JP3240416B2 - 圧電振動ジャイロ - Google Patents
圧電振動ジャイロInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車のナビゲーショ
ンシステムやカメラ一体型ＶＴＲの手ブレ補正などに用
いられるジャイロスコープのうち、圧電振動子の超音波
振動を用いた圧電振動ジャイロに関する。
ンシステムやカメラ一体型ＶＴＲの手ブレ補正などに用
いられるジャイロスコープのうち、圧電振動子の超音波
振動を用いた圧電振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動ジャイロは、振動している物体
に回転角度速度が加えられると、その振動方向と直角な
方向にコリオリ力を生ずるという力学現象を利用したジ
ャイロスコープである。一般に直交する二つの異なる方
向の振動を励振可能に構成した複合振動系において、一
方の振動を励振した状態で、振動子を回転させると、前
述のコリオリ力の作用によりこの振動と直角な方向に力
が働き、他方の振動が励振される。この振動の大きさは
入力側の振動の大きさおよび回転角速度に比例するた
め、入力側の振動の大きさを一定にした場合、出力電圧
の大きさから回転角速度の大きさを求めることができ
る。
に回転角度速度が加えられると、その振動方向と直角な
方向にコリオリ力を生ずるという力学現象を利用したジ
ャイロスコープである。一般に直交する二つの異なる方
向の振動を励振可能に構成した複合振動系において、一
方の振動を励振した状態で、振動子を回転させると、前
述のコリオリ力の作用によりこの振動と直角な方向に力
が働き、他方の振動が励振される。この振動の大きさは
入力側の振動の大きさおよび回転角速度に比例するた
め、入力側の振動の大きさを一定にした場合、出力電圧
の大きさから回転角速度の大きさを求めることができ
る。
【０００３】図７は従来の圧電振動ジャイロの構造を示
す斜視図である。図７に示すように、正三角形断面形状
を有する金属三角柱１１０の三つの面のほぼ中央部に、
それぞれ両面に電極が形成され、厚さ方向に分極された
圧電セラミックス薄板１１１，１１２，１１３が接合さ
れている。金属三角柱１１０はそれぞれの辺とこれに向
かい合う頂点を結ぶ方向に、ほぼ同じ共振周波数で屈曲
振動が可能であり、図８に示すように、一枚の圧電セラ
ミックス薄板１１１にこの共振周波数にほぼ等しい周波
数の電圧を印加すると、圧電セラミックス薄板１１１を
接合した面が凹凸となる方向に屈曲振動する。
す斜視図である。図７に示すように、正三角形断面形状
を有する金属三角柱１１０の三つの面のほぼ中央部に、
それぞれ両面に電極が形成され、厚さ方向に分極された
圧電セラミックス薄板１１１，１１２，１１３が接合さ
れている。金属三角柱１１０はそれぞれの辺とこれに向
かい合う頂点を結ぶ方向に、ほぼ同じ共振周波数で屈曲
振動が可能であり、図８に示すように、一枚の圧電セラ
ミックス薄板１１１にこの共振周波数にほぼ等しい周波
数の電圧を印加すると、圧電セラミックス薄板１１１を
接合した面が凹凸となる方向に屈曲振動する。
【０００４】また、図９に示すように、隣合う２枚の圧
電セラミックス薄板１１１，１１２に同一振幅、同一位
相の金属三角柱１１０の共振周波数にほぼ等しい周波数
の電圧を印加すると、金属三角柱１１０は圧電セラミッ
クス薄板１１１を接合した面が凹凸となる方向の屈曲振
動と圧電セラミックス薄板１１２を接合した面が凹凸と
なる方向の屈曲振動とが合成されて、残りの圧電セラミ
ックス薄板１１３を接合した面が凹凸となる方向に屈曲
振動する。
電セラミックス薄板１１１，１１２に同一振幅、同一位
相の金属三角柱１１０の共振周波数にほぼ等しい周波数
の電圧を印加すると、金属三角柱１１０は圧電セラミッ
クス薄板１１１を接合した面が凹凸となる方向の屈曲振
動と圧電セラミックス薄板１１２を接合した面が凹凸と
なる方向の屈曲振動とが合成されて、残りの圧電セラミ
ックス薄板１１３を接合した面が凹凸となる方向に屈曲
振動する。
【０００５】一方、図１０に示すように、隣合う２枚の
圧電セラミックス薄板１１１，１１２に同一振幅、逆位
相の金属三角柱１１０の共振周波数にほぼ等しい周波数
の電圧を印加すると、金属三角柱１１０は圧電セラミッ
クス薄板１１１を接合した面が凹凸となる方向の屈曲振
動と圧電セラミックス薄板１１２を接合した面が凹凸と
なる方向の屈曲振動とが合成されて、残りの圧電セラミ
ックス薄板１１３を接合した面と平行な方向に屈曲振動
する。
圧電セラミックス薄板１１１，１１２に同一振幅、逆位
相の金属三角柱１１０の共振周波数にほぼ等しい周波数
の電圧を印加すると、金属三角柱１１０は圧電セラミッ
クス薄板１１１を接合した面が凹凸となる方向の屈曲振
動と圧電セラミックス薄板１１２を接合した面が凹凸と
なる方向の屈曲振動とが合成されて、残りの圧電セラミ
ックス薄板１１３を接合した面と平行な方向に屈曲振動
する。
【０００６】図９の状態で金属三角柱１１０を長さ方向
の中心を軸にして回転させるとコリオリ力の作用により
金属三角柱１１０には図１１に示すように、圧電セラミ
ックス薄板１１３を接合した面が凹凸となる方向と直角
な方向に屈曲振動する。図１０に示したように、金属三
角柱１１０の圧電セラミックス薄板１１３と平行な方向
の屈曲振動は圧電セラミックス薄板１１１，１１２に同
一振幅、逆位相の電圧を印加することによって得られる
ため、逆の効果により金属三角柱１１０を圧電セラミッ
クス薄板１１３と平行な方向に屈曲振動させた場合には
圧電セラミックス薄板１１１，１１２に同一振幅、逆位
相の電圧が発生し、駆動のために圧電セラミックス薄板
１１１，１１２に印加されている電圧の一方がその分減
少し、他方がその分増加する。従って、圧電セラミック
ス薄板１１１，１１２の端子電圧の差の電圧は金属三角
柱１１０の回転角速度に比例した電圧となる。
の中心を軸にして回転させるとコリオリ力の作用により
金属三角柱１１０には図１１に示すように、圧電セラミ
ックス薄板１１３を接合した面が凹凸となる方向と直角
な方向に屈曲振動する。図１０に示したように、金属三
角柱１１０の圧電セラミックス薄板１１３と平行な方向
の屈曲振動は圧電セラミックス薄板１１１，１１２に同
一振幅、逆位相の電圧を印加することによって得られる
ため、逆の効果により金属三角柱１１０を圧電セラミッ
クス薄板１１３と平行な方向に屈曲振動させた場合には
圧電セラミックス薄板１１１，１１２に同一振幅、逆位
相の電圧が発生し、駆動のために圧電セラミックス薄板
１１１，１１２に印加されている電圧の一方がその分減
少し、他方がその分増加する。従って、圧電セラミック
ス薄板１１１，１１２の端子電圧の差の電圧は金属三角
柱１１０の回転角速度に比例した電圧となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図７〜図１１に示した
従来の圧電振動ジャイロにおいては、柱状音辺の屈曲振
動モードを利用しているため、振動子の支持・固定は振
動の節の位置で行わなければならない。しかし、振動の
節点は理論的に、幅あるいは面積を持たない、点あるい
は線となるため、有限の寸法の線等で支持した場合、支
持の影響を受けることは避けられず、ジャイロ特性の劣
化を生じていた。さらに、支持の影響を少なくとようと
して、支持線の線径を細くすると外部からの振動や衝撃
に耐する耐久性が悪くなるという問題を有していた。
従来の圧電振動ジャイロにおいては、柱状音辺の屈曲振
動モードを利用しているため、振動子の支持・固定は振
動の節の位置で行わなければならない。しかし、振動の
節点は理論的に、幅あるいは面積を持たない、点あるい
は線となるため、有限の寸法の線等で支持した場合、支
持の影響を受けることは避けられず、ジャイロ特性の劣
化を生じていた。さらに、支持の影響を少なくとようと
して、支持線の線径を細くすると外部からの振動や衝撃
に耐する耐久性が悪くなるという問題を有していた。
【０００８】図１２は従来の型のエネルギー閉じ込め振
動子の構造を示す平面図である。図１３は従来の型のエ
ネルギー閉じ込め振動子の構造を示す断面図である。エ
ネルギー閉じ込め振動とは、振動のエネルギーが駆動電
極近傍に集中している振動モードで、圧電板の厚さ方向
の縦振動やすべり振動、圧電矩形板の幅方向の縦振動や
すべり振動など多くの振動モードがあり、ＦＭラジオや
テレビの中間周波数フィルタに広く用いられている。エ
ネルギー閉じ込め振動は前述したように、振動のエネル
ギーが駆動電極の近傍に集中しているため、例えば、図
１２に示すような、６ｍｍ×６ｍｍで厚さ０．２ｍｍの
圧電板１０を用いて、そのほぼ中央部の直径１．５ｍｍ
の領域に駆動電極１１，１１′及び１２を形成したＦＭ
ラジオ用１０．７ＭＨｚセラミックフィルタにおいて、
図１４に示すように、前記駆動電極１１，１１′及び１
２を中心に直径３ｍｍの領域の両面に空洞部分を形成す
れば、その他部分を樹脂１３で固定しても振動子特性に
ほとんど影響を与えない。すなわち、リード端子の形成
が自由で支持による影響の無い圧電振動子が得られる。
しかし、この圧電振動子は、圧電振動ジャイロを構成す
ることが困難であるという問題がある。
動子の構造を示す平面図である。図１３は従来の型のエ
ネルギー閉じ込め振動子の構造を示す断面図である。エ
ネルギー閉じ込め振動とは、振動のエネルギーが駆動電
極近傍に集中している振動モードで、圧電板の厚さ方向
の縦振動やすべり振動、圧電矩形板の幅方向の縦振動や
すべり振動など多くの振動モードがあり、ＦＭラジオや
テレビの中間周波数フィルタに広く用いられている。エ
ネルギー閉じ込め振動は前述したように、振動のエネル
ギーが駆動電極の近傍に集中しているため、例えば、図
１２に示すような、６ｍｍ×６ｍｍで厚さ０．２ｍｍの
圧電板１０を用いて、そのほぼ中央部の直径１．５ｍｍ
の領域に駆動電極１１，１１′及び１２を形成したＦＭ
ラジオ用１０．７ＭＨｚセラミックフィルタにおいて、
図１４に示すように、前記駆動電極１１，１１′及び１
２を中心に直径３ｍｍの領域の両面に空洞部分を形成す
れば、その他部分を樹脂１３で固定しても振動子特性に
ほとんど影響を与えない。すなわち、リード端子の形成
が自由で支持による影響の無い圧電振動子が得られる。
しかし、この圧電振動子は、圧電振動ジャイロを構成す
ることが困難であるという問題がある。
【０００９】本発明の課題は、構造が簡単で、入出力用
のリード端子の取り出しおよび支持および固定によるジ
ャイロ特性への影響が少ない、強固に支持することが可
能で、かつ、耐振動および耐衝撃特性の優れた圧電振動
ジャイロを提供することにある。
のリード端子の取り出しおよび支持および固定によるジ
ャイロ特性への影響が少ない、強固に支持することが可
能で、かつ、耐振動および耐衝撃特性の優れた圧電振動
ジャイロを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、厚さ方
向に分極軸を有する圧電板に所定間隔を隔てて対向する
第一の一対の部分電極を形成し、該第一の一対の部分電
極の一方を同一平面上および反対平面上のいずれか一方
に配置して第一の平行電界励振型厚みすべりモードのエ
ネルギー閉じ込め振動子を構成し、かつ、前記第一の一
対の部分電極が形成する対向線に直交する方向に所定間
隔を隔てて対向する第二の一対の部分電極を形成し、該
第二の一対の部分電極の一方を同一平面上および反対平
面上のいずれか一方に配置して第二の平行電界励振型厚
みすべりモードのエネルギー閉じ込め振動子を構成し、
前記第一および前記第二それぞれの一対の部分電極の少
なくとも一方が互いに異なる平面に配置されたことを特
徴とする圧電振動ジャイロが得られる。
向に分極軸を有する圧電板に所定間隔を隔てて対向する
第一の一対の部分電極を形成し、該第一の一対の部分電
極の一方を同一平面上および反対平面上のいずれか一方
に配置して第一の平行電界励振型厚みすべりモードのエ
ネルギー閉じ込め振動子を構成し、かつ、前記第一の一
対の部分電極が形成する対向線に直交する方向に所定間
隔を隔てて対向する第二の一対の部分電極を形成し、該
第二の一対の部分電極の一方を同一平面上および反対平
面上のいずれか一方に配置して第二の平行電界励振型厚
みすべりモードのエネルギー閉じ込め振動子を構成し、
前記第一および前記第二それぞれの一対の部分電極の少
なくとも一方が互いに異なる平面に配置されたことを特
徴とする圧電振動ジャイロが得られる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基いて詳細に
説明する。
説明する。
【００１２】まず、本発明に用いる平行電界励振型厚み
すべりモードのエネルギー閉じ込め振動子について図１
〜図３に基いて説明する。図１および図２に示すよう
に、分極方向が厚さ方向の圧電板１４の中央部の同一面
上に、一対の部分電極１５，１５´が対向するように形
成されている。部分電極１５，１５´に挟まれている部
分にはほぼ圧電板１４の面に平行な方向の電界が印加さ
れるため、直交する厚さ方向の分極との相互作用によ
り、部分電極１５，１５´の寸法、使用する圧電材料の
特性に合わせて適当に設計すると、この部分に平行電界
励振型厚みすべりエネルギ−閉じ込め振動子を構成する
ことができる。厚みすべり振動とは、変位及び波の伝搬
方向が共に板面に平行な振動であり、その半波長で共振
している場合の厚さ方向の変位分布は図３に示すように
なる。
すべりモードのエネルギー閉じ込め振動子について図１
〜図３に基いて説明する。図１および図２に示すよう
に、分極方向が厚さ方向の圧電板１４の中央部の同一面
上に、一対の部分電極１５，１５´が対向するように形
成されている。部分電極１５，１５´に挟まれている部
分にはほぼ圧電板１４の面に平行な方向の電界が印加さ
れるため、直交する厚さ方向の分極との相互作用によ
り、部分電極１５，１５´の寸法、使用する圧電材料の
特性に合わせて適当に設計すると、この部分に平行電界
励振型厚みすべりエネルギ−閉じ込め振動子を構成する
ことができる。厚みすべり振動とは、変位及び波の伝搬
方向が共に板面に平行な振動であり、その半波長で共振
している場合の厚さ方向の変位分布は図３に示すように
なる。
【００１３】図４は、上述した原理により二対の電極を
組み合わせた圧電振動ジャイロの構造例を示す斜視図で
ある。図４に示すように、分極方向が厚さ方向の圧電板
１４のほぼ中央部の一面に、第一の一対の部分電極１
５，１５′が所定間隔を隔てて対向するように形成され
ている。また、前記圧電板１４のほぼ中央部の一面に
は、第二の一対の部分電極１６，１６′が前記第一の一
対の部分電極１５，１５を結ぶ線と直交する方向に所定
間隔を隔てて対向するように形成されている。図４にお
いては、部分電極１５，１５′により変位方向すなわち
振動方向が前記部分電極１５，１５′の対向する方向の
第一の厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振動子が構
成できると同時に、部分電極１６，１６′により同様に
振動方向が前記部分電極１６，１６′の対向する方向の
第二の厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振動子が構
成された複合振動子１７を得ることができる。厚みすべ
りモードの共振周波数は材料が同じ場合、ほぼ厚さによ
って決定されるため、第一と第二の厚みすべりモードエ
ネルギー閉じ込め振動子の共振周波数はそれぞれ等しく
なる。
組み合わせた圧電振動ジャイロの構造例を示す斜視図で
ある。図４に示すように、分極方向が厚さ方向の圧電板
１４のほぼ中央部の一面に、第一の一対の部分電極１
５，１５′が所定間隔を隔てて対向するように形成され
ている。また、前記圧電板１４のほぼ中央部の一面に
は、第二の一対の部分電極１６，１６′が前記第一の一
対の部分電極１５，１５を結ぶ線と直交する方向に所定
間隔を隔てて対向するように形成されている。図４にお
いては、部分電極１５，１５′により変位方向すなわち
振動方向が前記部分電極１５，１５′の対向する方向の
第一の厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振動子が構
成できると同時に、部分電極１６，１６′により同様に
振動方向が前記部分電極１６，１６′の対向する方向の
第二の厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振動子が構
成された複合振動子１７を得ることができる。厚みすべ
りモードの共振周波数は材料が同じ場合、ほぼ厚さによ
って決定されるため、第一と第二の厚みすべりモードエ
ネルギー閉じ込め振動子の共振周波数はそれぞれ等しく
なる。
【００１４】図４において、一方の部分電極１５，１
５′間に、厚みすべりモードの共振周波数にほぼ等しい
周波数の交流電圧を印加すると、電極の近傍のみに厚み
すべり振動が励振される。その時の変位の方向は図５に
示すように励振している部分電極１５，１５′の対向し
ている方向と一致し、ｘ方向となる。この状態では部分
電極１６，１６′間にはほとんど出力電圧が発生しな
い。今、この複合振動子１７を圧電板の面と垂直な軸の
回りに回転させると、振動方向と直角な方向にコリオリ
力が発生し、図２に示すように、励振している振動方向
と直角なｙ方向の振動が発生する。この振動方向は部分
電極１６，１６′による振動方向と同じになるため、部
分電極１６，１６′間に回転角速度に比例した電圧が発
生する。
５′間に、厚みすべりモードの共振周波数にほぼ等しい
周波数の交流電圧を印加すると、電極の近傍のみに厚み
すべり振動が励振される。その時の変位の方向は図５に
示すように励振している部分電極１５，１５′の対向し
ている方向と一致し、ｘ方向となる。この状態では部分
電極１６，１６′間にはほとんど出力電圧が発生しな
い。今、この複合振動子１７を圧電板の面と垂直な軸の
回りに回転させると、振動方向と直角な方向にコリオリ
力が発生し、図２に示すように、励振している振動方向
と直角なｙ方向の振動が発生する。この振動方向は部分
電極１６，１６′による振動方向と同じになるため、部
分電極１６，１６′間に回転角速度に比例した電圧が発
生する。
【００１５】図４に示した複合振動子１７は、エネルギ
ー閉じ込めモードで振動するため、図１１に基いて説明
したように、部分電極１５，１５´，１６，１６´の面
積のおよそ２倍の径の部分に空洞部が形成された樹脂で
複合振動子１７を固定すれば、支持による振動特性の影
響はほとんど無い。したがって、支持によるジャイロ特
性の変化もほとんど無くなる。
ー閉じ込めモードで振動するため、図１１に基いて説明
したように、部分電極１５，１５´，１６，１６´の面
積のおよそ２倍の径の部分に空洞部が形成された樹脂で
複合振動子１７を固定すれば、支持による振動特性の影
響はほとんど無い。したがって、支持によるジャイロ特
性の変化もほとんど無くなる。
【００１６】ここで、図６を参照して、本発明の圧電振
動ジャイロの一実施例について説明する。図６におい
て、分極方向が厚さ方向の圧電板１４のほぼ中央部の一
方の面に、第一の一対の部分電極１８，１８′が所定間
隔を隔てて対向するように形成されている。また、前記
圧電板１４のほぼ中央部の他方の面には、第二の一対の
部分電極１９，１９′が前記第一の一対の部分電極１
８，１８を結ぶ線と直交する方向に所定間隔を隔てて対
向するように形成されている。これらの圧電板１４と第
一の一対の部分電極１８，１８′と第二の一対の部分電
極１９，１９′とにより複合振動子１７´が構成され
る。
動ジャイロの一実施例について説明する。図６におい
て、分極方向が厚さ方向の圧電板１４のほぼ中央部の一
方の面に、第一の一対の部分電極１８，１８′が所定間
隔を隔てて対向するように形成されている。また、前記
圧電板１４のほぼ中央部の他方の面には、第二の一対の
部分電極１９，１９′が前記第一の一対の部分電極１
８，１８を結ぶ線と直交する方向に所定間隔を隔てて対
向するように形成されている。これらの圧電板１４と第
一の一対の部分電極１８，１８′と第二の一対の部分電
極１９，１９′とにより複合振動子１７´が構成され
る。
【００１７】図６に示す実施例においても、図４に示し
た構成例と同様に、一方の部分電極１８，１８′間に、
厚みすべりモードの共振周波数にほぼ等しい周波数の交
流電圧を印加すると、電極の近傍のみに厚みすべり振動
が励振される。その時の変位の方向は図５の場合と同様
に部分電極１８，１８′の対向している方向と一致し、
ｘ方向となる。この状態では部分電極１９，１９′間に
はほとんど出力電圧が発生しない。今、この複合振動子
１７′を圧電板１４の面と垂直な軸の回りに回転させる
と、振動方向と直角な方向にコリオリ力が発生し、やは
り図５の場合と同様に、励振している振動方向と直角な
ｙ方向の振動が発生する。この振動方向は部分電極１
９，１９′による振動方向と同じになるため、部分電極
１９，１９′間に回転角速度に比例した電圧が発生す
る。
た構成例と同様に、一方の部分電極１８，１８′間に、
厚みすべりモードの共振周波数にほぼ等しい周波数の交
流電圧を印加すると、電極の近傍のみに厚みすべり振動
が励振される。その時の変位の方向は図５の場合と同様
に部分電極１８，１８′の対向している方向と一致し、
ｘ方向となる。この状態では部分電極１９，１９′間に
はほとんど出力電圧が発生しない。今、この複合振動子
１７′を圧電板１４の面と垂直な軸の回りに回転させる
と、振動方向と直角な方向にコリオリ力が発生し、やは
り図５の場合と同様に、励振している振動方向と直角な
ｙ方向の振動が発生する。この振動方向は部分電極１
９，１９′による振動方向と同じになるため、部分電極
１９，１９′間に回転角速度に比例した電圧が発生す
る。
【００１８】図６に示した実施例では第一の一対の部分
電極と第二の一対の部分電極を圧電板１４の異なる面に
形成したが、これに限定されず、第一の一対の部分電極
と第二の一対の部分電極のそれぞれ一方を圧電板１４の
異なる面に形成してもよい。
電極と第二の一対の部分電極を圧電板１４の異なる面に
形成したが、これに限定されず、第一の一対の部分電極
と第二の一対の部分電極のそれぞれ一方を圧電板１４の
異なる面に形成してもよい。
【００１９】
【発明の効果】本発明の圧電振動ジャイロは、構造が簡
単で、支持および固定によるジャイロ特性への影響がほ
とんど無く、強固に支持することが可能で、かつ、耐振
動および耐衝撃特性の優れている。
単で、支持および固定によるジャイロ特性への影響がほ
とんど無く、強固に支持することが可能で、かつ、耐振
動および耐衝撃特性の優れている。
【図１】本発明に用いられる平行電界励振型厚みすべり
モードのエネルギー閉じ込め振動子を示す平面図であ
る。
モードのエネルギー閉じ込め振動子を示す平面図であ
る。
【図２】本発明に用いられる平行電界励振型厚みすべり
モードのエネルギー閉じ込め振動子を示す断面図であ
る。
モードのエネルギー閉じ込め振動子を示す断面図であ
る。
【図３】本発明に用いられる平行電界励振型厚みすべり
モードのエネルギー閉じ込め振動子における変位分布を
説明するための説明図である。
モードのエネルギー閉じ込め振動子における変位分布を
説明するための説明図である。
【図４】図１から図３までのエネルギー閉じ込め振動子
を用いた圧電振動ジャイロの一構成例を示す斜視図であ
る。
を用いた圧電振動ジャイロの一構成例を示す斜視図であ
る。
【図５】本発明の圧電振動ジャイロにおける変位分布を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図６】本発明の圧電振動ジャイロの一実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図７】従来の圧電振動ジャイロの構造及び動作原理を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図８】従来の圧電振動ジャイロの構造及び動作原理を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図９】従来の圧電振動ジャイロの構造及び動作原理を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図１０】従来の圧電振動ジャイロの構造及び動作原理
を説明するための説明図である。
を説明するための説明図である。
【図１１】従来の圧電振動ジャイロの構造及び動作原理
を説明するための説明図である。
を説明するための説明図である。
【図１２】従来のエネルギー閉じ込め振動子を示す平面
図である。
図である。
【図１３】従来のエネルギー閉じ込め振動子を示す断面
図である。
図である。
【図１４】従来のエネルギヘ閉じ込め振動子の支持手段
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１４ 圧電板 １５〜１９，１５′〜１９′ 部分電極 １７，１７′ 複合振動子
Claims (1)
- 【請求項１】 厚さ方向に分極軸を有する圧電板に所定
間隔を隔てて対向する第一の一対の部分電極を形成し、
該第一の一対の部分電極の一方を同一平面上および反対
平面上のいずれか一方に配置して第一の平行電界励振型
厚みすべりモードのエネルギー閉じ込め振動子を構成
し、かつ、前記第一の一対の部分電極が形成する対向線
に直交する方向に所定間隔を隔てて対向する第二の一対
の部分電極を形成し、該第二の一対の部分電極の一方を
同一平面上および反対平面上のいずれか一方に配置して
第二の平行電界励振型厚みすべりモードのエネルギー閉
じ込め振動子を構成し、前記第一および前記第二それぞ
れの一対の部分電極の少なくとも一方が互いに異なる平
面に配置されたことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13256592A JP3240416B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 圧電振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13256592A JP3240416B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 圧電振動ジャイロ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001244679A Division JP3521315B2 (ja) | 2001-08-10 | 2001-08-10 | 圧電振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322580A JPH05322580A (ja) | 1993-12-07 |
| JP3240416B2 true JP3240416B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=15084279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13256592A Expired - Fee Related JP3240416B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 圧電振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3240416B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5719460A (en) * | 1994-11-28 | 1998-02-17 | Nippondenso Co., Ltd | Angular velocity sensor |
| US5887480A (en) * | 1996-06-20 | 1999-03-30 | Tokin Corporation | Piezoelectric vibratory gyroscope utilizing an energy-trapping vibration mode |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP13256592A patent/JP3240416B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05322580A (ja) | 1993-12-07 |
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