JP3240932B2 - 超純水送水設備 - Google Patents
超純水送水設備Info
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- JP3240932B2 JP3240932B2 JP22672196A JP22672196A JP3240932B2 JP 3240932 B2 JP3240932 B2 JP 3240932B2 JP 22672196 A JP22672196 A JP 22672196A JP 22672196 A JP22672196 A JP 22672196A JP 3240932 B2 JP3240932 B2 JP 3240932B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超純水送水設備に係
り、特に、超純水製造装置から主送水配管を介して超純
水を使用場所に供給する分岐配管を殺菌するための殺菌
装置を備える超純水送水設備に関する。
り、特に、超純水製造装置から主送水配管を介して超純
水を使用場所に供給する分岐配管を殺菌するための殺菌
装置を備える超純水送水設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体洗浄用水等として用いられ
ている超純水は、図２に示す如く、前処理システム１、
一次純水製造システム２及びサブシステム３から構成さ
れる超純水製造装置で原水（工業用水、市水、井水等）
を処理することにより製造され、製造された超純水は、
主送水配管４の送り配管４Ａから分岐する分岐配管５
（５Ａ，５Ｂ…５Ｎ）を経て各使用場所６（６Ａ，６Ｂ
…６Ｎ）に供給される。余剰の超純水は主送水配管４の
戻り配管４Ｂよりサブシステム３に戻され、処理後再使
用される。
ている超純水は、図２に示す如く、前処理システム１、
一次純水製造システム２及びサブシステム３から構成さ
れる超純水製造装置で原水（工業用水、市水、井水等）
を処理することにより製造され、製造された超純水は、
主送水配管４の送り配管４Ａから分岐する分岐配管５
（５Ａ，５Ｂ…５Ｎ）を経て各使用場所６（６Ａ，６Ｂ
…６Ｎ）に供給される。余剰の超純水は主送水配管４の
戻り配管４Ｂよりサブシステム３に戻され、処理後再使
用される。
【０００３】このような超純水送水設備においては、主
送水配管及び分岐配管を定期的に殺菌する必要がある。
特に、分岐配管は、使用場所のバルブからの逆汚染の問
題があることから、定期的に殺菌を行って無菌状態を維
持することが重要である。
送水配管及び分岐配管を定期的に殺菌する必要がある。
特に、分岐配管は、使用場所のバルブからの逆汚染の問
題があることから、定期的に殺菌を行って無菌状態を維
持することが重要である。
【０００４】従来、超純水送水設備の送水系統の殺菌に
は、Ｈ２Ｏ２殺菌、中温Ｈ２Ｏ２殺菌又は熱殺菌が行わ
れている。また、一般化されてはいないが、オゾン殺菌
法も知られている。
は、Ｈ２Ｏ２殺菌、中温Ｈ２Ｏ２殺菌又は熱殺菌が行わ
れている。また、一般化されてはいないが、オゾン殺菌
法も知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の殺菌方法は、い
ずれも超純水送水設備のサブシステムも含めて、主に主
送水配管にＨ２Ｏ２水、４０℃程度のＨ２Ｏ２水、熱水
又は５０〜３００ｐｐｂ程度のオゾン水を循環させて行
われるため、超純水送水設備の運転を停止する必要があ
る。
ずれも超純水送水設備のサブシステムも含めて、主に主
送水配管にＨ２Ｏ２水、４０℃程度のＨ２Ｏ２水、熱水
又は５０〜３００ｐｐｂ程度のオゾン水を循環させて行
われるため、超純水送水設備の運転を停止する必要があ
る。
【０００６】しかも、個々の殺菌方法には、次のような
問題がある。 Ｈ２Ｏ２殺菌ないし中温Ｈ２Ｏ２殺菌
は、１〜５％のＨ２Ｏ２水を用いて数時間行う必要があ
り、殺菌に要する時間が長い。 熱殺菌は、８０〜９
０℃の熱水を通水するため、耐熱性の配管や部材を用い
る必要があり、材質に制約を受け、コストが高騰する。
オゾン殺菌は比較的低濃度のオゾン水で短時間に殺
菌することが可能であるが、オゾン発生設備を設ける必
要があり、殺菌に用いるオゾン水量が多いとコスト高と
なる。また、殺菌する配管が長いと、途中でオゾンの自
然分解が起きるため、確実に殺菌を行うためには、通常
の２倍以上の濃度のオゾン水が必要となることから、よ
り一層コスト高となる上に、耐オゾン性のＰＶＤＦ（ポ
リフッ化ビニリデン）配管とすることが必要とされ、材
質に制約を受ける。
問題がある。 Ｈ２Ｏ２殺菌ないし中温Ｈ２Ｏ２殺菌
は、１〜５％のＨ２Ｏ２水を用いて数時間行う必要があ
り、殺菌に要する時間が長い。 熱殺菌は、８０〜９
０℃の熱水を通水するため、耐熱性の配管や部材を用い
る必要があり、材質に制約を受け、コストが高騰する。
オゾン殺菌は比較的低濃度のオゾン水で短時間に殺
菌することが可能であるが、オゾン発生設備を設ける必
要があり、殺菌に用いるオゾン水量が多いとコスト高と
なる。また、殺菌する配管が長いと、途中でオゾンの自
然分解が起きるため、確実に殺菌を行うためには、通常
の２倍以上の濃度のオゾン水が必要となることから、よ
り一層コスト高となる上に、耐オゾン性のＰＶＤＦ（ポ
リフッ化ビニリデン）配管とすることが必要とされ、材
質に制約を受ける。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決し、超純
水送水設備の運転を停止することなく、超純水製造装置
から主送水配管を介して超純水を使用場所に供給する分
岐配管を効率的に殺菌することができる超純水送水設備
を提供することを目的とする。
水送水設備の運転を停止することなく、超純水製造装置
から主送水配管を介して超純水を使用場所に供給する分
岐配管を効率的に殺菌することができる超純水送水設備
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の超純水送水設備
は、超純水製造装置から送り配管４Ａ及び戻り配管４Ｂ
よりなる主送水配管４と分岐配管５とを介して超純水を
使用場所へ供給する超純水送水設備であって、該分岐配
管５は、該送り配管４Ａから超純水が分岐して流入する
送り管５ａと、該送り管５ａに流入した超純水を使用場
所に供給する給水管５ｂと、該送り管５ａから余剰の超
純水を該戻り配管４Ｂに戻す戻り管５ｃとを備え、該送
り管５ａ、給水管５ｂ及び戻り管５ｃの各々にバルブＶ
１，Ｖ２，Ｖ３が設けられており、該送り管５ａのバル
ブＶ１よりも下流側と、戻り管５ｃのバルブＶ３よりも
上流側とにそれぞれ水の流出及び流入が可能なポート７
ａ，７ｃが設けられており、それぞれ該ポート７ａ，７
ｃに接続可能な水の送出口２２ａ及び受入口２１ａを有
した移動可能な水の殺菌装置１０を備えてなることを特
徴とする。
は、超純水製造装置から送り配管４Ａ及び戻り配管４Ｂ
よりなる主送水配管４と分岐配管５とを介して超純水を
使用場所へ供給する超純水送水設備であって、該分岐配
管５は、該送り配管４Ａから超純水が分岐して流入する
送り管５ａと、該送り管５ａに流入した超純水を使用場
所に供給する給水管５ｂと、該送り管５ａから余剰の超
純水を該戻り配管４Ｂに戻す戻り管５ｃとを備え、該送
り管５ａ、給水管５ｂ及び戻り管５ｃの各々にバルブＶ
１，Ｖ２，Ｖ３が設けられており、該送り管５ａのバル
ブＶ１よりも下流側と、戻り管５ｃのバルブＶ３よりも
上流側とにそれぞれ水の流出及び流入が可能なポート７
ａ，７ｃが設けられており、それぞれ該ポート７ａ，７
ｃに接続可能な水の送出口２２ａ及び受入口２１ａを有
した移動可能な水の殺菌装置１０を備えてなることを特
徴とする。
【０００９】本発明では、分岐配管に設けられたポート
に殺菌装置の受入口及び送出口を接続し、主送水配管か
ら当該分岐配管への送水のみを止めて、殺菌装置と分岐
配管との間で殺菌水を循環させることにより、超純水送
水設備の運転を停止することなく、当該分岐配管を簡易
に殺菌することができる。殺菌装置は移動可能であるた
め、順次分岐配管毎に殺菌を行ってすべての分岐配管を
殺菌することができる。
に殺菌装置の受入口及び送出口を接続し、主送水配管か
ら当該分岐配管への送水のみを止めて、殺菌装置と分岐
配管との間で殺菌水を循環させることにより、超純水送
水設備の運転を停止することなく、当該分岐配管を簡易
に殺菌することができる。殺菌装置は移動可能であるた
め、順次分岐配管毎に殺菌を行ってすべての分岐配管を
殺菌することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の超純水送水設備を、図２
に示されるような超純水送水設備の分岐配管５（５Ａ〜
５Ｎ）の殺菌に適用した例を示す系統図である。
に示されるような超純水送水設備の分岐配管５（５Ａ〜
５Ｎ）の殺菌に適用した例を示す系統図である。
【００１２】前処理システム、一次純水システム及びサ
ブシステムよりなる超純水製造装置から主送水配管４の
送り配管４Ａを経て送水された超純水は、分岐配管５の
送り管５ａ及び使用場所への給水管５ｂより使用場所６
に供給される。余剰の超純水は戻り管５ｃから主送水配
管４の戻り配管４Ｂを経て超純水製造装置のサブシステ
ムに循環される。Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３は分岐配管５の各部
に設けられたバルブである。
ブシステムよりなる超純水製造装置から主送水配管４の
送り配管４Ａを経て送水された超純水は、分岐配管５の
送り管５ａ及び使用場所への給水管５ｂより使用場所６
に供給される。余剰の超純水は戻り管５ｃから主送水配
管４の戻り配管４Ｂを経て超純水製造装置のサブシステ
ムに循環される。Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３は分岐配管５の各部
に設けられたバルブである。
【００１３】分岐配管５の送り管５ａのバルブＶ１の下
流側及び戻り管５ｃのバルブＶ３の上流側にはそれぞれ
水の流出入が可能なポート７ａ，７ｃが設けられてい
る。このポ−ト７ａ、７ｃは、通常時は閉鎖されてお
り、後述の移動式殺菌装置１０の受入口２１ａ，送出口
２２ａが接続されるときに開放される。
流側及び戻り管５ｃのバルブＶ３の上流側にはそれぞれ
水の流出入が可能なポート７ａ，７ｃが設けられてい
る。このポ−ト７ａ、７ｃは、通常時は閉鎖されてお
り、後述の移動式殺菌装置１０の受入口２１ａ，送出口
２２ａが接続されるときに開放される。
【００１４】移動式殺菌装置１０は、ＵＶ照射装置１
１、タンク１２、タンク１２内にオゾンを注入するため
のオゾン発生装置１３、ポンプ１４、オゾン濃度を測定
するオゾン計１５、フィルター１６を備える。タンク１
２は、窒素を導入して送り出した溶解しなかったオゾン
ガスを、活性炭フィルター１７で分解して系外へ排出す
るように構成されている。また、この移動式殺菌装置１
０は、バルブＶ４を備える水の受入配管２１とバルブＶ
５を備える水の送出配管２２とを備え、この受入配管２
１の受入口２１ａは戻り管５ｃのポート７ｃに、送出配
管２２の送出口２２ａは送り管５ａのポート７ａに着脱
可能に接続されている。送出配管２２にはバルブＶ６を
備える排水配管２３が分岐している。
１、タンク１２、タンク１２内にオゾンを注入するため
のオゾン発生装置１３、ポンプ１４、オゾン濃度を測定
するオゾン計１５、フィルター１６を備える。タンク１
２は、窒素を導入して送り出した溶解しなかったオゾン
ガスを、活性炭フィルター１７で分解して系外へ排出す
るように構成されている。また、この移動式殺菌装置１
０は、バルブＶ４を備える水の受入配管２１とバルブＶ
５を備える水の送出配管２２とを備え、この受入配管２
１の受入口２１ａは戻り管５ｃのポート７ｃに、送出配
管２２の送出口２２ａは送り管５ａのポート７ａに着脱
可能に接続されている。送出配管２２にはバルブＶ６を
備える排水配管２３が分岐している。
【００１５】ＵＶ照射装置１１は余剰のオゾンを分解除
去するためのものであり、波長２５４ｎｍを主体とする
ＵＶを発生するものが好ましい。なお、ＵＶ照射装置１
１は、殺菌中はＯＦＦとし、殺菌後の残留オゾンを除去
する際にＯＮにするのが好ましい。
去するためのものであり、波長２５４ｎｍを主体とする
ＵＶを発生するものが好ましい。なお、ＵＶ照射装置１
１は、殺菌中はＯＦＦとし、殺菌後の残留オゾンを除去
する際にＯＮにするのが好ましい。
【００１６】タンク１２の構成には特に制限はないが、
耐オゾン性を確保するためにＳＵＳ或いはＰＶＤＦコー
ティング材よりなるものが好ましい。
耐オゾン性を確保するためにＳＵＳ或いはＰＶＤＦコー
ティング材よりなるものが好ましい。
【００１７】オゾン発生装置１３としても特に制限はな
いが、一般的には超純水を電気分解してオゾンを発生す
るものが好適である。
いが、一般的には超純水を電気分解してオゾンを発生す
るものが好適である。
【００１８】オゾン計１５は５ｐｐｂ以下の測定下限値
を有するものが好ましい。オゾン計の代りにＯＲＰ計を
用いてオゾン濃度を測定することもできる。
を有するものが好ましい。オゾン計の代りにＯＲＰ計を
用いてオゾン濃度を測定することもできる。
【００１９】フィルター１６は、孔径０．４５μｍ以下
のフィルターが好ましい。
のフィルターが好ましい。
【００２０】この移動式殺菌装置１０で分岐配管５を殺
菌するためには、この移動式殺菌装置１０を分岐配管５
の近くに移動させて、受入配管２１の受入口２１ａを戻
り管５ｃのポート７ｃに、送出配管２２の送出口２２ａ
を送り管５ａのポート７ａにそれぞれ接続して、図１の
状態とし、次の手順で殺菌を行う。
菌するためには、この移動式殺菌装置１０を分岐配管５
の近くに移動させて、受入配管２１の受入口２１ａを戻
り管５ｃのポート７ｃに、送出配管２２の送出口２２ａ
を送り管５ａのポート７ａにそれぞれ接続して、図１の
状態とし、次の手順で殺菌を行う。
【００２１】(i) バルブＶ１，Ｖ４開、バルブＶ５，
Ｖ６閉の状態でバルブＶ２，Ｖ３を閉め、送り配管４
Ａ，分岐配管５の戻り管５ｃのポート７ｃ及び受入配管
２１を経てタンク１２に超純水を貯める。
Ｖ６閉の状態でバルブＶ２，Ｖ３を閉め、送り配管４
Ａ，分岐配管５の戻り管５ｃのポート７ｃ及び受入配管
２１を経てタンク１２に超純水を貯める。
【００２２】(ii) その後、バルブＶ１を閉め、バルブ
Ｖ５を開けてポンプ１４を作動させると共に、オゾン発
生装置１３を作動させて、オゾンを注入し、所定濃度の
オゾン水を殺菌装置１０と分岐配管５（ポート７ａとポ
ート７ｃとの間の配管）との間で循環させる。このと
き、ＵＶ照射装置１１は停止させておく。このオゾン殺
菌は、０．０５〜１．０ｍ／ｓｅｃの流速でオゾン濃度
２０〜３００ｐｐｂのオゾン水を３０〜１２０分間循環
させて行うのが好ましい。
Ｖ５を開けてポンプ１４を作動させると共に、オゾン発
生装置１３を作動させて、オゾンを注入し、所定濃度の
オゾン水を殺菌装置１０と分岐配管５（ポート７ａとポ
ート７ｃとの間の配管）との間で循環させる。このと
き、ＵＶ照射装置１１は停止させておく。このオゾン殺
菌は、０．０５〜１．０ｍ／ｓｅｃの流速でオゾン濃度
２０〜３００ｐｐｂのオゾン水を３０〜１２０分間循環
させて行うのが好ましい。
【００２３】(iii) 上記オゾン殺菌終了後はオゾン発
生装置１３を停止してＵＶ照射装置１１を作動させ、水
の循環を継続した状態でＵＶ照射を行って系内のオゾン
を分解除去する。タンク１２内の気相のオゾンはＮ２を
吹き込んで押し出し、活性炭フィルター１７を通して除
去し、処理ガスを系外へ排出する。このオゾン除去は、
系内のオゾン濃度が５ｐｐｂ以下となるまで、通常の場
合、１５〜３０分実施する。
生装置１３を停止してＵＶ照射装置１１を作動させ、水
の循環を継続した状態でＵＶ照射を行って系内のオゾン
を分解除去する。タンク１２内の気相のオゾンはＮ２を
吹き込んで押し出し、活性炭フィルター１７を通して除
去し、処理ガスを系外へ排出する。このオゾン除去は、
系内のオゾン濃度が５ｐｐｂ以下となるまで、通常の場
合、１５〜３０分実施する。
【００２４】(iv) 上記オゾン除去後は、ポンプ１４を
停止し、バルブＶ５を閉じ、バルブＶ１，Ｖ６を開け
て、主送水配管４の送り配管４Ａからの超純水を分岐配
管５のポート７ｃより殺菌装置１０に流入させ、系内の
水を排出配管２３より排出して、洗浄する。この排水及
び洗浄は１５分以上、例えば３０〜６０分程度行うのが
好ましい。
停止し、バルブＶ５を閉じ、バルブＶ１，Ｖ６を開け
て、主送水配管４の送り配管４Ａからの超純水を分岐配
管５のポート７ｃより殺菌装置１０に流入させ、系内の
水を排出配管２３より排出して、洗浄する。この排水及
び洗浄は１５分以上、例えば３０〜６０分程度行うのが
好ましい。
【００２５】(v) 系内洗浄後は、バルブＶ４を閉じ、
移動式殺菌装置１０を分岐配管５から取り外すと共に、
バルブＶ３，Ｖ２を開き、使用場所６での超純水の使用
を再開する。
移動式殺菌装置１０を分岐配管５から取り外すと共に、
バルブＶ３，Ｖ２を開き、使用場所６での超純水の使用
を再開する。
【００２６】このようなオゾン発生手段とオゾン除去手
段を有し、分岐配管に着脱可能な水の受入口及び送出口
を有する移動式殺菌装置であれば、上記手順により、分
岐配管に設けられた２個のポート間の管路内に、オゾン
水を循環させた後、オゾンを除去し、更にその後水洗浄
することで容易に分岐配管を殺菌することができる。
段を有し、分岐配管に着脱可能な水の受入口及び送出口
を有する移動式殺菌装置であれば、上記手順により、分
岐配管に設けられた２個のポート間の管路内に、オゾン
水を循環させた後、オゾンを除去し、更にその後水洗浄
することで容易に分岐配管を殺菌することができる。
【００２７】分岐配管に設けるポートは必ずしも２個で
ある必要はなく、３個以上であっても良い。この場合に
は、移動式殺菌装置を接続するポートを選択すること
で、分岐配管の所望の区間を殺菌することができる。一
般的には、図１に示すごとく、使用場所６への給水管５
ｂの上流側の送り管５ａと、下流側の戻り管５ｃに各々
１個ずつポート７ａ，７ｃを設け、このポート７ａ，７
ｃ間の配管内の殺菌を行う。
ある必要はなく、３個以上であっても良い。この場合に
は、移動式殺菌装置を接続するポートを選択すること
で、分岐配管の所望の区間を殺菌することができる。一
般的には、図１に示すごとく、使用場所６への給水管５
ｂの上流側の送り管５ａと、下流側の戻り管５ｃに各々
１個ずつポート７ａ，７ｃを設け、このポート７ａ，７
ｃ間の配管内の殺菌を行う。
【００２８】なお、図１においては、オゾンの除去手段
としてＵＶ照射装置を用いているが、オゾンの除去には
活性炭フィルターを用いることもできる。活性炭フィル
ターを用いる場合には、繊維状活性炭フィルターを殺菌
装置の管路に設置し、オゾン水の循環時には、この活性
炭フィルターをバイパスし、オゾン除去時にのみ活性炭
フィルターに通水するように流路を切り換えるようにす
る。
としてＵＶ照射装置を用いているが、オゾンの除去には
活性炭フィルターを用いることもできる。活性炭フィル
ターを用いる場合には、繊維状活性炭フィルターを殺菌
装置の管路に設置し、オゾン水の循環時には、この活性
炭フィルターをバイパスし、オゾン除去時にのみ活性炭
フィルターに通水するように流路を切り換えるようにす
る。
【００２９】以下に実験例を挙げてオゾン殺菌及びＵＶ
照射によるオゾン分解による効果を示す。
照射によるオゾン分解による効果を示す。
【００３０】実験例１ 超純水製造設備からの超純水を貯槽に受け、２０Ａのク
リーン塩ビパイプで、この貯槽（２００Ｌ容量）内の超
純水をポンプで送り出して再び戻す長さ２０ｍの循環配
管を取り付けた。なお、この配管の途中にはＵＶ照射装
置（ＵＶ波長２５４ｎｍ）とオゾン計を取り付けた。
リーン塩ビパイプで、この貯槽（２００Ｌ容量）内の超
純水をポンプで送り出して再び戻す長さ２０ｍの循環配
管を取り付けた。なお、この配管の途中にはＵＶ照射装
置（ＵＶ波長２５４ｎｍ）とオゾン計を取り付けた。
【００３１】貯槽内にシュードモナス属の菌を１０ｍＬ
添加し、３日間循環したところ、系内の生菌数は２０〜
３０個／１００ｍＬとなった。
添加し、３日間循環したところ、系内の生菌数は２０〜
３０個／１００ｍＬとなった。
【００３２】そこで、この貯槽内にテフロン製の散気球
を入れ、オゾン発生装置（（株）笹倉機械製作所「ＯＭ
−２型」）で発生させたオゾンを、オゾン計の測定値が
５０〜１００ｐｐｂになるように散気し、０．５ｍ３／
ｈｒで水を循環させた。
を入れ、オゾン発生装置（（株）笹倉機械製作所「ＯＭ
−２型」）で発生させたオゾンを、オゾン計の測定値が
５０〜１００ｐｐｂになるように散気し、０．５ｍ３／
ｈｒで水を循環させた。
【００３３】オゾン水の循環時間に対する系内の生菌数
を表１に示す。
を表１に示す。
【００３４】
【表１】
【００３５】オゾン水を４５分循環させた後、オゾンの
散気を停止し、ＵＶ照射装置を作動させ０．２ＫＷ／ｍ
３でＵＶ照射装置を作動させ０．２ＫＷ／ｍ３でＵＶ照
射した状態で更に３０分循環させたところ、系内のオゾ
ン濃度は５ｐｐｂ以下となった。
散気を停止し、ＵＶ照射装置を作動させ０．２ＫＷ／ｍ
３でＵＶ照射装置を作動させ０．２ＫＷ／ｍ３でＵＶ照
射した状態で更に３０分循環させたところ、系内のオゾ
ン濃度は５ｐｐｂ以下となった。
【００３６】この結果から、オゾン注入で効率的に殺菌
を行うことができ、また、殺菌後はＵＶ照射でオゾンを
容易に分解除去できることがわかる。
を行うことができ、また、殺菌後はＵＶ照射でオゾンを
容易に分解除去できることがわかる。
【００３７】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水送水
設備によれば、超純水送水設備の運転を停止することな
く、超純水製造装置から主送水配管を介して超純水を使
用場所に供給する分岐配管を効率的に殺菌することがで
きる。
設備によれば、超純水送水設備の運転を停止することな
く、超純水製造装置から主送水配管を介して超純水を使
用場所に供給する分岐配管を効率的に殺菌することがで
きる。
【００３８】本発明の超純水送水設備は、殺菌が最も必
要とされる分岐配管のみを、個別に殺菌するものである
ため、超純水送水設備の運転を停止することなく短時間
で殺菌することができる。しかも、オゾン殺菌を行う場
合であっても、比較的短い分岐配管を殺菌するため、高
濃度オゾン水を用いる必要がなく、このため、配管の材
質に制約を受けることがない。
要とされる分岐配管のみを、個別に殺菌するものである
ため、超純水送水設備の運転を停止することなく短時間
で殺菌することができる。しかも、オゾン殺菌を行う場
合であっても、比較的短い分岐配管を殺菌するため、高
濃度オゾン水を用いる必要がなく、このため、配管の材
質に制約を受けることがない。
【図１】本発明の超純水送水設備の実施の形態を示す系
統図である。
統図である。
【図２】超純水送水設備の全体構成を示す系統図であ
る。
る。
１ 前処理システム ２ 一次純水システム ３ サブシステム ４ 主送水配管 ４Ａ 送り配管 ４Ｂ 戻り配管 ５，５Ａ，５Ｂ，５Ｎ 分岐配管 ６，６Ａ，６Ｂ，６Ｎ 使用場所 ７ａ，７ｃ ポ−ト １０ 移動式殺菌装置 １１ ＵＶ照射装置 １２ タンク １３ オゾン発生装置 １５ オゾン計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｇ 3/04 Ｃ２３Ｇ 3/04 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C02F 1/50 C23G 3/04 B08B 9/00
Claims (1)
- 【請求項１】 超純水製造装置から送り配管４Ａ及び戻
り配管４Ｂよりなる主送水配管４と分岐配管５とを介し
て超純水を使用場所へ供給する超純水送水設備であっ
て、 該分岐配管５は、該送り配管４Ａから超純水が分岐して
流入する送り管５ａと、該送り管５ａに流入した超純水
を使用場所に供給する給水管５ｂと、該送り管５ａから
余剰の超純水を該戻り配管４Ｂに戻す戻り管５ｃとを備
え、 該送り管５ａ、給水管５ｂ及び戻り管５ｃの各々にバル
ブＶ１，Ｖ２，Ｖ３が設けられており、 該送り管５ａのバルブＶ１よりも下流側と、戻り管５ｃ
のバルブＶ３よりも上流側とにそれぞれ水の流出及び流
入が可能なポート７ａ，７ｃが設けられており、 それぞれ該ポート７ａ，７ｃに接続可能な水の送出口２
２ａ及び受入口２１ａを有した移動可能な水の殺菌装置
１０を備えてなる超純水送水設備。
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|---|---|---|---|
| JP22672196A JP3240932B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 超純水送水設備 |
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|---|---|---|---|
| JP22672196A Expired - Fee Related JP3240932B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 超純水送水設備 |
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| JP (1) | JP3240932B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1996-08-28 JP JP22672196A patent/JP3240932B2/ja not_active Expired - Fee Related
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