JP3250928B2 - 圧電磁器組成物 - Google Patents

圧電磁器組成物

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に係わ
り、例えば、加速度センサ,ノッキングセンサ,AEセ
ンサ等の圧電センサ及びセラミックスフイルタ,超音波
応用振動子,圧電ブザー,圧電点火ユニット,超音波モ
ータ,圧電ファン,圧電アクチュエータなどに適する圧
電磁器組成物に関する。
【0002】
【従来技術】従来から、圧電磁器組成物を利用した製品
としては、例えば、加速度センサ,ノッキングセンサ,
AEセンサ等の圧電センサ及びセラミックスフイルタ,
超音波応用振動子,圧電ブザー,圧電点火ユニット,超
音波モータ,圧電ファン,圧電アクチュエータ等があ
る。
【0003】ここで、加速度センサ,ノッキングセン
サ,AEセンサなどの圧電センサは、圧電素子に力を加
えると電荷が発生する、いわゆる機械的エネルギーを電
気的エネルギーに変換する機能を利用したセンサであ
る。圧電センサは、圧電効果を利用した固体素子である
ので、従来のストレインゲージや磁歪センサ等に比べ、
小型でかつ高感度であり、さらに温度特性に優れた特徴
を有しており、またシリコン単結晶などを用いた半導体
センサに比べると大幅にコストを安くできるなどの特徴
を有している。このため、エレクトロニクスとメカトロ
ニクスの高度化に伴い、例えば自動車のサスペンション
等における電子制御や電子機器等の振動制御など多方面
にわたる研究開発が進められている。
【0004】ところで、上述したセンサの用途が拡大す
るに従い、制御性能を向上させるため高感度な特性が要
求されることから、より大きな圧電出力定数g31が必要
とされるようになり、さらに車載用途などにおいては、
120℃を超える厳しい環境下で使用される場合もある
ことから、120〜200℃の温度に放置されても特性
劣化が無い、優れた耐熱性を有する圧電磁器組成物が求
められている。
【0005】従来、圧電センサの目的に合致する大きな
圧電出力定数g31を有する圧電磁器組成物としては、例
えば、特開平6−183834号公報に開示されるもの
が知られている。この公報に開示される圧電磁器組成物
は、Pb(ZrTi)O3 のPbの一部をLaで置換し
たいわゆるPLZTであり、圧電出力定数g31が約1×
10-2Vm/Nを示す良好な特性を有している。また、
耐熱性を向上させるために、例えばPLZTにMnOを
添加することも提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上述
したMnOを添加しない圧電磁器組成物にあっては、大
きな圧電出力定数g31が得られるものの耐熱性が悪く、
またMnOを添加した場合においても120〜200℃
の恒温中に曝された場合には耐熱性が未だ低いという問
題があった。さらにMnOを添加した場合には圧電出力
定数g31が極めて小さくなり、このため用途が限定され
てしまうなどの問題があった。
【0007】
【本発明の目的】本発明は、圧電出力定数g31が大き
く、かつ、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を提供するこ
とを目的とし、特に、例えば、加速度センサ、ノッキン
グセンサ、AEセンサ等の圧電センサに最適な圧電磁器
組成物を提供することを目的とする。
【0008】
【問題を解決するための手段】本発明者等は、第1成
分,第2成分であるPbZrO3 −PbTiO3 に固溶
する最適な成分の探索を行なった結果、Pb(Y1/2
1/2 )O3 、及びPb(Cr1/3 Sb2/3 )O3 とな
る組成を第3、第4成分として固溶させ、Pbの一部を
SrおよびLaにより置換し、Cr2 3 を適量添加含
有せしめることにより、圧電出力定数g31及び耐熱性の
面で優れた圧電磁器組成物を得ることができることを知
見し、本発明に至った。
【0009】即ち、本発明の圧電磁器組成物は、複合ペ
ロブスカイト型化合物であって、組成式が、 Pb1-x-ySrxLay(Y1/2Nb1/2a(Cr1/3Sb
2/3bZrcTi1-a-b-c3 で表わされる主成分100重量部に対して、Cr含有化
合物をCr23換算でz重量部添加含有してなり、前記
x、y、z、a、bおよびcが、0.01≦x≦0.0
4、0.005≦y≦0.02、0≦z≦0.5、0.
003≦a≦0.04、0≦b≦0.03、0.53≦
c≦0.62、0.003≦a+b≦0.05(但し、
z=0の場合0.01≦b、z>0の場合0≦b)を満
足するものである。
【0010】ここで、x、y、a、b、c及びCr含有
化合物のCr2 3 置換量zを上記の範囲に設定した理
由について説明する。
【0011】PbのSrによる置換は、大きな圧電出力
定数g31を得るのに有効であるが、その置換量xを0.
01≦x≦0.04としたのは、xが0.04より大き
いと耐熱性が低下するとともに圧電出力定数g31が1×
10-2Vm/Nより小さくなるからである。また、xが
0.01より小さいと圧電出力定数g31向上の効果が得
られないからである。Srの置換量xは0.02〜0.
03であることが望ましい。
【0012】また、PbのLaによる置換は、より大き
な圧電出力定数g31を得るのに有効であるが、その置換
量yを0.005≦y≦0.02としたのは、yが0.
02より大きいと耐熱性が著しく低下するからである。
また、0.005より少ないと所望の圧電出力定数g31
が得られないからである。Laの置換量yは0.005
〜0.01であることが望ましい。
【0013】また、Tiの(Y1/2 Nb1/2 )による置
換はキュリー温度を高い温度に保ちながら圧電出力定数
31を大きくする効果がある。その置換量aを0.00
3≦a≦0.04としたのは、aが0.04より多いと
耐熱性が低下し圧電出力定数g31が劣化するからであ
る。また、置換量aが0.003より少ないと圧電出力
定数g31向上の効果が得られないためである。Tiの
(Y1/2 Nb1/2 )による置換量aは0.01≦a≦
0.02であることが望ましい。
【0014】また、Tiの(Cr1/3 Sb2/3 )による
置換は、機械的品質係数Qmをあまり高めず耐熱性を向
上させるため広帯域のセンサに有用な特性が得られる
が、その置換量bを0≦b≦0.03としたのは、置換
量bが0.03よりも大きい場合にはキュリー温度の低
下とともに所望の耐熱性が得られなくなるためである。
【0015】また、置換量bが0.01よりも小さい場
合には機械的品質係数Qmが低下する傾向にあるため、
(Cr1/3 Sb2/3 )の置換量bは0.01≦b≦0.
03とすることが望ましい。
【0016】一方、磁器自体の耐熱性はCr含有化合物
を添加することによってもある程度向上させられるた
め、Tiの(Cr1/3 Sb2/3 )による置換量bが0の
場合にはCr含有化合物を添加することにより耐熱性を
向上しても良い。Tiを(Cr1/3 Sb2/3 )により置
換し、さらにCr含有化合物を添加する組成が、耐熱性
を向上する点で最適な組成である。
【0017】尚、Cr含有化合物の添加は機械的品質係
数Qmを著しく大きくするため共振タイプのセンサに有
用な特性となる。そのため、検出信号や検出方式に応じ
て(Cr1/3 Sb2/3 )の置換かCr含有化合物の添加
かを選択すれば良い。
【0018】さらに、Cr含有化合物の添加を、前述し
た主成分100重量部に対して、Cr2 3 換算量zを
0≦z≦0.5重量部としたのは耐熱性を向上させるた
めである。そして、Cr含有化合物のCr2 3 換算量
zが0.5重量部よりも多い場合には、圧電出力定数g
31が1×10-2Vm/Nより小さくなるためである。
【0019】ただし、Cr含有化合物のCr2 3 換算
量zが0である時、(Cr1/3 Sb2/ 3 )の置換量bが
0.01以上である必要がある。これは、zが0である
時に、(Cr1/3 Sb2/3 )の置換量bが0.01より
小さい場合には、耐熱性が不十分となるからである。
【0020】Cr含有化合物のCr2 3 換算量zは
0.1≦z≦0.25重量部であるでことが望ましい。
Cr含有化合物としては、金属Cr、Cr2 3 、Cr
2 、Cr3 8 がある。
【0021】また、0.003≦a+b≦0.05とし
たのは、Tiの(Y1/2 Nb1/2 )と(Cr1/3 Sb
2/3 )の置換量の合量a+bが0.05より多くなると
耐熱性が低下するからである。
【0022】PZTを主成分とした圧電磁器組成物は、
PbZrO3 とPbTiO3 の固溶比率を変化させると
比誘電率、電気機械結合係数が極大値を示すMPB(組
成相境界)が存在する。圧電センサ材料としては、この
MPBよりPbZrO3 が多い組成領域において、高い
電気機械結合係数を有しながら比誘電率が急峻に小さく
なる組成値を用いることになる。cの値を0.53≦c
≦0.62としたのは、0.53より小さいとMPB領
域を捉えることになり大きな圧電出力定数g31が得られ
ないばかりでなく耐熱性が不十分となるためである。ま
た、0.62より大きいと所望の圧電出力定数g31が得
られないためである。
【0023】本発明の圧電磁器組成物は、金属元素の原
子比による組成式を、Pb1-x-y Srx Lay (Y1/2
Nb1/2 a (Cr1/3 Sb2/3 b Zrc Ti
1-a-b-c 3 と表したとき、x、y、a、b、cが、
0.02≦x≦0.03、0.005≦y≦0.01、
0.01≦a≦0.02、0.01≦b≦0.02、
0.003≦a+b≦0.05、0.53≦c≦0.6
2を満足する主成分100重量部に対して、Cr含有化
合物のCr2 3 換算で0.1〜0.25重量部添加含
有してなることが望ましい。
【0024】本発明に基づく圧電磁器は、例えば、原料
粉末として、PbO、ZrO2 、TiO2 、SrC
3 、La2 3 、Y2 3 、Nb2 5 、Cr2 3
及びSb2 5 の各粉末を秤量し、混合する。この混合
物を900〜1000℃の温度で仮焼し、当該仮焼物を
粉砕する。その後、粉砕物に場合によりCr含有化合物
を添加するとともに有機バインダー等を添加して混合
し、例えば、プレス成形により所定形状に成形し、鉛雰
囲気において1200〜1300℃で1〜5時間焼成
し、分極処理を行うことにより圧電磁器が得られる。
【0025】
【作用】本発明の圧電磁器組成物では、Pbの一部をS
r及びLaで置換し、PbZrO3 −PbTiO3 に、
Pb(Y1/2 Nb1/2 )O3 及びPb(Cr1/3 Sb2/
3 )O3 となる組成を第3、第4成分として固溶し、こ
の基本成分にCr2 3を適量添加含有することによ
り、1×10-2Vm/Nを超える大きな圧電出力定数g
31が得られるとともに、一定温度の恒温中に長時間放置
しても圧電出力定数g31の特性劣化が無く、優れた耐熱
性が得られる。
【0026】
【実施例】以下、本発明を次の実施例で説明する。原料
粉末として、PbO、ZrO2 、TiO2 、SrC
3 、La2 3 、Y2 3 、Nb2 5 、Cr2 3
及びSb2 5 の各粉末を用いて、これらを表1に示す
組成となるように秤量し、ボールミルにて24時間湿式
混合した。次いで、この混合物を脱水、乾燥した後、9
50℃の温度で仮焼し、当該仮焼物を再びボールミルで
24時間湿式粉砕した。その後、粉砕物にCr2 3
表1に示す量だけ添加するとともに、有機バインダー
(PVA)を混合し、造粒した。得られた粉末を1.5
ton/cm2 の圧力で直径23mm、厚さ3mmの寸
法からなる円板を作製し、これらを鉛雰囲気において1
250℃で3時間の条件で焼成した。得られた焼結体か
ら長さ12mm、幅3mm、厚さ1mmの矩形状に切り
出し加工を行い、12mm×3mmの両面にそれぞれ銀
電極の焼付けを行い、80℃のシリコンオイル中で1.
5kV/mm以上の直流電圧を印加して分極処理を行な
った。分極処理された試料を220℃の恒温槽の中で1
時間エージングした後、24時間放置した。このように
して得られた磁器から、電子材料工業会(EMAS)の
規格化された測定法に基づき圧電出力定数g31を調べ
た。
【0027】また耐熱性は、200℃の恒温中で100
時間放置後の圧電出力定数g31の保持率を測定すること
で求めた。ここで、保持率が95%以上を○、95%未
満を×とした。これらの結果を表1に示す。
【0028】
【表1】
【0029】この表1より、本発明の圧電磁器組成物で
は、圧電出力定数g31が1×10−2Vm/N以上、耐
熱性を示す圧電出力定数g31の保持率も95%以上と
優れた特性を示すことが判る。
【0030】図1に、表1における試料No.5及び27
の耐熱性の評価を示す。この図より、比較例であるNo.
27の試料は、時間とともに圧電出力定数g31が低下す
るのに対して、本発明品のNo.5の試料は、200℃の
恒温中で100時間放置しても殆ど圧電出力定数g31
保持率は変化しないことが判る。
【0031】即ち、例えば、圧電センサを自動車のエン
ジンの近く、もしくは、接触した状態で使用する場合1
20〜200℃の高温下においても特性劣化が生じな
い、いわゆる耐熱性に優れていることが必要とされる
が、試料No.5の圧電磁器組成物は圧電出力定数g31
16×10-3Vm/Nと他に類の無い極めて大きな値を
有しながら、200℃恒温中で100時間放置しても特
性劣化が無い優れた耐熱性を示すことから、圧電センサ
材料として非常に優れている。
【0032】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の圧電磁器組
成物では、1×10-2Vm/Nを超える大きな圧電出力
定数g31が得られるとともに、高温中に長時間放置して
も圧電出力定数g31の特性劣化が無く、優れた耐熱性を
示すため、特に圧電センサ用素子の圧電材料として好適
に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】200℃恒温中での圧電出力定数g31の保持率
と時間の関係を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉村 健一 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ 株式会社総合研究所内 審査官 武重 竜男 (56)参考文献 特開 昭62−46961(JP,A) 特開 平2−90579(JP,A) 特開 平6−183834(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/42 - 35/50 CA(STN) REGISTRY(STN)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複合ペロブスカイト型化合物であって、組
    成式が、 Pb1-x-ySrxLay(Y1/2Nb1/2a(Cr1/3Sb
    2/3bZrcTi1-a-b-c3 で表わされる主成分100重量部に対して、Cr含有化
    合物をCr23換算でz重量部添加含有してなり、前記
    x、y、z、a、bおよびcが、下記の条件を満足する
    ことを特徴とする圧電磁器組成物。 0.01 ≦x≦0.04 0.005≦y≦0.02 0 ≦z≦0.5 0.003≦a≦0.04 0 ≦b≦0.03 0.53 ≦c≦0.62 0.003≦a+b≦0.05 (但し、z=0の場合0.01≦b、z>0の場合0≦
    b)
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