JP3246232U - レチクルケース保管装置 - Google Patents

Abstract

【課題】レチクルの有無を容易に把握できるレチクルケース保管装置を提供する。【解決手段】レチクルケース保管装置は、主に、レチクルケース搬送装置と、保管装置と、レチクル保管エリアと、レチクルケース保管エリアと、マスクパッケージと、透光部と、ファン濾過装置と、レチクルケース蓋開け装置と、レチクル搬送装置と、レチクルクリーニングチャネルと、レチクルセンサーと、レチクルケースセンサーと、を含み、レチクルケース搬送装置及びレチクル搬送装置を通じて、レチクルケース蓋開け装置でレチクルケースの蓋体を開けた後、レチクルとレチクルケースをマスクパッケージ内とレチクルケース保管エリア内に別々に保管し、かつレチクルセンサー及びレチクルケースセンサーにより、レチクル及びレチクルケースの配置角度に対して補正を行い、光透過部により、マスクパッケージを開かずにマスクパッケージの数量とレチクルの有無を把握できる。【選択図】図１

Description

本考案は、レチクル及びレチクルケースをそれぞれ独立して保管する技術と、マスクパッケージを開かない状態下で、内部のレチクルの状態を把握することができる、レチクルケース保管装置に関する。

半導体プロセスにおいては、自動材料搬送システム（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｈａｎｄｌｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ、ＡＭＨＳ）と、材料隔離標準メカニカルインターフェース（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ、ＳＭＩＦ）設備を運用し、ウェハーとレチクルを使用しない期間のメンテナンスと搬送を行うことで、従来の手作業による運搬に取って代わり、クリーンルーム設備の設置とメンテナンスコストを削減し、ウェハーとレチクルの清浄度を高めるとともに、非常に高い歩留まりを達成できるため、近年、ＡＭＨＳとＳＭＩＦはすでに国際的な半導体工場設備の標準規格となっている。

上述の技術概念に基づき、露光で使用するとき以外、レチクルの搬送過程や保管期間においては、清浄度と気密性が高いキャリア内（マスクパッケージ（Ｍａｓｋ Ｐａｃｋａｇe）、レチクルＳＭＩＦポッド（Ｒｅｔｉｃｌｅ ＳＭＩＦ Ｐｏｄ、ＲＳＰ）など）に置いて、レチクルの高い清浄度を確保する必要がある。これは、レチクルの回路パターンが汚染されると、露光過程で、ウェハー上に歪んで現像され、ウェハーの瑕疵や欠陥につながり、ウェハーの歩留まりが低下するためである。このため、マスクパッケージは極めて重要である。

しかしながら、上述のマスクパッケージは使用時に次のような問題と欠点が確実に存在し、改善が必要である。

一般的なマスクパッケージは、単一の搬送装置及び単一の保管空間を使用してマスクパッケージの保管を行うことが多いが、このような方式では保管量に限りがあり、保管量をさらに向上することができない。保管量を向上させたい場合は、保管装置全体の体積を大きくする必要があり、非常にスペースを占用するほか、コストが高すぎるなどの問題が派生する。さらに、通常マスクパッケージ内のレチクルの有無を確認したいときは、いずれもマスクパッケージを開けなければ確認することができず、その過程で無形の時間コストが発生し、全体の効率が低下する。

本考案の主な目的は、レチクルケース搬送装置とレチクル搬送装置の独立した運用により、レチクルケース蓋開け装置でレチクルケースの蓋を開けた後、レチクルとレチクルケースをマスクパッケージ内とレチクルケース保管エリア内に別々に保管し、保管容量を効果的に最大化することができ、かつレチクルセンサーとレチクルケースセンサーの設計により、レチクル及びレチクルケースの配置角度に対して調整と補正を行い、配置角度の誤りにより引き起こされるぶつかったときの衝撃の問題を回避することができるほか、レチクルセンサーに光透過部を組み合わせることで、マスクパッケージ内のレチクルの有無、及びマスクパッケージの数量を判別でき、別途マスクパッケージを開く必要なく、すぐにマスクパッケージの数量とレチクルの有無を把握できる等の利点を備えた、レチクルケース保管装置を提供することにある。

以下、本考案について説明する。請求項１に記載するレチクルケース保管装置は、主に、レチクルケース搬送装置と、保管装置と、ファン濾過装置と、少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置と、レチクル搬送装置と、複数のレチクルクリーニングチャネルと、レチクルケースセンサーと、を含み、
前記保管装置が、前記レチクルケース搬送装置の一側に設置され、レチクル保管エリアと、前記レチクル保管エリアの一側に設けられたレチクルケース保管エリアを含み、前記レチクル保管エリア内に複数のマスクパッケージが設置され、各前記マスクパッケージの左右両側にそれぞれ光透過部が設けられ、
前記ファン濾過装置が、前記保管装置上方に設置され、
前記少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置が、前記保管装置の前記ファン濾過装置と異なる一側に設置され、前記レチクルケース搬送装置により搬送されてくる蓋開けの必要がある少なくとも１つのレチクルケースを載置して、前記レチクルケース上の蓋体に対して開く動作を実行し、
前記レチクル搬送装置が、前記保管装置の一側に設置され、レチクルに対して受け取りの動作を実行し、
前記複数のレチクルクリーニングチャネルが、それぞれ各前記マスクパッケージ内に連接され、前記マスクパッケージ内の温湿度を制御し、
前記複数のレチクルセンサーが、前記レチクル搬送装置とデータ接続され、前記レチクルの配置角度を検出し、かつ前記レチクル搬送装置により配置角度の微調整を行うとともに、前記レチクルセンサーが前記光透過部を介して前記マスクパッケージ内に前記レチクルが入っているか否かを判別し、
前記レチクルケースセンサーが、前記レチクルケース搬送装置とデータ接続され、前記レチクルケースの配置角度を検出し、かつ前記レチクルケース搬送装置により配置角度の微調整を行う。

請求項２に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクルケース上に読み取りモジュールが設置される。

請求項３に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１における各マスクパッケージ上に複数のレチクル連結部が設けられ、各前記マスクパッケージが各前記レチクル連結部の連結を通じて積み重ねて配置される。

請求項４に記載するレチクルケース保管装置は、請求項３における各マスクパッケージが、積み重ねて配置された後１つのパッケージユニットを形成し、かつ各前記マスクパッケージが積み重ねられて複数のパッケージユニットが形成されたとき、各前記パッケージユニットが環状に配列されて設置される。

請求項５に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクルケース搬送装置の一側に、天井搬送車プラットフォームが設置される。

請求項６に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクルケース搬送装置の一側に、手動式載置台が設置される。

請求項７に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクルセンサーが、前記レチクルの落下の有無及び前記レチクルの位置を検出することができ、前記レチクルケースセンサーが、前記レチクルケースの落下の有無及び前記レチクルケースの位置を検出することができる。

請求項８に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクル搬送装置が、レチクル搬送レールと、前記レチクル搬送レール上に可動的に設置されたレチクル搬送載置台と、前記レチクル搬送載置台に連結されたレチクル搬送部材と、前記レチクル搬送載置台の一側に設置され、各前記マスクパッケージを開くために用いる支持部材を備える。

請求項９に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクルケース搬送装置が、垂直式のレチクルケース搬送レールと、前記レチクルケース搬送レール上に可動的に設置され、かつ回転機構を備えた支持アームと、前記支持アームに可動的に連接される搬送アームを備え、前記支持アームにより前記搬送アームを垂直移動させる。

請求項１０に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１における各マスクパッケージが、積み重ねて配置された後１つのパッケージユニットを形成し、各前記パッケージユニットにさらに前記パッケージユニットを回転させることができるパッケージ回転装置が設置され、かつ前記パッケージ回転装置の一側にさらに前記レチクルケースを回転させることができるレチクルケース保管エリア回転装置が設置される。

請求項１１に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１における保管装置の前記ファン濾過装置と異なる一側に、前記レチクルケース搬送装置により搬送されてくる保管の必要がある少なくとも１つのレチクルケースを載置するための少なくとも１つの一時保管台が設置され、かつ前記一時保管台の一側に、前記一時保管台の温湿度を制御するための一時保管クリーニングチャネルが設けられる。

請求項１２に記載するレチクルケース保管装置は、請求項１におけるレチクルケース蓋開け装置の一側に、前記レチクルの配置方向を調整するためのレチクル回転装置が設置される。

本考案のレチクルケース保管装置は、レチクルケース搬送装置と、保管装置と、レチクル保管エリアと、レチクルケース保管エリアと、複数のマスクパッケージと、複数の光透過部と、ファン濾過装置と、少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置と、レチクル搬送装置と、複数のレチクルクリーニングチャネルと、複数のレチクルセンサーと、レチクルケースセンサーと、を含み、当該レチクルケース搬送装置によりレチクルケースを一時保管台またはレチクルケース蓋開け装置に搬送し、当該レチクルケース蓋開け装置によりレチクルケースに対して蓋を開ける動作を行い、レチクルがレチクル搬送装置によりレチクル保管エリア上のマスクパッケージ内に送られ、レチクルケースがレチクルケース搬送装置によりレチクルケース保管エリア内に送られ、光透過部に組み合わせたレチクルセンサーによりマスクパッケージ内のレチクルの有無とマスクパッケージの数量を確認することができ、一時保管クリーニングチャネル及びレチクルクリーニングチャネルが、一時保管台及びマスクパッケージ内の空間に対して温湿度の安定化を行うことができ、またレチクルセンサーがさらに当該レチクルの配置角度を検出し、レチクル搬送装置により配置角度の微調整を行うことができ、レチクルケースセンサーが同様にレチクルケースの配置角度を検出し、レチクルケース搬送装置により配置角度の微調整を行うことができ、さらにファン濾過装置により、保管装置及びレチクルケース蓋開け装置等の部分に対して空気の流通と浄化を行うことができる。

上述の技術により、本考案は、従来のマスクパッケージに存在する、一般的なマスクパッケージでは、単一の搬送装置及び単一の保管空間を使用してマスクパッケージの保管を行うことが多いが、このような方式では保管量に限りがあり、保管量をさらに向上することができず、保管量を向上させたい場合は、保管装置全体の体積を大きくする必要があり、非常にスペースを占用するほか、コストが高すぎるなどの問題が派生し、さらに、通常マスクパッケージ内のレチクルの有無を確認したいときは、いずれもマスクパッケージを開けなければ確認することができず、その過程で無形の時間コストが発生し、全体の効率が低下するといった問題点を解決し、上述のような利点を達成する実用性と進歩性を備えている。

本考案の最良の実施例の立体透視図である。 本考案の最良の実施例のレチクルケース搬送装置の平面透視図である。 本考案の最良の実施例のマスクパッケージの立体外観図である。 本考案の図３に示す最良の実施例のＡ-Ａ線での断面図である。 本考案の最良の実施例のレチクル蓋開け装置の立体透視図である。 本考案の最良の実施例のレチクル回転装置の立体外観図である。 本考案の最良の実施例のレチクル搬送装置の立体外観図である。 本考案の最良の実施例のレチクル一時保管台の立体外観図である。 本考案の最良の実施例のレチクルケース運搬を示す立体外観図である。 本考案の最良の実施例のレチクルケース搬送を示す概略図１である。 本考案の最良の実施例の一時保管台のクリーニングを示す概略図である。 本考案の最良の実施例のレチクルケース搬送を示す概略図２である。 本考案の最良の実施例のレチクルケース蓋開けを示す概略図１である。 本考案の最良の実施例のレチクルケース蓋開けを示す概略図２である。 本考案の最良の実施例のレチクルの回転を示す概略図である。 本考案の最良の実施例のスキャンを示す概略図である。 本考案の最良の実施例のマスクパッケージを開く動作を示す概略図である。 本考案の最良の実施例のレチクル配置を示す概略図である。 本考案の最良の実施例のレチクルクリーニングチャネルの動作を示す概略図である。 本考案の最良の実施例のレチクルケースの配置を示す概略図である。 本考案の別の最良の実施例の読み取りモジュールを示す概略図である。 本考案のさらに別の最良の実施例のレチクル連結部を示す概略図である。 本考案のさらに別の最良の実施例の回転装置を示す概略図である。 本考案のまたさらに別の最良の実施例の手動式載置台を示す概略図である。 本考案のさらに異なる最良の実施例の立体透視図である。

図１から図８の本考案の最良の実施例の立体透視図からレチクル一時保管台を示す概略図までを参照する。これらの図からはっきりとわかるように、本考案は、
レチクルケース搬送装置１と、保管装置２と、ファン濾過装置２３と、少なくとも１つの一時保管台３と、少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置４と、レチクル回転装置５と、レチクル搬送装置６と、一時保管クリーニングチャネル３１と、複数のレチクルクリーニングチャネルＡ１２と、複数のレチクルセンサー６１と、レチクルケースセンサー１１と、を含む。

当該保管装置２が当該レチクルケース搬送装置１の一側に設置され、レチクル保管エリア２１と、当該レチクル保管エリア２１の一側に設けられたレチクルケース保管エリア２２を含み、当該レチクル保管エリア２１内に複数のマスクパッケージＡ１が設置され、各当該マスクパッケージＡ１の左右両側にそれぞれ光透過部Ａ１１が設けられる。

当該ファン濾過装置２３が、当該保管装置２の上方に設置される。

当該少なくとも１つの一時保管台３が、当該保管装置２の当該ファン濾過装置２３と異なる一側に設置され、当該レチクルケース搬送装置１から運搬されてきた、保管したい少なくとも１つのレチクルケースを受け取って載置するために用いられる。

当該少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置４が、当該保管装置２の当該ファン濾過装置２３と異なる一側に設置され、当該レチクルケース搬送装置１から運搬されてきた、蓋を開けたい少なくとも１つのレチクルケースを受け取って載置し、当該レチクルケース上の蓋体を開ける動作を行う。本実施例は２つを例とするが、１つのレチクルケース蓋開け装置４のみ設置する必要がある場合、そのうち１つのレチクルケース蓋開け装置４を取り外せば、単一のレチクルケース蓋開け装置４を形成することができる。

当該レチクル回転装置５が、当該レチクルケース蓋開け装置４の一側に設置され、当該レチクルの配置方向を調整するために用いられる。

当該レチクル搬送装置６が、当該保管装置２の一側に設置され、レチクルを受け取り、当該レチクルを当該レチクル回転装置５上まで搬送して載置する。

当該一時保管クリーニングチャネル３１が、当該一時保管台３の一側に設置され、クリーニング装置９に接続して当該一時保管台３の温湿度を制御する。

当該複数のレチクルクリーニングチャネルＡ１２が、各当該マスクパッケージＡ１内にそれぞれ接続され、クリーニング装置９に接続して当該マスクパッケージＡ１内の温湿度を制御する。

当該複数のレチクルセンサー６１が、当該レチクル搬送装置６とデータ接続され、当該レチクルの配置角度を検出し、当該レチクル搬送装置６により配置角度の微調整を行うために用いられ、かつ光透過部Ａ１１を介して当該マスクパッケージＡ１内の当該レチクルの有無と当該マスクパッケージＡ１の数量を判別することができる。

当該レチクルケースセンサー１１が、当該レチクルケース搬送装置１とデータ接続され、当該レチクルケースの配置角度を検出し、当該レチクルケース搬送装置１により配置角度の微調整を行うために用いられる。

そのうち、当該レチクルケース搬送装置１の一側に天井搬送車プラットフォーム７が設置される。

そのうち、当該レチクルセンサー６１は、当該レチクルが落下していないかの検出とレチクル位置の測定を行うことができ、当該レチクルケースセンサー１１は、当該レチクルケースが落下していないかの検出とレチクルケース位置の測定を行うことができる。

そのうち、当該レチクル搬送装置６は、レチクル搬送レール６２と、当該レチクル搬送レール６２上に可動的に設置されたレチクル搬送載置台６３と、当該レチクル搬送載置台６３に連結されたレチクル搬送部材６４と、当該レチクル搬送載置台６３の一側に設置され、各当該マスクパッケージＡ１を開くために用いる支持部材６５を備え、かつレチクル搬送部材６４は、支持部材６５と個別に独立して動作する。

そのうち、当該レチクル搬送載置台６３は主に、レチクル搬送載置台モーター６３１にラックとピニオンを組み合わせることにより、当該レチクル搬送レール６２上で垂直の昇降移動を行うことができる。

そのうち、当該レチクル搬送部材６４は、伸縮移動可能なレチクル搬送部材６４であり、かつ支持部材６５の前端箇所に当該レチクルセンサー６１が設置される。

そのうち、当該レチクルケース搬送装置１は、垂直式のレチクルケース搬送レール１２と、当該レチクルケース搬送レール１２上に可動的に設置され、かつ回転機構１３を備えた支持アーム１４と、当該支持アーム１４と可動的に連接された搬送アーム１５を備え、当該支持アーム１４により当該搬送アーム１５を垂直移動させる。

そのうち、当該支持アーム１４が当該レチクルケース搬送レール１２上で移動する方法は、モーター１４１によりピニオンを動かし、ピニオンをラックで上下させて連動する技術を通じ、支持アーム１４の垂直昇降移動の動作を達成する。

そのうち、当該回転機構１３は、モーターで搬送アーム１５を回転させるものを例とする。

そのうち、当該搬送アーム１５は、搬送アームモーター１５１と、当該搬送アームモーター１５１と連動する搬送アームプーリー１５２と、当該搬送アームプーリー１５２に連結された搬送アームベルト１５３を含み、当該搬送アームベルト１５３はアーム１５４と結合される。

そのうち、当該光透過部Ａ１１は通孔である。

そのうち、当該ファン濾過装置２３は、ファンモジュール２３１と、当該ファンモジュール２３１の一側に設置されたケミカルフィルター２３２を含み、当該ファンモジュール２３１は、ファンと、ファンを駆動して回転させるモーターを含み、モーターが外部電力を受け取ると、ファンを動かして回転させることができる。

そのうち、当該一時保管台３は、本実施例において複数個を例としているが、一時保管台３を１つだけ設置したい場合、その他の一時保管台３を取り外せば、単一の一時保管台３を形成することができる。

そのうち、当該レチクルケース蓋開け装置４は、レチクルケースを置くための蓋開け台４１と、当該蓋開け台４１の下方に設置され、レチクルケースの蓋体に対して開く操作を行う蓋開け昇降装置４２を含み、当該蓋開け昇降装置４２が、蓋開け昇降台４２１と、当該蓋開け昇降台４２１の一側に設置されたレチクル挟持機構４２２を含む。

そのうち、当該レチクル回転装置５が、レチクルケースを置くための回転テーブル５１と、当該回転テーブル５１に連結され、当該回転テーブル５１を駆動して回転させる回転部材５２と、当該回転テーブル５１の側部に設置された複数の当接機構５３を含み、当該回転部材５２が回転エアシリンダー、回転モーターまたはその他回転機能を備えた機構のいずれかとすることができる。

そのうち、当該クリーニング装置９は、乾燥空気を送り出すことができるシステム、あるいは不活性ガス（窒素N２）を提供できる窒素パージシステムとすることができ、これは次世代半導体の高清浄度に属し、内部のパーティクルや汚染を効果的に抑制するとともに、相対湿度を下げることができる。

そのうち、当該レチクルセンサー６１と当該レチクルケースセンサー１１は、光電センサーまたは赤外線センサーのいずれかとすることができる。

図１から図２０に示す本考案の最良の実施例の立体透視図からレチクルケースの配置を示す概略図を同時に参照する。これらの図からはっきりとわかるように、レチクルケースを入れたいときは、以下の手順に従って行うことができる。

（Ａ）天井搬送車によりレチクルケースＣを天井搬送車プラットフォーム７まで搬送した後、レチクルケース搬送装置１が引き継いで搬送を行う（図９参照）。

（Ｂ）支持アーム１４がモーター１４１を利用し、レチクルケース搬送レール１２上で垂直移動を行うことができ、支持アーム１４が上述の特定位置まで移動された後、搬送アームモーター１５１により搬送アームプーリー１５２を動かし、搬送アームベルト１５３を動作させ、アーム１５４を駆動して外に延伸させ、レチクルケースＣを掴んで固定し、保持が安定した後、搬送アームベルト１５３がアーム１５４を元の位置に戻し、回転機構１３が正確な方向に回転を行う。

（Ｃ）搬送アーム１５がレチクルケースＣを一時保管台３上に置く。それが１組目のレチクルケースＣである場合は、この工程をスキップし、レチクルケースＣは直接蓋開け台４１上に載置される。２つ目の蓋を開けるレチクルケースＣはまず一時保管台３上に置かれ、前のレチクルケースＣの処理完了を待ってから、搬送アーム１５によりレチクルケースＣが蓋開け台４１上へと送られ、蓋開け動作が行われる（図１、図５、図１０参照）。

（Ｄ）搬送アーム１５がレチクルケース搬送レール１２を利用してレチクルケースＣをレチクルケース蓋開け装置４の蓋開け台４１まで移動し、回転の必要がある場合は、回転機構１３によりレチクルケースＣを正確な位置に回転させてから配置を行い、かつレチクルケース搬送装置１の搬送過程において、レチクルケースセンサー１１によりレチクルケースＣの搬送過程で落下が発生していないか検出し、状況が発生したときは、搬送の動作を直ちに停止することができる（図２、図５、図１２参照）。

（Ｅ）蓋開け昇降台４２１を介してレチクルケースＣを下に移動させる。このとき、蓋体Ｃ１は面積がレチクルケースＣの下ケースＣ２より大きいため、蓋体Ｃ１の辺縁が蓋開け台４１に当たり、下ケースＣ２が蓋開け昇降台４２１上に載置され、下ケースＣ２が蓋開け昇降台４２１により移動されて蓋体Ｃ１と分離され、蓋開けの動作が形成される。この後、レチクル挟持機構４２２によりレチクルＤに対して挟持固定を行い、その後蓋開け昇降台４２１が再度下方へ移動し、レチクルＤと蓋開け昇降台４２１が分離され、最後にレチクル搬送部材６４がレチクル挟持機構４２２上から受け取り、搬送する（図５、図１３、図１４参照）。また、必要に応じて、レチクルＤをレチクル回転装置５上に配置し、レチクルＤを配置したい方向に調整することができ、元の方向がすでに正確であれば、レチクル搬送部材６４はレチクルＤをレチクル回転装置５上に配置しない。また、回転動作について詳しく説明すると、回転を行う必要があるとき、レチクル搬送部材６４によりレチクルＤを回転テーブル５１上まで搬送し、かつ回転部材５２を利用して回転テーブル５１を駆動し、回転動作を行わせ、レチクルＤの回転動作を完了することができる。この後、当接機構５３がレチクルＤに対して側辺を押さえる動作をすることで、レチクルＤを安定させる（図１５参照）。

（Ｆ）レチクル搬送部材６４により回転テーブル５１上のレチクルＤに対し、掴んで固定する動作を行う。

（Ｇ）レチクル搬送部材６４がレチクルＤをレチクル保管エリア２１の一側に移送する。移送期間中はレチクル搬送レール６２を介して移動を行い、このとき、レチクルセンサー６１がレチクル搬送部材６４の移動前に、どのマスクパッケージＡ１内にレチクルＤを入れていないかを検出して確認する。この確認方法は、光透過部Ａ１１を組み合わせて赤外線で確認を行うものであり、遮蔽される場合はマスクパッケージＡ１内にレチクルＤがあることを表し、遮蔽されない場合はレチクルＤがないことを表す。確認完了後、レチクル搬送載置台６３がレチクル搬送載置台モーター６３１の駆動を通じて、レチクル搬送レール６２上を空のマスクパッケージＡ１前方まで移動され、その後支持部材６５がレチクル保管エリア２１内のマスクパッケージＡ１を持ち上げ、レチクル搬送部材６４上のレチクルＤを入れるための空間を生み出すことができる。その後レチクルセンサー６１で先にレチクルＤの配置角度がずれていないか検出を行い、ずれがある状態が生じたときは、レチクル搬送部材６４が配置角度を微調整し、角度が最良の状況に調整されたら、レチクル搬送部材６４が前述の空間内に向かって延伸移動し、上述のレチクルＤを置く動作を行う（図１６、図１７、図１８参照）。

（Ｈ）搬送アーム１５がレチクルケース搬送レール１２を利用してレチクルケースＣをレチクルケース保管エリア２２まで移動し、配置する（図２０参照）。

（Ｉ）動作過程において、ファン濾過装置２３中のファンモジュール２３１が継続的に外部の空気を導入した後、ケミカルフィルター２３２により濾過してから内部に導入し、循環を行う。このとき、レチクルクリーニングチャネルＡ１２を介してマスクパッケージＡ１内の温湿度を制御し、レチクルＤの保管環境を最高水準にすることができる。また一時保管台３の一側にある一時保管クリーニングチャネル３１を利用して、レチクルケースＣ内の温湿度を安定させることができる（図１、図１１、図１９参照）。

図２１の本考案の別の最良の実施例の読み取りモジュールを示す概略図を参照する。この図からはっきりとわかるように、レチクルケースＣ上に読み取りモジュールＣ３が設置され、本実施例はバーコードを例とし、これを通じて読み取り装置で当該読み取りモジュールＣ３内のデータを読み取る。当該データは当該レチクルケース搬送装置１が当該レチクルケースＣを一時保管台３上またはレチクルケース蓋開け装置上に搬送する必要があるときの条件とする。つまり、読み取り装置でレチクルケースＣ上の読み取りモジュールＣ３を読み取り、読み取りモジュールＣ３内には、当該レチクルケースＣの関連情報が保存されており、これには配置する方向や直接一時保管台３をスキップしてレチクルケース蓋開け装置に直接送ることができるか否かが含まれ、配置方向を変更する必要があるときは、搬送アーム１５が回転機構１３を介してレチクルケースＣを回転させ、これにより必要に基づいた方向の変更あるいは配置ルートを自動化することができ、非常に便利である。

図２２と図２３の本考案のさらに別の最良の実施例のレチクル連結部を示す概略図と、回転装置を示す概略図を参照する。これらの図からはっきりとわかるように、各マスクパッケージＡ１上には複数のレチクル連結部Ａ１３が設けられ、各当該レチクル連結部Ａ１３の連結を通じて各マスクパッケージＡ１を重ねて配置することで、マスクパッケージＡ１をより確実に積み重ねて載置することができ、傾いたり、ずれたりする問題の発生を回避できる。本実施例のレチクル連結部Ａ１３は凹凸嵌合を例とする。このほか、各マスクパッケージＡ１は積み重ねて載置した後１つのパッケージユニットＡを形成する。各マスクパッケージＡ１を積み重ねて複数のパッケージユニットＡを形成した後、各パッケージユニットＡは環状に配列して設置され、さらに各パッケージユニットＡがパッケージ回転装置Ｅにより回転され、レチクル搬送装置６が搬送と載置または取り出しを便利に行うことができる。つまり、積み重ねて構成されたパッケージユニットＡの１つにすでにレチクルがいっぱいに入れられたら、パッケージ回転装置Ｅを利用して全部のパッケージユニットＡを一度に回転させることができ、これによりレチクル搬送装置６が便利にレチクルの載置または取り出しを行うことができる。また、パッケージ回転装置Ｅの一側にレチクルケース保管エリア回転装置Ｆが設置され、これは複数のレチクルケースＣに対して回転を行うことができ、空いた位置をレチクルケース搬送装置１の収納位置に対応させ、便利に配置できるようにすることができる。

図２４の本考案のまたさらに別の最良の実施例の手動式載置台を示す概略図を参照する。この図からはっきりとわかるように、レチクルケース搬送装置１の一側に手動式載置台８が設置される。この手動式載置台８の設計により、現場環境や使用者の必要に応じて、手動方式に変えてレチクルケースを入れることもでき、多元的な操作と使用方法が可能な利点を達成することができる。

図２５の本考案のさらに異なる最良の実施例の立体透視図を参照する。この図からはっきりとわかるように、本実施例は前述の実施例とほぼ同じであるが、本実施例は前述の実施例の一時保管台とレチクル回転装置を備えていない点が主な違いである。つまり、本願は一時保管台とレチクル回転装置を備えていなくても全体の動作に影響しない。レチクルケース搬送装置１がレチクルケースを天井搬送車プラットフォーム７から受け取った後、直接レチクルケース蓋開け装置４上に送り、レチクルケースの蓋体を開けた後、再びレチクル搬送装置６によりレチクルを載置し、さらにレチクルケース搬送装置１でレチクルケースの載置を行うことができる。

このように、本考案のレチクルケース保管装置は、次を重点として従来の技術を改善することができる。

（一）レチクルケース搬送装置１のレチクルケース搬送レール１２、搬送アーム１５、支持アーム１４を通じて、レチクルケースＣを迅速に搬送し、かつレールを使用する方式で積載と搬送全体をより安定的かつ円滑にすることができる。

（二）保管装置２のレチクル保管エリア２１とレチクルケース保管エリア２２の上下二層の設計により、レチクルＤとレチクルケースＣを分けて保管でき、最大保管量を効果的に高めることができる。

（三）各マスクパッケージＡ１の環状配置と積み重ねた積層配置の設計を通じて、最大保管量を効果的に高めることができる。

（四）光透過部Ａ１１の設計により、レチクルセンサー６１により迅速に上から下へまたは下から上へ検出を行い、マスクパッケージＡ１の数量に不足がないか確認することができ、本来設定された数量と異なる場合、マスクパッケージＡ１の配置が不正確な可能性があることを表すことで、マスクパッケージＡ１の配置の正確性を迅速に把握でき、手作業で確認する必要がなく、非常に便利で迅速である。

（五）光透過部Ａ１１の設計を通じて、マスクパッケージＡ１内のレチクルＤの有無を迅速に確認でき、別途開いて確認する必要がなく、全体として非常に便利である。

（六）ファン濾過装置２３のケミカルフィルター２３２の設計により、本願の内部の環境を最高レベルに到達させることができる。

（七）一時保管台３の設計により、蓋開けを待っているとき、その他のレチクルケースＣの取り込みを継続できるため、全体的な運用時間を短縮し、待ち時間を短縮することができる。

（八）レチクル回転装置５の回転テーブル５１と回転部材５２を組み合わせた設計により、必要に応じてレチクルＤの配置方向を変えることができ、全自動化の利点を達成できる。

（九）一時保管クリーニングチャネル３１の設計により、内部のパーティクル及び汚染を効果的に抑制でき、相対湿度を５%に下げた環境を実現することができる。

（十）レチクルクリーニングチャネルＡ１２の設計により、マスクパッケージＡ１内の温湿度を最適な状態に効果的に調整することができる。

（十一）レチクルセンサー６１とレチクルケースセンサー１１を組み合わせた設計により、レチクルＤの配置角度を検出し、即時に校正を行うことができ、角度が不正確なことによって輸送過程でレチクルＤがぶつかり、破損して巨額の損失を発生させる事態を効果的に回避できる。

（十二）レチクル搬送レール６２、レチクル搬送載置台６３、支持部材６５、レチクル搬送部材６４を組み合わせた運用により、迅速かつ安定したレチクルＤの搬送を達成することができる。

（十三）レチクルケース搬送レール１２、搬送アーム１５、支持アーム１４により、迅速かつ安定したレチクルケースＣの搬送を達成することができる。

（十四）蓋開け台４１と蓋開け昇降装置４２の組み合わせにより、蓋体を迅速に開ける利点を達成することができる。

（十五）読み取り装置と読み取りモジュールＣ３を組み合わせた設計により、必要に応じて方向と配置ルートの変更を自動化でき、非常に便利である。

（十六）レチクル連結部Ａ１３の設計により、マスクパッケージＡ１の配置に際してより確実に積み重ねて配置することができ、傾きやずれなどの問題の発生を回避できる。

（十七）パッケージ回転装置Ｅとレチクルケース保管エリア回転装置Ｆの独立した設置により、マスクパッケージＡ１とレチクルケース保管エリア２２内のレチクルケースＣを独立して回転させたり、同時に動作させたりすることができ、全体の保管時間を短縮することができる。

（十八）手動式載置台８の設計により、現場環境や使用者のニーズに応じて、手動方式でレチクルケースＣを入れることができ、多元的な操作と使用の利点を達成することができる。

（十九）レチクルケース蓋開け装置４の数量が２つのとき、レチクルＤを配置する際の効率と、レチクルＤを取り出すときの効率が効果的に高められ、多重の効果を達成することができる。

１ レチクルケース搬送装置
１１ レチクルケースセンサー
１２ レチクルケース搬送レール
１３ 回転機構
１４ 支持アーム
１４１ モーター
１５ 搬送アーム
１５１ 搬送アームモーター
１５２ 搬送アームプーリー
１５３ 搬送アームベルト
１５４ アーム
２ 保管装置
２１ レチクル保管エリア
２２ レチクルケース保管エリア
２３ ファン濾過装置
２３１ ファンモジュール
２３２ ケミカルフィルター
３ 一時保管台
３１ 一時保管クリーニングチャネル
４ レチクルケース蓋開け装置
４１ 蓋開け台
４２ 蓋開け昇降装置
４２１ 蓋開け昇降台
４２２ レチクル挟持機構
５ レチクル回転装置
５１ 回転テーブル
５２ 回転部材
５３ 当接機構
６ レチクル搬送装置
６１ レチクルセンサー
６２ レチクル搬送レール
６３ レチクル搬送載置台
６３１ レチクル搬送載置台モーター
６４ レチクル搬送部材
６５ 支持部材
７ 天井搬送車プラットフォーム
８ 手動式載置台
９ クリーニング装置
Ａ パッケージユニット
Ａ１ マスクパッケージ
Ａ１１ 光透過部
Ａ１２ レチクルクリーニングチャネル
Ａ１３ レチクル連結部
Ｃ レチクルケース
Ｃ１ 蓋体
Ｃ２ 下ケース
Ｃ３ 読み取りモジュール
Ｄ レチクル
Ｅ パッケージ回転装置
Ｆ レチクルケース保管エリア回転装置

Claims (12)

1. レチクルケース保管装置であって、レチクルケース搬送装置と、保管装置と、ファン濾過装置と、少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置と、レチクル搬送装置と、複数のレチクルクリーニングチャネルと、レチクルケースセンサーと、を含み、
   前記保管装置が、前記レチクルケース搬送装置の一側に設置され、レチクル保管エリアと、前記レチクル保管エリアの一側に設けられたレチクルケース保管エリアを含み、前記レチクル保管エリア内に複数のマスクパッケージが設置され、各前記マスクパッケージの左右両側にそれぞれ光透過部が設けられ、
   前記ファン濾過装置が、前記保管装置上方に設置され、
   前記少なくとも１つのレチクルケース蓋開け装置が、前記保管装置の前記ファン濾過装置と異なる一側に設置され、前記レチクルケース搬送装置により搬送されてくる蓋開けの必要がある少なくとも１つのレチクルケースを載置して、前記レチクルケース上の蓋体に対して開く動作を実行し、
   前記レチクル搬送装置が、前記保管装置の一側に設置され、レチクルに対して受け取りの動作を実行し、
   前記複数のレチクルクリーニングチャネルが、それぞれ各前記マスクパッケージ内に連接され、前記マスクパッケージ内の温湿度を制御し、
   前記複数のレチクルセンサーが、前記レチクル搬送装置とデータ接続され、前記レチクルの配置角度を検出し、かつ前記レチクル搬送装置により配置角度の微調整を行うとともに、前記レチクルセンサーが前記光透過部を介して前記マスクパッケージ内に前記レチクルが入っているか否かを判別し、
   前記レチクルケースセンサーが、前記レチクルケース搬送装置とデータ接続され、前記レチクルケースの配置角度を検出し、かつ前記レチクルケース搬送装置により配置角度の微調整を行う、
   ことを特徴とする、レチクルケース保管装置。
2. 前記レチクルケース上に読み取りモジュールが設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
3. 各前記マスクパッケージ上に複数のレチクル連結部が設けられ、各前記マスクパッケージが各前記レチクル連結部の連結を通じて積み重ねて配置されることを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
4. 各前記マスクパッケージが、積み重ねて配置された後１つのパッケージユニットを形成し、かつ各前記マスクパッケージが積み重ねられて複数のパッケージユニットが形成されたとき、各前記パッケージユニットが環状に配列されて設置されることを特徴とする、請求項３に記載のレチクルケース保管装置。
5. 前記レチクルケース搬送装置の一側に、天井搬送車プラットフォームが設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
6. 前記レチクルケース搬送装置の一側に、手動式載置台が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
7. 前記レチクルセンサーが、前記レチクルの落下の有無及び前記レチクルの位置を検出することができ、前記レチクルケースセンサーが、前記レチクルケースの落下の有無及び前記レチクルケースの位置を検出することができる、ことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
8. 前記レチクル搬送装置が、レチクル搬送レールと、前記レチクル搬送レール上に可動的に設置されたレチクル搬送載置台と、前記レチクル搬送載置台に連結されたレチクル搬送部材と、前記レチクル搬送載置台の一側に設置され、各前記マスクパッケージを開くために用いる支持部材を備えたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
9. 前記レチクルケース搬送装置が、垂直式のレチクルケース搬送レールと、前記レチクルケース搬送レール上に可動的に設置され、かつ回転機構を備えた支持アームと、前記支持アームに可動的に連接される搬送アームを備え、前記支持アームにより前記搬送アームを垂直移動させることを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
10. 各前記マスクパッケージが、積み重ねて配置された後１つのパッケージユニットを形成し、各前記パッケージユニットにさらに前記パッケージユニットを回転させることができるパッケージ回転装置が設置され、かつ前記パッケージ回転装置の一側にさらに前記レチクルケースを回転させることができるレチクルケース保管エリア回転装置が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
11. 前記保管装置の前記ファン濾過装置と異なる一側に、前記レチクルケース搬送装置により搬送されてくる保管の必要がある少なくとも１つのレチクルケースを載置するための少なくとも１つの一時保管台が設置され、かつ前記一時保管台の一側に、前記一時保管台の温湿度を制御するための一時保管クリーニングチャネルが設けられたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。
12. 前記レチクルケース蓋開け装置の一側に、前記レチクルの配置方向を調整するためのレチクル回転装置が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のレチクルケース保管装置。

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