JP3243317B2 - プローブピンの取付装置及び交換装置 - Google Patents
プローブピンの取付装置及び交換装置Info
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- JP3243317B2 JP3243317B2 JP02365793A JP2365793A JP3243317B2 JP 3243317 B2 JP3243317 B2 JP 3243317B2 JP 02365793 A JP02365793 A JP 02365793A JP 2365793 A JP2365793 A JP 2365793A JP 3243317 B2 JP3243317 B2 JP 3243317B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、回路基板検査機のプロ
ーブピン取付装置及び交換装置に関するものである。
ーブピン取付装置及び交換装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】回路基板のプリント配線の断線や短絡、
回路基板に実装された部品の種類や性能等の各種検査を
するために、プローブピンを測定部位に接触させて検査
する検査機がある。この検査機では、回路基板に合わせ
てプローブピンを固定した専用の治具(ピンボード)を
用いる他に、プローブピンをX−Yユニット及びZ軸ユ
ニットにより移動させて行うものもある。
回路基板に実装された部品の種類や性能等の各種検査を
するために、プローブピンを測定部位に接触させて検査
する検査機がある。この検査機では、回路基板に合わせ
てプローブピンを固定した専用の治具(ピンボード)を
用いる他に、プローブピンをX−Yユニット及びZ軸ユ
ニットにより移動させて行うものもある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記移動式のもので
は、被測定基板毎に専用のピンボードを作る必要が無
く、しかもZ軸ユニットを介してプローブピンをZ軸に
対し傾斜させて取り付けることにより、測定部位に斜め
に接触することができ、通常のピンボードでは測定が困
難な高密度実装基板に対しても測定が可能になるという
利点がある。反面、通常のピンボードのプローブピンに
比べて、1本のプローブピンの使用回数が格段に多くな
るため、プローブピンの先端の消耗が激しく、プローブ
ピンの交換が頻繁になる。また、被測定物の違いによ
り、先端形状の異なるプローブピン、例えばチップ部品
用プローブピンやQFP(クォターフラットパッケー
ジ)用プローブピン等を用いる場合には、その都度交換
する必要がある。これらの場合には、オペレータが取付
ネジを緩めてプローブピンの交換を行うため、作業能率
が低下する。
は、被測定基板毎に専用のピンボードを作る必要が無
く、しかもZ軸ユニットを介してプローブピンをZ軸に
対し傾斜させて取り付けることにより、測定部位に斜め
に接触することができ、通常のピンボードでは測定が困
難な高密度実装基板に対しても測定が可能になるという
利点がある。反面、通常のピンボードのプローブピンに
比べて、1本のプローブピンの使用回数が格段に多くな
るため、プローブピンの先端の消耗が激しく、プローブ
ピンの交換が頻繁になる。また、被測定物の違いによ
り、先端形状の異なるプローブピン、例えばチップ部品
用プローブピンやQFP(クォターフラットパッケー
ジ)用プローブピン等を用いる場合には、その都度交換
する必要がある。これらの場合には、オペレータが取付
ネジを緩めてプローブピンの交換を行うため、作業能率
が低下する。
【0004】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、プローブピンを簡単に交換することができるよう
にした回路基板検査機のプローブピン取付装置を提供す
ることを目的とする。
あり、プローブピンを簡単に交換することができるよう
にした回路基板検査機のプローブピン取付装置を提供す
ることを目的とする。
【0005】また、本発明は、複数本のプローブピンを
自動的に交換することができるようにした回路基板検査
機のプローブピン交換装置を提供することを目的とす
る。
自動的に交換することができるようにした回路基板検査
機のプローブピン交換装置を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明は、Z軸ユニットとプローブピ
ンとの間にチャックユニットを設けて、このチャックユ
ニットによりプローブピンをZ軸ユニットに取り付け、
プローブピンには、その挿入軸部に、周方向にロック溝
を形成し、チャックユニットは、プローブピンの挿入軸
部が挿入される筒状のコレット本体と、コレット本体を
Z軸ユニットに固定する取付ベースと、コレット本体の
先端部の外周に形成した先端に向かうに従い太くなるテ
ーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿って形成した
複数条の割り溝と、割り溝で分割され、外側に開くよう
に付勢された複数個の保持爪と、保持爪の先端内側に形
成され、前記ロック溝に係止する係止部と、コレット本
体の保持爪部分に軸方向で移動自在に設けたロックスリ
ーブと、ロックスリーブの内周に形成され先端に向かう
に従い開くようになるテーパー面と、ロックスリーブを
コレット本体の保持爪上で先端側に付勢して、ロックス
リーブのテーパー面により保持爪を内側に押圧する付勢
手段とから構成したものである。
に、請求項1記載の発明は、Z軸ユニットとプローブピ
ンとの間にチャックユニットを設けて、このチャックユ
ニットによりプローブピンをZ軸ユニットに取り付け、
プローブピンには、その挿入軸部に、周方向にロック溝
を形成し、チャックユニットは、プローブピンの挿入軸
部が挿入される筒状のコレット本体と、コレット本体を
Z軸ユニットに固定する取付ベースと、コレット本体の
先端部の外周に形成した先端に向かうに従い太くなるテ
ーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿って形成した
複数条の割り溝と、割り溝で分割され、外側に開くよう
に付勢された複数個の保持爪と、保持爪の先端内側に形
成され、前記ロック溝に係止する係止部と、コレット本
体の保持爪部分に軸方向で移動自在に設けたロックスリ
ーブと、ロックスリーブの内周に形成され先端に向かう
に従い開くようになるテーパー面と、ロックスリーブを
コレット本体の保持爪上で先端側に付勢して、ロックス
リーブのテーパー面により保持爪を内側に押圧する付勢
手段とから構成したものである。
【0007】また、請求項2記載の発明は、チャックユ
ニットのコレット本体にプローブピンと電気的に接触す
るコネクタ本体を備え、このコネクタ本体にプローブピ
ンを排出する方向に付勢するバネ手段を設けて、プロー
ブピンの排出を容易にしたものである。
ニットのコレット本体にプローブピンと電気的に接触す
るコネクタ本体を備え、このコネクタ本体にプローブピ
ンを排出する方向に付勢するバネ手段を設けて、プロー
ブピンの排出を容易にしたものである。
【0008】また、請求項3記載の発明は、ロックスリ
ーブの移動をガイドするガイドプレートを取付ベースに
設けて、プローブピンの位置決め精度を向上するように
したものである。
ーブの移動をガイドするガイドプレートを取付ベースに
設けて、プローブピンの位置決め精度を向上するように
したものである。
【0009】また、請求項4記載の発明は、請求項1又
は2又は3記載の回路基板検査機のプローブピン取付装
置を用いたプローブピンの交換装置において、前記プロ
ーブピンが先端から挿入される収納穴を有するプローブ
ホルダと、このプローブホルダをプロープピンの挿入向
きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、ホルダ台を
プローブピンの軸方向で移動させる第1の移動部と、前
記ロックスリーブに係合してこれをロック解除位置にす
るチャック解除部材と、このチャック解除部材をプロー
ブピンの軸方向で移動させる第2の移動部と、第1及び
第2の移動部を作動させてプローブピンを交換するコン
トローラとを設けて、プローブピンの交換を自動化する
ようにしたものである。
は2又は3記載の回路基板検査機のプローブピン取付装
置を用いたプローブピンの交換装置において、前記プロ
ーブピンが先端から挿入される収納穴を有するプローブ
ホルダと、このプローブホルダをプロープピンの挿入向
きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、ホルダ台を
プローブピンの軸方向で移動させる第1の移動部と、前
記ロックスリーブに係合してこれをロック解除位置にす
るチャック解除部材と、このチャック解除部材をプロー
ブピンの軸方向で移動させる第2の移動部と、第1及び
第2の移動部を作動させてプローブピンを交換するコン
トローラとを設けて、プローブピンの交換を自動化する
ようにしたものである。
【0010】また、請求項5記載の発明は、請求項4記
載のプローブピンの交換装置において、プローブピンの
交換にあたって、前記コントローラは、前記可動部を制
御して収納すべきプローブホルダの位置にチャックユニ
ットを合わせ、第1の移動部を前進させホルダ台を上昇
させてプローブピンをプローブホルダの収納穴内に挿入
させた後に、第2の移動部を前進させチャック解除部材
を上昇させてチャックユニットからプローブピンを外
し、次に第1及び第2の移動部を順に後退させて、プロ
ーブ台及びチャック解除部材を下降させ、この後、使用
するプローブピンが収納されたプローブホルダの位置に
チャックユニットを合わせ、第2の移動部を前進させチ
ャック解除部材を上昇させてチャックユニットをプロー
ブピンの挿入可能状態にした後に、第1の移動部を前進
させてチャックユニットの収納穴にプローブピンを挿入
し、次に、第2の移動部を後退させてチャック解除部材
を下降させた後に、第1の移動部を後退させてホルダ台
を下降させるように構成されている。
載のプローブピンの交換装置において、プローブピンの
交換にあたって、前記コントローラは、前記可動部を制
御して収納すべきプローブホルダの位置にチャックユニ
ットを合わせ、第1の移動部を前進させホルダ台を上昇
させてプローブピンをプローブホルダの収納穴内に挿入
させた後に、第2の移動部を前進させチャック解除部材
を上昇させてチャックユニットからプローブピンを外
し、次に第1及び第2の移動部を順に後退させて、プロ
ーブ台及びチャック解除部材を下降させ、この後、使用
するプローブピンが収納されたプローブホルダの位置に
チャックユニットを合わせ、第2の移動部を前進させチ
ャック解除部材を上昇させてチャックユニットをプロー
ブピンの挿入可能状態にした後に、第1の移動部を前進
させてチャックユニットの収納穴にプローブピンを挿入
し、次に、第2の移動部を後退させてチャック解除部材
を下降させた後に、第1の移動部を後退させてホルダ台
を下降させるように構成されている。
【0011】
【作用】チャックユニットからプローブピンを外す場合
には、ロックスリーブを上方に持ち上げる。これによ
り、保持爪が開き、保持爪の係止部とプローブピンのロ
ック溝との係止が解除され、プローブピンは抜け落ち
る。プローブピンの取り付け時には、ロックスリーブを
持ち上げた状態で、コレット本体内にプローブピンの挿
入軸部を挿入する。この後、ロックスリーブを離すと、
ロックスリーブは下方に付勢され、ロックスリーブのテ
ーパー面でコレット本体の保持爪が内側に押されるた
め、保持爪の係止部とプローブピンのロック溝とが係止
され、チャックユニットにプローブピンが固定される。
には、ロックスリーブを上方に持ち上げる。これによ
り、保持爪が開き、保持爪の係止部とプローブピンのロ
ック溝との係止が解除され、プローブピンは抜け落ち
る。プローブピンの取り付け時には、ロックスリーブを
持ち上げた状態で、コレット本体内にプローブピンの挿
入軸部を挿入する。この後、ロックスリーブを離すと、
ロックスリーブは下方に付勢され、ロックスリーブのテ
ーパー面でコレット本体の保持爪が内側に押されるた
め、保持爪の係止部とプローブピンのロック溝とが係止
され、チャックユニットにプローブピンが固定される。
【0012】上記チャックユニットを用いたプローブピ
ンの自動交換は次のように行われる。まず、ホルダ台が
上昇してプローブピンをプローブホルダの収納穴に挿入
する。チャック解除部材が上昇してロックスリーブを上
方に持ち上げ、チャックユニットからプローブピンを外
す。ホルダ台及びチャック解除部材が下降して、外した
プローブピンをチャックユニットから離す。次に使用す
るプローブピンが収納されたプローブホルダの位置にチ
ャックユニットが合わせられる。チャック解除部材が上
昇してロックスリーブを上方に持ち上げて、ロックを解
除し、プローブピンの挿入待機状態にする。ホルダ台が
上昇してチャックユニットのコレット本体内にプローブ
ピンを挿入する。チャック解除部材が下降すると、ロッ
クスリーブが下方に付勢され、ロックスリーブのテーパ
ー面により保持爪が内側に押されるため、チャックユニ
ットはプローブピンのロック状態になる。この後、ホル
ダ台が下降してチャックユニットから離れる。このよう
に、ホルダ台とチャック解除部材との連動により自動的
にプローブピンの交換が行われる。
ンの自動交換は次のように行われる。まず、ホルダ台が
上昇してプローブピンをプローブホルダの収納穴に挿入
する。チャック解除部材が上昇してロックスリーブを上
方に持ち上げ、チャックユニットからプローブピンを外
す。ホルダ台及びチャック解除部材が下降して、外した
プローブピンをチャックユニットから離す。次に使用す
るプローブピンが収納されたプローブホルダの位置にチ
ャックユニットが合わせられる。チャック解除部材が上
昇してロックスリーブを上方に持ち上げて、ロックを解
除し、プローブピンの挿入待機状態にする。ホルダ台が
上昇してチャックユニットのコレット本体内にプローブ
ピンを挿入する。チャック解除部材が下降すると、ロッ
クスリーブが下方に付勢され、ロックスリーブのテーパ
ー面により保持爪が内側に押されるため、チャックユニ
ットはプローブピンのロック状態になる。この後、ホル
ダ台が下降してチャックユニットから離れる。このよう
に、ホルダ台とチャック解除部材との連動により自動的
にプローブピンの交換が行われる。
【0013】
【実施例】図1ないし図3はプローブピン10とこれを
着脱自在に保持するチャックユニット11とを示すもの
である。図1に示すように、プローブピン10には、周
方向でロック溝12が形成されており、これにチャック
ユニット11の保持爪13の係止部14(図3参照)が
係止することで、プローブピン10をチャックユニット
11内に固定する。また、プローブピン10の上部の挿
入軸部15にはその周面の一部に軸方向に沿って回動規
制溝16が形成されており、これにはチャックユニット
11の回動規制ピン17が入り込み、プローブピン10
の回転を規制する。
着脱自在に保持するチャックユニット11とを示すもの
である。図1に示すように、プローブピン10には、周
方向でロック溝12が形成されており、これにチャック
ユニット11の保持爪13の係止部14(図3参照)が
係止することで、プローブピン10をチャックユニット
11内に固定する。また、プローブピン10の上部の挿
入軸部15にはその周面の一部に軸方向に沿って回動規
制溝16が形成されており、これにはチャックユニット
11の回動規制ピン17が入り込み、プローブピン10
の回転を規制する。
【0014】チャックユニット11は、大きく分けて、
取付ベース21、回動規制ブラケット22、コレット本
体23、ロックスリーブ24、コイルバネ25、ターミ
ナルコネクタ26から構成されている。
取付ベース21、回動規制ブラケット22、コレット本
体23、ロックスリーブ24、コイルバネ25、ターミ
ナルコネクタ26から構成されている。
【0015】取付ベース21は、鉛直方向で配置される
矩形の垂直板21aと、これの中央部に直角に取り付け
られている水平板21bとからT字形状に構成されてい
る。水平板21bの中央には、コレット本体23の保持
孔30が形成されている。保持孔30には切欠き31が
形成されており、これにより水平板21bが保持ブラケ
ット32となるように分離される。保持ブラケット32
には固定ネジ34が取り付けられ、これはコレット本体
23の上部を保持ブラケット32により締めつけ固定す
る。
矩形の垂直板21aと、これの中央部に直角に取り付け
られている水平板21bとからT字形状に構成されてい
る。水平板21bの中央には、コレット本体23の保持
孔30が形成されている。保持孔30には切欠き31が
形成されており、これにより水平板21bが保持ブラケ
ット32となるように分離される。保持ブラケット32
には固定ネジ34が取り付けられ、これはコレット本体
23の上部を保持ブラケット32により締めつけ固定す
る。
【0016】コレット本体23は筒状に構成されてお
り、その先端部の外周は、先端に向かうに従い太くなる
テーパー面35が形成されている。このテーパー面35
には、コレット本体51の軸方向に沿って4個の割り溝
36が形成されており、この割り溝36により、テーパ
ー面部は4個の保持爪13に分割されている。保持爪1
3の上側には薄肉部38が設けられており、これのバネ
性により保持爪13が外側に開くように構成されてい
る。
り、その先端部の外周は、先端に向かうに従い太くなる
テーパー面35が形成されている。このテーパー面35
には、コレット本体51の軸方向に沿って4個の割り溝
36が形成されており、この割り溝36により、テーパ
ー面部は4個の保持爪13に分割されている。保持爪1
3の上側には薄肉部38が設けられており、これのバネ
性により保持爪13が外側に開くように構成されてい
る。
【0017】保持爪13の先端内側には係止部14が内
側に向かって突出して形成されている。この係止部14
は、プローブピン10のロック溝12に入り込み、プロ
ーブピン10の軸方向での移動を規制する。また、保持
爪13の先端外側には、ロックスリーブ24の脱落を阻
止するフランジ39が形成されている。
側に向かって突出して形成されている。この係止部14
は、プローブピン10のロック溝12に入り込み、プロ
ーブピン10の軸方向での移動を規制する。また、保持
爪13の先端外側には、ロックスリーブ24の脱落を阻
止するフランジ39が形成されている。
【0018】ロックスリーブ24は、コレット本体23
の保持爪13部分に軸方向で移動自在に設けられてお
り、コイルバネ25により先端側すなわち下方に付勢さ
れている。ロックスリーブ24の内周面は、先端に向か
うに従い開くようになるテーパー面45とされており、
このテーパー面45の傾斜角度はコレット本体23の保
持爪部分のテーパー面35のそれとほぼ同じにされてい
る。これにより、コイルバネ25によりロックスリーブ
24がコレット本体23の保持爪13上で先端側に移動
すると、テーパー面45,35により保持爪13がすぼ
まるようになり、係止部14がプローブピン10のロッ
ク溝12に入り込み、プローブピン10をしっかりと保
持することができる。
の保持爪13部分に軸方向で移動自在に設けられてお
り、コイルバネ25により先端側すなわち下方に付勢さ
れている。ロックスリーブ24の内周面は、先端に向か
うに従い開くようになるテーパー面45とされており、
このテーパー面45の傾斜角度はコレット本体23の保
持爪部分のテーパー面35のそれとほぼ同じにされてい
る。これにより、コイルバネ25によりロックスリーブ
24がコレット本体23の保持爪13上で先端側に移動
すると、テーパー面45,35により保持爪13がすぼ
まるようになり、係止部14がプローブピン10のロッ
ク溝12に入り込み、プローブピン10をしっかりと保
持することができる。
【0019】コレット本体23には上側からターミナル
コネクタ26が嵌め込まれる。ターミナルコネクタ26
とコレット本体23の上端部には、その周面の一部が切
り欠かれており、一対の面取り部26a,23aが形成
されている。面取り部26a,23aは互いに平行な平
面からなり、これらが回動規制ブラケット22の回動規
制面22aに当接することで、コレット本体23及びタ
ーミナルコネクタ26が取付ベース21に回動不能に固
定される。回動規制ブラケット22は、2個の取付ネジ
47により、取付ベース21の水平板21bに固定され
るもので、コネクタ本体52を上方に突出させるための
貫通孔22bを備えている。
コネクタ26が嵌め込まれる。ターミナルコネクタ26
とコレット本体23の上端部には、その周面の一部が切
り欠かれており、一対の面取り部26a,23aが形成
されている。面取り部26a,23aは互いに平行な平
面からなり、これらが回動規制ブラケット22の回動規
制面22aに当接することで、コレット本体23及びタ
ーミナルコネクタ26が取付ベース21に回動不能に固
定される。回動規制ブラケット22は、2個の取付ネジ
47により、取付ベース21の水平板21bに固定され
るもので、コネクタ本体52を上方に突出させるための
貫通孔22bを備えている。
【0020】ターミナルコネクタ26は、金属性のホル
ダ50と、これに絶縁性のスリーブ51を介し軸方向に
移動自在に取り付けたコネクタ本体52とから構成され
ている。コネクタ本体52はスリーブ51に内蔵させた
コイルバネ(図示せず)により下方に付勢されており、
プローブピン10のコネクタ部53に常に接触するよう
にされている。また、この付勢により、ロックスリーブ
24を上方に持ち上げてプローブピン10を外す場合
に、プローブピン10が簡単にコレット本体23から排
出される。したがって、プローブピン10の自重による
落下と相まってプローブピン10がチャックユニット1
1から確実に外れるようになる。
ダ50と、これに絶縁性のスリーブ51を介し軸方向に
移動自在に取り付けたコネクタ本体52とから構成され
ている。コネクタ本体52はスリーブ51に内蔵させた
コイルバネ(図示せず)により下方に付勢されており、
プローブピン10のコネクタ部53に常に接触するよう
にされている。また、この付勢により、ロックスリーブ
24を上方に持ち上げてプローブピン10を外す場合
に、プローブピン10が簡単にコレット本体23から排
出される。したがって、プローブピン10の自重による
落下と相まってプローブピン10がチャックユニット1
1から確実に外れるようになる。
【0021】図4に示すように、コネクタ本体52はホ
ルダ50に周方向で90°ピッチで4個取り付けられて
おり、2個のコネクタ部54a,54b,55a,55
bを持つX方向用又はY方向用部品チップ用プローブピ
ン56,57の両方に接触することができるようにされ
ている。そして、図5に示すように、コネクタ本体52
の上端部に接続コード58が接続され、これによりプロ
ーブピン10からの電気信号が測定器側に送られる。
ルダ50に周方向で90°ピッチで4個取り付けられて
おり、2個のコネクタ部54a,54b,55a,55
bを持つX方向用又はY方向用部品チップ用プローブピ
ン56,57の両方に接触することができるようにされ
ている。そして、図5に示すように、コネクタ本体52
の上端部に接続コード58が接続され、これによりプロ
ーブピン10からの電気信号が測定器側に送られる。
【0022】次に、上記チャックユニット11を用いた
プローブピンの自動交換装置を説明する。図5におい
て、基台60には、1対の直線軸受61,62により、
プローブホルダ台63とチャック解除板64とが平行移
動自在に取り付けられている。基台60は、矩形板から
構成されており、その両端部にブラケット65を介し前
記直線軸受61,62が鉛直方向で取り付けられてい
る。
プローブピンの自動交換装置を説明する。図5におい
て、基台60には、1対の直線軸受61,62により、
プローブホルダ台63とチャック解除板64とが平行移
動自在に取り付けられている。基台60は、矩形板から
構成されており、その両端部にブラケット65を介し前
記直線軸受61,62が鉛直方向で取り付けられてい
る。
【0023】直線軸受61,62は、レール70と、こ
れに案内されるスライダ71,72とから構成されてお
り、基台60に対し、プローブホルダ台63とチャック
解除板64とを平行移動する。
れに案内されるスライダ71,72とから構成されてお
り、基台60に対し、プローブホルダ台63とチャック
解除板64とを平行移動する。
【0024】プローブホルダ台63はブラケット73を
介しスライダ71に固定されている。プローブホルダ台
63には、多数のホルダ取付孔が所定ピッチで1列に形
成されている。これらの取付孔には、プローブホルダ7
5,76がネジにより着脱自在に取り付けられている。
プローブホルダ75,76には、プローブピンの収納穴
75a,76aが軸方向に形成されている。本実施例で
は、用いるプローブピンの形状により、2種類のプロー
ブホルダ75,76が取り付けられているが、これらプ
ローブホルダは使用するプローブピンに合わせて適宜変
更される。
介しスライダ71に固定されている。プローブホルダ台
63には、多数のホルダ取付孔が所定ピッチで1列に形
成されている。これらの取付孔には、プローブホルダ7
5,76がネジにより着脱自在に取り付けられている。
プローブホルダ75,76には、プローブピンの収納穴
75a,76aが軸方向に形成されている。本実施例で
は、用いるプローブピンの形状により、2種類のプロー
ブホルダ75,76が取り付けられているが、これらプ
ローブホルダは使用するプローブピンに合わせて適宜変
更される。
【0025】チャック解除板64は、プローブホルダ台
63の上方で、ブラケット80を介しスライダ72に固
定されている。チャック解除板64には、プローブホル
ダ台63の各ホルダ75,76に対応する位置で、チャ
ック解除孔81が形成されている。チャック解除孔81
は、プローブピン10の最大直径より大きくチャックユ
ニット11のロックスリーブ24の直径よりも小さい径
の丸孔から構成されており、この解除孔81を介してプ
ローブピン10がプローブホルダ75,76から出し入
れされる。
63の上方で、ブラケット80を介しスライダ72に固
定されている。チャック解除板64には、プローブホル
ダ台63の各ホルダ75,76に対応する位置で、チャ
ック解除孔81が形成されている。チャック解除孔81
は、プローブピン10の最大直径より大きくチャックユ
ニット11のロックスリーブ24の直径よりも小さい径
の丸孔から構成されており、この解除孔81を介してプ
ローブピン10がプローブホルダ75,76から出し入
れされる。
【0026】前記基台60には取付ブラケット84を介
し、2個のエアシリンダ85,86が取り付けられてい
る。一方のエアシリンダ(以下Aシリンダという)85
のロッド85aはプローブホルダ台63の孔87を貫通
し、その先端が、チャック解除板64に固定されてい
る。また、他方のエアシリンダ(以下Bシリンダとい
う)のロッド86aの先端は、ホルダ台63に固定され
ている。各エアシリンダ85,86は、基台60に形成
した開口88から下方に突出しており、エアシリンダ8
5,86をコンパクトに収納するようになっている。
し、2個のエアシリンダ85,86が取り付けられてい
る。一方のエアシリンダ(以下Aシリンダという)85
のロッド85aはプローブホルダ台63の孔87を貫通
し、その先端が、チャック解除板64に固定されてい
る。また、他方のエアシリンダ(以下Bシリンダとい
う)のロッド86aの先端は、ホルダ台63に固定され
ている。各エアシリンダ85,86は、基台60に形成
した開口88から下方に突出しており、エアシリンダ8
5,86をコンパクトに収納するようになっている。
【0027】更に、基台60には、センサ取付ブラケッ
ト90が取り付けられており、これの上部にはプローブ
センサ91が取り付けられている。プローブセンサ91
は、プローブホルダ75,76にプローブピン10が入
っているか否かを検出する。このため、プローブセンサ
91は、各プローブホルダ75,76に収納されたプロ
ーブピン10を検出する位置で取り付けられており、投
光器及び受光器からなる反射型の光センサが用いられて
いる。なお、反射型の光センサに代えて、光線を遮断す
ることで検出する透過型の光センサや、他の機械的なセ
ンサや磁気センサ等を用いてもよい。
ト90が取り付けられており、これの上部にはプローブ
センサ91が取り付けられている。プローブセンサ91
は、プローブホルダ75,76にプローブピン10が入
っているか否かを検出する。このため、プローブセンサ
91は、各プローブホルダ75,76に収納されたプロ
ーブピン10を検出する位置で取り付けられており、投
光器及び受光器からなる反射型の光センサが用いられて
いる。なお、反射型の光センサに代えて、光線を遮断す
ることで検出する透過型の光センサや、他の機械的なセ
ンサや磁気センサ等を用いてもよい。
【0028】次に、本実施例の作用を説明する。プロー
ブピン10の交換時には、図5に示すように、X−Yユ
ニット96により、収納すべきプローブホルダ76と同
軸上にチャックユニット11が位置決めされ、Z軸ユニ
ット95により、図6に示すように、チャックユニット
11が交換位置までZ軸方向に下降する。
ブピン10の交換時には、図5に示すように、X−Yユ
ニット96により、収納すべきプローブホルダ76と同
軸上にチャックユニット11が位置決めされ、Z軸ユニ
ット95により、図6に示すように、チャックユニット
11が交換位置までZ軸方向に下降する。
【0029】次に、図7に示すように、Bシリンダ86
によりホルダ台63を上昇させて、ホルダ76の収納穴
76a内にプローブピン10を収納する。
によりホルダ台63を上昇させて、ホルダ76の収納穴
76a内にプローブピン10を収納する。
【0030】次に、図8に示すように、Aシリンダ85
によりチャック解除板64を上昇させて、ロックスリー
ブ24を上方に持ち上げて、チャックユニット11のロ
ックを解除する。チャック解除板64を上昇させてロッ
クスリーブ24を上方にシフトさせると、図3に示すよ
うに、保持爪13が開いてロック溝12から係止部14
が退避するため、プローブピン10のロックが解除さ
れ、プローブピン10がチャックユニット11から排出
される。
によりチャック解除板64を上昇させて、ロックスリー
ブ24を上方に持ち上げて、チャックユニット11のロ
ックを解除する。チャック解除板64を上昇させてロッ
クスリーブ24を上方にシフトさせると、図3に示すよ
うに、保持爪13が開いてロック溝12から係止部14
が退避するため、プローブピン10のロックが解除さ
れ、プローブピン10がチャックユニット11から排出
される。
【0031】そして、図9に示すように、Bシリンダ8
6によりホルダ台63を下降させる。これにより、プロ
ーブピン10がチャックユニット11から取り外され、
ホルダ76内に収納される。
6によりホルダ台63を下降させる。これにより、プロ
ーブピン10がチャックユニット11から取り外され、
ホルダ76内に収納される。
【0032】しかる後、図10に示すように、Aシリン
ダ85によりチャック解除板64を下降させるととも
に、チャックユニット11を水平移動して新たに取り付
けるプローブピン79と同軸上にセットする。
ダ85によりチャック解除板64を下降させるととも
に、チャックユニット11を水平移動して新たに取り付
けるプローブピン79と同軸上にセットする。
【0033】次に、図11に示すように、Aシリンダ8
5によりチャック解除板64を上昇させてロックスリー
ブ24を持ち上げ、チャックユニット11をロック解除
状態にしてプローブピン79の挿入待機状態にする。
5によりチャック解除板64を上昇させてロックスリー
ブ24を持ち上げ、チャックユニット11をロック解除
状態にしてプローブピン79の挿入待機状態にする。
【0034】そして、図12に示すように、Bシリンダ
86によりプローブ台63を上昇させて、ホルダ76内
のプローブピン79の上部をチャックユニット11内に
挿入する。この挿入時に、図1に示すように、プローブ
ピン10の回動規制溝16にコレット本体23の回動規
制ピン17が入り込むため、プローブピン10の回動は
不能になる。
86によりプローブ台63を上昇させて、ホルダ76内
のプローブピン79の上部をチャックユニット11内に
挿入する。この挿入時に、図1に示すように、プローブ
ピン10の回動規制溝16にコレット本体23の回動規
制ピン17が入り込むため、プローブピン10の回動は
不能になる。
【0035】次に、図13に示すように、Aシリンダ8
5によりチャック解除板64を下降させる。この状態で
は、図2,図3に示すように、ロックスリーブ24がコ
イルバネ25の付勢で下方にシフトされるため、ロック
スリーブ24のテーパー面45で保持爪13のテーパー
面35が押され、保持爪13はすぼまるようになる。こ
れにより、保持爪13の係止部14がプローブピン79
のロック溝12内に入り込み、プローブピン79はコレ
ット本体23の保持爪13により軸方向で移動すること
の無いようにしっかりと固定される。
5によりチャック解除板64を下降させる。この状態で
は、図2,図3に示すように、ロックスリーブ24がコ
イルバネ25の付勢で下方にシフトされるため、ロック
スリーブ24のテーパー面45で保持爪13のテーパー
面35が押され、保持爪13はすぼまるようになる。こ
れにより、保持爪13の係止部14がプローブピン79
のロック溝12内に入り込み、プローブピン79はコレ
ット本体23の保持爪13により軸方向で移動すること
の無いようにしっかりと固定される。
【0036】次に、図14に示すように、Bシリンダ8
6によりチャック解除板64を下降させてホルダ76か
らプローブピン79を抜き取る。この後、図5に示すよ
うに、Z軸ユニット95によりチャックユニット11が
上昇され、X−Yユニット96により所定の測定部位の
上方に位置決めされ、Z軸ユニット95によりプローブ
ピンが下降され、測定部位にプローブピンの先端が接触
して、電気信号が測定器に送られる。また、次のプロー
ブピンに交換する場合には、上記同様の操作が繰り返さ
れる。
6によりチャック解除板64を下降させてホルダ76か
らプローブピン79を抜き取る。この後、図5に示すよ
うに、Z軸ユニット95によりチャックユニット11が
上昇され、X−Yユニット96により所定の測定部位の
上方に位置決めされ、Z軸ユニット95によりプローブ
ピンが下降され、測定部位にプローブピンの先端が接触
して、電気信号が測定器に送られる。また、次のプロー
ブピンに交換する場合には、上記同様の操作が繰り返さ
れる。
【0037】なお、上記実施例では、エアシリンダ8
5,86でホルダ台63,チャック解除板64を上下動
させたが、この他に、リンクやクランク機構、更にはラ
ック・ピニオン等を用いてこれらを上下動させてもよ
い。
5,86でホルダ台63,チャック解除板64を上下動
させたが、この他に、リンクやクランク機構、更にはラ
ック・ピニオン等を用いてこれらを上下動させてもよ
い。
【0038】また、上記実施例では、ホルダ76はホル
ダ台63に1列で配置されたが、これは複数列配置して
もよい。
ダ台63に1列で配置されたが、これは複数列配置して
もよい。
【0039】また、上記実施例では、ターミナルコネク
タ26のコネクタ本体53のコイルバネ(図示せず)に
より、プローブピン10の初期排出を行うようにした
が、この他に、コレット本体23内に排出用のコイルバ
ネを配置するようにしてもよい。
タ26のコネクタ本体53のコイルバネ(図示せず)に
より、プローブピン10の初期排出を行うようにした
が、この他に、コレット本体23内に排出用のコイルバ
ネを配置するようにしてもよい。
【0040】また、図15に示すように、取付ベース1
00の下部を延ばして、この延ばした部分に水平にガイ
ドプレート101を設けてチャックユニット102を構
成してもよい。なお、上記実施例と同一構成部材には同
一符号が付してあり、重複した説明を省略している。こ
の場合には、ガイドプレート101の中央部に、ロック
スリーブ24をガイドするガイド孔103を形成してお
く。これにより、ロックスリーブ24が上下方向で円滑
にガイドされ、ロックスリーブ24のシフトを確実に行
うことができる。しかも、ロックスリーブ24がガイド
孔103でしっかりと保持されるため、プローブピン1
0が軸方向でぶれることがなくなり、プローブピンの位
置決め精度を向上することができる。
00の下部を延ばして、この延ばした部分に水平にガイ
ドプレート101を設けてチャックユニット102を構
成してもよい。なお、上記実施例と同一構成部材には同
一符号が付してあり、重複した説明を省略している。こ
の場合には、ガイドプレート101の中央部に、ロック
スリーブ24をガイドするガイド孔103を形成してお
く。これにより、ロックスリーブ24が上下方向で円滑
にガイドされ、ロックスリーブ24のシフトを確実に行
うことができる。しかも、ロックスリーブ24がガイド
孔103でしっかりと保持されるため、プローブピン1
0が軸方向でぶれることがなくなり、プローブピンの位
置決め精度を向上することができる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
筒状のコレット本体と、コレット本体の先端部の外周に
形成した複数個の保持爪と、この保持爪上で移動自在に
取り付けたロックスリーブと、これを下方に付勢する付
勢手段とから、チャックユニットを構成したから、構成
簡単にしてプローブピンをワンタッチ式に着脱すること
ができる。しかも、保持爪の先端内側に形成した係止部
を、プローブピンのロック溝に入れてプローブピンを保
持するため、チャックユニット内でプローブピンを軸方
向で移動することのないようにしっかりと固定すること
ができる。
筒状のコレット本体と、コレット本体の先端部の外周に
形成した複数個の保持爪と、この保持爪上で移動自在に
取り付けたロックスリーブと、これを下方に付勢する付
勢手段とから、チャックユニットを構成したから、構成
簡単にしてプローブピンをワンタッチ式に着脱すること
ができる。しかも、保持爪の先端内側に形成した係止部
を、プローブピンのロック溝に入れてプローブピンを保
持するため、チャックユニット内でプローブピンを軸方
向で移動することのないようにしっかりと固定すること
ができる。
【0042】また、プローブホルダをプロープピンの挿
入向きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、チャッ
クユニットのロック解除部材に係合してロックスリーブ
を退避位置にするチャック解除部材とを、互いに平行移
動自在に設け、これらを進退動させたから、プローブピ
ンをチャックユニットから取り外すとともに、新たにプ
ローブピンをチャックユニットに取り付けることが自動
的に可能になる。また、多数のホルダをホルダ台に取り
付けることで、多数のプローブピンの交換が可能にな
る。しかも、移動手段を各プローブピンの交換時に共用
することができ、構成を簡単にすることができる。
入向きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、チャッ
クユニットのロック解除部材に係合してロックスリーブ
を退避位置にするチャック解除部材とを、互いに平行移
動自在に設け、これらを進退動させたから、プローブピ
ンをチャックユニットから取り外すとともに、新たにプ
ローブピンをチャックユニットに取り付けることが自動
的に可能になる。また、多数のホルダをホルダ台に取り
付けることで、多数のプローブピンの交換が可能にな
る。しかも、移動手段を各プローブピンの交換時に共用
することができ、構成を簡単にすることができる。
【図1】本発明を実施した回路基板検査機のプローブピ
ン取付装置を示す分解斜視図である。
ン取付装置を示す分解斜視図である。
【図2】チャックユニットによるプローブピンの保持状
態を示す斜視図である。
態を示す斜視図である。
【図3】(A)はチャックユニットによるプローブピン
の保持状態を示す側面図、(B)はチャックユニットか
らプローブピンが解除された状態を示す側面図である。
の保持状態を示す側面図、(B)はチャックユニットか
らプローブピンが解除された状態を示す側面図である。
【図4】X方向及びY方向での取り付け向きが異なるプ
ローブピンのコネクタ接続状態を示す斜視図である。
ローブピンのコネクタ接続状態を示す斜視図である。
【図5】同チャックユニットを用いたプローブピン交換
装置を示す斜視図である。
装置を示す斜視図である。
【図6】プローブピンの交換手順を説明するためのもの
で、プローブピンを収納するためにプローブホルダにプ
ローブピンを位置決めした状態を示す正面図である。
で、プローブピンを収納するためにプローブホルダにプ
ローブピンを位置決めした状態を示す正面図である。
【図7】ホルダ台を持ち上げてプローブピンをプローブ
ホルダに収納した状態を示す正面図である。
ホルダに収納した状態を示す正面図である。
【図8】ロック解除板を持ち上げて、チャックユニット
を開放した状態を示す正面図である。
を開放した状態を示す正面図である。
【図9】ホルダ台を下降させてチャックユニットからプ
ローブピンを取り外した状態を示す正面図である。
ローブピンを取り外した状態を示す正面図である。
【図10】新たなプローブピンの上方位置にチャックユ
ニットを平行移動させた状態を示す正面図である。
ニットを平行移動させた状態を示す正面図である。
【図11】ロック解除板を持ち上げてチャックユニット
を開放させ、プローブピンの挿入待機の状態を示す正面
図である。
を開放させ、プローブピンの挿入待機の状態を示す正面
図である。
【図12】ホルダ台を持ち上げてプローブピンをチャッ
クユニット内に挿入した状態を示す正面図である。
クユニット内に挿入した状態を示す正面図である。
【図13】ロック解除板を下降させてチャックユニット
をロックさせた状態を示す正面図である。
をロックさせた状態を示す正面図である。
【図14】ホルダー台を下降させてチャックユニットに
取り付けられたプローブピンをプローブホルダから取り
外した状態を示す正面図である。
取り付けられたプローブピンをプローブホルダから取り
外した状態を示す正面図である。
【図15】別のチャックユニットを示す斜視図である。
10,79 プローブピン 11 チャックユニット 12 ロック溝 16 回動規制溝 17 回動規制ピン 21 取付ベース 23 コレット本体 24 ロックスリーブ 25 コイルバネ 26 ターミナルコネクタ 35,45 テーパー面 60 基台 61,62 直線軸受 63 プローブホルダ台 64 チャック解除板 75,76 プローブホルダ 81 チャック解除孔 85 Aシリンダ 86 Bシリンダ 90 センサ取付ブラケット 91 プローブセンサ 95 Z軸ユニット 96 X−Yユニット
Claims (5)
- 【請求項1】 被検査回路基板と平行な平面に沿ってX
−Y軸方向に移動する可動部と、この可動部に取り付け
られ、Z軸方向に進退動可能なZ軸ユニットと、前記Z
軸ユニットに取り付けられ、前記被検査回路基板の測定
部位に電気的に接触するプローブピンとを備えた回路基
板検査機のプローブピン取付装置において、 前記Z軸ユニットと前記プローブピンとの間にチャック
ユニットを設けて、このチャックユニットにより前記プ
ローブピンを前記Z軸ユニットに取り付け、前記 プローブピンには、その挿入軸部に、周方向にロッ
ク溝を形成し、前記 チャックユニットを、前記プローブピンの挿入軸部
が挿入される筒状のコレット本体と、このコレット本体
を前記Z軸ユニットに固定する取付ベースと、前記コレ
ット本体の先端部の外周に形成した先端に向かうに従い
太くなるテーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿っ
て形成した複数条の割り溝と、この割り溝で分割され、
外側に開くように付勢された複数個の保持爪と、この保
持爪の先端内側に形成され、前記ロック溝に係止する係
止部と、前記コレット本体の保持爪部分に軸方向で移動
自在に設けたロックスリーブと、このロックスリーブの
内周に形成され先端に向かうに従い開くようになるテー
パー面と、前記ロックスリーブを前記コレット本体の保
持爪上で先端側に付勢して、前記ロックスリーブの前記
テーパー面により前記保持爪を内側に押圧する付勢手段
とから構成したことを特徴とする回路基板検査機のプロ
ーブピン取付装置。 - 【請求項2】 前記チャックユニットの前記コレット本
体は前記プローブピンと電気的に接触するコネクタ本体
を備え、前記コネクタ本体に前記プローブピンを排出す
る方向に付勢するバネ手段が設けられていることを特徴
とする請求項1に記載の回路基板検査機のプローブピン
取付装置。 - 【請求項3】 前記ロックスリーブの移動をガイドする
ガイドプレートを前記取付ベースに設けたことを特徴と
する請求項1または2に記載の回路基板検査機のプロー
ブピン取付装置。 - 【請求項4】 請求項1,2または3に記載の回路基板
検査機のプローブピン取付装置を用いたプローブピンの
交換装置において、前記プローブピンが先端から挿入さ
れる収納穴を有するプローブホルダと、このプローブホ
ルダを前記プローブピンの挿入向きを合わせて複数個取
り付けたホルダ台と、このホルダ台を前記プローブピン
の軸方向で移動させる第1の移動部と、前記ロックスリ
ーブに係合してこれをロック解除位置にするチャック解
除部材と、このチャック解除部材を前記プローブピンの
軸方向で移動させる第2の移動部と、前記第1および第
2の移動部を作動させて前記プローブピンを交換するコ
ントローラとを備えたことを特徴とする回路基板検査機
のプローブピン交換装置。 - 【請求項5】 プローブピンの交換にあたって、前記コ
ントローラは、前記可動部を制御して収納すべき前記プ
ローブホルダの位置に前記チャックユニットを合わせ、
前記第1の移動部を前進させ前記ホルダ台を上昇させて
前記プローブピンを前記プローブホルダの収納穴内に挿
入させた後に、前記第2の移動部を前進させ前記チャッ
ク解除部材を上昇させて前記チャックユニットから前記
プローブピンを外し、次に前記第1および第2の移動部
を順に後退させて、前記プローブ台および前記チャック
解除部材を下降させ、この後、使用する前記プローブピ
ンが収納された前記プローブホルダの位置に前記チャッ
クユニットを合わせ、前記第2の移動部を前進させ前記
チャック解除部材を上昇させて前記チャックユニットを
前記プローブピンの挿入可能状態にした後に、前記第1
の移動部を前進させて前記チャックユニットの収納穴に
前記プローブピンを挿入し、次に、前記第2の移動部を
後退させて前記チャック解除部材を下降させた後に、前
記第1の移動部を後退させて前記ホルダ台を下降させる
ことを特徴とする請求項4に記載の回路基板検査機のプ
ローブピン交換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02365793A JP3243317B2 (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | プローブピンの取付装置及び交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02365793A JP3243317B2 (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | プローブピンの取付装置及び交換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06213927A JPH06213927A (ja) | 1994-08-05 |
JP3243317B2 true JP3243317B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=12116587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02365793A Expired - Fee Related JP3243317B2 (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | プローブピンの取付装置及び交換装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3243317B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5462060B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2014-04-02 | 株式会社日本マイクロニクス | 圧力感知装置及びこれを用いるプローブカードの検査装置 |
TWI598593B (zh) * | 2016-06-22 | 2017-09-11 | 致茂電子股份有限公司 | 電流探針以及適於更換此電流探針的治具 |
TWI627411B (zh) * | 2017-12-15 | 2018-06-21 | 致茂電子股份有限公司 | 電流探針結構 |
CN108931660B (zh) * | 2018-07-25 | 2024-01-26 | 江苏瑞明生物科技有限公司 | 高通量全自动药敏试验分析仪 |
CN108957062B (zh) * | 2018-09-04 | 2024-07-23 | 东莞市盈之宝电子科技有限公司 | 一种探针 |
CN110014293B (zh) * | 2019-05-14 | 2024-04-23 | 宁波均普智能制造股份有限公司 | 安全气囊点火具的自动装配设备 |
CN115091382B (zh) * | 2022-06-17 | 2023-11-17 | 上海泽丰半导体科技有限公司 | 一种探针定位封胶装置 |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP02365793A patent/JP3243317B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH06213927A (ja) | 1994-08-05 |
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