device for inspection according to the first or second aspect is a reflective liquid crystal display device. The invention of claim 4 is claim 1
Or 2) a holding mechanism for holding the reflection type liquid crystal display device, having a heating means and a temperature control means, and a signal input means for inputting a lighting signal to the display device, and further comprising the holding means. It is provided with optical means arranged to irradiate the reflection type liquid crystal display device with light so that an image of the display device is enlarged, and a screen for projecting the enlarged image of the display device. This is a characteristic inspection apparatus for a reflection type liquid crystal display device.
【００１６】請求項５の発明は、請求項１または２にお
いて、保持機構は、液晶表示装置の横方向移動部、縦方
向移動、および回転方向移動部を有する移動手段で位置
制御が可能になっていることを特徴とする液晶表示装置
の検査装置である。請求項６の発明は、請求項１または
２において、液晶表示装置はパネル型であって、液晶表
示装置の端子に点灯信号を通電するプローブピンを移動
する手段を有することを特徴とする液晶表示装置の検査
装置である。According to a fifth aspect of the present invention, in the first or second aspect, the holding mechanism can perform position control by a moving unit having a horizontal moving unit, a vertical moving unit, and a rotating moving unit of the liquid crystal display device. An inspection device for a liquid crystal display device. According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the liquid crystal display according to the first or second aspect, wherein the liquid crystal display device is a panel type and has means for moving a probe pin for supplying a lighting signal to a terminal of the liquid crystal display device. apparatus is an inspection device.
【００１７】請求項１の発明によれば、液晶表示装置の
形態がモジュール形態、パネル形態に関わらず、液晶表
示装置を配置する保持機構に液晶表示装置を加熱制御し
て、液晶表示装置自体を加熱しながら検査するので、エ
ージング装置から出した液晶表示装置が冷えることもな
く、エージング装置での加熱温度を維持できるため、発
生したエージング不良を確実に検査し、不良の液晶表示
装置を排除できる。また、液晶表示装置の局部的な温度
上昇防止のために局部冷却手段を具備するので、液晶表
示装置の温度分布を常に均一化して光弾性効果によるむ
らの発生を阻止できるため、検査精度を向上させること
ができる。 According to the first aspect of the invention, the liquid crystal display device itself is controlled by heating the liquid crystal display device by the holding mechanism for arranging the liquid crystal display device, regardless of whether the liquid crystal display device is in the form of a module or a panel. Since the inspection is performed while heating, the liquid crystal display device taken out of the aging device does not cool down and the heating temperature of the aging device can be maintained, so that the generated aging defect can be reliably inspected and the defective liquid crystal display device can be eliminated. . Also, the local temperature of the liquid crystal display
Since a local cooling means is provided to prevent
The temperature distribution of the display device is always made uniform and the photoelastic effect
To improve the inspection accuracy
Can be.
【００１８】請求項２の発明によれば、液晶表示装置に
点灯信号を入力して、出力された画像を確認して検査す
るための検査装置において、エージング装置から出した
液晶表示装置が冷えることもなく、エージング装置での
加熱温度を維持できるため、発生したエージング不良を
確実に検査し、不良の液晶表示装置を排除できると共
に、液晶表示装置の局部的な温度上昇防止のために局部
冷却手段を具備するので、液晶表示装置の温度分布を常
に均一化して光弾性効果によるむらの発生を阻止できる
ため、検査精度を向上させることができ、さらには、光
学系により液晶表示装置に出力された画像に光を照射し
て、該表示装置の画像を拡大するので、検査員が該表示
装置を直接目視するのではなく、画像を拡大して検査で
き、各種欠陥不良を容易に検査できる。請求項３の発明
によれば、被検査用液晶表示装置は、反射型液晶表示装
置とすることができる。請求項４の発明によれば、反射
型液晶表示装置を保持し、加熱手段及び温度制御手段を
有する保持機構と該表示装置に点灯信号を入力する信号
入力手段とから構成され、さらに、前記保持手段に保持
された反射型液晶表示装置に光を照射して、該表示装置
の画像が拡大されるように配置された光学手段と、拡大
された該表示装置の画像を投射するためのスクリーンと
を具備するので、直接目視により画素が確認できない程
小さい液晶表示装置であっても、拡大してスクリーンに
投影した画像を検査できるため、不良を容易に認識でき
るようになる。According to the second aspect of the present invention, in the inspection device for inputting the lighting signal to the liquid crystal display device and checking and inspecting the output image, the aging device outputs the image .
The liquid crystal display does not cool down,
Since the heating temperature can be maintained,
Reliably inspected, the co <br/> and can eliminate defective liquid crystal display device, the local for local temperature rise prevention of the liquid crystal display device
Cooling means is provided to keep the temperature distribution of the liquid crystal display device constant.
To prevent unevenness due to the photoelastic effect
Therefore, the inspection accuracy can be improved, and further, the image output from the liquid crystal display device is irradiated with light by the optical system to enlarge the image of the display device. The image can be inspected by enlarging the image without visual observation, and various defect defects can be easily inspected. According to the third aspect of the invention, the liquid crystal display device for inspection can be a reflection type liquid crystal display device. According to the invention of claim 4, the reflection type liquid crystal display device is constituted by a holding mechanism having a heating means and a temperature control means, and a signal input means for inputting a lighting signal to the display device, and further comprising the holding means. Irradiating the reflection type liquid crystal display device held by the means with light, and an optical unit arranged so that an image of the display device is enlarged; and a screen for projecting the enlarged image of the display device. Therefore, even if the liquid crystal display device is so small that the pixels cannot be visually confirmed directly, it is possible to inspect the enlarged and projected image on the screen, so that the defect can be easily recognized.
【００１９】請求項５の発明によれば、保持機構に、液
晶表示装置の横方向移動部、縦方向移動部、および回転
方向移動部を有する移動手段で位置制御を可能にするの
で、保持機構を液晶表示装置の据え付け易い位置にして
据え付けることができ、液晶表示装置の据え付けの作業
性が向上する。請求項６の発明によれば、パネル型の液
晶表示装置の端子に点灯信号を通電するプローブピンを
自動的に接続することができ、液晶標示装置を設置する
だけで、それ以後はプローブピンを自動的に接続するこ
とができ、液晶表示装置の検査用の点灯回路との接続作
業がきわめて簡便になる。According to the fifth aspect of the present invention, the position of the holding mechanism can be controlled by moving means having a horizontal moving part, a vertical moving part, and a rotating direction moving part of the liquid crystal display device. Can be installed at a position where the liquid crystal display device can be easily installed, and the workability of the installation of the liquid crystal display device is improved. According to the invention of claim 6, it is possible to automatically connect a probe pin for supplying a lighting signal to a terminal of the panel-type liquid crystal display device, and only to install the liquid crystal display device. The connection can be made automatically, and the connection work with the lighting circuit for inspection of the liquid crystal display device becomes extremely simple.
【００２０】[0020]
【発明の実施形態】以下に、本発明の実施形態について
説明する。図１は、実施形態１にかかる、モジュール形
態の反射型液晶表示装置１の検査装置の全体説明図、図
２はセットプレート周辺詳細図、図３はヒーターの説明
回路図である。Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is an overall explanatory diagram of an inspection device for a reflective liquid crystal display device 1 in a module form according to the first embodiment, FIG. 2 is a detailed view around a set plate, and FIG. 3 is an explanatory circuit diagram of a heater.
【００２１】図１および図２に示すように、この検査装
置は、保持機構としての、液晶表示装置１（液晶パネル
１ａ、駆動回路１ｂ）をその表面部に載置するセットプ
レート３と、セットプレート３上での液晶表示装置１を
位置決めする位置決め板２を備えると共に、セットプレ
ート３上の液晶表示装置１を点灯させる信号発生器１８
と、液晶表示装置１の点灯画像をスクリーン１２に映し
出すための光学系Ａとを有している。As shown in FIGS. 1 and 2, the inspection apparatus comprises a set plate 3 on which a liquid crystal display device 1 (liquid crystal panel 1a, drive circuit 1b) is mounted as a holding mechanism. A signal generator (18) for illuminating the liquid crystal display device (1) on the set plate (3) with a positioning plate (2) for positioning the liquid crystal display device (1) on the plate (3);
And an optical system A for displaying a lighting image of the liquid crystal display device 1 on the screen 12.
【００２２】前記セットプレート３では、液晶表示装置
１をセットプレート３上に図示しない真空吸着装置によ
り液晶表示装置１を吸着固定するようになっている。ま
た、前記セットプレート３には、測温体４、４…とヒー
ター５、５…とが多数埋め込まれており、測温体４、４
…とヒーター５、５…とのそれぞれは温度管理をしなが
ら、設定温度となるようセットプレート３及び液晶表示
パネル１を加熱する。In the set plate 3, the liquid crystal display device 1 is suction-fixed on the set plate 3 by a vacuum suction device (not shown). Also, in the set plate 3, a large number of temperature measuring elements 4, 4,... And heaters 5, 5,.
, And the heaters 5, 5,... Heat the set plate 3 and the liquid crystal display panel 1 to a set temperature while controlling the temperature.
【００２３】前記光学系Ａは、反射鏡６ａ等によりラン
プ６ｂ光を平行光にして照射する光源ランプ６と、光源
ランプ６からの照射光を屈折させて液晶表示装置１に入
射しかつ液晶表示装置１からの反射光を通すプリズム７
と、該プリズム７の入射側偏光板９および出射側偏光板
１０と、出射側偏光板１０からの光を反射ミラー１１に
入射する投影レンズ８と、投影レンズ８からの光を反射
させてスクリーン１２上に液晶表示装置１の点灯画像を
投影する投影レンズ８とを有している。The optical system A comprises a light source lamp 6 for irradiating the lamp 6b with parallel light by a reflecting mirror 6a or the like, and a light source 6 for refracting the light emitted from the light source lamp 6 to be incident on the liquid crystal display device 1 and display the liquid crystal. Prism 7 for transmitting reflected light from device 1
A polarizing plate 9 on the input side and a polarizing plate 10 on the output side of the prism 7; a projection lens 8 for making light from the output side polarizing plate 10 incident on a reflection mirror 11; and a screen for reflecting light from the projection lens 8 And a projection lens 8 for projecting a lighting image of the liquid crystal display device 1 on the projection lens 12.
【００２４】すなわち、この光学系Ａでは、光源ランプ
６から照射された光は、入射側偏光板９を通してプリズ
ム７により９０°進路を曲げられて液晶表示装置１に入
射する。次には、液晶表示装置１内の画素の下方に設け
られた反射膜により反射した光は、プリズム７と出射側
偏光板１０を通って投影レンズ８に達する。投影レンズ
８を通過した、反射ミラー１１により９０°曲げられて
スクリーン１２上に液晶表示装置１の点灯画像が投影さ
れる。なお、光学系Ａのスクリーン１２での拡大サイズ
は、特に限定するものではないが、４０インチ程度が好
ましい。That is, in the optical system A, the light emitted from the light source lamp 6 is incident on the liquid crystal display device 1 through the incident-side polarizing plate 9 with its path being bent by 90 ° by the prism 7. Next, the light reflected by the reflection film provided below the pixel in the liquid crystal display device 1 reaches the projection lens 8 through the prism 7 and the exit side polarizing plate 10. The lighted image of the liquid crystal display device 1 is projected on the screen 12 after being bent 90 ° by the reflection mirror 11 having passed through the projection lens 8. The enlarged size of the optical system A on the screen 12 is not particularly limited, but is preferably about 40 inches.
【００２５】また、先述のように光源ランプ６の照射光
により液晶表示装置１のセンター付近の温度が局所的に
上昇することもある。このような場合は、図１および図
２に示すように、必要に応じて、液晶表示装置１のセン
ターに向けて圧縮空気などによるエアーブローを吹き付
けるスポット冷却機構１４を設けて、強制的にセンター
温度を降下させる方法を併用することもできる。Further, as described above, the temperature near the center of the liquid crystal display device 1 may be locally increased by the irradiation light of the light source lamp 6. In such a case, as shown in FIGS. 1 and 2, a spot cooling mechanism 14 for blowing an air blow such as compressed air toward the center of the liquid crystal display device 1 is provided as necessary to A method of lowering the temperature may be used in combination.
【００２６】図３は、前記ヒーター５部分の周辺の配線
図である。図３に示すように、ヒーター５と測温体４
は、セットプレート３に埋め込まれており、ヒーター５
は、ソリッド・ステート・リレー（以下、ＳＳＲ）１５
を介して電源１７と接続されている。また、測温体４
は、温度調整器１６とＳＳＲ１５に接続されている。す
なわち、ヒーター５で暖められたセットプレート３は、
測温体４で測られ温度調整器１６で設定された温度とな
るよう管理される。温度管理は、ＳＳＲ１５を開閉する
ことによるヒーター５の入り切りによって制御される。FIG. 3 is a wiring diagram around the heater 5. As shown in FIG. 3, the heater 5 and the thermometer 4
Is embedded in the set plate 3 and the heater 5
Is a solid state relay (SSR) 15
Is connected to the power supply 17 via the. In addition, temperature measuring element 4
Are connected to the temperature controller 16 and the SSR 15. That is, the set plate 3 heated by the heater 5 is
The temperature is managed by the temperature measuring element 4 so that the temperature is set by the temperature controller 16. The temperature management is controlled by turning the heater 5 on and off by opening and closing the SSR 15.
【００２７】実施形態１の作用を説明する。上記実施形
態１の検査装置においては、図示しないエージング装置
により予め長時間、高温度の一定条件で加熱された液晶
表示装置１は、位置決め板２により位置決めされてセッ
トプレート３上に据え付けられたのち、図示しない真空
吸着装置により吸着固定される。セットプレート３は、
ヒーター５で暖められており、測温体４で測定した温度
が温度調整器１６で設定される温度になるようにセット
プレート３及び液晶表示パネル１を加熱制御する。この
状態において、液晶表示装置１は、信号発生器１８に接
続されて点灯状態である。The operation of the first embodiment will be described. In the inspection apparatus of the first embodiment, the liquid crystal display device 1 which has been heated for a long time under a constant condition of high temperature by an aging device (not shown) is positioned by the positioning plate 2 and installed on the set plate 3. Is fixed by suction by a vacuum suction device (not shown). Set plate 3
The heating of the set plate 3 and the liquid crystal display panel 1 is controlled by the heater 5 so that the temperature measured by the temperature measuring element 4 becomes the temperature set by the temperature controller 16. In this state, the liquid crystal display device 1 is connected to the signal generator 18 and is in a lighting state.
【００２８】前記検査装置においては、上記にようにセ
ットプレート３上に液晶表示装置１を位置決めして固定
しかつ温度管理した状態で光学系Ａによりスクリーン１
２上に液晶表示装置１の点灯画像が投影する。したがっ
て。検査員１３は、スクリーン１２を観察することによ
り点灯画像を検査することできる。In the inspection device, the liquid crystal display device 1 is positioned and fixed on the set plate 3 as described above, and the screen 1 is controlled by the optical system A in a state where the temperature is controlled.
The lighting image of the liquid crystal display device 1 is projected onto the display 2. Therefore. The inspector 13 can inspect the lighting image by observing the screen 12.
【００２９】また、先述のように光源ランプ６の光によ
り液晶表示装置１のセンター（中央部）が極端に温度上
昇するときには、スポット冷却機構１４により強制的に
パネル１ａのセンターを冷却する。このようにして、液
晶表示装置１は、エージング装置で加熱されたときの温
度と同一温度（例えば、６０℃）となるように制御され
ており、エージング装置で発生したエージング不良を消
滅させることなく、また、光弾性効果によるスクリーン
むらを発生させることなく、検査員１３が本検査装置で
液晶表示装置１の不良を確認することができる。When the temperature of the center (central portion) of the liquid crystal display device 1 is extremely increased by the light of the light source lamp 6 as described above, the center of the panel 1a is forcibly cooled by the spot cooling mechanism 14. In this way, the liquid crystal display device 1 is controlled so as to have the same temperature (for example, 60 ° C.) as the temperature when heated by the aging device, and does not eliminate the aging failure generated in the aging device. In addition, the inspector 13 can confirm a defect of the liquid crystal display device 1 with the present inspection device without causing screen unevenness due to the photoelastic effect.
【００３０】なお、実施形態１では、これらのヒーター
５、測温体４、温度調整器１６のそれぞれの数は、図１
および図２ではヒーター５と測温体４とはそれぞれが５
本の例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、
多ければ多いほど細かいエリアで温度制御ができるため
より効果的である。また、スポット冷却機構１４を用い
れば、液晶表示装置１の点灯部分のセンターと周辺部の
温度差を５℃以内に抑えることができる。In the first embodiment, the numbers of the heater 5, the temperature measuring element 4, and the temperature controller 16 are as shown in FIG.
In FIG. 2 and FIG.
Although the example of the book was shown, the present invention is not limited to this,
The more it is, the more effective it is because the temperature can be controlled in a small area. In addition, if the spot cooling mechanism 14 is used, the temperature difference between the center of the lit portion of the liquid crystal display device 1 and the peripheral portion can be suppressed to 5 ° C. or less.
【００３１】次に、実施形態２を説明する。また、実施
形態２の検査装置は図４に示すように、液晶表示装置１
がパネル形態の場合に用いる検査装置の例である。図１
〜３の検査装置と同様部分には同一符号を付してその説
明を略する。また、液晶表示装置１はパネル形態であ
り、図２に示した駆動回路１ｂのないパネル部分１ａの
みのものである。Next, a second embodiment will be described. In addition, as shown in FIG.
Is an example of an inspection apparatus used in the case of a panel form. FIG.
The same reference numerals are given to the same parts as those of the inspection apparatuses of Nos. 1 to 3, and the description is omitted. Further, the liquid crystal display device 1 is in a panel form, and has only the panel portion 1a without the drive circuit 1b shown in FIG.
【００３２】図４のように、この検査装置は、ヒーター
５と測温体４が多数埋め込まれたセットプレート３が、
その保持面に対して水平な２次元方向（Ｘ方向およびＹ
方向）、及び回転方向（θ方向）に独立して駆動するＸ
Ｙθテーブル１９上部に接続される。また、セットプレ
ート３に取り付けられた状態の液晶表示装置１に上方に
は、その液晶表示装置１の端子配置に合わせてプローブ
ピン２０ａを配置製作したプローブヘッド２０がヘッド
ベース２１に取り付けられており、ヘッドベース２１に
取り付けられたガイド２２及び、Ｚ軸（図４で上下方
向）移動機構２３を通して、プローブヘッド２０に保持
されているプローブピン２０ａは、液晶表示装置１に接
触することができるようになっている。また、プローブ
ヘッド２０は、信号発生器１８に接続されており、プロ
ーブピン２０ａを介して点灯信号を入力して液晶表示装
置１を点灯させる。As shown in FIG. 4, the inspection apparatus includes a set plate 3 in which a large number of heaters 5 and temperature measuring elements 4 are embedded.
Two-dimensional directions (X direction and Y direction)
Direction), and X independently driven in the rotation direction (θ direction).
Table 19 is connected to the upper part. Above the liquid crystal display device 1 attached to the set plate 3, a probe head 20 having probe pins 20a arranged and manufactured in accordance with the terminal arrangement of the liquid crystal display device 1 is attached to a head base 21. The probe pins 20 a held by the probe head 20 can be brought into contact with the liquid crystal display device 1 through a guide 22 attached to a head base 21 and a Z-axis (vertical direction in FIG. 4) moving mechanism 23. It has become. The probe head 20 is connected to the signal generator 18 and inputs a lighting signal via the probe pin 20a to light the liquid crystal display device 1.
【００３３】上記検査装置によれば、セットプレート３
に吸着保持された液晶表示装置１は、ＸＹθテーブル１
９により保持面に対して水平な２次元方向、及び回転方
向に独立して移動してプローブヘッド２０に保持されて
いるプローブピン２０ａに平面視で位置合わせをし、そ
して、液晶表示装置１は上方に向けてＺ軸移動機構２３
により上昇してプローブヘッド２０に保持されているプ
ローブピン２０ａは、液晶表示装置１に接触することが
できる。プローブヘッド２０は、図示しない信号発生器
１８に接続されており、液晶表示装置１を点灯させる。According to the above inspection apparatus, the set plate 3
The liquid crystal display device 1 sucked and held on the XYθ table 1
9, the liquid crystal display device 1 is moved independently in the two-dimensional direction and the rotation direction with respect to the holding surface to align the probe pins 20a held by the probe head 20 in plan view, and the liquid crystal display device 1 Z-axis moving mechanism 23 upward
As a result, the probe pin 20 a raised by the probe head 20 and held by the probe head 20 can come into contact with the liquid crystal display device 1. The probe head 20 is connected to a signal generator 18 (not shown) and turns on the liquid crystal display device 1.
【００３４】これらの状態で、上述の実施形態１の検査
装置と同様にヒーター５と測温体４と温度調整器１６に
より液晶表示装置１の温度制御を行いながら、同様の光
学系Ａにてその点灯画像をスクリーン１２に投影する。
これにより、検査員１３はスクリーン１２を観察するこ
とによりエージング後のエージング不良を容易に検査す
ることができる。Under these conditions, the temperature of the liquid crystal display device 1 is controlled by the heater 5, the temperature measuring element 4, and the temperature controller 16 in the same manner as in the inspection apparatus of the first embodiment, and the same optical system A is used. The lighting image is projected on the screen 12.
Thereby, the inspector 13 can easily inspect the aging defect after aging by observing the screen 12.
【００３５】この実施形態２の検査装置によれば、ＸＹ
θテーブル１９上にセットプレート３が接続されかつＺ
軸移動機構２３によりプローブヘッド２０が上下動可能
になるため、当初、セットプレート３を自由な位置にで
きる。したがって、セットプレート３を据え付け易い位
置にしかつプローブヘッド２０を邪魔にならないように
上昇させて、液晶表示装置１をセットプレート３上に据
え付けることができる。よって、液晶表示装置１をセッ
トプレート３に据え付ける作業がきわめて簡便になる。According to the inspection apparatus of the second embodiment, XY
The set plate 3 is connected on the θ table 19 and Z
Since the probe head 20 can be moved up and down by the shaft moving mechanism 23, the set plate 3 can be initially set at a free position. Therefore, the liquid crystal display device 1 can be installed on the set plate 3 by setting the set plate 3 at a position where it can be easily installed and raising the probe head 20 so as not to interfere. Therefore, the work of installing the liquid crystal display device 1 on the set plate 3 becomes extremely simple.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、いかに液
晶表示装置自体が小型・高精細なものであり、その形態
がモジュール形態、パネル形態であっても、セットプレ
ート内にヒーターと測温体を埋め込んで、かつ点灯画像
をスクリーンに拡大投影等することによって、エージン
グにて発生したエージング不良を消滅させることなく、
確実にかつ容易に検査することができる。このことによ
り、今まで後工程や、市場へ流出していた不良品を未然
にくい止めることができるため、コストダウンにつなが
るばかりでなく、商品の高信頼性を得ることができる。
なお、これらのコストダウンの効果は、パネル形態の液
晶表示装置で実施した方がより効果的である。その理由
として、モジュール工程までエージング不良が流出した
場合、液晶表示装置の周辺には、点灯駆動させるための
ドライバー、基盤、偏光板といった部品が数多く実装さ
れているため、モジュール形態でエージング不良を検出
する工程フローではモジュール材料に損失が生じ、ま
た、モジュール工程の工数が増加するのを防止できるた
めである。また、保持機構に、液晶表示装置の横方向移
動部、縦方向移動、および回転方向移動部を有する移動
手段で位置制御を可能にするので、保持機構を液晶表示
装置の据え付け易い位置にして据え付けることができ、
液晶表示装置の据え付けの作業性が向上する。また、パ
ネル型の液晶表示装置の端子に点灯信号を通電するプロ
ーブピンを移動できるので、保持機構に液晶表示装置を
設置するだけで、それ以後はプローブピンを自動的に接
続することができ、液晶表示装置の検査用の点灯回路の
接続作業がきわめて簡便になる。As described above, according to the present invention, no matter how small and high definition the liquid crystal display itself is, even if the form is a module form or a panel form, a heater and a heater are provided in a set plate. By embedding a warm body and enlarging and projecting the lit image on the screen, etc., without erasing the aging defect generated by aging,
Inspection can be performed reliably and easily. As a result, defective products that have been leaked to the post-process or the market can be stopped beforehand, so that not only cost reduction but also high product reliability can be obtained.
Note that these cost reduction effects are more effective when implemented in a liquid crystal display device in a panel form. The reason for this is that if aging defects flow out to the module process, many components, such as drivers, substrates, and polarizing plates, for lighting and driving are mounted around the liquid crystal display device. This is because a module flow can be prevented from being lost and the number of steps in the module process can be prevented from increasing in the process flow. Further, since the position of the liquid crystal display device can be controlled by moving means having a horizontal moving portion, a vertical moving portion, and a rotating direction moving portion of the liquid crystal display device, the holding mechanism is installed at a position where the liquid crystal display device can be easily mounted. It is possible,
The workability of installing the liquid crystal display device is improved. In addition, since the probe pin for supplying a lighting signal to the terminal of the panel-type liquid crystal display device can be moved, only the liquid crystal display device is installed on the holding mechanism, and thereafter, the probe pin can be automatically connected, The connection work of the lighting circuit for inspection of the liquid crystal display device becomes extremely simple.
【図１】本発明の実施形態１にかかる検査装置の全体構
成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of an inspection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の検査装置のセットプレート周辺の詳細図
である。FIG. 2 is a detailed view around a set plate of the inspection apparatus of FIG. 1;
【図３】図１の検査装置のヒーターの電気回路のブロッ
ク説明図である。FIG. 3 is an explanatory block diagram of an electric circuit of a heater of the inspection apparatus of FIG. 1;
【図４】本発明の実施形態２にかかる検査装置の全体構
成図である。FIG. 4 is an overall configuration diagram of an inspection device according to a second embodiment of the present invention.
【図５】従来の検査装置の構成例説明図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration example of a conventional inspection apparatus.
【符号の説明】 １ 液晶表示装置 ２ 位置決め板 ３ セットプレート ４ 測温体 ５ ヒーター ６ 光源ランプ １４ スポット冷却機構 １８ 信号発生器 １９ ＸＹθテーブル ２０ プローブヘッド ２１ ヘッドベース ２２ 移動機構[Description of Signs] 1 Liquid crystal display device 2 Positioning plate 3 Set plate 4 Temperature measuring element 5 Heater 6 Light source lamp 14 Spot cooling mechanism 18 Signal generator 19 XYθ table 20 Probe head 21 Head base 22 Moving mechanism
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−233690（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−55719（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−202062（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−52392（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/13 101 Continuation of the front page (56) References JP-A-8-233690 (JP, A) JP-A-7-55719 (JP, A) JP-A-6-202062 (JP, A) JP-A-52-52392 (JP) , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G02F 1/13 101
Claims (6)
力された画像を確認して検査するための検査装置におい
て、 液晶表示装置を配置する保持機構に液晶表示装置を加熱
制御する手段と、 液晶表示装置の局部的な温度上昇防止のために局部冷却
手段と を備えて、液晶表示装置自体を加熱しながら検査
することを特徴とする液晶表示装置の検査装置。An inspection apparatus for inputting a lighting signal to a liquid crystal display device and checking and outputting an output image, wherein a means for controlling heating of the liquid crystal display device to a holding mechanism for arranging the liquid crystal display device ; , Local cooling to prevent local temperature rise of liquid crystal display
Means for inspecting the liquid crystal display device while heating the liquid crystal display device itself.
力された画像を確認して検査するための検査装置におい
て、液晶表示装置を配置する保持機構に液晶表示装置を加熱
制御する手段と、液晶表示装置の局部的な温度上昇防止
のために局部冷却手段と 、液晶表示装置に出力された画
像に光を照射して、該表示装置の画像が拡大されるよう
に保持された光学系とを備えて、液晶表示装置自体を加
熱しながら検査することを特徴とする液晶表示装置の検
査装置。2. An inspection apparatus for inputting a lighting signal to a liquid crystal display device and checking and inspecting an output image, wherein the liquid crystal display device is provided in a holding mechanism for arranging the liquid crystal display device. heating
Control means and local temperature rise prevention of liquid crystal display
For heating the liquid crystal display device itself by irradiating the image output to the liquid crystal display device with light for irradiating the image with light and holding the image of the display device so that the image is enlarged. An inspection apparatus for a liquid crystal display device, wherein the inspection is performed while performing the inspection.
表示装置は、反射型液晶表示装置であることを特徴とす
る液晶表示装置の検査装置。3. The inspection device for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device for inspection according to claim 1 or 2 is a reflection type liquid crystal display device.
表示装置を保持し、加熱手段及び温度制御手段を有する
保持機構と該表示装置に点灯信号を入力する信号入力手
段とから構成され、 さらに、前記保持手段に保持された反射型液晶表示装置
に光を照射して、該表示装置の画像が拡大されるように
配置された光学手段と、拡大された該表示装置の画像を
投射するためのスクリーンとを具備することを特徴とす
る反射型液晶表示装置の検査装置。4. The display device according to claim 1, further comprising a holding mechanism for holding the reflection type liquid crystal display device, having a heating unit and a temperature control unit, and a signal input unit for inputting a lighting signal to the display device. Irradiating the reflection type liquid crystal display device held by the holding device with light to arrange the optical device arranged so that the image of the display device is enlarged; and projecting the enlarged image of the display device. An inspection device for a reflection type liquid crystal display device, comprising:
は、液晶表示装置の横方向移動部、縦方向移動、および
回転方向移動部を有する移動手段で位置制御が可能にな
っていることを特徴とする液晶表示装置の検査装置。5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the position of the holding mechanism is controllable by a moving unit having a horizontal moving unit, a vertical moving unit, and a rotating moving unit of the liquid crystal display device. Inspection device for liquid crystal display devices.
置はパネル型であって、液晶表示装置の端子に点灯信号
を通電するプローブピンを移動する手段を有することを
特徴とする液晶表示装置の検査装置。6. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device is a panel type and has means for moving a probe pin for supplying a lighting signal to a terminal of the liquid crystal display device. Inspection equipment.
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